KR102223057B1 - 진공 펌프들의 시스템에서의 펌핑 방법 및 진공 펌프들의 시스템 - Google Patents

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Abstract

펌핑 방법 및 펌핑 시스템(SP, SPP)은: 펌핑 시스템(SP, SPP)의 기체 유출부(8)로 나오기 전에 파이프(5)로 개방된 기체 유출 오리피스(4) 및 진공 챔버(1)에 연결된 기체 유입 오리피스(2)를 가지는 윤활 베인 주 진공 펌프(3), 기체 유출 오리피스(4)와 기체 유출부(8) 사이에서 파이프(5)에 위치된 역지 밸브(6) 및, 역지 밸브(6)와 병렬로 연결된 윤화라 베인 보조 진공 펌프(7)를 포함한다. 윤활 베인 주 진공 펌프(3)는 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 기체 유출 오리피스(4)를 통해 펌핑하기 위하여 작동된다; 동시에, 윤활 베인 주 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 펌핑하는 동안 그리고 윤활 베인 주 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안의 정해진 압력을 유지하는 동안, 윤활 베인 보조 진공 펌프(7)는 작동되어 계속 작동 상태를 유지한다.

Description

진공 펌프들의 시스템에서의 펌핑 방법 및 진공 펌프들의 시스템{Method of Pumping in A System of Vacuum Pumps And System of Vacuum Pumps}
본 발명은 주 펌프가 윤활된 회전 베인 진공 펌프인 펌프 시스템에서 최종적인 진공 및 유량과 관련하여 성능을 향상시킬 뿐만 아니라 전기 에너지의 소비를 감소시킬 수 있는 펌핑 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 본 발명에 따른 방법을 수행하도록 사용될 수 있는 진공 펌프들의 시스템에 관한 것이다.
진공 펌프의 성능을 향상시키고, 산업상의 에너지 소비 및 설치 비용을 감소시키는 일반적인 경향은 구동부등에서의 성능, 에너지 경제성, 부피(bulkiness)와 관련하여 현저한 발전을 가져왔다.
현재 기술에 따르면 다수 단계의 루트 유형(Root type) 또는 다수 단계의 클로우 유형(claw type)의 진공 펌프에서 최종 진공의 향상 및 에너지 보충 단계들의 소비 감소가 추가되어야 한다는 점을 나타낸다. 스크류 진공 펌프(screw vacuum pump)에 대하여, 스크류의 추가적인 회전이 있어야 하고 그리고/또는 내부 압축 비율이 증가되어야 한다. 윤활 로터리 베인 진공 펌프들에 대하여 내부 압축의 비율을 증가시키기 위하여 통상적으로 하나 이상의 보조 단계들이 직렬로 추가되어야 한다.
최종 진공을 향상시키고 유량을 증가시킬 목적을 가지는 진공 펌프들에 관한 기술은 주 윤활 로터리 베인 펌프들로부터 상류측에 배치된 루트 유형(Roots type)의 부스터 펌프(booster pump)를 나타낸다.이러한 유형의 시스템들은 부피가 크고, 신뢰성의 문제를 나타내는 바이패스 밸브들과 함께 작동되거나, 또는 측정, 제어, 조절 또는 서보-제어의 수단을 채용함으로써 작동된다. 그러나, 이러한 제어, 조절 또는 서보-제어 수단은 활성 방식(active way)으로 제어되어야 하며, 이는 시스템의 구성 요소들의 개수, 복잡성 및 비용에서의 증가를 반드시 초래한다.
한편, 본원 발명과 관련된 종래 기술로서 미국 특허 출원 US 2003/0068233 A1 에는 펌프 시스템이 개시되어 있고, 독일 출원 DE 88 16, 875 U1 및 DE 38 42 886 A1 에는 유사한 펌핑 시스템이 개시되어 있으며, 유럽 출원 EP 1 243 795 A1 에는 멀티 스테이지 드라이 프라이머리 펌프(multi stage dry primary pump)가 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 출구 기체의 온도를 감소시킬 뿐만 아니라, 챔버를 진공하에 두고 진공하에 유지시키는데 필요한 전기 에너지를 감소시킬 수 있는 진공 펌프들의 시스템의 펌핑 방법을 제안하는 것이다.
