TW201941359A - 夾鉗機構以及具備該夾鉗機構的基板保持裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠以簡單的結構賦予夾住並保持基板的力的夾鉗機構。夾住並保持基板的夾鉗機構包括：載置台，供所述基板載置；夾鉗片，將載置於所述載置台的所述基板以夾在所述夾鉗片與所述載置台之間的方式打開關閉；以及夾鉗保持機構，保持為所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態；且所述夾鉗保持機構包括設置於所述載置台或所述夾鉗片中的一者的磁鐵及設置於另一者的磁性體。

Description

夾鉗機構以及具備該夾鉗機構的基板保持裝置

本發明是有關於一種夾鉗機構以及具備該夾鉗機構的基板保持裝置。

以前，作為保持顯示器中使用的基板並進行搬送的基板保持裝置，例如在專利文獻1中揭示了一種設置著多個具備夾住並保持基板的一對夾鉗片的夾鉗機構的基板保持裝置。

且說，所述現有的基板保持裝置中使用的夾鉗機構成為利用彈性體對一對夾鉗片賦予夾住並保持基板的力的結構。因此，必須對夾鉗機構裝入彈性體，因而存在結構變得複雜且生產性差的問題。而且，當要調節一對夾鉗片的夾住並保持基板的力時，為了更換彈性體，需要對夾鉗機構進行分解、組裝，從而存在非常耗費功夫的問題。
[先前技術文獻]
[專利文獻]

專利文獻1：日本專利第4888917號公報

[發明所欲解決之課題]
此，本發明的主要課題在於提供一種能夠以簡單的結構賦予夾住並保持基板的力的夾鉗機構。
[解決課題之手段]

即，本發明的夾鉗機構夾住並保持基板，且包括：載置台，供所述基板載置；夾鉗片，將載置於所述載置台的所述基板以夾在所述夾鉗片與該載置台之間的方式打開關閉；以及夾鉗保持機構，保持為所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態；且所述夾鉗保持機構包括設置於所述載置台或所述夾鉗片中的一者的磁鐵及設置於另一者的磁性體。

若為這種構成，則因設為如下結構，即，藉由利用磁力的吸附來賦予保持為夾鉗片相對於載置台關閉的狀態的力，故可簡化該結構，夾鉗機構的組裝變得容易且生產性提高。

另外，所述夾鉗保持機構所包括的磁鐵因經年劣化而磁力減弱，因而理想的是使夾鉗保持機構進而包括距離調節機構，所述距離調節機構對所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態下的所述磁鐵及所述磁性體間的距離進行調節。

若為這種構成，則可將磁力已減弱的磁鐵及磁性體間的距離調節得短，可使保持為夾鉗片相對於載置台關閉的狀態的力恢復。由此，只要不發生磁鐵的磁力變得極弱的事態，則無須更換磁鐵。

另外，具體而言，所述距離調節機構構成為具有插入孔即可，所述插入孔設置於所述載置台或所述夾鉗片中的至少一者，且供插入使得所述磁鐵或所述磁性體中的一者可相對於另一者進退，更具體來說，所述距離調節機構構成為包括如下即可，即，設置於所述磁鐵或所述磁性體的外表面的公螺紋部，及設置於所述插入孔的內表面的母螺紋部。

若為這種構成，則只要使磁鐵或磁性體相對於插入孔移動，則可對保持為夾鉗片相對於載置台關閉的狀態的力進行調節。而且，藉由設為使磁鐵或磁性體對插入孔螺合的結構，只要使磁鐵或磁性體旋轉，便可使磁鐵或磁性體相對於插入孔移動。

