TW202037579A - 鐵氧體複合粉末、鐵氧體成型體的製造方法、鐵氧體燒結體的製造方法、成型體及燒結體 - Google Patents
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Abstract
本發明提供即使不重新加入分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,亦可得到緻密而具有高磁力特性的鐵氧體成型體及鐵氧體燒結體的鐵氧體複合粉末、鐵氧體成型體的製造方法、鐵氧體燒結體的製造方法、成型體及燒結體。
本發明係一種鐵氧體複合粉末,其係包含複數鐵氧體複合粒子的鐵氧體複合粉末,
該鐵氧體複合粒子,具備:鐵氧體粒子;及設在該鐵氧體粒子表面的金屬銅或銅合金的披覆層,該披覆層的厚度為10~1000nm。
Description
本發明係關於鐵氧體複合粉末、鐵氧體成型體的製造方法、鐵氧體燒結體的製造方法、成型體及燒結體。
鐵氧體係以氧化鐵作為主要成分的陶瓷材料,由於其大多數顯示鐵磁性,可使用於作為磁性材料。鐵氧體,可分為顯示軟磁性的軟鐵氧體及顯示硬磁性的硬鐵氧體。其中,軟鐵氧體,具有導磁率及飽和磁化高的特徵,可有效地利用此特徵,用於變壓器鐵芯或電感元件等用途。此外,軟鐵氧體,具有在高頻波顯示磁共振的性質,可有效地利用此性質用於電磁波吸收材料等。另一方面,硬鐵氧體,加上飽和磁化具有保磁力高的特徵,而用於永久磁鐵等用途。
鐵氧體,一般以成型體(壓粉體)、樹脂成型體或燒結體的形式使用。其中,鐵氧體成型體,係藉由將鐵氧體粉末成型而得,鐵氧體樹脂成型體,係將鐵氧體粉末與分散樹脂混煉及成型而製作。此外,鐵氧體燒結體,可藉由將成型體燒結而得。製作如此的鐵氧體成形體、樹脂成形體及燒結體的技術,先前已廣為人知。
例如,在專利文獻1,揭示一種鐵氧體粒子,其平均粒徑為1~2000nm的單晶且具備真球狀的粒子形狀,實質上不含Zn,而含有3~25重量%的Mn、43~65重量%的Fe,藉由將含有該鐵氧體粒子作為填料的樹脂組合物構成電磁波遮蔽材料的要點,記載著在1MHz~1GHz的頻帶可得高導磁率的要點(專利文獻1的請求項1、[0014]及[0078])。在專利文獻2,揭示一種複合磁性材料,其具備互相以有機物接合的複數複合磁性粒子,上述複合磁性粒子,具有:金屬磁性粒子;接合在該金屬磁性粒子表面的包含金屬氧化物或金屬氧化物磁性物質的披覆層,記載著有金屬氧化物磁性物質為錳-鋅鐵氧體或鎳-鋅鐵氧體等的要點(專利文獻2的請求項1及請求項5)。
此外,在專利文獻3,揭示一種鐵氧體磁性體,其係將呈球狀的高結晶性鐵氧體磁性粉末以熱硬化性樹脂或熱塑性樹脂結著,記載著將該鐵氧體磁性體,使用於變壓器、電感器、磁頭等各種電子零件的要點,可使成形體高密度化,而可得導磁率高的鐵氧體磁性體的要點(專利文獻3的專利申請範圍、產業上的利用領域欄及作用欄)。在專利文獻4,揭示一種鐵氧體燒結體,其特徵在於:以CuO換算Cu的含量為1%以上且10莫耳%以下,包含Fe、Zn、Ni、Cu及O的尖晶石結構的結晶作為主相存在,同時以平均粒徑為0.5μm以上且10μm以下的Cu化合物粒子存在於結晶晶界,記載著根據該鐵氧體燒結體,可提升強度的要點,藉由捲繞金屬線,可使用於作為用於去除電路雜訊的雜訊濾波器的要點(專利文獻4的請求項1、[0010]及[0045])。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1︰國際公開第2017/212997號
專利文獻2︰國際公開第02/080202號
專利文獻3︰日本特開平03-074812號公報
專利文獻4︰國際公開第2012/018052號
[發明所欲解決的課題]
如此,先前已廣泛地進行從鐵氧體粉末,製作成形體、樹脂成形體及燒結體。但是,先前的鐵氧體成形體、樹脂成形體及燒結體,由於含鐵氧體以外的成分,故在謀求提升磁力特性上有所極限。例如,鐵氧體樹脂成形體,由於多含非磁性的分散樹脂,故有無法得到鐵氧體單體的飽和磁化的問題。此外,樹脂成形體的鐵氧體粒子,由於係藉由樹脂成分從其他粒子分離,故有受到反磁場的影響,使導磁率下降的問題。再者,鐵氧體成型體於大多情形之下,在其製造時加入有機成分所組成的成型助劑。因此,鐵氧體成型體亦含有非磁性的有機成分(成型助劑),而此部分有使飽和磁化及導磁率下降的問題。
相對於此,鐵氧體燒結體在製造時,進行用於去除成型體中的成型助劑的脫黏合劑處理。因此,燒結體幾乎不含有機成分。但是,需要脫黏合劑爐等的高價設備,同時需要進行廢氣處理等的煩瑣處理。此外,即使進行脫黏合劑處理,亦也來自有機成分(成型助劑)的碳殘留在燒結體,而有該殘留碳對導磁率等的磁力特性造成不良影響之虞。並且,為得緻密的鐵氧體燒結體,主要加入由無機成分組成的燒結助劑。該燒結助劑有形成成為磁力特性惡化的原因的異相之虞。亦可考慮不加燒結助劑,而藉由調整燒結條件製作燒結體,惟此時,需要在高溫的燒結,而關係到製造成本的上升。
本發明者,此次得到藉由使用具備特定披覆層的鐵氧體複合粒子所組成的粉末,即使不重新加入分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,亦可得到緻密而具有高磁力特性的鐵氧體成型體及鐵氧體燒結體的見識,而完成本發明。
