TW202029831A - 陶瓷加熱器 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及陶瓷加熱器,更詳細而言,涉及如下一種陶瓷加熱器,其特徵在於,以對陶瓷加熱器(100)中包括的發熱體(400)的同心圓周進行連接的接頭部對的接頭部對對稱軸不經過發熱體的中心(420)的方式,形成發熱體的同心圓周接頭部。根據本發明,具有的效果是,可以提供一種緩解陶瓷加熱器中包括的發熱體的低溫區域並提高陶瓷板加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器;具有的效果是,可以提供一種無需追加附加的裝置,只藉由變更對陶瓷加熱器中包括的發熱體的同心圓周進行連接的接頭部結構的設計,便提高陶瓷加熱器加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器(100)。
Description
本發明涉及陶瓷加熱器,涉及一種為了均一地展現陶瓷加熱器加熱面的溫度分布,以使得陶瓷加熱器發熱體的各同心圓周接頭部對的對稱軸的延長線不經過陶瓷板中心的方式,形成陶瓷加熱器發熱體的同心圓周接頭部的陶瓷加熱器。
陶瓷加熱器(CERAMIC HEATER)用於將半導體晶片、玻璃基板、柔性基板等多樣目的的熱處理對象體在既定的加熱溫度下進行熱處理。一般而言,陶瓷加熱器包括從外部的電極接受供應電力並發熱的陶瓷板(CERAMIC PLATE),陶瓷板包括埋設於陶瓷板內部的具有既定電阻的發熱體。陶瓷加熱器加熱面的溫度分布可以利用埋設的發熱體的配置及設計進行調節,根據發熱體的間隔、發熱體的形狀、發熱體的材料及發熱體的粗細等的變化,可以調節陶瓷加熱器加熱面的溫度分布。
第1圖是圖示陶瓷加熱器100結構的一個例示的圖。
如果參照第1圖,陶瓷加熱器100可以包括:陶瓷板110,該陶瓷板110包括發熱體;桿(SHAFT)120,該桿120為了向發熱體供應電力而包括供電線。陶瓷板110可以包括供加熱對象物體放置的加熱面,可以設計得能夠利用發熱體供應的熱,按預先設計的溫度,向加熱對象物體傳遞熱。桿120可以包括能夠向陶瓷板110中包括的發熱體供應電力的電線。
第2圖是圖示以往陶瓷加熱器中包括的發熱體結構的一個實施例的圖。
如果參照第2圖,在設計陶瓷加熱器方面,既可以只利用一個發熱體來設計陶瓷加熱器,也可以在陶瓷加熱器中埋設2個以上獨立的發熱體來設計陶瓷加熱器。第2圖(a)圖示了利用一個發熱體而設計的以往一區陶瓷加熱器的發熱體210結構,第2圖(b)作為埋設2個以上獨立的發熱體而設計的陶瓷加熱器的一個例示,圖示了利用兩個發熱體而設計的以往兩區陶瓷加熱器的發熱體220結構。
第2圖(a)及(b)的陶瓷加熱器中包括的發熱體,為了從外部接受供應電力而可以以電極在陶瓷板110中存在於與桿120對應位置的方式來設計發熱體的結構,在此過程中,可以包括發熱體折彎約90度角度的折彎部。為了提高陶瓷板的加熱面的溫度均一度,發熱體折彎部可以在包括發熱體的二維平面中具有既定圖案且並排形成。在半導體工序中,陶瓷加熱器作為向加熱對象物體(例如,晶片)傳遞熱的部件,只有從陶瓷板110的加熱面向加熱對象物體傳遞的溫度均一度(Uniformity)良好,才能有望獲得均一薄膜可以在加熱對象物體堆積的效果。對陶瓷板110的加熱面溫度均一度發揮最重要作用的,是陶瓷板內部包括的發熱體。如上面所作的說明,為了製作發熱體,有時需要折彎部,在發熱體的結構設計過程中,折彎部周邊的發熱體形狀由於與此外部分的發熱體形狀不同,因而與發熱體折彎部對應的陶瓷板加熱面部分的溫度與此外部分出現差異,存在陶瓷板的加熱面溫度均一度(Uniformity)會被破壞的問題。作為陶瓷板的加熱面溫度均一度(Uniformity)會被破壞的一個例示,如果參照第2圖(a),在以往包括一區發熱體210的平面中,小圓圈部分作為低溫區域211、212、213、214、215,會發生在與低溫區域對應的陶瓷板的加熱面區域,形成比周邊溫度低的溫度的現象。而且,如果參照第2圖(b),在以往包括兩區發熱體220的平面中,小圓圈部分作為低溫區域221、222、223、224,會發生在與低溫區域對應的陶瓷板的加熱面區域,形成比周邊溫度低的溫度的現象。
第3圖是放大圖示第2圖(a)所示以往一區發熱體210的包括低溫區域的一部分區域230的圖。