另外，作為所述夾鉗機構，可構成為如下，即，所述載置台或所述夾鉗片中的至少一者具有：與所述基板的單面抵接的抵接面，及從該抵接面豎立且與該基板的端面相向的相向面。

若為這種構成，則可藉由相向面來限制基板相對於載置台的位置偏移。

另外，作為所述夾鉗機構，可構成為如下，即，所述夾鉗片在與所述基板抵接的面的相反面具有朝向前端傾斜的傾斜面。

若為這種構成，則在對供夾鉗片抵接的基板的面實施處理的情況下，該面不易形成由夾鉗片所造成的陰影，該面的夾鉗機構周邊不易出現處理不均。

另外，作為所述夾鉗機構，可進而包括解除所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態的夾鉗解除機構，該情況下，構成為如下即可，即，在所述載置台設置著貫通孔，所述夾鉗解除機構包括上推銷，所述上推銷插入至所述貫通孔，將所述夾鉗片相對於所述載置台上推而成為打開的狀態。

若為這種構成，則將為了對載置台插入磁性體或磁鐵而設置的插入孔用作用於使上推銷插通載置台的貫通孔。由此，無須與插通孔分開地設置用於使上推銷插通載置台的貫通孔，可將載置台的強度保持得高。而且，可簡化載置台的加工作業。

另外，所述夾鉗解除機構可進而包括使所述上推銷相對於所述夾鉗片移動的上推銷移動機構，所述上推銷移動機構在如下位置之間移動：以插入至所述貫通孔而將所述夾鉗片上推的方式使所述上推銷上升的夾鉗解除位置、以從所述貫通孔拔出的方式使所述上推銷下降的上推銷待機位置、及不妨礙由所述夾鉗片及所述載置台保持的所述基板的移動的上推銷退避位置。

由夾鉗機構保持的基板之後被搬送至處理室並進行處理，為了在該處理中使灰塵等不易附著於基板，有時將由該夾鉗機構保持的基板垂直立起，若為這種構成，則在將由夾鉗機構保持的基板垂直立起時，藉由使上推銷向上推銷退避位置移動，而使得上推銷不會干涉基板。

另外，本發明的基板保持裝置包括：所述任一個夾鉗機構，以及將由搬送裝置搬送的所述基板向所述夾鉗機構交付的基板交付機構。

該情況下，構成為如下即可，即，所述載置台為框狀，所述基板交付機構包括：支持銷，使藉由所述搬送裝置搬送至所述載置台的上方的所述基板從下側穿過所述載置台的框內而加以支持；以及支持銷移動機構，使所述支持銷相對於所述載置台移動；所述支持銷移動機構在如下位置之間移動：使所述支持銷在使其上升以從下側穿過所述載置台的框內而支持所述基板的基板支持位置、向所述載置台的下側下降的支持銷待機位置、及不會妨礙由所述夾鉗片及所述載置台夾住的所述基板的移動的支持銷退避位置，更具體來說，構成為如下即可，即，於使所述上推銷向所述夾鉗解除位置移動，使所述支持銷向所述基板支持位置移動後，在使所述支持銷向所述支持銷待機位置移動的中途，將藉由所述支持銷支持的所述基板交付至所述夾鉗機構，並且使所述上推銷向所述上推銷待機位置移動，然後，使所述上推銷向所述上推銷退避位置移動，並且使所述支持銷向所述支持銷退避位置移動。

若為這種構成，則基板保持裝置中，即便在夾鉗機構配置成多段狀，以與該夾鉗機構的各段對應的方式設置基板交付機構的情況下，當在從基板交付機構對夾鉗機構交付基板後，將該基板垂直立起時，若使上推銷移動至上推銷退避位置，並且使支持銷移動至支持銷退避位置，則該上推銷及該支持銷不會干涉基板。由此，可將由搬送裝置搬送的基板多塊地一次交付至基板保持裝置，從而基板搬送作業的效率提高。
[發明的效果]

