KR20190120294A - 유체 제어 기기 및 센서 보유지지 부재 - Google Patents

유체 제어 기기 및 센서 보유지지 부재 Download PDF

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KR20190120294A
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가즈히로 후지네
히데히로 도야
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

[과제] 온도 센서가 단단히 고정됨과 아울러, 온도 센서와 리크 포트의 내주면의 열 접촉이 확실히 유지되는 유체 제어 기기를 제공한다. [해결수단] 온도 센서(7)를 보유지지한 유체 제어 기기(3)는, 리크 포트(LP)에 삽입되는 온도 센서(7)와, 리크 포트(LP)의 직상에 설치되고, 온도 센서(7)를 리크 포트(LP) 내에 삽입된 상태로 보유지지하는 센서 보유지지 부재(8)를 가지고 있다. 센서 보유지지 부재(8)는, 리크 포트(LP)의 직상에 배치되는 베이스부(81)와, 베이스부(81)에 설치되고, 온도 센서(7)가 삽입 통과됨과 아울러, 리크 포트(LP)에 연통하는 관통공(8a)으로 이루어지며, 베이스부(81)는, 유체 제어 기기(3)의 짧은 방향의 폭에 들어가는 길이로 이루어진다. 또한, 센서 보유지지 부재(8)의 관통공(8a)과 리크 포트(LP)는, 소정의 각도를 이루고 있다.

Description

유체 제어 기기 및 센서 보유지지 부재
본 발명은, 온도 센서를 보유지지시킨 유체 제어 기기 및 온도 센서를 보유지지하는 센서 보유지지 부재에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 기기의 온도를 측정하는 경우, 열전쌍(T/C) 등의 온도를 유체 제어 기기의 밸브 보디에 설치된 리크 포트에 삽입함으로써 온도를 측정하는 경우가 있다. 이는, 유체 제어 기기의 설계 변경은 용이하게는 행할 수 없기 때문에, 기존의 유체 제어 기기에 설치되어 있는 리크 포트를 온도 센서의 삽입구로 이용한 것이다.
일반적으로, 리크 포트의 지름에 규격은 없기 때문에, 반드시 온도 센서의 지름이 리크 포트의 지름에 적합하다고는 할 수 없다. 그 때문에, 온도 센서의 지름이 리크 포트의 지름보다 충분히 작은 경우에는, 온도 센서가 리크 포트로부터 탈락하는 것을 방지하기 위해, 리크 포트 밖에서 온도 센서를 고정할 필요가 있다.
한편, 리크 포트의 지름이 온도 센서의 지름에 적합한 것이며, 리크 포트에 온도 센서를 끼워넣을 수 있는 경우이어도, 리크 포트가 설치되어 있는 개소는 열 변화가 심하기 때문에, 팽축에 의해 온도 센서가 탈락할 우려가 있다. 또한, 유체 제어 기기는 평면 배치, 수직 배치, 반대 배치 등, 다양한 방향으로 배치될 수 있고, 유체 제어 기기 자체가 진동하거나, 챔버 등의 주변 설비로부터 진동의 영향을 받기 때문에, 온도 센서의 고정에는, 어느 방향으로도 온도 센서가 리크 포트와의 열 접촉을 유지할 수 있는 확실성이 요구된다. 나아가 원자 레벨이나 분자 레벨의 두께로 박막을 형성하는 ALD(Atomic Layer Deposition)라는 성막 방법이 사용되는 등, 박막의 한층 더 미세화가 요구되는 최근에는, 유체 제어 기기의 기차(機差)를 저감할 필요가 있고, 온도 센서의 고정에서도 당연히 기기마다의 고정에 불균일이 없도록 할 필요가 있다.
이 점에서, 특허문헌 1에서는, 서로 인접하는 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기와, 제1 유체 제어 기기의 유체 통로를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서를 구비하고 있는 유체 제어 장치로서, 제1 유체 제어 기기 및 제2 유체 제어 기기 중 어느 한쪽의 액추에이터 캡의 외주면 상에 장착되어 서멀 센서를 지지하는 환상의 지지 부재를 더 구비하고 있는 것이 제안되어 있다.
특허문헌 1: 국제공개 제2014/136557호 공보
그런데, 최근에는 한층 더 유체 제어 장치의 소형화가 요구되고, 유체 제어 기기의 액추에이터 캡의 면적이 가스 라인의 폭을 제한하도록 되어 있다.
