TW202112903A - 著色樹脂組成物、膜、濾色器、固體攝像元件、圖像顯示裝置及樹脂 - Google Patents

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牧野雅臣
川島敬史
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日商富士軟片股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種著色樹脂組成物、膜、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置,該著色樹脂組成物包含樹脂、色材及溶劑,上述樹脂係包含由下述式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物,相對於組成物的總固體成分,上述色材的含量為30質量%以上。

Description

著色樹脂組成物、膜、彩色濾光片、固體攝像元件和圖像顯示裝置
本發明係有關一種樹脂組成物、膜、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
近年來,由於數位相機、附帶照相機之可攜式電話等的普及,電荷耦合元件(CCD)圖像感測器等固體攝像元件的需求大幅度增長。固體攝像元件中使用濾色器等包含顏料之膜。濾色器等包含顏料之膜使用包含色材、樹脂及溶劑之著色樹脂組成物等來製造。
例如,專利文獻1中記載有具備使負型感光性樹脂組成物硬化而成之硬化膜之表示裝置,上述負型感光性樹脂組成物包含(A1)第一樹脂、(A2)第二樹脂、(C)光聚合起始劑及(D)著色劑,上述(A1)第一樹脂係(A1-1)聚醯亞胺和/或(A1-2)聚苯并㗁唑,上述(A2)第二樹脂係選自(A2-1)聚醯亞胺前驅物、(A2-2)聚苯并㗁唑前驅物、(A2-3)聚矽氧烷、(A2-4)卡多(cardo)系樹脂及(A2-5)丙烯酸樹脂之1種以上,上述(A1)第一樹脂的含有比率佔上述(A1)第一樹脂及上述(A2)第二樹脂的總計100質量%中的25~90質量%的範圍,上述硬化膜的每1μm膜厚的光學濃度在0.3~5.0範圍內,上述硬化膜包含硬化圖案,上述硬化圖案的截面上的傾斜邊的錐角在1~60°的範圍內。 專利文獻2中記載有著色樹脂組成物,其含有(A)特定的結構單元、具有特定的結構單元中的羧基由醯胺基或酯基取代之結構單元之聚醯亞胺前驅物衍生物、(B)著色材及(C)有機溶劑。
[專利文獻1]日本特開2019-045865號公報 [專利文獻2]日本特開2017-186530號公報
近年來,考慮在固體攝像元件的製造製程中使用包含色材、樹脂及溶劑之著色樹脂組成物來形成濾色器等膜之後,再將該膜提供至需要高溫(例如300℃以上)的加熱處理之製程。
因此,本發明的目的為提供一種能夠實現製造膜之後的製程的製程窗的擴大之新型的著色樹脂組成物、膜、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
以下示出本發明的代表實施形態的例子。 <1>一種著色樹脂組成物、其係包含: 樹脂; 色材;及 溶劑, 上述樹脂係包含由下述式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅體, 相對於組成物的總固體成分,上述色材的含量為30質量%以上, [化學式1]
Figure 02_image003
式(1-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,R12 表示R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,n表示0以上且nA以下的整數,nA係R11 中的芳香族烴基的最大取代數,R13 表示4價的有機基, 式(1-2)中,R21 表示碳數6~14的芳香族烴基,R22 表示R21 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m表示0以上且mA以下的整數,mA係R21 中的芳香族烴基的最大取代數,R23 表示4價的有機基,R24 分別獨立地表示1價的取代基。 <2>如<1>所述之著色樹脂組成物,其中,上述樹脂包含選自包含重複單元1-1a及重複單元1-2a之群組中之至少一種重複單元,該重複單元1-1a由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團R1a ,且該重複單元1-2a由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為上述R1a 。 <3>如<1>或<2>所述之著色樹脂組成物,其中,上述樹脂包含選自包含重複單元1-1b及重複單元1-2b之群組中之至少一種重複單元,該重複單元1-1b由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團R1b ,該重複單元1-2b由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為上述R1b 。 <4>如<1>至<3>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述樹脂包含選自包含重複單元1-1c及重複單元1-2c之群組中之至少一種重複單元,該重複單元1-1c由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為碳數12以上的基團R1c ,該重複單元1-2c由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為上述R1c 。 <5>如<4>所述之著色樹脂組成物,其中,上述R1c 包含選自包含源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元、源自芳香族乙烯基化合物之重複單元及聚酯結構之群組中之至少一種。 <6>如<1>至<5>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述R13 及R23 為包含脂環式結構之基團,或包含氟原子及芳香環結構之基團。 <7>如<1>至<6>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述R24 係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團、包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團或碳數12以上的基團。 <8>如<1>至<7>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述樹脂的酸值為20~150mgKOH/g。 <9>如<1>至<8>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述樹脂的C=C值為0.1mmol/g~3mmol/g。 <10>如<1>至<9>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述樹脂的重量平均分子量為5,000~20,000。 <11>如<1>至<10>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,作為上述樹脂,包含下述樹脂1及下述樹脂2, 樹脂1:係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基、以及選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之樹脂, 樹脂2:係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸性基、以及碳數12以上的基團之樹脂。 <12>如<1>至<11>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述色材為有機顏料。 <13>如<1>至<12>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述色材包含選自彩色色材及近紅外線吸收色材之至少一種。 <14>如<1>至<13>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述色材包含彩色色材及近紅外線吸收色材。 <15>如<1>至<14>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述色材包含黑色色材。 <16>如<1>至<15>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述色材包含選自包含紅色色材、黃色色材、藍色色材及紫色色材之群組中之至少一種色材。 <17>如<1>至<16>之任一個所述之著色樹脂組成物,其係還包含光聚合起始劑。 <18>如<17>所述之著色樹脂組成物,其中,光聚合起始劑為肟起始劑。 <19>如<1>至<18>之任一個所述之著色樹脂組成物,其中,上述溶劑包含選自包含丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、環己酮、環戊酮、乙酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丁醇、甲基異丁基酮及二丙二醇單甲醚之群組中之至少一種溶劑。 <20>如<1>至<19>之任一個所述之著色樹脂組成物,其係用於基於光微影法的圖案形成。 <21>如<1>至<20>之任一個所述之著色樹脂組成物,其係用於固體攝像元件。 <22>一種膜,其係由<1>至<21>之任一個所述之著色樹脂組成物獲得。 <23>一種濾色器,其係包含<22>所述之膜。 <24>一種固體攝像元件,其係包含<22>所述之膜。 <25>一種圖像顯示裝置,其係包含<22>所述之膜。 <26>一種聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物,其係包含由下述式(2-1)或下述式(2-2)表示之重複單元, [化學式2]
Figure 02_image005
式(2-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,L1 表示由下述式(L-1)、下述式(L-2)或下述式(L-3)表示之基團,P1 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,n1為1或2,R14 表示R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m1表示0以上且nA1以下的整數,nA1係從R11 中的芳香族烴基的最大取代數減去n1之數,R13 表示4價的有機基, 式(2-2)中,R21 表示碳數6~14的芳香族烴基,L2 表示由下述式(L-1)、下述式(L-2)或下述式(L-3)表示之基團,P2 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,n2為1或2,R25 表示R21 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m2表示0以上且nA2以下的整數,nA2係從R21 中的芳香族烴基的最大取代數減去n2之數,R23 表示4價的有機基,R24 分別獨立地表示1價的取代基, [化學式3]
Figure 02_image007
式(L-1)、式(L-2)或式(L-3)中,X1 表示-O-或-NRN -,L3 表示單鍵或-O-、-NRN -、-S-、-C(=O)-、-NRN (C=O)O-、-CH2 -CH(OH)-CH2 -、烴基或組合該等中的2個以上之基團,*表示與R11 或R21 的鍵結部位,●表示與P1 或P2 的鍵結部位,RN 表示氫原子或烴基。 [發明效果]
依本發明,可提供一種能夠實現製造膜之後的製程的製程窗的擴大之新型的著色樹脂組成物、膜、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
以下,對本發明的主要實施形態進行說明。然而,本發明並不限定於明確描述之實施形態。 本說明書中,“~”以包括記載於其前後之數值作為下限值及上限值之含義來使用。 關於本說明書中的基團(原子團)的標記,未標有經取代及未經取代之標記包括不具有取代基之基團(原子團),而且還包括具有取代基之基團(原子團)。例如,“烷基”不僅包括不具有取代基之烷基(未經取代烷基),而且還包括具有取代基之烷基(經取代烷基)。 關於本說明書中的“曝光”,除非另有指明,則不僅包括使用光之曝光,使用電子束及離子束等粒子束之描繪亦包括在曝光中。又,作為用於曝光之光,可舉出水銀燈的明線光譜、準分子雷射為代表之遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X射線及電子束等光化射線或放射線。 本說明書中,(甲基)烯丙基表示烯丙基及甲基烯丙基兩者或任一者,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯兩者或任一者,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸兩者或任一者,“(甲基)丙烯醯基”表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基兩者或任一者。 本說明書中,重量平均分子量及數平均分子量為藉由GPC(凝膠滲透層析法)來測定之聚苯乙烯換算值。 本說明書中,近紅外線係指波長700~2500nm的光。 本說明書中,總固體成分係指從組成物的所有成分中去除溶劑之成分的總質量。 本說明書中,“製程”這一用語不僅指獨立之製程,而且即使在無法與其他製程明確區分的情況下,只要可實現該製程的預期作用,則亦包括在本用語中。 在本說明書中,較佳形態的組合為更佳形態。
(著色樹脂組成物) 本發明的著色樹脂組成物包含樹脂、色材及溶劑, 上述樹脂係包含由下述式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物, 上述色材的含量相對於組成物的總固體成分為30質量%以上。 以下,還將上述聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物統稱為“特定樹脂”。 [化學式4]
Figure 02_image009
式(1-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,R12 表示R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,n表示0以上且nA以下的整數,nA係R11 中的芳香族烴基的最大取代數,R13 表示4價的有機基, 式(1-2)中,R21 表示由下述式(R-1)表示之基團,R22 表示R21 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m表示0以上且mA以下的整數,mA係R21 中的芳香族烴基的最大取代數,R23 表示4價的有機基,R24 分別獨立地表示1價的取代基。
本發明的著色樹脂組成物含有高濃度(30質量%以上)的色材、樹脂及溶劑。 本發明人等進行深入研究之結果發現,在包含該種高濃度的色材、樹脂及溶劑之著色樹脂組成物中,作為樹脂,使用從先前使用之丙烯酸樹脂時,在進行需要高溫(例如300℃以上)的加熱處理之製程之情況下,所獲得之組成物膜的膜收縮率變高,在形成於所獲得之組成物膜上之其他膜(例如無機膜)上發生裂痕等,而製造膜之後的製程的製程窗變窄。 推測這是因為丙烯酸樹脂因高溫而分解。 因此,本發明人等進行深入研究之結果發現,藉由作為樹脂使用包含由式(1-1)或式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物,能夠抑制上述裂痕的發生等,而擴大製造膜之後的製程的製程窗。 雖然獲得上述效果之機理不明確,但是認為藉由包含包括上述特定重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物之著色樹脂組成物而獲得之膜在需要高溫加熱處理之製程中亦抑制上述樹脂的分解。因此,推測為抑制上述膜的因加熱引起之收縮,且不易發生裂痕等,從而能夠將使用著色樹脂組成物製造膜之後的製程中的加熱溫度的適用範圍擴大至更高溫(例如300℃以上),並能夠擴大製造膜之後的製程的製程窗。
使用本發明的著色樹脂組成物在200℃下加熱30分鐘以形成厚度0.60μm的膜時,在氮氣氣氛下對上述膜以300℃加熱處理5小時後的膜的厚度為加熱處理前的膜的70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。 並且,在氮氣氣氛下對上述膜以350℃加熱處理5小時之後的膜的厚度為加熱處理前的膜的厚度的70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。 並且,在氮氣氣氛下對上述膜以400℃加熱處理5小時之後的膜的厚度為加熱處理前的膜的厚度的70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。 上述物理性質能夠藉由調整所使用之特定樹脂或其他樹脂的種類或含量等之方法來實現。
又,使用本發明的著色樹脂組成物在200℃下加熱30分鐘以形成厚度0.60μm的膜時,在氮氣氣氛下對上述膜以300℃加熱處理5小時時,加熱處理後的膜的由下述式(1)表示之吸光度的變化率ΔA為50%以下為較佳,45%以下為更佳,40%以下為進一步較佳,35%以下為特佳。 ΔA(%)=|100-(A2/A1)×100|・・・・・・(1) ΔA為加熱處理後的膜的吸光度的變化率, A1為加熱處理前的膜在波長400~1100nm的範圍內的吸光度的最大值, A2為加熱處理後的膜的吸光度,其為表示加熱處理前的膜在波長400~1100nm的範圍內的吸光度的最大值之波長的吸光度。 上述物理性質能夠藉由調整所使用之特定樹脂或其他樹脂的種類或含量等之方法來實現。
又,使用本發明的著色樹脂組成物在200℃下加熱30分鐘以形成厚度0.60μm的膜時,表示上述膜在波長400~1100nm的範圍內的吸光度的最大值之波長λ1與表示在氮氣氣氛下對上述膜以300℃加熱處理5小時之後的膜的吸光度的最大值之波長λ2之差的絕對值為50nm以下為較佳,45nm以下為更佳,40nm以下為進一步較佳。 上述物理性質能夠藉由調整所使用之特定樹脂或其他樹脂的種類或含量等之方法來實現。
又,使用本發明的著色樹脂組成物在200℃下加熱30分鐘以形成厚度0.60μm的膜時,在氮氣氣氛下對上述膜以300℃熱處理5小時時,加熱處理後的膜在波長400~1100nm的範圍內的吸光度的變化率ΔAλ 的最大值為30%以下為較佳,27%以下為更佳,25%以下為進一步較佳。另外,吸光度的變化率為依據下述式(2)計算出之值。 ΔAλ =|100-(A2λ /A1λ )×100|……(2) ΔAλ 為加熱處理後的膜在波長λ下的吸光度的變化率, A1λ 為加熱處理前的膜在波長λ下的吸光度, A2λ 為加熱處理後的膜在波長λ下的吸光度。 上述物理性質能夠藉由調整所使用之特定樹脂或其他樹脂的種類或含量等之方法來實現。
又,本發明的著色樹脂組成物係塗佈於玻璃基板並在100℃下加熱120秒鐘而形成膜厚0.6μm的膜時,上述膜的波長400nm下的透射率成為80%以上之組成物為較佳。又,上述膜的波長450nm下的透射率為90%以上為較佳。更佳形態為,上述膜的波長400nm下的透射率為90%以上,且波長450nm下的透射率為95%以上。
本發明的著色樹脂組成物能夠用於濾色器、近紅外線透過濾波器、近紅外線截止濾波器、黑矩陣、遮光膜等。
作為濾色器,可舉出具有透射特定波長的光之著色像素之濾波器,具有選自紅色像素、藍色像素、綠色像素、黃色像素、藍色像素及品紅色像素中之至少一種著色像素之濾波器為較佳。濾色器能夠使用含彩色色材之著色樹脂組成物來形成。
作為近紅外線截止濾波器,可舉出在波長700~1800nm的範圍內具有極大吸收波長之濾波器。近紅外線截止濾波器為在波長700~1300nm的範圍內具有極大吸收波長之濾波器為較佳,在波長700~1100nm的範圍內具有極大吸收波長之濾波器為更佳。又,近紅外線截止濾波器在波長400~650nm的整個範圍內的透射率為70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。又,在波長700~1800nm的範圍的至少一個點上的透射率為20%以下為較佳。又,近紅外線截止濾波器在極大吸收波長下的吸光度Amax與波長550nm下的吸光度A550之比亦即吸光度Amax/吸光度A550為20~500為較佳,50~500為更佳,70~450為進一步較佳,100~400為特佳。近紅外線截止濾波器能夠使用含有近紅外線吸收色材之著色樹脂組成物來形成。
近紅外線透過濾波器為透射近紅外線的至少一部分之濾波器。近紅外線透過濾波器可以係透射可見光和近紅外線中的任一種之濾波器(透明膜),亦可以係遮蔽可見光的至少一部分而透射近紅外線的至少一部分之濾波器。作為近紅外線透過濾波器,可較佳地舉出滿足波長400~640nm的範圍內的透射率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下),波長1100~1300nm的範圍內的透射率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之光譜特性之濾波器等。近紅外線透過濾波器為滿足以下(1)~(4)中的任一種光譜特性之濾波器為較佳。 (1):波長400~640nm的範圍內的透射率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下),波長800~1300nm的範圍內的透射率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。 (2):波長400~750nm的範圍內的透射率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下),波長900~1300nm的範圍內的透射率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。 (3):波長400~830nm的範圍內的透射率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下),波長1000~1300nm的範圍內的透射率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。 (4):波長400~950nm的範圍內的透射率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下),波長1100~1300nm的範圍內的透射率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。
本發明的著色樹脂組成物能夠較佳地用作濾色器用的著色樹脂組成物。具體而言,能夠較佳地用作濾色器的像素形成用著色樹脂組成物,能夠更佳地用作濾色器的紅色或藍色像素形成用的著色樹脂組成物。又,本發明的著色樹脂組成物能夠較佳地用作用於固體攝像元件之濾色器的像素形成用的著色樹脂組成物。
在本發明的著色樹脂組成物塗佈於玻璃基板,並在100℃下加熱120秒鐘以形成膜厚0.6μm的膜時,上述膜在波長400~1100nm內的透射率的最大值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上,進一步較佳為85%以上),最小值為30%以下(較佳為25%以下,更佳為20%以下,進一步較佳為15%以下)為較佳。能夠形成滿足上述光譜特性之膜之著色樹脂組成物,能夠特佳地用作濾色器、近紅外線透過濾波器或近紅外線截止濾波器形成用的著色樹脂組成物。
又,本發明的著色樹脂組成物為基於光微影法的圖案形成用的著色樹脂組成物亦較佳。依該形態,能夠輕鬆地形成微細尺寸的像素。因此,能夠特佳地用作用於固體攝像元件之濾色器的像素形成用的著色樹脂組成物。例如,含有具有聚合性基之成分(例如,具有聚合性基之樹脂或聚合性化合物)和光聚合起始劑之著色樹脂組成物能夠較佳地用作基於光微影法的圖案形成用的著色樹脂組成物。基於光微影法的圖案形成用的著色樹脂組成物還包含鹼可溶性樹脂(例如、後述之樹脂1或後述之鹼顯影性樹脂)亦較佳。
以下,對本發明的著色樹脂組成物中所使用之各成分進行說明。
<色材> 本發明的著色樹脂組成物含有色材。作為色材,可舉出白色色材、黑色色材、彩色色材、近紅外線吸收色材。另外,本發明中,白色色材不僅包括純白色,還包括接近白色的鮮亮的灰色(例如灰白色、淺灰色等)的色材。 又,色材包含選自包含彩色色材、黑色色材及近紅外線吸收色材之群組中之至少一種色材為較佳,包含選自包含彩色色材及近紅外線吸收色材之群組中之至少一種色材為更佳,包含彩色色材為進一步較佳,包含選自包含紅色色材、黃色色材、藍色色材及紫色色材之群組中之至少一種色材為進一步較佳。 又,色材包含黑色色材為較佳。
又,色材包含彩色色材及近紅外線吸收色材為較佳,包含2種以上彩色色材和近紅外線吸收色材為更佳。 又,色材包含黑色色材及近紅外線吸收色材亦較佳。 依該形態,能夠將本發明的著色樹脂組成物較佳地用作近紅外線透過濾波器形成用的著色樹脂組成物。 關於該等色材的組合,能夠參閱日本特開2013-077009號公報、日本特開2014-130338號公報、國際公開第2015/166779號等。
作為色材,可舉出染料及顏料,從耐熱性的觀點考慮,顏料為較佳。又,顏料可以係無機顏料、有機顏料中的任一種,但從顏色變化的多樣性、分散的容易性、安全性等觀點考慮,有機顏料為較佳。又,顏料含有選自彩色顏料及近紅外線吸收顏料之至少一種為較佳,含彩色顏料為更佳。
又,顏料係含有選自酞菁顏料、雙㗁𠯤顏料、喹吖酮顏料、蒽醌顏料、苝顏料、偶氮顏料、二酮吡咯并吡咯顏料、吡咯并吡咯顏料、異吲哚啉顏料及喹啉黃顏料之至少一種顏料為較佳,含有選自酞菁顏料、二酮吡咯并吡咯顏料及吡咯并吡咯顏料之至少一種顏料為更佳,含有酞菁顏料或二酮吡咯并吡咯顏料者為進一步較佳。又,出於容易形成加熱至高溫(例如300℃以上)之後光譜特性亦不易變動的膜之理由,酞菁顏料為不具有中心金屬的酞菁顏料,或作為中心金屬具有銅或鋅之酞菁顏料為較佳。
又,出於容易形成著色樹脂組成物中所包含之色材加熱至高溫(例如300℃以上)之後光譜特性亦不易變動的膜之理由,含有選自紅色顏料、黃色顏料及藍色顏料之至少一種為較佳,含有選自紅色顏料及藍色顏料之至少一種為更佳,含有藍色顏料為進一步較佳。
著色樹脂組成物中所包含之色材含有以下所示之條件1之顏料A為較佳。藉由使用該種特性之色材,能夠形成加熱至高溫(例如300℃以上)之後光譜特性亦不易變動的膜。著色樹脂組成物中所包含之顏料總量中的顏料A的比例為20~100質量%為較佳,30~100質量%為更佳,40~100質量%為進一步較佳。
條件1) 使用含有6質量%的顏料A、10質量%的樹脂B-5、84質量%的丙二醇單甲醚乙酸酯之組成物,在200℃下加熱30分鐘以形成厚度0.60μm的膜時,在氮氣氣氛下對上述膜以300℃加熱處理5小時時,加熱處理後的膜的由下述式(10)表示之吸光度的變化率ΔA10為50%以下, ΔA10=|100-(A12/A11)×100|……(10) ΔA10為加熱處理後的膜的吸光度的變化率, A11為加熱處理前的膜在波長400~1100nm的範圍內的吸光度的最大值, A12為加熱處理後的膜的吸光度,其為加熱處理前的膜在表示波長400~1100nm的範圍內的吸光度的最大值之波長的吸光度, 樹脂B-5為下述結構的樹脂,主鏈上所標記之數值為莫耳比,重量平均分子量為11000,酸值為32mgKOH/g。 [化學式5]
Figure 02_image011
作為滿足上述條件1之顏料A,可舉出C.I.Pigment Red 254、C.I.Pigment Red 264、Pigment Red 272、Pigment Red 122、Pigment Red 177、C.I.Pigment Blue 15:3、C.I.Pigment Blue 15:4、C.I.Pigment Blue 15:6、C.I.Pigment Blue 16等。
