TW202041808A - 溫度感測器的安裝構造體 - Google Patents

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Abstract

［課題］提供一種溫度感測器的安裝構造體，其可以確實地固定溫度感測器，且可以在之後加裝於標準零件。 ［解決手段］溫度感測器S的安裝構造體1，其係安裝在具備複數個流路塊及流體控制機器之流體控制裝置100的流路塊2或流體控制機器3，複數個流路塊係於內部具備流體流路，且在至少一面具備前述流路的開口部，流體控制機器被載置於該流路塊上，該溫度感測器的安裝構造體具備：矩形的溫度感測器安裝片10；及成對的挾持片11、11，自安裝片10之對向的對邊延伸設置。

Description

溫度感測器的安裝構造體
本發明係有關使用在半導體製造裝置等的流體控制裝置，特別是有關安裝於附有加熱裝置之流體控制裝置的溫度感測器的安裝構造體。
使用於半導體製造裝置之流體控制裝置係藉由各種流體控制機器配置成複數列，且相鄰列的流體控制機器的流路彼此在既定場所透過機器連接手段進行連接而構成，但是近年來，這種流體控制裝置係朝質流控制器或開關閥等未經由管(tube)而連接之聚集化邁進。
在這種的聚集型流體控制裝置，以防止凝結及在使常溫中為液體的流體氣體化並流動時防止再液化為目的，有時會有需要加熱裝置的情況。在這樣的附有加熱裝置之流體控制裝置中，揭示有至少於1條線路的兩側上配置長帶(ribbon)狀的面狀加熱器，該等面狀加熱器係藉由複數個金屬製扣件而被支持在對應之接頭構件(專利文獻1)。
然後，配設了加熱裝置的流體控制裝置中，安裝溫度調整用的溫度感測器(例如，熱電偶等)，俾調整加熱不足或過度加熱。
而且，過去，調整溫度用的溫度感測器係透過使用黏著帶貼附在載置流體控制機器之流路塊，特別是控制流量之質流控制器的下流側的流路塊來作運用。 [先前技術文獻] [專利文獻]
〔專利文獻1〕日本特開2002-267100號公報
[發明欲解決之課題]
但是，在利用黏著帶的安裝中，會有無法形成為完全固定的狀態，而因外部應力而溫度感測器脫落，變得無法進行溫度控制的問題。再者，雖也可考慮為了牢固地安裝溫度感測器，而在流路塊設置供安裝固定溫度感測器用的螺紋孔等，但是會變成需特殊對應而成本上升，且通用化低而在標準化方面產生問題。
本發明係考慮到這一點而完成者，其目的是提供一種溫度感測器的安裝構造體，其可以確實地固定溫度感測器，且可以在之後加裝標準零件。 [用以解決課題之手段]
為解決上述課題而完成之本發明之溫度感測器的安裝構造體係一種溫度感測器的安裝構造體，其係安裝在具備複數個流路塊及流體控制機器之聚集型流體控制裝置的前述流路塊或複數個前述流路塊係於內部具備流體流路，且在至少一面具備前述流路的開口部，前述流體控制機器係被載置於該流路塊上，該溫度感測器的安裝構造體具備：矩形的溫度感測器安裝片；及成對的挾持片，自安裝片之對向的對邊延伸設置。
此溫度感測器的安裝構造體中，自安裝溫度感測器的安裝片延伸設置之成對的對邊係挾持流路塊，在朝上方之上拉力作用的情況時，與載置於流路塊之流體控制機器抵接，而有效地防止朝上方的抽出。
在此情況中，可自溫度感測器安裝片及挾持片的至少一處的下邊緣向內側延伸設置擋止片。藉此，在將溫度感測器安裝在被載置於流路塊(下部塊)的上部塊(流體控制機器(流量控制器或自動開閉閥等))之際也可因應。
又，在這些情況中，挾持片之與溫度感測器安裝片相對的端邊係可設置往內側彎曲的彎曲部。防止彎曲部卡勾於流路塊之與溫度感測器安裝面相對的面，且即便對安裝構造體施加水平方向的應力也可防止脫落。
再者，在這些情況中，溫度感測器安裝片係能以帶狀的加熱手段覆蓋表面。透過將溫度感測器的安裝位置設成加熱手段的安裝位置，能更牢固地防止水平方向的抽出。 [發明之效果]
根據本發明，可提供一種溫度感測器的安裝構造，其可以將溫度感測器確實地固定於流量控制裝置，特別是聚集型流量控制裝置，且可以在之後加裝於標準零件。
以下，根據圖式詳細地說明本發明之實施形態。另外，以下的實施形態為實質上較佳的例示，本發明並非有意限制其適用物或者其用途的範圍。
