TW202010041A - 晶片旋轉暫置台 - Google Patents

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Abstract

本發明係有關於一種晶片旋轉暫置台，主要包括上蓋板、旋轉板、定位件、及下基台；上蓋板開設有貫通長槽且組設於下基台；而旋轉板開設有徑向位移槽，其位於下基台與上蓋板之間，且旋轉板樞接於下基台，定位件係穿經徑向位移槽和貫通長槽。其中，當旋轉板轉動時，徑向位移槽將驅使定位件受貫通長槽之導引而徑向移動以形成一晶片容槽。據此，本發明可藉由轉動旋轉板，而在貫通長槽之導引下，讓徑向位移槽去帶動定位件而產生徑向位移，以形成符合各種待測晶片尺寸之晶片容槽，以便於固定並定位待測晶片。

Description

晶片旋轉暫置台
本發明係關於一種晶片旋轉暫置台，尤指一種適用於晶片檢測設備或製造設備之晶片旋轉暫置台。
在晶片製造或檢測過程中，難免會有對晶片定位或轉動特定角度之需求，例如自料盤(tray)吸取待測晶片後，因為晶片的取料方向與測試座內之晶片擺放方向不同，通常是因為晶片上的接點位置和測試座上的探針方位不同，此時待測晶片在置入測試座之前，會先將待測晶片置放於一旋轉台上，讓旋轉台轉動一個特定角度後，再將待測晶片置入測試座內。
請一併參考圖1，圖1係習知旋轉台之立體示意圖。如圖中所示，習知旋轉台1之中央設置一晶片容置槽11，且晶片容置槽11之四個角落又各連接有一凹槽12，而凹槽12之末端又各組設有一雷射對位裝置13，其中雷射對位裝置13除了用於偵測晶片容置槽11內是否有待測晶片外，亦用於偵測待測晶片之方位是否正確。
然而，習知旋轉台1之晶片容置槽11的尺寸 是固定的；換言之，每當要更換不同規格之待測晶片時，因為同一晶片容置槽11無法適用於不同尺寸的待測晶片，所以必須更換整個治具，相當不利於製程或不同待測晶片之轉換。
由此可知，一種可適用於各種不同規格尺寸之待測晶片，且結構簡單、成本低廉，無需其他對位裝置之晶片旋轉暫置台，實為產業界之迫切需求。
本發明之主要目的係在提供一種晶片旋轉暫置台，俾能隨著待測晶片之規格尺寸，而可任意調整容納待測晶片之治具大小，且結構簡單、操作方便。
為達成上述目的，本發明一種晶片旋轉暫置台，主要包括一上蓋板、一旋轉板、至少一定位件、以及一下基台；上蓋板開設有至少一貫通長槽且組設於下基台；而旋轉板開設有至少一徑向位移槽，其位於下基台與上蓋板之間，且旋轉板樞接於下基台及上蓋板中至少一者；又，至少一定位件係穿經旋轉板之至少一徑向位移槽和上蓋板之至少一貫通長槽。其中，當旋轉板轉動時，至少一徑向位移槽將驅使至少一定位件並受至少一貫通長槽之導引，而徑向移動以形成一晶片容槽來固定一晶片。
據此，本發明之晶片旋轉暫置台可藉由轉動旋轉板，在貫通長槽之導引下，讓徑向位移槽去帶動定位件而產生徑向位移，以形成符合各種待測晶片尺寸之晶片容槽，以便於固定並定位待測晶片。換言之，為因 應不同的待測晶片尺寸，本發明可藉由轉動旋轉板，而可輕易調整為不同尺寸的晶片治具，俾可適用於各種不同規格大小之待測晶片。
較佳的是，本發明晶片旋轉暫置台之上蓋板可呈圓形，而至少一貫通長槽係以上蓋板之圓心為中心呈放射狀設置；類似地，本發明之旋轉板可呈圓形，而至少一徑向位移槽係以旋轉板之圓心為中心呈漩渦形設置。
再者，本發明晶片旋轉暫置台可更包括一鎖止件；而上蓋板可包括一貫通孔，且旋轉板可更包括一外環槽，下基台可包括一鎖附孔；鎖止件可穿經貫通孔和外環槽並鎖附於鎖附孔。據此，當調整完容納待測晶片之晶片容槽後，可藉由鎖止件來固定旋轉板，使之不再轉動，藉以固定該晶片容槽大小。