이러한 상황하에서는, 특허문헌 1에 기재된 유체 제어 장치와 같이, 액추에이터 캡의 외주면 상에 서멀 센서의 지지 부재를 장착하여 가로폭을 넓히는 것은 바람직하지 않다. 또한, 액추에이터 캡에 장착되면, 액추에이터 동작시의 진동의 영향을 받기 쉽다.
그래서, 본 발명은, 온도 센서가 단단히 고정됨과 아울러, 온도 센서와 리크 포트의 내주면의 열 접촉이 확실히 유지되는 유체 제어 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 하나의 관점에 관한 유체 제어 기기는, 온도 센서를 보유지지한 유체 제어 기기로서, 상기 유체 제어 기기의 심혈(深穴)에 삽입되는 온도 센서와, 상기 심혈의 직상(直上)에 설치되고, 상기 온도 센서를 상기 심혈 내에 삽입된 상태로 보유지지하는 센서 보유지지 부재를 가지며, 상기 센서 보유지지 부재는, 상기 심혈의 직상에 배치되는 베이스부와, 상기 베이스부에 설치되고, 상기 온도 센서가 삽입 통과됨과 아울러, 상기 심혈에 연통하는 관통공으로 이루어지며, 상기 베이스부는, 상기 유체 제어 기기의 짧은 방향(short direction)의 폭에 들어가는 길이로 이루어진다.
상기 센서 보유지지 부재의 관통공과 상기 심혈은, 소정의 각도를 이루고 있는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 센서 보유지지 부재는, 가요성을 갖는 수지 소재로 이루어지는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 관통공은, 상기 심혈의 개구부에 통하는 측의 개구부 근방에 있어서, 주연(周緣)에 오목홈이 형성되어 있는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 관통공은, 상기 심혈과 대향하는 측의 개구부 근방이, 상기 베이스부로부터 돌출됨과 아울러, 상기 베이스부보다 두께가 얇은 둘레벽에 의해 형성되어 있는 것으로 해도 된다.
또한, 상기 심혈은, 상기 유체 제어 기기의 리크 포트인 것으로 해도 된다.
또한, 상기 유체 제어 기기를 이용한 유체 제어 장치로서 구성해도 된다.
또한, 본 발명의 다른 관점에 관한 센서 보유지지 부재는, 유체 제어 기기에 온도 센서를 보유지지하는 부재로서, 상기 유체 제어 기기의 심혈의 직상에 설치되고, 상기 심혈의 직상에 배치되는 베이스부와, 상기 베이스부에 설치되고, 상기 온도 센서가 삽입 통과됨과 아울러, 상기 심혈에 연통하는 관통공을 가지며, 상기 베이스부는, 상기 유체 제어 기기의 짧은 방향의 폭에 들어가는 길이로 이루어진다.
본 발명에 관한 유체 제어 기기에 의하면, 온도 센서가 단단히 고정됨과 아울러, 온도 센서와 리크 포트의 내주면의 열 접촉이 확실히 유지된다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기에 의해 구성된 유체 제어 장치를 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는, 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 나타낸 외관 사시도이다.
도 3은, 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 나타낸 도면으로, (a) 정면, (b) 측면을 나타낸다.
도 4는, 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 구성하는 본체를 나타낸 외관 사시도이다.
도 5는, 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 구성하는 센서 보유지지 부재를 나타낸 외관 사시도이다.
도 6은, 본 실시형태에 관한 센서 보유지지 부재를 나타낸 단면도로서, (a) A-A 단면, (b) B-B 단면을 나타낸다.
도 7은, 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 나타낸 외관도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기(3)에 대해, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은, 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기(3)를 구비한 유체 제어 장치(1)를 나타내고 있다. 유체 제어 장치(1)는, 폭방향으로 인접하는 복수의 가스 라인(2)(도 1에서는 3라인)에 의해 구성되고, 각 가스 라인(2)이 베이스 판금 상에 설치되어 있다.
또, 이하의 설명에서는, 편의적으로 도면상에서의 방향에 따라 부재 등의 방향을 상하좌우로 지칭하는 경우가 있는데, 유체 제어 장치(1)는 사양에 따라 도시 상하좌우의 방향으로 설치되기 때문에, 특별한 언급이 없는 한, 지칭하는 방향이 본 발명의 실시 혹은 사용시의 부재 등의 방향을 한정하는 것은 아니다.
