TW201925544A - 電鍍設備 - Google Patents

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周雅靜
顏銘翬
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財團法人工業技術研究院
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Abstract

電鍍設備包括電解槽及立體式陽極組。立體式陽極組配置在電解槽內且包括第一陽極及第二陽極。第一陽極沿第一方向延伸。第二陽極沿第一方向延伸,其中第一陽極與第二陽極沿第二方向排列且彼此間隔,其中第一方向與第二方向實質上垂直。

Description

電鍍設備
本發明是有關於一種電鍍設備,且特別是有關於一種具有立體式陽極組的電鍍設備。
傳統電鍍因為邊緣化現象,被鍍物邊緣(特別是轉角處)的膜厚比其它部位(如中間部位)的膜厚還厚,如此導致鍍膜厚度不均。因此,提出一種可獲得均勻電鍍膜厚的技術是本領域業者努力目標之一。
因此,本發明提出一種電鍍設備,可改善前述習知問題。
根據本發明之一實施例,提出一種電鍍設備。電鍍設備包括一電解槽及一立體式陽極組。立體式陽極組配置在電解槽內且包括一第一陽極及一第二陽極。第一陽極沿一第一方向延伸。第二陽極沿第一方向延伸,其中第一陽極與第二陽極沿一第二方向排列且彼此間隔,其中第一方向與第二方向實質上垂直。
為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解,下文特舉實施例,並配合所附圖式詳細說明如下:
請參照第1A~1C圖,第1A圖繪示依照本發明一實施例之電鍍設備100的示意圖,第1B圖繪示往視角V1觀看到的第1A圖之立體式陽極組120的視圖,而第1C圖繪示往視角V1觀看到的第1A圖之第一陽極121的結構示意圖。
電鍍設備100包括電解槽105、電源供應器106、過濾器110、幫浦115、立體式陽極組120、立體式載板130、支撐架140、搖槳150、驅動機構155、驅動器160及均流板170。
電解槽105用以容置立體式陽極組120、立體式載板130、支撐架140、搖槳150及均流板170。立體式載板130、立體式陽極組120與被鍍物W1(所在處為被鍍物放置區)沿第二方向X依序排列,其中第二方向X例如是電鍍方向或電場方向。被鍍物W1例如是導體,如金屬板。電源供應器106的負極電性連接於被鍍物W1,電源供應器106的電極電性連接於立體式陽極組120,以提供電流訊號給立體式陽極組120,且使立體式陽極組120與被鍍物W1之間產生電場,讓立體式陽極組120的材料電鍍在被鍍物W1上。
電解槽105內有電鍍液L1。電解槽105包括底板1051,底板1051具有開口1051a。電鍍液L1在幫浦115的驅動下從電解槽105的開口1051a進入電解槽105並通過均流板170及立體式陽極組120與被鍍物W1之間的空間,然後經由電解槽105的上部回流至幫浦115。電鍍液L1在進入電解槽105前會先流經過濾器110的過濾,可移除電鍍液L1的雜質及/或顆粒(若有的話)。
立體式陽極組120包括第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123。在另一實施例中,立體式陽極組120的陽極數量可超過三個或少於二個。第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123沿第一方向Y延伸。第一陽極121、第二陽極122與第三陽極123沿第二方向X排列且彼此間隔,其中第一方向Y與第二方向X實質上垂直。由於此些陽極與被鍍物W1的距離不同,因此被鍍物W1的各局部與此些陽極的距離而定,被鍍物W1的各局部的鍍膜厚度會有不同。換言之,藉由此些陽極與被鍍物W1的距離設計,可獲得被鍍物W1之特定區域的所欲鍍膜厚度,或讓形成在被鍍物W1上的整層鍍膜的膜厚均勻。