本發明係基於如此的見識所完成,以提供即使不重新加入分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,亦可得到緻密而具有高磁力特性的鐵氧體成型體及鐵氧體燒結體的鐵氧體複合粉末、鐵氧體成型體的製造方法、鐵氧體燒結體的製造方法、成型體及燒結體為課題。
[用於解決課題的手段]
本發明包含下述(1)~(6)的態樣。再者,在本說明書,「~」的表現係包含其兩端的數值。即「X~Y」係與「X以上Y以下」同義。
(1)一種鐵氧體複合粉末,其係包含複數鐵氧體複合粒子的鐵氧體複合粉末,
該鐵氧體複合粒子,具備:鐵氧體粒子;及設在該鐵氧體粒子表面的金屬銅或銅合金的披覆層,該披覆層的厚度為10~1000nm。
(2)如(1)之鐵氧體複合粉末,其中上述鐵氧體複合粉末的體積平均粒徑(D50)為1~50μm。
(3)如(1)或(2)鐵氧體複合粉末,其中上述鐵氧體複合粉末的形狀係數SF-1為100~130。
(4)如(1)~(3)之任何一項之鐵氧體複合粉末,其中上述鐵氧體粒子,係選自由錳(Mn)系鐵氧體、錳-鋅(Mn-Zn)系鐵氧體、鎳(Ni)系鐵氧體、鎳-鋅(Ni-Zn)系鐵氧體、鎳-鋅-銅(Ni-Zn-Cu)系鐵氧體、鎂(Mg)系鐵氧體、鎂鋅(Mg-Zn)系鐵氧體、鍶(Sr)系鐵氧體及鋇(Ba)系鐵氧體鐵氧體所組成之群之1種或2種以上所組成。
(5)一種鐵氧體成型體的製造方法,其包括將(1)~(4)之任何一項之鐵氧體複合粉末成型作成成型體的步驟。
(6)一種鐵氧體燒結體的製造方法,其包括:將(1)~(4)之任何一項之鐵氧體複合粉末成型作成成型體的步驟;及將上述成型體燒結作成燒結體的步驟。
(7)一種成型體,其係(1)~(4)之任何一項之鐵氧體複合粉末的成型體。
(8)一種燒結體,其係(7)之成型體的燒結體。
[發明的效果]
根據本發明,可提供即使不加入分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,亦可得到緻密而具有高磁力特性的鐵氧體成型體及鐵氧體燒結體的鐵氧體複合粉末、鐵氧體成型體的製造方法、鐵氧體燒結體的製造方法、成型體及燒結體。
本發明的鐵氧體複合粉末,含有複數鐵氧體複合粒子。即鐵氧體複合粉末係複數鐵氧體複合粒子的集合體。在此,鐵氧體複合粒子,具備:鐵氧體粒子;及設在該鐵氧體粒子表面的披覆層。披覆層,包含金屬銅或銅合金(以下,有時將金屬銅與銅合金一起總稱為「銅成分」)。披覆層的厚度為10~1000nm。
如此,本發明的鐵氧體複合粉末,其特徵在於:具有特定的披覆層。在先前的鐵氧體粉末,並沒有設如此的披覆層。因此,在先前的鐵氧體粉末,如果不加分散樹脂或成型助劑等有機成分,則難以對成型體,賦予維持形狀上所需的強度,即難以製作成型體。此係,因為鐵氧體粒子硬度很高,即使在成型時受到壓力亦幾乎不會變形。因此,粒子之間的接觸在成型時停留在點接觸,而無法產生強的物理結合力。此問題,特別是在球形度高的粒子或大徑粒子的時候顯著。
相對於此,根據本發明的鐵氧體複合粉末,無須重新加入分散樹脂或成型助劑等有機成分。此係因為披覆鐵氧體粒子的銅成分提升鐵氧體粒子之間的結合。其詳細機構雖不明,但可推測如下。即由於從金屬組成的銅成分延展性高,故在加壓成型時披覆鐵氧體粒子的銅成分變形,結果粒子之間的接觸面積變大,而提高粒子之間的物理結合力。由此點來看,本發明的鐵氧體複合粉末,可說其披覆層作用作為成型助劑。再者,包含在披覆層的銅成分,可僅由金屬銅組成,或者亦可為銅與別的金屬的合金(銅合金)。如此的別的金屬,並無特別限定,具體例可舉出鈀。
此外,根據本發明的鐵氧體複合粉末,在製作鐵氧體燒結體時,無須重新加入燒結助劑。並且,可做成型體的低溫燒。其詳細機構雖不明,但可推測如下。即可認為披覆成型體中的鐵氧體粒子的銅成分,與作為鐵氧體成分的氧化鐵等的過渡金屬氧化物成分形成低熔點共熔物,而此帶來鐵氧體粒子的燒結驅動力。由此點來看,鐵氧體複合粉末,可說該披覆層作用作為燒結助劑。
此外,包含在披覆層的銅成分,隨著燒結的進展,會在鐵氧體粒子中擴散。因此,可將該銅成分利用於作為鐵氧體的構成元素。即銅成分(金屬銅、銅合金),其本身為非磁性。但是,藉由利用此作為構成元素,可作成顯示鐵磁性的鐵氧體成分。結果,在燒結體上,可大幅度減少非磁性成分。
例如,藉由使用具備金屬銅(Cu)披覆層的鎳-鋅(Ni-Zn)系鐵氧體複合粉末,無須另外添加銅成分,即可得到鎳-鋅-銅(Ni-Zn-Cu)系鐵氧體燒結體。此時,藉由調整燒結溫度及持溫時間,可控制銅成分的擴散深度。即藉由提高燒結溫度,可使銅成分擴散到鐵氧體粒子內部。另一方面,藉由降低燒結溫度,可使銅成分偏析在鐵氧體粒子的表面。鎳-鋅-銅(Ni-Zn-Cu)系鐵氧體的情形,藉由使銅(Cu)成分偏析在鐵氧體粒子表面,可提升低施加電壓時的電阻。
披覆層的厚度為10~1000nm。藉由使厚度為10nm以上,可充分發揮作為上述成型助劑及燒結助劑的功能。厚度,以50nm以上為佳,以100nm以上為更佳。另一方面,藉由使厚度為1000nm以下,可得磁力特性更優良的成型體或燒結體。此係,因為披覆層的厚度過厚,則難以在燒結步驟,使所有銅成分擴散到鐵氧體粒子中,而會在燒結體中殘存非磁性銅成分。厚度,以500nm以下為佳,以200nm以下為更佳。
披覆層(亦稱為金屬披覆層)的厚度,可藉由鐵氧體複合粒子的剖面觀察而測定。具體而言,係如下所示。