根據這種構成的夾鉗機構，能夠以簡單的結構賦予夾住並保持基板的力。

以下，基於圖式對本發明的夾鉗機構以及具備該夾鉗機構的基板保持裝置進行說明。

本發明的基板保持裝置例如在對顯示器中使用的基板實施處理的情況下，用於將該基板搬送至處理室內。

＜實施形態＞
本實施形態的基板保持裝置M如圖1所示，包括：保持基板S的夾鉗機構100，以及將由搬送裝置搬送的基板S向夾鉗機構100交付的基板交付機構200。

所述夾鉗機構100如圖2（a）及圖2（b）所示，包括：供基板S載置的載置台10，以夾住載置於載置台10的基板S的方式打開關閉的夾鉗片20，保持為夾鉗片20相對於載置台10關閉的狀態的夾鉗保持機構30，以及解除夾鉗片20相對於載置台10關閉的狀態的夾鉗解除機構40。本實施形態的夾鉗機構100以保持基板S的各邊的方式設置有四個。

如圖3及圖4所示，在所述載置台10中的上表面11（朝向夾鉗片20側的面）設置著：供基板S的一面S1抵接的抵接面11a，從抵接面11a豎立且與載置於抵接面11a的基板S的端面S2相向的相向面11b，以及從相向面11b向抵接面11a的相反側延伸的延設面11c。另外，相向面11b發揮限制載置於抵接面11a的基板S的位置偏移的作用。而且，延設面11c是不與基板S抵接的面，在其端側設置著能夠旋轉地軸支持夾鉗片20的鉸鏈部12。

另外，在所述載置台10中，在其兩端側設置著從與夾鉗片12相向的面朝其相反面貫通的貫通孔14a，並且在其中央附近設置著從與夾鉗片12相向的面朝其相反面貫通的插入孔14b。具體來說，貫通孔14a及插入孔14b均從延設面11c向其相反面貫通。插入孔14b沿著載置台10的長度方向間斷地設置著多個。

另外，本實施形態中的載置台10如圖1所示呈框狀，且對應於基板S而成為矩形狀。即，構成各夾鉗機構100的載置台10彼此相連而呈框狀。由此，載置台11成為在其內側設置著抵接面11a且在其外側設置著延設面11c的結構，且設置著延設面11c的外側較設置著抵接面11a的內側厚了相當於相向面11b的高度的量。

所述夾鉗片20軸支持於載置台10的鉸鏈部12，以其軸13為支點而相對於該載置台10打開關閉。另外，夾鉗片20的下表面21（朝向載置台10側的面）延伸至與載置台10的抵接面11a相向的位置為止，與該抵接面11a相向的前端側成為與基板S的另一面S3抵接的抵接面21a。而且，在夾鉗片20中的抵接面21a的相反面設置著朝向前端傾斜的傾斜面22。另外，夾鉗片20因要成為放置於基板S上的狀態，故由相對輕的材料形成，例如由鋁形成。

所述夾鉗保持機構30如圖4所示，藉由磁力使載置台10及夾鉗片20相互吸附，由此保持為夾鉗片20相對於載置台10關閉的狀態。具體而言，夾鉗保持機構30具備：設置於載置台20的磁鐵31，以及設置於夾鉗片20的磁性體32。另外，磁鐵31插入並保持於避開載置台10的抵接面11a而設置於不與基板S抵接的延設面11c側的插入孔14b中，磁性體32以與磁鐵31相向的方式設置於夾鉗片20的下表面21。

另外，所述夾鉗保持機構30具備距離調節機構50，該距離調節機構50對夾鉗片20相對於載置台10關閉的狀態下的磁鐵31及磁性體32間的距離進行調節。具體而言，距離調節機構50將設置於載置台10的插入孔14b作為構成的一部分，將磁鐵31插入至該插入孔14b中以可相對於磁性體32進退。更具體來說，距離調節機構50包括設置於磁鐵31的外表面的公螺紋部31a、及設置於插入孔14b的內表面的母螺紋部51a，藉由使磁鐵31相對於插入孔14b旋轉，磁鐵31可在插入孔14b內移動。