기판 상의 각 가스 라인(2)에는, 매스 플로우 컨트롤러(4) 등의 구성부품과 함께, 블록형상 조인트(5)를 개재하여 접속하는 복수의 유체 제어 기기(3)가 일렬로 나열하여 배치되어 있다.
유체 제어 기기(3)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본체(6), 온도 센서(7), 및 센서 보유지지 부재(8)에 의해 구성된다.
본체(6)는 도 4에 도시된 바와 같이, 밸브 보디(61), 밸브 보디(61)에 배치된 액추에이터 보디(62), 액추에이터 보디(62)에 배치된 케이싱(63)에 의해 구성되어 있다.
밸브 보디(61)에는, 유체가 유통하는 유로(도시생략)와, 유체의 누출을 검지 가능한 리크 포트(LP)가 설치되어 있다.
리크 포트(LP)는, 유체 제어 기기(3)의 세로 방향으로 길이를 갖는 관통공으로서 구성되어 있다. 리크 포트(LP)의 일단은 외부에 연통되고, 타단은 블록형상 조인트(5)에 의해 차폐됨과 아울러, 메탈 개스킷 등의 시일 부재에 의해 유로와 격리되고, 유체 제조 장치(1)의 조립 후는 소정의 깊이를 가진 심혈으로서 기능한다.
이 리크 포트(LP)는 유로의 근방에 설치되어 있기 때문에, 리크 포트(LP) 내의 온도를 측정함으로써, 이 온도를 유체의 온도로 간주할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서, 리크 포트(LP)는 온도 센서(7)를 삽입시키기 위한 심혈으로서 이용되고 있지만, 이에 한정하지 않고, 온도 센서(7)를 삽입하여 유체 또는 기기 내의 온도를 측정할 수 있으면, 온도를 측정하기 위한 전용의 심혈을 설치해도 된다. 또한, 심혈 자체도 온도 센서(7)를 삽입할 수 있으면, 바닥이 있는 구멍에 한정하지 않고, 관통공이어도 된다.
온도 센서(7)는, 본 예에서는 열전쌍이 이용된다. 열전쌍은 2종류의 금속선으로 이루어지며, 각각의 일단이 전기적으로 접속되어 측온부를 구성하고, 각각의 타단이 동일한 기준 온도의 장소에 설치되며, 2종류의 금속의 열기전력의 차로부터 일단부와 타단부의 온도차가 전압으로서 측정된다.
이 온도 센서(7)는, 일단이 리크 포트(LP)에 삽입됨과 아울러, 리크 포트(LP)의 내주면에 접촉하고, 이에 의해 리크 포트(LP) 내의 온도가 측정된다.
또, 도면 중에서는, 열전쌍으로서 구성되는 온도 센서(7)의 일단측의 측온부만을 모식적으로 나타내고 있다. 온도 센서(7)의 타단측은 도시하지 않은 배선에 의해 유체 제어 장치(1)의 컨트롤러에 접속되어 있다.
또한, 본 예에서는 온도 센서(7)로서 열전쌍을 이용하였지만, 이에 관계없이, 리크 포트(LP) 내에 삽입하여 온도를 측정할 수 있는 것이면, 다른 온도 측정 기구를 이용할 수 있다.
센서 보유지지 부재(8)는, 리크 포트(LP)의 직상에 설치되고, 온도 센서(7)를 리크 포트(LP) 내에 삽입된 상태로 고정적으로 보유지지한다.
이 센서 보유지지 부재(8)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 리크 포트(LP)의 직상에 배치되는 평판형의 베이스부(81)와, 이 베이스부(81)에 설치되고, 양단이 개구된 대략 통형의 관통공(8a)에 의해 구성된다.
또한, 센서 보유지지 부재(8)는 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE) 등, 내열성이나 내약품성을 구비함과 아울러, 가요성을 갖는 수지 소재로 이루어지는 것이 적합하다.
베이스부(81)는, 리크 포트(LP)에 대향하는 측의 일면이 상면(821)을 구성하고, 리크 포트(LP) 측의 일면이, 밸브 보디(61)에 장착되는 장착면(831)을 구성한다. 본 예에서는, 장착면(831)에 도포된 내열성의 접착제나 점착테이프 등에 의해, 센서 보유지지 부재(8)가 밸브 보디(61) 상의 평활한 면에 접착되어 있지만, 이에 관계없이, 센서 보유지지 부재(8)를 밸브 보디(61) 상에 볼트 등으로 고정하거나, 소정의 걸어맞춤 수단 등으로 착탈이 자유롭게 걸어맞춤시킬 수도 있다. 또한, 센서 보유지지 부재(8)를 밸브 보디(61)의 일부로 하고, 센서 보유지지 부재(8)와 밸브 보디(61)를 일체적으로 구성할 수도 있다.
