KR20000016861U - 퍼니스 장비 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 퍼니스 장비에서의 웨이퍼에 증착막을 증착전에 압력의 오동작 및 고장에 의한 이상 증착 현상으로 인한 웨이퍼의 손실을 방지하도록 한 퍼니스 장비에 관한 것으로서, 퍼니스 챔버에 가스 투입부, 자동 압력 제어 밸브, 펌프가 연결되고, 상기 퍼니스 챔버의 압력 상태를 읽을 수 있도록 압력 검출기, 압력 제어기, 밸브 제어기, 주 제어기를 구비하여 웨이퍼상에 증착막을 증착하는 퍼니스 장비에 있어서, 상기 압력 제어기에 연결되어 상기 퍼니스 챔버내의 압력값을 대기압 및 저진공 상태에서 실제 압력 값을 검출하는 압력 이상 검출 장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
Description
본 고안은 저압 기상 증착 장비인 퍼니스(Furnace) 장비에 관한 것으로, 특히 퍼니스 장비에서 압력 계통의 이상으로 인한 웨이퍼의 손실을 방지하는데 적당한 퍼니스 장비에 관한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래의 퍼니스 장비를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 퍼니스 장비를 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1의 자동 압력 조절 밸브를 나타낸 구성도이다.
도 1에서와 같이, 퍼니스 챔버(11)에 가스 투입부(12), 자동 압력 조절 밸브(Auto Pressure Controller Valve)(13), 펌프(Pump)(14)가 연결되어 있고, 상기 퍼니스 챔버(11)의 압력 상태를 읽을 수 있도록 압력 검출기(15), 압력 제어기(16), 밸브 제어기(17), 주 제어기(Main Controller)(18)로 구성되어 있다.
여기서 상기 자동 압력 조절 밸브(13)는 도 2에서와 같이, 모터(Motor)부(19), 위치 검출기(Potential Meter)(20), 버퍼 플라이(Butter Fly)(21)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래의 퍼니스 장비를 이용한 웨이퍼상에 막을 증착하는 방법은 먼저, 퍼니스 챔버(11)내에 웨이퍼가 유입되면 펌프(14)를 이용하여 퍼니스 챔버(11)를 저진공 상태가 만든다.
이어, 상기 펌프(14)에 의해 퍼니스 챔버(11)가 저진공 상태가 되면 막(Film)을 증착하기 위해 가스 투입부(12)를 통해 가스를 퍼니스 챔버(11)내로 유입하여 일정한 압력을 유지하면서 웨이퍼상에 막을 증착한다.
이때 상기 막을 증착시키는 단계에서는 유지하고자 하는 압력에 허용치를 설정하여 압력을 감지한다.
즉, 상기 퍼니스 챔버(11)에서는 증착 단계라는 단계를 진행하기 위해 여러 단계를 거치는데 각 단계마다 온도, 압력, 가스, 웨이퍼, 구동부, 밸브 등의 조건을 설정한다.
한편, 종래에는 증착 단계 전의 여러 단계 중 압력을 점검하는 단계와 증착 단계에서만 일정한 압력 설정치에 허용치를 검출했다.
상기 압력 조성의 방식은 압력 제어기(16)에서 퍼니스 챔버(11)를 저진공 상태로 만들기 위해 유입되는 대기압 상태의 압력 값과 주 제어기(18)에 입력된 압력 값을 밸브 제어기(17)에서 비교하여 주 제어기(18)에 입력된 압력 값 보다 퍼니스 챔버(11)의 압력 값이 높으면 밸브 제어기(17)는 자동 압력 조절 밸브(13)의 모터부(19)에 정방향 회전 신호를 주어 버터 플라이(21)를 닫는다.
그리고 상기 주 제어기(18)에 입력된 압력 값 보다 퍼니스 챔버(11)의 압력 값이 낮으면 그 반대로 버터 플라이(21)를 오픈한다.