所述夾鉗解除機構40如圖2（a）及圖2（b）所示，使相對於載置台10為關閉的狀態的夾鉗片20成為打開的狀態。具體而言，包括插通至形成於載置台10的貫通孔14a的上推銷41、及使上推銷41移動的上推銷移動機構42。

所述上推銷移動機構42包括：設置於載置台10的框外（外側）且沿著貫通孔14a的貫通方向延伸的軸體42a，以及從軸體42a向正交方向延伸的支持片42b，在支持片42b的前端側設置著上推銷41。而且，上推銷移動機構42藉由使軸體42a上下移動，而使上推銷41以對貫通孔14a插拔的方式移動。而且，上推銷移動機構42藉由使軸體42a回轉（旋轉），使上推銷41向載置台10的框內外移動（參照圖5）。

另外，本實施形態的夾鉗解除機構40中，兩個支持片42b從軸體42a延伸，在各個支持片42b設置著上推銷41。而且，各上推銷41分別對設置於鄰接的兩個載置台10的貫通孔14a插拔。

所述基板交付機構200將從搬送裝置搬送而來的基板S交付至夾鉗機構100。具體而言，基板交付裝置200包括支持基板S的支持銷210、及使支持銷210移動的支持銷移動機構220。

所述支持銷移動機構220包括：設置於載置台10的框外且與上推銷移動機構42的軸體42a平行地延伸的軸體220a，以及從軸體220a向正交方向延伸的支持片220b，在支持片220b的前端側設置著支持銷210。而且，基板交付機構200藉由使軸體220a上下移動，使支持銷210以從載置台10的下側穿過該框內，而與由搬送裝置搬送的基板S抵接的方式移動。而且，基板交付機構200通過使軸體220a回轉（旋轉），使支持銷210向載置台10的框內外移動（參照圖5）。

另外，所述基板保持裝置M進而具有未圖示的控制部。另外，控制部具有所謂電腦，該電腦包括中央處理單元（Central Processing Unit，CPU）、記憶體、類比/數位∙數位/類比（analogue-to-digital∙digital-to- analogue，A/D・D/A）轉換器等，執行儲存在所述記憶體中的程式，藉由各種設備協動而實現各功能。具體而言，控制部藉由使夾鉗解除機構40及基板交付機構200協動，將由搬送裝置搬送的基板S向夾鉗機構100交付，發揮著藉由該夾鉗機構100夾住並保持基板S的功能。

接下來，藉由圖6（a）、圖6（b）、圖6（c）及圖7（d）、圖7（e）對本發明的基板保持裝置M中的基板S的載置動作進行說明。另外，圖6（a）、圖6（b）、圖6（c）及圖7（d）、圖7（e）中，為了簡化圖示，在相對於基板S的左側圖示出基板交付機構200的動作，在右側圖示出夾鉗解除機構40的動作。

首先，如圖6（a）所示，當藉由搬送裝置T將基板S搬送至載置台20的上方時，控制部使上推銷41移動至成為載置台10的貫通孔14a下側的上推銷待機位置xp1，並且使支持銷210移動至成為載置台10的框內下側的支持銷待機位置xp2。另外，該狀態下，夾鉗片20成為因自重而相對於載置台10關閉的狀態。

接下來，控制部如圖6（b）所示，使上推銷41向使其上升以插入至貫通孔14a而上推夾鉗片20的夾鉗解除位置yp1移動，並且使支持銷210向使其上升以從下側穿過載置台10的框內而支持基板S的基板支持位置yp2移動。由此，夾鉗片40藉由上推銷41上推而成為相對於載置台10打開的狀態，而且，基板S成為藉由支持銷210從下側支持的狀態。然後，基板S從搬送裝置T交付至基板交付機構200。