另外，本發明晶片旋轉暫置台之每一定位件可包括一晶片固定部、一矩形長塊部、以及一圓柱部，而晶片固定部可凸露出上蓋板之上表面，矩形長塊部可容設於上蓋板之至少一貫通長槽內，且圓柱部可容設於旋轉板之至少一徑向位移槽內。換言之，晶片固定部係用於形成晶片容槽以固定待測晶片，矩形長塊部可於貫通長槽內自由滑移，而圓柱部可於徑向位移槽內自由滑移。
又，本發明晶片旋轉暫置台可更包括一驅動件，其可組設於下基台，而驅動件係連接於旋轉板並驅動旋轉板轉動。據此，本發明可以透過驅動件來轉動旋 轉板，而驅動件可為如電動機之驅動裝置或人工手動裝置。此外，驅動件可包括一驅動輪，而下基台可包括一環周壁，該環周壁包括一軸向凹槽，該上蓋板包括一徑向凹槽；該驅動輪樞設於該軸向凹槽和該徑向凹槽內，且該驅動輪之外環周係接觸該旋轉板之側壁。
此外，本發明晶片旋轉暫置台可更包括一轉向座，而下基台可組設於轉向座上。據此，本發明可以透過轉向座來旋轉晶片容槽內之晶片的角度，而轉向座可包括一電動機來驅動轉動。
另一方面，本發明晶片旋轉暫置台之上蓋板的上表面可設置有一固定件；當旋轉板轉動時，至少一徑向位移槽將驅使至少一定位件受至少一貫通長槽之導引而趨近或遠離固定件。換言之，本發明可以透過設置於上蓋板的上表面之固定件和可自由活動的定位件來形成晶片容槽。
較佳的是，本發明晶片旋轉暫置台可包括四定位件；而上蓋板可開設有呈十字形配置之四貫通長槽；且旋轉板可開設有等距配置之四徑向位移槽；其中，四定位件可分別穿經旋轉板之四徑向位移槽和上蓋板之四貫通長槽。換言之，本發明可藉由十字形之配置方式，讓四定位件可朝彼此趨近或遠離，來調整晶片容槽之大小。
1‧‧‧習知旋轉台
2‧‧‧上蓋板
3‧‧‧旋轉板
4‧‧‧定位件
5‧‧‧下基台
6‧‧‧轉向座
7‧‧‧外殼體
8‧‧‧旋轉驅動模組
11‧‧‧晶片容置槽
12‧‧‧凹槽
13‧‧‧雷射對位裝置
20‧‧‧貫通孔
21‧‧‧貫通長槽
22‧‧‧徑向凹槽
23‧‧‧固定件
31‧‧‧徑向位移槽
32‧‧‧外環槽
41‧‧‧晶片固定部
42‧‧‧矩形長塊部
43‧‧‧圓柱部
50‧‧‧鎖附孔
51‧‧‧驅動件
52‧‧‧環周壁
53‧‧‧中心凸軸
61‧‧‧鎖止件
411‧‧‧直角凹槽
510‧‧‧驅動輪
521‧‧‧軸向凹槽
C‧‧‧待測晶片
Sc‧‧‧晶片容槽
圖1係習知旋轉台之立體示意圖。
圖2係本發明第一實施例之立體圖。
圖3係本發明第一實施例之分解圖。
圖4係本發明第一實施例之剖視圖。
圖5係本發明第一實施例之定位件的立體圖。
圖6係本發明第一實施例之旋轉板轉動示意圖。
圖7A係本發明第二實施例之示意圖。
圖7B係本發明第三實施例之示意圖。
圖7C係本發明第四實施例之示意圖。
本發明晶片旋轉暫置台在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，以下的說明中，類似的元件將以相同的元件符號來表示。再者，本發明之圖式僅作為示意說明，其未必按比例繪製，且所有細節也未必全部呈現於圖式中。
請同時參閱圖2、圖3以及圖4，圖2係本發明第一實施例之立體圖，圖3係本發明第一實施例之分解圖，圖4係本發明第一實施例之剖視圖。如圖中所示，本實施例之晶片旋轉暫置台主要包括一上蓋板2、一旋轉板3、四定位件4、一下基台5、一轉向座6、以及一外殼體7。
其中，本實施例之上蓋板2呈圓形，且上蓋板2開設有四貫通長槽21，其以上蓋板2之圓心為中心呈放射狀而等角度設置，亦即呈十字形配置。另外，本實施例之旋轉板3亦呈圓形，且開設有等距配置之四徑向位移槽31，其係以旋轉板3之圓心為中心呈漩渦形設 置。