顏料的平均一次粒徑為1~200nm為較佳。下限為5nm以上為較佳,10nm以上為更佳。上限為180nm以下為較佳,150nm以下為更佳,100nm以下為進一步較佳。只要顏料的平均一次粒徑在上述範圍內,則著色樹脂組成物中的顏料的分散穩定性便良好。另外,本發明中,能夠藉由透過型電子顯微鏡觀察顏料的一次粒子,並依據所獲得之照片求出顏料的一次粒徑。具體而言,求出顏料的一次粒子的投影面積,並將與此相對應之圓當量徑作為顏料的一次粒徑來計算。又,本發明中的平均一次粒徑設為400個顏料的一次粒子的一次粒徑的算術平均值。又,顏料的一次粒子係指沒有凝聚的獨立之粒子。
(彩色色材) 作為彩色色材,可舉出在波長400~700nm的範圍內具有極大吸收波長之色材。例如,可舉出黃色色材、橙色色材、紅色色材、綠色色材、紫色色材、藍色色材等。從耐熱性的觀點考慮,彩色色材為顏料(彩色顏料)為較佳,紅色顏料、黃色顏料及藍色顏料為更佳,紅色顏料及藍色顏料為進一步較佳。作為彩色顏料的具體例,例如可舉出以下所示者。
比色指數(C.I.)Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214,215,228,231,232(次甲基系),233(喹啉系)234(胺基酮系),235(胺基酮系),236(胺基酮系)等(以上為黃色顏料)、 C.I.Pigment Orange 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上為橙色顏料)、 C.I.Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279,294(口山口星系、Organo Ultramarine、Bluish Red),295(單偶氮系),296(重氮基系),297(胺基酮系)等(以上為紅色顏料)、 C.I.Pigment Green 7,10,36,37,58,59,62,63,64(酞菁系),65(酞菁系),66(酞菁系)等(以上為綠色顏料)、 C.I.Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42,60(三芳基甲烷系),61(口山口星系)等(以上為紫色顏料)、 C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,29,60,64,66,79,80,87(單偶氮系),88(次甲基系)等(以上為藍色顏料)。
出於容易形成加熱至高溫(例如300℃以上)之後光譜特性亦不易變動的膜之理由,該等彩色顏料中作為紅色顏料,C.I.Pigment Red 254、C.I.Pigment Red 264、Pigment Red 272、Pigment Red 122、Pigment Red 177為較佳。又,作為藍色顏料,C.I.Pigment Blue 15:3、C.I.Pigment Blue 15:4、C.I.Pigment Blue 15:6、C.I.Pigment Blue 16為較佳。
又,作為綠色色材,還能夠使用一個分子中的鹵素原子數為平均10~14個,溴原子數為平均8~12個,氯原子數為平均2~5個之鹵化鋅酞菁顏料。作為具體例,可舉出國際公開第2015/118720號中所記載之化合物。又,作為綠色顏料,還能夠使用中國專利申請公開第106909027號說明書中所記載之化合物、國際公開第2012/102395號中所記載之作為配位體具有磷酸酯之酞菁化合物、日本特開2019-008014號公報中所記載之酞菁化合物及日本特開2018-180023號公報中所記載之酞菁化合物。日本特開2019-038958號公報中所記載之化合物等。
又,作為藍色色材,還能夠使用具有磷原子之鋁酞菁化合物。作為具體例,可舉出日本特開2012-247591號公報的0022~0030段、日本特開2011-157478號公報的0047段中所記載之化合物。
又,作為黃色色材,還能夠使用日本特開2017-201003號公報中所記載之化合物、日本特開2017-197719號公報中所記載之化合物、日本特開2017-171912號公報的0011~0062段、0137~0276段中所記載之化合物、日本特開2017-171913號公報的0010~0062段、0138~0295段中所記載之化合物、日本特開2017-171914號公報的0011~0062段、0139~0190段中所記載之化合物、日本特開2017-171915號公報的0010~0065段、0142~0222段中所記載之化合物、日本特開2013-054339號公報的0011~0034段中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2014-026228號公報的0013~0058段中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2018-062644號公報中所記載之異吲哚啉化合物、日本特開2018-203798號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2018-062578號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本專利第6432077號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本專利第6432076號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2018-155881號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2018-111757號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2018-040835號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2017-197640號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2016-145282號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2014-085565號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2014-021139號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2013-209614號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2013-209435號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2013-181015號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2013-061622號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2013-054339號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2013-032486號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2012-226110號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2008-074987號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2008-081565號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2008-074986號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2008-074985號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2008-050420號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2008-031281號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本專利公開昭48-032765號公報中所記載之喹啉黃化合物、日本特開2019-008014號公報中所記載之喹啉黃化合物、由下述式(QP1)表示之化合物、由下述式(QP2)表示之化合物。 [化學式6]
Figure 02_image013
式(QP1)中,X1 ~X16 分別獨立地表示氫原子或鹵素原子,Z1 表示碳數1~3的伸烷基。作為由式(QP1)表示之化合物的具體例,可舉出日本專利第6443711號公報的0016段中所記載之化合物。 [化學式7]
Figure 02_image015
式(QP2)中,Y1 ~Y3 分別獨立地表示鹵素原子。n、m表示0~6的整數,p表示0~5的整數。(n+m)為1以上。作為由式(QP2)表示之化合物的具體例,可舉出日本專利6432077號公報的0047~0048段中所記載之化合物。
作為紅色色材,還能夠使用日本特開2017-201384號公報中所記載之結構中由至少一個溴原子所取代之二酮吡咯并吡咯化合物、日本專利第6248838號的0016~0022段中所記載之二酮吡咯并吡咯化合物、國際公開第2012/102399號中所記載之二酮吡咯并吡咯化合物、國際公開第2012/117965號中所記載之二酮吡咯并吡咯化合物、日本特開2012-229344號公報中所記載之萘酚偶氮化合物、日本專利第6516119號中所記載之化合物、日本專利第6525101號中所記載之化合物等。又,作為紅色顏料,還能夠使用具有對芳香環導入了鍵結有氧原子、硫原子或氮原子之基團之芳香環基鍵結於二酮吡咯并吡咯骨架而成之結構之化合物。作為該種化合物,由式(DPP1)表示之化合物為較佳,由式(DPP2)表示之化合物為更佳。 [化學式8]
Figure 02_image017
上述式中,R11 及R13 分別獨立地表示取代基,R12 及R14 分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基或雜芳基,n11及n13分別獨立地表示0~4的整數,X12 及X14 分別獨立地表示氧原子、硫原子或氮原子,X12 為氧原子或硫原子時,m12表示1,X12 為氮原子時,m12表示2,X14 為氧原子或硫原子時,m14表示1,X14 為氮原子時,m14表示2。作為R11 及R13 所表示之取代基,作為較佳的具體例,可舉出烷基、芳基、鹵素原子、醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、雜芳氧基羰基、醯胺基、氰基、硝基、三氟甲基、亞碸基、磺基等。
作為彩色染料,可舉出吡唑偶氮化合物、苯胺偶氮化合物、三芳基甲烷化合物、蒽醌化合物、蒽吡啶酮化合物、亞苄基化合物、氧雜菁化合物、吡唑并三唑偶氮化合物、吡啶酮偶氮化合物、花青化合物、啡噻化合物、吡咯并吡唑偶氮次甲基化合物、口山口星化合物、酞菁化合物、苯并哌喃化合物、靛藍化合物、吡咯亞甲基化合物。
彩色色材亦可以組合兩種以上來使用。又,彩色色材組合兩種以上來使用時,亦可以以兩種以上的彩色色材的組合來形成黑色。作為該種組合,例如可舉出以下(1)~(7)的形態。著色樹脂組成物中含有兩種以上的彩色色材,並且以兩種以上的彩色色材的組合呈現黑色時,本發明的著色樹脂組成物能夠較佳地用作近紅外線透過濾波器。 (1)含有紅色色材和藍色色材之形態。 (2)含有紅色色材、藍色色材及黃色色材之形態。 (3)含有紅色色材、藍色色材、黃色色材及紫色色材之形態。 (4)含有紅色色材、藍色色材、黃色色材、紫色色材及綠色色材之形態。 (5)含有紅色色材、藍色色材、黃色色材及綠色色材之形態。 (6)含有紅色色材、藍色色材及綠色色材之形態。 (7)含有黃色色材和紫色色材之形態。
(白色色材) 作為白色色材,可舉出氧化鈦、鈦酸鍶、鈦酸鋇、氧化鋅、氧化鎂、氧化鋯、氧化鋁、硫酸鋇、二氧化矽、滑石、雲母、氫氧化鋁、矽酸鈣、矽酸鋁、中空樹脂粒子、硫化鋅等無機顏料(白色顏料)。白色顏料為具有鈦原子之粒子為較佳,氧化鈦為更佳。又,白色顏料為相對於波長589nm的光之折射率為2.10以上的粒子為較佳。前述折射率為2.10~3.00為較佳,2.50~2.75為更佳。
又,白色顏料還能夠使用“氧化鈦物理性質與應用技術 清野學著 13~45頁 1991年6月25日發行、技報堂出版發行”中所記載之氧化鈦。
白色顏料不僅可以使用由單一的無機物構成之粒子,亦可以使用與其他材料合成之粒子。例如使用內部具有空位或其他材料之粒子、在核粒子上附著複數個無機粒子之粒子、由聚合物粒子而成之核粒子與由無機奈米微粒子而成之殼層所構成之核-殼複合粒子為較佳。作為由上述聚合物粒子而成之核粒子與由無機奈米微粒子而成之殼層所構成之核-殼複合粒子,例如能夠參閱日本特開2015-047520號公報的0012~0042段的記載,且該內容被編入本說明書中。
白色顏料還能夠使用中空無機粒子。中空無機粒子係指內部具有空洞之結構的無機粒子,其具有被外殼包圍之空洞之無機粒子。作為中空無機粒子,可舉出日本特開2011-075786號公報、國際公開第2013/061621號、日本特開2015-164881號公報等中所記載之中空無機粒子,且該等內容被編入本說明書中。
(黑色色材) 作為黑色色材,並無特別限定,能夠使用公知者。例如,可舉出碳黑、鈦黑、石墨等無機顏料(黑色顏料),碳黑、鈦黑為較佳,鈦黑為更佳。鈦黑係指含有鈦原子之黑色粒子,低次氧化鈦或氮氧化鈦為較佳。鈦黑能夠以提高分散性、抑制凝聚性等目的,依據需要修飾表面。例如能夠用氧化矽、氧化鈦、氧化鍺、氧化鋁、氧化鎂或氧化鋯包覆鈦黑的表面。又,還能夠用如日本特開2007-302836號公報中示出之撥水性物質進行處理。作為黑色顏料,可舉出比色指數(C.I.)Pigment Black 1,7等。鈦黑的每個粒子的一次粒徑及平均一次粒徑中的任一個較小為較佳。具體而言,平均一次粒徑為10~45nm為較佳。鈦黑還能夠用作分散物。例如,可舉出含有鈦黑粒子和二氧化矽粒子,且分散物中的Si原子與Ti原子的含有比調整在0.20~0.50的範圍內之分散物等。關於上述分散物,能夠參閱日本特開2012-169556號公報的0020~0105段的記載,且該內容被編入本說明書中。作為鈦黑的市售品的例子,可舉出鈦黑10S、12S、13R、13M、13M-C、13R-N、13M-T(產品名稱:Mitsubishi Materials Corporation製)、Tilack D(產品名稱:Ako Kasei Co.,Ltd.製)等。
又,作為黑色色材,還能夠使用雙苯并呋喃酮化合物、偶氮次甲基化合物、苝化合物、偶氮化合物等有機黑色色材。作為雙苯并呋喃酮化合物,可舉出日本特表2010-534726號公報、日本特表2012-515233號公報、日本特表2012-515234號公報等中所記載之化合物,例如能夠採用BASF SE製的“Irgaphor Black”。作為苝化合物,可舉出日本特開2017-226821號公報的0016~0020段中所記載之化合物、C.I.Pigment Black 31、32等。作為偶氮次甲基化合物,可舉出日本特開平01-170601號公報、日本特開平02-034664號公報等中所記載之化合物,例如能夠採用Dainichiseika Color & Chemicals Mfg.Co.,Ltd.製的“Chromo Fine BlackA1103”。
使用於本發明的組成物之色材可以僅為上述之黑色色材,亦可以還包含彩色色材。依該形態,容易獲得能夠形成可見區域的遮光性高的膜之組成物。作為色材併用黑色色材與彩色色材時,兩者的質量比為黑色色材:彩色色材=100:10~300為較佳,100:20~200為更佳。又,作為上述黑色色劑使用黑色顏料為較佳,作為上述彩色色劑使用彩色顏料為較佳。
作為彩色色材,可舉出紅色色材、綠色色材、藍色色材、黃色色材、紫色色材及橙色色材。 作為彩色色材,彩色顏料為較佳,作為彩色顏料,可舉出紅色顏料、綠色顏料、藍色顏料、黃色顏料、紫色顏料及橙色顏料。 又,作為彩色顏料,還能夠使用在無機顏料或有機‐無機顏料中取代了有機發色團之材料。藉由由有機發色團取代無機顏料或有機‐無機顏料,能夠容易設計色相。關於顏料A,較佳地使用包含選自紅色顏料、藍色顏料及黃色顏料之至少一種顏料,更佳地使用包含選自藍色顏料及黃色顏料之至少一種顏料,進一步較佳地使用包含藍色顏料者。依該形態,容易形成可見區域的遮光性優異的膜。又,藉由使用藍色顏料,能夠形成耐光性優異之膜。又,藉由使用黃色顏料,能夠實現所獲得之膜的可見透射率的均勻化。
從容易形成耐光性優異之膜之理由而言,藍色顏料係酞菁化合物為較佳。又,藍色顏料可舉出比色指數(C.I.)顏料藍1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,29,60,64,66,79,80,87(單偶氮系),88(次甲基/聚次甲基系)、選自C.I.顏料藍15:3、C.I.顏料藍15:6及C.I.顏料藍16之至少一種為較佳,C.I.顏料藍15:6為更佳。
又,作為藍色顏料,還能夠使用具有磷原子之鋁酞菁化合物。作為該種化合物,可舉出配位體為磷酸酯之鋁酞菁化合物等。作為具有磷原子之鋁酞菁化合物的具體例,可舉出日本特開2012-247591號公報的0022~0030段、日本特開2011-157478號公報的0047段中所記載之化合物。
作為黃色顏料,可舉出偶氮化合物、喹啉黃化合物、異吲哚啉酮化合物、異吲哚啉化合物、蒽醌化合物等,異吲哚啉化合物為較佳。又,黃色顏料可舉出C.I.顏料黃1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214,231,232(次甲基/聚次甲基系)等。
又,作為黃色顏料,能夠使用日本特開2017-201003號公報中所記載之顏料、日本特開2017-197719號公報中所記載之顏料。又,作為黃色顏料,還能夠使用金屬偶氮顏料,其包含選自由下述式(I)表示之偶氮化合物及其互變異構結構的偶氮化合物之至少一種陰離子、2種以上金屬離子及三聚氰胺化合物。 [化學式9]
Figure 02_image019
式中,R1 及R2 分別獨立地為-OH或-NR5 R6 ,R3 及R4 分別獨立地為=O或=NR7 ,R5 ~R7 分別獨立地為氫原子或烷基。R5 ~R7 所表示之烷基的碳數為1~10為較佳,1~6為更佳,1~4為進一步較佳。烷基可以為直鏈、支鏈及環狀中的任一個,直鏈或支鏈為較佳,直鏈為更佳。烷基可以具有取代基。取代基為鹵素原子、羥基、烷氧基、氰基及胺基為較佳。
關於上述金屬偶氮顏料,能夠參閱日本特開2017-171912號公報的0011~0062段、0137~0276段、日本特開2017-171913號公報的0010~0062段、0138~0295段、日本特開2017-171914號公報的0011~0062段、0139~0190段、日本特開2017-171915號公報的0010~0065段、0142~0222段的記載,且該等內容被編入本說明書中。
作為紅色顏料,可舉出二酮吡咯并吡咯化合物、蒽醌化合物、偶氮化合物、喹吖啶酮化合物等,二酮吡咯并吡咯化合物為較佳。又,作為紅色顏料,可舉出C.I.顏料紅1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279,294(口山口星系、Organo Ultramarine、Bluish Red)等。
又,作為紅色顏料,還能夠使用日本特開2017-201384號公報中所記載之結構中至少1個溴原子所取代之二酮吡咯并吡咯系顏料、日本專利第6248838號的0016~0022段中所記載之二酮吡咯并吡咯系顏料等。又,作為紅色顏料,還能夠使用具有對芳香環導入了鍵結有氧原子、硫原子或氮原子之基團之芳香環基鍵結於二酮吡咯并吡咯骨架而成之結構之化合物。
作為橙色顏料,可舉出C.I.顏料橙2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等。作為紫色顏料,可舉出C.I.顏料紫1,19,23,27,32,37,42,60(三芳基甲烷系),61(口山口星系)等。作為綠色顏料,可舉出C.I.顏料綠7,10,36,37,58,59,62,63等。又,作為綠色顏料,還能夠使用一個分子中的鹵素原子數為平均10~14個,溴原子為平均8~12個,氯原子為平均2~5個之鹵化鋅酞菁顏料。作為具體例,可舉出國際公開第2015/118720號中所記載之化合物。
作為有機黑色色材與彩色色材的較佳組合,例如可舉出如下。 (A-1)含有有機黑色色材及藍色色材之形態。 (A-2)含有有機黑色色材、藍色色材及黃色色材之形態。 (A-3)含有有機黑色色材、藍色色材、黃色色材及紅色色材之形態。 (A-4)含有有機黑色色材、藍色色材、黃色色材及紫色色材之形態。
在上述(A-1)之形態中,有機黑色色材與藍色色材的質量比為,有機黑色色材:藍色色材=100:1~70為較佳,100:5~60為更佳,100:10~50為進一步較佳。 在上述(A-2)之形態中,有機黑色色材、藍色色材及黃色色材的質量比為有機黑色色材:藍色色材:黃色色材=100:10~90:10~90為較佳,100:15~85:15~80為更佳,100:20~80:20~70為進一步較佳。 在上述(A-3)之形態中,有機黑色色材、藍色色材、黃色色材及紅色色材的質量比為有機黑色色材:藍色色材:黃色色材:紅色色材=100:20~150:1~60:10~100為較佳,100:30~130:5~50:20~90為更佳,100:40~120:10~40:30~80為進一步較佳。 在上述(A-4)之形態中,有機黑色色材、藍色色材、黃色色材及紫色色材的質量比為有機黑色色材:藍色色材:黃色色材:紫色色材=100:20~150:1~60:10~100為較佳,100:30~130:5~50:20~90為更佳,100:40~120:10~40:30~80為進一步較佳。
在本發明的組成物中所使用之色材還能夠使用在超過波長700nm且800nm以下的範圍內具有極大吸收波長之色材。該種色材作為近紅外線吸收顏料使用。藉由作為色材使用包含具有該種光譜特性之顏料者,能夠使透射所獲得之膜之光的波長更靠長波長側位移。在超過波長700nm且800nm以下的範圍內具有極大吸收波長之顏料中,波長500nm下的吸光度A1 與極大吸收波長下的吸光度A2 的比率A1 /A2 為0.08以下者為較佳,0.04以下者為更佳。
作為在超過波長700nm且800nm以下的範圍內具有極大吸收波長之顏料,可舉出吡咯并吡咯化合物、花青化合物、方酸菁化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、夸特銳烯化合物、部花青化合物、克酮鎓化合物、氧雜菁化合物、亞銨化合物、二硫醇化合物、三芳基甲烷化合物、吡咯亞甲基化合物、偶氮次甲基化合物、蒽醌化合物、二苯并呋喃酮化合物等。
本發明的組成物的總固體成分中的色材的含量為10~60質量%為較佳。下限為20質量%以上為較佳,30質量%以上為更佳。
又,色材中的上述之有機黑色色材的含量為10質量%以上,20質量%以上為較佳,30質量%以上為更佳,40質量%以上為進一步較佳,50質量%以上為更佳,60質量%以上為更進一步較佳。先前的組成物隨著有機黑色色材的含量增加趨於容易發生配管軟管內的污染,但是,本發明的組成物即使提高有機黑色色材的含量亦不易發生配管軟管內的污染,因此有機黑色色材的含量越多,本發明的效果越顯著。
又,作為色材中的有機黑色色材的醯胺系顏料的含量為10質量%以上為較佳,15質量%以上為更佳,20質量%以上為進一步較佳,30質量%以上為更佳、40質量%以上為進一步較佳,50質量%以上為特佳。
又,本發明的組成物的總固體成分中的上述之有機黑色色材的含量為5~70質量%為較佳。下限為10質量%以上為較佳,15質量%以上為更佳。上限為65質量%以下為較佳,60質量%以下為更佳。
(近紅外線吸收色材) 近紅外線吸收色材為顏料為較佳,有機顏料為更佳。又,近紅外線吸收色材在超過波長700nm且1400nm以下的範圍內具有極大吸收波長為較佳。又,近紅外線吸收色材的極大吸收波長為1200nm以下為較佳,1000nm以下為更佳,950nm以下為進一步較佳。又,近紅外線吸收色材在波長550nm下的吸光度A550 與極大吸收波長下的吸光度Amax 之比A550 /Amax 為0.1以下為較佳,0.05以下為更佳,0.03以下為進一步較佳,0.02以下為特佳。下限並無特別限定,例如能夠設為0.0001以上,還能夠設為0.0005以上。只要上述吸光度之比在上述範圍內,則能夠設為可見光透明性及近紅外線遮蔽性優異的近紅外線吸收色材。另外,本發明中,在近紅外線吸收色材的極大吸收波長及各波長下的吸光度的值為依據使用含有近紅外線吸收色材之著色樹脂組成物而形成之膜的吸收光譜求出之值。
作為近紅外線吸收色材,並無特別限定,可舉出吡咯并吡咯化合物、花青化合物、方酸菁化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、夸特銳烯化合物、部花青化合物、克酮鎓化合物、氧雜菁化合物、亞銨化合物、二硫醇化合物、三芳基甲烷化合物、吡咯亞甲基化合物、偶氮次甲基化合物、蒽醌化合物、二苯并呋喃酮化合物、二硫醇烯金屬錯合物等。作為吡咯并吡咯化合物,可舉出日本特開2009-263614號公報的0016~0058段中所記載之化合物、日本特開2011-068731號公報的0037~0052段中所記載之化合物、國際公開第2015/166873號的0010~0033段中所記載之化合物等。作為方酸菁化合物,可舉出日本特開2011-208101號公報的0044~0049段中所記載之化合物、日本專利第6065169號公報的0060~0061段中所記載之化合物、國際公開第2016/181987號的0040段中所記載之化合物、日本特開2015-176046號公報中所記載之化合物、國際公開第2016/190162號的0072段中所記載之化合物、日本特開2016-074649號公報的0196~0228段中所記載之化合物、日本特開2017-067963號公報的0124段中所記載之化合物、國際公開第2017/135359號中所記載之化合物、日本特開2017-114956號公報中所記載之化合物、日本專利6197940號公報中所記載之化合物、國際公開第2016/120166號中所記載之化合物等。作為花青化合物,可舉出日本特開2009-108267號公報的0044~0045段中所記載之化合物、日本特開2002-194040號公報的0026~0030段中所記載之化合物、日本特開2015-172004號公報中所記載之化合物、日本特開2015-172102號公報中所記載之化合物、日本特開2008-088426號公報中所記載之化合物、國際公開第2016/190162號的0090段中所記載之化合物、日本特開2017-031394號公報中所記載之化合物等。作為克酮鎓化合物,可舉出日本特開2017-082029號公報中所記載之化合物。作為亞銨化合物,例如可舉出日本特表2008-528706號公報中所記載之化合物、日本特開2012-012399號公報中所記載之化合物、日本特開2007-092060號公報中所記載之化合物、國際公開第2018/043564號的0048~0063段中所記載之化合物。作為酞菁化合物,可舉出日本特開2012-077153號公報的0093段中所記載之化合物、日本特開2006-343631號公報中所記載之酞菁氧鈦、日本特開2013-195480號公報的0013~0029段中所記載之化合物、日本專利第6081771號公報中所記載之釩酞菁化合物。作為萘酞菁化合物,可舉出日本特開2012-077153號公報的0093段中所記載之化合物。作為二硫醇烯金屬錯合物,可舉出日本專利第5733804號公報中所記載之化合物。