如果參照第3圖,發熱體可以包括:2個以上同心圓周;連接各同心圓周的第一接頭部至第四接頭部310、320、330、340;及使該同心圓周與該接頭部連接的第一折彎部至第六折彎部301、302、303、304、305、306。連接相鄰的2個同心圓周的第一接頭部至第四接頭部310,320、330、340可以成對形成,接頭部對310及320、330及340可以沿相互並排的方向形成。將沿並排方向形成的接頭部對310及320、330及340向長度方向延長的線361、362,在接頭部對310及320、330及340之間形成,以與接頭部對並排方向的“接頭部對對稱軸360”為基準,可以具有線對稱形狀的配置。如上所述,以往一區發熱體210的接頭部310、320可以以使接頭部對對稱軸360經過發熱體的中心的方式形成,在以對以往一區發熱體中包括的所有同心圓周進行連接的接頭部對對稱軸360如上所述經過發熱體的中心的結構進行設計的情況下,如第2圖所示,存在會形成低溫區域211、212、213、214、215、221、222、223、224的問題。
如果參照第3圖,就發熱體210的低溫區域的形成進行更詳細說明,一般而言,發熱體210同心圓周間的間隔C可以既定地形成。發熱體210的低溫區域可以在未以接頭部對連接的相鄰同心圓周的折彎部303、304、305、306之間形成,連接第四折彎部304及第五折彎部305的線段A與連接第三折彎部303及第六折彎部306的線段B可以形成相互交叉的交點350,該A與B的交點350可以是包含陶瓷板110發熱體的平面的所有點中從發熱體隔開最遠的地點。其最大隔開距離可以為A/2或B/2。因此,該A與B的交點350可以形成低溫區域,與低溫區域對應的發熱體的加熱面區域可以形成比周邊溫度低的溫度,因而存在陶瓷板的加熱面溫度均一度(Uniformity)會被破壞的問題。
而且,為了減小該低溫區域,如果收窄發熱體210的接頭部間的距離D,則與發熱體210的接頭部之間的區域對應的陶瓷板110加熱面的溫度形成高於周邊溫度的溫度,陶瓷板的加熱面溫度均一度(Uniformity)會被破壞,因而存在無法以調整接頭部間距離D的方法減小低溫區域的問題。
解決的技術問題
本發明目的在於提供一種緩解陶瓷加熱器中包括的發熱體的低溫區域並提高陶瓷板加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器。
本發明另一目的在於提供一種藉由變更陶瓷加熱器中包括的發熱體的同心圓周接頭部結構的設計而提高陶瓷加熱器加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器。
技術方案
為了達成所述或其他目的,根據本發明一個方面,提供一種陶瓷加熱器,其特徵在於,以對陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的同心圓周進行連接的接頭部對的接頭部對對稱軸不經過發熱體的中心420的方式,形成發熱體的同心圓周接頭部。
另外,沿第一方向配置的該發熱體接頭部對的各接頭部對對稱軸可以構成平行,其中,該第一方向是以該發熱體的中心420為基準的任意一個方向;沿第二方向配置的該發熱體接頭部對的各接頭部對對稱軸可以構成平行,其中,該第二方向是以該發熱體的中心420為基準的不同於第一方向的任意一個方向。
另外,沿該第一方向配置的該發熱體接頭部對的各接頭部對對稱軸與沿該第二方向配置的該發熱體接頭部對的各接頭部對對稱軸可以平行,且該第一方向及第二方向以發熱體的中心420為基準,可以沿彼此相反方向形成。
另外,該陶瓷加熱器100中包括的發熱體的各連接角可以為大於臨界角、小於直角的大小,且該連接角可以是該發熱體的接頭部對對稱軸與延伸線構成的角中的銳角,臨界角在使得與該發熱體的接頭部對連接的任意一個折彎部位於延伸線上的情況下,可以是接頭部對對稱軸與延伸線構成的角中的銳角。
另外,該連接角可以為30度以上、60度以下。
另外,該發熱體400的材料可以包括Mo、Mo2
C、MoC、Mo3
C2
、Mo中任意一種。
另外,該發熱體400的材料可以與Ti或C中任意一種材料混合或以Ti或C中任意一種材料塗覆。
發明效果
根據本發明的陶瓷加熱器100,具有的效果是,可以提供一種緩解陶瓷加熱器中包括的發熱體的低溫區域並提高陶瓷板加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器。
