JPWO2018180886A1 - 流体制御機器及びセンサ保持部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】温度センサがしっかりと固定されると共に、温度センサとリークポートの内周面との熱接触が確実に維持される流体制御機器を提供する。【解決手段】温度センサ7を保持した流体制御機器3は、リークポートLPに挿入される温度センサ7と、リークポートLPの直上に設けられ、温度センサ7をリークポートLP内に挿入された状態に保持するセンサ保持部材8とを有している。センサ保持部材8は、リークポートLPの直上に配設される基体部81と、基体部81に設けられ、温度センサ7が挿通されると共に、リークポートLPに連通する貫通孔8aとからなり、基体部81は、流体制御機器3の短手方向の幅に収まる長さからなる。また、センサ保持部材8の貫通孔8aとリークポートLPは、所定の角度をなしている【選択図】図7
Description
本発明は、温度センサを保持させた流体制御機器及び温度センサを保持するセンサ保持部材に関する。
半導体製造装置に使用される流体制御機器の温度を測定する場合、熱電対(T/C)等の温度を流体制御機器のバルブボディに設けられたリークポートに挿入することによって温度を測定することがある。これは、流体制御機器の設計変更は容易には行えないことから、既存の流体制御機器に設けられているリークポートを温度センサの挿入口に流用したものである。
一般的に、リークポートの径に規格はないため、必ずしも温度センサの径がリークポートの径に適合するとは限らない。そのため、温度センサの径がリークポートの径よりも十分に小さい場合には、温度センサがリークポートから脱落するのを防止すべく、リークポート外で温度センサを固定する必要がある。
一方、リークポートの径が温度センサの径に適したものであり、リークポートに温度センサを嵌入させることができるような場合であっても、リークポートが設けられている箇所は熱変化が激しいため、膨縮により温度センサが脱落するおそれがある。また、流体制御機器は平置き、縦置き、逆置きなど、様々な向きで配置され得るし、流体制御機器自体が振動したり、チャンバ等の周辺設備から振動の影響を受けたりするため、温度センサの固定には、どの向きでも温度センサがリークポートとの熱接触を維持できる確実性が求められる。さらに、原子レベルや分子レベルの厚さで薄膜を形成するALD (Atomic Layer Deposition)という成膜方法が使われるなど、薄膜の一層の微細化が要求される近年においては、流体制御機器の機差を低減する必要があり、温度センサの固定においても当然、機器ごとの固定にばらつきがないようにする必要がある。
一方、リークポートの径が温度センサの径に適したものであり、リークポートに温度センサを嵌入させることができるような場合であっても、リークポートが設けられている箇所は熱変化が激しいため、膨縮により温度センサが脱落するおそれがある。また、流体制御機器は平置き、縦置き、逆置きなど、様々な向きで配置され得るし、流体制御機器自体が振動したり、チャンバ等の周辺設備から振動の影響を受けたりするため、温度センサの固定には、どの向きでも温度センサがリークポートとの熱接触を維持できる確実性が求められる。さらに、原子レベルや分子レベルの厚さで薄膜を形成するALD (Atomic Layer Deposition)という成膜方法が使われるなど、薄膜の一層の微細化が要求される近年においては、流体制御機器の機差を低減する必要があり、温度センサの固定においても当然、機器ごとの固定にばらつきがないようにする必要がある。
この点、特許文献1では、互いに隣り合う第1の流体制御機器および第2の流体制御機器と、第1の流体制御機器の流体通路を流れる流体の温度を測定するサーマルセンサとを備えている流体制御装置であって、第1の流体制御機器および第2の流体制御機器のいずれか一方のアクチュエータキャップの外周面上に取り付けられてサーマルセンサを支持する環状の支持部材をさらに備えているものが提案されている。
ところで、近年は一段と流体制御装置の小型化が要求され、流体制御機器のアクチュエータキャップの面積がガスラインの幅をリミットするようになってきている。