作為近紅外線吸收色材,又,還能夠使用日本特開2017-197437號公報中所記載之方酸菁化合物、日本特開2017-025311號公報中所記載之方酸菁化合物、國際公開第2016/154782號中所記載之方酸菁化合物、日本專利第5884953號公報中所記載之方酸菁化合物、日本專利第6036689號公報中所記載之方酸菁化合物、日本專利第5810604號公報中所記載之方酸菁化合物、國際公開第2017/213047號的0090~0107段中所記載之方酸菁化合物、日本特開2018-054760號公報的0019~0075段中所記載之含吡咯環化合物、日本特開2018-040955號公報的0078~0082段中所記載之含吡咯環化合物、日本特開2018-002773號公報的0043~0069段中所記載之含吡咯環化合物、日本特開2018-041047號公報的0024~0086段中所記載之在醯胺α位具有芳香環之方酸菁化合物、日本特開2017-179131號公報中所記載之醯胺連接型方酸菁化合物、日本特開2017-141215號公報中所記載之具有吡咯雙型方酸菁骨架或克酮鎓骨架之化合物、日本特開2017-082029號公報中所記載之二氫咔唑雙型方酸菁化合物、日本特開2017-068120號公報的0027~0114段中所記載之非對稱型化合物、日本特開2017-067963號公報中所記載之含吡咯環化合物(咔唑型)、日本專利第6251530號公報中所記載之酞菁化合物、日本特開2013-077009號公報、日本特開2014-130338號公報、國際公開公開第2015/166779號中所記載之色劑或該等文獻中所記載之色劑的組合等。
著色樹脂組成物的總固體成分中的色材的含量為30質量%以上,30~90質量%為較佳,30~80質量%為更佳,30~70質量%為進一步較佳。 又,著色樹脂組成物的總固體成分中的顏料的含量為30質量%以上為較佳,30~90質量%為較佳,30~80質量%為更佳,30~70質量%為進一步較佳。 又,色材中的染料的含量為50質量%以下為較佳,40質量%以下為更佳,30質量%以下為進一步較佳。 又,出於更容易有效地抑制將所獲得之膜加熱至高溫時的膜厚變化之理由,本發明的著色樹脂組成物實質上不含有染料亦較佳。本發明的著色樹脂組成物實質上不含有染料時,本發明的著色樹脂組成物的總固體成分中的染料的含量為0.1質量%以下為較佳,0.05質量%以下為更佳,不含有為特佳。
<特定樹脂> 本發明的著色樹脂組成物包括包含由式(1-1)或式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物(特定樹脂)。
〔式(1-1)〕 -R11 - 式(1-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,從苯環、萘環、蒽環、菲環或茀環分別去除n+2個氫原子之基團為較佳,從苯環、萘環或蒽環分別去除n+2個氫原子之基團為更佳,從苯環去除n+2個氫原子之基團為進一步較佳。
-R12 - 式(1-1)中,R12 係R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,下述R1a ~R1d 中的任一個為較佳。 又,R12 中,至少1個係R1a ~R1c 中的任一一個為較佳。 R1a :係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團 R1b :係包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團 R1c :係碳數12以上的基團 R1d :係除了上述R1a 、R1b 、R1c 之外的取代基 又,從著色樹脂組成物的透明性及硬化性的觀點考慮,R12 不具有苯酚性羥基為較佳。
<<R1a >> R1a 係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團,包含羧基之基團為較佳。 在本說明書中,磺醯胺基係指由-S(=O)2 -NRS1 2 或RS2 -S(=O)2 -NRS3 -表示之基團。上述RS1 分別獨立地表示氫原子或烴基,RS1 中的至少一個係氫原子為較佳,RS1 的兩個係氫原子為更佳。上述RS2 表示1價的取代基,烴基為較佳。上述RS3 表示氫原子或烴基,氫原子為較佳。 R1a 係由下述式(A-1)表示之基團為較佳。 [化學式10]
Figure 02_image021
式(A-1)中,La1 表示單鍵或na+1價的連接基,Aa1 分別獨立地表示羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基或羥基,na表示1以上的整數,*表示與R11 的鍵結部位。 式(A-1)中,La1 係單鍵或na+1價的烴基為較佳。作為na+1價的烴基,na+1價的脂肪族飽和烴基、na+1價的芳香族烴基或由脂肪族飽和烴基與芳香族烴基的鍵結表示之na+1價的脂肪族烴基為較佳,單鍵或na+1價的脂肪族飽和烴基為更佳。 在本說明書中,除非另有記載,「烷基」或「脂肪族烴基」的記載中包含具有直鏈狀、支鏈狀或環狀結構之所有烷基或脂肪族烴基。 作為上述na+1價的脂肪族飽和烴基,從碳數2~50的脂肪族飽和烴去除na+1個氫原子之基團為較佳,從碳數2~30的脂肪族飽和烴去除na+1個氫原子之基團為更佳,從碳數2~10的脂肪族飽和烴去除na+1個氫原子之基團為進一步較佳。 作為上述na+1價的芳香族烴基,從碳數6~20的芳香族烴去除na+1個氫原子之基團為較佳,從苯、萘或蒽去除na+1個氫原子之基團為更佳,從苯去除na+1個氫原子之基團為進一步較佳。 式(A-1)中,Aa1 表示羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基或羥基,從樹脂的透明性及組成物的硬化性的觀點考慮,羧基、磺基、磷酸基或磺醯胺基為較佳,羧基為更佳。 式(A-1)中,Aa1 係羥基時,上述羥基係苯酚性羥基為較佳。亦即,Aa1 係羥基時,La1 係單鍵,或與La1 中的Aa1 的鍵結部位係芳香族烴結構為較佳。 式(A-1)中,na表示1以上的整數,1~10的整數為較佳,1~4的整數為更佳,1或2為進一步較佳,1為特佳。 該等中,式(A-1)中,La1 係單鍵且na為1之形態為較佳,La1 係單鍵且na為1,並且Aa1 係羧基之形態為更佳。
<<R1b >> R1b 係包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團,從與後述之聚合性化合物的反應性的觀點考慮,包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基及順丁烯二醯亞胺基之群組中之至少一種硬化性基之基團為較佳,包含(甲基)丙烯醯氧基之基團為更佳。 又,在本說明書中,芳香族乙烯基係指在芳香環直接鍵結有可以具有取代基之乙烯基之基團,可舉出乙烯基苯基、乙烯基萘基、乙烯基噻吩基、乙烯基吡啶基、乙烯基咪唑基等,乙烯基苯基為較佳。 R1b 係由下述式(B-1)表示之基團為較佳。 [化學式11]
Figure 02_image023
式(B-1)中,Lb1 表示單鍵或nb+1價的連接基,Ab1 分別獨立地表示選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基,nb表示1以上的整數,*表示與R11 的鍵結部位。 式(B-1)中,Lb1 表示單鍵或nb+1價的連接基,nb+1價的連接基為較佳。作為上述nb+1價的連接基,-O-、-S-、-C(=O)-、-S(=O)2 -、P(=O)、-NRN -、-N<、-CH2 -CH(OH)-CH2 -、脂肪族飽和烴基、芳香族烴基或鍵結該等中的2個以上之基團為較佳,由下述式(B-2)~式(B-7)表示之基團為更佳。RN 表示氫原子或烴基,氫原子、烷基或芳香族烴基為較佳,氫原子或烷基為更佳,氫原子為特佳。 [化學式12]
Figure 02_image025
式(B-2)~(B-7)中,X表示-O-或-NRN -,Lb2 、Lb3 、Lb4 、Lb5 、Lb6 及Lb7 分別獨立地表示2價的連接基,Rb1 表示氫原子或取代基,Rb2 表示氫原子或取代基,*表示與R11 的鍵結部位,#表示與式(B-1)中的Ab1 的鍵結部位,b41為1或2,b42為0或1,b41+b42為2,b51為1或2,b52為0或1,b51+b52為2。又,RN 如上述。
式(B-2)~(B-7)中,Lb2 、Lb3 、Lb4 、Lb5 、Lb6 、Lb7 分別表示2價的連接基,藉由選自包含伸烷基、2價的芳香族烴環基或伸烷基、2價的芳香族烴環基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-C(=O)O-、-C(=O)S-、-C(=O)NRN -、-OC(=O)NRN -、-SC(=O)NRN -、-NRN C(=O)NRN -及-CH2 CH(OH)CH2 -之群組中之至少2個的鍵結表示之基團為較佳。RN 如上述。 在本說明書中,簡單記載為-C(=O)NRN -、-OC(=O)NRN -、-NRN C(=O)NRN -時,結構中的該等的鍵結朝向並無特別限定。 作為上述伸烷基,碳數1~20的伸烷基為較佳,碳數2~10的伸烷基為更佳。 作為上述2價的芳香族烴環基,碳數6~20的2價的芳香族烴環基為更佳,伸苯基為進一步較佳。
式(B-4)中,Rb1 表示氫原子或取代基,氫原子或烴基為較佳,氫原子或烷基為更佳,氫原子為進一步較佳。
式(B-5)中,Rb2 表示氫原子或取代基,氫原子或烴基為較佳,氫原子或烷基為更佳,氫原子為進一步較佳。
式(B-4)中,b41為1或2,1為較佳。 式(B-4)中,b42為0或1,1為較佳。 式(B-5)中,b51為1或2,1為較佳。 式(B-5)中,b52為0或1,1為較佳。
該等中,Lb1 係由下述式(B-7)表示之基團為較佳。 [化學式13]
Figure 02_image027
式(B-7)中,LB7 分別獨立地表示2價的連接基,n表示0以上的整數,*表示與R11的鍵結部位,#表示與式(B-1)中的Ab1 的鍵結部位。 式(B-7)中,LB7 分別獨立地表示伸烷基、2價的芳香族烴環基、-C(=O)NRN -、-OC(=O)NRN -、-NRN C(=O)NRN -或鍵結該等中的2個以上之基團,伸烷基為較佳。RN 如上述。 式(B-7)中,n表示0以上的整數,0~20的整數為較佳,0~10的整數為更佳,0、1或2為進一步較佳,0或1為特佳。
Ab1 分別獨立地表示選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基,從與後述之聚合性化合物的反應性的觀點考慮,選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基及順丁烯二醯亞胺基之群組中之至少一種硬化性基為較佳,(甲基)丙烯醯氧基為更佳。
nb表示1以上的整數,1~10的整數為較佳,1~4的整數為更佳,1或2為進一步較佳,1為特佳。
<<R1c >> R1c 係碳數12以上的基團,且係不符合上述R1a 及上述R1b 之基團。 R1c 係分子量為1,000以上且不具有酸基及鹼基之分子鏈為較佳。 又,R1c 包含選自包含源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元、源自芳香族乙烯基化合物之重複單元及聚酯結構之群組中之至少一種為較佳。 作為上述(甲基)丙烯酸酯化合物,(甲基)丙烯酸酯化酯化合物或(甲基)丙烯酸芳基酯化合物為較佳,(甲基)丙烯酸酯化酯化合物為更佳。 作為上述(甲基)丙烯酸酯化酯化合物中的烷基,碳數1~20的烷基為較佳,碳數1~10的烷基為更佳,碳數1~4的烷基為更佳。 作為上述(甲基)丙烯酸芳基酯化合物中的芳基,碳數6~20的芳基為較佳,苯基或萘基為更佳,苯基為進一步較佳。 作為上述(甲基)丙烯醯胺化合物,N,N-二烷基(甲基)丙烯醯胺化合物、N-單烷基丙烯醯胺化合物、N-單烷基芳基丙烯醯胺化合物、N-烷基-N-芳基(甲基)丙烯醯胺化合物或N,N-二芳基(甲基)丙烯醯胺化合物為較佳,二烷基(甲基)丙烯醯胺化合物為更佳。 作為上述N,N-二烷基(甲基)丙烯醯胺化合物、N-單烷基丙烯醯胺化合物或N-烷基-N-芳基(甲基)丙烯醯胺化合物中的烷基,碳數1~20的烷基為較佳,碳數1~10的烷基為更佳,碳數1~4的烷基為更佳。 作為上述N-單烷基芳基丙烯醯胺化合物或N,N-二芳基(甲基)丙烯醯胺化合物中的芳基,碳數6~20的芳基為較佳,苯基或萘基為更佳,苯基為進一步較佳。 作為上述芳香族乙烯基化合物,乙烯基與芳香族烴環直接鍵結之化合物或乙烯基與芳香族雜環直接鍵結之化合物為較佳,乙烯基與芳香族烴環直接鍵結之化合物為更佳,苯乙烯化合物為更佳。 作為上述芳香族烴環,碳數6~20的芳香族烴環為較佳,苯環為更佳。 作為上述芳香族雜環,環數5~20的芳香族烴環為較佳,噻吩環、咪唑環、吡啶環為更佳。 作為上述苯乙烯化合物,可舉出苯乙烯、α甲基苯乙烯、乙烯基甲苯等,苯乙烯為較佳。
R1c 係由下述式(C-1)或下述式(C-2)表示之基團為較佳。 [化學式14]
Figure 02_image029
式(C-1)及式(C-2)中,Lc1 表示單鍵或2價的連接基,Polymer表示聚合物鏈,Lc2 表示單鍵或2價的連接基,Lc3 表示伸烷基或2價的芳香族烴基,m表示1以上的整數,Rc1 表示烷基或1價的芳香族烴基,*表示與R11 的鍵結部位。
式(C-1)中,LC1 係烴基、-O-、-S-、-C(=O)-、-S(=O)2 -、P(=O)、-NRN -、-N<或鍵結該等中的2個以上之基團為較佳。 又,式(C-1)中,LC1 係單鍵或由下述式(C-3)~式(C-8)中的任一個表示之基團為較佳。 [化學式15]
Figure 02_image031
式(C-3)~(C-8)中,Lc4 、Lc5 、Lc6 、Lc7 、Lc8 及Lc9 分別獨立地表示2價的連接基,Rc2 表示氫原子或取代基,Rc3 表示氫原子或取代基,*表示與R11 的鍵結部位,#表示與式(C-1)中的硫原子的鍵結部位,c41為1或2,c42為0或1,c41+c42為2,c51為1或2,c52為0或1,c51+c52為2。 式(C-3)~式(C-8)中,Lc4 、Lc5 、Lc6 、Lc7 、Lc8 及Lc9 分別獨立地為藉由選自包含伸烷基、2價的芳香族烴環基或伸烷基、2價的芳香族烴環基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-C(=O)O-、-C(=O)NRN -、-OC(=O)NRN -、-NRN C(=O)NRN -及-CH2 CH(OH)CH2 -之群組中之至少2個的鍵結表示之基團為較佳,伸烷基為更佳。RN 如上述。 作為上述伸烷基,碳數1~20的伸烷基為較佳,碳數2~10的伸烷基為更佳。 作為上述2價的芳香族烴環基,碳數6~20的2價的芳香族烴環基為更佳,伸苯基為進一步較佳。
式(C-5)中,Rc2 表示氫原子或取代基,氫原子或烴基為較佳,氫原子或烷基為更佳,氫原子為進一步較佳。
式(C-6)中,Rc3 表示氫原子或取代基,氫原子或烴基為較佳,氫原子或烷基為更佳,氫原子為進一步較佳。
式(C-5)中,c41為1或2,1為較佳。 式(C-5)中,c42為0或1,1為較佳。 式(C-6)中,c51為1或2,1為較佳。 式(C-6)中,c52為0或1,1為較佳。
該等中,LC1 係單鍵、由式(C-3)表示之基團或由式(C-7)表示之基團為較佳,由式(C-3)表示之基團為更佳。
式(C-1)中,Polymer係包含選自包含源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元及源自芳香族乙烯基化合物之重複單元之群組中之至少一種重複單元之聚合物鏈為較佳。 又,Polymer係分子量為1,000以上且不具有酸基及鹼基之分子鏈為較佳。 相對於上述聚合物鏈中所包含之重複單元的總莫耳數,式(C-1)中的源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元及源自芳香族乙烯基化合物之重複單元的含量為70莫耳%以上為較佳,80莫耳%以上為更佳,90莫耳%以上為進一步較佳。上述含量的上限並無特別限定,只要為100莫耳%以下即可。
式(C-2)中,Lc2 除了將Lc1 的說明中的“與式(C-1)中的硫原子的鍵結部位”替換為“與式(C-2)中的Lc3 的鍵結部位”之外,與Lc1 的含義相同,較佳形態亦相同。
式(C-2)中,Lc3 表示伸烷基或2價的芳香族烴基,伸烷基為較佳。 作為上述伸烷基,碳數2~20的伸烷基為較佳,碳數2~10的伸烷基為更佳。 作為上述2價的芳香族烴基,伸苯基為較佳。
式(C-2)中,m表示1以上的整數,2~50的整數為較佳,2~30的整數為更佳。 式(C-2)中,RC1 表示烷基或1價的芳香族烴基,烷基為更佳。 作為上述烷基,碳數1~20的烷基為較佳,碳數1~10的烷基為更佳。 作為上述1價的芳香族烴基,苯基為較佳。
<<R1d >> R1d 係不符合上述R1a 、上述R1b 及上述R1c 之取代基。 作為R1d ,碳數1~10的烷基或碳數6~10的芳香族烴基為較佳,碳數1~4的烷基為更佳。 藉由R11 具有R1d ,例如能夠調整在溶劑中的溶解性等。
-二胺化合物- 又,由R12 取代之R11 係由二胺化合物誘導之結構為較佳。 作為二胺化合物,例如可舉出下述化合物。 [化學式16]
Figure 02_image033
[化學式17]
Figure 02_image035
例如、能夠藉由使該等化合物與後述之4價的羧酸化合物反應,來合成具有式(1-1)或式(1-2)中所記載之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物。 又,例如、藉由對該等化合物中的羥基、羧基、磺基、硫醇基等,進行酯化等反應,能夠導入記載為上述R12 之取代基。 該等中,作為二胺化合物,3,5-二胺基苯甲酸為較佳。
-R13 - R13 表示4價的有機基,包含脂環式結構或芳香環結構為較佳,從樹脂的透明性的觀點考慮,包含脂環式結構或氟原子及芳香環結構之基團為更佳,包含脂環式結構之基團為進一步較佳。 又,從著色樹脂組成物的透明性及硬化性的觀點考慮,R13 包含芳香環結構時,R13 不具有苯酚性羥基為較佳。
<<包含脂環式結構之基團>> 作為包含脂環式結構之基團中的脂環式結構,可以為飽和脂環式結構,但是不飽和脂環式結構為較佳。 上述脂環式結構中的環數為4~20為較佳,6~10為更佳。 又,上述脂環式結構可以係單環結構、稠環結構、交聯環結構、螺環結構中的任一個,但是單環結構或交聯環結構為較佳。 包含脂環式結構之基團係由下述式(D-1)~式(D-3)表示之基團為較佳。
[化學式18]
Figure 02_image037
式(D-1)~式(D-3)中,Cy分別獨立地表示脂環式結構,Rd1 表示直鏈狀或支鏈狀的脂肪族烴基,Xd1 表示單鍵或2價的連接基,*1 ~*4 分別表示與其他結構的鍵結部位。
式(D-1)~式(D-3)中,Cy所表示之脂環式結構的較佳形態與上述脂環式結構的較佳形態相同。 式(D-1)中,*1 與*2 、*34 存在於脂環式結構Cy中的相鄰位置為較佳。 在本說明書中,某鍵結部位和其他鍵結部位存在於環式結構中的相鄰位置係指,某鍵結部位所存在之上述環式結構中的環成員與其他鍵結部位所存在之上述環式結構中的環成員為在環式結構中相鄰之環成員。例如、環式結構為苯環結構時,相鄰位置係鄰位。 式(D-2)中,Rd1 表示直鏈狀或支鏈狀的脂肪族烴基,脂肪族飽和烴基為較佳。 上述脂肪族烴基的碳數係2~10為較佳,2~4為更佳,2為進一步較佳。 式(D-2)中,*3 與*4 在脂肪族烴基Rd1 中的相鄰之碳原子上分別存在1個為較佳。 式(D-2)中,*3 與*4 在脂環式結構Cy中的相鄰位置上存在為較佳。 式(D-3)中,Xd1 表示單鍵或2價的連接基,單鍵或可以由氟原子取代之碳數1~10的脂肪族烴基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-NHC(=O)-或組合該等中的2個以上之基團為較佳,選自可以由氟原子取代之碳數1~3的伸烷基、-O-、-C(=O)-、-S-或-S(=O)2 -之基團為更佳,-CH2 -、-O-、-S-、-S(=O)2 -、-C(CF32 -或-C(CH32 -為進一步較佳。
<<包含氟原子及芳香環結構之基團>> 作為包含氟原子及芳香環結構之基團中的芳香環結構,碳數6~30的芳香環結構為較佳,碳數6~20的芳香環結構為更佳,苯環結構為更佳。又,作為上述芳香環結構,可以為芳香族雜環結構,但是芳香族烴環結構為較佳。 包含氟原子及芳香環結構之基團可以係2個以上的上述芳香環結構由單鍵或連接基而連接之結構。作為上述連接基,可以由氟原子取代之碳數1~10的脂肪族烴基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-NHC(=O)-或組合該等中的2個以上之基團為較佳,選自可以由氟原子取代之碳數1~3的伸烷基、-O-、-C(=O)-、-S-或-S(=O)2 -之基團為更佳,-CH2 -、-O-、-S-、-S(=O)2 -、-C(CF32 -或-C(CH32 -為進一步較佳,-C(CF32 -為特佳。 氟原子可以與芳香環結構直接鍵結,但是以氟化烷基含有為較佳,以氟化烷基包含於上述連接基為更佳。作為較佳氟化烷基,可舉出由-Cx F2x+1 表示之基團。上述x為1以上的整數,1~10的整數為較佳,1~4的整數為更佳,1或2為進一步較佳,1為特佳。 作為包含氟原子及芳香環結構之基團,由下述式(E-1)表示之結構為較佳。
[化學式19]
Figure 02_image039
式(E-1)中,Ar分別獨立地表示芳香環結構,Xe1 表示包含氟原子之2價的連接基,*1 ~*4 分別表示與其他結構的鍵結部位。 式(E-1)中的Ar與上述包含氟原子及芳香環結構之基團中的芳香環結構的含義相同,較佳形態亦相同。 式(E-1)中的Xe1 係由氟原子取代之碳數1~10的伸烷基為較佳,由氟原子取代之碳數1~5的伸烷基為更佳,-C(CF32 -、-C(CF3 )(C2 F5 )-或-C(C2 F52 -為進一步較佳,-C(CF32 -為特佳。 式(D-1)中,*1 與*2 、*3 與*4 存在於芳香環結構Ar中的相鄰位置為較佳。
<<其他4價的連接基>> R13 可以係除了包含上述脂環式結構或氟原子及芳香環結構之基團之外的其他4價的連接基。 作為其他4價的連接基,可舉出包含不具有脂環式結構之脂肪族烴基之基團或包含芳香環結構而不包含氟原子之基團等。 作為包含上述不具有脂環式結構之脂肪族烴基之基團中的飽和脂肪族烴基,碳數2~20的脂肪族烴基為較佳,碳數2~10的脂肪族烴基為更佳。又,作為上述脂肪族烴基,飽和脂肪族烴基為較佳。 包含不具有脂環式結構之脂肪族烴基之基團可以係2個以上的上述脂肪族烴基由單鍵或連接基連接之結構。作為上述連接基,可以由氟原子取代之碳數1~10的脂肪族烴基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-NHC(=O)-或組合該等中的2個以上之基團為較佳,選自可以由氟原子取代之碳數1~3的伸烷基、-O-、-C(=O)-、-S-或-S(=O)2 -之基團為更佳。 作為上述包含芳香環結構而不包含氟原子之基團中的芳香環結構,碳數6~30的芳香環結構為較佳,碳數6~20的芳香環結構為更佳,苯環結構為更佳。又,作為上述芳香環結構,可以為芳香族雜環結構,但是芳香族烴環結構為較佳。 包含芳香環結構而不包含氟原子之基團可以係2個以上的上述芳香環結構由單鍵或連接基連接之結構。作為上述連接基,不被氟原子取代之碳數1~10的脂肪族烴基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-NHC(=O)-或組合該等中的2個以上之基團為較佳,選自不被氟原子取代之碳數1~3的伸烷基、-O-、-C(=O)-、-S-或-S(=O)2 -之基團為更佳。
又,R13 係由下述式(I-1)~式(I-28)中的任一個表示之結構為較佳。 [化學式20]
Figure 02_image041
式(I-1)~(I-28)中,X1 ~X3 表示單鍵或2價的連接基,L表示-CH=CH-或-CH2 -,R1 及R2 分別獨立地表示氫原子或取代基,R1 及R2 可以鍵結而形成環結構,*表示與其他結構的鍵結部位。 式(I-1)~(I-28)中,X1 ~X3 表示單鍵或2價的連接基,單鍵或-C(Rx)2 -(Rx表示氫原子或取代基。Rx為取代基時,可以相互連接而形成環)、-O-、-S(=O)2 -、-C(=O)、-S-、-NRN -、伸苯基或該等的組合為較佳,單鍵或-C(Rx)2 -為更佳。Rx表示取代基時,作為其具體例,可舉出可以由氟原子取代之烷基。 式(I-1)~(I-28)中,L表示-CH=CH-或-CH2 -,-CH=CH-為較佳。 式(I-1)~(I-28)中,R1 及R2 分別獨立地表示氫原子或烷基為較佳,氫原子、甲基或乙基為更佳,氫原子為進一步較佳。
該等中,R13 係由下述式(I-29)~式(I-32)表示之基團為較佳,由(I-30)~式(I-32)表示之基團為更佳,由(I-31)或式(I-32)表示之基團為進一步較佳。 [化學式21]
Figure 02_image043
R13 係由4價的羧酸誘導之結構為較佳。 作為上述4價的羧酸,可舉出在上述式(I-1)~(I-31)中,將*替換為羧基之化合物。又,在上述化合物中,可以使羧基中的至少2個脫水,羧基可以與其他化合物形成鹽,羧基可以與其他結構形成酯,亦可以經鹵化而成為羧酸鹵(例如羧醯氯)。
〔式(1-2)〕 -R21 、R22 、m、R23 - 式(1-2)中,R21 、R22 、m及R23 分別與式(1-1)中的R11 、R12 、n及R13 的含義相同,較佳形態亦相同。 上述R12 的說明中的“R11 ”的描述在R22 中替換為“R21 ”。
-R24 - 式(1-2)中,R24 分別獨立地為1價的取代基,包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團R2a 、包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團R2b 或碳數12以上的基團R2c 為較佳。又,R24 可以為除了上述R2a 、R2b 、R2c 以外的取代基R2d
<<R2a >> R2a 係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團,羥基或由下述式(A2-1)表示之基團為較佳,羥基為更佳。 [化學式22]
Figure 02_image045
式(A2-1)中,Xa2 表示-O-或-NRN -,La2 表示單鍵或na2+1價的連接基,Aa2 分別獨立地表示羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基或羥基,na2表示1以上的整數,*表示與R11 的鍵結部位,*表示與式(1-2)中的R24 所鍵結之羰基的鍵結部位,RN 如上述。
式(A2-1)中,Xa2 表示-O-或-NRN -,-O-為較佳。 式(A2-1)中,La2 、Aa2 及na2分別與上述式(A-1)中的La1 、Aa1 及na的含義相同,較佳形態亦相同。
<<R2b >> R2b 係包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團,從與後述之聚合性化合物的反應性的觀點考慮,包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基及順丁烯二醯亞胺基之群組中之至少一種硬化性基之基團為較佳,包含(甲基)丙烯醯氧基之基團為更佳。 又,R2b 係由下述式(B2-1)表示之基團為較佳。 [化學式23]
Figure 02_image047
式(B2-1)中,Xb2 表示單鍵、-O-或-NRN -,La2 表示單鍵或nb2+1價的連接基,Ab2 分別獨立地表示選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基,nb2表示1以上的整數,*表示與式(1-2)中的R24 所鍵結之羰基的鍵結部位,RN 如上述。
式(B2-1)中,Xb2 表示單鍵、-O-或-NRN -,-O-為較佳。 式(B2-1)中,La2 表示單鍵或nb2+1價的連接基,nb2+1價的連接基為較佳。作為上述nb2+1價的連接基,藉由選自包含伸烷基、2價的芳香族烴環基或伸烷基、2價的芳香族烴環基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-C(=O)O-、-C(=O)NRN -、-OC(=O)NRN -、-NRN C(=O)NRN -及-CH2 CH(OH)CH2 -之群組中之至少2個的鍵結表示之基團為較佳。RN 如上述。 作為上述伸烷基,碳數1~20的伸烷基為較佳,碳數2~10的伸烷基為更佳。 作為上述2價的芳香族烴環基,碳數6~20的2價的芳香族烴環基為更佳,伸苯基為進一步較佳。