接下來，控制部如圖6（c）所示，在將上推銷41停留在夾鉗解除位置yp1的狀態下，使支持銷210向載置台10的框內下側下降而向支持銷待機位置xp2移動。由此，在支持銷210下降的中途，基板S從基板交付機構200交付至夾鉗機構100。

接下來，控制部如圖7（d）所示，使上推銷41以從貫通孔14a拔出的方式下降而向上推銷待機位置xp1移動。由此，夾鉗片20再次成為因自重而相對於載置台10關閉的狀態。另外，該狀態下，載置台10及夾鉗片20藉由夾鉗保持機構30相互被磁力吸附，因而成為藉由各夾鉗機構100以適當的力夾住並保持基板S的狀態。

然後，控制部如圖7（e）所示，使上推銷41回轉，向不妨礙由載置台10及夾鉗片20夾住的基板S的後續的移動的上推銷退避位置zp1移動，並且使支持銷210回轉，向不妨礙由載置台10及夾鉗片20夾住的基板S的後續的移動的支持銷退避位置zp2移動（參照圖5）。另外，本實施形態的上推銷退避位置zp1及支持銷退避位置zp2位於載置台10的框外。由此，考慮到對基板S的後續的處理，即便在將該基板S當場垂直立起的情況下，夾鉗解除機構40及基板交付機構200亦不會干涉到基板S。

另外，夾鉗解除機構40可構成為在使上推銷41向上推銷退避位置zp1移動後，相對於載置台10進一步下降，基板交付機構200可構成為在使支持銷210向支持銷退避位置zp2移動後，相對於載置台10進一步下降。若如此，則在當場將基板S垂直立起的情況下，可進一步擴大基板S的可動空間。

另外，在對由夾鉗機構100夾住基板S的力進行調節的情況下，如圖3所示，藉由距離調節機構50變更夾鉗片20相對於載置台10關閉的狀態下的磁鐵31相對於磁性體32的距離。另外，在以增加磁鐵31相對於磁性體32的距離的方式進行調節的情況下，由磁力引起的吸附力下降，因而可減小由夾鉗機構100夾住基板S的力，相反地，在以縮短磁鐵31相對於磁性體32的距離的方式進行調節的情況下，由磁力引起的吸附力上升，因而可增加由夾鉗機構100夾住基板S的力。

＜其他實施形態＞
所述實施形態中，作為夾鉗保持機構30，設為在載置台10側設置磁鐵31的構成，但不限定於此，可設為在夾鉗片20側設置磁鐵31的構成。而且，可設為在載置台10及夾鉗片20的雙方設置磁鐵的構成。該情況下，設置於載置台10的磁鐵31與設置於夾鉗片20的磁鐵31必須配置成不同的極性彼此相對以便相互吸附。而且，載置台10或夾鉗片20整體亦可由磁鐵31或磁性體32形成。

另外，所述實施形態中，作為距離調節機構50，是在載置台10側設置插入孔14b，但不限定於此，亦可在夾鉗片20側設置插入孔14b，而且，還可在載置台10及夾鉗片20的雙方設置插入孔14b。另外，所述實施形態中，採用貫通載置台10的孔來作為插入孔14b，但亦可以是不貫通載置台10的孔。

另外，所述實施形態中，作為距離調節機構50，構成為可利用磁鐵31的公螺紋部31a與插入孔14b的母螺紋部51a的螺合，使磁鐵31相對於插入孔14b移動，亦可構成為藉由滑動使磁鐵31相對於插入孔14b移動。