이러한 동작을 반복하므로 인해 일정한 가스가 투입되는 상황에서 퍼니스 챔버(11)의 압력을 일정하게 유지한다.
상기 버터 플라이(21)는 직각(0~90°)까지의 운동범위를 두고 움직이는데, 이것을 자동 압력 조절 개도 값이라고 한다.
상기와 같이 구성된 종래 기술의 퍼니스 장비에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.
즉, 대기압에서 압력값을 잘못 읽을 경우 예를 들면, 대기압 1.0×105Pa를 1.0×103Pa로 잘못 읽을 경우에는 실제 증착 단계에서는 입력되는 압력값 보다 실제 압력 값이 높아 웨이퍼상에 이상 증착을 일으켜 웨이퍼를 리젝트(Reject)시킨다.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 퍼니스 장비에서의 웨이퍼에 증착막을 증착전에 압력의 오동작 및 고장에 의한 이상 증착 현상으로 인한 웨이퍼의 손실을 방지하도록 한 퍼니스 장비를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 퍼니스 장비를 나타낸 구성도
도 2는 도 1의 자동 압력 조절 밸브를 나타낸 구성도
도 3은 본 고안에 의한 퍼니스 장비를 나타낸 구성도
도 4는 도 3의 압력 이상 검출부를 나타낸 구성도
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
31 : 퍼니스 챔버 32 : 가스 투입부
33 : 자동 압력 조절 밸브 34 : 펌프
35 : 압력 검출기 36 : 압력 제어기
37 : 밸브 제어기 38 : 주 제어기
39 : 압력 이상 검출부 40 : 대기압 이상 검출부
41 : APC 개도 검출부 42 : 비교부
43 : 알람 발생부
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 의한 퍼니스 장비는 퍼니스 챔버에 가스 투입부, 자동 압력 제어 밸브, 펌프가 연결되고, 상기 퍼니스 챔버의 압력 상태를 읽을 수 있도록 압력 검출기, 압력 제어기, 밸브 제어기, 주 제어기를 구비하여 웨이퍼상에 증착막을 증착하는 퍼니스 장비에 있어서, 상기 압력 제어기에 연결되어 상기 퍼니스 챔버내의 압력값을 대기압 및 저진공 상태에서 실제 압력 값을 검출하는 압력 이상 검출 장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 고안에 의한 퍼니스 장비를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 고안에 의한 퍼니스 장비를 나타낸 구성도이고, 도 4는 도 3의 압력 이상 검출부를 나타낸 구성도이다.
본 고안은 특정한 단계 및 압력의 디스플레이 값을 통한 압력의 변화를 측정하는 방식이나 대기압 및 저진공 상태에서도 압력의 변화를 정지하고 디스플레이 값의 변화를 검출하는 방식이 아니라 실제 압력값을 검출할 수 있도록 구성한다.
즉, 도 3에서와 같이, 퍼니스 챔버(31)에 가스 투입부(32), 자동 압력 조절 밸브(Auto Pressure Controller Valve)(33), 펌프(Pump)(34)가 연결되어 있고, 상기 퍼니스 챔버(31)의 압력 상태를 읽을 수 있도록 압력 검출기(35), 압력 제어기(36), 밸브 제어기(37), 주 제어기(Main Controller)(38)로 구성된 종래의 퍼니스 장비에서 상기 압력 제어기(36)에 연결되어 상기 퍼니스 챔버(31)내의 실제 압력 값을 대기압 및 저진공 상태에서 검출하는 압력 이상 검출 장치(39)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 압력 이상 검출 장치(39)는 도 4에서와 같이, 대기압 이상 검출부(40), APC 개도 검출부(41), 대기압과 개도 값을 저장 비교하는 비교부(42), 알람(Alarm)을 설정 및 발생하는 알람부(43)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 압력 이상 검출 장치는 웨이퍼의 증착막을 증착하기 전 준비 단계 즉, 대기압 단계에서 알람부(43)에 대기압치를 설정하여 설정치 이하로 떨어질 경우 알람을 발생하고, 비교부(42)에서 펌핑(Pumping)이 시작되는 바로 직전의 대기 압력값을 저장한다.
