TW202100869A - 乾式主真空泵及控制沖洗氣體注入之方法 - Google Patents

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Abstract

本發明有關乾式主真空泵(1)，包含注入裝置(9)，其係組構用以在泵送級(2a-2e)中分配沖洗氣體，該注入裝置(9)包含：第一壓力感測器(12)，設置在分配器(10)的公用部分(15)上，第二壓力感測器(13a-13e)，設置在該分配器(10)的每個分支(16a-16e)上，以及控制單元(14)，組構用以根據該第一壓力感測器(12)與該等第二壓力感測器(13a-13e)之間的壓力測量差值來產生脈波寬度調變命令信號，用於調節閥(11a-11e)彼此相互獨立的控制。

Description

乾式主真空泵及控制沖洗氣體注入之方法
本發明有關諸如「羅茨(Roots)」或「爪式」或螺旋式的乾式主真空泵。本發明亦有關在此真空泵中控制沖洗氣體注入之方法。
乾式主真空泵包含幾個串聯的泵送級，其中將被泵送的氣體在吸入口與排放口之間流通。可予以區分之已知的主真空泵包括具有旋轉葉片之該等者，也稱作「羅茨」真空泵，或具有斷裂之該等者，也稱作「爪式」真空泵，或螺旋真空泵。這些真空泵被稱為「乾式」係因為在運轉中，轉子在定子內部旋轉，而轉子之間或與定子之間並沒有機械接觸，使得在泵送級中不使用油變成可能。
一些主真空泵係用於使用氣體的過程中，避免凝結或粉末固化。例如，在用以製造半導體、光伏螢幕、平板螢幕、或LED螢幕的某些過程中就是此情況。該等固體副產物的大量累積可影響到真空泵的運轉，不僅會妨礙轉子的旋轉，甚至會在最壞的情況中完全阻止其旋轉。
為避免此情況，採取將沖洗氣體注入到真空泵內的措施。沖洗氣體稀釋可凝性氣體，並協助將氣態固體或簡單固體副產物驅動至泵的排放口。此沖洗氣體係經由分配器來注入到不同的泵送級內。在分配器的輸入處所注入的流量率通常係手動設定的，並藉由流量計來測量。
一缺點在於所注入至泵送級內的氣體流量率可取決於供應網路的壓力，且因此會隨著其上可能發生的波動而變化。另一缺點在於所注入至不同泵送級內的沖洗氣體流量率之間的相依性(interdependence)。實際上，例如不可能在一個泵送級中減少沖洗氣體流量率，而在另一個泵送級中同時增加沖洗氣體流量率。況且，流量率的手動設定並不能防止可能的錯誤操作。
一已知的解決方法包括使用一種裝置，其中沖洗氣體的輸入流量率係利用比例閥來控制，該比例閥根據來自壓力或流量率感測器的測量以調節。此控制可免除可能的人為失誤或沖洗氣體供應網路之壓力上的任何波動。惟，比例閥及流量率控制器係昂貴的，且比例閥並非始終可靠的。再者，此裝置無法彼此相互獨立地控制所注入至泵送級內的沖洗氣體流量率。
本發明之一目的在於至少部分地解決現有技藝的上述缺點。
為此，本發明之標的物係一種乾式主真空泵，包含： -至少兩個泵送級，串聯安裝在吸入口與排放口之間， -兩個轉子軸，在該等泵送級中延伸，該等轉子係組構成以相反方向同步旋轉，用以驅動在該吸入口與該排放口之間將被泵送的氣體， -注入裝置，組構用以在該等泵送級中分配沖洗氣體，包含： -分配器，包含： -公用部分，旨在與沖洗氣體源相連，以及 -至少兩個分支，其一側連接到該公用部分及其另一側連接到個別的泵送級，以及 -調節閥，其可被控制為開啟或關閉，係設置在該分配器的每個分支上， 其特徵在於該注入裝置尚包含： -第一壓力感測器，設置在該分配器的該公用部分上， -第二壓力感測器，設置在該分配器的每個分支上，以及 -控制單元，組構用以根據該第一壓力感測器與該等第二壓力感測器之間的壓力測量差值來產生脈波寬度調變命令信號，用於該等調節閥彼此相互獨立的控制，以便依據與每個泵送級相關聯的預定設定點來控制所注入至該等泵送級內的該沖洗氣體流量率，做為該等調節閥在預定週期內之打開百分比的函數。
