TW201940799A - 流體壓力缸 - Google Patents

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日商Ｓｍｃ股份有限公司
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Abstract

本發明之流體壓力缸(10)係具備：在內部具有滑動孔(13)的缸管(12)、配置成可沿著滑動孔(13)來回移動的活塞單元(18)、以及從活塞單元(18)向軸方向突出的活塞桿(20)，其中，活塞單元(18)係藉由將耐磨環(44)安裝在設於活塞本體(40)之外周部的環狀磁鐵(46)的外周部，而謀求活塞本體(40)之軸方向尺寸的縮短。

Description

流體壓力缸
本發明係有關在活塞配置有磁鐵的流體壓力缸。
以往，例如做為工件等搬運手段(致動器)，已知有一種具備隨著壓力流體的供給而移位之活塞的流體壓力缸。一般來說，流體壓力缸具有缸管、配置成在缸管內可向軸方向移動的活塞、以及與活塞連結的活塞桿。
又，亦已知有一種為了檢測活塞的位置而在活塞安裝磁鐵的流體壓力缸。例如日本特開2008-133920號公報已揭示一種在活塞的外周部安裝有環狀的磁鐵，並在缸管外側配置有磁感測器的流體壓力缸。
安裝有磁鐵的活塞，其軸方向的尺寸往往比未安裝有磁鐵的活塞大。活塞之軸方向的尺寸若變大，會有流體壓力缸之總長度變大的問題。
因此，本發明之目的係提供一種能夠使軸方向的尺寸縮小的流體壓力缸。
為達成上述目的，根據本發明之一形態的流體壓力缸係具備：在內部具有滑動孔的缸管、配置成可沿著前述滑動孔來回移動的活塞單元、以及從前述活塞單元向軸方向突出的活塞桿，前述活塞單元係具有：從前述活塞桿向徑方向外側突出的活塞本體、安裝在前述活塞本體之外周部的墊圈、安裝在前述活塞本體之外周部的環狀磁鐵、以及安裝在前述環狀磁鐵之外周部的耐磨環。
根據上述之流體壓力缸，藉由將耐磨環安裝在環狀磁鐵的外周部，比起在軸方向的不同位置設置耐磨環和磁鐵之情形更能縮短活塞本體之軸方向尺寸。
在上述之流體壓力缸中，亦可在前述耐磨環之軸方向的範圍內配置前述磁鐵。
藉由上述構成，可縮短耐磨環之軸方向尺寸，亦可縮短活塞本體之軸方向尺寸。
在上述之流體壓力缸中，前述磁鐵的中心位置亦可以與前述耐磨環之軸方向的中心位置一致。
藉由上述構成，可安裝耐磨環以覆蓋磁鐵的外周部，使耐磨環安裝在磁鐵外周變得容易，並能夠使耐磨環之軸方向尺寸小型化。
在上述之流體壓力缸中，於前述耐磨環的外周部設有在周方向隔開的複數個開口部，亦可於前述磁鐵的外周部形成有在周方向隔著間隔的複數個凸部，該凸部係向徑方向外側突出並插入前述耐磨環之前述開口部。
藉由上述構成，可使磁鐵突出於耐磨環的開口部，可使磁鐵更靠近磁感測器。結果，磁鐵的磁力弱亦無妨，而可使用更小型且在軸方向薄的磁鐵，故能夠更加縮短活塞本體之軸方向尺寸。
在上述之流體壓力缸中，亦可在前述耐磨環之軸方向的一方的端部形成有向周方向延伸的周方向部。
藉由上述構成，即使在耐磨環設置開口部的情況，亦可保持環狀的形狀。
在上述之流體壓力缸中，亦可在前述耐磨環之軸方向的兩方的端部形成有向周方向延伸的周方向部。
藉由上述構成，由於能夠以周方向部支撐耐磨環之軸方向的兩端部，可提高耐磨環的機械強度。
在上述之流體壓力缸中，前述磁鐵之凸部的外周面亦可形成在徑方向與前述活塞本體之外周面相同的位置或比該位置更向徑方向外側突出的位置。
藉由上述構成，可使磁鐵的凸部更靠近磁感測器。結果，可進一步縮小磁鐵之軸方向尺寸，並縮短活塞本體之軸方向尺寸。
在上述之流體壓力缸中，前述磁鐵之凸部的高度可設定在前述耐磨環之厚度的範圍內。
藉由上述構成，可防止磁鐵的凸部與滑動孔接觸。