而且,根據本發明的陶瓷加熱器100,具有的效果是,可以提供一種無需追加附加的裝置,只藉由變更對陶瓷加熱器中包括的發熱體的同心圓周進行連接的接頭部結構的設計,便提高陶瓷加熱器加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器100。
下面參照圖式,對本發明進行詳細說明。
此時,在各個圖中,相同的構成要素儘可能用相同的標記代表。另外,省略對已經習知的功能及/或構成的詳細說明。以下揭露的內容重點說明理解多樣實施例的動作所需的部分,省略對可能混淆本說明要旨的要素的說明。另外,圖式的一部分構成要素可以誇張、省略或概略地圖示。各構成要素的大小並非全部反映實際大小,因此,在此記載的內容不由各個圖中繪製的構成要素的相對大小或間隔所限定。
如第1、第2等包含序數的術語,可以用於說明多樣的構成要素,但該構成要素並不由該術語所限定。該術語只用於把一種構成要素區別於另一構成要素的目的。
當言及某種構成要素“連接”或“接續”於另一構成要素時,應理解為既可以是直接連接於或接續於該另一構成要素,也可以在中間存在其它構成要素。相反,當言及某種構成要素“直接連接”或“直接接續”於另一構成要素時,應理解為在中間不存在其它構成要素。
只要在文理上未明白地表示不同,單數的表現包括複數的表現。
在本申請中,“包括”或“具有”等術語是要指定在說明書上記載的特徵、數字、步驟、動作、構成要素、部件或它們的組合的存在,應理解為不預先排除一個或其以上的其它特徵或數字、步驟、動作、構成要素、部件或它們的組合的存在或附加可能性。
第4圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400的結構的圖。
如果參考第4圖,為了向發熱體供應電力,形成有發熱體400電極的發熱體400兩個末端可以設計得位於靠近發熱體400的中心部分,使得發熱體400的電極可以位於與桿120對應的區域內。而且,發熱體400可以包括連接多個同心圓周的多個接頭部對,該接頭部對不象以往發熱體中包括的形態那樣位於一條直線上,可以沿斜線方向形成。下面對多個接頭部對的連接方向進行更詳細說明。
第5圖是更詳細圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400的一部分區域410的圖。
在第5圖中,放大圖示了第4圖所示本發明一個實施例的陶瓷加熱器中包括的一區發熱體400的包括接頭部對的一部分區域410。如果參照第5圖,更詳細地說明接頭部對結構,圖示的本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400,可以形成多個同心圓周,各同心圓周可以用接頭部510、520、530、540連接,各同心圓周與接頭部可以具有藉由折彎部501、502、503、504、505、506連接的結構。
在第5圖所示的某一接頭部對510、520中,第一接頭部510可以具有藉由第一折彎部501及第三折彎部503而與相鄰的2個同心圓周連接的結構,第二接頭部520可以具有藉由第二折彎部502及第四折彎部504而與2個相鄰的同心圓周連接的結構。此時,將第一接頭部510延長的直線及將第二接頭部520延長的直線,可以是以第一接頭部對對稱軸550為基準的線對稱形態。對於第5圖所示的又一接頭部對530、540,延長第三接頭部530的直線及延長第四接頭部540的直線,可以是以第二接頭部對對稱軸560為基準的線對稱形態。如上所述,本發明一個實施例的發熱體400中包括的各接頭部對,可以各具有一個接頭部對對稱軸,該對稱軸是延長接頭部的直線的虛擬對稱線。
第6圖是為了定義本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的延伸線而放大圖示發熱體的一部分區域410的圖。
在本發明一個實施例的陶瓷加熱器100包括的一區發熱體400的設計中,當接頭部以斜線形成時,可以設置成為決定接頭部所形成角度的基準的虛擬線,下面將其稱為延伸線740、750。