披覆層的厚度,可將鐵氧體複合粒子的剖面以掃描式電子顯微鏡(SEM)的觀察測定。具體而言,將測定對象的粉末9g與粉末樹脂1g放入50cc的玻璃瓶,以球磨混合30分鐘,將所得混合物放入直徑13mm的模具,以30MPa的壓力加壓成型。之後,以可看到成形體的剖面的垂直豎起的狀態以樹脂鑲埋,以研磨機研磨作成厚度測定用樣品。接著,將準備的測定用樣品以倍率500~5000倍(大致以1個顆粒可納入1視野的倍率)的SEM拍攝20個粒子。之後,將粒子剖面全體以EDX元素分析,確定披覆層的存在之後,從每1粒子選擇5處拍攝的SEM影像使用測長功能求所拍攝的20粒子的5處的平均厚度作為披覆層的厚度。
再者,SEM係使用日立先端科技公司製SU-8020,以加速電壓1KV,LA模式拍攝,EDX使用堀場製造所公司製X-MAX,以加速電壓15KV,LA模式,邊從SEM取得影像資訊,邊進行粒子分析。
作為上述粉末樹脂使用Arkema公司製Kynar301F。
披覆層,可均勻形成,亦可不均勻形成。粒子的披覆率只要粒子的表面積的50%以上被披覆即可,披覆70%以上為佳。在此,披覆率係拍攝粒子的剖面SEM照片,以披覆率=存在金屬披覆層的部分(長度)/複合粒子的周圍長×100(%),至少將對100粒子以上的複數粒子算出的披覆率平均求得。具體而言,對所得剖面SEM照片進行影像分析,算出存在於粒子表面的金屬披覆層的面積,以存在金屬披覆層的部分(長度)=金屬披覆層的面積/金屬披覆層的厚度,求得存在金屬披覆層的部分(長度)。金屬披覆層的厚度,係以上述方法求得。關於粒子的周圍長,亦可藉由影像分析求得。再者,金屬披覆層的厚度極薄時,計算上有時披覆率超過100%,惟此種情況將作為100%。
披覆層,亦可含有銅成分以外的成分。作為如此的成分的例子,可舉出來自披覆層形成時所設底層的成分。但是,從充分發揮作用作為上述成型助劑及燒結助劑的功能的觀點而言,銅成分(銅或銅合金)的含量,以80質量%以上為佳,以90質量%以上為更佳,進一步以95質量%以上為佳,以99質量%以上特別為佳。此外,披覆層的銅成分由銅合金組成時,銅合金中的銅含量,以50質量%以上為佳,以80質量%以上為更佳,進一步以90質量%以上為佳。披覆層,較佳的是銅(Cu)披覆層。
鐵氧體複合粉末,亦可具備含有銅成分的披覆層以外的層。因此,亦可在鐵氧體粒子與披覆層之間設中間層,亦可在披覆層上設表面層。作為如此的中間層,可列出形成披覆層時所設底層、及用於改善鐵氧體粒子與披覆層之間的密著性的密著層。作為底層,可舉例如,鈀含有層。此外,作為表面層,可舉用於改善鐵氧體複合粉末的流動性等性質的表面處理層。
鐵氧體複合粉末的體積平均粒徑(D50),以1~50μm為佳。藉由使體積平均粒徑為1μm以上,可使成型體的緻密化程度更優良。此係,由於粒徑過小的粒子,容易團聚而成型時的流動性差。體積平均粒徑,以10μm以上為更佳,進一步以20μm以上為佳。另一方面,藉由使體積平均粒徑為50μm以下,可提升成型體強度,同時可使燒結體的緻密化更優良。此係,由於粒徑過大的粒子,粒子間結合力及燒結驅動力小。體積平均粒徑,以40μm以下為更佳,進一步以30μm以下為佳。
鐵氧體複合粉末的體積平均粒徑(D50)、體積平均粒徑(D10)、及體積平均粒徑(D90)係如下測定。首先,將10g試料及80ml水放入100ml的燒杯,添加2滴六偏磷酸鈉作為分散劑。接著,使用超音波均質儀(株式會社SMT,UH-150型)進行分散。此時,將超音波均質儀的輸出水準設定為4,進行20秒的分散。之後,去掉燒杯表面的泡泡,導入雷射繞射式粒徑分佈測定裝置(島津製造所株式會社,SALD-7500nano)進行測定。藉由該測定,求在體積粒度分佈的10%徑(體積平均粒徑(D10))、50%徑(體積平均粒徑(D50))及90%徑(體積平均粒徑(D90))。在此,測定條件為幫浦速度7,內建超音波照射時間30,折射率1.70~050i。
鐵氧體複合粉末的體積平均粒徑(D10),以0.1~30μm為佳,以5~25μm為更佳,進一步以10~20μm為佳。
鐵氧體複合粉末的體積平均粒徑(D90),以20~100μm為佳,以20~50μm為更佳,進一步以30~50μm為佳。
鐵氧體複合粉末中的粒子的形狀,並無限定,可為任意形狀。惟,形狀以球狀或多面體形狀為佳。因為作成球狀或多面體形狀的粒子,將複合粉末成型製作成型體時,粉末的填充率會變高,可謀求成型體更加高密度化。
鐵氧體複合粉末的形狀係數SF-1,以100~130為佳。
SF-1係粒子的球形度的指標。SF-1在完全球形為100,越脫離球形變得越大。藉由使SF-1為130以下,可謀求成型體更加高密度化。因為SF-1過大的粒子,成型時的流動性差。SF-1,以120以下為更佳,進一步以110以下為佳。
鐵氧體複合粉末的形狀係數SF-2,以100~120為佳。
SF-2係表示粒子表面的凹凸程度的指標。SF-2,若表面沒有凹凸則為100,凹凸越深變得越大。使SF-2在120以下,係意指形成表面凹凸少而均勻地形成金屬披覆層,藉此,在成型時粒子容易緻密填充,可期待加快披覆的金屬元素藉由熱處理的擴散的效果。另一方面,凹凸過深,則會阻礙粒子的流動性。因此,藉由使SF-2在120以下,可提升成型體製作時粒子的流動性,而可謀求成型體更加高密度化。形狀係數SF-2,以100~118為更佳,進一步以100~115為佳。
再者,形狀係數SF-1及SF-2,例如,可如下求得。即以掃描式電子顯微鏡觀察鐵氧體複合粒子,求粒子的最大長度(水平費雷特徑)R(單位︰μm),投影周圍長度L(單位︰μm)及投影面積S(單位︰μm2