＜實施形態1＞ 於圖1～圖3顯示本發明之溫度感測器的安裝構造體的實施形態1。
［流體控制裝置］ 圖1顯示之流體控制裝置100係具備：複數個流路塊2，於內部具備流體流路，且於上段載置複數個流體控制機器3A～3G、下段載置複數個流體控制機器3A～3G；支撐構件4，支撐複數個流路塊2；加熱手段H，加熱流路塊2及流體控制機器3A～3G的表面；溫度感測器S，測定流路塊2或流體控制機器3A～3G的表面溫度；及溫度感測器的安裝構造體1，用以將該溫度感測器S安裝於流路塊2或流體控制機器3A～3G。
將流路塊2及流體控制機器3A～3G設成1條線路，雖在圖例中顯示了2條線路，但線路數量並不受限於此，可視設備而自由地決定從1條線路到複數條線路之線路數量。
［加熱手段］ 加熱手段H係抵接於流路塊2的側面，將流路內的溫度加熱至既定的溫度者，將經由入口配管流入的氣體(gas)(例如，氟化氫)加溫，防止會在常溫下液化之氣體液化。
抵接於流路塊2的側面之加熱手段H係藉由扣件(clip)5挾持固定。圖例中雖示出面狀加熱器構成之加熱手段H的高度尺寸係配合流路塊2(下部塊)的高度尺寸之例子，但就算是具有遮蓋流體控制機器3A～3G(上部塊)下側的高度者也無妨。
藉由對薄板材進行彎曲加工，扣件5的壓縮部5A會形成為往上下方向延伸，且與流路塊2及流體控制機器3A～3G的側面平行。連結部5B係沿著氣體線路的短邊方向延伸，將一對壓縮部5A做連結。
如圖1～圖2所示，在流路塊2及流體控制機器3A～3G安裝溫度感測器的安裝構造體1、加熱手段H，扣件5係以將該等挾入之方式固定。又，覆蓋加熱手段H的表面或流體控制器3A～3G的塊部上面，例如配設矽膠海綿(silicone sponge)隔熱材料，即便以該等也藉由扣件5固定的方式構成亦無妨。
［溫度感測器］ 安裝於溫度感測器的安裝構造體1之溫度感測器S，係將經測量之流路塊2或流體控制機器3A～3G的溫度傳送至控制流體控制機器3A～3G的控制機器(圖示省略)，控制機器係根據經測量之溫度來控制流體控制機器3A～3G，且可在偏離既定溫度的臨界值的情況時，發出指示使機器緊急停機。雖然沒有特別限制，溫度感測器S在本實施形態中使用熱電偶。再者，溫度感測器S也可使用恆溫器(thermostat)。
溫度感測器的安裝構造體1係安裝在上述之流路塊2或流體控制機器3，且具備矩形狀的溫度感測器安裝片10，及自此安裝片10之相向的對邊10a、10a延伸設置之成對的挾持片11。
溫度感測器安裝片10與挾持片11、11在本實施形態中係藉由將1片金屬板進行彎曲加工而製作。藉由將金屬板彎曲加工，挾持片11、11係具有即便張開也可返回原位置的彈性。挾持片11、11的間隔L(溫度感測器安裝片10的寬度尺寸)係設成與要安裝之流路塊2或流體控制機器3的寬度尺寸大致相同尺寸。一般來說，此寬度尺寸，特別是流路塊2的寬度尺寸，在聚集型的流體控制裝置中被標準化，無須準備多種類。
又，將安裝片10之對向的對邊10a部彎曲成直角，並形成如圖3(b)所示的挾持片11、11亦無妨，本實施形態中，如圖3(a)所示，透過將安裝片10的寬度尺寸做成比挾持片11、11的間隔L還要長一些，並將對邊10a部的內側彎曲成銳角，再以對安裝片10正交的方式彎曲，來構成挾持片11、11。藉此，提高彎曲加工的彈性，能以挾持片11、11確實地挾持流路塊2。再者，即便是在對溫度感測器S施加往上方的應力(抽拔力)的情況時，挾持片11、11的上邊緣係抵接於相鄰的流路塊2上所載置之流體控制機器3的底面，可防止溫度感測器S自流路塊脫離。
另外，安裝片10與挾持片11、11之高度方向的尺寸亦可作成如圖3(b)所示之相同高度尺寸，也可作成如圖3(a)所示，安裝片10之高度方向的尺寸比挾持片11、11之高度方向的尺寸還要短。
＜實施形態2＞ 再者，如圖3(c)所示，溫度感測器的安裝構造體1係可以自溫度感測器安裝片10及挾持片11、11之至少一處的下邊緣朝向內側延伸設置擋止片12、13的方式構成。擋止片12、13係較佳為亦從1片金屬板裁出，並藉由彎曲加工形成。