另外，所述實施形態中，將載置台10設為框狀，但不限定於此，只要是可載置基板S的構成即可。例如，亦可設為利用包含其他物體的夾鉗機構100來支持基板的四角般的構成。

另外，雖然基板S以保持於基板保持裝置M的狀態被實施了處理，但是也有將基板S以垂直立起的狀態實施處理，此時，使得灰塵等不會附著於基板S的處理面（所述實施形態中為另一面S3）。因此，亦可將基板保持裝置M連接於成為水平狀態或垂直狀態的可動台（未圖示）。附帶說，根據所述實施形態的基板保持裝置M，即便為垂直狀態，亦藉由夾鉗保持機構30保持為夾鉗片20相對於載置台10關閉的狀態，因而可防止基板S從載置台10脫落。而且，在使基板保持裝置M為垂直狀態的情況下，基板S的端面S2卡在載置台10的相向面11b，限制了基板S相對於載置台10的位置偏移。進而，使夾鉗解除機構40向上推銷退避位置移動，並且使基板交付機構200向支持銷退避位置移動，由此這些機構不會干涉到基板S。

另外，所述實施形態中，示出了將作為基板保持裝置M的夾鉗機構100僅設置一段的形態，但亦可以是將夾鉗機構100設置兩段以上的形態。具體來說，可以是將夾鉗機構100在上下方向上配置兩段以上的形態。另外，該情況下，亦與各夾鉗機構100對應地設置基板交付機構200。即便是這種形態，亦如所述實施形態般採用藉由夾鉗解除機構40將上推銷41向載置台10的框內外回轉的構成，並且採用藉由基板交付機構200使支持銷210向載置台10的框內外回轉的構成，由此這些機構不會妨礙到基板S的後續的移動。

另外，所述實施形態中，作為夾鉗解除機構40，採用使上推銷41向載置台10的框內外回轉的構成，但亦可採用使上推銷41向載置台10的框內外平行移動的構成，作為基板交付機構200，亦可同樣地採用使支持銷210向載置台10的框內外平行移動的構成。

此外，本發明不限於所述各實施形態，在不脫離其主旨的範圍內當然能夠進行各種變形。

10‧‧‧載置台

11‧‧‧上表面

11a、21a‧‧‧抵接面

11b‧‧‧相向面

11c‧‧‧延設面

12‧‧‧鉸鏈部

13‧‧‧軸

14a‧‧‧貫通孔

14b‧‧‧插入孔

20‧‧‧夾鉗片

21‧‧‧下表面

22‧‧‧傾斜面

30‧‧‧夾鉗保持機構

31‧‧‧磁鐵

31a‧‧‧公螺紋部

32‧‧‧磁性體

40‧‧‧夾鉗解除機構

41‧‧‧上推銷

42‧‧‧上推銷移動機構

42a、220a‧‧‧軸體

42b、220b‧‧‧支持片

50‧‧‧距離調節機構

51a‧‧‧母螺紋部

100‧‧‧夾鉗機構

200‧‧‧基板交付機構

210‧‧‧支持銷

220‧‧‧支持銷移動機構

M‧‧‧基板保持裝置

S‧‧‧基板

S1‧‧‧一面

S2‧‧‧端面

S3‧‧‧另一面

T‧‧‧搬送裝置

xp1‧‧‧上推銷待機位置

xp2‧‧‧支持銷待機位置

yp1‧‧‧夾鉗解除位置

yp2‧‧‧基板支持位置

zp1‧‧‧上推銷退避位置

zp2‧‧‧支持銷退避位置

圖1是表示本實施形態的基板保持裝置的示意圖。

圖2（a）及圖2（b）是表示該實施形態的夾鉗機構的A-A剖面的示意圖。

圖3是表示該實施形態的夾鉗機構的A-A剖面的示意圖。

圖4是表示該實施形態的夾鉗機構的B-B剖面的示意圖。

圖5是表示該實施形態的基板保持裝置的示意圖。

圖6（a）、圖6（b）、圖6（c）是表示該實施形態的基板保持裝置的動作的示意圖。

圖7（d）、圖7（e）是表示該實施形態的基板保持裝置的動作的示意圖。

Claims (13)