Ab2 分別獨立地表示選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基,從與後述之聚合性化合物的反應性的觀點考慮,選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基及順丁烯二醯亞胺基之群組中之至少一種硬化性基為較佳,(甲基)丙烯醯氧基為更佳。
nb2表示1以上的整數,1~10的整數為較佳,1~4的整數為更佳,1或2為進一步較佳,1為特佳。
<<R2c >> R2c 係碳數12以上的基團,且係不符合上述R1a 及上述R1b 之基團。 R2c 係分子量為1,000以上且不具有酸基及鹼基之分子鏈為較佳。 又,R2c 包含選自包含源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元、源自芳香族乙烯基化合物之重複單元及聚酯結構之群組中之至少一種為較佳。R2c 中的該等化合物的較佳形態與上述Rc1 中的該等化合物的較佳形態相同。
又,R2c 係由下述式(C2-1)或下述式(C2-2)表示之基團為較佳。
[化學式24]
Figure 02_image049
式(C2-1)及式(C2-2)中,Xc2 表示-O-或-NRN -,LC21 表示2價的連接基,Polymer表示聚合物鏈,Lc22 表示單鍵或2價的連接基,Lc23 表示伸烷基或2價的芳香族烴基,m表示1以上的整數,Rc21 表示烷基或1價的芳香族烴基,*表示與式(1-2)中的R24 所鍵結之羰基的鍵結部位,RN 如上述。
式(C2-1)及式(C2-2)中,Xc2 表示-O-或-NRN -,-O-為較佳。 式(C2-1)中,Lc21 表示2價的連接基,藉由選自包含伸烷基、2價的芳香族烴環基或伸烷基、2價的芳香族烴環基、-O-、-C(=O)-、-S-、-S(=O)2 -、-C(=O)O-、-C(=O)NRN -、-OC(=O)NRN -、-NRN C(=O)NRN -及-CH2 CH(OH)CH2 -之群組中之至少2個的鍵結表示之基團為較佳,伸烷基為更佳。RN 如上述。 式(C2-1)中,Polymer與式(C-1)中的Polymer的含義相同,較佳形態亦相同。 式(C2-2)中,Lc22 表示單鍵或2價的連接基,2價的連接基為較佳。上述2價的連接基與上述Lc21 中的2價的連接基的含義相同,較佳形態亦相同。 式(C2-2)中,Lc23 、m及Rc21 分別與式(C-2)中的Lc3 、m及Rc1 的含義相同,較佳形態亦相同。
<<R2d >> R2d 係不符合上述R2a 、上述R2b 及上述R2c 之取代基。 R2d 係碳數1~10的烷氧基或碳數6~10的芳氧基為較佳,碳數1~4的烷氧基為更佳。
-n- n表示0以上且nA以下的整數,1~3為較佳,1或2為更佳,1為進一步較佳。 nA係R11 中的芳香族烴基的最大取代數。 R11 的最大取代數係指由R11 表示之環數5~30的芳香族基能夠具有之最大的取代基個數,R11 為苯環結構時,最大取代數為4。以下,上述內容在最大取代數的說明中相同。
-m- m表示0以上且mA以下的整數,1~3為較佳,1或2為更佳,1為進一步較佳。 mA係R21 中的芳香族烴基的最大取代數。
該等形態中,從顯影性的觀點考慮,包含由式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物包含選自包含重複單元1-1a及重複單元1-2a之群組中之至少一種重複單元為較佳,該重複單元1-1a由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團R1a ,該重複單元1-2a由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為上述R1a 。 從圖案形成性的觀點考慮,包含由式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物包含選自包含重複單元1-1b及重複單元1-2b之群組中之至少一種重複單元為較佳,該重複單元1-1b由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團R1b ,該重複單元1-2b由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為上述R1b 。 從分散保存穩定性的觀點考慮,包含由式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物包含選自包含重複單元1-1c及重複單元1-2c之群組中之至少一種重複單元為較佳,該重複單元1-1c由(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為碳數12以上的基團R1c ,該重複單元1-2c由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為上述R1c
〔式(2-1)或式(2-2)〕 又,特定樹脂係包含由下述式(2-1)或下述式(2-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物為較佳。 由式(2-1)表示之重複單元係由式(1-1)表示之重複單元的較佳形態,由式(2-2)表示之重複單元係由式(1-2)表示之重複單元的較佳形態。 [化學式25]
Figure 02_image051
式(2-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,L1 表示由下述式(L-1)、下述式(L-2)或下述式(L-3)表示之基團,P1 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,n1為1或2,R14 表示R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m1表示0以上且nA1以下的整數,nA1係從R11 中的芳香族烴基的最大取代數減去n1之數,R13 表示4價的有機基, 式(2-2)中,R21 表示碳數6~14的芳香族烴基,L2 表示由下述式(L-1)、下述式(L-2)或下述式(L-3)表示之基團,P2 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,n2為1或2,R25 表示R21 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m2表示0以上且nA2以下的整數,nA2係從R21 中的芳香族烴基的最大取代數減去n2之數,R23 表示4價的有機基,R24 分別獨立地表示1價的取代基, [化學式26]
Figure 02_image053
式(L-1)、式(L-2)或式(L-3)中,X1 表示-O-或-NRN -,L3 表示單鍵或-O-、-NRN -、-S-、-C(=O)-、-NRN (C=O)O-、-CH2 -CH(OH)-CH2 -、烴基或組合該等中的2個以上之基團,*表示與R11 或R21 的鍵結部位,●表示與P1 或P2 的鍵結部位,RN 表示氫原子或烴基。
-R11 、R13 、R21 、R23 及R24 - 式(2-1)及式(2-2)中,R11 、R13 、R21 、R23 及R24 分別與式(1-1)或式(1-2)中的R11 、R13 、R21 、R23 及R24 的含義相同,較佳形態亦相同。
-L1 - 式(2-1)中,L1 係由式(L-1)表示之基團為較佳。 式(L-1)中,X1 表示-O-或-NRN -,-O-為較佳。RN 如上述。 式(L-1)~式(L-3)中,L3 表示單鍵或-O-、-NRN -、-S-、-C(=O)-、-NRN (C=O)O-、-CH2 -CH(OH)-CH2 -、烴基或組合該等中的2個以上之基團,-O-、-C(=O)-、烴基或組合該等中的2個以上之基團、單鍵或由下述式(L-4)表示之基團為較佳。 尤其,P1 係與由上述式(C-1)中的Polymer表示之聚合物鏈相同的基團時,L3 係由式(C-4)表示之基團為較佳,P1 係上述式(C-2)中Lc2 為單鍵之基團時,L3 係-O-、-C(=O)-、烴基或組合該等中的2個以上之基團或單鍵為較佳。 作為上述烴基,碳數1~20的伸烷基或碳數6~20的芳香族烴基為較佳,碳數1~20的伸烷基為更佳,碳數1~4的伸烷基為進一步較佳。 [化學式27]
Figure 02_image055
式(L-4)中,L4 表示-O-、-NRN -、-S-、-C(=O)-、-NRN (C=O)O-、-CH2 -CH(OH)-CH2 -、烴基或組合該等中的2個以上之基團,-O-、-C(=O)-、烴基或組合該等中的2個以上之基團為較佳。 作為上述烴基,碳數1~20的伸烷基或碳數6~20的芳香族烴基為較佳,碳數1~20的伸烷基為更佳,碳數1~4的伸烷基為進一步較佳。 又,式(L-4)中,*表示與式(L-1)中的X1 、式(L-2)中的硫原子或式(L-3)中的氧原子的鍵結部位,●與式(L-1)~式(L-3)中的●的含義相同。
-P1 - P1 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,且係包含選自包含源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元、源自芳香族乙烯基化合物之重複單元及聚酯結構之群組中之至少一種之分子鏈為較佳。 P1 中的該等化合物的較佳形態與上述Rc1 中的該等化合物的較佳形態相同。
又,P1 係與由上述式(C-1)中的Polymer表示之聚合物鏈相同的基團或上述式(C-2)中Lc2 為單鍵之基團為較佳。
R14 表示1價的取代基,作為1價的取代基,可舉出符合上述R1d 之基團。
-n1- 式(2-1)中,n1表示1或2,1為較佳。
-m1- m1表示0以上且nA1以下的整數,0~3的整數為較佳,0為更佳。
-L2 、P2 、R25 、n2、m2- 式(2-2)中,L2 、P2 、R25 、n2、m2分別與式(2-1)中的L1 、P1 、R14 、n1、m1的含義相同,較佳形態亦相同。
〔其他重複單元〕 本發明中的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物可以進一步包含除了上述式(1-1)、式(1-2)、式(2-1)或式(2-2)之外的其他重複單元。 作為其他重複單元,例如可舉出由下述式(3-1)或式(3-2)表示之重複單元。 [化學式28]
Figure 02_image057
式(3-1)中,R31 表示除了碳數6~14的芳香族烴基之外的2價的連接基,R32 表示4價的有機基, 式(3-2)中,R33 表示除了碳數6~14的芳香族烴基之外的2價的連接基,R34 表示4價的有機基,R35 分別獨立地表示1價的取代基。
式(3-1)中,R31 表示除了碳數6~14的芳香族烴基之外的2價的連接基,由單鍵或連接基對脂肪族烴基或2個以上的烴基進行了鍵結之基團為較佳。 作為上述脂肪族烴基,碳數2~20的直鏈狀的伸烷基或碳數3~20的支鏈狀的或環狀的伸烷基為較佳,碳數2~10的伸烷基或碳數3~10的支鏈狀或環狀的伸烷基為更佳。 作為由上述連接基鍵結之烴基,可以為脂肪族烴基或芳香族烴基中的任一個,並可舉出碳數2~20的直鏈狀的伸烷基或碳數3~20的支鏈狀或環狀的伸烷基、碳數6~30的芳香族基等。 作為上述連接基,可舉出-O-、-S-、-C(CH32 -、-C(CF32 -、-C(=O)-、-S(=O)2 -、-SiR2 -(R分別獨立地表示烴基,碳數1~4的烷基或苯基為較佳。)、聚矽氧烷基(-Si(R)-(O-Si)n -、R表示烴基,碳數1~4的烷基或苯基為較佳。n表示1以上的整數,1~10為較佳)等。 式(3-1)中,R31 可以具有上述R1a ~R1d 所示之取代基。
又,從溶劑溶解性的觀點考慮,R31 係包含氟原子及芳香族基之基團為較佳。 作為上述包含氟原子及芳香族基之基團,係由連接基對2個以上的芳香族基進行了鍵結,且上述連接基為包含氟原子之連接基之基團或由單鍵或連接基對2個以上的芳香族基進行了鍵結,且上述芳香族基由包含氟原子之基團取代之基團為較佳。 作為上述包含氟原子之連接基,可舉出-C(CF32 -、-C(C2 F52 -等,-C(CF32 -為較佳。 作為上述包含氟原子之基團,氟化烷基為較佳,三氟甲基為更佳。 R31 為包含氟原子及芳香族基之基團時,例如、下述結構的基團為較佳。 [化學式29]
Figure 02_image059
上述結構中,*分別獨立地表示與其他結構的鍵結部位。
又,R31 係由二胺化合物誘導之結構為較佳。 作為二胺化合物,例如可舉出下述化合物,但並不限定於此。 又,從溶劑溶解性的觀點考慮,其中具有氟原子之二胺化合物為較佳。 [化學式30]
Figure 02_image061
式(3-1)中,R32 與上述式(1-1)中的R13 的含義相同,較佳形態亦相同。 式(3-2)中,R33 與上述式(3-1)中的R31 的含義相同,較佳形態亦相同。 式(3-2)中,R34 與上述式(1-2)中的R23 的含義相同,較佳形態亦相同。 式(3-2)中,R35 與上述式(1-2)中的R24 的含義相同,較佳形態亦相同。
〔各重複單元的含量〕 特定樹脂中,相對於特定樹脂的總重複單元,總計包含50莫耳%以上的由式(1-1)表示之重複單元及由式(3-1)表示之重複單元為較佳,包含80莫耳%以上為更佳,包含90莫耳%以上為進一步較佳,包含95莫耳%以上為特佳,100莫耳%為最佳。 又,特定樹脂可以包含由式(1-2)表示之重複單元或由式(3-2)表示之重複單元,但是相對於特定樹脂的總重複單元,上述重複單元的總計量係50莫耳%以下為較佳,20莫耳%以下為更佳,10莫耳%以下為進一步較佳,5莫耳%以下為特佳,0莫耳%為最佳。
又,特定樹脂還能夠設為,相對於特定樹脂的總重複單元,由式(3-1)或由式(3-2)表示之重複單元的含量為5莫耳%以下(較佳為3莫耳%以下,更佳為1莫耳%以下,進一步較佳為0莫耳%以下)之形態。 該情況下,特定樹脂中,相對於特定樹脂的總重複單元,總計包含50莫耳%以上的由式(1-1)表示之重複單元為較佳,包含80莫耳%以上為更佳,包含90莫耳%以上為進一步較佳,包含95莫耳%以上為特佳,100莫耳%為最佳。又,相對於特定樹脂的總重複單元,該情況下的由式(1-2)表示之重複單元的總計量係50莫耳%以下為較佳,20莫耳%以下為更佳,10莫耳%以下為進一步較佳,5莫耳%以下為特佳,0莫耳%為最佳。
相對於特定樹脂的總重複單元,特定樹脂中的由式(2-1)表示之重複單元及由式(2-2)表示之重複單元的總計含量係10~90莫耳%為較佳,20~80莫耳%為更佳,30~70莫耳%為進一步較佳。
又,特定樹脂為聚醯亞胺前驅物時,特定樹脂中,相對於特定樹脂的總重複單元,總計包含50莫耳%以上的由式(1-2)表示之重複單元及由式(3-2)表示之重複單元為較佳,包含80莫耳%以上為更佳,包含90莫耳%以上為進一步較佳,包含95莫耳%以上為特佳,100莫耳%為最佳。 又,特定樹脂為聚醯亞胺前驅物時,還能夠設為,相對於特定樹脂的總重複單元,由式(3-2)表示之重複單元的含量為5莫耳%以下(較佳為3莫耳%以下,更佳為1莫耳%以下,進一步較佳為0莫耳%以下)之形態。 該情況下,特定樹脂中,相對於特定樹脂的總重複單元,總計包含50莫耳%以上的由式(1-2)表示之重複單元為較佳,包含80莫耳%以上為更佳,包含90莫耳%以上為進一步較佳,包含95莫耳%以上為特佳,100莫耳%為最佳。
〔醯亞胺化率〕 從抑制熱收縮之觀點考慮,特定樹脂的醯亞胺化率(還稱作“閉環率”)係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳,95%以上為特佳。 上述醯亞胺化率的上限並無特別限定,只要為100%以下即可。 上述醯亞胺化率例如藉由下述方法進行測定。 測定鹼溶性聚醯亞胺的紅外吸收光譜,並求出源自醯亞胺結構的吸收峰值亦即1377cm-1 附近的峰值強度P1。接著,在350℃下對其鹼溶性聚醯亞胺進行了1小時熱處理之後,再次測定紅外吸收光譜,而求出1377cm-1 附近的峰值強度P2。能夠利用所獲得之峰值強度P1、P2,並根據下述式,而求出鹼溶性聚醯亞胺的醯亞胺化率。 醯亞胺化率(%)=(峰值強度P1/峰值強度P2)×100
〔酸基〕 從提高鹼顯影性之觀點考慮,特定樹脂具有酸基為較佳。作為酸基,可舉出羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基等。 該等酸基作為上述R1a 或R2a 導入特定樹脂為較佳。 從提高製膜性及鹼顯影性之觀點考慮,特定樹脂的酸值為0~500mgKOH/g為較佳。 上述酸值的下限為20mgKOH/g以上為較佳,30mgKOH/g以上為更佳50mgKOH/g以上為進一步較佳。 上述酸值的上限為300mgKOH/g以下為較佳,200mgKOH/g以下為更佳,150mgKOH/g以下為進一步較佳。 特定樹脂的酸值藉由與後述之實施例中的測定方法相同的方法計算。
〔乙烯性不飽和鍵〕 特定樹脂具有乙烯性不飽和鍵為較佳。 又,特定樹脂包含具有乙烯性不飽和鍵之基團為較佳。 作為具有乙烯性不飽和鍵之基團,可舉出丙烯醯基、丙烯醯氧基、丙烯醯胺基、乙烯基苯基、烯丙基等,從反應性的觀點考慮,丙烯醯氧基為較佳。 將該等具有乙烯性不飽和鍵之基團作為上述R1b 或R2b 導入到特定樹脂為較佳。 從保存穩定性及硬化性的觀點考慮,特定樹脂的C=C值為0~5mmol/g為較佳。 上述C=C值的下限為0.01mmol/g以上為較佳,0.03mmol/g以上為更佳,0.05mmol/g以上為進一步較佳,0.1mmol/g以上為特佳。 上述C=C值的上限為3mmol/g以下為較佳,2mmol/g以下為更佳,1.5mmol/g以下為進一步較佳,1mmol/g以下為特佳。 在本發明中,特定樹脂的C=C值係指1g特定樹脂中所包含之乙烯性不飽和鍵的數量,且係藉由後述之實施例中的方法所測定之值。
本發明的著色樹脂組成物中,作為特定樹脂包含選自包含下述樹脂1及下述樹脂2之群組中之至少一種樹脂為較佳,包含下述樹脂1及下述樹脂2為較佳。 藉由包含樹脂1,提高著色樹脂組成物的顯影性。 藉由包含樹脂2,提高著色樹脂組成物的保存穩定性。 樹脂1:係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基、以及選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之樹脂, 樹脂2:係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基、以及碳數12以上的基團之樹脂。 上述樹脂1可以進一步包含碳數12以上的基團。 上述樹脂2可以進一步包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基 又,上述樹脂2包含由式(2-1)或式(2-2)表示之重複單元為較佳。
上述樹脂1及上述樹脂2中的選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基係以上述R1a 或上述R2a 包含之酸基為較佳,以上述R1a 包含之酸基為更佳。 上述樹脂1及上述樹脂2中的選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基係以上述R1b 或上述R2b 包含之硬化性基為較佳,以上述R1b 包含之硬化性基為更佳。 上述樹脂1及上述樹脂2中的碳數12以上的基團係以上述R1c 或上述R2c 包含之硬化性基為較佳,以上述R1c 包含之硬化性基為更佳。
樹脂1包含由R12 為R1a 之式(1-1)表示之重複單元或者由R22 為R1a 或R24 為R2a 之式(1-2)表示之重複單元、以及由R12 為R1b 之式(1-1)表示之重複單元或者由R22 為R1b 或R24 為R2b 之式(1-2)表示之重複單元為較佳,包含由R12 為R1a 之式(1-1)表示之重複單元、以及由R12 為R1b 之式(1-1)表示之重複單元為更佳。 又,樹脂1可以包含由R12 為R1c 之式(1-1)表示之重複單元或者由R22 為R1c 或R24 為R2c 之式(1-2)表示之重複單元。
樹脂2包含由R12 為R1a 之式(1-1)表示之重複單元或者由R22 為R1a 或R24 為R2a 之式(1-2)表示之重複單元、以及由R12 為R1c 之式(1-1)表示之重複單元或者由R22 為R1c 或R24 為R2c 之式(1-2)表示之重複單元為較佳,包含由R12 為R1a 之式(1-1)表示之重複單元、以及由R12 為R1c 之式(1-1)表示之重複單元為更佳。 又,樹脂2可以包含由R12 為R1b 之式(1-1)表示之重複單元或者由R22 為R1b 或R24 為R2b 之式(1-2)表示之重複單元。
〔分子量〕 特定樹脂的重量平均分子量(Mw)為3,000~100,000為較佳,4,000~50,000為更佳,5,000~20,000為最佳。 從溶劑溶解性和鹼溶解性的觀點考慮,上述Mw的上限為100,000以下為較佳,50,000以下為更佳,20,000以下為最佳。只要不損傷樹脂的製膜性,則上述Mw的下限並無特別限定,但是從製膜性和自由基硬化性、顏料分散性的觀點考慮,Mw3,000以上為較佳,5,000以上為較佳,10,000以上為進一步較佳。
〔莫耳吸光係數〕 特定樹脂的波長400~1100nm下的莫耳吸光係數的最大值為0~1000 l/(mol・cm)為較佳,0~100 l/(mol・cm)為更佳。
〔耐熱性〕 特定樹脂中,氮氣氣氛下的基於TG/DTA(熱質量測定/差示熱測定)之5%質量減少溫度為350℃以上為較佳,400℃以上為較佳,450℃以上為進一步較佳。上述5%質量減少溫度的上限並無特別限定,例如只要係1,000℃以下即可。上述5%質量減少溫度為利用在氮氣氣氛下以特定溫度下靜置5小時時的質量減少率成為5%之溫度,可藉由公知的TG/DTA測定方法而求出。 又,特定樹脂中,在氮氣氣氛下以300℃靜置5小時時的質量減少率在10%以內為較佳,5%以下為更佳,2%以下為進一步較佳。上述質量減少率的下限並無特別限定,只要係0%以上即可。 上述質量減少率係作為在氮氣氣氛下以300℃靜置5小時前後的特定樹脂中的質量的減少比例而計算之值。
〔合成方法〕 特定樹脂的合成方法並無特別限定,可以藉由公知的方法來合成,例如能夠藉由後述之實施例中所記載之方法合成。 例如、能夠使上述二胺化合物與上述4價的羧酸化合物反應而獲得聚醯亞胺前驅物。又,能夠對上述聚醯亞胺前驅物進行熱處理或化學處理(使用觸媒之環化),而獲得聚醯亞胺。 上述4價的羧酸化合物中的1個或2個羧基可以與具有硬化性基、硫醇基等之結構等形成酯鍵或醯胺鍵等。 又,作為上述二胺化合物,可以使用具有羧基、硫醇基等結構之二胺化合物,上述羧基可以與具有硬化性基、硫醇基等之結構等形成酯鍵或醯胺鍵等。又,還能夠將上述聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物中的存在於上述二胺化合物之硫醇基等作為鏈轉移劑而導入聚合物鏈。
-縮合劑- 在聚醯亞胺的合成中,為了在醯胺基酸(聚醯亞胺前驅物)反應溶液中以低溫進行醯亞胺化而使用縮合劑為較佳。作為縮合劑,並無特別限定,能夠使用公知的縮合劑,例如能夠使用乙酸酐及吡啶、亞磷酸三苯酯及吡啶等。
-封端劑- 在聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物的合成中,為了調整分子量而使用封端劑為較佳。作為封端劑,並無特別限定,能夠使用公知的封端劑,可舉出單胺、酸酐、單羧酸、單羧酸鹽化物、單羧酸鹵化合物或單羧酸活性酯等,例如能夠使用由1取代之酸酐或由1取代之胺。例如能夠使用cis-環己烷二羧酸、鄰苯二甲酸酐等。 又,作為封端劑,還能夠使用例如日本特開2019-101440號公報的0034~0036段中所記載之化合物。 又,利用具有羥基、羧基、磺基、硫醇基、乙烯基、乙炔基或烯丙基之封端劑密封樹脂的末端,藉此能夠容易將相對於樹脂的鹼溶液之溶解速度或所獲得之硬化膜的機械特性調整為較佳範圍。 關於封端劑的使用量,可以根據目標特定樹脂的分子量調整,例如相對於上述二胺化合物與上述4價的羧酸化合物中與封端劑鍵結之化合物的總量能夠使用1莫耳%~30莫耳%、較佳為2莫耳%~20莫耳%、更佳為3莫耳%~10莫耳%。 又,藉由在特定樹脂的合成中使用封端劑,還能夠提高特定樹脂的保存穩定性或包含特定樹脂之組成物的保存穩定性。
〔具體例〕 以下示出特定樹脂的具體例,但本發明並不限定於此。 下述化學式中,表示主鏈結構之括號的下標表示各重複單元的含有比(莫耳比),側鏈結構中的括號的下標表示各構成單元的重複次數。各樹脂中,x、y、z、z1、z2中在各樹脂中描述者的總計值為50。 下述表中,將特定樹脂的酸值(mgKOH/g)記載於“酸值”欄中,且將特定樹脂的C=C值(mmol/g)記載於「C=C值」欄中。 又,下述化學式中,例如式(A-22)中的“polymer”的記載表示,在式(A-22)中所記載之硫原子上鍵結有聚合物鏈,該聚合物鏈係源自二乙基丙烯醯胺之重複單元及源自苯乙烯之重複單元以括號中的尾標的含有比(莫耳比)隨機鍵結而成。 在各具體例中,可以藉由上述封端劑密封聚合物的末端。 又,例如由下述式(A-2)表示之樹脂係當x=25、y=25時,以50:50的莫耳比包含由下述(A-2A)及下述式(A-2B)表示之重複單元之樹脂。 [化學式31]
Figure 02_image063
[表1]
Figure 02_image065
[表2]
Figure 02_image067
[表3]
Figure 02_image069
[表4]
Figure 02_image071
[表5]
Figure 02_image073
[表6]
Figure 02_image075
[表7]
Figure 02_image077
[表8]
Figure 02_image079
[表9]
Figure 02_image081
〔含量〕 本發明的著色樹脂組成物中的特定樹脂的含量相對於著色樹脂組成物的總固體成分為10~95質量%為較佳。下限為20質量%以上為更佳,30質量%以上為進一步較佳。上限為90質量%以下為更佳,85質量%以下為進一步較佳。 本發明的著色樹脂組成物可以單獨含有一種特定樹脂,亦可以併用2種以上特定樹脂。併用2種以上特定樹脂時,總計量成為上述範圍為較佳。
又,本發明的著色樹脂組成物作為特定樹脂含有上述樹脂1時,樹脂1的含量相對於著色樹脂組成物的總固體成分為1~30質量%為較佳。下限為3質量%以上為更佳,5質量%以上為進一步較佳。上限為25質量%以下為更佳,20質量%以下為進一步較佳。
又,本發明的著色樹脂組成物作為特定樹脂含有上述樹脂2時,樹脂2的含量相對於著色樹脂組成物的總固體成分為10~60質量%為較佳。下限為15質量%以上為更佳,20質量%以上為進一步較佳。上限為55質量%以下為更佳,50質量%以下為進一步較佳。 又,本發明的著色樹脂組成物作為特定樹脂含有上述樹脂2,且作為色材包含顏料時,樹脂2的含量相對於著色樹脂組成物中所包含之顏料的總質量為25~85質量%為較佳。下限為28質量%以上為更佳,30質量%以上為進一步較佳。上限為80質量%以下為更佳,50質量%以下為進一步較佳。
又,在本發明中,在從著色樹脂組成物的總固體成分中去除色材之成分中含有20質量%以上特定樹脂為較佳,含有30質量%以上為更佳,含有40質量%以上為進一步較佳。上限能夠設為100質量%,還能夠設為90質量%以下,還能夠設為85質量%以下。只要特定樹脂的含量在上述範圍內,則容易形成耐熱性優異的膜,進而更容易抑制加熱後的膜收縮等。而且,在使用本發明的著色樹脂組成物而獲得之膜的表面形成無機膜等時,即使該積層體暴露於高溫,還能夠抑制無機膜上產生裂痕等。 又,著色樹脂組成物的總固體成分中的色材與上述樹脂A的總計含量為25~100質量%為較佳。下限為30質量%以上為更佳,40質量%以上為進一步較佳。上限為90質量%以下為更佳,80質量%以下為進一步較佳。
<其他樹脂> 本發明的著色樹脂組成物可以包含其他樹脂。 符合特定樹脂之化合物設為與上述其他樹脂不符者。
作為其他樹脂,例如可舉出具有鹼顯影性之樹脂或作為分散劑的樹脂等。 其中,本發明的著色樹脂組成物包含其他樹脂時,例如設為下述(1)或下述(2)中所示之形態亦較佳。 (1)包含上述樹脂1及作為分散劑的樹脂。 (2)包含具有鹼顯影性之樹脂及上述樹脂2。 又,在上述(1)之形態中,還可以包含上述樹脂2,在上述(2)之形態中,還可以包含上述樹脂1。
〔具有鹼顯影性之樹脂〕 具有鹼顯影性之樹脂的重量平均分子量(Mw)為3,000~2,000,000為較佳。上限為1,000,000以下為更佳,500,000以下為進一步較佳。下限為4,000以上為更佳,5,000以上為進一步較佳。