如果參照第6圖,更詳細地定義延伸線,所謂延伸線,是從本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的發熱體的同心圓周的中心,即從發熱體的中心420,向同心圓周接頭部對的中心600方向延長的半直線,同心圓周接頭部對的中心600是針對與發熱體的某一接頭部對510、520連接的4個折彎部501、502、503、504,由沿對角方向連接第一折彎部501與第四折彎部504而形成的線段M、連接第二折彎部502與第三折彎部503而形成的線段N相交形成的交點。在普通的發熱體的設計中,延伸線從發熱體的中心向2個方向形成是比較普遍的,但也會有延伸線向3個以上方向形成的發熱體。而且,在本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的發熱體的結構中,假定從發熱體的中心420形成有2個延伸線740、750,2個延伸線740、750形成的角度假定為180度。但是,這只是本發明的陶瓷加熱器中包括的發熱體結構的一個例示,在本發明又一實施例的陶瓷加熱器的發熱體結構中,從發熱體的中心形成2個延伸線,2個延伸線形成的角度並非180度,也可以以其他角度形成。
如果重新回到第5圖,就接頭部對對稱軸的角度進行更詳細說明,接頭部對對稱軸550可以不與第一延伸線740並排。換言之,第3圖所示的以往陶瓷加熱器中包括的發熱體210的接頭部對對稱軸360,可以與延伸線並排或在同一線上,但第5圖所示的本發明的陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的接頭部對對稱軸550可以與第一延伸線740構成既定角度而形成。因此,本發明的陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的接頭部510、520可以設計得使接頭部對對稱軸550不經過發熱體的中心420而形成。此時,可以將接頭部對對稱軸550與第一延伸線740構成的角中的某個銳角稱為連接角J。
在本發明的陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的接頭部對對稱軸550如此與第一延伸線740構成既定角度而形成的情況下,可以有望獲得在未以接頭部510、520、530、540連接的相鄰同心圓周的4個折彎部503、504、505、506之間的空間消除低溫區域的效果。如果更詳細說明,如果在第5圖中也考查與第3圖中以往陶瓷加熱器中包括的發熱體210低溫區域對應的位置350,在連接第三折彎部503與第六折彎部506而形成的對角線F同連接第四折彎部504與第五折彎部505而形成的對角線E的交點650,存在形成低溫區域的憂慮,在本發明的陶瓷加熱器中包括的發熱體結構中,使得連接第四折彎部504與第五折彎部505而形成的對角線E比連接第三折彎部503與第六折彎部506而形成的對角線F更短,因而該交點650與最近發熱體的距離為E/2,可以短於與第3圖所示以往陶瓷加熱器中包括的發熱體210的低溫區域對應的位置350至最近發熱體距離的A/2。因此,可以有望獲得在該交點650緩解而消除低溫區域的效果。
而且,在本發明的陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的接頭部對對稱軸550與第一延伸線740構成既定角度而形成,連接角J構成特定角度的情況下,某一折彎部501或504可以位於第一延伸線740上,可以將此時的特定連接角J稱為臨界角。在連接角J具有臨界角以上大小的情況下,E與F的交點650同最近發熱體的距離,等於與發熱體的相鄰同心圓周的距離的一半,即G/2,因此,會發生在E與F的交點650緩解而消除低溫區域的效果。
第7圖至第9圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體的多樣結構的圖。
如果參照第7圖,在本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體中,可以存在與6個接頭部對對應的6個接頭部對對稱軸721、722、723、724、725、726,各接頭部對可以並排地形成,使得各接頭部對對稱軸與從發熱體的中心420向兩個方向延伸的第一延伸線740或第二延伸線750構成相同的連接角。換言之,本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體所包括的6個接頭部對可以並排地形成,使得與該6個接頭部對對應的6個接頭部對對稱軸721、722、723、724、725、726均能夠平行。