請再一併參閱圖5，圖5係本發明第一實施例之定位件的立體圖。本實施例之每一定位件4包括一晶片固定部41、一矩形長塊部42、以及一圓柱部43，其中晶片固定部41具備一直角凹槽411，其係對應於待測晶片C(請見圖2)之尖端角落。換言之，四定位件4之直角凹槽411恰可對應於待測晶片C之四尖端角落而構成一晶片容槽Sc，藉以容納待測晶片C。
此外，如圖4所示，四定位件4分別穿經旋轉板3之四徑向位移槽31和上蓋板2之四貫通長槽21，即定位件4之矩形長塊部42係容設於上蓋板2之貫通長槽21內而可自由滑移，圓柱部43係容設於旋轉板3之徑向位移槽31內而可自由滑移，而晶片固定部41係凸露出上蓋板2之上表面。
另一方面，再請一併參閱圖3和圖4，上蓋板2係組設於下基台5，而旋轉板3係位於下基台5與上蓋板2之間，且旋轉板3係樞接於下基台5之中心凸軸53，故旋轉板3可相對於上蓋板2和下基台5自由旋轉。此外，下基台5包括一環周壁52其開設有一軸向凹槽521，而上蓋板2之外環周處開設有一徑向凹槽22。再且，本實施例設有一驅動件51，其樞設於下基台5之軸向凹槽521內，並對應容納於徑向凹槽22，且驅動輪510之外環周係接觸旋轉板3之側壁。
再且，本實施例更包括一鎖止件61，而上蓋板2開設一貫通孔20，且旋轉板3更包括一外環槽32， 下基台5又開設有一鎖附孔50。其中，鎖止件61穿經貫通孔20和外環槽32並鎖附於鎖附孔50。
以下說明本實施例調整晶片容槽Sc大小之實際運作原理。請一併參考圖6，圖6係本發明第一實施例之旋轉板轉動示意圖。當製程轉換即因應不同規格之待測晶片C，而欲調整晶片容槽Sc之大小時，透過人工手動轉動驅動輪510，而讓驅動輪510去帶動旋轉板3旋轉。當然，在本發明之其他實施例中，驅動輪510亦可由電動機帶動旋轉。
此時，呈漩渦狀之四徑向位移槽31將分別驅使四定位件4呈徑向移動，然而又受到貫通長槽21之拘束、導引，將使四定位件4同步地呈直線朝彼此趨近或遠離。然而，當調整完成後，可手動旋緊鎖止件61來緊固旋轉板3，進而固定晶片容槽Sc之大小，以避免旋轉板3或定位件4產生非預期之位移。
請再一併參閱圖3以及圖4，本實施例更包括一轉向座6，其樞接於外殼體7，且下基台5係組設於轉向座6上。此外，轉向座6更連接有一旋轉驅動模組8，其可由馬達和減速機構構成。換言之，旋轉驅動模組8可驅動轉向座6旋轉，進而帶動整個上蓋板2、旋轉板3、四定位件4所構成之晶片容槽Sc以及下基台5旋轉，亦即整個晶片容槽Sc及容納於其內的待測晶片C將被帶動旋轉一特定角度，如90度或180度。
請參閱圖7A，其係本發明第二實施例之示意圖。如圖7A所顯示，本發明第二實施例係採用單一定位 件4移動的方式。其中，上蓋板2之上表面設置有一固定件23並僅開設一貫通長槽21，而旋轉板3僅開設有一徑向位移槽31(圖中未示出)；而當旋轉板3轉動時，徑向位移槽31將驅使定位件4受貫通長槽21之導引而趨近或遠離固定件23，藉以調整晶片容槽之尺寸。
請參閱圖7B，其係本發明第三實施例之示意圖。如圖7B所顯示，本發明第三實施例係採用二定位件4對向移動的方式。其中，上蓋板2開設二貫通長槽21，而旋轉板3開設有二徑向位移槽31(圖中未示出)；而當旋轉板3轉動時，二徑向位移槽31將驅使二定位件4受二貫通長槽21之導引而朝彼此趨近或遠離，藉以調整晶片容槽之尺寸。
請參閱圖7C，其係本發明第四實施例之示意圖。如圖7C所顯示，本發明第四實施例係採用三定位件4移動的方式。其中，上蓋板2開設三貫通長槽21，而旋轉板3開設有三徑向位移槽31(圖中未示出)；而當旋轉板3轉動時，三徑向位移槽31將驅使三定位件4受三貫通長槽21之導引而朝彼此趨近或遠離，藉以調整晶片容槽之尺寸。
