TWM555362U - 電鍍輔助板及應用其之電鍍系統 - Google Patents

Description

電鍍輔助板及應用其之電鍍系統

本創作係有關一種電鍍輔助板及應用其之電鍍系統，特別是一種以更為積極、可靠之手段來調整電鍍時之電場分佈以及金屬離子擴散路徑的電鍍輔助板。

電鍍係為一種電解反應，利用電解反應把一種金屬鍍在另一種金屬的表面上，以形成一層金屬外殼薄膜，我們將這樣的過程稱為電鍍。而電鍍技術廣泛的應用在各種不同用途與不同領域上。從早期以美觀為主的裝飾用途，如於容器表面上形成一具有光澤的薄膜，漸漸發展到現今應用於高科技產業，如半導體的製程中，是現今科技產業中不可或缺的一項技術。

一般而言，電鍍技術的流程包括提供一電鍍槽、一電鍍液、一陰極、一陽極、一待鍍物以及一電鍍金屬。其中電鍍液、陰極、陽極、待鍍物以及電鍍金屬皆位於電鍍槽內，而待鍍物與陰極耦接，電鍍金屬則與陽極耦接。如此配置，當施予陰極與陽極間一外加電壓V時，電鍍金屬會析出電鍍金屬離子M+，而待鍍物表面則會聚集電子e-。此帶正電荷的電鍍金屬離子M+會被電子e-所帶的負電荷所吸引，以電鍍液做為介質(medium)而流向待鍍物表面。當電鍍金屬離子M+抵達待鍍物表面時，便會與電子e-結合而形成金屬原子，並沉積於待鍍物表面，形成電鍍金屬層。當電鍍金屬完全析出或是停止施加外加電壓V時，電鍍反應便停止。

目前已知的電鍍系統，則可依電鍍金屬提供方式區分為溶解性陽極電鍍系統及不溶解陽極電鍍系統。在不溶解性陽極電鍍系統中，當電流從陽極頂部流至陽極底部時，其電流量會因電阻而遞減，換言之，在陽極頂部處，由於通過此處的電流較大，因此較多的金屬離子被分解釋放，而通過下方部位所通過的電流較通過上方部位的電流少，因此較少的金屬離子被分解釋放出來，進而在電鍍槽中產生電力線分佈並不均勻(即電流的密度分佈不均勻)的現象。此現象將造成產品位在電力線密度較高即電流密度大的區域處鍍層相對較厚，反之產品位在電力線密度較低即電流密度小的區域則鍍層相對較薄，因此使得產品表面鍍層的膜厚均勻度不佳，厚度不均勻之鍍層極可能影響後續製程或產品效能，進而降低整體製程良率。

故市面上出現一種以多個陽極分別供電並分別產生所需的電流密度，來達到均勻電鍍之作用，如台灣專利公告號第I530593號，其主要提供一種多陽極控制裝置，搭配一陰極連接件使用，所述陰極連接件電性連接於基板的一邊，該多陽極控制裝置包括：一陽極模組，包含彼此並排且之間相隔一間距的多數陽極網；以及一供電控制模組，分別電性連接於各該陽極網，該供電控制模組對各該陽極網分別供電，以在各該陽極網分別產生所需的電流密度，能使各陽極網所分別獲得的電流密度，與基板不同位置所分別獲得的陰極電彼此互補，從而對基板進行均勻電鍍。

上述習有多陽極技術雖然可以達到均勻電鍍之功效，及控制電場分佈；然，整體多陽極控制裝置結構組成較為複雜，成本也相對較高；再者，由於陽極網的邊際效應，使得陽極網邊際的電流密度反而會增加，所以實際上仍需視情況利用供電控制模組分別調整提供給各陽極網的電流，如此造成了使用上之不便利性。

有鑑於此，本創作提供一種電鍍輔助板及應用其之電鍍系統，特別是一種以更為積極、可靠之手段來調整電鍍時之電場分佈以及金屬離子擴散路徑的電鍍輔助板，為其主要目的者。

本創作中電鍍輔助板係應用於電鍍系統，為不導電之板體，且該板體具有至少一側面，該至少一側面處係設有一遮蔽件，該遮蔽件係突出於該板體表面一預定高度。

在一優選具體實施方案中，進一步設有一驅動模組，係與該電鍍輔助板連結，可帶動該電鍍輔助板位移。

在一優選具體實施方案中，所述遮蔽件利用一固定件固定於該板體。

根據本創作的第二方面，其提供一種電鍍系統，適於對一待鍍物進行電鍍，該電鍍系統係至少包含： 一電鍍槽，係供裝設電鍍液； 一陰極，設置於該電鍍槽並耦接該待鍍物； 至少一陽極，設置於該電鍍槽並耦接一電鍍金屬，該陽極面對該待鍍物的一待鍍面；以及 至少一上述之電鍍輔助板，位於該陽極與該待鍍面之間，該電鍍輔助板之該遮蔽件係朝向於該陽極，該遮蔽件係充填於該電鍍輔助板與該陽極間之間隙。