在上述之流體壓力缸中，前述磁鐵之前述凸部的周方向寬度亦可比凹部的周方向寬度大。
藉由上述構成，可增加能夠安裝磁感測器之周方向的位置。
在上述之流體壓力缸中，前述耐磨環亦可具有與前述磁鐵之軸方向之一個端面抵接的第一爪部、以及與前述磁鐵之軸方向之另一個端面抵接的第二爪部。
藉由上述構成，耐磨環可確實安裝在磁鐵的外周部。
在上述之流體壓力缸中，前述活塞本體係具有在前述活塞本體的外周部形成為圓形環狀的墊圈安裝槽、磁鐵配置槽、以及耐磨環配置槽，前述耐磨環配置槽係形成為在軸方向比前述磁鐵配置槽寬且淺，前述磁鐵配置槽亦可形成在前述耐磨環配置槽之軸方向寬度的範圍內。
藉由上述構成，可將耐磨環安裝在磁鐵的外周部。
在上述之流體壓力缸中，磁鐵配置槽之軸方向的中心位置亦可以與前述耐磨環配置槽之軸方向的中心位置相同。
藉由上述構成，可由磁鐵之軸方向的兩端夾住的方式安裝耐磨環，而可使耐磨環之軸方向尺寸小型化。
根據上述形態之流體壓力缸，能使軸方向尺寸縮短。
由以下配合圖式之較佳的實施形態例的說明，上述之目的、特徵、以及優點會更明確。
10‧‧‧流體壓力缸
12‧‧‧缸管
13‧‧‧滑動孔
13a‧‧‧第一壓力室
13b‧‧‧第二壓力室
14‧‧‧桿蓋
14a、16a‧‧‧內壁面
14b、16b‧‧‧環狀突出部
15a‧‧‧第一埠口
15b‧‧‧第二埠口
16‧‧‧頭蓋
18、18A‧‧‧活塞單元
20‧‧‧活塞桿
20a‧‧‧基端部
20b‧‧‧前端部
23、27、31、42‧‧‧墊圈
25‧‧‧襯筒
32‧‧‧連結桿
34‧‧‧螺帽
40‧‧‧活塞本體
44、44A‧‧‧耐磨環
46‧‧‧磁鐵
46a‧‧‧凸部
46b‧‧‧凹部
46a1、46b1‧‧‧外周面
46c、46d‧‧‧端面
50‧‧‧墊圈安裝槽
52‧‧‧磁鐵配置槽
54‧‧‧耐磨環配置槽
57‧‧‧周方向部
58‧‧‧滑動部
58a‧‧‧內周面
58b‧‧‧外周面
59‧‧‧開口部
60a‧‧‧第1爪部
60b‧‧‧第2爪部
64‧‧‧磁感測器
66‧‧‧感測器用支架
68a‧‧‧第一緩衝墊圈
68b‧‧‧第二緩衝墊圈
69a‧‧‧第一緩衝環
69b‧‧‧第二緩衝環
第1圖係本發明之第1實施形態之流體壓力缸的立體圖。
第2圖係第1圖之流體壓力缸的剖面圖。
第3圖係第1圖之流體壓力缸之活塞單元的立體圖。
第4圖係第3圖之活塞單元的分解立體圖。
第5圖係本發明之第2實施形態之活塞單元的立體圖。
第6圖係第5圖之活塞單元的分解立體圖。
以下，列舉本發明之較佳的實施形態，並參照圖式進行詳細說明。此外，為便於說明，會有圖式的尺寸比例被誇大而與實際的比例不同的情況。又，在以下的說明中，將缸管中心的軸線方向稱為軸方向(X方向)。
[第1實施形態]
第1圖所示之第1實施形態的流體壓力缸10係具備：在內部具有圓形滑動孔13(氣缸室)之中空圓筒狀的缸管12、配置於缸管12之一端部的桿蓋14、以及配置於缸管12之另一端部的頭蓋16。又，如第2圖及第3圖所示，流體壓力缸10具備：配置成可向缸管12內的軸方向(X方向)移動的活塞單元18、以及與活塞單元18連結的活塞桿20。此流體壓力缸10係例如做為用來搬運工件等的致動器使用。
缸管12係例如藉由鋁合金等金屬材料構成，包含沿著軸方向延伸的筒體。在第1實施形態中，缸管12係形成為中空圓筒狀。
如第1圖及第2圖所示，桿蓋14係以封閉缸管12之一端部(箭頭X1方向側的端部)的方式設置，例如為藉由與缸管12同樣的金屬材料構成的構件。在桿蓋14設有第一埠口15a。如第2圖所示，設置於桿蓋14的環狀突出部14b係插入缸管12之一端部。
在桿蓋14與缸管12之間，配置有圓形環狀的墊圈23。在桿蓋14的內周部配置有圓形環狀的襯筒25及墊圈27。在桿蓋14的內周部配置有圓形環狀的第一緩衝墊圈68a。