또한, 베이스부(81)의 길이는, 밸브 보디(61)의 폭 이하의 크기로 이루어진다. 이는 가스 라인(2)의 폭에 들어가는 길이이며, 그 때문에, 가스 라인(2)의 폭은 유체 제어 기기(3)의 폭에 의해서만 규정되고, 센서 보유지지 부재(8)의 길이에 의해 규정되는 일이 없다. 또, 도시된 본 예의 밸브 보디(61)의 폭은, 길이 방향과 폭 방향이 거의 동일하게 되어 있지만, 길이 방향과 폭 방향의 폭이 다른 경우에는, 짧은 방향의 폭에 들어가는 크기로 이루어진다.
또, 베이스부(81)의 형상은, 도면상에서는 평면에서 볼 때 대략 직사각형상으로 이루어지지만, 이에 한정하지 않고, 장착면(831)이 장착에 필요한 일정한 면적을 가지고 있으면 되고, 다른 형상으로 해도 된다.
관통공(8a)은, 단면 원형상의 구멍이며, 온도 센서(7)가 삽입 통과된다. 이 관통공(8a)은, 베이스부(81)의 중심으로부터 편심된 위치로서, 리크 포트(LP)에 대응하는 위치에 설치되어 있고, 리크 포트(LP)에 연통한다.
또, 관통공(8a)의 내경은 온도 센서(7)의 외경에 대해 억지끼움이 되는 지름으로 되어 있고, 상면(821) 측의 개구부(82)로부터, 장착면(831) 측의 개구부(83)로 온도 센서(7)를 삽입 통과시켜 보유지지할 수 있다. 또한, 이에 의해 유체 제어 장치(1)가 예를 들어 가로 방향으로 90도 기울어진 상태로 이용되는 경우이어도, 온도 센서(7)의 탈락을 막는 효과를 가진다.
또한, 관통공(8a)은 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 베이스부(81)의 장착면(831)에 수직인 방향으로부터, 약간 각도를 이룬 방향으로 형성되어 있다. 특히 본 실시형태에서는, 가스 라인(2)의 길이 방향으로서, 본체(6)로부터 떨어지는 방향으로 각도를 이루고 있다. 그 때문에, 도 7에 도시된 바와 같이, 관통공(8a)과 리크 포트(LP)는 그 길이 방향에서 소정의 각도(θ)를 이루고 있다. 그 결과, 관통공(8a)에 삽입 통과됨과 아울러 리크 포트(LP)에 삽입된 온도 센서(7)는, 관통공(8a)과 리크 포트(LP)의 내주면에 접촉하고, 관통공(8a)과 리크 포트(LP)가 연통하는 부분에서 완만하게 휘어져 있다. 이와 같이 온도 센서(7)가 휘어지는 결과, 온도 센서(7)는 리크 포트(LP)의 내주면에 복원력을 수반하여 접촉한다. 이에 의해, 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)의 내주면에 열 접촉한 상태가 유지되기 쉬워진다.
소정의 각도(θ)는 본 실시형태에서는 약 5도인데, 이하에 그 기준을 기술한다. 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)의 내주면에 접촉하는 조건으로부터, 온도 센서(7)의 외경과 리크 포트(LP)의 내경의 차를 ΔD로 하고, 온도 센서(7)를 리크 포트(LP)에 삽입하는 깊이를 L로 하였을 때에,
각도 θ>θmin=arctan(-ΔD/L)≒ΔD/L
을 만족시킬 필요가 있고, ΔD=0.4 L=14인 본 실시예에서는, θmin=1.64[°]이다. 최소한 필요한 각도(θmin)에 비해 각도(θ)를 크게 할수록, 복원력이 커져서, 온도 센서(7)의 보유지지력이 커진다. 또한, 유체 제어 기기(3)의 근처에 설치되는 기기와의 간섭을 막기 위해, 온도 센서(7)는 장착면(831)에 수직인 방향에 가까울 필요가 있고, θ<10[°] 정도의 값이 바람직하며, 또한, 이 범위의 각도(θ)이면 온도 센서(7)로서 이용하고 있는 열전쌍의 허용 굽힘(R)을 만족시킬 수 있다.