이어, 레시피(Recipe)가 진행됨에 따라 질소(N2)가스의 유입을 통해 저진공 상태에서의 압력 유지 상태를 확인하는 단계에서는 표시되는 압력 값을 유지하기 위해 자동 압력 제어 밸브(33)의 버터 플라이가 모터에 의해 닫었다 열었다하면서 일정한 각도를 유지함으로써 표시되는 압력 값이 유지된다.
이때의 자동 압력 조절 개도의 열린 각도를 비교부(42)에 저장한다.
상기 비교부(42)에서 1번째 방법이 진행되면 대기압 압력 값과 자동 압력 제어 개도 값을 저장하고 있다가 2번째 방법이 진행될 때 대기압 압력 값과 자동 압력 제어 개도 값의 변화를 비교한다.
한편, 상기 알람 발생부(43)에서는 대기압 상태에서의 대기 압력을 감시할 수 있도록 압력 값을 설정하고, 계속적으로 진행되는 레시피상의 대기압 변화의 허용치를 설정하여 감시한다.
또한, 저진공 상태에서는 표시되는 일정한 압력 값이 유지될 때의 자동 압력 제어 개도 값을 저장하였다가 기준 개도 값과 일정한 허용치를 비교하여 벗어났을 경우에는 알람 발생부(43)에서 알람을 발생시켜 레시피 진행을 중단시킨다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 퍼니스 장비는 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 챔버내의 가스량이 일정량으로 유입될 수 있도록 실제 압력 값을 감시하고 대기압 상태에서의 압력 값을 감시하여 실제 압력의 변화로 인한 웨이퍼의 리젝트를 방지할 수 있기 때문에 웨이퍼의 손실을 줄일 수 있다.
Claims (2)
- 퍼니스 챔버에 가스 투입부, 자동 압력 제어 밸브, 펌프가 연결되고, 상기 퍼니스 챔버의 압력 상태를 읽을 수 있도록 압력 검출기, 압력 제어기, 밸브 제어기, 주 제어기를 구비하여 웨이퍼상에 증착막을 증착하는 퍼니스 장비에 있어서,상기 압력 제어기에 연결되어 상기 퍼니스 챔버내의 압력값을 대기압 및 저진공 상태에서 실제 압력 값을 검출하는 압력 이상 검출 장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 퍼니스 장비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 압력 이상 검출 장치는상기 펌프에서 펌핑이 되기 전에 대기 압력의 변화를 감시하는 대기압 이상 검출부와,상기 자동 압력 제어 밸브의 자동 압력 제어 개도 값의 변화를 검출하는 자동 압력 제어 개도 검출부와,상기 대기압 이상 검출부와 자동 압력 제어 개도 검출부의 대기 압력 값과 자동 압력 제어 개도 값을 저장하고 있다가 2번째 레시피가 진행될 때 대기 압력 값과 자동 압력 제어 개도 값의 변화를 비교하는 비교부와,상기 비교부에서 비교한 값에 오차가 발생할 경우 알람을 발생시키는 알람 발생부와,상기 알람 발생부의 알람 신호에 의해 레시피 진행을 중단시키는 제어부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 퍼니스 장비.
Priority Applications (1)
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| KR2019990001995U KR20000016861U (ko) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | 퍼니스 장비 |
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| KR2019990001995U KR20000016861U (ko) | 1999-02-09 | 1999-02-09 | 퍼니스 장비 |
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| KR (1) | KR20000016861U (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012176965A1 (en) * | 2011-06-20 | 2012-12-27 | Lg Innotek Co., Ltd. | Deposition apparatus and method of forming thin film |
-
1999
- 1999-02-09 KR KR2019990001995U patent/KR20000016861U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
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| WO2012176965A1 (en) * | 2011-06-20 | 2012-12-27 | Lg Innotek Co., Ltd. | Deposition apparatus and method of forming thin film |
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