如第1A圖所示,第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123可透過數條導線電性連接於電源供應器106。電源供應器106可提供不同或相同電流給第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123。例如,電鍍設備100更包括第一可變電阻1061、第二可變電阻1062及第三可變電阻1063,其中第一可變電阻1061耦接第一陽極121與電源供應器106,第二可變電阻1062耦接第二陽極122與電源供應器106,而第三可變電阻1063耦接第三陽極123與電源供應器106。電源供應器106或另一控制器可控制第一可變電阻1061、第二可變電阻1062及第三可變電阻1063的電阻值,以提供不同或相同電流給第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123。
如第1A圖所示,在本實施例的此些陽極中,第一陽極121相距被鍍物W1的距離最近。第一陽極121的位置大致對應被鍍物W1的中間區域R1。如此,相較於習知被鍍物的鍍膜厚度,本實施例的被鍍物W1的中間區域R1的形成膜厚較厚。在此些陽極中,第三陽極123相距被鍍物W1的距離最遠。第三陽極123的位置大致對應被鍍物W1的邊緣區域R3,因此相較於習知被鍍物的鍍膜厚度,本實施例的被鍍物W1的邊緣區域R3的形成膜厚較薄。如此,相較於習知被鍍物的鍍膜厚度,本發明實施例之被鍍物W1的中間區域R1與邊緣區域R3的形成膜厚的差異縮小。
如第1C圖所示,第一陽極121包括網目結構1211及數個可溶性陽極顆粒1212,此些可溶性陽極顆粒1212填充於網目結構1211的數個網目1211a內。此些可溶性陽極顆粒1212的正離子在電鍍過程中會與電鍍液L1的電子結合成化合物,然後析出在被鍍物W1的表面上,而形成鍍膜。因此,在電鍍過程中,可溶性陽極顆粒1212會逐漸消耗。在一實施例中,可溶性陽極顆粒1212可以是銅、鎳或其它被鍍物W1所需的金屬。網目結構1211例如是鈦金屬製成,其不會消耗。此外,第二陽極122及第三陽極123具有類似第一陽極121的結構,於此不再贅述。此外,一個網目1211a內可填入一個或數個可溶性陽極顆粒1212,而可溶性陽極顆粒1212的形狀不受圖式所限,其可以是圓形、橢圓形、圓餅形或不規則形狀。
此外,第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123的網目結構的網目內徑可不同,使第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123具有不同的表面粗糙度,以控制電鍍液L1流經第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123的流速,進而控制形成在被鍍物W1上的鍍膜厚度。例如,第一陽極121的網目結構的網目內徑小於第二陽極122的網目結構的網目內徑,使第二陽極122的粗糙度大於第一陽極121的粗糙度,如此電鍍液L1流經第二陽極122的流速小於流經第一陽極121的流速,對應地被鍍物W1的鍍膜厚度也會不同。
如第1A及1B圖所示,第一陽極121、第二陽極122與第三陽極123沿第二方向X的投影係不互相重疊。如此,可避免此些陽極的正離子往被鍍物W1的移動路徑過度彼此干擾。在另一實施例中,第一陽極121、第二陽極122與第三陽極123沿第二方向X的投影可部分重疊。
此外,如第1A及1B圖所示,第一陽極121、第二陽極122與第三陽極123之一者為環形陽極。例如,第二陽極122及第三陽極123為環形電極,而第一陽極121為一從外側面往內連續延伸而無貫孔的電極。詳言之,如第1B圖所示,從視角V1觀看到的第一陽極121並無任何貫穿部,而第二陽極122環繞出第一貫穿部122a,以允許第一陽極121從第一貫穿部122a露出,而第三陽極123環繞出第二貫穿部123a,以允許第一陽極121及第二陽極122從第二貫穿部123a露出。