在第一與第二壓力感測器之間的壓力測量差值使得無需使用流量計即可估計沖洗氣體流量率。因此，可藉由考慮由第一壓力感測器所測量之分配器的輸入壓力來自動地控制沖洗氣體流量率。於是，在輸入壓力上之無論是否有意的外部干預很少會或根本不會干擾到所注入至真空泵級之內的沖洗氣體流量率。
在每個泵送級中之沖洗氣體流量率的獨立控制可以例如，根據將被泵送的氣體來調節該等流量率，或實施特定的沖洗曲線。
本發明的另一優點在於，用以控制沖洗氣體流量率至預定義的設定點值之調節閥的脈波寬度調變命令信號之修正，在另一個泵送級中的受控沖洗氣體流量率上僅具有少許的或沒有影響。
該真空泵尚可包含下文所述之單獨或組合所採用的一或多個特徵。
該脈波寬度調變命令信號的週期係例如，大於800毫秒(ms)。
可將該等調節閥組構以在小於15毫秒(ms)中改變狀態，諸如在10毫秒(ms)中。此頻率可確保責任週期與通過調節閥的沖洗氣體流量率之間的實質線性關係。線性關係簡化了PWM(脈波寬度調變)命令信號之責任週期的計算，因為它與沖洗氣體流量率成比例。
該公用分支包含公用容積，用以平衡該等調節閥之輸入處的壓力。該公用容積形成儲氣罐，每次當打開／關閉閥門時都可使壓力「平穩」，用以平衡該等調節閥之輸入處的壓力，從而可僅使用單個第一壓力感測器並使得測量可靠。
該注入裝置包含注入構件，設置在分配器的每個分支上，注入構件具有個別的電導，該電導係組構以將沖洗氣體流量率限制為最大值。
此外，本發明的標的物係一種控制沖洗氣體注入之方法，該沖洗氣體係注入於如前所述之乾式主真空泵中，特徵在於脈波寬度調變命令信號係根據該第一壓力感測器與該等第二壓力感測器之間的壓力測量差值而產生，用於該等調節閥彼此相互獨立的控制，以便依據與每個泵送級相關聯的預定設定點來控制所注入至該等泵送級內的該沖洗氣體流量率，做為該等調節閥在預定週期內之打開百分比的函數。
該控制方法可包含下文所述之單獨或組合所採用的一或多個特徵。
兩個調節閥之脈波寬度調變命令信號的至少兩個責任週期係反相的。
可將具有反相之脈波寬度調變命令信號的兩個調節閥設置在與前兩個泵送級連接的該等分支上，第一泵送級與吸入口連通。
依據示例性實施例，連接到兩個連續的泵送級之分配器的兩個分支間之壓力差值係測量用以識別故障。
例如： -與該壓力差值低於預定臨限值的該等泵送級相關聯之預定的沖洗氣體流量率設定點被增大，及／或 -與該壓力差值高於預定臨限值的該等泵送級相關聯之預定的沖洗氣體流量率設定點被降低。
以下實施例係實例。雖然說明涉及一或多個實施例，但此並不一定意指的是，每個參考資料都有關相同的實施例，或該等特徵僅應用於單個實施例。不同實施例的簡單特徵亦可被組合或互換以提供其他的實施例。
吸入，轉移，及排放將被泵送之氣體的容積式真空泵係界定為主真空泵。在常規使用中，主真空泵被組構成為能夠在環境壓力下排放將被泵送的氣體。
第1圖表示乾式主真空泵1之示例性實施例。
真空泵1包含定子(或泵本體)，其形成至少兩個泵送級2a-2e，串聯安裝在吸入口3與排放口4之間且其中將被泵送的氣體可流通(所泵送之氣體的流通方向係藉由第1圖中之箭頭F1來描繪)。與吸入口3連通的泵送級2a係最低壓力級，也稱作第一泵送級，而與排放口4連通的泵送級2e則係最高壓力級，也稱作最後泵送級。真空泵1尚包含兩個轉子軸5，在該等泵送級2a-2e中延伸。