このような状況下においては、特許文献1に記載の流体制御装置のように、アクチュエータキャップの外周面上にサーマルセンサの支持部材を取り付けて横幅を広くしてしまうことは好ましくない。また、アクチュエータキャップに取付けられると、アクチュエータの動作時の振動の影響を受け易い。
このような状況下においては、特許文献1に記載の流体制御装置のように、アクチュエータキャップの外周面上にサーマルセンサの支持部材を取り付けて横幅を広くしてしまうことは好ましくない。また、アクチュエータキャップに取付けられると、アクチュエータの動作時の振動の影響を受け易い。
そこで本発明は、温度センサがしっかりと固定されると共に、温度センサとリークポートの内周面との熱接触が確実に維持される流体制御機器を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の一の観点に係る流体制御機器は、温度センサを保持した流体制御機器であって、前記流体制御機器の深穴に挿入される温度センサと、前記深穴の直上に設けられ、前記温度センサを前記深穴内に挿入された状態に保持するセンサ保持部材と、を有し、前記センサ保持部材は、前記深穴の直上に配設される基体部と、前記基体部に設けられ、前記温度センサが挿通されると共に、前記深穴に連通する貫通孔と、からなり、前記基体部は、前記流体制御機器の短手方向の幅に収まる長さからなる。
前記センサ保持部材の貫通孔と前記深穴は、所定の角度をなしているものとしてもよい。
また、前記センサ保持部材は、可撓性を有する樹脂素材からなるものとしてもよい。
また、前記貫通孔は、前記深穴の開口部に通じる側の開口部近傍において、周縁に凹溝が形成されているものとしてもよい。
また、前記貫通孔は、前記深穴と対向する側の開口部近傍が、前記基体部から突出すると共に、前記基体部よりも肉薄な周壁によって形成されているものとしてもよい。
また、前記深穴は、前記流体制御機器のリークポートであるものとしてもよい。
また、前記流体制御機器を用いた流体制御装置として構成してもよい。
また、本発明の別の観点に係るセンサ保持部材は、流体制御機器に温度センサを保持する部材であって、前記流体制御機器の深穴の直上に設けられ、前記深穴の直上に配設される基体部と、前記基体部に設けられ、前記温度センサが挿通されると共に、前記深穴に連通する貫通孔と、を有し、前記基体部は、前記流体制御機器の短手方向の幅に収まる長さからなる。
本発明に係る流体制御機器によれば、温度センサがしっかりと固定されると共に、温度センサとリークポートの内周面との熱接触が確実に維持される。
以下、本発明の実施形態に係る流体制御機器3について、図を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係る流体制御機器3を備えた流体制御装置1を示している。流体制御装置1は、幅方向に隣接する複数のガスライン2(図1では3ライン)によって構成され、各ガスライン2がベース板金上に設置されている。
なお、以下の説明では、便宜的に図面上での方向によって部材等の方向を上下左右と指称することがあるが、流体制御装置1は仕様に応じて、図示上下左右の向きに設置されるため、特段の言及がない限り、指称する方向が本発明の実施あるいは使用の際の部材等の方向を限定することはない。
図1は、本実施形態に係る流体制御機器3を備えた流体制御装置1を示している。流体制御装置1は、幅方向に隣接する複数のガスライン2(図1では3ライン)によって構成され、各ガスライン2がベース板金上に設置されている。
なお、以下の説明では、便宜的に図面上での方向によって部材等の方向を上下左右と指称することがあるが、流体制御装置1は仕様に応じて、図示上下左右の向きに設置されるため、特段の言及がない限り、指称する方向が本発明の実施あるいは使用の際の部材等の方向を限定することはない。
基板上の各ガスライン2には、マスフローコントローラ4等の構成部品と共に、ブロック状継手5を介して接続する複数の流体制御機器3が一列に並んで配設されている。
流体制御機器3は、図2及び図3に示されるように、本体6、温度センサ7、及びセンサ保持部材8によって構成される。