본 발명의 목적은 진공 챔버의 펌핑 동안에 단일의 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 보조로 얻을 수 있는 것보다 더 높은 유량을 저압에서 얻을 수 있게 하는 진공 펌프 시스템에서의 펌핑 방법을 제안하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 진공 챔버의 펌핑 동안에 단일의 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 보조로 얻을 수 있는 것보다 우수한 진공을 얻을 수 있게 하는 진공 펌프 시스템에서의 펌핑 방법을 제안하는 것이다.
본 발명의 상기 목적들은 진공 펌프들의 시스템의 구조내에서 이루어지는 펌핑 방법의 보조로 달성되는데, 진공 펌프들의 구성은 실질적으로 기체 유입 포트 및 기체 유출 포트가 설치된 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프로 이루어지되, 상기 기체 유입 포트는 진공 챔버에 연결되고, 상기 기체 유출 포트는 대기로 또는 다른 장치들로 나가기 전에 역지 밸브가 설치된 도관으로 이어진다. 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 흡입 단부는 상기 역지 밸브에 병렬로 연결되고, 그것의 출구는 대기로 가거나 또는 역지 밸브 이후에 주 펌프의 도관과 재접합된다.
그러한 펌핑 방법은 특히 독립 청구항 제 1 항의 주제이다. 본 발명의 다른 바람직한 실시예들은 종속 청구항의 주제이다.
따라서 본 발명에 따른 방법은, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 진공 챔버 안에 포함된 기체를 기체 유입 포트를 통하여 펌핑하지만, 또한 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 유출부를 통하여 상승하는 기체를 배출함으로써 챔버 안에 정해진 압력(예를 들어, 최종 압력)을 유지하면서, 자체 모터를 가진 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프를 연속 작동시키는 것으로 이루어진다.
제 1 양상에 따르면, 본 발명은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프 및 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 결합이 측정 및 특정의 장치들(예를 들어, 압력, 온도, 전류등에 대한 센서들), 서보 제어 또는 데이터 관리 및 계산을 필요로 하지 않는다는 점에 있다. 결과적으로, 본 발명에 따른 펌핑 방법을 수행하기에 적절한 펌핑 시스템은 구성 요소들의 최소한의 개수를 포함하고, 커다란 단순성을 가지며, 현존의 시스템보다 훨썬 덜 비싸다.
본 발명의 방법의 제 2 변형예에 따르면, 특정의 요건을 충족시키기 위하여, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 시동(start-up)은 "전부 또는 전무(all or nothing)" 방식으로 제어된다. 제어는 하나 이상의 파라미터들을 점검하는 단계 및, 특정의 미리 정해진 규칙에 따라서, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프를 작동시키거나 또는 그것을 정지시키는 특정의 규칙을 따르는 단계로 이루어진다. 적절한 센서들에 의해 제공되는 파라미터들은, 예를 들어, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 모터 전류, 역지 밸브에 의해 제한된, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구 도관의 공간에서의 기체 압력 또는 온도, 또는 이들 파라미터들의 조합이다.
보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 치수 선정은 모터의 에너지의 최소 소비에 의해 결정된다. 이것은 보통 단일 스테이지(single stage)이다. 그것의 공칭 유량은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유량의 함수로서 선택되지만, 역지 밸브에 의해 제한되는, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 출구 도관의 체적에 따라서 선택되기도 한다. 상기 유량은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 공칭 유량의 1/500 내지 1/5 일 수 있지만, 상기 값보다 더 작을 수 있거나 더 클 수도 있다.
역지 밸브는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부에서 도관에 배치되며, 상업적으로 이용 가능한 표준적인 요소일 수 있다. 이것은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 공칭 유량에 따라서 치수가 정해진다. 특히, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 흡입 단부에서의 압력이 절대 압력으로서의 500 mbar 와 최종 진공(예를 들어 400 mbar) 사이에 있을 때 역지 밸브가 폐쇄되는 것으로 예상된다.