綜上，本發明之晶片容槽可因應不同尺寸或形狀的待測晶片，例如正方形IC、圓形IC、或長方形IC，任意配置定位件4的數量、以及形狀。而且，本發明晶片旋轉暫置台可進一步搭配自動光學檢測裝置(Automated Optical Inspection，AOI)及雷射位準等裝置，來對待測晶片C進行對位和校準。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。
2‧‧‧上蓋板
4‧‧‧定位件
5‧‧‧下基台
7‧‧‧外殼體
21‧‧‧貫通長槽
51‧‧‧驅動件
61‧‧‧鎖止件
510‧‧‧驅動輪
C‧‧‧待測晶片
Sc‧‧‧晶片容槽

Claims (10)

  1. 一種晶片旋轉暫置台，包括：一下基台；一上蓋板，其開設有至少一貫通長槽，該上蓋板係組設於該下基台；一旋轉板，其開設有至少一徑向位移槽，該旋轉板係位於該下基台與該上蓋板之間，該旋轉板係樞接於該下基台及該上蓋板中至少一者；以及至少一定位件，其係穿經該旋轉板之該至少一徑向位移槽和該上蓋板之該至少一貫通長槽；其中，當該旋轉板轉動時，該至少一徑向位移槽將驅使該至少一定位件受該至少一貫通長槽之導引而徑向移動以形成一晶片容槽。
  2. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其中，該上蓋板呈圓形，該至少一貫通長槽係以該上蓋板之圓心為中心呈放射狀設置。
  3. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其中，該旋轉板呈圓形，該至少一徑向位移槽係以該旋轉板之圓心為中心呈漩渦形設置。
  4. 如請求項3之晶片旋轉暫置台，其更包括一鎖止件；該上蓋板包括一貫通孔，該旋轉板更包括一外環槽，該下基台包括一鎖附孔；該鎖止件穿經該貫通孔和該外環槽並鎖附於該鎖附孔。
  5. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其中，每一定位件包括一晶片固定部、一矩形長塊部、以及一圓柱部，該晶片固定部係凸露出該上蓋板之上表面，該矩形長塊部係容 設於該上蓋板之該至少一貫通長槽內，該圓柱部係容設於該旋轉板之該至少一徑向位移槽內。
  6. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其更包括一驅動件，其係組設於該下基台，該驅動件係連接於該旋轉板並驅動該旋轉板轉動。
  7. 如請求項6之晶片旋轉暫置台，其中，該驅動件係包括一驅動輪，該下基台包括一環周壁，該環周壁包括一軸向凹槽，該上蓋板包括一徑向凹槽；該驅動輪樞設於該軸向凹槽和該徑向凹槽內，且該驅動輪之外環周係接觸該旋轉板之側壁。
  8. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其更包括一轉向座，該下基台係組設於該轉向座上。
  9. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其中，該上蓋板之上表面設置有一固定件；當該旋轉板轉動時，該至少一徑向位移槽將驅使該至少一定位件受該至少一貫通長槽之導引而趨近或遠離該固定件。
  10. 如請求項1之晶片旋轉暫置台，其包括四定位件；該上蓋板開設有呈十字形配置之四貫通長槽；該旋轉板開設有等距配置之四徑向位移槽；該四定位件分別穿經該旋轉板之該四徑向位移槽和該上蓋板之該四貫通長槽。
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