1. 一種夾鉗機構，夾住並保持基板，且包括：載置台，供所述基板載置； 夾鉗片，將載置於所述載置台的所述基板以夾在所述夾鉗片與所述載置台之間的方式打開關閉；以及夾鉗保持機構，保持為所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態；且所述夾鉗保持機構包括設置於所述載置台或所述夾鉗片中的一者的磁鐵及設置於另一者的磁性體。
2. 如申請專利範圍第1項所述的夾鉗機構，其中 所述夾鉗保持機構包括距離調節機構，所述距離調節機構對所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態下的所述磁鐵及所述磁性體間的距離進行調節。
3. 如申請專利範圍第2項所述的夾鉗機構，其中 所述距離調節機構具有插入孔，所述插入孔設置於所述載置台或所述夾鉗片中的至少一者，且供插入使得所述磁鐵或所述磁性體中的一者能夠相對於另一者進退。
4. 如申請專利範圍第3項所述的夾鉗機構，其中 所述距離調節機構包括：設置於所述磁鐵或所述磁性體的外表面的公螺紋部，及設置於所述插入孔的內表面的母螺紋部。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的夾鉗機構，其中 所述載置台或所述夾鉗片中的至少一者具有：與所述基板的單面抵接的抵接面，及從所述抵接面豎立且與所述基板的端面相向的相向面。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的夾鉗機構，其中 所述夾鉗片在與所述基板抵接的面的相反面具有朝向前端傾斜的傾斜面。
7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的夾鉗機構，其進而包括夾鉗解除機構，所述夾鉗解除機構解除所述夾鉗片相對於所述載置台關閉的狀態。
8. 如申請專利範圍第7項所述的夾鉗機構，其中 在所述載置台設置著貫通孔，所述夾鉗解除機構包括上推銷，所述上推銷插入至所述貫通孔，將所述夾鉗片相對於所述載置台上推而成為打開的狀態。
9. 如申請專利範圍第8項所述的夾鉗機構，其中 所述夾鉗解除機構進而包括使所述上推銷相對於所述夾鉗片移動的上推銷移動機構， 所述上推銷移動機構在如下位置之間移動： 以插入至所述貫通孔而將所述夾鉗片上推的方式使所述上推銷上升的夾鉗解除位置、以從所述貫通孔拔出的方式使所述上推銷下降的上推銷待機位置、及不妨礙由所述夾鉗片及所述載置台保持的所述基板的移動的上推銷退避位置。
10. 一種基板保持裝置，包括：所述申請專利範圍第1項至第9項中任一項所述的夾鉗機構，以及將由搬送裝置搬送的所述基板向所述夾鉗機構交付的基板交付機構。
11. 如申請專利範圍第10項所述的基板保持裝置，其中 所述載置台為框狀， 所述基板交付機構包括： 支持銷，使藉由所述搬送裝置搬送至所述載置台的上方的所述基板從下側穿過所述載置台的框內而加以支持；以及 支持銷移動機構，使所述支持銷相對於所述載置台移動； 所述支持銷移動機構在如下位置之間移動： 使所述支持銷在使其上升以從下側穿過所述載置台的框內而支持所述基板的基板支持位置、向所述載置台的下側下降的支持銷待機位置、及不會妨礙由所述夾鉗片及所述載置台夾住的所述基板的移動的支持銷退避位置。
12. 如申請專利範圍第11項所述的基板保持裝置，其中 於使所述上推銷向所述夾鉗解除位置移動，使所述支持銷向所述基板支持位置移動後，在使所述支持銷向所述支持銷待機位置移動的中途，將藉由所述支持銷支持的所述基板交付至所述夾鉗機構，並且使所述上推銷向所述上推銷待機位置移動，然後，使所述上推銷向所述上推銷退避位置移動，並且使所述支持銷向所述支持銷退避位置移動。
13. 如申請專利範圍第10項至第12項中任一項所述的基板保持裝置，其中 所述夾鉗機構配置成多段狀，以與所述夾鉗機構的各段對應的方式設置所述基板交付機構。