圖例中雖顯示了自溫度感測器安裝片10延伸設置擋止片12，及自挾持片11、11延伸設置擋止片13的例子，惟擋止片係只要在任一者的1處形成即可。特別是，自挾持片11延伸設置而形成的擋止片13係在屬上部塊之流體控制機器3和屬下部塊之流路塊2的上面之間沒有間隙或階差的情況時無法利用。因此，較佳為僅自溫度感測器安裝片10延伸設置而形成擋止片12。如圖4所示，透過形成該擋止片12，在流體控制機器3(上部塊)安裝溫度感測器S時，即使在對溫度感測器S施加向上的應力(抽拔力)的情況下擋止片12係與上部塊的下面抵接，可防止溫度感測器S自流路塊脫離。
＜實施形態3＞ 再者，如圖5(a)所示，溫度感測器的安裝構造體1係可使挾持片11、11之溫度感測器安裝片相反側的端邊向內側突出。突出之部分的形狀並沒有特別限制，本實施形態中透過將端邊往內側捲成圓弧狀而形成突出部11a。
突出部11a、11a的間隔M若構成為比挾持片11、11的間隔L還要短的話，則突出部11a的形狀係只彎折端邊也無妨。
在安裝流路塊2(下部塊)或流體控制機器3(上部塊)之際，擴展挾持片11、11直到突出部11a、11a的間隔M與塊的寬度尺寸相等為止(通常為挾持片11、11的間隔L)，且使突出部11a、11a一面與塊的側面滑接一面滑動(參照圖5(c))，在通過塊的側面之後，透過挾持片11、11的彈性使突出部11a、11a卡勾在塊的對向面，不僅是往上方的應力(抽拔力)，即便是產生水平方向的應力，溫度感測器S的位置也不會變動而被強固地固定。
本實施形態中，當然也可作成如在實施形態1說明之將對邊10a部內側彎成銳角，或在實施形態2說明之形成擋止片12、13。 [產業上利用之可能性]
如以上說明，因為本發明之溫度感測器的安裝構造體可有效地防止安裝於聚集型流體控制裝置的溫度感測器朝上方抽出，所以除了可廣泛適用在聚集型流體控制裝置之外，在朝現有的聚集型流體控制裝置安裝溫度感測器上也可適用。
1:溫度感測器的安裝構造體 2:流路塊(下部塊) 3:流體控制機器(上部塊) 4:支撐構件 5:扣件 10:溫度感測器安裝片 11:挾持片 12:擋止片 13:擋止片 100:流體控制裝置 S:溫度感測器 H:加熱手段
圖1係顯示有關本發明實施形態之安裝溫度感測器的安裝構造體前的聚集型流量控制裝置的立體圖。 圖2係顯示安裝同一溫度感測器的安裝構造體後的聚集型流量控制裝置的立體圖。 圖3係分別顯示出同一溫度感測器的安裝構造體的立體圖，(a)為第1實施形態；(b)為將彎曲部單純地彎曲成直角之例；(c)為第2實施形態。 圖4係顯示將同一溫度感測器的安裝構造體之第2實施形態安裝在上部塊的狀態的立體圖。 圖5係顯示同一溫度感測器的安裝構造體之第3實施形態，(a)為立體圖；(b)為俯視圖；(c)為說明安裝於塊的過程之俯視圖；(d)為顯示已安裝在塊的狀態之俯視圖。
1:溫度感測器的安裝構造體
2:流路塊(下部塊)
3:流體控制機器(上部塊)
3A,3B,3C,3D,3E,3F,3G:流體控制機器
4:支撐構件
5:扣件
5A:壓縮部
5B:連結部
100:流體控制裝置
S:溫度感測器
H:加熱手段

Claims (4)

  1. 一種溫度感測器的安裝構造體，其係安裝在具備複數個流路塊及流體控制機器之流體控制裝置的前述流路塊或前述流體控制機器，複數個前述流路塊係於內部具備流體流路，且在至少一面具備前述流路的開口部，前述流體控制機器被載置於該流路塊上，該溫度感測器的安裝構造體具備： 矩形的溫度感測器安裝片；及 成對的挾持片，自該安裝片之對向的對邊延伸設置。
  2. 如請求項1之溫度感測器的安裝構造體，其中 自前述溫度感測器安裝片及挾持片之至少一處的下邊朝向內側延伸設置有擋止片。
  3. 如請求項1或2之溫度感測器的安裝構造體，其中 前述挾持片之與溫度感測器安裝片相對的端邊係設有往內側彎曲之彎曲部。
  4. 如請求項1至3中任一項之溫度感測器的安裝構造體，其中 前述溫度感測器安裝片的表面係覆蓋有帶狀的加熱手段。
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