流体制御機器3は、図2及び図3に示されるように、本体6、温度センサ7、及びセンサ保持部材8によって構成される。
本体6は図4に示されるように、バルブボディ61、バルブボディ61に配設されたアクチュエータボディ62、アクチュエータボディ62に配設されたケーシング63によって構成されている。
バルブボディ61には、流体が流通する流路(図示省略)と、流体の漏出を検知可能なリークポートLPが設けられている。
バルブボディ61には、流体が流通する流路(図示省略)と、流体の漏出を検知可能なリークポートLPが設けられている。
リークポートLPは、流体制御機器3の縦方向に長さを有する貫通孔として構成されている。リークポートLPの一端は外部に連通しており、他端はブロック状継手5によって遮蔽されると共に、メタルガスケット等のシール部材によって流路と隔てられ、流体製造装置1の組立後は所定の深さを有した深穴として機能する。
このリークポートLPは流路の近傍に設けられていることから、リークポートLP内の温度を測定することで、当該温度を流体の温度とみなすことができる。
このリークポートLPは流路の近傍に設けられていることから、リークポートLP内の温度を測定することで、当該温度を流体の温度とみなすことができる。
なお、本実施形態において、リークポートLPは温度センサ7を挿入させるための深穴として利用されているが、これに限らず、温度センサ7を挿入して流体又は機器内の温度を測定することができれば、温度を測定するための専用の深穴を設けてもよい。また、深穴自体も、温度センサ7を挿入することができれば、有底の穴に限らず、貫通孔であってもよい。
温度センサ7は、本例では熱電対が用いられる。熱電対は二種類の金属線からなり、各々の一端が電気的に接続されて測温部を構成し、各々の他端が同一の基準温度の場所に設置され、二種類の金属の熱起電力の差から一端部と他端部の温度差が電圧として測定される。
この温度センサ7は、一端がリークポートLPに挿入されると共に、リークポートLPの内周面に当接し、これによりリークポートLP内の温度が測定される。
この温度センサ7は、一端がリークポートLPに挿入されると共に、リークポートLPの内周面に当接し、これによりリークポートLP内の温度が測定される。
なお、図面中では、熱電対として構成される温度センサ7の一端側の測温部のみを模式的に示している。温度センサ7の他端側は図示しない配線によって流体制御装置1のコントローラに接続されている。
また、本例では温度センサ7として熱電対を用いたが、これに関わらず、リークポートLP内に挿入して温度を測定することができるものであれば、他の温度測定器具を用いることができる。
また、本例では温度センサ7として熱電対を用いたが、これに関わらず、リークポートLP内に挿入して温度を測定することができるものであれば、他の温度測定器具を用いることができる。
センサ保持部材8は、リークポートLPの直上に設けられ、温度センサ7をリークポートLP内に挿入された状態に固定的に保持する。
このセンサ保持部材8は図5及び図6に示されるように、リークポートLPの直上に配設される平板状の基体部81と、当該基体部81に設けられ、両端が開口した略筒状の貫通孔8aによって構成される。
また、センサ保持部材8はポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene, PTFE)等、耐熱性や耐薬品性を備えると共に、可撓性を有する樹脂素材からなるのが好適である。
このセンサ保持部材8は図5及び図6に示されるように、リークポートLPの直上に配設される平板状の基体部81と、当該基体部81に設けられ、両端が開口した略筒状の貫通孔8aによって構成される。
また、センサ保持部材8はポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene, PTFE)等、耐熱性や耐薬品性を備えると共に、可撓性を有する樹脂素材からなるのが好適である。