다른 변형에 따르면, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 다수 단계(multi-stage)이다.
다른 변형에 따르면, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 다수 단계이다.
보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 바람직스럽게는 소형이다.
다른 변형에 따르면, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 기체를 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 오일 분리기(oil separator)로 배출한다.
다른 변형에 따르면, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 오일 분리기로 통합된다.
챔버의 배기 사이클(cycle of evacuation)로써 시작되어, 그곳의 압력이 상승되는데, 예를 들어 대기 압력과 같아진다. 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프에서의 압축이 주어지면, 유출부에서 배출되는 기체의 압력은 (만약 주 펌프의 유출부에서의 기체가 대기로 직접 배출된다면) 대기 압력보다 높거나, 또는 하류측에 연결된 다른 장치의 유입부에서의 압력보다 높다. 이것은 역지 밸브의 개방을 일으킨다.
역지 밸브가 개방되었을 때, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 작동 파라미터들상에서의 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 작용은 매우 약하게 느껴진다. 대조적으로, 역지 밸브가 특정 압력에서 폐쇄되었을 때 (챔버에서의 압력은 그 동안 강하했기 때문에), 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 작용은 밸브 이후의 도관과 챔버 사이 압력에서의 차이가 점진적으로 감소되게 한다. 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부에서의 압력은 소형 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유입부에서의 압력이 되고, 그것의 유출부에서의 압력은 항상 역지 밸브 이후의 도관에서의 압력이 된다. 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프가 펌핑할수록, 역지 밸브에 의하여 제한된, 폐쇄 공간에서, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부에서의 압력은 더 강하하며, 결국 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유출부와 챔버 사이의 압력의 차이는 감소된다.
이러한 차이는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프에서 내부 누설(internal leaks)을 더욱 최소화시키며, 챔버에서의 압력이 더 크게 감소되게 하여, 최종 진공을 향상시킨다. 더욱이, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 압축을 위하여 에너지를 덜 소비하고 압축 열(compression heat)을 덜 발생시킨다.
보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프를 제어하는 경우에, 센서들이 정해진 상태에 있거나 또는 초기 값을 제공할 때 펌핑 시스템의 시동을 위한 초기 위치가 존재한다. 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 진공 챔버의 기체를 펌핑하므로, 모터의 전류, 출구 도관의 공간에 있는 기체의 온도 및 압력과 같은 파라미터들은 변화하기 시작하며 센서들에 의해 검출되는 쓰레숄드 값들에 도달한다. 이것은 소형 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 스위치 켜짐을 일으킨다. 이러한 파라미터들이 시간 지연과 함께 (설정 값 밖의) 초기 범위로 복귀할 때, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프는 정지된다.
다른 한편으로, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 기체 유출 포트와 역지 밸브 사이에서의 압력을 보다 신속하게 감소시킬 수 있기 위한 목적으로 그곳의 공간을 감소시키기 위한 기계적 개념의 연구가 추구된다는 점도 명백하다.
본 발명의 특징 및 장점들은 다음의 상세한 설명에서 보다 자세한 내용으로부터 명백해질 것이며, 상세한 설명은 첨부된 도면을 참조하여 비제한적인 방식으로 실시예들을 예시적으로 참조하여 이루어진다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 진공 펌프들의 시스템을 개략적인 방식으로 도시한다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펌핑 방법의 구현에 적절한 진공 펌프들의 시스템을 개략적인 방식으로 도시한다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 펌핑 방법을 구현하기에 적절한 펌핑 시스템(SP)을 도시한다.
이러한 진공 펌프(SP)들의 시스템은 챔버(1)를 포함하며, 상기 챔버는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 흡입 포트(2)에 연결된다. 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 기체 유출 포트는 도관(5)에 연결된다. 역지(non-return) 배출 밸브(6)는 도관(5)에 배치되는데, 상기 역지 밸브 이후에 도관은 기체 출구 도관(8)으로 계속된다. 역지 밸브(6)가 폐쇄되었을 때 공간(4)의 형성을 허용하며, 공간은 주 진공 펌프(3)의 기체 유출 포트와 그 자체 사이에 포함된다.