作為具有鹼顯影性之樹脂,可舉出(甲基)丙烯酸樹脂、聚亞胺樹脂、聚醚樹脂、聚烯烴樹脂、環狀烯烴樹脂、聚酯樹脂、苯乙烯樹脂等,(甲基)丙烯酸樹脂及聚亞胺樹脂為較佳,(甲基)丙烯酸樹脂為更佳。又,作為其他樹脂,還能夠使用日本特開2017-206689號公報的0041~0060段中所記載之樹脂、日本特開2018-010856號公報的0022~0071段中所記載之樹脂、日本特開2017-057265號公報中所記載之樹脂、日本特開2017-032685號公報中所記載之樹脂、日本特開2017-075248號公報中所記載之樹脂、日本特開2017-066240號公報中所記載之樹脂。
又,作為具有鹼顯影性之樹脂,使用具有酸基之樹脂為較佳。依該形態,能夠進一步提高著色樹脂組成物的顯影性。作為酸基,可舉出苯酚性羥基、羧基、磺基、磷酸基、膦酸基、活性醯亞胺基、磺醯胺基等,羧基為較佳。具有酸基之樹脂例如能夠用作鹼可溶性樹脂。
具有酸基之樹脂包含在側鏈具有酸基之重複單元為較佳,在樹脂的總重複單元中包含1~70莫耳%的在側鏈具有酸基之重複單元為更佳。在側鏈具有酸基之重複單元的含量的上限為50莫耳%以下為較佳,40莫耳%以下為更佳。在側鏈具有酸基之重複單元的含量的下限為2莫耳%以上為較佳,5莫耳%以上為更佳。
具有酸基之樹脂的酸值為200mgKOH/g以下為較佳,150mgKOH/g以下為更佳,120mgKOH/g以下為進一步較佳,100mgKOH/g以下為特佳。又,具有酸基之樹脂的酸值為5mgKOH/g以上為較佳,10mgKOH/g以上為更佳,20mgKOH/g以上為進一步較佳。
具有酸基之樹脂進一步具有含有乙烯性不飽和鍵基亦較佳。作為含有乙烯性不飽和鍵基,可舉出乙烯基、烯丙基、(甲基)丙烯醯基等,其中,烯丙基及(甲基)丙烯醯基為較佳,(甲基)丙烯醯基為更佳。
具有含有乙烯性不飽和鍵基之樹脂包含在側鏈具有含有乙烯性不飽和鍵基之重複單元為較佳,樹脂的總重複單元中包含5~80莫耳%的在側鏈具有含有乙烯性不飽和鍵基之重複單元為更佳。在側鏈具有含有乙烯性不飽和鍵基之重複單元的含量的上限為60莫耳%以下為較佳,40莫耳%以下為更佳。在側鏈具有含有乙烯性不飽和鍵基之重複單元的含量的下限為10莫耳%以上為較佳,15莫耳%以上為更佳。
具有鹼顯影性之樹脂包含源自包含由下述式(ED1)表示之化合物和/或由下述式(ED2)表示之化合物(以下,亦將該等化合物稱為“醚二聚物”。)之單體成分之重複單元亦較佳。
[化學式32]
Figure 02_image083
式(ED1)中,R1 及R2 分別獨立地表示氫原子或可以具有取代基之碳數1~25的烴基。 [化學式33]
Figure 02_image085
式(ED2)中,R表示氫原子或碳數1~30的有機基團。關於式(ED2),具體能夠參閱日本特開2010-168539號公報的記載,且該內容被編入本說明書中。
作為醚二聚物的具體例,例如能夠參閱日本特開2013-029760號公報的0317段,且該內容被編入本說明書中。
具有鹼顯影性之樹脂包含源自由下述式(X)表示之化合物之重複單元亦較佳。 [化學式34]
Figure 02_image087
式(X)中,R1 表示氫原子或甲基,R2 表示碳數2~10的伸烷基,R3 表示可以包含氫原子或苯環的碳數1~20的烷基。n表示1~15的整數。
作為具有酸基之樹脂,例如可舉出下述結構的樹脂等。以下結構式中,Me表示甲基。 [化學式35]
Figure 02_image089
(分散劑) 本發明的著色樹脂組成物還能夠包含作為分散劑的樹脂。作為分散劑可舉出酸性分散劑(酸性樹脂)、鹼性分散劑(鹼性樹脂)。在此,酸性分散劑(酸性樹脂)表示酸基的量多於鹼性基的量的樹脂。將酸基的量與鹼性基的量的總計量設為100莫耳%時,酸性分散劑(酸性樹脂)的酸基的量佔70莫耳%以上之樹脂為較佳,實質上僅包含酸基之樹脂為更佳。酸性分散劑(酸性樹脂)所具有之酸基為羧基為較佳。酸性分散劑(酸性樹脂)的酸值為40~105mgKOH/g為較佳,50~105mgKOH/g為更佳,60~105mgKOH/g為進一步較佳。又,鹼性分散劑(鹼性樹脂)表示鹼性基的量多於酸基的量的樹脂。將酸基的量與鹼性基的量的總計量設為100莫耳%時,鹼性分散劑(鹼性樹脂)的鹼性基的量超過50莫耳%之樹脂為較佳。鹼性分散劑所具有之鹼性基為胺基為較佳。
用作分散劑之樹脂包含具有酸基之重複單元為較佳。
用作分散劑之樹脂為接枝樹脂亦較佳。作為接枝樹脂,可舉出日本特開2012-255128號公報的0025~0094段中所記載之樹脂,且該內容被編入本說明書中。
用作分散劑之樹脂為主鏈及側鏈中的至少一個包含氮原子之聚亞胺系(聚亞胺樹脂)分散劑亦較佳。作為聚亞胺系分散劑,具備具有部分結構之主鏈和原子數40~10000的側鏈且主鏈及側鏈中的至少一個具有鹼性氮原子之樹脂為較佳,其中部分結構具有pKa14以下的官能基。只要鹼性氮原子為顯示鹼性之氮原子,則並無特別限定。作為聚亞胺系分散劑,可舉出日本特開2012-255128號公報的0102~0166段中所記載之樹脂,且該內容被編入本說明書中。
用作分散劑之樹脂為在核心部中鍵結有複數個聚合物鏈之結構的樹脂亦較佳。作為該種樹脂,例如可舉出樹枝狀聚合物(包含星型聚合物)。又,作為樹枝狀聚合物的具體例,可舉出日本特開2013-043962號公報的0196~0209段中所記載之高分子化合物C-1~C-31等。
分散劑能夠採用市售品,作為該種具體例,可舉出BYK  Chemie GmbH製的DISPERBYK系列(例如,DISPERBYK-111、161等)、Lubrizol製的Solsperse系列(例如,Solsperse 36000等)等。又,還能夠使用日本特開2014-130338號公報的0041~0130段中所記載之顏料分散劑,且該內容被引入本說明書中。又,分散劑可以使用日本特開2018-150498號公報、日本特開2017-100116號公報、日本特開2017-100115號公報、日本特開2016-108520號公報、日本特開2016-108519號公報、日本特開2015-232105號公報中所記載之化合物。
另外,作為上述分散劑說明之樹脂還能夠以分散劑以外的用途使用。例如,還能夠用作黏合劑。
著色樹脂組成物的總固體成分中的總樹脂成分的含量為10~95質量%為較佳。下限為20質量%以上為更佳,30質量%以上為進一步較佳。上限為90質量%以下為更佳,85質量%以下為進一步較佳。 又,著色樹脂組成物中,上述其他樹脂的含量相對於上述特定樹脂的100質量份為230質量份以下為較佳,200質量份以下為更佳,150質量份以下為進一步較佳。下限可以為0質量份,能夠設為5質量份以上,還能夠設為10質量份以上。又,著色樹脂組成物實質上不含有上述其他樹脂亦較佳。依該形態,更容易形成耐熱性優異的膜。實質上不含有其他樹脂的情況係指,樹脂組成物的總固體成分中的其他樹脂的含量為0.1質量%以下,0.05質量%以下為較佳,不含有為更佳。
<溶劑> 本發明的著色樹脂組成物含有溶劑。作為溶劑,有機溶劑為較佳。作為有機溶劑,只要滿足各成分的溶解性和著色樹脂組成物的塗佈性,則基本上無特別限定。作為有機溶劑,可列舉酯系溶劑、酮系溶劑、醇系溶劑、醚系溶劑、烴系溶劑等。關於該等,具體能夠參閱國際公開第2015/166779號的0223段,且該內容被編入本說明書中。又,還能夠較佳地使用由環狀烷基所取代之酯系溶劑、由環狀烷基所取代之酮系溶劑。作為有機溶劑的具體例,可列舉聚乙二醇單甲基醚、二氯甲烷、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基賽路蘇乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙酸環己酯、環戊酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、γ-丁內酯、3-甲氧基丁醇、甲基異丁基酮、二丙二醇單甲醚等。但是,作為有機溶劑的芳香族烴類(苯、甲苯、二甲苯、乙基苯等),會有出於環境方面等的理由減少其量為更佳的情形(例如,相對於有機溶劑總量,能夠設為50質量ppm(parts per million,百萬分率)以下,還能夠設為10質量ppm以下,還能夠設為1質量ppm以下)。
該等中,溶劑包含選自包含丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、環己酮、環戊酮、乙酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丁醇、甲基異丁基酮及二丙二醇單甲醚之群組中之至少一種溶劑為較佳。 又,在本發明中,溶劑實質上不包含醯胺系溶劑為較佳。 作為醯胺系溶劑,可舉出二甲基甲醯胺、二甲基乙醯胺、N-甲基-2-吡咯啶酮、N-乙基-2-吡咯啶酮等。 實質上不含有醯胺系溶劑係指,相對於組成物的總質量,醯胺系溶劑為1質量%以下,0.5質量%以下為較佳,0.1質量%以下為更佳,0質量%為進一步較佳。
本發明中,使用金屬含量少的有機溶劑為較佳,例如有機溶劑的金屬含量為10質量ppb(十億分率,parts per billion)以下為較佳。依據需要,亦可以使用質量ppt(兆分率,parts per trillion)級別的有機溶劑,該種有機溶劑例如由TOYO Gosei Co.,Ltd.所提供(化學工業日報,2015年11月13日)。作為從有機溶劑中去除金屬等雜質之方法,例如,能夠舉出蒸餾(分子蒸餾和薄膜蒸餾等)或使用過濾器之過濾。作為過濾中所使用之過濾器的過濾器孔徑,10μm以下為較佳,5μm以下為更佳,3μm以下為進一步較佳。過濾器的材質為聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龍為較佳。
有機溶劑亦可以含有異構物(原子數相同但結構不同之化合物)。又,異構物可以僅包含一種,亦可以包含複數種。
有機溶劑中的過氧化物的含有率為0.8mmol/L以下為較佳,實質上不含有過氧化物為更佳。
著色樹脂組成物中的有機溶劑的含量為10~95質量%為較佳,20~90質量%為更佳,30~90質量%為進一步較佳。
<顏料衍生物> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有顏料衍生物。作為顏料衍生物,可舉出具有用酸基、鹼性基或酞醯亞胺甲基取代發色團的一部分而成的結構之化合物。作為構成顏料衍生物之發色團,可舉出喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、酞菁骨架、蒽醌骨架、喹吖酮骨架、二㗁𠯤骨架、紫環酮骨架、苝系骨架、硫靛藍骨架、異吲哚啉骨架、異吲哚啉酮骨架、喹啉黃骨架、苯乙烯骨架、金屬錯合物骨架等,其中,喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、喹啉黃骨架、異吲哚啉骨架及酞菁骨架為較佳,偶氮骨架及苯并咪唑酮骨架為更佳。作為顏料衍生物所具有之酸基,磺基、羧基為較佳,磺基為更佳。作為顏料衍生物所具有之鹼性基,胺基為較佳,第三胺基為更佳。
作為顏料衍生物,還能夠使用可見光透明性優異的顏料衍生物(以下,亦稱為透明顏料衍生物)。透明顏料衍生物的400~700nm的波長區域內的莫耳吸光係數的最大值(εmax)為3000L・mol-1 ・cm-1 以下為較佳,1000L・mol-1 ・cm-1 以下為更佳,100L・mol-1 ・cm-1 以下為進一步較佳。εmax的下限,例如為1L・mol-1 ・cm-1 以上,亦可以為10L・mol-1 ・cm-1 以上。
作為顏料衍生物的具體例,可舉出日本特開昭56-118462號公報、日本特開昭63-264674號公報、日本特開平01-217077號公報、日本特開平03-009961號公報、日本特開平03-026767號公報、日本特開平03-153780號公報、日本特開平03-045662號公報、日本特開平04-285669號公報、日本特開平06-145546號公報、日本特開平06-212088號公報、日本特開平06-240158號公報、日本特開平10-030063號公報、日本特開平10-195326號公報、國際公開第2011/024896號的0086~0098段、國際公開第2012/102399號的0063~0094段、國際公開第2017/038252號的0082段、日本特開2015-151530號公報的0171段、日本特開2011-252065號公報的0162~0183段、日本特開2003-081972號公報、日本專利第5299151號公報、日本特開2015-172732號公報、日本特開2014-199308號公報、日本特開2014-085562號公報、日本特開2014-035351號公報、日本特開2008-081565號公報、日本特開2019-109512號公報中所記載之化合物。
顏料衍生物的含量相對於顏料100質量份為1~30質量份為較佳,3~20質量份為進一步較佳。顏料衍生物可以僅使用一種,亦可以併用兩種以上。
<聚合性化合物> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有聚合性化合物。聚合性化合物例如為具有含有乙烯性不飽和鍵基之化合物為較佳。作為含有乙烯性不飽和鍵基,可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。本發明中所使用之聚合性化合物為自由基聚合性化合物為較佳。
作為聚合性化合物,可以係單體、預聚物、寡聚物等化學形態中的任一種,單體為較佳。聚合性化合物的分子量為100~3000為較佳。上限為2000以下為更佳,1500以下為進一步較佳。下限為150以上為更佳,250以上為進一步較佳。
聚合性化合物為包含3個以上含有乙烯性不飽和鍵基之化合物為較佳,包含3~15個含有乙烯性不飽和鍵基之化合物為更佳,包含3~6個含有乙烯性不飽和鍵基之化合物為進一步較佳。又,聚合性化合物為3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為較佳,3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為更佳。作為聚合性化合物的具體例,可舉出日本特開2009-288705號公報的0095~0108段、日本特開2013-029760號公報的0227段、日本特開2008-292970號公報的0254~0257段、日本特開2013-253224號公報的0034~0038段、日本特開2012-208494號公報的0477段、日本特開2017-048367號公報、日本專利第6057891號公報、日本專利第6031807號公報、日本特開2017-194662號公報中所記載之化合物,且該等內容被編入本說明書中。
作為聚合性化合物,二新戊四醇三丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-330,NIPPON KAYAKU CO.,Ltd.製)、二新戊四醇四丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-320,NIPPON KAYAKU CO.,Ltd.製)、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-310,NIPPON KAYAKU CO.,Ltd.製)、二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD DPHA,NIPPON KAYAKU CO.,Ltd.製、NK酯A-DPH-12E,SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,Ltd.製)及該等的(甲基)丙烯醯基經由乙二醇和/或丙二醇殘基鍵結之結構的化合物(例如由SARTOMER Company,Inc.市售之SR454、SR499)為較佳。又,作為聚合性化合物,還能夠使用雙甘油EO(環氧乙烷)改性(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為M-460,TOAGOSEI CO.,LTD.製)、新戊四醇四丙烯酸酯(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製、NK酯A-TMMT)、1,6-己二醇二丙烯酸酯(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製、KAYARAD HDDA)、RP-1040(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製)、ARONIX TO-2349(TOAGOSEI CO.,LTD.製)、NK Oligo UA-7200(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製)、8UH-1006、8UH-1012(Taisei Fine Chemical Co.,Ltd.製)、Light acrylate POB-A0(Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製)等。
又,作為聚合性化合物,使用三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷伸丙氧基改性三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷伸乙氧基改性三(甲基)丙烯酸酯、異三聚氰酸伸乙氧基改性三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物亦較佳。作為3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可舉出ARONIX M-309、M-310、M-321、M-350、M-360、M-313、M-315、M-306、M-305、M-303、M-452、M-450(TOAGOSEI CO.,LTD.製)、NK酯 A9300、A-GLY-9E、A-GLY-20E、A-TMM-3、A-TMM-3L、A-TMM-3LM-N、A-TMPT、TMPT(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製)、KAYARAD GPO-303、TMPTA、THE-330、TPA-330、PET-30(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製)等。
聚合性化合物還能夠使用具有酸基之化合物。藉由使用具有酸基之聚合性化合物,而容易去除顯影時未曝光部的聚合性化合物,進而能夠抑制顯影殘渣的產生。作為酸基,可舉出羧基、磺基、磷酸基等,羧基為較佳。作為具有酸基之聚合性化合物的市售品,可舉出ARONIX M-305、M-510、M-520、ARONIX TO-2349(TOAGOSEI CO.,LTD.製)等。作為具有酸基之聚合性化合物的較佳酸值為0.1~40mgKOH/g,更佳為5~30mgKOH/g。若聚合性化合物的酸值為0.1mgKOH/g以上,則對顯影液之溶解性良好,若為40mgKOH/g以下,則有利於製造或處理。
聚合性化合物為具有己內酯結構之化合物亦為較佳的形態。具有己內酯結構之聚合性化合物,例如可舉出由NIPPON KAYAKU CO.,Ltd.市售的KAYARAD DPCA系列DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120等。
聚合性化合物還能夠使用具有伸烷氧基之聚合性化合物。具有伸烷氧基之聚合性化合物為具有伸乙氧基和/或伸丙氧基之聚合性化合物為較佳,具有伸乙氧基之聚合性化合物為更佳,具有4~20個伸乙氧基之3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物為進一步較佳。作為具有伸烷氧基之聚合性化合物的市售品,例如可舉出Sartomer Company製的具有4個伸乙氧基之4官能(甲基)丙烯酸酯亦即SR-494、具有3個異丁氧基之3官能(甲基)丙烯酸酯亦即KAYARAD TPA-330等。
聚合性化合物還能夠使用具有茀骨架之聚合性化合物。作為具有茀骨架之聚合性化合物的市售品,可舉出OGSOL EA-0200、EA-0300(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.製、具有茀骨架之(甲基)丙烯酸酯單體)等。
作為聚合性化合物,使用實質上不含有甲苯環境規制物質的化合物亦較佳。作為該種化合物的市售品,可舉出KAYARAD DPHA LT、KAYARAD DPEA-12 LT(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製)等。
作為聚合性化合物,如日本特公昭48-041708號公報、日本特開昭51-037193號公報、日本特公平02-032293號公報、日本特公平02-016765號公報中所記載之那樣的胺基甲酸酯丙烯酸酯類、日本特公昭58-049860號公報、日本特公昭56-017654號公報、日本特公昭62-039417號公報、日本特公昭62-039418號公報中所記載之具有環氧乙烷系骨架之胺基甲酸酯化合物亦較佳。又,使用日本特開昭63-277653號公報、日本特開昭63-260909號公報、日本特開平01-105238號公報中所記載之分子內具有胺結構或硫醚結構之聚合性化合物亦較佳。又,聚合性化合物還能夠使用UA-7200(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製)、DPHA-40H(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600、LINC-202UA(Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製)等市售品。
含有聚合性化合物時,著色樹脂組成物的總固體成分中的聚合性化合物的含量為0.1~50質量%為較佳。下限為0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳。上限為45質量%以下為更佳,40質量%以下為進一步較佳。聚合性化合物可以單獨使用一種,亦可以併用兩種以上。
<光聚合起始劑> 本發明的著色樹脂組成物能夠包含光聚合起始劑。作為光聚合起始劑並無特別限定,能夠從公知的光聚合起始劑中適當選擇。例如,對紫外線區域至可見區域的光線具有感光性之化合物為較佳。光聚合起始劑為光自由基聚合起始劑為較佳。
作為光聚合起始劑,可舉出鹵化烴衍生物(例如,具有三𠯤骨架之化合物、具有㗁二唑骨架之化合物、具有咪唑骨架之化合物等)、醯基膦化合物、六芳基雙咪唑、肟化合物、有機過氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物等。從曝光靈敏度的觀點考慮,光聚合起始劑為三鹵甲基三𠯤(trihalo methyl triazine)化合物、雙咪唑化合物、苄基二甲基縮酮化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物、醯基膦化合物、氧化膦化合物、茂金屬化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、環戊二烯-苯-鐵錯合物、鹵甲基㗁二唑化合物及3-芳基取代香豆素化合物為較佳,選自雙咪唑化合物、肟化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物及醯基膦化合物中之化合物為更佳,肟化合物為進一步較佳。作為光聚合起始劑,可舉出日本特開2014-130173號公報的0065~0111段、日本專利第6301489號公報中所記載之化合物,且該內容被編入本說明書中。
作為雙咪唑化合物,可舉出2,2-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯雙咪唑、2,2’-雙(o-氯苯基)-4,4’,5,5-四(3,4,5-三甲氧基苯基)-1,2’-雙咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯雙咪唑及2,2’-雙(o-氯苯基)-4,4,5,5’-四苯-1,2’-雙咪唑等。作為α-羥基酮化合物的市售品,可舉出Omnirad 184、Omnirad 1173、Omnirad 2959、Omnirad 127(以上為IGM Resins B.V.公司製)、Irgacure 184、Irgacure 1173、Irgacure 2959、Irgacure 127(以上為 BASF SE製)等。作為α-胺基酮化合物的市售品,可舉出Omnirad 907、Omnirad 369、Omnirad 369E、Omnirad 379EG(以上為IGM Resins B.V.公司製)、Irgacure 907、Irgacure 369、Irgacure 369E、Irgacure 379EG(以上為BASF SE製)等。作為醯基膦化合物的市售品,可舉出Omnirad 819、Omnirad TPO(以上為IGM Resins B.V.公司製)、Irgacure 819、Irgacure TPO(以上為BASF SE製)等。
作為肟化合物,可舉出日本特開2001-233842號公報中所記載之化合物、日本特開2000-080068號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、J.C.S.Perkin II(1979年,pp.1653-1660)中所記載之化合物、J.C.S.Perkin II(1979年,pp.156-162)中所記載之化合物、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年,pp.202-232)中所記載之化合物、日本特開2000-066385號公報中所記載之化合物、日本特開2000-080068號公報中所記載之化合物、日本特表2004-534797號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、日本特開2017-019766號公報中所記載之化合物、日本專利第6065596號公報中所記載之化合物、國際公開第2015/152153號公報中所記載之化合物、國際公開第2017/051680號公報中所記載之化合物、日本特開2017-198865號公報中所記載之化合物、國際公開第2017/164127號公報的0025~0038段中所記載之化合物、國際公開第2013/167515號中所記載之化合物等。作為肟化合物的具體例,可舉出3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮以及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。作為市售品,可舉出Irgacure OXE01、Irgacure OXE02、Irgacure OXE03、Irgacure OXE04(以上為BASF SE製)、TR-PBG-304(Changzhou Tronly New Electronic Materials CO.,LTD.製)、Adeka Optomer N-1919(ADEKA CORPORATION製、日本特開2012-014052號公報中所記載之光聚合起始劑2)。又,作為肟化合物,使用無著色性的化合物或透明性高且難以變色的化合物亦較佳。作為市售品,可舉出ADEKA ARKLS NCI-730、NCI-831、NCI-930(以上為ADEKA CORPORATION製)等。
作為光聚合起始劑,還能夠使用具有茀環之肟化合物。作為具有茀環之肟化合物的具體例,可舉出日本特開2014-137466號公報中所記載之化合物。
又,作為光聚合起始劑,還能夠使用具有咔唑環的至少一個苯環成為萘環之骨架之肟化合物。作為該種肟化合物的具體例,可舉出國際公開第2013/083505號中所記載之化合物。
作為光聚合起始劑,還能夠使用具有氟原子之肟化合物。作為具有氟原子之肟化合物的具體例,可舉出日本特開2010-262028號公報中所記載之化合物、日本特表2014-500852號公報中所記載之化合物24、36~40、日本特開2013-164471號公報中所記載之化合物(C-3)等。
作為光聚合起始劑,還能夠使用在咔唑骨架上鍵結有具有羥基之取代基之肟化合物。作為該種光聚合起始劑,可舉出國際公開第2019/088055號中所記載之化合物等。