또한, 관통공(8a)은, 개구부(82) 근방이, 베이스부(81)의 상면(821)으로부터 돌출된 둘레벽(82a)에 의해 형성되어 있다. 이 둘레벽(82a)은, 관통공(8a)이 베이스부(81)에 의해 형성되는 부분보다 얇은 두께로 형성되고, 나아가 둘레벽(82a)의 단부 근방은 베이스부(81)와 대향하는 측을 향하여 서서히 얇아지는 두께로 되어 있다.
나아가 관통공(8a)에는, 개구부(83)의 주연에 환상의 오목홈(83a)이 형성되어 있다. 이 오목홈(83a)은, 홈 바닥을 향하여 서서히 좁아지는 폭(장착면(831) 측을 향하여 서서히 넓어지는 폭)으로 되어 있다.
이 점에서, 본 예에서는 상술한 바와 같이, 관통공(8a)과 리크 포트(LP)가 그 깊이 방향에서 소정의 각도(θ)를 이루고 있고, 관통공(8a)에 삽입 통과됨과 아울러 리크 포트(LP)에 경사지게 삽입된 온도 센서(7)는, 완만하게 휘어진 상태로 관통공(8a)이나 리크 포트(LP)의 내주면에 복원력을 수반하여 접촉한다. 그 결과, 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)로부터 탈락하기 어려운 반면, 온도 센서(7)로부터 관통공(8a)의 내주면, 특히 관통공(8a)의 양단 개구부(82, 83) 근방의 내주면에 응력이 집중되어, 온도 센서(7)가 꺾이거나, 센서 보유지지 부재(8)가 밸브 보디(61)로부터 벗어나는 원인이 될 수 있다.
이에 대해, 상면(821) 측의 개구부(82) 근방에서는, 관통공(8a)이 베이스부(81)의 상면(821)으로부터 돌출된 얇은 두께의 둘레벽(82a)에 의해 형성되어 있기 때문에, 온도 센서(7)로부터 이러한 개구부(82) 근방의 관통공(8a)의 내주면에 가해지는 응력이 둘레벽(82a)에 의해 흡수된다. 또한, 장착면(831) 측의 개구부(83) 근방에서는, 관통공(8a)의 주연에 환상의 오목홈(83a)이 형성되어 있기 때문에, 온도 센서(7)로부터 이러한 개구부(83) 근방의 관통공(8a)의 내주면에 가해지는 응력이 오목홈(83a)에 의해 흡수된다.
나아가 어떤 개구부(82, 83)에서도, 개구 단부로 갈수록 응력이 집중되기 쉬워지지만, 개구부(82)에서는 둘레벽(82a)이 상면(821)과 대향하는 측을 향하여 서서히 얇은 두께로 되어 있고, 개구부(83)에서는 오목홈(83a)이 장착면(831)과 대향하는 측을 향하여 서서히 넓어지는 폭으로 되어 있기 때문에, 선단부에 집중되는 응력을 보다 효과적으로 해소할 수 있다.
이에 의해, 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)로부터 탈락하기 어려운 상태를 유지하면서, 응력 집중을 막아, 온도 센서(7)가 꺾이거나, 센서 보유지지 부재(8)가 밸브 보디(61)로부터 벗어나는 것을 막을 수 있다.
나아가 둘레벽(82a)이 얇은 두께로 형성되어 있기 때문에, 밸브 보디의 열이 개구부(82) 쪽까지 전열되기 어렵고, 외기에 의해 냉각되기 쉽기 때문에, 열팽창으로 끼워맞춤이 느슨해지는 것에 의한 보유지지력의 저하를 막을 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 베이스부(81)를 평판형으로 하였지만, 이에 한정하지 않고, 일정한 두께를 갖는 블록형상으로 구성할 수도 있다. 블록형상으로 한 경우에서도 상면(821) 측에 둘레벽(82a)을 마련할 수 있지만, 두께가 있기 때문에, 장착면(831) 측과 마찬가지로 상면(821) 측에 오목홈(83a)을 형성시킬 수도 있다.
이상의 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기(3)에 의하면, 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)에 대해 경사지게 삽입된 상태로 고정된다. 그 결과, 유체 제어 기기(3)나 챔버의 동작에 따른 진동이나 온도 변화, 또한 유체 제어 기기(3)의 설치 방향에 관계없이, 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)로부터 탈락하지 않고 단단히 고정됨과 아울러, 온도 센서(7)가 리크 포트(LP)의 내주면에 열 접촉한 상태가 확실히 유지된다.
