JPH05267224A - ドライエッチング装置 - Google Patents
ドライエッチング装置Info
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- JPH05267224A JPH05267224A JP6291492A JP6291492A JPH05267224A JP H05267224 A JPH05267224 A JP H05267224A JP 6291492 A JP6291492 A JP 6291492A JP 6291492 A JP6291492 A JP 6291492A JP H05267224 A JPH05267224 A JP H05267224A
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Abstract
チングする前に検知し、エッチング異常を起さない。 【構成】真空室4に少くとも2つの圧力計8及び9を取
付け、一つの圧力計8は圧力値を設定圧力と比較し、圧
力調整器5を調節する圧力計として使用し、他の圧力計
9は圧力計8の圧力値のと比較して圧力計のいずれかが
劣化しているか否かを監視する圧力計として使用し、こ
の圧力計の劣化をいち早く発見し、エッチング異常を起
さないようにしている。
Description
導入し、一定の圧力で半導体基板をエッチングするドラ
イエッチング装置に関する。
例における構成を示す図である。従来のドライエッチン
グ装置は、図3に示すように半導体基板を収納する真空
室4と、この真空室4を排気する真空ポンプ7と、真空
になった真空室4に流入する反応性ガスの流量を制御す
るガス流量制御器1、2及び3と、真空室4の圧力を検
出する圧力計8と、この圧力計8の圧力と設定した圧力
と比較して圧力調整器5の開口を調整する圧力制御部6
及び装置制御部11とで構成されていた。
ず、真空ポンプ7で真空室4を真空排気し、高真空状態
にする。次に、ガス流量制御器1,2,3より反応性ガ
スを導入する。そして圧力計8で真空室4の圧力を測定
し、設定された圧力値と比較しながら圧力調整器5を調
節して真空室4の圧力を一定に保つ。
くり、半導体基板をエッチングする。このように圧力計
8で測定した真空室4の圧力を装置制御部11に伝え、
設定した圧力になっているかどうかを判定していた。こ
のとき、もし圧力調整器5で圧力制御ができない場合
は、圧力計8で測定した圧力と設定された圧力が異なっ
ていることを装置制御部11で異常と検知するようにな
っていた。
チング装置では、一つの圧力計で測定した真空室の圧力
を圧力制御部に伝え、圧力調整器で真空室の圧力を一定
に保つとともに、装置制御部にも真空室の圧力を伝え、
設定された圧力になっているかどうかを判定していた。
しかしながら半導体基板上の薄膜をエッチングすること
により発生する反応生成物や、反応性ガスにより、圧力
計が汚染され劣化し易い。このため、しばしば真空室の
圧力が正確に測定できなくなることがある。また、この
場合には実際の圧力は異なった圧力を伝えるようにな
る。一方、圧力制御部や装置制御部は、圧力計の劣化を
検知する機能はなく、半導体基板のエッチングに異常を
発見することにより、初めて圧力計の異常が発見される
ことになる。さらに、この圧力計が劣化する時期には一
定としないので、交換時期を決めることが困難であっ
た。
検知し、事前に処理出来るドライエッチング装置を提供
することである。
ッチング装置は、半導体基板を収納する真空室と、この
真空室を真空排気する真空ポンプと、反応性ガスを前記
真空室に導入する流量を制御するガス流量制御器と、前
記真空室の圧力を測定する少くとも2つの圧力計と、前
記真空室から前記反応性ガスを排気する流量を調節する
圧力調整器とを備え、前記2つの圧力計の1つを前記圧
力調整器を制御するために使用し、残りの圧力計を前記
圧力計の監視用に使用することを特徴としている。
記2つの圧力計とは別に圧力計をバルブを介して前記真
空室に取付けることを特徴としている。
る。図1は、本発明のドライエッチング装置の一実施例
における構成を示す図である。このドライエッチング装
置は、図1に示すように、真空室4の圧力を検出する圧
力計8以外に圧力計8の圧力値が正しいか否かを監視す
る圧力計9を設けたことである。それ以外は従来例と同
じである。
説明する。まず、従来例で説明したと同じように、真空
室4を真空排気した後に、それぞれ制御された反応性ガ
スを導入し、装置制御部11で設定された圧力と圧力計
8で測定した圧力を圧力制御部6で比較し、圧力調整器
5で真空室4の圧力を一定に保つ。また、圧力計9で真
空室4の圧力を装置制御部11に伝え、設定された圧力
になっているかどうかを判定する。もし、ここで圧力計
8が劣化した場合は、実際の圧力とは、異なった圧力に
真空室4の圧力が制御されるため、圧力計9から装置制
御部11に伝えられる圧力は、設定された圧力とは、異
なった圧力になるので、装置制御部11で異常が検知で
きる。また、圧力計9が劣化した場合は、真空室4の圧
力は、装置制御部11で設定された圧力に制御されてい
るが、装置制御部11に伝えられる圧力は、実際の圧力
とは、異なっているので、異常が検知できる。このよう
に同種の圧力計を少くとも2個取付け、比較して圧力値
に差があれば、ただちにいずれかの圧力計が異常である
ことが発見出来る。
の実施例における構成を示す図である。このドライエッ
チング装置は、図2に示すように、二つの圧力計8及び
9以外に圧力計10を追加して設け、この圧力計10を
真空室4にバルブ12を介して取付けたことである。
ついて説明する。まずは反応ガスを真空室4に導入し、
装置制御部11で設定された圧力と圧力計8で測定した
圧力を圧力制御部6で比較し、圧力調整器5で真空室4
の圧力を一定に保つ。また、圧力計で真空室4の圧力を
装置制御部11に伝え、設定された圧力になっているか
どうかを判定する。さらに圧力計10は、反応性ガスを
真空室4に導入している時は、バルブ12を閉じ、導入
していない時は開けるようにし、反応性ガスや反応生成
物により劣化しないようにしておくことである。このこ
とは前述の実施例では圧力計が劣化した場合に、圧力計
8と圧力計9のどちらが劣化したかの判定ができなかっ
たが、圧力計10を基準にすることにより、判定ができ
るという利点がある。
圧力を監視するための圧力計と真空室の圧力を圧力制御
部に伝え、圧力調整器を動作させ圧力を制御するための
圧力計とを設け、2つの圧力計の測定した圧力を比較す
ることにより、いずれかの圧力計が劣化したことを検知
できるとともに半導体基板が異常にエッチングされる前
に交換し得るという効果がある。
ける構成を示す図である。
おける構成を示す図である。
成を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体基板を収納する真空室と、この真
空室を真空排気する真空ポンプと、反応性ガスを前記真
空室に導入する流量を制御するガス流量制御器と、前記
真空室の圧力を測定する少くとも2つの圧力計と、前記
真空室から前記反応性ガスを排気する流量を調節する圧
力調整器とを備え、前記2つの圧力計の1つを前記圧力
調整器を制御するために使用し、残りの圧力計を前記圧
力計の監視用に使用することを特徴とするドライエッチ
ング装置。 - 【請求項2】 前記2つの圧力計とは別に圧力計をバル
ブを介して前記真空室に取付けることを特徴とする請求
項1記載のドライエッチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4062914A JP2826409B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | ドライエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4062914A JP2826409B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | ドライエッチング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05267224A true JPH05267224A (ja) | 1993-10-15 |
JP2826409B2 JP2826409B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=13214002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4062914A Expired - Fee Related JP2826409B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | ドライエッチング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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- 1992-03-19 JP JP4062914A patent/JP2826409B2/ja not_active Expired - Fee Related
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