作為光聚合起始劑,能夠使用具有硝基之肟化合物。具有硝基之肟化合物為二聚物亦較佳。作為具有硝基之肟化合物的具體例,可舉出日本特開2013-114249號公報的0031~0047段、日本特開2014-137466號公報的0008~0012段、0070~0079中所記載之化合物、日本專利4223071號公報的0007~0025段中所記載之化合物、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA CORPORATION製)。
作為光聚合起始劑,還能夠使用具有苯丙呋喃骨架之肟化合物。作為具體例,可舉出國際公開第2015/036910號中所記載之OE-01~OE-75。
以下示出肟化合物的具體例,但本發明不限定於該等。
[化學式36]
Figure 02_image091
[化學式37]
Figure 02_image093
肟化合物為在波長350~500nm的範圍內具有極大吸收波長之化合物為較佳,在波長360~480nm的範圍具有極大吸收波長之化合物為更佳。又,從靈敏度的觀點考慮,肟化合物的波長365nm或波長405nm下的莫耳吸光係數較高為較佳,1000~300000為更佳,2000~300000為進一步較佳,5000~200000為特佳。化合物的莫耳吸光係數能夠利用公知的方法來進行測定。例如,藉由分光光度計(Varian Medical Systems, Inc.製Cary-5 spectrophotometer),使用乙酸乙酯以0.01g/L的濃度來進行測定為較佳。
作為光聚合起始劑,亦可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合起始劑。藉由使用該種光自由基聚合起始劑,從光自由基聚合起始劑的一個分子生成兩個以上的自由基,因此可獲得良好的靈敏度。又,使用非對稱結構的化合物時,因結晶性下降而在溶劑等中的溶解性提高,因此難以經時析出,從而能夠提高著色樹脂組成物的經時穩定性。作為2官能或3官能以上的光自由基聚合起始劑的具體例,可舉出日本特表2010-527339號公報、日本特表2011-524436號公報、國際公開第2015/004565號、日本特表2016-532675號公報的0407~0412段、國際公開第2017/033680號的0039~0055段中所記載之肟化合物的二聚體、日本特表2013-522445號公報中所記載之化合物(E)及化合物(G)、國際公開第2016/034963號中所記載之Cmpd1~7、日本特表2017-523465號公報的0007段中所記載之肟酯類光起始劑、日本特開2017-167399號公報的0020~0033段中所記載之光起始劑、日本特開2017-151342號公報的0017~0026段中所記載之光聚合起始劑(A)、日本專利第6469669號中所記載之肟化合物等。
含有光聚合起始劑時,著色樹脂組成物的總固體成分中的光聚合起始劑的含量為0.1~30質量%為較佳。下限為0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳。上限為20質量%以下為較佳,15質量%以下為更佳。光聚合起始劑可以僅使用一種,亦可以使用兩種以上。
<矽烷偶合劑> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有矽烷偶合劑。本發明中,矽烷偶合劑係指具有水解性基和其他官能基的矽烷化合物。又,水解性基係指直接與矽原子鍵結,並藉由水解反應及縮合反應中的至少任一種來形成矽氧烷鍵之取代基。作為水解性基,例如可舉出鹵素原子、烷氧基、醯氧基等,烷氧基為較佳。亦即,矽烷偶合劑為具有烷氧基矽基之化合物為較佳。又,作為水解性基以外的官能基,例如可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基、巰基、環氧基、氧雜環丁基、胺基、脲基、硫醚基、異氰酸酯基、苯基等,其中,胺基、(甲基)丙烯醯基及環氧基為較佳。作為矽烷偶合劑的具體例,可舉出日本特開2009-288703號公報的0018~0036段中所記載之化合物、日本特開2009-242604號公報的0056~0066段中所記載之化合物,且該等內容被編入本說明書中。
著色樹脂組成物的總固體成分中的矽烷偶合劑的含量為0.1~5質量%為較佳。上限為3質量%以下為較佳,2質量%以下為更佳。下限為0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳。矽烷偶合劑可以僅為一種,亦可以為兩種以上。
<硬化促進劑> 本發明的著色樹脂組成物以促進樹脂或聚合性化合物的反應或降低硬化溫度之目的而能夠進一步含有硬化促進劑。硬化促進劑還能夠使用羥甲基系化合物(例如在日本特開2015-034963號公報的0246段中,作為交聯劑而例示之化合物)、胺類、鏻鹽、脒鹽、醯胺化合物(以上,例如,日本特開2013-041165號公報的0186段中所記載之硬化劑)、鹼產生劑(例如,日本特開2014-055114號公報中所記載之離子性化合物)、氰酸酯化合物(例如,日本特開2012-150180號公報的0071段中所記載之化合物)、烷氧基矽烷化合物(例如,日本特開2011-253054號公報中所記載之具有環氧基之烷氧基矽烷化合物)、鎓鹽化合物(例如,在日本特開2015-034963號公報的0216段中作為酸產生劑而例示之化合物、日本特開2009-180949號公報中所記載之化合物)等。
本發明的著色樹脂組成物含有硬化促進劑時,硬化促進劑的含量在著色樹脂組成物的總固體成分中為0.3~8.9質量%為較佳,0.8~6.4質量%為更佳。
<聚合抑制劑> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有聚合抑制劑。作為聚合抑制劑,可舉出氫醌、對甲氧基苯酚、二-第三丁基-對甲酚、五倍子酚、第三丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4’-硫代雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基雙羥基胺鹽(銨鹽、第一鈰鹽等)。其中,對甲氧基苯酚為較佳。著色樹脂組成物的總固體成分中的聚合抑制劑的含量為0.0001~5質量%為較佳。
<界面活性劑> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有界面活性劑。作為界面活性劑,能夠使用氟系界面活性劑、非離子性界面活性劑、陽離子性界面活性劑、陰離子性界面活性劑、矽酮系界面活性劑等各種界面活性劑。關於界面活性劑,可舉出國際公開第2015/166779號的0238~0245段中所記載之界面活性劑,且該內容被編入本說明書中。
界面活性劑為氟系界面活性劑為較佳。藉由著色樹脂組成物中含有氟系界面活性劑,能夠進一步提高液體特性(尤其,流動性),並進一步改善省液性。又,還能夠形成厚度不均少的膜。
氟系界面活性劑中的氟含有率為3~40質量%為較佳,更佳為5~30質量%,特佳為7~25質量%。氟含有率在該範圍內之氟系界面活性劑在塗佈膜的厚度均勻性和省液性方面有效,著色樹脂組成物中的溶解性亦良好。
作為氟系界面活性劑,可舉出日本特開2014-041318號公報的0060~0064段(所對應之國際公開第2014/017669號的0060~0064段)等中所記載之界面活性劑、日本特開2011-132503號公報的0117~0132段中所記載之界面活性劑,且該等內容被編入本說明書中。作為氟系界面活性劑的市售品,例如可舉出Magaface F171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780、EXP、MFS-330(以上為DIC CORPORATION製)、Fluorad FC430、FC431、FC171(以上為Sumitomo 3M Limited製)、Surflon S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC-1068、SC-381、SC-383、S-393、KH-40(以上為AGC Inc.製)、PolyFox PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上為OMNOVA SOLUTIONS INC.製)等。
又,氟系界面活性劑使用具有氟化烷基或氟化伸烷基醚基之含氟原子乙烯醚化合物與親水性乙烯醚化合物的聚合物亦較佳。該種氟系界面活性劑能夠參閱日本特開2016-216602號公報的記載,且該內容被編入本說明書中。
氟系界面活性劑還能夠使用封端聚合物。例如可舉出日本特開2011-089090號公報中所記載之化合物。氟系界面活性劑亦能夠較佳地使用含氟高分子化合物,該含氟高分子化合物包含:源自具有氟原子之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元;及源自具有2個以上(較佳為5個以上)伸烷氧基(較佳為伸乙氧基、伸丙氧基)之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元。作為本發明中所使用之氟系界面活性劑,還例示出下述化合物。 [化學式38]
Figure 02_image095
上述化合物的重量平均分子量較佳為3000~50000,例如為14000。上述化合物中,表示重複單元的比例之%為莫耳%。
又,氟系界面活性劑還能夠使用在側鏈具有含有乙烯性不飽和鍵之基之含氟聚合物。作為具體例,可舉出日本特開2010-164965號公報的0050~0090段及0289~0295段中所記載之化合物,例如DIC CORPORATION製的Magaface RS-101、RS-102、RS-718K、RS-72-K等。氟系界面活性劑還能夠使用日本特開2015-117327號公報的0015~0158段中所記載之化合物。
界面活性劑在著色樹脂組成物的總固體成分中的含量為0.001質量%~5.0質量%為較佳,0.005~3.0質量%為更佳。界面活性劑可以僅為一種,亦可以為兩種以上。為兩種以上時,總計量在上述範圍內為較佳。
<紫外線吸收劑> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有紫外線吸收劑。紫外線吸收劑能夠使用共軛二烯化合物、胺基二烯化合物、水楊酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三𠯤唑化合物、丙烯腈化合物、羥苯基三𠯤化合物、吲哚化合物、三𠯤化合物等。關於該等,具體能夠參閱日本特開2012-208374號公報的0052~0072段、日本特開2013-068814號公報的0317~0334段、日本特開2016-162946號公報的0061~0080段的記載,且該等內容被編入本說明書中。作為紫外線吸收劑的市售品,例如可舉出UV-503(DAITO CHEMICAL CO.,LTD.製)等。又,作為苯并三唑化合物,可舉出MIYOSHI & FAT CO.,LTD.製的MYUA系列(化學工業日報,2016年2月1日)。又,紫外線吸收劑還能夠使用日本專利第6268967號公報的0049~0059段中所記載之化合物。紫外線吸收劑在著色樹脂組成物的總固體成分中的含量為0.01~10質量%為較佳,0.01~5質量%為更佳。紫外線吸收劑可以僅使用一種,亦可以使用兩種以上。使用兩種以上時,總計量在上述範圍內為較佳。
<抗氧化劑> 本發明的著色樹脂組成物能夠含有抗氧化劑。作為抗氧化劑,可舉出酚化合物、亞磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作為酚化合物,能夠使用作為酚系抗氧化劑周知之任意的酚化合物。作為較佳的酚化合物,可舉出受阻酚化合物。在與酚性羥基相鄰之部位(鄰位)具有取代基之化合物為較佳。作為前述取代基為碳數1~22的取代或未經取代的烷基為較佳。又,抗氧化劑為在同一個分子內具有酚基和亞磷酸酯基之化合物亦為較佳。又,抗氧化劑亦能夠較佳地使用磷系抗氧化劑。抗氧化劑在著色樹脂組成物的總固體成分中的含量為0.01~20質量%為較佳,0.3~15質量%為更佳。抗氧化劑可以僅使用一種,亦可以使用兩種以上。使用兩種以上時,總計量在上述範圍內為較佳。
<其他成分> 本發明的著色樹脂組成物亦可以依據需要含有增感劑、填充劑、熱硬化促進劑、可塑劑及其他助劑類(例如,導電性粒子、填充劑、消泡劑、阻燃劑、調平劑、剝離促進劑、香料、表面張力調整劑、鏈轉移劑等)。藉由適當含有該等成分,能夠調整膜物理性質等性質。該等成分例如能夠參閱日本特開2012-003225號公報的0183段以後(所對應之美國專利申請公開第2013/0034812號說明書的0237段)的記載、日本特開2008-250074號公報的0101~0104段、0107~0109段等的記載,且該等內容被編入本說明書中。又,著色樹脂組成物亦可以依據需要含有潛伏的抗氧化劑。作為潛伏的抗氧化劑,可舉出作為抗氧化劑而發揮作用之部位被保護基保護之化合物,且保護基因在100~250℃下進行加熱或在酸/鹼觸媒存在下在80~200℃下進行加熱而脫離以作為抗氧化劑發揮作用之化合物。作為潛伏的抗氧化劑,可舉出國際公開第2014/021023號、國際公開第2017/030005號、日本特開2017-008219號公報中所記載之化合物。作為市售品,可舉出ADEKA ARKLS GPA-5001(ADEKA CORPORATION製)等。又,亦可以如日本特開2018-155881號公報中所記載般,以改善耐候性的目的而添加C.I.Pigment Yellow129。
本發明的著色樹脂組成物亦可以為了調整所獲得之膜的折射率而含有金屬氧化物。作為金屬氧化物,可舉出TiO2 、ZrO2 、Al2 O3 、SiO2 等。金屬氧化物的一次粒徑為1~100nm為較佳,3~70nm為更佳,5~50nm為進一步較佳。金屬氧化物亦可以具有核-殼結構。又,此時,核部亦可以係中空狀。
本發明的著色樹脂組成物可以包含耐光性改良劑。作為耐光性改善劑,可舉出日本特開2017-198787號公報的0036~0037段中所記載之化合物、日本特開2017-146350號公報的0029~0034段中所記載之化合物、日本特開2017-129774號公報的0036~0037段、0049~0052段中所記載之化合物、日本特開2017-129674號公報的0031~0034段、0058~0059段中所記載之化合物、日本特開2017-122803號公報的0036~0037段、0051~0054段中所記載之化合物、國際公開第2017/164127號的0025~0039段中所記載之化合物、日本特開2017-186546號公報的0034~0047段中所記載之化合物、日本特開2015-025116號公報的0019~0041段中所記載之化合物、日本特開2012-145604號公報的0101~0125段中所記載之化合物、日本特開2012-103475號公報的0018~0021段中所記載之化合物、日本特開2011-257591號公報的0015~0018段中所記載之化合物、日本特開2011-191483號公報的0017~0021段中所記載之化合物、日本特開2011-145668號公報的0108~0116段中所記載之化合物、日本特開2011-253174號公報的0103~0153段中所記載之化合物等。
本發明的著色樹脂組成物中與顏料等鍵結或未配位的游離的金屬的含量為100ppm以下為較佳,50ppm以下為更佳,10ppm以下為進一步較佳,實質上不含有為特佳。依該形態,能夠期待顏料分散性的穩定化(抑制凝聚)、伴隨分散性提高之光譜特性的提高、硬化性成分的穩定化、伴隨金屬原子/金屬離子的溶出之導電性變動的抑制、顯示特性的提高等效果。又,亦可獲得日本特開2012-153796號公報、日本特開2000-345085號公報、日本特開2005-200560號公報、日本特開平08-043620號公報、日本特開2004-145078號公報、日本特開2014-119487號公報、日本特開2010-083997號公報、日本特開2017-090930號公報、日本特開2018-025612號公報、日本特開2018-025797號公報、日本特開2017-155228號公報、日本特開2018-036521號公報等中所記載之效果。作為上述游離的金屬的種類,可舉出Na、K、Ca、Sc、Ti、Mn、Cu、Zn、Fe、Cr、Co、Mg、Al、Sn、Zr、Ga、Ge、Ag、Au、Pt、Cs、Ni、Cd、Pb、Bi等。又,本發明的著色樹脂組成物中與顏料等鍵結或未配位的游離的鹵素的含量為100ppm以下為較佳,50ppm以下為更佳,10ppm以下為進一步較佳,實質上不含有為特佳。作為鹵素,可舉出F、Cl、Br、I及該等的陰離子。作為著色樹脂組成物中的游離的金屬或鹵素的降低方法,可舉出基於離子交換水之清洗、過濾、超過濾、基於離子交換樹脂之提純等方法。
本發明的著色樹脂組成物實質上不含有對笨二甲酸酯亦較佳。在此,“實質上不含有”係指,對笨二甲酸酯的含量在著色樹脂組成物的總量中為1000質量ppb以下,100質量ppb以下為更佳,零為特佳。
<收容容器> 作為本發明的著色樹脂組成物的收容容器,並無特別限定,能夠使用公知的收容容器。又,作為收容容器,以抑制雜質混入原材料或著色樹脂組成物中為目的,使用將容器內壁由6種6層樹脂構成之多層瓶或6種樹脂設為7層結構之瓶亦較佳。作為該種容器,例如可舉出日本特開2015-123351號公報中所記載之容器。又,以防止金屬從容器內壁溶出並提高著色樹脂組成物的保存穩定性或抑制成分變質等之目的,將容器內壁設為玻璃製或不鏽鋼製等亦較佳。
<著色樹脂組成物的製備方法> 本發明的著色樹脂組成物能夠混合前述成分來製備。在製備著色樹脂組成物時,可以將所有成分同時溶解和/或分散於有機溶劑中來製備著色樹脂組成物,亦可以依據需要預先將各成分適當地作為2種以上的溶液或分散液而在使用時(塗佈時)混合該等來製備著色樹脂組成物。
又,在製備著色樹脂組成物時,包含將顏料分散之製程為較佳。在將顏料分散之製程中,作為用於顏料的分散之機械力,可舉出壓縮、壓榨、衝擊、剪斷、孔蝕等。作為該等製程的具體例,可舉出珠磨機、混砂機(sand mill)、輥磨機、球磨機、塗料攪拌器(paint shaker)、微射流均質機(microfluidizer)、高速葉輪、砂磨機、噴流混合器(flowjet mixer)、高壓濕式微粒化、超音波分散等。又,在混砂機(珠磨機)中的顏料的粉碎中,在藉由使用直徑小的珠子、加大珠子的填充率等來提高粉碎效率之條件下進行處理為較佳。又,粉碎處理之後,藉由過濾、離心分離等去除粗粒子為較佳。又,將顏料分散之製程及分散功能夠較佳地使用《分散技術大全,JOHOKIKO CO.,LTD.發行,2005年7月15日》或《以懸浮液(固/液分散系統)為中心之分散技術與工業應用的實際 綜合資料集、經營開發中心出版部發行,1978年10月10日》、日本特開2015-157893號公報的0022段中所記載之製程及分散機。又,在將顏料分散之製程中,可以藉由鹽磨(salt milling)製程進行粒子的微細化處理。鹽磨製程中所使用之材料、設備、處理條件等例如能夠參閱日本特開2015-194521號公報、日本特開2012-046629號公報的記載。
製備著色樹脂組成物時,以去除異物或減少缺陷等為目的,利用過濾器對著色樹脂組成物進行過濾為較佳。作為過濾器,只要為一直用於過濾用途等之過濾器,則能夠不加以特別限定來使用。例如可舉出使用聚四氟乙烯(PTFE)等氟樹脂、尼龍(例如尼龍-6、尼龍-6,6)等聚醯胺樹脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯樹脂(包含高密度、超高分子量的聚烯樹脂)等材料之過濾器。該等材料中,聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龍為較佳。
過濾器的孔徑為0.01~7.0μm為較佳,0.01~3.0μm為更佳,0.05~0.5μm為進一步較佳。只要過濾器的孔徑在上述範圍內,則能夠更確實地去除微細的異物。關於過濾器的孔徑值,能夠參閱過濾器製造商的標稱值。過濾器能夠使用由NIHON PALL LTD.(DFA4201NIEY等)、Advantec Toyo Kaisha,Ltd.、Nihon Entegris K.K.(formerly Nippon micro squirrel Co.,Ltd.)及KITZMICROFILTER CORPORATION等提供之各種過濾器。
又,作為過濾器使用纖維狀過濾材料亦較佳。作為纖維狀過濾材料,例如可舉出聚丙烯纖維、尼龍纖維、玻璃纖維等。作為市售品,可舉出ROKI TECHNO CO.,LTD.製的SBP型系列(SBP008等)、TPR型系列(TPR002、TPR005等)、SHPX型系列(SHPX003等)。
使用過濾器時,亦可以組合不同之過濾器(例如,第1過濾器和第2過濾器等)。此時,可以僅進行一次基於各過濾器的過濾,亦可以進行兩次以上。又,亦可以在上述範圍內組合不同之孔徑的過濾器。又,亦可以係基於第1過濾器的過濾僅對分散液進行,混合其他成分之後進行基於第2過濾器的過濾。
(膜) 本發明的膜為由上述本發明的著色樹脂組成物獲得之膜。本發明的膜能夠用於濾色器、近紅外線透過濾波器、近紅外線截止濾波器、黑矩陣、遮光膜等。例如,能夠較佳地用作濾色器的著色層。
本發明的膜的膜厚,能夠依據目的而適當調整。例如膜厚為20μm以下為較佳,10μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳。膜厚的下限為0.1μm以上為較佳,0.2μm以上為更佳,0.3μm以上為進一步較佳。
在氮氣氣氛下對本發明的膜以300℃加熱處理5小時之後的膜的厚度為加熱處理前的膜的厚度的70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。 並且,在氮氣氣氛下對上述膜以350℃加熱處理5小時之後的膜的厚度為加熱處理前的膜的厚度的70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。 並且,在氮氣氣氛下對上述膜以400℃加熱處理5小時之後的膜的厚度為加熱處理前的膜的厚度的70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。
在將本發明之膜在波長400~1100nm內的透射率的最大值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上,進一步較佳為85%以上),最小值為30%以下(較佳為25%以下,更佳為20%以下,進一步較佳為15%以下)為較佳。
(膜的製造方法) 本發明的膜能夠經過將上述本發明的著色樹脂組成物塗佈於支撐體上之製程來製造。本發明的膜的製造方法中,進一步包括形成圖案(像素)之製程為較佳。作為圖案(像素)的形成方法,可舉出光微影法及乾式蝕刻,光微影法為較佳。
<光微影法> 首先,對藉由光微影法形成圖案以製造膜之情況進行說明。基於光微影法之圖案形成包括使用本發明的著色樹脂組成物在支撐體上形成著色樹脂組成物層之製程、將著色樹脂組成物層曝光成圖案狀之製程及顯影去除著色樹脂組成物層的未曝光部分以形成圖案(像素)之製程為較佳。亦可以依據需要設置烘烤著色樹脂組成物層之製程(預烘烤製程)及烘烤已顯影之圖案(像素)之製程(後烘烤製程)。
在形成著色樹脂組成物層之製程中,使用本發明的著色樹脂組成物在支撐體上形成著色樹脂組成物層。作為支撐體,並無特別限定,能夠依據用途適當選擇。例如,可舉出玻璃基板、矽基板等,矽基板為較佳。又,亦可以在矽基板上形成有電荷耦合元件(CCD)、互補金屬氧化膜半導體(CMOS)、透明導電膜等。又,亦會有矽基板上形成有隔離各像素之黑矩陣之情形。又,矽基板上亦可以為了改善與上部層的密接性、防止物質的擴散或者基板表面的平坦化而設置有底塗層。
作為著色樹脂組成物的塗佈方法,能夠使用公知的方法。例如,可舉出滴加法(滴鑄:drop cast)、狹縫塗佈法、噴塗法、輥塗法、旋轉塗佈法(旋塗法)、流延塗佈法、狹縫旋塗法、預濕法(例如、日本特開2009-145395號公報中所記載之方法)、噴墨(例如按需方式、壓電方式、熱方式)、噴嘴噴射等吐出系印刷、柔版印刷、網版印刷、凹版印刷、逆轉偏移印刷及金屬遮罩印刷法等各種印刷法、使用模具等之轉印法、奈米壓印法等。作為基於噴墨的應用方法,並無特別限定,例如可舉出“擴展/可使用之噴墨-專利上可見的無限可能性-,2005年2月發行,S.B.RESEARCH CO.,LTD.”中所示之方法(尤其115頁~133頁)或日本特開2003-262716號公報、日本特開2003-185831號公報、日本特開2003-261827號公報、日本特開2012-126830號公報、日本特開2006-169325號公報等中所記載之方法。又,著色樹脂組成物的塗佈方法還能夠採用國際公開第2017/030174號、國際公開第2017/018419號中所記載之方法,且該等內容被編入本說明書中。
形成於支撐體上之著色樹脂組成物層亦可以進行乾燥(預烘烤)。藉由低溫製程製造膜之情況下,亦可以不進行預烘烤。進行預烘烤之情況下,預烘烤溫度為150℃以下為較佳,120℃以下為更佳,110℃以下為進一步較佳。下限例如能夠設為50℃以上,還能夠設為80℃以上。預烘烤時間為10~300秒鐘為較佳,40~250秒鐘為更佳,80~220秒鐘為進一步較佳。預烘烤能夠利用加熱板、烘箱等來進行。
接著,將著色樹脂組成物層曝光成圖案狀(曝光製程)。例如,使用步進曝光機或掃描曝光機等,經由具有規定的遮罩圖案之遮罩對著色樹脂組成物層進行曝光,藉此能夠曝光成圖案狀。藉此,能夠使曝光部分硬化。
作為曝光時能夠使用之放射線(光),可舉出g射線、i射線等。又,還能夠使用波長300nm以下的光(較佳為波長180~300nm的光)。作為波長300nm以下的光,可舉出KrF射線(波長248nm)、ArF射線(波長193nm)等,KrF射線(波長248nm)為較佳。又,亦能夠利用300nm以上的長波光源。
又,曝光時,可以連續照射光來進行曝光,亦可以脈衝照射來進行曝光(脈衝曝光)。另外,脈衝曝光係指在短時間(例如,毫秒級以下)的循環中反覆進行光的照射和暫停而進行曝光之方式的曝光方法。脈衝曝光時,脈衝寬度為100奈秒(ns)以下為較佳,50奈秒以下為更佳,30奈秒以下為進一步較佳。脈衝寬度的下限並無特別限定,能夠設為1飛秒(fs)以上,還能夠設為10飛秒以上。頻率為1kHz以上為較佳,2kHz以上為更佳,4kHz以上為進一步較佳。頻率的上限為50kHz以下為較佳,20kHz以下為更佳,10kHz以下為進一步較佳。最大瞬間照度為50000000W/m2 以上為較佳,100000000W/m2 以上為更佳,200000000W/m2 以上為進一步較佳。又,最大瞬間照度的上限為1000000000W/m2 以下為較佳,800000000W/m2 以下為更佳,500000000W/m2 以下為進一步較佳。另外,脈衝寬度係指在脈衝週期中的照射光之時間。又,頻率係指每一秒鐘的脈衝週期的次數。又,最大瞬間照度係指在脈衝週期中的照射光之時間內的平均照度。又,脈衝週期係指將脈衝曝光中的光的照射和暫停作為一個循環之週期。
照射量(曝光量)例如為0.03~2.5J/cm2 為較佳,0.05~1.0J/cm2 為更佳。關於曝光時的氧濃度,能夠適當選擇,除了在大氣下進行以外,例如亦可以在氧濃度為19體積%以下的低氧氣氛下(例如15體積%、5體積%或實質上無氧)進行曝光,亦可以在氧濃度超過21體積%之高氧氣氛下(例如22體積%、30體積%或50體積%)進行曝光。又,曝光照度能夠適當設定,通常能夠從1000W/m2 ~100000W/m2 (例如,5000W/m2 、15000W/m2 或35000W/m2 )的範圍選擇。氧濃度和曝光照度可以適當組合條件,例如能夠設為氧濃度10體積%且照度10000W/m2 、設為氧濃度35體積%且照度20000W/m2 等。
接著,顯影去除著色樹脂組成物層的未曝光部以形成圖案(像素)。著色樹脂組成物層的未曝光部的顯影去除能夠使用顯影液來進行。藉此,曝光製程中的未曝光部的著色樹脂組成物層溶出於顯影液,而僅殘留光硬化之部分。顯影液的溫度例如為20~30℃為較佳。顯影時間為20~180秒鐘為較佳。又,為了提高殘渣去除性,可以反覆進行數次如下製程,亦即每60秒鐘甩掉一次顯影液,再重新供給顯影液。