在說明性實例中，真空泵1包含五個泵送級2a，2b，2c，2d，2e。每個泵送級2a-2e係由容納轉子5的壓縮室所形成，該等壓縮室包含各自的輸入及輸出。連續的泵送級2a-2e係藉由各自的級間通道而被一個接一個地串聯連接，該等通道將前一個泵送級的輸出連接到下一級的輸入。
轉子5具有例如，相同輪廓的葉片之例如，「羅茨」式或「爪式」的，或係螺旋式的或係基於另一相似之容積式真空泵原理。
該等轉子5係組構為在泵送級2a-2e中以相反方向同步旋轉。在旋轉之期間，從輸入處所吸入的氣體係限制在由泵送級2a-2e之轉子5及定子所產生的容積中，然後由轉子5驅動到下一級。
轉子軸5係藉由位於例如，一端處之真空泵1的馬達M來驅動旋轉。
真空泵1尚包含注入裝置9，其係組構用以在該等泵送級2a-2e中分配例如，諸如空氣、氬氣、或氮氣之惰性氣體的沖洗氣體。
注入裝置9包含分配器10、調節閥11a-11e、第一壓力感測器12、第二壓力感測器13a-13e、及用以控制調節閥11a-11e的控制單元14。
分配器10包含公用部分15以及至少兩個分支16a-16e，公用部分15之輸入旨在例如，經由隔離閥來與沖洗氣體源相連；至少兩個分支16a-16e於一側連接到該公用部分15及於另一側連接到個別的泵送級2a-2e。
連接到第一個及最後的泵送級2a，2e之分支16a，16e係例如，組構成出現在真空泵1的主軸承處，明顯地，用以保護位於真空泵1之兩端處的滾動軸承及密封裝置。連接到中間的泵送級2b，2c，2d之分支16b，16c，16d係例如，組構成出現在該等泵送級的各自輸出處。
沖洗氣體的流通方向係藉由第1圖中之箭頭F2來描繪。
注入裝置9可包含注入構件17a-17e，諸如量測孔(也稱做噴霧嘴)或注入噴嘴，其係設置在分配器10的每個分支16a-16e上且具有各自的電導，該電導係組構以將沖洗氣體流量率限制為最大值。它們係例如，從真空泵1的泵本體外部化。注入構件17a-17e係例如，分別地插入於調節閥11a-11e與第二壓力感測器13a-13e之間。
調節閥11a-11e係設置在分配器10的每個分支16a-16e上。調節閥11a-11e可被控制為開啟(on)或關閉(off)：它們可以打開(狀態=1)，或關閉(狀態=0)且可以高速切換，也就是說，可以在很短的時間內改變狀態，例如，小於15毫秒(ms)，諸如小於10毫秒(ms)。它們係例如，諸如電磁或壓電閥的螺管閥。因此，它們可藉由時隙命令信號來控制用以打開或關閉。藉由時隙命令信號(slotted command signal)之調節閥11a-11e的控制使藉由脈衝來獲得沖洗氣體至泵送級2a-2e內的注入變成可能。藉由脈衝的注入顯著地促進粉末至泵之排放口4的驅動。可被控制為開啟(on)或關閉(off)的調節閥11a-11e提供了簡單，可靠，體積小，及廉價的優點。
第一壓力感測器12係設置在分配器10的公用部分15上，以及第二壓力感測器13a-13e係設置在分配器(10)的各自分支16a-16e上。壓力感測器12、13a-13e係例如，壓電式壓力感測器。
諸如電子電路板的控制單元14包含一或多個控制器或微控制器或處理器及記憶體，用以執行程式指令的串列來實施在真空泵1中控制沖洗氣體注入之方法。
更特別地，控制單元14係組構用以根據第一壓力感測器12與該等第二壓力感測器13a-13e之間的壓力測量差值來產生脈波寬度調變(PWM)命令信號，用於調節閥11a-11e彼此相互獨立的控制。