基体部81は、リークポートLPに対向する側の一面が上面821を構成し、リークポートLP側の一面が、バルブボディ61に取り付けられる取付面831を構成している。本例では、取付面831に塗布された耐熱性の接着剤や粘着テープ等により、センサ保持部材8がバルブボディ61上の平滑な面に接着されているが、これに関わらず、センサ保持部材8をバルブボディ61上にボルト等で固定したり、所定の係合手段等で係脱自在に係合させたりすることもできる。また、センサ保持部材8をバルブボディ61の一部とし、センサ保持部材8とバルブボディ61とを一体的に構成することもできる。
また、基体部81の長さは、バルブボディ61の幅以下のサイズからなる。これはガスライン2の幅に収まる長さであり、そのため、ガスライン2の幅は流体制御機器3の幅のみによって規定され、センサ保持部材8の長さによって規定されることがない。なお、図示された本例のバルブボディ61の幅は、長さ方向と幅方向が略同一となっているが、長さ方向と幅方向の幅が異なる場合には、短手方向の幅に収まるサイズからなる。
なお、基体部81の形状は、図面上では平面視で略矩形状からなるが、これに限らず、取付面831が取り付けに必要な一定の面積を有していればよく、他の形状としてもよい。
なお、基体部81の形状は、図面上では平面視で略矩形状からなるが、これに限らず、取付面831が取り付けに必要な一定の面積を有していればよく、他の形状としてもよい。
貫通孔8aは、断面円形状の孔であり、温度センサ7が挿通される。この貫通孔8aは、基体部81の中心から偏心した位置であって、リークポートLPに対応する位置に設けられており、リークポートLPに連通する。
なお、貫通孔8aの内径は温度センサ7の外径に対して締まり嵌めとなる径になっており、上面821側の開口部82から、取付面831側の開口部83へ温度センサ7を挿通させて保持することができる。また、これにより流体制御装置1が例えば横向きに90度傾けた状態で用いられる場合であっても、温度センサ7の脱落を防ぐ効果を有する。
なお、貫通孔8aの内径は温度センサ7の外径に対して締まり嵌めとなる径になっており、上面821側の開口部82から、取付面831側の開口部83へ温度センサ7を挿通させて保持することができる。また、これにより流体制御装置1が例えば横向きに90度傾けた状態で用いられる場合であっても、温度センサ7の脱落を防ぐ効果を有する。
また、貫通孔8aは図6(b)に示されるように、基体部81の取付面831に垂直な向きから、僅かに角度をなした方向に形成されている。特に本実施形態では、ガスライン2の長さ方向であって、本体6から離れる方向に角度をなしている。そのため、図7に示されるように、貫通孔8aとリークポートLPはその長さ方向において所定の角度θをなしている。その結果、貫通孔8aに挿通されると共にリークポートLPに挿入された温度センサ7は、貫通孔8aとリークポートLPの内周面に当接し、貫通孔8aとリークポートLPとが連通する部分において緩やかに撓められている。 このように温度センサ7が撓められる結果、温度センサ7はリークポートLPの内周面に復元力を伴って当接する。これにより、温度センサ7がリークポートLPの内周面に熱接触した状態が維持され易くなっている。
所定の角度θは本実施形態では約5度であるが、以下にその基準を記述する。温度センサ7がリークポートLPの内周面に当接する条件から、温度センサ7の外径とリークポートLPの内径の差をΔDとし、温度センサ7をリークポートLPに挿入する深さをLとした時に、
角度θ>θmin=arctan(-ΔD/L)≒ΔD/L
を満たす必要があり、ΔD=0.4 L=14 である本実施例では、θmin=1.64[°]である。最低限必要な角度θminと比べて角度θを大きくするほど、復元力が大きくなり、温度センサ7の保持力が大きくなる。また、流体制御機器3の隣に設置される機器との干渉を防ぐために、温度センサ7は取付面831に垂直な向きに近い必要があり、θ<10[°]程度の値が望ましく、また、この範囲の角度θであれば温度センサ7として用いている熱電対の許容曲げRを満たすことができる。
角度θ>θmin=arctan(-ΔD/L)≒ΔD/L