진공 펌프(SP)들의 시스템은 역지 밸브(6)에 병렬로 연결된 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)도 포함한다. 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)의 흡입 포트(9)는 도관(5)의 공간(4)에 연결되고, 그것의 배출 포트(10)는 도관(8)에 연결된다.
주 윤활 로터리 회전 진공 펌프(3)의 시동시로부터, 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)도 시동된다. 주 윤활 회전 베인 진공 펌프(3)는 유입부에 연결된 포트(2)를 통하여 챔버(1) 안의 기체를 흡입하고, 기체를 압축하고, 이후에 도관(5)에 있는 유출부에서 역지 밸브(6)를 통하여 기체를 배출한다. 역지 밸브(6)에 대한 폐쇄 압력에 도달되었을 때, 역지 밸브는 폐쇄된다. 그 순간으로부터, 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)의 펌핑은 공간(4)내 압력이 점진적으로 그것의 한계 압력으로 감소되도록 한다. 병행하여, 주 윤활 회전 베인 진공 펌프(3)에 의해 소비되는 동력은 점진적으로 감소한다. 이것은 짧은 기간에 발생되며, 예를 들어 5 내지 10 초의 특정 사이클 동안 발생된다.
챔버(1)의 공간 및 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 유량의 함수로서 역지 밸브(6)의 폐쇄 압력 및 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)의 유량을 현명하게 조절함으로써, 배기 사이클(evacuation cycle)의 기간과 관련하여 역지 밸브(6)의 폐쇄 이전 시간을 감소시킬 수 있고 따라서 역지 밸브(6)의 폐쇄 이전의 시간 동안 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)의 모터의 전기 에너지를 감소시킬 수 있다. 다른 한편으로, 프로그래머블 자동 제어 및/또는 속도 콘트롤러, 제어된 밸브들, 센서들등이 설치된 유사한 펌프들과 비교하여, 단순성의 장점은 저렴한 가격 뿐만 아니라 현저한 신뢰성을 시스템에 부여한다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펌프 방법의 구현에 적절한 진공 펌프(SP)의 시스템을 도시한다.
도 1 에 도시된 시스템과 관련하여, 도 2 에 도시된 시스템은 "제어된" 펌핑 시스템(SPP)을 나타내는데, 적절한 센서(11,12,13)들을 더 포함하며, 상기 센서들은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 모터 전류(센서 11), 또는 역지 밸브(6)에 의해 제한된, 주 윤활 회전 베인 진공 펌프의 출구 도관의 공간에 있는 기체의 압력(센서 13), 또는 역지 밸브(6)에 의해 제한된, 주 윤활 회전 베인 진공 펌프의 출구 도관의 공간에 있는 기체의 온도(센서 12), 또는 이들 파라미터들의 조합을 제어한다.
실제에 있어서, 주 윤활 회전 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1)의 기체를 펌핑하도록 시작될 때, 모터의 전류, 출구 도관(4)의 공간에 있는 기체의 압력 및 온도는 변화하기 시작하고 센서들에 의해 검출되는 쓰레숄드 값들에 도달한다. 모터의 전류에 대해서, 쓰레숄드 값은 보조 진공 펌프의 활성화 없이 배기 사이클 동안에 측정된 최대 진공의 백분율일 수 있다 (예를 들어, 75 %). 기체의 온도에 대하여, 출구 도관(4)의 공간에서 잘 정의된 장소에서 측정된 것으로, 쓰레숄드 값은 보조 진공 펌프의 활성화 없이 배기 사이클 동안 측정된 최대 값의 백분율(예를 들어 80 %)일 수 있다. 기체의 압력에 대하여, 쓰레숄드 값(예를 들어 100 mbar)은 주 펌프 및 보조 펌프인 2 개의 펌프들의 유량에 대한 함수로서 정의된다. 각각의 파라미터에 대하여 특정한, 적절한 시간 지연 이후에, 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)의 활성화가 촉발(trigger)된다. 상기 파라미터들이 각각의 파라미터에 특정한 (설정 값 밖의) 초기 범위로 적절한 시간 지연과 함께 복귀되었을 때, 보조 윤활 회전 베인 진공 펌프(7)는 정지된다.