在第一壓力感測器12與第二壓力感測器13a-13e之間的壓力測量差值使得無需使用流量計即可估計沖洗氣體流量率。使用壓力感測器而非流量計來測量流量係更有利的，一方面，因為壓力感測器的價格便宜了四到五倍，而另一方面，因為它的體積較小。從經濟觀點及體積角度二者來考慮，都可以將第二壓力感測器13a-13e合併到分配器10的每個分支上。壓力感測器也比流量計更容易實施，因為對於不同的範圍都標準化了它們的尺寸。因此，亦可以在不調整分配器10的情況下更換感測器。
依據示例性實施例，還提供分配器10的公用分支15包括公用容積18。該公用容積18具有例如，在100毫升(ml)與400毫升(ml)之間的容積。它形成儲氣罐，每次當打開／關閉閥門時都可吸收微小的壓力波動，用以平衡調節閥11a-11e之輸入處的壓力，從而可僅使用單個第一壓力感測器12並使得測量可靠。
PWM命令信號可依據與每個泵送級2a-2e相關聯的預定設定點來控制所注入至該等泵送級2a-2e內的沖洗氣體流量率，做為調節閥11a-11e在預定週期T內之打開百分比的函數。
更特別地，PWM命令信號係時隙信號，其可採用0或1值。該信號係週期T的週期。調節閥11a-11e在預定週期T內之打開時間的比例，或以百分比表示的責任週期，可控制通過調節閥11a-11e的平均流量率，使其與所需的設定點相對應。
當調節閥在週期T內關閉時，責任週期為零。當該閥在週期T內打開時，責任週期為100%且通過閥門的沖洗氣體流量率最大。最大流量率可藉由確定調節閥11a-11e或在調節閥11a-11e輸出處之注入構件17a-17e的限制尺寸來調整。
為了要依據與每個泵送級2a-2e相關聯的預定設定點來控制所注入至泵送級2a-2e內的沖洗氣體流量率，當由壓力差值所估計的沖洗氣體流量率高於設定點時，PWM命令信號的責任週期被降低，且如果流量率低於設定點時，則責任週期被增大。
PWM命令信號的週期T係例如，大於800毫秒(ms)，諸如大於1000毫秒(ms)中。此頻率可確保責任週期與通過調節閥的沖洗氣體流量率之間的實質線性關係。線性關係簡化了PWM命令信號之責任週期的計算，因為它與沖洗氣體流量率成比例。
第2A、2B、2C圖之圖表因而顯示在1秒的週期T內之脈波寬度調變命令信號的三個實例。
第2A圖顯示第一PWM命令信號，調節閥在週期T內打開(狀態=1)10%的時間，第2B圖顯示第二PWM命令信號，調節閥在週期T內打開(狀態=1)50%的時間，以及第2C圖顯示第三PWM命令信號，調節閥在週期T內打開(狀態=1)75%的時間。
例如，對於每分鐘40標準升(40 slm)的最大氮氣流量而言，10%責任週期的PWM命令信號(第2A圖)可控制4 slm的流量率，50%責任週期的PWM命令信號(第2B圖)可控制20 slm的流量率，以及75%責任週期的PWM命令信號(第2C圖)可控制30 slm的流量率。
因此，可藉由考慮由第一壓力感測器12所測量之分配器10的輸入壓力來自動地控制沖洗氣體流量率。於是，在輸入壓力上之無論是否有意的外部干預之情況下，在所注入至真空泵1之該等級內的沖洗氣體流量率上具有很少或根本沒有破壞性的影響。另一方面，超出預定義範圍之調節閥11a-11e的異常調節，則可診斷出真空泵1的故障或沖洗氣體供應問題。此診斷可使得採取用以保護或校正真空泵1的自動措施成為可能。而且，在每個泵送級2a-2e中之沖洗氣體流量率的獨立控制可以例如，根據將被泵送的氣體來調節該等流量率，或實施特定的沖洗曲線，此將在稍後會看到。