頭蓋16係例如為以與缸管12同樣的金屬材料構成的構件，以封閉缸管12之另一端部(箭頭X2方向側的端部)的方式設置。藉由頭蓋16使缸管12的另一端部氣密地封閉。在頭蓋16設有第二埠口15b。
設置於頭蓋16的環狀突出部16b係插入缸管12的另一端部。在頭蓋16與缸管12之間，配置有圓形環狀的墊圈31。在頭蓋16的內周部配置有圓形環狀的第二緩衝墊圈68b。
如第1圖所示，缸管12、桿蓋14及頭蓋16係藉由複數組連結桿32和螺帽34緊固於軸方向。複數組的連結桿32和螺帽34係沿著周方向隔開設置。因此，缸管12在頭蓋16與桿蓋14之間以被夾住的狀態固定。
如第2圖所示，活塞單元18係容納在缸管12內(滑動孔13)而可向軸方向滑動，且將滑動孔13內區分成第一埠口15a側的第一壓力室13a和第二埠口15b側的第二壓力室13b。在本實施形態中，活塞單元18係與活塞桿20的基端部20a連結。
如第4圖所示，活塞單元18係具有從活塞桿20向徑方向外側突出的圓形活塞本體40、安裝在活塞本體40外周部的圓形環狀墊圈42、安裝在活塞本體40外周部的環狀磁鐵46、以及安裝在磁鐵46外周部的耐磨環44。
在活塞本體40的外周面設有墊圈安裝槽50、磁鐵配置槽52、以及耐磨環配置槽54。墊圈安裝槽50與磁鐵配置槽52係配置在軸方向的不同位置。耐磨環配置槽54係形成為從外周側將磁鐵配置槽52的兩側部淺淺地切開而成之槽，其軸方向的中心位置與磁鐵配置槽52之軸方向的中心位置一致。墊圈安裝槽50、磁鐵配置槽52、以及耐磨環配置槽54皆形成為遍及整個周方向全周的圓形環狀。
就活塞本體40的構成材料而言，例如可列舉碳鋼、不銹鋼、鋁合金等金屬材料，或硬質樹脂等材料。
墊圈42係由橡膠材料、彈性體材料等彈性材料構成的環狀密封構件(例如：O環)。墊圈42係安裝在墊圈安裝槽50。
墊圈42係可滑動地接觸缸管12的內周面。具體而言，墊圈42的外周部係遍及整個圓周與活塞本體40的外周面氣密或液密地密接。藉由墊圈42，活塞單元18的外周面與滑動孔13之間被密封，滑動孔13內的第一壓力室13a和第二壓力室13b係以氣密或液密的方式分開。
此外，亦可藉由在墊圈42設置止轉用凸部並在缸管12設置與該止轉用凸部嵌合的止轉用槽來限制活塞單元18的旋轉。
耐磨環44係安裝在設於活塞本體40外周部之環狀的磁鐵46的外周。耐磨環44係具備：沿著周方向延伸而形成的周方向部57、覆蓋磁鐵46的外周的滑動部58、以及沿著周方向隔著間隔而配置的複數個開口部59。周方向部57係形成在耐磨環44的另一端部(X2側的端部)，而沿著周方向延伸。此周方向部57係與滑動部58一體形成，該周方向部57 支撐滑動部58。亦即，藉由開口部59被分離的複數個滑動部58係藉由周方向部57維持環狀的形狀。
滑動部58具有構成耐磨環44外周的外周面58b，在此外周面58b與缸管12的滑動孔13的內面接觸。滑動部58之軸方向的寬度係形成為比磁鐵46的軸方向的寬度大。滑動部58的內周面58a係與磁鐵46之凹部46b的外周面46b1相對向。另外，為避免耐磨環44的負載施加到磁鐵46，磁鐵46之凹部46b的外周面46b1與滑動部58的內周面58a之間較佳為設置微小間隙。
開口部59係裁切耐磨環44的滑動部58而形成的部分，在該開口部59中，以露出磁鐵46的外周部分的方式形成。本實施形態中，開口部59係延伸至耐磨環44的一側端部(X1側的端部)。亦即，耐磨環44的另一側端部係藉由開口部59裁切而分離。滑動部58與開口部59係沿著周方向交替配置，滑動部58與開口部59之周方向的寬度(角度範圍)例如可設為滑動部58為10°左右，開口部59為20°左右。以此種方式，使開口部59之周方向的寬度大於滑動部58之周方向的寬度，即可擴大可安裝磁感測器64的範圍而很適當。另外，亦可使滑動部58之周方向的寬度大於開口部59之周方向的寬度。