)。之後,遵照下式(1)、式(2),計算粒子的SF-1及SF-2。關於複數粒子進行同樣的操作,求粒子的SF-1及SF-2,藉由計算其平均值,作為鐵氧體複合粉末的SF-1及SF-2。
式(1):SF-1=(R2
/S)×(π/4)×100,
式(2):SF-2=(L2
/S/4π)×100
鐵氧體複合粉末的真密度以5.00g/cm3
以上7.50g/cm3
以下為佳,以5.05g/cm3
以上7.00g/cm3
以下為更佳。
鐵氧體複合粉末的真密度,係遵照JIS Z8807:2012,使用Mountech公司製全自動真密度測定裝置Macpycno測定。
鐵氧體複合粉末的敲緊密度,以2.8g/cm3
以上5.0g/cm3
以下為佳,以3.0g/cm3
以上4.8g/cm3
以下為更佳。
再者,在本說明書中,所謂敲緊密度,係指遵照JIS R1628測定所要得的密度。
輕敲裝置,使用USP敲緊密度測定裝置(粉測綜合特性測試儀PT-X,細川密克朗公司製)。
鐵氧體粒子,主要含有鐵氧體成分。在此,所謂主要含有,係意指鐵氧體成分的含量為50質量%以上。藉由使鐵氧體成分的含量變高,可充分發揮高飽和磁化、導磁率及/或保磁力的鐵氧體特有的磁力特性。
此外,鐵氧體粒子的組成,並無特別限定。但是,鐵氧體粒子,以選自由錳(Mn)系鐵氧體、錳-鋅(Mn-Zn)系鐵氧體、鎳(Ni)系鐵氧體、鎳-鋅(Ni-Zn)系鐵氧體、鎳-鋅-銅(Ni-Zn-Cu)系鐵氧體、鎂(Mg)系鐵氧體、鎂-鋅(Mg-Zn)系鐵氧體、鍶(Sr)系鐵氧體及鋇(Ba)系鐵氧體所組成之群之1種或2種以上組成為佳。該等之中,鍶(Sr)系鐵氧體及鋇(Ba)系鐵氧體主要是硬鐵氧體,其他的是軟鐵氧體。藉由做成如此的組成,可充分發揮高飽和磁化、導磁率及/或保磁力的鐵氧體特有的磁力特性。
具體而言,作為Mn系鐵氧體,可使用例如,將Fe以48質量%以上69質量%以下,Fe以1.5質量%以上24質量%以下的含有率包含者。
作為Mn-Zn系鐵氧體,可使用例如,將Fe以47質量%以上61質量%以下,Mn以7.5質量%以上23質量%,Zn以1質量%以上14質量%以下的含有率包含者。
Ni-Zn系鐵氧體,可使用例如,將Fe以45質量%以上50質量%以下,Ni以2質量%以上25質量%以下,Zn以2.5質量%以上23質量%以下的含有率包含者。
Ni-Zn-Cu系鐵氧體,亦可使用例如,將Fe以45質量%以上50質量%以下,Ni以4質量%以上10質量%以下,Zn以10質量%以上20質量%以下,Cu以0.5質量%以上7質量%以下的含有率包含者。
作為Sr系鐵氧體,可使用例如,Fe以61質量%以上65質量%以下,Sr以7質量%以上10質量%以下的含有率包含者。
鐵氧體複合粉末的製造
接著,說明關於鐵氧體複合粉末的製造方法。鐵氧體複合粉末的製造方法,具備:製作以鐵氧體粒子構成的鐵氧體粉末的步驟;及對鐵氧體粒子形成披覆層的步驟。關於各步驟,說明如下。
>鐵氧體粉末的製作>
鐵氧體粉末,以習知的手法製作即可。例如,將鐵氧體原料混合,將原料混合物預燒,將預燒物粉碎,將粉碎物造粒,將造粒物熔射或鍛燒而製作。作為原料,可使用氧化物、碳酸鹽、氫氧化合物及氯化物等的習知的鐵氧體原料。此外,原料的混合,只要使用亨舍爾混合機等的習知的混合機進行,以乾式及濕式的任意一方或雙方進行即可。
接著,將所得原料混合物預燒,作成預燒物。預燒以習知的手法進行。例如,只要使用旋轉爐、連續爐、批次爐等的爐進行即可。預燒條件亦以習知條件即可。例如,在大氣等氣氛下,以700~1300℃的溫度進行即可。
之後,將所得預燒物粉碎及造粉,作成造粒物。粉碎方法,並無特別限定。例如,使用振動研磨機、球磨機或珠磨機等的粉碎機,以乾式及濕式的任一方或雙方進行。造粒方法亦以習知手法即可。例如,對粉碎後的預燒,加入水、按照需要的聚乙烯醇等的黏合劑、分散劑及/或消泡劑等的添加劑調整黏度,之後使用噴霧乾燥機等的造粒機進行。此外,亦可按照需要,對所得造粒物施以脫黏合劑處理,去除黏合劑等的有機成分。脫黏合劑處理的條件,只要按照黏合劑等的有機成分的種類決定即可,可舉出例如,在大氣氣氛中,500~900℃的條件。
接著,將所得造粒物熔射或鍛燒,製作熔射物或燒製物。
藉由熔射製作熔射物(鐵氧體粒子)時,可使用燃燒氣體與氧氣的混合氣體作為可燃性氣體燃燒炎。燃燒氣體與氧氣的容量比,以1:3.5~1:6.0為佳。藉此可良好地進行藉由揮發材料的凝縮形成粒徑小的粒子。此外,可良好地調整所得鐵氧體粒子的形狀。再者,可省略或簡化在後面的步驟的分級等處理,可使鐵氧體粒子的生產性更優良。例如,對燃燒氣體10Nm3
hr,以氧氣35Nm3
/hr~60Nm3
/hr的比例使用。
作為用於熔射的燃燒氣體,可舉出丙烷氣體、丙烯氣體、乙炔氣體等。其中,可良好地使用丙烷氣體。
此外,為將造粒物輸送到可燃性氣體中,作為輸送氣體可使用氮、氧、空氣等。輸送的造粒物的流速,以20~60m/秒為佳。再者,熔射,以溫度1000~3500℃進行為佳,以2000~3500℃進行為更佳。
藉由滿足如此的條件,可更良好地進行藉由揮發材料的凝縮形成粒徑較小的粒子。此外能更加合適地調整能獲得的鐵氧體粒子的形狀。再者,可省略或簡化在後面的步驟的分級等處理,能可使鐵氧體粒子的生產性更優良。再者,可減少藉由後面的步驟的分級去除粒子的比例,可使鐵氧體粒子的產率更優良。
如此藉由熔射而鐵氧體化的粒子,在水中或大氣氣氛下被急冷及凝固,將此以旋風及/或過濾器補集。之後,將以旋風及/或過濾器回收的鐵氧體粒子,按照需要分級。作為分級方法,可使用原有的風力分級,篩網過濾法、沈降等將粒度調整為所期望的粒徑。再者,亦可以旋風等將粒徑大的粒子分離回收。