を満たす必要があり、ΔD=0.4 L=14 である本実施例では、θmin=1.64[°]である。最低限必要な角度θminと比べて角度θを大きくするほど、復元力が大きくなり、温度センサ7の保持力が大きくなる。また、流体制御機器3の隣に設置される機器との干渉を防ぐために、温度センサ7は取付面831に垂直な向きに近い必要があり、θ<10[°]程度の値が望ましく、また、この範囲の角度θであれば温度センサ7として用いている熱電対の許容曲げRを満たすことができる。
また、貫通孔8aは、開口部82近傍が、基体部81の上面821から突出した周壁82aによって形成されている。この周壁82aは、貫通孔8aが基体部81によって形成される部分よりも肉薄に形成され、さらに、周壁82aの端部近傍は基体部81と対向する側に向かって徐々に肉薄になっている。
さらに、貫通孔8aには、開口部83の周縁に環状の凹溝83aが形成されている。この凹溝83aは、溝底に向かって徐々に幅狭(取付面831側に向かって徐々に幅広)になっている。
この点、本例では上述のとおり、貫通孔8aとリークポートLPとがその深さ方向において所定の角度θをなしており、貫通孔8aに挿通されると共にリークポートLPに斜めに挿入された温度センサ7は、緩やかに撓められた状態で貫通孔8aやリークポートLPの内周面に復元力を伴って当接する。その結果、温度センサ7がリークポートLPから脱落しにくい反面、温度センサ7から貫通孔8aの内周面、特に貫通孔8aの両端開口部82、83近傍の内周面に応力が集中し、温度センサ7が折れたり、センサ保持部材8がバルブボディ61から外れたりする原因となり得る。
これに対して、上面821側の開口部82近傍では、貫通孔8aが基体部81の上面821から突出した肉薄な周壁82aによって形成されているため、温度センサ7から当該開口部82近傍の貫通孔8aの内周面に加わる応力が周壁82aによって吸収される。また、取付面831側の開口部83近傍では、貫通孔8aの周縁に環状の凹溝83aが形成されているため、温度センサ7から当該開口部83近傍の貫通孔8aの内周面に加わる応力が凹溝83aによって吸収される。
さらに、いずれの開口部82、83においても、開口端部にいくほど応力が集中し易くなるが、開口部82では周壁82aが上面821と対向する側に向かって徐々に肉薄となっており、開口部83では凹溝83aが取付面831と対向する側に向かって徐々に幅広になっていることから、先端部に集中する応力をより効果的に逃がすことができる。
これにより、温度センサ7がリークポートLPから脱落しにくい状態を維持しつつ、応力集中を防いで、温度センサ7が折れたり、センサ保持部材8がバルブボディ61から外れたりするのを防ぐことができる。
これにより、温度センサ7がリークポートLPから脱落しにくい状態を維持しつつ、応力集中を防いで、温度センサ7が折れたり、センサ保持部材8がバルブボディ61から外れたりするのを防ぐことができる。
さらに、周壁82aが肉薄に形成されているため、バルブボディの熱が開口部82の方まで伝熱しづらく、外気により冷却されやすいため、熱膨張で嵌め合いが緩むことによる保持力の低下を防ぐことができる。
なお、本実施形態では、基体部81を平板状としてが、これに限らず、一定の厚みを有するブロック状に構成することもできる。ブロック状にした場合においても上面821側に周壁82aを設けることができるが、厚みがあるため、取付面831側と同様に上面821側に凹溝83aを形成させることもできる。
以上の本実施形態に係る流体制御機器3によれば、温度センサ7がリークポートLPに対して斜めに挿入された状態に固定される。その結果、流体制御機器3やチャンバの動作に伴う振動や温度変化、さらには流体制御機器3の設置方向にかかわらず、温度センサ7がリークポートLPから脱落することなく、しっかりと固定されると共に、温度センサ7がリークポートLPの内周面に熱接触した状態が確実に維持される。
また、貫通孔8aの各開口部82、83近傍の周壁82aや凹溝83aにより、温度センサ7からセンサ保持部材8の貫通孔8aやリークポートLPの内周面に加わる応力の集中を回避し、温度センサ7の破損や、バルブボディ61からセンサ保持部材8が外れるのを防ぐことができる。
また、センサ保持部材8がバルブボディ61上に設けられることから、アクチュエータの動作に伴う振動の影響を受けにくい。