相加滑動部58和周方向部57之軸方向的尺寸係形成為比磁鐵46之軸方向的尺寸大，如第2圖及第3圖所示，耐磨環44之軸方向的中心位置係以與磁鐵46之軸方向的中心位置為相同位置的方式安裝。周方向部57係比磁鐵46更向另一端側(X2方向側)伸出，且滑動部58的一端側(X1方向側)向磁鐵46的一端側伸出。
在周方向部57的內周側形成有比滑動部58之內周面58a更向內側伸出的第1爪部60a。在滑動部58之一端側的端部形成有比內周面58a更向內側伸出的第2爪部60b。第1爪部60a係與磁鐵46之另一端側的端面46d抵接，第2爪部60b與磁鐵46之一端側的端面46c抵接。亦即，耐磨環44係以利用第1爪部60a及第2爪部60b從磁鐵46之軸方向的兩端夾住的方式安裝在磁鐵46。該等第1爪部60a及第2爪部60b係插入於活塞本體40的耐磨環配置槽54(參照第2圖)。此外，在第4圖中，雖顯示第1爪部60a係僅形成在與開口部59相鄰的部分的例子，惟本實施形態並不限於此，第1爪部60a亦可形成在周方向的整個區域。
耐磨環44係由低摩擦材料構成。耐磨環44與滑動孔13之間的摩擦係數係比墊圈42與滑動孔13之間的摩擦係數小。就這種低摩擦材料而言，例如可列舉如四氟乙烯樹脂(PTFE)兼具低摩擦性與耐磨損性的合成樹脂材料、金屬材料(例如軸承鋼)等材料。
磁鐵46係形成為環狀，在其外周部形成有向徑方向外側突出的凸部46a、以及配置在凸部46a之間的凹部46b。凸部46a和凹部46b係沿著周方向以預定的間距交替配置。凸部46a係設置在對應於耐磨環44之開口部59的部分，其外周面46a1係比耐磨環44之滑動部58的內周面58a更向徑方向外側突出。然而，為了防止與滑動孔13接觸，凸部46a的外周面46a1係形成在滑動部58的外周面58b的徑方向內側。亦即，凸部46a的高度係形成在耐磨環44之滑動部58的厚度範圍內。另外，凸部46a的外周面46a1亦可形成在與活塞本體40的外周面在徑方向相同的位置。 又，凸部46a的外周面46a1亦可比活塞本體40的外周面更向徑方向外側突出。
另一方面，磁鐵46的凹部46b係設置在對應於耐磨環44之滑動部58的部分，凹部46b的外周面46b1係藉由滑動部58覆蓋。磁鐵46係例如可以鐵氧體(ferrite)磁鐵或稀土類磁鐵形成。
如第1圖所示，在缸管12的外側安裝有磁感測器64。具體而言，係在連結桿32安裝有感測器用支架66。磁感測器64保持在感測器用支架66。藉此，磁感測器64係經由感測器用支架66及連結桿32相對於頭蓋16及桿蓋14固定位置。藉由磁感測器64檢測磁鐵46產生的磁性，可檢測活塞單元18的動作位置。
活塞桿20為沿著滑動孔13之軸方向延伸的柱狀(圓柱狀)構件。如第2圖所示，活塞桿20係貫穿桿蓋14。活塞桿20的前端部20b係向滑動孔13外周露出。第一緩衝環69a係在與活塞本體40之桿蓋14側相鄰的位置固定在活塞桿20的外周部。第二緩衝環69b係夾住活塞本體40並在與第一緩衝環69a的相反側固定在活塞桿20。活塞桿20的基端部20a係藉由壓接固定在活塞本體40。
藉由第一緩衝墊圈68a、第二緩衝墊圈68b、第一緩衝環69a、以及第二緩衝環69b構成減緩衝程末端之衝擊的氣墊機構。另外，亦可將由橡膠材料等彈性材料構成的阻尼器，例如分別安裝在桿蓋14的內壁面14a及頭蓋16的內壁面16a來取代這種氣墊機構或該氣墊機構。
如上述構成的流體壓力缸10係進行以下的動作。此外，以下係說明使用空氣(壓縮空氣)做為壓力流體的情況，亦可使用空氣以外的氣體。
在第2圖中，流體壓力缸10係藉由作為空氣作用之經由第一埠口15a及第二埠口15b導入的壓力流體，使活塞單元18在滑動孔13內於軸方向移動。藉此，使與活塞單元18連結的活塞桿20來回移動。