또한, 관통공(8a)의 각 개구부(82, 83) 근방의 둘레벽(82a)이나 오목홈(83a)에 의해, 온도 센서(7)로부터 센서 보유지지 부재(8)의 관통공(8a)이나 리크 포트(LP)의 내주면에 가해지는 응력의 집중을 회피하여, 온도 센서(7)의 파손이나, 밸브 보디(61)로부터 센서 보유지지 부재(8)가 벗어나는 것을 막을 수 있다.
또한, 센서 보유지지 부재(8)가 밸브 보디(61) 상에 설치되기 때문에, 액추에이터의 동작에 따른 진동의 영향을 받기 어렵다.
또한, 본 예와는 형상이 다른 밸브에서도, 리크 포트(LP) 주변에 센서 보유지지 부재(8)의 장착면(831)을 확보할 수 있으면, 본 실시형태에 관한 센서 보유지지 부재(8)에 의해 리크 포트(LP)에 온도 센서(7)를 보유지지할 수 있어, 범용성이 높다.
나아가 센서 보유지지 부재(8)의 길이는, 밸브 보디(61)의 폭 이하의 크기로 이루어지기 때문에, 가스 라인(2)의 폭이 센서 보유지지 부재(8)의 길이에 의해 규정되는 일이 없고, 유체 제어 기기(3)의 소형화에 도움이 된다. 이에 의해, 온도 센서(7)와 센서 보유지지 부재(8)를 구비한 본 실시형태에 관한 유체 제어 기기(3)이어도, 주변에 각종 부재가 배치되어 공간이 적은 챔버 주변에 설치하는 것도 가능하다.
1 유체 제어 장치
2 가스 라인
3 유체 제어 기기
4 매스 플로우 컨트롤러
5 블록형상 조인트
6 본체
61 밸브 보디
62 액추에이터 보디
63 케이싱
7 온도 센서
8 센서 보유지지 부재
8a 관통공
81 베이스부
82 개구부
821 상면
82a 둘레벽
83 개구부
831 장착면
83a 오목홈
LP 리크 포트(심혈)

Claims (7)

  1. 온도 센서를 보유지지한 유체 제어 기기로서,
    상기 유체 제어 기기의 심혈(深穴)에 삽입되는 온도 센서와,
    상기 심혈의 직상(直上)에 설치되고, 상기 온도 센서를 상기 심혈 내에 삽입된 상태로 보유지지하는 센서 보유지지 부재를 가지며,
    상기 센서 보유지지 부재는,
    상기 심혈의 직상에 배치되는 베이스부와,
    상기 베이스부에 설치되고, 상기 온도 센서가 삽입 통과됨과 아울러, 상기 심혈에 연통하는 관통공으로 이루어지며,
    상기 베이스부는, 상기 유체 제어 기기의 짧은 방향의 폭에 들어가는 길이로 이루어지고,
    상기 센서 보유지지 부재의 관통공과 상기 심혈은, 소정의 각도를 이루고 있는, 유체 제어 기기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서 보유지지 부재는, 가요성을 갖는 수지 소재로 이루어지는, 유체 제어 기기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 관통공은, 상기 심혈의 개구부에 통하는 측의 개구부 근방에 있어서, 주연(周緣)에 오목홈이 형성되어 있는, 유체 제어 기기.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 관통공은, 상기 심혈과 대향하는 측의 개구부 근방이, 상기 베이스부로부터 돌출됨과 아울러, 상기 베이스부보다 두께가 얇은 둘레벽에 의해 형성되어 있는, 유체 제어 기기.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 심혈은, 상기 유체 제어 기기의 리크 포트인, 유체 제어 기기.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 유체 제어 기기를 이용한 유체 제어 장치.
  7. 유체 제어 기기에 온도 센서를 보유지지하는 부재로서,
    상기 유체 제어 기기의 심혈의 직상에 설치되고,
    상기 심혈의 직상에 배치되는 베이스부와,
    상기 베이스부에 설치되고, 상기 온도 센서가 삽입 통과됨과 아울러, 상기 심혈에 연통하는 관통공을 가지며,
    상기 베이스부는, 상기 유체 제어 기기의 짧은 방향의 폭에 들어가는 길이로 이루어지는, 센서 보유지지 부재.
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