如果參照第8圖,在本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體中,可以存在與6個接頭部對對應的6個接頭部對對稱軸821、822、823、824、825、826,在各接頭部對中,沿第一方向配置的該發熱體接頭部對可以以使與沿第一方向配置的第一延伸部交叉的3個接頭部對對稱軸821、822、823彼此構成平行的方式形成,其中,該第一方向是以發熱體的中心420為基準的任意一方向;在各接頭部對中,沿第二方向配置的該發熱體接頭部對可以以使與沿第二方向配置的第一延伸部交叉的3個接頭部對對稱軸824、825、826彼此構成平行的方式形成,其中,該第二方向是以該發熱體的中心420為基準的不同於第一方向的任意一方向。而且,與第一延伸部交叉的3個接頭部對對稱軸821、822、823同第一延伸部形成的連接角、與第二延伸部交叉的3個接頭部對對稱軸824、825、826同第二延伸部形成的連接角,可以形成得大小相同而方向不同。如果更詳細地說明,與第一延伸部交叉的接頭部對對稱軸821、822、823可以形成從與第一延伸部的交點向順進針方向具有既定大小的銳角,與第二延伸部交叉的接頭部對對稱軸824、825、826可以形成從與第二延伸部的交點向逆時針方向具有既定大小的銳角。
如果參照第9圖,在本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體中,可以存在與6個接頭部對對應的6個接頭部對對稱軸921、922、923、924、925、926,各接頭部對也可以根據需要,以使各接頭部對對稱軸與從發熱體的中心420向兩個方向延伸的第一延伸線740或第二延伸線750構成互不相同連接角的方式形成。換言之,與發熱體的6個接頭部對對應的6個接頭部對對稱軸921、922、923、924、925、926,也可以考慮陶瓷板加熱面的溫度分布,均形成不同大小的連接角,因此,可以設計得使陶瓷板的加熱面溫度分布符合陶瓷加熱器設計者的要求。
第10圖是圖示本發明又一實施例的陶瓷加熱器100中包括的兩區發熱體1000的結構的圖。
如果參照第10圖,本發明又一實施例的陶瓷加熱器100中包括的兩區發熱體1000的同心圓周接頭部對,也可以設計得使各接頭部對對稱軸不經過發熱體的中心。因此,在包括兩區發熱體的陶瓷加熱器中,如果也應用本發明的發熱體接頭部結構,則可以獲得能夠消除因以往兩區陶瓷加熱器中包括的發熱體接頭部結構而發生的低溫區域的效果。
而且,第4圖及第10圖所示本發明的陶瓷加熱器中包括的發熱體結構只是例示性的,本發明的陶瓷加熱器中包括的發熱體結構不限於一區或兩區結構,也可以應用於包括具有3-zone以上溫度區域的發熱體的陶瓷加熱器。
第11圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400的不同連接角J的陶瓷加熱器100加熱面溫度分布的圖。
如果參照第11圖,在陶瓷加熱器中包括的發熱體的相鄰同心圓周之間的最短距離G為1mm、同心圓周接頭部對之間的距離H為0.5mm、陶瓷加熱器的加熱面溫度為攝氏500℃的條件下,測量同心圓周接頭部對對稱軸與延伸線構成的連接角分別為(a)30度時、(b)45度時、(c)60度時的與各個低溫區域對應的陶瓷加熱器的加熱面溫度,將測量的結果與以往陶瓷加熱器進行比較並圖示。正如在第11圖的表中可以確認的那樣,與實施例a的低溫區域對應的陶瓷加熱器的加熱面溫度為493℃,與實施例b的低溫區域對應的陶瓷加熱器的加熱面溫度為498℃,與實施例c的低溫區域對應的陶瓷加熱器的加熱面溫度為495℃。如果將該結果與以往陶瓷加熱器中對應於低溫區域的加熱面溫度432℃相比較,則可以確認出現了相當大的差異。在具有本發明一個實施例的發熱體結構的陶瓷加熱器的加熱面中,與具有以往發熱體結構的陶瓷加熱器相比,可以確認低溫區域大幅減小。
在將本發明的陶瓷加熱器中包括的發熱體的連接角J設計為30度以下進行實驗的情況下,低溫區域的減小不明顯,在將連接角J設計為60度以上進行實驗的情況下,在發熱體設計方面,發生在靠近發熱體的中心的位置存在的發熱體接頭部難以設計的問題。因此可以說,本發明的陶瓷加熱器中包括的發熱體的連接角J的設計最較佳在30度以上、60度以下構成。
而且,本發明一個實施例的陶瓷加熱器中包括的發熱體的材料可以包括Mo、Mo2
C、MoC、Mo3
C2
、Mo中任意一種。而且,該發熱體的材料可以與Ti或C中任意一種材料混合設計,或者,可以以Ti或C中任意一種材料塗覆而設計。