例如，可修正流量率(在注入構件17a-17e所允許的最大值範圍內)，例如在重大污染氣體流量的情況下增大流量率，或在待機狀態中降低流量率。
例如，控制單元14係組構用以經由諸如串列鏈路或乾接觸之通訊裝置，從使用真空泵1的裝備接收資訊。
此資訊可係與每個泵送級2a-2e相關聯的沖洗流量設定點。因此，可以使沖洗流量設定點與所注入至該裝備之處理室內的氣體流量配方相匹配。
依據另一實例，此資訊使得可以決定該裝備的腔室是否處於處理基板的過程中或是在待機狀態中。然後，例如可從預儲存的配方中選擇適合於處理室中之情勢的沖洗流量設定點配方。
依據另一實例，與每個泵送級2a-2e相關聯之沖洗流量設定點無需裝備的資訊來決定，而僅取決於來自真空泵1之感測器的信號，諸如例如，根據真空泵1所消耗的功率，後者能夠指示腔室中的處理或待機狀態。
注入裝置9的另一優點在於，用以控制沖洗氣體流量率至預定義的設定點值之調節閥的PWM命令信號之修正，在另一個泵送級中的受控沖洗氣體流量率上僅具有少許的或沒有影響。
參閱下文所敘述的及在第3A及3B圖之圖表中所表示的實例，將能夠更佳地瞭解這一點。
第3A圖顯示的是，為獲得例如在1秒內20 slm的平均流量(曲線C)，PWM命令信號具有50%的責任週期，在t1與t2之間的0.5秒內之所注入的流量為40 slm，以及在0與t1之間及在t2與T之間的0.5秒內為零(曲線A)。在允許40 slm之流量注入的t1時之調節閥的打開引起分配器10的輸入壓力的稍微降低(曲線B)。此處小於巴(bar)的壓力變化係相對較低，且並不會影響到通過調節閥之所估計的流量率，以致使PWM命令信號的責任週期維持等於50%。
另一方面，在第3B圖的實例中，在t3時之分配器10的另一個分支上之第二調節閥的打開會產生分配器10之輸入壓力的第二次降低。然後，該等調節閥的連續打開所引起的總壓降會大於1巴(曲線B)，此將大大地降低流量(曲線A)並導致PWM命令信號之責任週期的適應。責任週期達到65%，從而使調節閥在週期T內的打開時間比前面實例更長，因此補償了在週期T結束時之壓降達到20 slm的流量率設定點(曲線C)。
已發現到的是，根據壓力測量差值之個別流量率的自動控制使得可迅速地補償及校正流量率與設定點之間的偏差。
第4圖係顯示特定沖洗曲線之實例的圖表。
在此實例中，兩個調節閥之脈波寬度調變命令信號的至少兩個責任週期係反相的。例如，它們係設置在與真空泵1的前兩個泵送級2a，2b連接之分配器10的分支16a，16b上的兩個調節閥11a，11b。
可以看出的是，與同相控制(曲線D)相比，反相控制(曲線E)使得可減少(此處減少兩倍)沖洗氣體流量的注入對真空泵1的吸入口3處之極限真空壓力的可能影響，該極限真空壓力係在沒有將被泵送之氣體流量的情況下所獲得的最小壓力。尚可發現到的是，在吸入壓力上的影響係有限的，因為在前兩個泵送級2a，2b上進行同相控制時低於0.006毫巴。
還值得注意的是，脈衝式注入在真空泵1的動態行為上具有很小的影響或根本沒有影響(在存在有將被泵送之氣體流量的情況下)。此外，當在最後的泵送級2c-2e中執行時，此種注入在吸入壓力上幾乎沒有影響。
注入裝置9亦可以幫助診斷來自真空泵1的故障。
實際上，設置在分配器10的個別分支上的第二壓力感測器13a-13e可獲得真空泵1的每個泵送級2a-2e中之壓力的影像。因此，例如可藉由測量連接到兩個連續泵送級2a-2e之分配器10的兩個分支16a-16e間之壓力差值，以使用它們來識別故障。