如第1A圖所示,立體式載板130配置在支撐架140且上用以承載立體式陽極組120。立體式載板130包括第一載件131、第二載件132及第三載件133。第一載件131承載第一陽極121且沿第二方向X可平移地連接於支撐架140。第二載件132承載第二陽極122且沿第二方向X可平移地連接於支撐架140。第三載件133承載第三陽極123且沿第二方向X可平移地連接於支撐架140。由於第一載件131、第二載件132及第三載件133可平移地連接於支撐架140,因此能調整第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123各自相對被鍍物W1的距離。
請參照第2A及2B圖,第2A圖繪示往視角V1觀看到的第1A圖之立體式載板130的示意圖,而第2B圖繪示第1A圖的區域2B’的放大圖。
如第2B圖所示,支撐架140包括至少一第一支架滑動部141。第一載件131包括至少一第一載件滑動部1311。第一支架滑動部141及第一載板滑動部1311皆沿第二方向X延伸,其中第一支架滑動部141與第一載件滑動部1311可相對滑動地連接。如此,第一載件131可相對支撐架140沿第二方向X相對移動,進而調整第一陽極121與被鍍物W1的相對距離。當第一載件131與支撐架140的相對位置決定後,可透過固定元件107固定在第一支架滑動部141的固定孔141a與第一載件滑動部1311的數個固定孔1311a之一者,以暫時性固定支撐架140與第一載件131的相對位置。如第2B圖所示,第一載件滑動部1311的固定孔1311a的數量為多個,以提供多段行程調整功能。
如第2B圖所示,固定元件107例如是具有螺紋的元件,而第一載件滑動部1311的固定孔1311a為螺孔。或者,固定元件107可以卡合方式(如緊配)暫時性固定於固定孔141a及固定孔1311a,在此設計下,固定元件107可不具螺紋,而固定孔1311a可不為螺孔。
此外,如第2A及2B圖所示,連接第一載件131的第一載件滑動部1311的數量可以是四個,其配置在第一陽極121的二個對角處,如第2A圖所示的第一支架滑動部141的配置區域A1~A4 (繪製成圓形虛線)。然,本發明實施例不限制第一載件滑動部1311的數量及/或配置位置。
相似地,第二支撐架140更包括第二支架滑動部(未標示)及第三支架滑動部(未標示),而第二載件132及第三載件133分別包括至少一第二載件滑動部(未標示)及至少一第三載件滑動部(未標示)。第二支架滑動部與第二載件滑動部的連接關係類似前述第一支架滑動部141與第一載件滑動部1311的連接關係。第三支架滑動部與第三載件滑動部的連接關係類似前述第一支架滑動部141與第一載件滑動部1311的連接關係。此外,連接第二載件132的第二載件滑動部的數量可以是四個,如第2A圖所示第二載件132的四個圓形虛線。然,本發明實施例不限制第二載件滑動部的數量及/或配置位置。連接第三載件133的第三載件滑動部的數量可以是四個,如第2A圖所示第三載件133的四個圓形虛線。然,本發明實施例不限制第三載件滑動部的數量及/或配置位置。
請參照第3圖,其繪示第1A圖之立體式載板130及立體式陽極組120的另一種姿態圖。由圖可知,以第一陽極121來說,藉由第一載件滑動部1311與第一支架滑動部141的相對位置調整,可調整各配置區域A1~A4 (繪示於第2B圖)相對支撐架140的距離。藉由相似的調整方式,第二陽極122及/或第三陽極123相對被鍍物W1可調整成不同的傾斜姿態,如第3圖所示。在另一實施例中,第一陽極121、第二陽極122與第三陽極123之至少一者相對被鍍物W1可調整成傾斜的姿態,而其它者相對被鍍物W1可調整成平行的姿態。本發明實施例不限定第一陽極121、第二陽極122及/或第三陽極123的姿態,其可視所設計的被鍍物W1的鍍膜厚度分布而定。