根據本發明的陶瓷加熱器100,具有的效果是能夠提供一種緩解陶瓷加熱器中包括的發熱體的低溫區域、提高陶瓷板加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器。
而且,根據本發明的陶瓷加熱器100,具有的效果是,可以提供一種無需追加附加的裝置,只藉由變更對陶瓷加熱器中包括的發熱體的同心圓周進行連接的接頭部結構的設計,便提高陶瓷加熱器加熱面的溫度均一度的陶瓷加熱器100。
如上所述,本發明根據諸如具體構成要素等的特定事項和限定的實施例及圖式進行了說明,但這只是為了幫助本發明的更全面理解而提供的,並非本發明限定於該實施例,只要是本發明所屬領域的具有通常知識者,便可以在不超出本發明的本質特性的範圍內進行多樣修改及變形。因此,本發明的思想並非局限於說明的實施例而確定,不僅後述的發明申請專利範圍,而且具有與該發明申請專利範圍等同或等價變形的所有技術思想,均應解釋為包含於本發明的權利範圍。
100:陶瓷加熱器
110:陶瓷板(CERAMIC PLATE)
120:桿(SHAFT)
400:發熱體
420:發熱體的中心
740:第一延伸線
750:第二延伸線
550:接頭部對對稱軸
第1圖是圖示陶瓷加熱器100結構的一個例示的圖。
第2圖是圖示以往陶瓷加熱器中包括的發熱體結構的一個實施例的圖。
第3圖是放大圖示第2圖(a)所示的以往一區發熱體210的包括低溫區域的一部分區域230的圖。
第4圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400的結構的圖。
第5圖是更詳細圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400的一部分區域410的圖。
第6圖是為了定義本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的發熱體400的延伸線而放大圖示發熱體的一部分區域的圖。
第7圖至第9圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體的多樣結構的圖。
第10圖是圖示本發明又一實施例的陶瓷加熱器100中包括的兩區發熱體1000的結構的圖。
第11圖是圖示本發明一個實施例的陶瓷加熱器100中包括的一區發熱體400的不同連接角J的陶瓷加熱器100加熱面溫度分布的圖。
100:陶瓷加熱器
110:陶瓷板(CERAMIC PLATE)
120:桿(SHAFT)
400:發熱體
420:發熱體的中心
740:第一延伸線
750:第二延伸線
550:接頭部對對稱軸
Claims (7)
- 一種陶瓷加熱器,其中, 以對陶瓷加熱器(100)中包括的發熱體(400)的同心圓周進行連接的接頭部對的接頭部對對稱軸不經過發熱體的中心(420)的方式,形成發熱體的同心圓周接頭部。
- 如申請專利範圍第1項所述的陶瓷加熱器,其中, 沿第一方向配置的該發熱體的接頭部對的各接頭部對對稱軸構成平行,其中,該第一方向是以該發熱體的中心(420)為基準的任意一個方向, 沿第二方向配置的該發熱體的接頭部對的各接頭部對對稱軸構成平行,其中,該第二方向是以該發熱體的中心(420)為基準的不同於第一方向的任意一個方向。
- 如申請專利範圍第2項所述的陶瓷加熱器,其中, 沿該第一方向配置的該發熱體的接頭部對的各接頭部對對稱軸與沿該第二方向配置的該發熱體的接頭部對的各接頭部對對稱軸平行,且 該第一方向及第二方向以發熱體的中心(420)為基準,沿彼此相反方向形成。
- 如申請專利範圍第1項所述的陶瓷加熱器,其中, 該陶瓷加熱器(100)中包括的發熱體的各連接角為大於臨界角、小於直角的大小, 且該連接角是該發熱體的接頭部對對稱軸與延伸線構成的角中的銳角, 臨界角在使得與該發熱體的接頭部對連接的任意一個折彎部位於延伸線上的情況下,是接頭部對對稱軸與延伸線構成的角中的銳角。
- 如申請專利範圍第4項所述的陶瓷加熱器,其中, 該連接角為30度以上、60度以下。
- 如申請專利範圍第1項所述的陶瓷加熱器,其中, 該發熱體(400)的材料包括Mo、Mo2 C、MoC、Mo3 C2 、Mo中任意一種。
- 如申請專利範圍第6項所述的陶瓷加熱器,其中, 該發熱體(400)的材料與Ti或C中任意一種材料混合或以Ti或C中任意一種材料塗覆。
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