在連接到兩個連續泵送級2a-2e之分配器10的兩個分支16a-16e間之壓力差值的減小可以使堵塞得以定位，也就是說，其中副產物可能會黏聚之真空泵的區域。例如，在設置於連接到第一泵送級2a之分支16a上的第二壓力感測器13a與設置於連接到第二泵送級2b之分支16b上的第二壓力感測器13b之間，低於預定臨限值的壓力差值可顯示出位在該等前兩個泵送級2a，2b之間的粉末堆積。
可以採用根治性沖洗輪廓。例如，與其中已定位將被處理之區域的泵送級相關聯以及可能與位於上游之泵送級相關聯的預定沖洗氣體流量率設定點係被增加，用以觸發更劇烈的注入，以排放出累積的固體副產物。設定點增加特別係在可允許臨限值的極限內完成，並不會影響到泵送性能位準。
依據另一實例，在連接到兩個連續泵送級2a-2e之分配器10的兩個分支16a-16e之間，壓力差值的增加可指出真空泵1之性能位準的耗損，例如由於轉子5與定子間之運轉間隙的增大所導致。
然後，可以降低與所識別之泵送級相關聯以及可能與位於上游之泵送級相關聯的預定沖洗氣體流量率設定點，以補償泵送效率的耗損。設定點的降低特別係在可允許臨限值的極限內完成，因而可確保最小的沖洗，尤其是在真空泵1的主軸承處。
真空泵1之操作狀態的該等特徵可以在運轉狀態或待機狀態(不使用之週期)中實現。
可以瞭解的是，此種注入裝置9係簡單、可靠、體積小、及廉價的，因為其組件的成本低。它還提供了真空泵1之診斷功能，根治措施，保護，或性能增進的新可能性。
1:乾式主真空泵、真空泵 2a-2e:泵送級 3:吸入口 4:排放口 5:轉子、轉子軸 9:注入裝置 10:分配器 11a-11e:調節閥 12:第一壓力感測器 13a-13e:第二壓力感測器 14:控制單元 15:公用部分 16a-16e:分支 17a-17e:注入構件 18:公用容積
透過閱讀本發明的說明及附圖，其他的優點及特徵將呈顯而易見，其中：
[第1圖]顯示乾式主真空泵之示例性實施例的示意視圖。
[第2A圖]係圖表，顯示第1圖之真空泵的注入裝置之調節閥的狀態實例，做為用於責任週期的第一實例之時間(以毫秒(ms)為單位)的函數。
[第2B圖]顯示用於責任週期的第二實例之第2A圖的圖表。
[第2C圖]顯示用於責任週期的第三實例之第2A圖的圖表。
[第3A圖]係圖表，顯示所注入至泵送級內的流量(曲線A)，注入裝置之分配器的輸入壓力(曲線B)，及在預定週期內所注入之流量的積分(曲線C)，做為用於與該泵送級相關聯的調節閥之控制的第一實例之時間(在x軸上)的函數，流量(以每分鐘標準升(slm)為單位)係在左側y軸上標記而壓力(以巴(bar)為單位)則在右側y軸上標記。
[第3B圖]顯示用於第二實例之類似於第3A圖的圖表。
[第4圖]係圖表，顯示在真空泵之吸入口處的壓力(以毫巴(mbar)為單位)，做為用於同相(曲線D)及反相(曲線E)之前兩個泵送級的PWM命令信號之時間(以毫秒(ms)為單位)的函數。
在該等圖中，相同的元件標有相同的參考符號。該等圖式被簡化以使它們更易於瞭解。
1:真空泵
2a-2e:泵送級
3:吸入口
4:排放口
5:轉子軸
9:注入裝置
10:分配器
11a-11e:調節閥
12:第一壓力感測器
13a-13e:第二壓力感測器
14:控制單元
15:公用部分
16a-16e:分支
17a-17e:注入構件
18:公用容積
F1:箭頭
F2:箭頭
M:馬達

Claims (11)