具體而言，為了使活塞單元18朝桿蓋14側移位(前進)，將第一埠口15a設為大氣釋放狀態，由未圖式的壓力流體供給源經由第二埠口15b將壓力流體供給至第二壓力室13b。如此一來，活塞單元18即被壓力流體推向桿蓋14側。藉此，活塞單元18與活塞桿20一同朝桿蓋14側移位(前進)。
活塞單元18係藉由抵接在桿蓋14而停止前進動作。當活塞單元18朝前進位置靠近時，第一緩衝環69a會與第一緩衝墊圈68a的內周面接觸，在該接觸部分形成氣密密封，並在第一壓力室13a形成氣緩衝墊(air cushion)。藉此，在桿蓋14側的衝程末端附近使活塞單元18的移位減速，故可減緩到達衝程末端時的衝擊。
另一方面，為了使活塞本體40朝頭蓋16側移位(後退)，將第二埠口15b設為大氣釋放狀態，由未圖式的壓力供給源經由第一埠口15a將壓力流體供給至第一壓力室13a。如此一來，活塞本體40即被壓力流體推向頭蓋16側。藉此，活塞單元18朝頭蓋16側移位。
然後，活塞單元18係藉由抵接在頭蓋16而停止後退動作。當活塞單元18朝後退位置靠近時，第二緩衝環69b會與第二緩衝墊圈68b 的內周面接觸，在該接觸部分形成氣密密封，並在第二壓力室13b形成氣緩衝墊。藉此，在頭蓋16側的衝程末端附近使活塞單元18的移位減速，故可減緩到達衝程末端時的衝擊。
在這種情況下，第1實施形態之流體壓力缸10產生以下的效果。
依據流體壓力缸10，由於耐磨環44和磁鐵46配置在軸方向的相同位置，可縮短活塞本體40之軸方向的尺寸。結果，可謀求流體壓力缸10的總長度之短縮。
磁鐵46係設置在耐磨環44之軸方向尺寸的範圍內。藉由該構成，可縮小耐磨環44之軸方向尺寸。
此外，耐磨環44係具備將滑動部58沿著周方向裁切而成的開口部59，在該開口部59可將磁鐵46配置在靠近缸管12之內周面的位置。藉此，可縮小安裝在缸管12外側的磁感測器64與配置在缸管12內側的磁鐵46的距離，故可減小磁鐵46所需的磁力。因此，可縮小磁鐵46之軸方向的厚度。因而可縮短活塞本體40之軸方向的尺寸，並可藉此謀求流體壓力缸10的總長度之短縮。
磁鐵46之凸部46a係配置在耐磨環44的開口部59。藉由該構成能夠使磁鐵46更靠近缸管12的內周面，故能夠有效地縮小磁鐵46之軸方向的厚度。
[第2實施形態]
在上述之流體壓力缸10中，亦可採用第5圖所示之活塞單元18A來取代活塞單元18。此活塞單元18A之耐磨環44A的形狀與第3圖所示之耐磨環44的形狀不同。其他的構成則相同。
本實施形態之耐磨環44A係如第5圖所示，在耐磨環44A之軸方向的一個端部(X1側的端部)和另一個端部(X2側的端部)形成有沿著周方向延伸的周方向部57。滑動部58係由軸方向的兩端藉由周方向部57支撐。開口部59係形成於在軸方向的兩端所形成的周方向部57之間。
如第6圖所示，在各個周方向部57的內周側形成有比滑動部58的內周面58a更向軸方向內側突出的第1爪部60a及第2爪部60b。耐磨環44A係以第1爪部60a及第2爪部60b夾住磁鐵46之軸方向之一側的端面46c和另一側的端面46d的方式安裝在磁鐵46。這些第1爪部60a及第2爪部60b係如第2圖所示，容納在活塞本體40的耐磨環配置槽54。
在流體壓力缸10中，即使為使用第2實施形態之耐磨環44A的情況，也能得到與第1實施形態同樣的效果。此外，在耐磨環44A之軸方向的一端和另一端形成有周方向部57，藉由這些周方向部57保持環狀的形狀，故強度優異。因此，可縮小周方向部57之軸方向尺寸，更能進一步縮短活塞本體40之軸向尺寸。關於第2實施形態中與第1實施形態共通的部分，可與第1實施形態得到相同或同樣的效果。
以上係列舉本發明之較佳的實施形態並予以說明，但本發明並不限於上述實施形態，在不脫離本發明之主旨的範圍自可進行各種變更。