請參照第4圖,其繪示往第二方向X觀看到的第1A圖之搖槳150的示意圖。搖槳150與立體式陽極組120 (繪示於第1A圖)沿第二方向X排列。驅動器160用以驅動搖槳150沿第一方向Y與第三方向Z至少一者運動,其中第三方向Z與第一方向Y實質上垂直。由於搖槳150沿第一方向Y與第三方向Z至少一者運動,可擾動電鍍液L1,以調節離子反應效率,提供被鍍物W1表面足夠的正離子,或移除氣泡等副產物 。此外,驅動器160例如是馬達,其可透過驅動機構155驅動搖槳150沿第一方向Y與第三方向Z至少一者運動。此處的驅動機構155例如是齒條齒輪組、蘇格蘭軛或其它合適的機構。
如第4圖所示,搖槳150包括連接件151及至少一擾動槳152。連接件151沿第三方向Z延伸。擾動槳152連接於連接件151且沿第一方向Y延伸。前述驅動機構155連接於連接件151,以帶動擾動槳152沿第一方向Y與第三方向Z至少一者運動。
如第4圖所示,各擾動槳152具有至少一導電區152C。導電區152C可吸引電力線,提高導電區152C周圍的電流密度,可增加被鍍物W1中對應導電區152C的區域的鍍膜厚度。換言之,透過此些擾動槳152的數個導電區152C的圖案設計,可獲致被鍍物W1的不同區域的不同鍍膜厚度。此外,本發明實施例不限定各擾動槳152的導電區152C的數量、尺寸及/或位置。另外,以製程來說,搖槳150可以是導電架,如金屬導電架,其外表面可以塗佈一層絕緣層,但露出一部分,其中露出的外表面部分即定義為導電區152C。在另一實施例中,整個搖槳150可以是絕緣搖槳,或者整個導電架的外表面塗佈一層絕緣層而不露出任何導電區。
請參照第5圖,其繪示第4圖之擾動槳152沿方向5-5’的剖視圖。擾動槳152包括第一板片1521及第二板片1522。第一板片1521具有第一端1521a與第二端1521b。第一板片1521相距立體式陽極組120(未繪示於第5圖)的距離H1自第一板片1521的第二端1521b往第一端1521a的方向漸短。即,第一板片1521相距被鍍物W1的距離H2自第一板片1521的第一端1521a往第二端1521b的方向漸短。如此,當擾動槳152往-Z方向移動時,電鍍液L1相對往+Z方向移動,使電鍍液L1從較大空間的距離H2被擠壓至較小空間的距離H2,以達到擾動電鍍液L1的效果,進而提高離子交換效率,以提供被鍍物W1表面足夠的正離子。
此外,如第5圖所示,第一板片1521比第二板片1522遠離立體式陽極組120,即第一板片1521比第二板片1522靠近被鍍物W1。第二板片1522具有第三端1522a與第四端1522b,第一板片1521的第一端1521a與第二板片1522的第三端1522a連接。第二板片1522相距立體式陽極組120的距離H3自第二板片1522的第四端1522b往第三端1522a漸長,即第二板片1522相距被鍍物W1的距離H4自第二板片1522的第三端1522a往第四端1522b漸短。如此,第一板片1521與第二板片1522連接成例如是V字型,V字型的空間(即第一板片1521與第二板片1522之間的空間)內可容納電鍍液L1。
此外,第一板片1521具有貫孔1521r。如此,當擾動槳152往+Z方向移動時,第一板片1521與第二板片1522之間的電鍍液L1被迫從貫孔1521r擠出,以擾動第一板片1521與被鍍物W1之間的電鍍液L1,進而提高離子交換效率,以提供被鍍物W1表面足夠的正離子。
此外,在另一實施例中,擾動槳152可以具有實心剖面,如多邊形、圓形或橢圓形等,其中多邊形例如是菱形、矩形等。在其它實施例中,搖槳150可改以後述的均流板170或170’取代,以提供均流效果。在另一實施例中,第4圖之搖槳150的擾動槳152可具有類似或同於後述蜂巢孔(如170a、270a1及/或270a2)的蜂巢結構,以提供均流效果。
如第1A及6A及6B圖所示,第6A圖繪示第1A圖之均流板170的俯視圖,而第6B圖繪示另一實施例之均流板270的俯視圖。如第1A圖所示,均流板170配置在立體式陽極組120的下方。例如,電解槽105的底板1051具有一開口1051a。均流板170位於電解槽105的開口1051a與立體式陽極組120之間,例如,開口1051a與立體式陽極組120沿第一方向Y排列。如第6A圖所示,均流板170具有數個蜂巢孔170a,可擾動通過的電鍍液L1,以提高離子交換效率。
