CN103255390A - 金属有机化合物化学气相沉积加热器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种金属有机化合物化学气相沉积加热器，包括支座，所述支座上设有绝缘层，所述绝缘层上设置有若干支架，所述支架上连接有加热体。电阻丝布置更均匀，温度均匀性高；承载电流的截面积增加，功率高，可以实现快速的升温和降温；矩形截面的加热丝排布好后，加热平面的高低一致性非常好；制造工艺简单，成本比板材加工的加热体大幅降低；单相阻值便于调整，保温时的单相加热加热功率的自动化控制更容易，提高温度均匀性；当需要增大加热面积实现更多芯片沉积，加热面积可以用增加圈数N来增加加热面积，成本相对较低，而且容易实现。
Description
技术领域
本发明涉及LED发光芯片的核心生产设备里的一种加热器，具体涉及一种金属有机化合物化学气相沉积加热器。
背景技术
金属有机化合物化学气相沉淀(MOCVD)是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD设备是LED发光芯片的核心生产设备。MOCVD技术的关键之一是，加热器能够提供一个均匀、稳定的温度场。另外，为了降低LED芯片的生产成本，提高生产效率的最便捷的方式是增加反应室的容积，增加单炉芯片的数量和容纳更大尺寸的蓝宝石衬底，例如目前蓝宝石衬底的尺寸正从4英寸向6英寸甚至8英寸转变，这需要加热器提供更大的与之匹配的加热面积。目前的加热器结构设计使得这种增加加热面积的成本非常高昂，而且难度更大。
另一方面，加热器有一定的使用寿命，届时昂贵的MOCVD加热器成本增加了产品的成本。
现有的电阻加热体形式：
第一种，加热体为螺旋状钨丝，螺旋状钨丝在一个平面上按照一定的形状均匀排布，螺旋状钨丝下面有难熔金属支撑片。优点是，成本低，可以很方便的通过增加加热丝的数量来增加加热面积。缺点是(1)螺旋状丝的加热面的平面度不高，影响加热均匀性；(2)加热丝截面积小，承载电流低，升降温需要时间长(3)而且钨丝非常容易断。
第二种，采用难熔金属板材，如钨、钨合金或者铼板，采用加工手段加工成一定的图形。优点是加热体截面积大，可通过电流高，平面度好。缺点是，这种加热器均采用整体的稀有金属板材加工而成，而钨或者铼都是昂贵的稀有金属，而且这些金属在采用轧制方法形成板材时，加工难度大，材料利用率低，非常难以获得大尺寸的平板，导致这种加热体的价格昂贵。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种金属有机化合物化学气相沉积加热器。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：包括支座，所述支座上设有绝缘层，所述绝缘层上设置有若干支架，所述支架上连接有加热体。
进一步的，所述加热体由若干根加热丝并排组成。
优选的，所述加热体弯曲成螺旋线或渐开线状。
优选的，所述加热体弯曲成三相加热所需的形状。
优选的，所述加热体弯曲成单相加热所需的形状。
进一步的，所述加热丝截面为矩形，每边长度为1-3mm。
进一步的，所述支座为难熔金属。
进一步的，所述加热丝材质为钨。
进一步的，所述加热丝材质为钨铼合金。
本发明的有益效果是：
(1)电阻丝布置更均匀，温度均匀性高；
(2)承载电流的截面积增加，功率高，可以实现快速的升温和降温；
(3)矩形界面的加热丝排布好后，加热平面的高低一致性非常好；
(4)制造工艺简单，成本比板材加工的加热体大幅降低；
(5)单相阻值便于调整，保温时的单相加热加热功率的自动化控制更容易，提高温度均匀性；
(6)当需要增大加热面积实现更多芯片沉积，加热面积可以用过增加圈数N来增加加热面积，成本相对较低，而且容易实现。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1本发明剖视图；
图2加热体剖视图；
图3加热体螺旋线实施例示意图；
图4加热体三相加热实施例示意图；
图5加热体单相加热实施例示意图；
图中标号说明：1、加热体，2、支架，3、绝缘层，4、支座，101、加热丝。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
参照图1所示，金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：包括支座4，所述支座4上设有绝缘层3，所述绝缘层3上设置有若干支架2，所述支架2上连接有加热体1。
参照图2所示，进一步的，所述加热体1由若干根加热丝101并排组成。
参照图3所示，优选的，所述加热体1弯曲成螺旋线或渐开线状。
参照图4所示，优选的，所述加热体1弯曲成三相加热所需的形状。
参照图5所示，优选的，所述加热体1弯曲成单相加热所需的形状。
进一步的，所述加热丝101截面为矩形，每边长度为1-3mm。
进一步的，所述支座4为难熔金属。
进一步的，所述加热丝101材质为钨。
进一步的，所述加热丝101材质为钨铼合金。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：包括支座(4)，所述支座(4)上设有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)上设置有若干支架(2)，所述支架(2)上连接有加热体(1)。
2.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)由若干根加热丝(101)并排组成。
3.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)弯曲成螺旋线或渐开线状。
4.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)弯曲成三相加热所需的形状。
5.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)弯曲成单相加热所需的形状。
6.根据权利要求2所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热丝(101)截面为矩形，每边长度为1-3mm。
7.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述支座(4)为难熔金属。
8.根据权利要求2所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热丝(101)材质为钨。
9.根据权利要求2所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热丝(101)材质为钨铼合金。
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