Claims (12)

  1. 一種流體壓力缸，係具備：在內部具有滑動孔(13)的缸管(12)、配置成可沿著前述滑動孔(13)來回移動的活塞單元(18)、以及從前述活塞單元(18)向軸方向突出的活塞桿(20)，前述活塞單元(18)係具有：從前述活塞桿(20)向徑方向外側突出的活塞本體(40)、安裝在前述活塞本體(40)之外周部的墊圈(42)、安裝在前述活塞本體(40)之外周部的環狀磁鐵(46)、以及安裝在前述環狀磁鐵(46)之外周部的耐磨環(44)。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之流體壓力缸，其中，在前述耐磨環(44)之軸方向的範圍內配置有前述磁鐵(46)。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之流體壓力缸，其中，前述磁鐵(46)的中心位置與前述耐磨環(44)之軸方向的中心位置一致。
  4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之流體壓力缸，其中，於前述耐磨環(44)的外周部設有在周方向隔開的複數個開口部(59)，於前述磁鐵(46)的外周部形成有在周方向隔著間隔的複數個凸部(46a)，該凸部係向徑方向外側突出並插入前述耐磨環(44)之前述開口部(59)。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之流體壓力缸，其中，在前述耐磨環(44)之軸方向之一個端部形成有向周方向延伸的周方向部(57)。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之流體壓力缸，其中，在前述耐磨環(44)之軸方向之兩個端部形成有向周方向延伸的周方向部(57)。
  7. 如申請專利範圍第4項所述之流體壓力缸，其中，前述磁鐵(46)之凸部(46a)的外周面(46a1)係形成在於徑方向與前述活塞本體(40)之外周面相同的位置或比該位置更向徑方向外側突出的位置。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之流體壓力缸，其中，前述磁鐵(46)之凸部(46a)的高度係在前述耐磨環(44)之厚度的範圍內。
  9. 如申請專利範圍第4項所述之流體壓力缸，其中，前述磁鐵(46)之前述凸部(46a)的周方向寬度比凹部(46b)的周方向寬度大。
  10. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之流體壓力缸，其中，前述耐磨環(44)係具有與前述磁鐵(46)之軸方向之一個端面(46c)抵接的第一爪部(60a)、以及與前述磁鐵(46)之軸方向之另一個端面(46d)抵接的第二爪部(60b)。
  11. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之流體壓力缸，其中，前述活塞本體(40)係具有在前述活塞本體(40)的外周部形成為圓形環狀的墊圈安裝槽(50)、磁鐵配置槽(52)、以及耐磨環配置槽(54)，前述耐磨環配置槽(54)係形成為在軸方向比前述磁鐵配置槽(52)寬且淺，前述磁鐵配置槽(52)係形成在前述耐磨環配置槽(54)之軸方向寬度的範圍內。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之流體壓力缸，其中，磁鐵配置槽(52)之軸方向的中心位置與前述耐磨環配置槽(54)之軸方向的中心位置相同。
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