如第6B圖所示,另一實施例之均流板270具有數個蜂巢孔270a。蜂巢孔270a的壁厚t1與第6A圖的蜂巢孔170a的壁厚不同。且,第6B的蜂巢孔270a的內徑d1也可與第6A圖的蜂巢孔170a的內徑不同。比較第6A及6B圖,第6B圖的蜂巢孔270a的壁厚t1大於第6A圖的蜂巢孔170a的壁厚,使蜂巢孔270a的內徑d1大於蜂巢孔170a的內徑。綜上可知,本發明實施例之均流板的蜂巢孔可具有不同壁厚及/或內徑,以改變通過此些蜂巢孔的電鍍液L1的流速,進而可控制形成在被鍍物W1上的鍍膜厚度。
請參照第7圖,其繪示依照本發明另一實施例之均流板170’的示意圖。均流板170’具有數個第一蜂巢孔170a1及數個第二蜂巢孔170a2,其中第一蜂巢孔170a1的分布密度與第二蜂巢孔170a2的分布密度相異。如圖所示,第一蜂巢孔170a1的分布密度大於第二蜂巢孔170a2的分布密度。透過蜂巢孔分布密度的差異,可讓通過均流板170’不同區域的電鍍液L1具有不同的流速,以控制形成在被鍍物W1上的鍍膜厚度。此外,第一蜂巢孔170a1的內徑與第二蜂巢孔170a2的內徑可相異,以達到類似的效果。由上可知,本發明實施例的均流板的數個蜂巢孔在不同區域可以有不同密度及/或不同內徑,使通過此些蜂巢孔的電鍍液L1的流速不同,以控制形成在被鍍物W1上的鍍膜厚度。
請參照第8A及8B圖,第8A圖繪示依照本發明另一實施例之立體式載板230、支撐架240及立體式陽極組120的示意圖,而第8B圖繪示往視角V1觀看到的第8A圖之立體式陽極組120的示意圖。
立體式載板230包括第一載件231、第二載件232及第三載件233。在本實施例中,第一載件231、第二載件232及第三載件233可沿第一方向Y及/或第三方向Z相對支撐架240移動,以調整第一陽極121、第二陽極122及第三陽極123相對被鍍物W1的位置,以控制形成在被鍍物W1上的鍍膜厚度。
請參照第9圖,其繪示依照本發明另一實施例之立體式載板330、支撐架340及立體式陽極組120的示意圖。
立體式載板330包括第一連接凸緣331、第二連接凸緣332、第三連接凸緣333、第四連接凸緣334、第四連接凸緣334、第一連接桿335、第二連接桿336、第五連接凸緣337、第六連接凸緣338及至少一固定元件339。第一連接凸緣331及第三連接凸緣333分別連接於(如固定於)第一陽極121的相對二側。第二連接凸緣332及第四連接凸緣334分別連接於第二陽極122的相對二側。第一連接桿335連接於支撐架340且穿過第一連接凸緣331及第二連接凸緣332,以串接第一陽極121與第二陽極122。第二連接桿336連接於支撐架340且穿過第三連接凸緣333及第四連接凸緣334,以串接第一陽極121與第二陽極122。由於第一連接桿335及第二連接桿336分別串接立體式陽極組120的相對二側,使立體式陽極組120的此些陽極的相對位置關係更加穩定。在另一實施例中,若無必要,可省略第一連接桿335與第二連接桿336之一者。
此外,第五連接凸緣337及第六連接凸緣338分別連接第三陽極123的相對二側。第一連接桿335及第二連接桿336可分別穿過第五連接凸緣337及第六連接凸緣338,以串接第一陽極121、第二陽極122與第三陽極133。
如第9圖所示,第一連接桿335具有數個固定孔335a,而第一連接凸緣331具有固定孔331a。藉由調整第一連接桿335與第一連接凸緣331的相對位置,可讓第一連接凸緣331的固定孔331a與第一連接桿335的其中一固定孔335a在位置上相對應。當第一連接桿335與第一連接凸緣331的相對位置決定後,固定元件339可穿過相對應之固定孔331a與固定孔335a,以固定第一陽極121與第一連接桿335的相對位置。
此外,第一連接桿335與第二連接凸緣332的連接關係同於第一連接桿335與第一連接凸緣331的連接關係,於此不再贅述。第一連接桿335與第五連接凸緣337的連接關係同於第一連接桿335與第一連接凸緣331的連接關係,於此不再贅述。另,第二連接桿336具有類似或相似於第一連接桿335的結構。第二連接桿336與第三連接凸緣333、第四連接凸緣334及第六連接凸緣338的連接關係同於第一連接桿335與第一連接凸緣331的連接關係,於此也不再贅述。