另一方面,藉由鍛燒製作燒製物(鐵氧體粒子)時,將造粒物,放入批次爐或連續爐等的原有的爐子,進行鍛燒。燒製條件,只要按照鐵氧體粒子的組成決定即可。作為一例,可舉出在大氣氣氛下,以800~1500℃的溫度保持1~24小時的條件。此外,鍛燒時,亦可調整爐中的氧氣濃度。再者,按照需要,亦可將所得燒製物,使用錘磨機等的習知的解碎機解碎。
亦可按照需要,將所得理熔射物或燒製物解碎,之後分級去除粗粒子及微粒子。解碎,只要使用錘磨機等的習知的解碎機即可。此外,分級亦以習知的手法進行即可。可舉出例如,使用篩分級,之後做氣流分級的手法。如此,製作由鐵氧體粒子所構成的鐵氧體粉末。
>披覆層的形成>
披覆層的形成,係對所得鐵氧體粉末(鐵氧體粒子)進行銅成分的的無電電鍍。無電電鍍,只要以習知的手法進行即可。此外,亦可在形成披覆層之前,在鐵氧體粒子上形成底層。如此,製作具備披覆層的鐵氧體複合粉末。
鐵氧體成型體的製造
本發明的鐵氧體成型體的製造方法,包含將上述鐵氧體複合粉末成型作為成型體的步驟。根據此製造方法,無須使用由有機成分組成的成型助劑或分散樹脂,可以容易地得到成型體。此外,根據上述鐵氧體複合粉末,無須添加燒結助劑,可做成型體的低溫燒結。因此,在鐵氧體成型體的製造時,無須加入成為成型助劑、燒結助劑及分散樹脂的無機成分或有機成分。因此,可僅由鐵氧體複合粉末得到成型體。
作成成型體的手段,可採用習知的成型手法。例如,可舉出使用單軸加壓壓製機或等壓壓製機的壓製成型。壓力成型的最佳加壓力,根據成型體的尺寸不同而不同,不應籠統地限定。但是,典型上以10~300kN為佳,以50~200kN為更佳。此外,亦可使用將鐵氧體複合粉末三維堆積的積層造形法等。
鐵氧體燒結體的製造
本發明的鐵氧體燒結體的製造方法,包含:將上述鐵氧體複合粉末成型作成成型體的步驟;將上述成型體燒結作成燒結體的步驟。根據該製造方法,無須在成型體加入成型助劑等有機成分。因此,在燒結步驟時,無須成型體的脫黏合劑處理。此外,沒有來自有機成分的碳殘留在燒結體之虞,不會發生起因於殘留碳的磁力特性惡化。然後,即使不使用燒結助劑等無機成分,可以低溫燒結容易地得到緻密的燒結體。實際上,即使以700℃以下的低溫亦可得到燒結體。再者,在燒結步驟,可使包含在成形體中的鐵氧體複合粒子的披覆層中的銅成分擴散到鐵氧體粒子中。該等結果,可得極力抑制發生非磁性成分的異相、緻密而磁力特性優良的燒結體。
燒結溫度,只要按照鐵氧體粒子的組成決定即可,不應籠統地限定。但是,以500~1500℃為佳,以600~1300℃為更佳。此外,燒結持溫時間,亦不應籠統地限定。但是,以1~24小時為佳。再者,燒結氣氛,亦只要按照鐵氧體粒子的組成決定即可,不應籠統地限定。典型上,可舉出大氣氣氛、低氧氣氛、無氧氣氛、惰性氣體氣氛等。
此外,本發明亦關於上述鐵氧體複合粉末的成型體,及上述成型體的燒結體。
根據本發明的鐵氧體複合粉末,即使不加分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,亦可得到緻密而具有高磁力特性的鐵氧體成型體及鐵氧體燒結體。如此的複合粉末及其效果並非先前已知。
例如,在專利文獻3,對鐵氧體磁性粉末混合7wt%的環氧樹脂及成型製作環形磁芯(成型體)(專利文獻2的第2頁左下欄),在成型體(環形磁芯)包含7重量%的分散樹脂(環氧樹脂)。此外,在專利文獻4,加上作用作為燒結助劑的Ca、Si及P,對預燒體加入黏合劑作成成形體,將該成型體在脫脂爐以600℃的溫度持溫5小時脫脂(專利文獻3的[0024]及[0055])。
再者,根據本發明的鐵氧體複合粉末,雖無須加入分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,本發明的鐵氧體成型體或燒結體的製造方法,並非排除使用分散樹脂、成型助劑及燒結助劑。只要不對鐵氧體成型體或燒結體的特性造成顯著的影響,容許使用微量的分散樹脂、成型助劑及燒結助劑。此時,分散樹脂、成型助劑及燒結助劑的各個量,對鐵氧體複合粉末,以5質量%以下為佳,以3質量%以下為更佳,進一步以1質量%以下為佳,以0.5質量%以下特別為佳。
實施例
本發明,藉由以下的例更具體地說明。
例1(比較例)
(1)鐵氧體複合粉末(鐵氧體複合粒子)的製作
>原料混合>
作為原料,使用氧化鐵(Fe2
O3
)、四氧化三錳(Mn3
O4
),以Fe2
O3
:80mol、Mn3
O4
:6.67mol的比例秤量,使用亨舍爾混合機混合。
>預燒及粉碎>
將所得混合物,使用旋轉爐在大氣中以950℃預燒4小時。將所得預燒物,使用乾式珠磨機(3/16英寸的鋼珠)粗粉碎,之後,加水,使用濕式珠磨機(0.65mm的氧化鋯珠)微粉碎得到漿料。所得漿料,固體份濃度為55質量%,漿料中的粉碎粉的粒徑(漿料粒徑)為2.42μm。
>造粒>
對所得漿料,加入以固體份換算0.3質量%作為黏合劑的聚乙烯醇(PVA),進一步加入0.25重量%的分散劑(聚羧酸化合物)與0.2重量%的消泡劑(多元醇系化合物)。之後,將加入分散劑及消泡劑的漿料,使用噴霧乾燥機造粒,得到造粒物。
>熔射>
將所得造粒物,在可燃性氣體燃燒炎中熔射及急冷。熔射,以丙烷氣體流量7m3
/小時,氧氣流量35m3