  1. 一種乾式主真空泵(1)，包含： -至少兩個泵送級(2a-2e)，串聯安裝在吸入口(3)與排放口(4)之間， -兩個轉子軸(5)，在該等泵送級(2a-2e)中延伸，該等轉子(5)係組構成以相反方向同步旋轉，用以驅動在該吸入口(3)與該排放口(4)之間將被泵送的氣體， -注入裝置(9)，組構用以在該等泵送級(2a-2e)中分配沖洗氣體，包含： -分配器(10)，包含： -公用部分(15)，旨在與沖洗氣體源相連，以及 -至少兩個分支(16a-16e)，其一側連接到該公用部分 (15)及其另一側連接到各自的泵送級(2a-2e)，以及 -調節閥(11a-11e)，其可被控制為開啟或關閉，係設置在該分配器(10)的每個分支(16a-16e)上， 其特徵在於該注入裝置(9)尚包含： -第一壓力感測器(12)，設置在該分配器(10)的該公用部分(15)上， -第二壓力感測器(13a-13e)，設置在該分配器(10)的每個分支(16a-16e)上，以及 -控制單元(14)，組構用以根據該第一壓力感測器(12)與該等第二壓力感測器(13a-13e)之間的壓力測量差值來產生脈波寬度調變命令信號，用於該等調節閥(11a-11e)彼此相互獨立的控制，以便依據與每個泵送級(2a-2e)相關聯的預定設定點來控制所注入至該等泵送級(2a-2e)內的該沖洗氣體流量率，做為該等調節閥(11a-11e)在預定週期(T)內之打開百分比的函數。
  2. 如請求項1之真空泵(1)，其中該脈波寬度調變命令信號的該週期(T)係大於800毫秒(ms)。
  3. 如請求項1或2之真空泵(1)，其中該等調節閥(11a-11e)係組構以在小於15毫秒(ms)中改變狀態，諸如在小於10毫秒(ms)中。
  4. 如請求項1或2之真空泵(1)，其中該公用分支(15)包含公用容積(18)，用以平衡該等調節閥(11a-11e)之輸入處的壓力。
  5. 如請求項1或2之真空泵(1)，其中該注入裝置(9)包含注入構件(17a-17e)，設置在該分配器(10)的每個分支(16a-16e)上，該注入構件(17a-17e)具有各自的電導，該電導係組構以將該沖洗氣體的該流量率限制為最大值。
  6. 一種控制沖洗氣體注入之方法，該沖洗氣體係注入至如請求項1至5中任一項之乾式主真空泵(1)內，特徵在於脈波寬度調變命令信號係根據該第一壓力感測器(12)與該等第二壓力感測器(13a-13e)之間的壓力測量差值而產生，用於該等調節閥(11a-11e)彼此相互獨立的控制，以便依據與每個泵送級(2a-2e)相關聯的預定設定點來控制所注入至該等泵送級(2a-2e)內的該沖洗氣體流量率，做為該等調節閥(11a-11e)在預定週期(T)內之打開百分比的函數。
  7. 如請求項6之控制沖洗氣體注入之方法，其中兩個調節閥(11a，11b)之該等脈波寬度調變命令信號的至少兩個責任週期係反相的。
  8. 如請求項7之控制沖洗氣體注入之方法，其中具有反相之脈波寬度調變命令信號的兩個調節閥(11a，11b)係設置在與前兩個泵送級(2a，2b)連接的該等分支(16a，16b)上，第一泵送級(2a)與該吸入口(3)連通。
  9. 如請求項6至8中任一項之控制沖洗氣體注入之方法，其中連接到兩個連續的泵送級(2a-2e)之該分配器(10)的兩個分支(16a-16e)間之該壓力差值係測量用以識別故障。
  10. 如請求項9之控制沖洗氣體注入之方法，其中與該壓力差值低於預定臨限值的該等泵送級相關聯之該預定的沖洗氣體流量率設定點被增大。
  11. 如請求項9之控制沖洗氣體注入之方法，其中與該壓力差值高於預定臨限值的該等泵送級相關聯之該預定的沖洗氣體流量率設定點被降低。
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