請參照第10圖,其繪示依照本發明另一實施例之電鍍設備400的示意圖。電鍍設備400包括電解槽105、電源供應器106、過濾器110、幫浦115、立體式陽極組120、立體式載板130、支撐架140、搖槳150、驅動機構155及驅動器160。本發明實施例之電鍍設備400具有與電鍍設備100類似或相同特徵,不同處在於電鍍液L1的流動方向,以及立體式陽極組120及立體式載板130與被鍍物W1的高低位置不同。
如第10圖所示,支撐架140的底部140b及立體式陽極組120的底部120b與電解槽105的底板1051之間具有一距離,以提供電鍍液L1一下流路通道。此外,被鍍物W1的頂部W11低於立體式陽極組120的頂部120u,以提供電鍍液L1一上流路通道。此外,電解槽105更包括側板1052,其中側板1052具有開口1052a。如此,電鍍液L1從開口1052a側向地進入電解槽105內,依序經由下流路通道及上流路通道後,流出電解槽105。由於電鍍液L1經過立體式陽極組120的底部120b,因此可擾動立體式陽極組120的底部120b與底板1051之間的電鍍液,使電鍍液充分循環,以提升離子交換效率。
請參照第11圖,其繪示依照本發明另一實施例之第一陽極121’的示意圖。第一陽極121’具有第一表面121s1及第二表面121s2,其中第一陽極121’以第一表面121s1配置在第一載件131上。第二表面121s2相對第一表面121s1傾斜,使第二表面121s2的各點與被鍍物W1的相對距離不同,以控制形成在被鍍物W1上的鍍膜厚度。第一表面121s1例如是平面、曲面或其組合。第一表面121s1可具有中間區域相對邊緣區域突出的輪廓,使第一表面121s1的中間區域相距被鍍物W1的距離小於邊緣區域相距被鍍物W1的距離。或者,第一表面121s1可具有中間區域相對邊緣區域凹陷的輪廓,使第一表面121s1的中間區域相距被鍍物W1的距離大於邊緣區域相距被鍍物W1的距離。此外,第一表面121s1的幾何型態可視被鍍物W1的鍍膜設計而定,本發明實施例不限制第一表面121s1的幾何型態。此外,第二陽極121及第三陽極123可具有類似或同於第一陽極121’的表面特徵,於此不再贅述。
綜上可知,本發明實施例之電鍍設備包括立體式陽極組。立體式陽極組包括數個陽極,此些陽極與被鍍物之間的距離不同,因此可使被鍍物上的鍍膜厚度均勻化,或獲得所欲的鍍膜厚度設計。在一實施例中,立體式陽極組的各陽極相對被鍍物的相對距離及/或角度係可調整。在另一實施例中,立體式陽極組的陽極具有一表面,此表面的數點與被鍍物W1的相對距離可不同,其中此表面例如是平面、曲面或其組合。在其它實施例中,透過電鍍液的入口可設在電解槽的側板,使電鍍液流經立體式陽極組的底部及被鍍物的頂部,使電鍍液充分循環,提升離子交換效率。
綜上所述,雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾。因此,本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100、400‧‧‧電鍍設備
105‧‧‧電解槽
1051‧‧‧底板
1052‧‧‧側板
1051a、1052a‧‧‧開口
106‧‧‧電源供應器
1061‧‧‧第一可變電阻
1062‧‧‧第二可變電阻
1063‧‧‧第三可變電阻
107、339‧‧‧固定元件
110‧‧‧過濾器
115‧‧‧幫浦
120‧‧‧立體式陽極組
120b、140b‧‧‧底部
120u、W11‧‧‧頂部
121、121’‧‧‧第一陽極
121s1‧‧‧第一表面
121s2‧‧‧第二表面
1211‧‧‧網目結構
1212‧‧‧可溶性陽極顆粒
1211a‧‧‧網目
122‧‧‧第二陽極
122a、123a‧‧‧貫穿部
123‧‧‧第三陽極
130、230、330‧‧‧立體式載板