/小時的條件進行。此時,因為將造粒物邊連續流動邊熔射,故熔射、急冷後的粒子,並沒有互相連結而獨立。接著,將冷卻的粒子以設在氣流下游側的旋風回收,得到熔射物。從所得熔射物,使用篩去除微粉,進一步做氣流分級,得到由錳(Mn)系鐵氧體粒子構成的鐵氧體粉末。在此例1,沒有進行披覆層的形成。
(2)成型體的製作
將所得鐵氧體粉末成型。成型,係將鐵氧體粉末,填充在外徑13mm及內徑4.5mm的金屬模具,使用壓製機,藉由施加10秒80kN的壓力而進行。但是,不具備披覆層的例1的鐵氧體粉末,無法成型,而無法得到成型體。
例2
(1)鐵氧體複合粉末(鐵氧體複合粒子)的製作
與例1同樣地製作鐵氧體粉末,之後形成披覆層,製作鐵氧體複合粉末。披覆層的形成係如下進行。
>披覆層的形成>
藉由對鐵氧體粉末(鐵氧體粒子)進行無電電鍍,得到由表面具備銅(Cu)披覆層的複合粒子所組成的鐵氧體複合粉末。所得鐵氧體複合粉末,銅(Cu)披覆層的厚度為50nm。
(2)成型體的製作
將所得鐵氧體複合粉末成型製作成型體。成型,以與例1同樣的條件進行。所得成型體,具有厚度約1.8mm、外徑12.3mm、內徑4.2mm的塞緊的(緻密的)甜甜圈形狀。
(3)燒結體的製作
將所得成型體,以氧氣濃度0容量%,1300℃持溫4小時的條件燒結,製作燒結體。所得燒結體係塞緊的甜甜圈狀燒結體。
例3
在披覆層的形成步驟,將銅(Cu)披覆層的厚度變更為100nm以外,以與例2同樣地製作鐵氧體複合粉末、成型體及燒結體。
所得成型體,具有厚度約1.9mm、外徑12.5mm、內徑4.3mm的塞緊的甜甜圈形狀。所得燒結體為塞緊的甜甜圈狀燒結體。
例4
在披覆層的形成步驟,將銅(Cu)披覆層的厚度變更為200nm以外,以與例2同樣地製作鐵氧體複合粉末、成型體及燒結體。
所得成型體,具有厚度約1.9mm、外徑12.6mm、內徑4.3mm的塞緊的甜甜圈形狀。所得燒結體為塞緊的甜甜圈狀燒結體。
例5(比較例)
(1)鐵氧體複合粉末(鐵氧體複合粒子)的製作
>原料混合>
作為原料,使用氧化鐵(Fe2
O3
)、氧化鎳(NiO)、氧化鋅(ZnO)、氧化銅(CuO)、秤量成Fe2
O3
:49mol、NiO︰12.5mol、ZnO︰32.5mol、CuO︰6mol,使用亨舍爾混合機混合。
>預燒及粉碎>
將所得混合物,使用旋轉爐在大氣中以950℃預燒4小時。將所得預燒物,使用乾式珠磨機粗粉碎,之後,加水,使用濕式珠磨機微粉碎得到漿料。所得漿料,固體份濃度為55質量%,漿料中的粉碎粉的粒徑(漿料粒徑)為2.33μm。
>造粒>
對所得漿料,加入以固體份換算0.3質量%作為黏合劑的聚乙烯醇(PVA),進一步加入0.25重量%的分散劑(聚羧酸化合物)與0.2重量%的消泡劑(多元醇系化合物)。之後,將加入分散劑及消泡劑的漿料,使用噴霧乾燥機造粒,得到造粒物。對所得造粒物,在大氣中進行施以650℃的熱處理的脫黏合劑處理。
>鍛燒>
將脫黏合劑之後的造粒物,使用電爐鍛燒。鍛燒,係將造粒物,在大氣中,以1100℃持溫4小時而進行。所得燒製物,使用錘磨機等解碎。從解碎後的燒製物,使用篩去掉細粉末,得到鎳-鋅-銅(Ni-Zn-Cu)系鐵氧體粉末。此例5,沒有進行披覆層的形成。
(2)成型體的製作
將所得鐵氧體粉末。以與例1同樣的條件進行成型。但是,不具備披覆層的例5的鐵氧體粉末,無法成型,而無法得到成型體。
例6
(1)鐵氧體複合粉末(鐵氧體複合粒子)的製作
以與例5同樣地製作鐵氧體粉末,之後形成披覆層,製作鐵氧體複合粉末。披覆層的形成,係如下進行。
>披覆層的形成>
藉由對鐵氧體粉末(鐵氧體粒子)進行無電電鍍,得到在表面具備銅(Cu)披覆層的鐵氧體複合粒子。所得鐵氧體複合粉末,銅(Cu)披覆層的厚度為200nm。
(2)成型體的製作
將所得鐵氧體複合粉末成型製作成型體。成型,以與例1同樣的條件進行。所得成型體為厚度約2mm、外徑13mm、內徑4.5mm的塞緊的甜甜圈形狀。
(3)燒結體的製作
將所得成型體,在大氣下,以950℃持溫4小時的條件中燒結,製作燒結體。所得燒結體為塞緊的甜甜圈狀燒結體。
[評價]
對例1~6所得鐵氧體複合粉末及燒結體,進行如下所示各種特性的評價。
再者,例1、例5為比較例。在例1、例5,構成鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子不具有披覆層,鐵氧體粒子成為鐵氧體複合粒子。
>磁力特性>
將鐵氧體複合粉末的磁力特性(飽和磁化、殘留磁化及保磁力)如下測定。首先,將試料塞入內徑5mm、高度2mm的容器,設定在振動試料型磁力測定裝置(東英工業株式會社,VSM-C7-10A)。接著,加入施加磁場,掃描至5kOe,接著,減少施加磁場,描繪遲滯曲線。之後,藉由該曲線的數據,求試料的飽和磁化σs、殘留磁化σr、及保磁力Hc。
同樣地,關於鐵氧體複合粉末所具備的鐵氧體粉末(鐵氧體粒子)的飽和磁化σs、殘留磁化σr、及保磁力Hc,亦同樣地測定。
>元素分析(金屬成分含量)>
將鐵氧體複合粉末的金屬成分含量,如下測定。首先,秤量0.2g的試料,對此加入60ml純水、20ml1N的鹽酸及20ml1N的硝酸之後加熱,調整完全溶解試料的水溶液。將所得水溶液,設定在ICP分析裝置(株式會社島津製作所,ICPS-10001V),測定金屬成分含量。
同樣地,對鐵氧體複合粉末所具備的鐵氧體粉末(鐵氧體粒子)的金屬成分含量亦同樣地測定。
>真密度>
鐵氧體複合粉末的真密度,係遵照JIS Z8807:2012,使用Mountech公司製全自動真密度測定裝置Macpycno測定。