顯影液可舉出有機溶劑、鹼顯影液等,可較佳地使用鹼顯影液。作為鹼顯影液,用純水稀釋鹼劑之鹼性水溶液(鹼顯影液)為較佳。作為鹼劑,例如可舉出氨、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺、二乙醇胺、羥基胺、乙二胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、乙基三甲基氫氧化銨、苄基三甲基氫氧化銨、二甲基雙(2-羥基乙基)氫氧化銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯等有機鹼性化合物或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉等無機鹼性化合物。關於鹼劑,分子量大的化合物在環境方面及安全方面為較佳。鹼性水溶液的鹼劑的濃度為0.001~10質量%為較佳,0.01~1質量%為更佳。又,顯影液亦可以進一步含有界面活性劑。作為界面活性劑,可舉出上述界面活性劑,非離子性界面活性劑為較佳。從運輸和保管方便等觀點考慮,顯影液亦可以先製成為濃縮液,使用時再稀釋成所需的濃度。稀釋倍率並無特別限定,例如能夠設定在1.5~100倍的範圍。又,顯影之後利用純水進行清洗(沖洗)亦較佳。又,一邊使形成有顯影後的著色樹脂組成物層之支撐體旋轉,一邊向顯影後的著色樹脂組成物層供給沖洗液來進行沖洗為較佳。又,藉由使吐出沖洗液之噴嘴從支撐體的中心部向支撐體的周緣部移動來進行亦較佳。此時,亦可以在從噴嘴的支撐體中心部向周緣部移動時,逐漸降低噴嘴的移動速度,並且使其移動。藉由如上進行沖洗,能夠抑制沖洗的面內偏差。又,藉由一邊將噴嘴從支撐體中心部向周緣部移動,一邊逐漸降低支撐體的轉速,亦可獲得相同的效果。
顯影之後,實施乾燥之後進行追加曝光處理或加熱處理(後烘烤)為較佳。追加曝光處理或後烘烤為用於使其成為完全硬化者的顯影之後的硬化處理。後烘烤中的加熱溫度例如為100~240℃為較佳,200~240℃為更佳。能夠使用加熱板或對流烘箱(熱風循環式乾燥機)、高頻加熱機等加熱機構以連續式或者間歇式之方式對顯影之後的膜進行後烘烤以成為上述條件。進行追加曝光處理之情況下,曝光中所使用之光為波長400nm以下的光為較佳。又,追加曝光處理亦可以以韓國公開專利第10-2017-0122130號公報中所記載之方法進行。
<乾式蝕刻法> 基於乾式蝕刻法的圖案形成包括如下製程為較佳:使用本發明的著色樹脂組成物在支撐體上形成著色樹脂組成物層,並使該著色樹脂組成物層整體硬化來形成硬化物層之製程;在該硬化物層上形成光阻劑層之製程;將光阻劑層曝光成圖案狀之後,進行顯影而形成光阻圖案之製程;及將該光阻圖案作為遮罩,使用蝕刻氣體對硬化物層進行乾式蝕刻之製程。形成光阻劑層時,進一步實施預烘烤處理為較佳。尤其,作為光阻劑層的形成製程,實施曝光後的加熱處理、顯影後的加熱處理(後烘烤處理)之形態為較佳。關於基於乾式蝕刻法的圖案形成,能夠參閱日本特開2013-064993號公報的0010~0067段的記載,且該內容被編入本說明書中。
(濾色器) 本發明的濾色器具有上述本發明的膜。更佳為,作為濾色器的像素具有本發明的膜。本發明的濾色器能夠用於CCD(電荷耦合元件)和CMOS(互補金屬氧化膜半導體)等固體攝像元件和圖像顯示裝置等。
在本發明的濾色器中,本發明的膜的厚度能夠依據目的而適當調整。膜厚為20μm以下為較佳,10μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳。膜厚的下限為0.1μm以上為較佳,0.2μm以上為更佳,0.3μm以上為進一步較佳。
在本發明的濾色器中,像素的寬度為0.5~20.0μm為較佳。下限為1.0μm以上為較佳,2.0μm以上為更佳。上限為15.0μm以下為較佳,10.0μm以下為更佳。又,像素的楊氏係數為0.5~20GPa為較佳,2.5~15GPa為更佳。
本發明的濾色器所包含之各像素具有高平坦性為較佳。具體而言,像素的表面粗糙度Ra為100nm以下為較佳,40nm以下為更佳,15nm以下為進一步較佳。下限並無規定,例如0.1nm以上為較佳。像素的表面粗糙度能夠使用例如Veeco Instruments Inc.製的AFM(原子力顯微鏡)Dimension3100來進行測定。又,像素上的水的接觸見方能夠設定為適當較佳的值,典型為50~110°的範圍。接觸見方能夠使用例如接觸見方儀CV-DT・A型(Kyowa Interface Science Co.,LTD.製)來進行測定。又,像素的體積電阻高為較佳。具體而言,像素的體積電阻值為109 Ω・cm以上為較佳,1011 Ω・cm以上為更佳。上限並無規定,例如1014 Ω・cm以下為較佳。像素的體積電阻值能夠使用超高電阻儀5410(Advantest Corporation製)來進行測定。
又,在本發明的濾色器中,亦可以在本發明的膜的表面設置有保護層。藉由設置保護層,能夠賦予氧遮蔽化、低反射化、親疏水化、對特定波長的光(紫外線、近紅外線等)的屏蔽等各種功能。作為保護層的厚度,0.01~10μm為較佳,0.1~5μm為更佳。作為保護層的形成方法,可舉出塗佈溶解於有機溶劑中之保護層形成用樹脂組成物來形成之方法、化學氣相沉積法、利用黏著劑黏附所成形之樹脂之方法等。作為構成保護層之成分,可舉出(甲基)丙烯酸樹脂、烯-硫醇樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚樹脂、聚芳酯樹脂、聚碸樹脂、聚醚碸樹脂、聚苯樹脂、聚伸芳基醚氧化膦樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、環烯烴樹脂、聚酯樹脂、苯乙烯樹脂、多元醇樹脂、聚偏二氯乙烯樹脂、三聚氰胺樹脂、胺基甲酸酯樹脂、芳族聚醯胺樹脂、聚醯胺樹脂、醇酸樹脂、環氧樹脂、改性聚矽氧樹脂、氟樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚丙烯腈樹脂、纖維素樹脂、Si、C、W、Al2 O3 、Mo、SiO2 、Si2 N4 等,亦可以含有兩種以上該等成分。例如,為以氧遮蔽化為目的之保護層時,保護層包含多元醇樹脂、SiO2 及Si2 N4 為較佳。又,為以低反射化為目的之保護層時,保護層包含(甲基)丙烯酸樹脂和氟樹脂為較佳。
塗佈保護層形成用樹脂組成物來形成保護層時,作為保護層形成用樹脂組成物的塗佈方法,能夠使用旋塗法、澆鑄法、網版印刷法、噴墨法等公知的方法。保護層形成用樹脂組成物所包含之有機溶劑能夠使用公知的有機溶劑(例如,丙二醇1-單甲醚2-乙酸酯、環戊酮、乳酸乙酯等)。利用化學氣相沉積法形成保護層時,作為化學氣相沉積法,能夠利用公知的化學氣相沉積法(熱化學氣相沉積法、電漿化學氣相沉積法、光化學氣相沉積法)。
保護層亦可以依據需要而含有有機/無機微粒子、特定波長的光(例如,紫外線、近紅外線等)的吸收劑、折射率調整劑、抗氧化劑、黏附劑、界面活性劑等添加劑。作為有機/無機微粒子的例子,例如可舉出高分子微粒子(例如,聚矽氧樹脂微粒子、聚苯乙烯微粒子、三聚氰胺樹脂微粒子)、氧化鈦、氧化鋅、氧化鋯、氧化銦、氧化鋁、氮化鈦、酸氮化鈦、氟化鎂、中空二氧化矽、二氧化矽、碳酸鈣、硫酸鋇等。特定波長的光的吸收劑能夠使用公知的吸收劑。該等添加劑的含量能夠適當調整,相對於保護層的總質量為0.1~70質量%為較佳,1~60質量%為進一步較佳。
又,作為保護層,還能夠使用日本特開2017-151176號公報的0073~0092段中所記載之保護層。
濾色器可以具有基底層。基底層例如還能夠使用從上述本發明的著色樹脂組成物去除色材之組成物等來形成。 關於基底材的較佳表面接觸角,在二碘甲烷中測定時呈20~70°為較佳,在水中測定時呈30~80°為較佳。 若上述表面接觸角在上述範圍內,則對著色樹脂組成物的塗佈性與用於形成基底的組成物的塗佈性的兼顧為優異。 為了將上述表面接觸角設在上述範圍內,可舉出添加界面活性劑等方法。
又,在濾色器的綠色像素中,可以由C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料黃139及C.I.顏料黃185的組合形成綠色,亦可以由C.I.顏料綠58、C.I.顏料黃150及C.I.顏料黃185的組合形成綠色。
濾色器亦可以具有藉由隔壁分割成例如格子狀之空間中填入有各著色像素之結構。又,本發明的著色樹脂組成物亦能夠較佳地使用於國際公開第2019/102887號中所記載之像素結構中。
(固體攝像元件) 本發明的固體攝像元件具有上述本發明的膜。作為本發明的固體攝像元件的結構,只要具備本發明的膜且作為固體攝像元件而發揮作用之結構,則並無特別限定,例如可舉出如下結構。
構成如下:在基板上具有包含構成固體攝像元件(CCD(電荷耦合元件)影像感測器、CMOS(互補金屬氧化膜半導體)影像感測器等)的受光區域之複數個光二極體及多晶矽等之傳輸電極,在光二極體及傳輸電極上具有僅光二極體的受光部開口之遮光膜,在遮光膜上具有包括以覆蓋遮光膜整個面及光二極體受光部的方式形成之氮化矽等之裝置保護膜,在裝置保護膜上具有濾色器。而且,亦可以為在裝置保護膜上且濾色器之下方(靠近基板之一側)具有聚光機構(例如,微透鏡等。以下相同)之結構或在濾色器上具有聚光機構之結構等。又,濾色器亦可以具有藉由隔壁分割成例如格子狀之空間中填入有各著色像素之結構。此時的隔壁為相對於各著色像素為低折射率為較佳。作為具有該種結構之攝像裝置的例子,可舉出日本特開2012-227478號公報、日本特開2014-179577號公報、國際公開第2018/043654號、美國專利申請公開第2018/0040656號說明書中所記載之裝置。具備本發明的固體攝像元件之攝像裝置,除了數位相機或具有攝像功能之電子設備(移動電話等)之外,亦能夠用作車載相機或監控相機用攝像裝置。 再者,組裝有本發明的濾色器之固體攝像元件中,除了本發明的濾色器之外,亦可以進一步組裝有其他濾色器、紅外線截止濾波器、有機光電轉換膜等。
(圖像顯示裝置) 本發明的圖像顯示裝置具有上述本發明的膜。作為圖像顯示裝置,可舉出液晶顯示裝置或有機電致發光顯示裝置等。關於圖像顯示裝置的定義和各圖像顯示裝置,具體例如記載於“電子顯示器裝置(佐佐木昭夫著、Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd. 1990年發行)”、“顯示器裝置(伊吹順章著、Sangyo-Tosho Publishing Co.,Ltd.,1989年發行)”等中。又,關於液晶顯示裝置,例如記載於“新一代液晶顯示器技術(內田龍男編輯、KogyoChosakai Publishing Co.,Ltd.,1994年發行)”中。對於本發明能夠應用的液晶顯示裝置並無特別限定,例如能夠應用於上述“新一代液晶顯示器技術”中所記載之各種方式的液晶顯示裝置。
(聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物) 本發明的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物包含由上述式(2-1)或上述式(2-2)表示之重複單元為較佳。 本發明的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物除了包含由上述式(2-1)或上述式(2-2)表示之重複單元之外,本發明的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物的較佳形態與上述本發明的著色樹脂組成物中的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物的較佳形態相同。
<用途> 本發明的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物例如用作濾色器形成用組成物中所包含之樹脂為較佳,用作固體攝像元件用的濾色器形成用組成物中所包含之樹脂為更佳。 另外,在使用公知的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物之用途中,能夠將公知的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物替換為本發明的聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物而使用。 [實施例]
以下列舉實施例來對本發明進一步進行具體說明。示於以下實施例之材料、使用量、比例、處理內容、處理順序等只要不脫離本發明的宗旨,則能夠適當變更。因此,本發明的範圍並不限定於以下所示出之具體例。除非特別指明,則“份”、“%”為質量基準。
<試樣的重量平均分子量(Mw)的測定> 試樣的重量平均分子量,藉由凝膠滲透層析法(GPC),在以下條件下進行了測定。 管柱的種類:連接TOSOH TSKgel Super HZM-H、TOSOH TSKgel Super HZ4000和TOSOH TSKgel Super HZ2000之管柱 展開溶劑:四氫呋喃 管柱溫度:40℃ 流量(樣品注入量):1.0μL(樣品濃度:0.1質量%) 裝置名稱:Tosoh Corporation製 HLC-8220GPC 檢測器:RI(折射率)檢測器 校準曲線基礎樹脂:聚苯乙烯樹脂
<試樣的酸值的測定> 試樣的酸值為表示中和每1g固體成分中的酸性成分時所需之氫氧化鉀的質量者。試樣的酸值如下進行了測定。亦即,將測定試樣溶解於四氫呋喃/水=9/1(質量比)混合溶劑中,使用電位滴定裝置(產品名稱:AT-510、KYOTO ELECTRONICS MANUFACTURING CO.,LTD.製),將所獲得之溶液在25℃下用0.1mol/L氫氧化鈉水溶液進行了中和滴定。將滴定pH曲線的反曲點作為滴定終點,藉由下式計算出了酸值。 A=56.11×Vs×0.5×f/w A:酸值(mgKOH/g) Vs:滴定時所需之0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的使用量(mL) f:0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的滴定量 w:試樣的質量(g)(固體成分換算)
<試樣的C=C值的測定> 藉由鹼處理從樹脂取出乙烯性不飽和鍵部位(例如、樹脂具有丙烯醯氧基時為丙烯酸)的低分子成分(a),並藉由高效液相色譜法(HPLC)測定其含量,根據其測定值由下述式計算出C=C值。 具體而言,使樹脂0.1g溶解於四氫呋喃/甲醇混合液(50mL/15mL)中,添加4mol/L氫氧化鈉水溶液10mL,並在40℃下反應2小時。由4mol/L甲磺酸水溶液10.2mL中和反應液,之後,將添加了離子交換水5mL和甲醇2mL之混合液轉移到100mL容量燒瓶,藉由利用甲醇定容來製備HPLC測定樣品,並在以下條件下進行了測定。又,由另外製作之低分子成分(a)的校準曲線計算出低分子成分(a)的含量,且藉由下述式計算出乙烯性不飽和鍵價(C=C值)。
〔C=C值計算式〕 C=C值(mmol/g)=(低分子成分(a)含量(ppm)/低分子成分(a)的分子量(g/mol))/(聚合物液的稱重值(g)×(聚合物液的固體成分濃度(%)/100)×10) -HPLC測定條件- 測定設備:Agilent-1200(Agilent Technologies Japan,Ltd.製) 管柱:Phenomenex公司製的Synergi 4u Polar-RP 80A,250mm×4.60mm(內徑)+保護管柱 管柱溫度:40℃ 分析時間:15分鐘 流速:1.0mL/min(最大輸送壓力:182bar(18.2MPa)) 注入量:5μl 檢測波長:210nm 洗提液:四氫呋喃(不含穩定劑的HPLC用)/緩衝溶液(含有磷酸0.2體積%及三乙胺0.2體積%之離子交換水溶液)=55/45(體積%) 另外,在本說明書中,體積%為25℃下的值。
<合成例1:特定樹脂A-12的合成> (主鏈聚合物(A-12a)的合成) 在460g的N-甲基吡咯啶酮中溶解了20.0g的2,2’-雙(三氟甲基)聯苯胺和38.3g的3,5-二胺基苯甲酸。向其中添加138.8g的4,4’-(六氟異丙叉基)二鄰苯二甲酸酐和5.6g的鄰苯二甲酸酐並在50℃下攪拌了6小時。接著添加100.4g的乙酸酐和7.1g的吡啶並在80℃下攪拌了2小時。使所獲得之聚合物溶液在甲醇中析出,並對所獲得之粉末進行了過濾。聚合物(A-12a)的Mw為25,000,酸值為69mgKOH/g。 (枝聚合物(A-12b)的合成) 在23g的甲基乙基酮中溶解了10.0g的甲基丙烯酸甲基和1.7g的巰基乙醇。向其中添加0.3g的V-601並在75℃下加熱攪拌了8小時。使所獲得之聚合物在己烷中析出,並對所獲得之粉末進行了過濾。聚合物(A-12b)的Mw為3,500。 (接枝聚合物的合成) 在360g的N-甲基吡咯啶酮中溶解了由上述所獲得之150g的聚合物(A-12a)和8g聚合物(A-12b)。作為縮合劑添加35g的亞磷酸三苯酯和10g的吡啶並在120℃加熱攪拌了8小時。使反應溶液在甲醇中析出,並對所獲得之粉末進行了過濾。聚合物(A-12)的Mw為45,800,酸值為35mgKOH/g。 關於在本實施例或比較例中使用之其他特定樹脂,除了適當變更單體的種類及使用量之外,藉由與上述A-12相同的方法進行了合成。 在本實施例或比較例中使用之特定樹脂A-1~A-33中的各重複單元的含有比(莫耳比)亦即x、y、z、z1、z2的詳細內容如下述表。
[表10]
   x y z z1 z2       x y z z1 z2
A-1 50 - - - - A-18 10 35 5 - -
A-2 30 20 - - - A-19 50 - - - -
A-3 50 - - - - A-20 50 - - - -
A-4 25 25 - - - A-21 25 25 - - -
A-5 30 20 - - - A-22 10 5 35 - -
A-6 25 25 - - - A-23 20 20 10 - -
A-7 10 40 - - - A-24 5 20 - 5 20
A-8 10 20 20 - - A-25 30 20 - - -
A-9 10 10 30 - - A-26 5 25 20 - -
A-10 30 10 10 - - A-27 10 40 - - -
A-11 5 10 35 - - A-28 10 40 - - -
A-12 10 35 5 - - A-29 25 25 - - -
A-13 5 40 5 - - A-30 10 40 - - -
A-14 10 35 5 - - A-31 20 20 10 - -
A-15 25 15 10 - - A-32 20 20 10 - -
A-16 10 30 10 - - A-33 10 20 - 5 15
A-17 10 25 15 - -   
<分散液R1~R8、B1~B5、G1~G4、Y1~Y2、I1~I6、Bk1~Bk7> 使用珠磨機(直徑0.3mm的二氧化鋯珠),將混合下述表中所記載之原料而成之混合液混合3小時並分散之後,進一步使用帶減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(Nippon BEE Co.,Ltd.製),在2,000MPa的壓力下以流量500g/min進行了分散處理。反覆進行10次該分散處理而獲得了各分散液。
[表11]
顏料 分散液 色材 樹脂(分散劑) 溶劑
PR 264 PR 254 PR 179 PB 15:4 PB 15:6 PB 16 PG 7 PG 36 PY 138 PY 215 PV 23 IR 色素 IRGAPHORE PBk 32 衍生物1 衍生物2 衍生物3 A -20 A -22 A -26 A -29 CA -1 CA -2 S-1 S-2 S-3 S-4
分散液 R1 20.8 - - - - - - - - - - - - - 5.2 - - 9.2 - - - - - 64.8 - - -
R2 - 24.2 - - - - - - - - - - - - - 5.6 - - 9.8 - - - - 60.4 - - -
R3 11.6 10.6 - - - - - - - - - - - - - 4.6 - - - 11.2 - - - - 62.0 - -
R4 22.9 2.1 - - - - - - - - - - - - 5.0 - - - - - - 12.3 - - - 57.7 -
R5 - 12.8 - - - - - - 5.5 - - - - - 2.6 - - 4.5 - - - - - 74.6 - - -
R6 13.1 - - - - - - - - 3.6 - - - - 2.4 - - - 4.3 - - - - 76.6 - - -
R7 - - 12.9 - - - - - - - - - - - 2.7 - - - - 4.2 - - - 80.2 - - -
R8 - - 10.1 - - - - - - 4.2 - - - - 2.6 - - - - - 4.0 - - 79.1 - - -
B1 - - - 21.5 - - - - - - - - - - - 5.0 - 9.8 - - - - - - - 63.7 -
B2 - - - - 22.6 - - - - - - - - - - 4.2 - - 10.3 - - - - - - - 62.9
B3 - - - - - 22.4 - - - - - - - - - 5.6 - - - - 10.5 - - - 61.5 - -
B4 - - - 17.2 5.4 - - - - - - - - - - 4.8 - 5.4 - - 4.2 - - - 63.0 - -
B5 - - - 10.8 - 6.9 - - - - - - - - 5.6 - - - - - - - 8.4 68.3 - - -
G1 - - - - - - 12.3 - - - - - - - - 2.5 - 4.1 - - - - - 81.1 - - -
G2 - - - - - - - 11.9 - - - - - - - 2.3 - - 3.9 - - - - 81.9 - - -
G3 - - - - - - 10.1 - - 2.0 - - - - - 2.6 - - - 3.3 - - - 82.0 - - -
G4 - - - - - - - 10.2 2.9 - - - - - - 2.3 - - - - 3.7 - - 80.9 - - -
Y1 - - - - - - - - 12.9 - - - - - - 2.3 - 3.5 - - - - - 81.3 - - -
Y2 - - - - - - - - - 13.1 - - - - - 2.3 - 3.7 - - - - - 80.9 - - -
I1 - - - - - - - - - - - 22.5 - - - - 6.4 4.5 - - - - - - - - 66.6
I2 - - - - - - - - - - - 22.5 - - - - 6.4 - 4.5 - - - - - - 66.6 -
I3 - - - - - - - - - - - 22.5 - - - - 6.4 - - 4.5 - - - - 66.6 - -
I4 - - - - - - - - - - - 24.3 - - - - 7.2 - - - 4.5 - - 64.0 - - -
I5 - - - - - - - - - - - 24.3 - - - - 7.2 - - - 2.3 2.2 - 64.0 - - -
I6 - - - - - - - - - - - 24.3 - - - - 7.2 - - - - - 4.5 64.0 - - -
Bkl - 7.7 - 5.0 - - - - - - - - - - 2.3 - - 4.5 - - - - - 80.5 - - -
Bk2 - - 4.9 - - 1.9 5.2 - - - - - - - - 2.4 - - 4.3 - - - - 81.3 - - -
Bk3 6.8 - - - - 4.4 - - - 1.0 - - - - 2.3 - - - - 4.0 - - - 81.5 - - -
Bk4 - 5.6 - - 3.2 - - - 2.2 - - 3.6 - - 2.3 - - - - - 4.1 - - 79.0 - - -
Bk5 - - - - - 6.3 - - - - - - 6.3 - - 2.1 - - - - 3.8 - - 81.5 - - -
Bk6 - - - - 3.1 - - - 3.1 - - - 3.1 3.1 - 2.1 - - - - 3.8 - - 81.7 - - -
Bk7 - - - - 4.2 - - - 4.2 - 4.2 - - - 1.0 1.0 1.0 - - - 3.8 - - 80.6 - - -
上述表中所記載之數值的單位為質量份。上述表所示之原料中縮寫表示之原料,具體如下。 〔色材〕 PR264:C.I.Pigment Red 264(紅色顏料、二酮吡咯并吡咯顏料) PR254:C.I.Pigment Red 254(紅色顏料、二酮吡咯并吡咯顏料) PR179:C.I.Pigment Red 179 PB15:4:C.I.Pigment Blue 15:4(藍色顏料、酞菁顏料) PB15:6:C.I.Pigment Blue 15:6(藍色顏料、酞菁顏料) PB16:C.I.Pigment Blue 16(藍色顏料、酞菁顏料) PG7:C.I.Pigment Green 7 PG36:C.I.Pigment Green 36 PY138:C.I.Pigment Yellow 138 PY215:C.I.Pigment Yellow 215 PV23:C.I.Pigment Violet 23 IR色素:下述結構的化合物(近紅外線吸收顏料、結構式中,Me表示甲基,Ph表示苯基) [化學式39]
Figure 02_image097
IRGAPHORE:Irgaphor Black S 0100 CF(BASF公司製、下述結構的化合物、醯胺系顏料) [化學式40]
Figure 02_image099
PBk32:C.I.Pigment Black 32(下述結構的化合物、苝系顏料) [化學式41]
Figure 02_image101
衍生物1:下述結構的化合物 [化學式42]
Figure 02_image103
衍生物2:下述結構的化合物 [化學式43]
Figure 02_image105
衍生物3:下述結構的化合物 [化學式44]
Figure 02_image107
〔樹脂〕 A-20、A-22、A-26及A-29:在上述合成例中所合成之樹脂 CA-1:下述結構的樹脂((甲基)丙烯酸樹脂、主鏈上所標記之數值表示莫耳比,側鏈上所標記之數值表示重複單元的個數。重量平均分子量為20,000,酸值為77mgKOH/g。又,CA-1係不包含任何由式(1-1)~式(1-5)中的任一個表示之重複單元之樹脂。) [化學式45]
Figure 02_image109
CA-2:DISPERBYK-193(BYK Additives & Instruments公司製、非離子系聚合物分散劑。又,CA-2係不包含任何由式(1-1)~式(1-5)中的任一個表示之重複單元之樹脂。)
〔溶劑〕 S-1:丙二醇單甲醚乙酸酯 S-2:丙二醇單甲醚 S-3:環己酮 S-4:環戊酮
<樹脂組成物的製造> 在各實施例及比較例中,分別混合下述表中所記載之原料來製備著色樹脂組成物或比較用樹脂組成物。下述表中所記載之添加量一欄中的數值的單位為質量份。「固體成分中色材濃度(%)」欄中的描述表示相對於組成物的總固體成分之色材的含量(質量%)。
[表12]
   顏料分散液 樹脂 聚合性化合物 光聚合起始劑 溶劑 固體成分中色材濃度(%)
種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份
實施例 1 分散液R1 54.6 A-2 12.0 D-1 5 E-1 5.0 S-1 23.4 34.4
2 分散液R1 56.4 A-4 4.0 D-1 4 E-1 3.0 S-1 32.6 47.5
3 分散液R1 54.6 A-5 2.0 D-1 3 E-2 1.0 S-3 39.4 56.3
4 分散液R2 53.4 A-6 8.0 D-1 3 E-1 3.0 S-3 32.6 45.3
5 分散液R2 58.6 A-7 8.0 D-2 3 E-2 3.0 S-3 27.4 46.9
6 分散液R2 55.0 A-8 8.0 D-1 3 E-3 3.0 S-3 31.0 45.8
7 分散液R3 55.9 A-9 10.0 D-1 5 E-1 3.0 S-3 26.1 38.2
8 分散液R3 57.2 A-10 10.0 D-2 5 E-2 3.0 S-3 24.8 38.6