また、本例とは形状の異なるバルブにおいても、リークポートLP周辺にセンサ保持部材8の取付面831を確保できれば、本実施形態に係るセンサ保持部材8によってリークポートLPに温度センサ7を保持でき、汎用性が高い。
さらに、センサ保持部材8の長さは、バルブボディ61の幅以下のサイズからなるため、ガスライン2の幅がセンサ保持部材8の長さによって規定されることがなく、流体制御機器3の小型化に資する。これにより、温度センサ7とセンサ保持部材8を備えた本実施形態に係る流体制御機器3であっても、周辺に各種の部材が配設されてスペースの少ないチャンバ周辺に設置することも可能である。
また、貫通孔8aの各開口部82、83近傍の周壁82aや凹溝83aにより、温度センサ7からセンサ保持部材8の貫通孔8aやリークポートLPの内周面に加わる応力の集中を回避し、温度センサ7の破損や、バルブボディ61からセンサ保持部材8が外れるのを防ぐことができる。
また、センサ保持部材8がバルブボディ61上に設けられることから、アクチュエータの動作に伴う振動の影響を受けにくい。
また、本例とは形状の異なるバルブにおいても、リークポートLP周辺にセンサ保持部材8の取付面831を確保できれば、本実施形態に係るセンサ保持部材8によってリークポートLPに温度センサ7を保持でき、汎用性が高い。
さらに、センサ保持部材8の長さは、バルブボディ61の幅以下のサイズからなるため、ガスライン2の幅がセンサ保持部材8の長さによって規定されることがなく、流体制御機器3の小型化に資する。これにより、温度センサ7とセンサ保持部材8を備えた本実施形態に係る流体制御機器3であっても、周辺に各種の部材が配設されてスペースの少ないチャンバ周辺に設置することも可能である。
1 流体制御装置
2 ガスライン
3 流体制御機器
4 マスフローコントローラ
5 ブロック状継手
6 本体
61 バルブボディ
62 アクチュエータボディ
63 ケーシング
7 温度センサ
8 センサ保持部材
8a 貫通孔
81 基体部
82 開口部
821 上面
82a 周壁
83 開口部
831 取付面
83a 凹溝
LP リークポート(深穴)
2 ガスライン
3 流体制御機器
4 マスフローコントローラ
5 ブロック状継手
6 本体
61 バルブボディ
62 アクチュエータボディ
63 ケーシング
7 温度センサ
8 センサ保持部材
8a 貫通孔
81 基体部
82 開口部
821 上面
82a 周壁
83 開口部
831 取付面
83a 凹溝
LP リークポート(深穴)
Claims (7)
- 温度センサを保持した流体制御機器であって、
前記流体制御機器の深穴に挿入される温度センサと、
前記深穴の直上に設けられ、前記温度センサを前記深穴内に挿入された状態に保持するセンサ保持部材と、を有し、
前記センサ保持部材は、
前記深穴の直上に配設される基体部と、
前記基体部に設けられ、前記温度センサが挿通されると共に、前記深穴に連通する貫通孔と、からなり、
前記基体部は、前記流体制御機器の短手方向の幅に収まる長さからなり、
前記センサ保持部材の貫通孔と前記深穴は、所定の角度をなしている、
流体制御機器。 - 前記センサ保持部材は、可撓性を有する樹脂素材からなる、
請求項1記載の流体制御機器。 - 前記貫通孔は、前記深穴の開口部に通じる側の開口部近傍において、周縁に凹溝が形成されている、
請求項2記載の流体制御機器。 - 前記貫通孔は、前記深穴と対向する側の開口部近傍が、前記基体部から突出すると共に、前記基体部よりも肉薄な周壁によって形成されている、
請求項2又は3記載の流体制御機器。 - 前記深穴は、前記流体制御機器のリークポートである、
請求項1乃至4いずれかの項に記載の流体制御機器。 - 請求項1乃至5いずれかの項に記載の流体制御機器を用いた流体制御装置。
- 流体制御機器に温度センサを保持する部材であって、
前記流体制御機器の深穴の直上に設けられ、
前記深穴の直上に配設される基体部と、
前記基体部に設けられ、前記温度センサが挿通されると共に、前記深穴に連通する貫通孔と、を有し、
前記基体部は、前記流体制御機器の短手方向の幅に収まる長さからなる、
センサ保持部材。
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