>敲緊密度>
所謂鐵氧體複合粉末的敲緊密度,係指遵照JIS R1628的測定所求得的密度。
作為輕敲裝置,使用USP敲緊密度測定裝置(粉測綜合特性測試儀PT-X,細川密克朗公司製)。
>粒度分佈>
將鐵氧體複合粉末的粒度分佈,如下測定。首先,將10g試料及80ml的水放入100ml的燒杯,添加2滴作為分散劑的六偏磷酸鈉。接著,使用超音波均質儀(株式會社SMT,UH-150型)進行分散。此時,將超音波均質儀的輸出水準設定為4,進行20秒的分散。之後,去掉燒杯表面的泡泡,導入雷射繞射式粒徑分佈測定裝置(島津製造所株式會社,SALD-7500nano)進行測定。藉由該測定,求在體積粒度分佈的10%徑(體積平均粒徑(D10))、50%徑(體積平均粒徑(D50))及90%徑(體積平均粒徑(D90))。在此,測定條件為幫浦速度7,內建超音波照射時間30,折射率1.70~050i。
>形狀係數>
將鐵氧體複合粉末的形狀係數(SF-1及SF-2),如下測定。首先,將試料的觀察,使用掃描式電子顯微鏡(SEM)(日立高科技公司,SU-8020)及能量分散型X射線分析裝置(EDX;株式會社堀場製造所,E-MAX)。觀察時的倍率設定為1000倍。之後,使用EDX附屬的粒子分析功能,自動測定試料中100粒子的最大長度(水平費雷特徑)R(單位︰μm),投影周圍長度L(單位︰μm)及投影面積S(單位︰μm2
)。
接著,關於各粒子,遵照以下的式(1)、式(2),計算粒子的SF-1及SF-2,將100個粒子的平均值,分別作為粉末的SF-1及SF-2。
式(1):SF-1=(R2
/S)×(π/4)×100,
式(2):SF-2=(L2
/S/4π)×100
>披覆層的厚度>
披覆層的厚度,係如下求得。
披覆層的厚度,係藉由掃描式電子顯微鏡(SEM)觀察鐵氧體複合粒子的剖面而測定。具體而言,將9g測定對象的粉末與1g粉末樹脂放入50cc的玻璃瓶,以球磨機混合30分鐘,將所得混合物放入直徑13mm的模具,以30MPa的壓力加壓成型。之後,以可看到成形體的剖面的垂直豎起的狀態以樹脂鑲埋,以研磨機研磨作成厚度測定用樣品。接著,將準備的測定用樣品以倍率500~5000倍(大致以1個顆粒可納入1視野的倍率)的SEM拍攝20個粒子。之後,將粒子剖面全體以EDX元素分析,確定披覆層的存在之後,從每1粒子選擇5處拍攝的SEM影像使用測長功能求所拍攝的20粒子的5處的平均厚度作為披覆層的厚度。
再者,SEM係使用日立先端科技公司製SU-8020,以加速電壓1KV,LA模式拍攝,EDX使用堀場製造所公司製X-MAX,以加速電壓15KV,LA模式,邊從SEM取得影像資訊,邊進行粒子分析。
作為上述粉末樹脂使用Arkema公司製Kynar301F。
>燒結體的導磁率>
燒結體的導磁率,係如下測定。作為測定裝置,使用RF阻抗/材料分析器(是德科技公司,E4991B)及磁性材料測定電極(16454A)。將試料設定在測定裝置,將試料的外徑、內徑及高度輸入測定裝置。測定,以振幅為100mV,將頻率1MHz~1GHz的範圍以對數尺度掃描,測定複導磁率的實部μ'及虛部μ"。
(5)結果
在例1~6,所得評價結果,如表1所示。再者,表1所示導磁率(μ'、μ")係在頻率10MHz之值。如表1所示,使用具備銅(Cu)披覆層的鐵氧體複合粉末的例2~例4,可得錳系鐵氧體燒結體,其實部導磁率(μ')高達42以上。
此外,在例6,可得鎳-鋅-銅系鐵氧體燒結體,其實部導磁率(μ')及虛部導磁率分別為170及310而非常高。再者,例6的實部導磁率(μ')的上升在1MHz以下。因此,測定頻率(10MHz)的實部導磁率(μ')為上升後的頻率,虛部導磁率(μ")呈極大附近的頻率。可認為此係例6的實部導磁率(μ')及虛部導磁率(μ")變得非常高的理由。
另一方面,使用沒有設披覆層的鐵氧體粒子的例1及例5,無法將鐵氧體粉末成型,而無法得到成型體及燒結體。
分別在圖1及圖2表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的表面及剖面的SEM影像。在圖3A表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面EDX測繪影像(Mn)。此外,在圖3B表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面EDX測繪影像(Fe),在圖3C表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面EDX測繪影像(Cu)。
如圖1及圖2所示,鐵氧體複合粒子呈略球狀,大致全面具有披覆層。此外,如圖3A~圖3C所示,在鐵氧體複合粒子,錳(Mn)及鐵(Fe)均勻分佈,而披覆層係由銅(Cu)組成。
將例4的燒結體的表面SEM影像示於圖4。如圖4所示,燒結體中的粒子相互緊密地結合,形成緻密的構造。
[表1]
表1鐵氧體複合粉末、成型體及燒結體的評價結果 | 鐵氧體複合粉末 | 形狀係數 | SF-2 | 103 | 103 | 103 | 104 | 109 | 108 | 註1)「*」係表示比較例 註2)「-」係表示未檢出或無法測定 |
SF-1 | 103 | 105 | 105 | 106 | 108 | 110 | ||||