본 발명은 그것의 구현과 관련하여 다양한 변형을 겪는다. 다양한 실시예들이 설명되었을지라도, 모든 가능한 실시예들을 모두 제시하는 방식으로 개시하는 것이 불가능하다는 점이 이해되어야 한다. 물론 본 발명의 범위로부터 이탈하지 않으면서 제시된 수단을 등가의 수단으로 대체하는 것이 생각될 수 있다. 이들 모든 변형들은 진공 기술 분야에 종사하는 당업자의 상식의 일부를 형성한다.
1. 챔버 2. 흡입 포트
3. 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프
5. 도관 7. 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프

Claims (18)

  1. 진공 펌프들(SP, SPP)의 시스템의 펌핑 방법으로서, 상기 진공 펌프들의 시스템은,
    진공 펌프들(SP, SPP)의 시스템의 기체 유출부(8)로 나오기 전에 도관(5)으로 이어지는 기체 유출 포트(4) 및 진공 챔버(1)에 연결되는 기체 유입 포트(2)를 가진, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(main lubricated rotary vane vacuum pump, 3),
    기체 유출 포트(4)와 기체 유출부(8) 사이에서 도관(5)에 위치된 역지 밸브(6) 및,
    역지 밸브(6)에 병렬로 연결되고 자체 모터를 가진 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)를 구비하고, 상기 펌핑 방법은,
    진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 기체 유출 포트(4)를 통하여 펌핑하기 위하여 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 활성화되고,
    동시에 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)가 활성화되고,
    주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 펌핑하는 동안 그리고 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안의 정해진 압력을 유지하는 동안, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)가 계속 작동되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)의 유출부는 역지 밸브(6) 이후에 기체 유출부(8)에 다시 접하는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 자체 모터에 의한 에너지 소비가 최소화되도록 설계되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)의 공칭 유량은 역지 밸브(6)에 의해 제한된 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 출구 도관(5)의 체적에 따라서 선택되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유량은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 공칭 유량의 1/500 내지 1/5 사이인 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 단일 단계(single stage) 또는 다수 단계(multi-stage)인 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 흡입 단부에서의 압력은 절대 압력으로서의 500 mbar 와 최종 진공 사이에 있을 때 역지 밸브(6)가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 오일 분리기(oil separator)로 기체를 배출하는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 오일 분리기로 통합되는 것을 특징으로 하는, 펌핑 방법.
  10. 진공 펌프들(SP, SPP)의 시스템의 기체 유출부(8)로 나오기 전에 도관(5)으로 이어지는 기체 유출 포트(4) 및 진공 챔버(1)에 연결된 기체 유입 포트(2)를 가진, 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3),
    기체 유출 포트(4)와 기체 유출부(8) 사이에서 도관(5)에 위치하는 역지 밸브(6) 및,
    역지 밸브(6)에 병렬로 연결되고 자체 모터를 가진 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)를 포함하는, 진공 펌프(SP, SPP)의 시스템으로서,
    주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안에 포함된 기체를 펌핑하는 동안, 그리고 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)가 진공 챔버(1) 안의 정해진 압력을 유지하는 동안, 보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)가 활성화되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)의 유출부는 역지 밸브(6) 이후에 기체 유출부(8)와 다시 접합되는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 모터에 의한 에너지 소비가 최소화되도록 설계되는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  13. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)의 공칭 유량은 역지 밸브(6)에 의해 제한된 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 출구 도관(5)의 체적에 따라서 선택되는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프의 유량은 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 공칭 유량의 1/500 내지 1/5 사이인 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  15. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 단일 단계 또는 다수 단계인 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  16. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 흡입 단부에서의 압력은 절대 압력으로서의 500 mbar 와 최종 진공 사이에 있을 때 역지 밸브(6)가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  17. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 오일 분리기로 기체를 배출하는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.
  18. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    보조 윤활 로터리 베인 진공 펌프(7)는 주 윤활 로터리 베인 진공 펌프(3)의 오일 분리기로 통합되는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프들의 시스템.

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