131、231‧‧‧第一載件
132、232‧‧‧第二載件
133、233‧‧‧第三載件
1311‧‧‧第一載件滑動部
140、240、340‧‧‧支撐架
141‧‧‧第一支架滑動部
141a、1311a、331a、335a‧‧‧固定孔
150‧‧‧搖槳
151‧‧‧連接件
152‧‧‧擾動槳
1521‧‧‧第一板片
1521a‧‧‧第一端
1521b‧‧‧第二端
1521r‧‧‧貫孔
1522‧‧‧第二板片
1522a‧‧‧第三端
1522b‧‧‧第四端
152C‧‧‧導電區
155‧‧‧驅動機構
160‧‧‧驅動器
170、170’、270‧‧‧均流板
170a、270a‧‧‧蜂巢孔
170a1‧‧‧第一蜂巢孔
170a2‧‧‧第二蜂巢孔
331‧‧‧第一連接凸緣
332‧‧‧第二連接凸緣
333‧‧‧第三連接凸緣
334‧‧‧第四連接凸緣
335‧‧‧第一連接桿
336‧‧‧第二連接桿
337‧‧‧第五連接凸緣
338‧‧‧第六連接凸緣
d1‧‧‧內徑
H1、H2、H3、H4‧‧‧距離
L1‧‧‧電鍍液
R1、R2、R3‧‧‧區域
V1‧‧‧視角
W1‧‧‧被鍍物
X‧‧‧第二方向
t1‧‧‧壁厚
Y‧‧‧第一方向
Z‧‧‧第三方向
第1A圖繪示依照本發明一實施例之電鍍設備的示意圖。 第1B圖繪示往視角V1觀看到的第1A圖之立體式陽極組的視圖。 第1C圖繪示往視角V1觀看到的第1A圖之第一陽極的結構示意圖。 第2A圖繪示往視角V1觀看到的第1A圖之立體式載板的示意圖。 第2B圖繪示第1A圖的區域2B’的放大圖。 第3圖繪示第1A圖之立體式載板及立體式陽極組的另一種姿態圖。 第4圖繪示往第二方向X觀看到的第1A圖之搖槳的示意圖。 第5圖繪示第4圖之擾動槳沿方向5-5’的剖視圖。 第6A圖繪示第1A圖之均流板的俯視圖。 第6B圖繪示另一實施例之均流板的俯視圖。 第7圖繪示依照本發明另一實施例之均流板的示意圖。 第8A圖繪示依照本發明另一實施例之立體式載板、支撐架及立體式陽極組的示意圖。 第8B圖繪示往視角V1觀看到的第8A圖之立體式陽極組的示意圖。 第9圖繪示依照本發明另一實施例之立體式載板、支撐架及立體式陽極組的示意圖。 第10圖繪示依照本發明另一實施例之電鍍設備的示意圖。 第11圖繪示依照本發明另一實施例之第一陽極的示意圖。

Claims (20)

  1. 一種電鍍設備,包括: 一電解槽;以及 一立體式陽極組,配置在該電解槽內,且包括: 一第一陽極,沿一第一方向延伸; 一第二陽極,沿該第一方向延伸,其中該第一陽極與該第二陽極沿一第二方向排列且彼此間隔,其中該第一方向與該第二方向實質上垂直。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,其中該第一陽極與該第二陽極沿該第二方向的投影係不互相重疊。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,其中該第一陽極與該第二陽極之一者為環形陽極。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一支撐架; 一第一載件,承載該第一陽極且沿該第二方向可平移地連接於該支撐架;以及 一第二載件,承載該第二陽極且沿該第二方向可平移地連接於該支撐架。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之電鍍設備,其中該支撐架包括一第一支架滑動部及一第二支架滑動部,該第一載件包括一第一載件滑動部,該第二載件包括一第二載件滑動部,該第一支架滑動部、該第二支架滑動部、該第一載件滑動部及該第二載件滑動部皆沿該第二方向延伸,其中該第一支架滑動部與該第一載件滑動部可滑動地連接,且該第二支架滑動部與該第二載件滑動部可滑動地連接。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一支撐架; 一第一連接凸緣,連接於該第一陽極; 一第二連接凸緣,連接於該第二陽極;以及 一第一連接桿,連接於該支撐架且穿過該第一連接凸緣及該第二連接凸緣,以連接該第一陽極與該第二陽極。