粒度分布 | D90 (μm) | 35.6 | 36.2 | 37.0 | 38.6 | 36.6 | 37.4 | |||
D50 (μm) | 23.4 | 23.9 | 24.5 | 25.7 | 21.3 | 21.8 | ||||
D10 (μm) | 15.5 | 16.0 | 16.6 | 17.7 | 18.2 | 18.7 | ||||
敲緊 密度(g/cm3 ) | 3.56 | 3.72 | 3.98 | 4.20 | 3.18 | 3.32 | ||||
真密度(g/cm3 ) | 5.01 | 5.13 | 5.26 | 5.51 | 5.38 | 5.71 | ||||
元素分析 | Cu (質量%) | - | 3.1 | 6.2 | 12.7 | 3.0 | 6.1 | |||
Zn (質量%) | - | - | - | - | 17.5 | 16.9 | ||||
Ni (質量%) | - | - | - | - | 5.9 | 5.7 | ||||
Mn (質量%) | 7.5 | 7.3 | 7.0 | 6.7 | - | - | ||||
Fe (質量%) | 61.3 | 59.5 | 57.7 | 54.7 | 46.4 | 45.1 | ||||
磁力特性 | 保磁力 Hc (Oe) | 39.7 | 40.2 | 41.7 | 43.9 | 25.0 | 24.2 | |||
殘留 磁化 σr (emu/g) | 2.9 | 2.7 | 2.6 | 2.2 | 1.8 | 1.7 | ||||
飽和 磁化 σs (emu/g) | 87.8 | 84.7 | 82.5 | 77.2 | 49.9 | 48.4 | ||||
批複層 的厚度 (nm) | 無 | 50 | 100 | 200 | 無 | 200 | ||||
例1* | 例2 | 例3 | 例4 | 例5* | 例6 |
[表2]
[產業上的可利性]
表1(接續)鐵氧體複合粉末、成型體及燒結體的評價結果 | 燒結體 | 禱磁率 (10MHz) | μ" | - | 13 | 11 | 9 | - | 310 | 註1)「*」係表示比較例 註2)「-」係表示未檢出或無法測定 |
μ' | - | 46 | 44 | 42 | - | 170 | ||||
燒結體的狀態 | 無法成型 | 緻密 | 緻密 | 緻密 | 無法成型 | 緻密 | ||||
成型體 | 成型體的狀態 | 無法成型 | 可成型 | 可成型 | 可成型 | 無法成型 | 可成型 | |||
例1* | 例2 | 例3 | 例4 | 例5* | 例6 |
根據本發明可提供即使不重新加入分散樹脂、成型助劑及燒結助劑,亦可得到緻密而具有高磁力特性的鐵氧體成型體及鐵氧體燒結體的鐵氧體複合粉末、鐵氧體成型體的製造方法及鐵氧體燒結體的製造方法。
雖將本發明以詳細且以特定的實施態樣說明,惟在不脫離本發明的精神及範圍,可加以各式各樣的變更及修改,對該業者而言明顯。
本案係基於西元2019年1月29日申請的日本專利申請(日本特願2019-013666號案)主張優先權,且其全部內容以參考資料包含於本說明書中。
無。
[圖1]係表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的表面SEM影像;
[圖2]係表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面SEM影像;
[圖3A]係表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面EDX測繪影像(Mn);
[圖3B]係表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面EDX測繪影像(Fe);
[圖3C]係表示構成例3的鐵氧體複合粉末的鐵氧體複合粒子的剖面EDX測繪影像(Cu);
[圖4]係表示例4的鐵氧體燒結體的表面SEM影像。
Claims (8)
- 一種鐵氧體複合粉末,其包含複數鐵氧體複合粒子, 其中,該鐵氧體複合粒子,具備:鐵氧體粒子;及包含設在該鐵氧體粒子表面的金屬銅或銅合金的披覆層,該披覆層的厚度為10~1000nm。
- 如請求項1所述之鐵氧體複合粉末,其中上述鐵氧體複合粉末的體積平均粒徑(D50)為1~50μm。
- 如請求項1或2所述之鐵氧體複合粉末,其中上述鐵氧體複合粉末的形狀係數SF-1為100~130。
- 如請求項1至3之任何一項所述之鐵氧體複合粉末,其中上述鐵氧體粒子,係由選自由錳(Mn)系鐵氧體、錳-鋅(Mn-Zn)系鐵氧體、鎳(Ni)系鐵氧體、鎳-鋅(Ni-Zn)系鐵氧體、鎳-鋅-銅(Ni-Zn-Cu)系鐵氧體、鎂(Mg)系鐵氧體、鎂-鋅(Mg-Zn)系鐵氧體、鍶(Sr)系鐵氧體及鋇(Ba)系鐵氧體鐵氧體所組成之群之1種或2種以上所組成。
- 一種鐵氧體成型體的製造方法,其包括將如請求項1至4之任何一項所述之鐵氧體複合粉末成型作成成型體的步驟。
- 一種鐵氧體燒結體的製造方法,其包括將如請求項1至4之任何一項所述之鐵氧體複合粉末成型作成成型體的步驟;及將上述成型體燒結作成燒結體的步驟。
- 一種成型體,其係如請求項1至4之任何一項所述之鐵氧體複合粉末的成型體。
- 一種燒結體,其係如請求項7所述之成型體的燒結體。
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