9 分散液R3 63.7 A-11 10.0 D-3 4 E-3 3.0 S-1 19.3 41.4
10 分散液R4 56.9 A-12 12.0 D-1 4 E-3 3.0 S-3 24.1 39.6
11 分散液R5 55.0 A-13 5.0 D-1 4 E-2 3.0 S-1 33.0 44.3
12 分散液R6 55.0 A-14 5.0 D-2 3 E-2 3.0 S-1 34.0 44.0
13 分散液R7 55.0 A-15 5.0 D-1 3 E-3 3.0 S-1 34.0 39.2
14 分散液R8 55.0 A-16 5.0 D-2 2 E-3 3.0 S-1 35.0 43.2
15 分散液B1 52.5 A-17 8.0 D-1 5 E-1 2.0 S-3 32.5 40.9
16 分散液B1 52.0 A-18 8.0 D-2 5 E-1 3.0 S-3 32.0 39.5
17 分散液B1 57.9 A-19 8.0 D-3 5 E-1 3.0 S-3 26.2 41.4
18 分散液B2 52.3 A-20 8.0 D-1 5 E-2 3.0 S-3 31.7 39.6
19 分散液B2 56.7 A-22 8.0 D-2 2 E-2 2.0 S-3 31.3 46.0
20 分散液B2 55.1 A-24 8.0 D-3 5 E-2 3.0 S-1 28.9 40.5
21 分散液B3 58.0 A-26 10.0 D-1 5 E-3 3.0 S-1 24.0 40.3
22 分散液B3 53.8 A-27 10.0 D-1 2 E-3 3.0 S-1 31.2 42.2
23 分散液B3 54.1 A-28 10.0 D-2 5 E-3 3.0 S-1 27.9 39.0
24 分散液B4 59.2 A-29 10.0 D-1 5 E-1 3.0 S-3 22.9 40.6
25 分散液B4 56.4 A-30 8.0 D-1 5 E-2 2.0 S-3 28.6 43.1
26 分散液B4 56.8 A-31 8.0 D-2 2 E-3 3.0 S-3 30.2 45.8
27 分散液B5 63.7 A-32 9.0 D-1 5 E-1 3.0 S-3 19.3 39.9
28 分散液B5 70.2 A-33 10.0 D-1 5 E-2 3.0 S-3 11.8 40.6
29 分散液G1 55.0 A-8 5.0 D-1 5 E-3 2.0 S-1 33.0 36.3
30 分散液G2 55.0 A-8 5.0 D-1 5 E-3 3.0 S-1 32.0 34.0
31 分散液G3 55.0 A-9 5.0 D-2 5 E-3 3.0 S-1 32.0 35.3
32 分散液G4 55.0 A-9 5.0 D-2 5 E-3 3.0 S-1 32.0 36.0
33 分散液Y1 55.0 A-10 5.0 D-3 2 E-3 2.0 S-1 36.0 43.3
34 分散液Y2 55.0 A-10 5.0 D-3 5 E-3 3.0 S-1 32.0 36.0
35 分散液I1 53.8 A-11 8.0 D-1 2 E-3 1.0 S-1 35.2 53.7
36 分散液I1 56.6 A-11 8.0 D-1 5 E-1 3.0 S-1 27.5 46.8
37 分散液I1 59.8 A-24 8.0 D-1 5 E-2 3.0 S-1 24.2 48.0
38 分散液I2 60.3 A-24 8.0 D-1 2 E-3 1.0 S-3 28.7 56.0
39 分散液I2 57.1 A-26 8.0 D-2 5 E-1 2.0 S-3 27.9 48.4
40 分散液I3 56.3 A-26 12.0 D-1 10 E-2 5.0 S-3 16.7 35.5
[表13]
   顏料分散液 樹脂 聚合性化合物 光聚合起始劑 溶劑 固體成分中色材濃度(%)
種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份
實施例 41 分散液I3 55.9 A-8 8.0 D-2 5 E-3 5.0 S-3 26.1 44.1
42 分散液I4 54.1 A-8 8.0 D-1 2 E-1 3.0 S-3 32.9 52.5
43 分散液I5 55.9 A-8 8.0 D-1 2 E-2 3.0 S-3 31.1 53.2
44 分散液I5 60.6 A-9 8.0 D-1 5 E-3 3.0 S-3 23.4 50.5
45 分散液I5 55.8 A-9 8.0 D-1 5 E-3 3.0 S-3 28.2 48.7
46 分散液I6 55.0 A-9 8.0 D-1 5 E-3 3.0 S-3 29.0 48.4
47 分散液Bkl 55.0 A-10 5.0 D-1 2 E-2 3.0 S-1 35.0 39.8
48 分散液Bk2 55.0 A-10 5.0 D-1 2 E-2 3.0 S-1 35.0 39.0
49 分散液Bk3 55.0 A-11 5.0 D-1 2 E-3 3.0 S-1 35.0 39.5
50 分散液Bk4 55.0 A-11 5.0 D-1 2 E-3 3.0 S-1 35.0 43.1
51 分散液R1 分散液B2 27.6 27.6 A-11 10.0 D-1 11.5 E-2 5.0 S-1 18.3 31.4
52 分散液R5 分散液G1 分散液Y1 18.3 18.3 18.3 A-11 5.0 D-1 5 E-2 3.0 S-1 32.1 38.0
53 分散液R6 分散液G2 分散液B1 18.3 18.3 18.3 A-11 5.0 D-2 5 E-2 3.0 S-1 32.1 40.2
54 分散液R6 分散液B2 分散液Y2 18.3 18.3 18.3 A-11 5.0 D-3 5 E-3 3.0 S-1 32.1 40.7
55 分散液Bk5 55.0 A-39 5.0 D-1 2 E-2 3.0 S-1 35.0 40.1
56 分散液Bk6 55.0 A-39 5.0 D-1 2 E-2 3.0 S-1 35.0 39.7
57 分散液Bk7 55.0 A-39 5.0 D-1 2 E-2 3.0 S-1 35.0 41.5
比較例 1 分散液I6 40.2 CA-3 8.0 D-1 11.5 E-3 5.0 S-1 35.3 32.5
2 分散液I6 43.6 CA-4 8.0 D-1 11.5 E-3 5.0 S-3 31.9 34.2
上述表中所記載之原料中縮寫表示之原料,具體如下。
〔分散液〕 分散液R1~R8、B1~B5、G1~G4、Y1~Y2、I1~I6、Bk1~Bk7:上述分散液
〔樹脂〕 A-1~A-33:在上述合成例中所合成之樹脂 CA-3:藉由下述合成例CA-3所合成之樹脂。CA-3係不包含由式(1-1)或式(1-2)表示之重複單元之樹脂。 CA-4:藉由下述合成例CA-4所合成之樹脂。CA-4係不包含由式(1-1)或式(1-2)表示之重複單元之樹脂。
-合成例CA-3- 在乾燥氮氣流下,在三頸燒瓶中,稱重31.13g(0.085mol,相對於源自總胺及其衍生物之結構單元為77.3mol%)的BAHF(2,2-雙(3-胺基-4-羥基苯基)六氟丙烷)、1.24g(0.0050mol,源自總胺及其衍生物之結構單元為4.5mol%)的SiDA(1,3-雙(3-胺基丙基)四甲基二矽氧烷),且作為封端劑,稱重2.18g(0.020mol,相對於源自總胺及其衍生物之結構單元為18.2mol%)的MAP(3-胺基苯酚)、150.00g的NMP(N-甲基-2-吡咯啶酮)並進行了溶解。在此添加在50.00g的NMP中已溶解了31.02g(0.10mol,相對於源自總羧酸及其衍生物之結構單元為100mol%)的ODPA(雙(3,4-二羧基苯基)醚二酐)之溶液,並在20℃下攪拌1小時,接著在50℃下攪拌了4小時。之後,添加15g的二甲苯,一邊使水和二甲苯共沸,一邊在150℃下攪拌了5小時。反應結束後,向3L水中加入反應溶液,並藉由過濾獲得了所析出之固體沉澱。用水將所獲得之固體洗淨3次之後,由80℃真空乾燥機乾燥24小時,而獲得了聚醯亞胺(CA-3)。所獲得之聚醯亞胺(CA-3)的Mw為27,000,酸當量為350g/mol。酸當量係指每1mol酸性基的樹脂質量,單位為g/mol。
-合成例CA-4- 裝入(0.30莫耳當量)的4,4’-二胺基苯基醚、(0.65莫耳當量)的p-伸苯基二胺、(0.05莫耳當量)的雙(3-胺基丙基)四甲基二矽氧烷、850g的γ-丁內酯及850g的N-甲基-2-吡咯啶酮,添加(0.9975莫耳當量)的4,4’-氧代二鄰苯二甲酸二酐,並在80℃下反應3小時,而獲得了聚醯胺酸(聚合物濃度20質量%)P-1溶液。 向上述聚醯胺酸P-1添加P-1的總羧基量的10莫耳%量的單異氰酸酯化合物的MOI(SHOWA DENKOK.K.製),並在70℃下反應3小時,而獲得了總羧基中的10%成為羧酸衍生物之聚醯亞胺前驅物衍生物CA-4(聚合物濃度20質量%)溶液,並對上述CA-4溶液進行乾燥而獲得了聚醯亞胺前驅物衍生物CA-4。
(聚合性化合物) D-1:KAYARAD DPHA(NIPPON KAYAKU Co.,Ltd.製) D-2:NK Ester A-DPH-12E(SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO.,LTD.製) D-3:ARONIX M-510(TOAGOSEI CO.,LTD.製)
(光聚合起始劑) E-1:IRGACURE 379(胺基苯乙酮系光自由基起始劑(BASF公司製)) E-2:IRGACURE OXE01(肟酯系光自由基起始劑(BASF公司製)) E-3:IRGACURE OXE03(肟酯系光自由基起始劑(BASF公司製))
〔溶劑〕 S-1:丙二醇單甲醚乙酸酯 S-3:環己酮
<評價> 〔曝光靈敏度的評價〕 在各實施例及比較例中,使用旋塗機分別將著色樹脂組成物或比較用組成物塗佈於矽晶圓上,並使用加熱板在100℃下乾燥(預烘烤)120秒鐘之後,使用烘箱在200℃下加熱(後烘烤)30分鐘,而形成了厚度0.60μm的樹脂組成物層。 接著,對該樹脂組成物層,經由一個邊為1.0μm的正方形非遮罩部排列於4mm×3mm的區域之遮罩圖案,並使用i射線步進機曝光裝置FPA-3000i5+(Canon Inc.製)以特定的曝光量照射波長365nm的光而對其進行曝光。 接著,將形成有曝光後的樹脂組成物層之矽晶圓載置於旋轉/噴淋顯影機(DW-30型、(CHEMITRONICS CO.,LTD.製)的水平旋轉台上,使用顯影液(CD-2000、FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製),在23℃下進行了60秒鐘覆液式顯影。接著,一邊使矽晶圓以轉速50rpm旋轉,一邊自旋轉中心的上方,將純水從噴嘴以噴淋狀進行供給來進行沖洗處理,之後進行噴霧乾燥而形成了圖案(像素)。 一邊改變上述特定的曝光量,一邊觀察所獲得之圖案,確定解析一個邊為1.0μm的正方形的圖案之最小曝光量,並根據下述評價基準進行了評價。將評價結果記載於表14。可以說上述最小曝光量越小,組成物的曝光靈敏度越優異。
-評價基準- A:上述最小曝光量小於100mJ/cm2 。 B:上述最小曝光量為100以上且小於200mJ/cm2 。 C:上述最小曝光量為200以上且小於500mJ/cm2 。 D:上述最小曝光量為500以上且小於1,000mJ/cm2 。 E:上述最小曝光量為1,000mJ/cm2 以上。
〔分散保存穩定性的評價〕 在各實施例及比較例中,分別利用TOKI SANGYO CO.,LTD製的“RE-85L”測定了著色樹脂組成物或比較用組成物的黏度(mPa・s)。上述測定後,在45℃、避光、3天的條件下靜置著色樹脂組成物,並再次對黏度(mPa・s)進行了測定。根據下述評價基準由上述靜置前後的黏度差(ΔVis)評價了保存穩定性。將評價結果記載於表14的“分散保存穩定性”欄中。可以說黏度差(ΔVis)的數值越小,組成物的保存穩定性越良好。關於上述黏度測定,均在將溫度和濕度管理成22±5℃、60±20%之實驗室內,且在將組成物的溫度調整到25℃之狀態下進行了測定。
-評價基準- A:ΔVis為0.5mPa・s以下。 B:ΔVis超過0.5mPa・s且為1.0mPa・s以下。 C:ΔVis超過1.0mPa・s且為2.0mPa・s以下。 D:ΔVis超過2.0mPa・s且為2.5mPa・s以下。 E:ΔVis超過2.5mPa・s。
〔分光變化的評價〕 在各實施例及比較例中,使用旋塗機分別將著色樹脂組成物或比較用組成物塗佈於玻璃基板上,並使用加熱板在100℃下乾燥(預烘烤)120秒鐘之後,使用烘箱在200℃下加熱(後烘烤)30分鐘,而製造了厚度0.60μm的膜。使用Cary 5000 UV-Vis-NIR 分光光度計(Agilent Technologies Japan,Ltd.製)對所獲得之膜在波長450nm的透射率Tr1進行了測定。接著,在氮氣氣氛下對所獲得之膜以300℃加熱處理了5小時。對加熱處理後之膜在波長450nm的透射率Tr2進行了測定。 計算出Tr1與Tr2之差的絕對值ΔT,並根據下述評價基準對分光變化進行了評價。將評價結果記載於表14的“分光變化”欄中。可以說ΔT越小,越不易引起分光變化而較佳。關於上述Tr1及Tr2,均在將溫度和濕度管理成22±5℃、60±20%之實驗室內,且在實施了將基板溫度設為25℃之溫度調整之狀態下進行了測定。
-評價基準- A:ΔT為0.1%以下。 B:ΔT超過0.1%且為0.5%以下。 C:ΔT超過0.5%且為1%以下。 D:ΔT超過1%且為5%以下。 E:ΔT超過5%。
〔膜收縮率的評價〕 在各實施例及比較例中,使用旋塗機分別將著色樹脂組成物或比較用組成物塗佈於玻璃基板上,並使用加熱板在100℃下乾燥(預烘烤)120秒鐘之後,使用烘箱在200℃下加熱(後烘烤)30分鐘,而製造了厚度0.60μm的膜。關於膜厚,消減膜的一部分使玻璃基板表面露出,使用探針式膜厚測定機(DektakXT、Bruker Corporation製)測定玻璃基板表面與塗佈膜的段差(塗佈膜的膜厚)。接著,在氮氣氣氛下對所獲得之膜以300℃加熱處理了5小時。以相同的方式對加熱處理後之膜的膜厚進行測定,由下述式求出膜收縮率,並根據下述評價基準對膜收縮率進行了評價。將評價結果記載於表14的“膜收縮率”欄中。關於下述T0及T1,均在將溫度和濕度管理成22±5℃、60±20%之實驗室內,且在實施了將基板溫度設為25℃之溫度調整之狀態下進行了測定。可以說膜收縮率越小,越抑制膜收縮,為較佳的結果。 膜收縮率(%)=(1-(T1/T0))×100 T0:剛製造的膜的膜厚(=0.60μm) T1:在氮氣氣氛下以300℃加熱處理了5小時之後的膜厚 -評價基準- A:膜收縮率為1%以下。 B:膜收縮率超過1%且為5%以下。 C:膜收縮率超過5%且為10%以下。 D:膜收縮率超過10%且為30%以下。 E:膜收縮率超過30%。
〔裂痕的評價〕 在各實施例及比較例中,使用旋塗機分別將著色樹脂組成物或比較用組成物塗佈於玻璃基板上,並使用加熱板在100℃下乾燥(預烘烤)120秒鐘之後,使用烘箱在200℃下加熱(後烘烤)30分鐘,而製造了厚度0.60μm的膜。 接著,藉由濺射法在所獲得之膜的表面積層200nm的SiO2 而形成了無機膜。在氮氣氣氛下對表面形成有該無機膜之膜以300℃加熱處理了5小時。利用光學顯微鏡對加熱處理後的無機膜的表面進行觀察,計數每1cm2 的裂痕個數,並根據下述評價基準評價了有無裂痕。將評價結果記載於表14的“裂痕”欄中。 -評價基準- A:每1cm2 的裂痕個數為0個。 B:每1cm2 的裂痕個數為1~10個。 C:每1cm2 的裂痕個數為11~50個。 D:每1cm2 的裂痕個數為51個~100個。 E:每1cm2 的裂痕個數為101個以上。
[表14]
   評價結果       評價結果
曝光靈敏度 分散保存穩定性 分光變化 膜收縮率 裂痕 曝光靈敏度 分散保存穩定性 分光變化 膜收縮率 裂痕
實施例 1 C A B A A 實施例 29 A A B A A
2 C B B A A 30 A A B A A
3 C A A B A 31 A B B A A
4 C A A B A 32 A A B A A
5 B B B A A 33 A B B A A
6 A A B A A 34 A B B B B
7 A A B B A 35 A A A A A
8 A B A A A 36 A B A A A
9 A A A A A 37 A A A B A
10 B A A C B 38 A A B A A
11 B A A B A 39 A B A A A
12 B A A B A 40 A A A A A
13 B A B A A 41 A A B B A
14 B A B A A 42 A A A A B
15 B A B B A 43 A A A C B
16 B A B B B 44 A A B C C
17 C A A A A 45 A A B C B
18 C A A A A 46 A B A C C
19 B A B A A 47 A A B A B
20 A A B B A 48 A A A A B
21 A A B A A 49 A A A A A
22 C A C A A 50 A A A A A
23 C B C A A 51 A A A A B
24 C B C A A 52 A A A B A
25 C A C B A 53 A A A A A
26 B A A A A 54 A A A A A
27 B A A C B 55 B B C A A
28 B A A C C 56 B B C A A
   57 B B C A A
比較例 1 B B D E D
2 C B D E E
使用實施例的著色樹脂組成物時,與使用比較例1或比較例2的比較用組成物時相比,裂痕的發生均得到了抑制。因此,可以說與比較例1及比較例2的比較用組成物相比,能夠實現製造膜之後的製程中的製程窗的擴大。
(實施例100:基於光微影法的圖案形成) 在矽晶圓上,使用旋塗機塗佈實施例9的著色樹脂組成物,並使用加熱板在100℃下乾燥(預烘烤)120秒鐘之後,使用烘箱在200℃下加熱(後烘烤)30分鐘,而形成了厚度0.60μm的樹脂組成物層。 接著,對該樹脂組成物層,經由一個邊為1.1μm的正方形非遮罩部排列於4mm×3mm的區域之遮罩圖案,並使用i射線步進機曝光裝置FPA-3000i5+(Canon Inc.製)以500mJ/cm2 的曝光量照射波長365nm的光而對其進行曝光。 接著,將形成有曝光後的樹脂組成物層之矽晶圓載置於旋轉/噴淋顯影機(DW-30型、(CHEMITRONICS CO.,LTD.製)的水平旋轉台上,使用顯影液(CD-2000、FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製),在23℃下進行了60秒鐘覆液式顯影。接著,一邊使矽晶圓以轉速50rpm旋轉,一邊自旋轉中心的上方,將純水從噴嘴以噴淋狀進行供給來進行沖洗處理,之後進行噴霧乾燥而形成了圖案(像素)。
將所製作之帶圖案的矽晶圓分割成兩個部分,在氮氣氣氛下以300℃對其中一個加熱處理了5小時(以下,將其中1個稱作300℃加熱處理前基板、另一個稱作300℃加熱處理後基板)。利用掃描式電子顯微鏡(SEM)評價形成於300℃加熱處理前基板及300℃加熱處理後基板之光阻圖案的截面時,形成於300℃加熱處理後基板之光阻圖案的高度為形成於300℃加熱處理前基板之光阻圖案的高度的71%。
Figure 109125215-A0101-11-0001-1
無。

Claims (26)

  1. 一種著色樹脂組成物,其係包含: 樹脂; 色材;及 溶劑, 前述樹脂係包含由下述式(1-1)或下述式(1-2)表示之重複單元之聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅體, 相對於組成物的總固體成分,前述色材的含量為30質量%以上,
    Figure 03_image111
    式(1-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,R12 表示R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,n表示0以上且nA以下的整數,nA係R11 中的芳香族烴基的最大取代數,R13 表示4價的有機基, 式(1-2)中,R21 表示碳數6~14的芳香族烴基,R22 表示R21 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m表示0以上且mA以下的整數,mA係R21 中的芳香族烴基的最大取代數,R23 表示4價的有機基,R24 分別獨立地表示1價的取代基。
  2. 如請求項1所述之著色樹脂組成物,其中 前述樹脂包含選自包含重複單元1-1a及重複單元1-2a之群組中之至少一種重複單元,前述重複單元1-1a由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團R1a ,且前述重複單元1-2a由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為前述R1a
  3. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述樹脂包含選自包含重複單元1-1b及重複單元1-2b之群組中之至少一種重複單元,前述重複單元1-1b由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團R1b ,前述重複單元1-2b由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為前述R1b
  4. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述樹脂包含選自包含重複單元1-1c及重複單元1-2c之群組中之至少一種重複單元,前述重複單元1-1c由式(1-1)表示,且式(1-1)中的R12 為碳數12以上的基團R1c ,前述重複單元1-2c由式(1-2)表示,且式(1-2)中的R22 為前述R1c
  5. 如請求項4所述之著色樹脂組成物,其中 前述R1c 包含選自包含源自(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元、源自(甲基)丙烯醯胺化合物之重複單元、源自芳香族乙烯基化合物之重複單元及聚酯結構之群組中之至少一種。
  6. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述R13 及R23 為包含脂環式結構之基團,或包含氟原子及芳香環結構之基團。
  7. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述R24 係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基之基團、包含選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之基團或碳數12以上的基團。
  8. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述樹脂的酸值為20mgKOH/g~150mgKOH/g。
  9. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述樹脂的C=C值為0.1mmol/g~3mmol/g。
  10. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述樹脂的重量平均分子量為5,000~20,000。
  11. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 作為前述樹脂,包含下述樹脂1及下述樹脂2, 樹脂1:係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸基、以及選自包含(甲基)丙烯醯氧基、(甲基)丙烯醯胺基、芳香族乙烯基、順丁烯二醯亞胺基、環氧基及氧雜環丁基之群組中之至少一種硬化性基之樹脂, 樹脂2:係包含選自包含羧基、磺基、磷酸基、磺醯胺基及羥基之群組中之至少一種酸性基、以及碳數12以上的基團之樹脂。
  12. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述色材為有機顏料。
  13. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述色材包含選自彩色色材及近紅外線吸收色材之至少一種。
  14. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述色材包含彩色色材及近紅外線吸收色材。
  15. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述色材包含黑色色材。
  16. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述色材包含選自包含紅色色材、黃色色材、藍色色材及紫色色材之群組中之至少一種色材。
  17. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其係還包含光聚合起始劑。
  18. 如請求項17所述之著色樹脂組成物,其中 光聚合起始劑為肟起始劑。
  19. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其中 前述溶劑包含選自包含丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、環己酮、環戊酮、乙酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丁醇、甲基異丁基酮及二丙二醇單甲醚之群組中之至少一種溶劑。
  20. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其係用於基於光微影法的圖案形成。
  21. 如請求項1或請求項2所述之著色樹脂組成物,其係用於固體攝像元件。
  22. 一種膜,其係由如請求項1至請求項21之任一項所述之著色樹脂組成物獲得。
  23. 一種濾色器,其係包含如請求項22所述之膜。
  24. 一種固體攝像元件,其係包含如請求項22所述之膜。
  25. 一種圖像顯示裝置,其係包含如請求項22所述之膜。
  26. 一種聚醯亞胺或聚醯亞胺前驅物,其係包含由下述式(2-1)或下述式(2-2)表示之重複單元,
    Figure 03_image113
    式(2-1)中,R11 表示碳數6~14的芳香族烴基,L1 表示由下述式(L-1)、下述式(L-2)或下述式(L-3)表示之基團,P1 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,n1為1或2,R14 表示R11 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m1表示0以上且nA1以下的整數,nA1係從R11 中的芳香族烴基的最大取代數減去n1之數,R13 表示4價的有機基, 式(2-2)中,R21 表示碳數6~14的芳香族烴基,L2 表示由下述式(L-1)、下述式(L-2)或下述式(L-3)表示之基團,P2 表示分子量為1,000~10,000且不具有酸基及鹼基之分子鏈,n2為1或2,R25 表示R21 中的芳香族烴基的取代基亦即1價的取代基,m2表示0以上且nA2以下的整數,nA2係從R21 中的芳香族烴基的最大取代數減去n2之數,R23 表示4價的有機基,R24 分別獨立地表示1價的取代基,
    Figure 03_image115
    式(L-1)、式(L-2)或式(L-3)中,X1 表示-O-或-NRN -,L3 表示單鍵或-O-、-NRN -、-S-、-C(=O)-、-NRN (C=O)O-、-CH2 -CH(OH)-CH2 -、烴基或其組合中的2個以上之基團,*表示與R11 或R21 的鍵結部位,●表示與P1 或P2 的鍵結部位,RN 表示氫原子或烴基。
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