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之電鍍設備,其中該第一連接凸緣連接於該第一陽極的一側,該第二連接凸緣連接於該第二陽極的一側,該電鍍設備更包括: 一第三連接凸緣,連接於該第一陽極之相對另一側; 一第四連接凸緣,連接於該第二陽極之相對另一側;以及 一第二連接桿,連接於該支撐架且穿過該第三連接凸緣及該第四連接凸緣,以連接該第一陽極與該第二陽極。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一搖槳,與該立體式陽極組沿該第二方向排列;以及 一驅動器,用以驅動該搖槳沿該第一方向與一第三方向至少一者運動,其中該第三方向與該第一方向實質上垂直。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一搖槳,與該立體式陽極組沿該第二方向排列,且包括: 一連接件,沿該第三方向延伸;以及 一擾動槳,連接於該連接件且沿該第一方向延伸,該擾動槳具有一導電區。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一搖槳,與該立體式陽極組沿該第二方向排列,且包括: 一連接件,沿該第三方向延伸;以及 一擾動槳,連接於該連接件且沿該第一方向延伸,該擾動槳包括一第一板片,該第一板片具有一第一端與一第二端,該第一板片相距該立體式陽極組的距離自該第一板片的該第二端的方向往該第一端漸短。
  11. 如申請專利範圍第10項所述之電鍍設備,其中該擾動槳更包括一第二板片,該第一板片比該第二板片遠離該立體式陽極組;該第二板片具有一第三端與一第四端,該第一板片的該第一端與該第二板片的該第三端連接,且該第二板片相距該立體式陽極組的距離自該第二板片的該第四端往該第三端的方向漸長。
  12. 如申請專利範圍第10項所述之電鍍設備,其中該第一板片具有一貫孔。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一均流板,配置在該立體式陽極組與該電解槽的一底板的一開口之間,且具有複數個蜂巢孔。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之電鍍設備,其中該些蜂巢孔在不同區域的密度相異。
  15. 如申請專利範圍第13項所述之電鍍設備,其中該些蜂巢孔在不同區域的內徑相異。
  16. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,其中該第一陽極及該第二陽極各包括一網目結構,該第一陽極比該第二陽極靠近一被鍍物放置區,該第一陽極的該網目結構的網目內徑小於該第二陽極的該網目結構的網目內徑。
  17. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,其中該電解槽包括一側板,該側板具有一允許讓電鍍液進入該電解槽內的開口,且該立體式陽極組的底部與該電解槽之底板之間具有一距離。
  18. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,其中該第一陽極具有相對之一第一表面與一第二表面,該第二表面相對該第一表面傾斜。
  19. 如申請專利範圍第4項所述之電鍍設備,其中該第一陽極具有相對之一第一表面與一第二表面,該第一陽極以該第一表面配置在該第一載件上,該第二表面的中間區域相距一被鍍物放置區的距離短於該第二表面的邊緣區域相距該被鍍物放置區的距離。
  20. 如申請專利範圍第1項所述之電鍍設備,更包括: 一搖槳,與該立體式陽極組沿該第二方向排列,且包括: 一連接件,沿該第三方向延伸;以及 一擾動槳,連接於該連接件且沿該第一方向延伸,該擾動槳具有至少一蜂巢孔。
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