在一優選具體實施方案中，所述電鍍槽之內側面設有至少一導槽，以供插設該電鍍輔助板。

在另一優選具體實施方案中，所述電鍍輔助板具有可供深入於該導槽之導引邊部，以及由該導引邊部延伸至該電鍍槽內部之遮蔽部，而該遮蔽件則位於該遮蔽部之至少一側。

在更優選具體實施方案中，所述遮蔽部進一步設有至少一開口，該開口可供該陽極部分外露。

除非另外說明，否則本申請說明書和申請專利範圍中所使用的下列用語具有下文給予的定義。請注意，本申請說明書和申請專利範圍中所使用的單數形用語「一」意欲涵蓋在一個以及一個以上的所載事項，例如至少一個、至少二個或至少三個，而非意味著僅僅具有單一個所載事項。此外，申請專利範圍中使用的「包含」、「具有」等開放式連接詞是表示請求項中所記載的元件或成分的組合中，不排除請求項未載明的其他組件或成分。亦應注意到用語「或」在意義上一般也包括「及/或」，除非內容另有清楚表明。本申請說明書和申請專利範圍中所使用的用語「約(about)」，是用以修飾任何可些微變化的誤差，但這種些微變化並不會改變其本質。

請參閱第1圖所示，本創作之電鍍輔助板10係為不導電之板體11，本創作之電鍍輔助板係應用於電鍍系統中，板體11需由可以抵抗電鍍液之侵蝕及不產生電鍍反應的材料所製成。這些材料具有介電特性或是為包含有介電性塗覆的複合材料，以防止電鍍槽中誘發的電位變化造成金屬電鍍在電鍍輔助板上，或是與電鍍輔助板產生化學反應而污染電鍍液。電鍍輔助板的材料包含但不限於是塑膠，例如聚丙烯、聚乙烯、聚氯乙烯、氟聚物、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)或是聚偏二氟乙烯(polyvinylidene fluoride)。該材料可以阻擋電力線通過。所述電力線為電鍍液中正負離子在外電場作用下作定向移動的軌道稱為電力線。

而該板體11具有至少一側面111，如圖所示之實施例中，板體11係為矩形而具有四個側面111，雖然本說明書說明且圖式繪示板體11的形狀為矩形，但該板體可具有所屬技術領域中具有通常知識者已知的各種其他形狀。該至少一側面111處係設有一遮蔽件12，該遮蔽件12係突出於該板體11表面一預定高度。在一個優選具體實施方案中，該遮蔽件12可以與該板體11一體製成。

另一個優選具體實施方案中，如第2圖所示，該遮蔽件12利用一固定件13固定於該板體11。雖然本說明書說明且圖式繪示固定件13係構形為螺絲的結構，但該固定件13可具有所屬技術領域中具有通常知識者已知的各種其他固定結構。而該遮蔽件12與板體11同樣為不導電材質，且可如上述板體具體實施方案中所提及之材料所製成。

本創作之電鍍輔助板適於設置在電鍍系統中，用以調整電鍍時之電場分佈，以更為積極、可靠之手段阻止特定區域的金屬鍍層沉積。所述電鍍系統的具體實施方案中，如第3圖所示，該電鍍系統係至少包含：一電鍍槽21係供裝設電鍍液22；一陰極23設置於該電鍍槽21並耦接該待鍍物30；至少一陽極24設置於該電鍍槽21並耦接一電鍍金屬25，該陽極24面對該待鍍物30的一待鍍面31；陰極23與至少一陽極24設置於電鍍槽21中，並至少局部浸泡於電鍍液22中。另有電源(圖未示)分別供應至少一陽極24與陰極23正電與負電，以形成通過電鍍液22的電力線。陽極24可包含溶解性陽極及不溶解性陽極，在一個優選具體實施方案中，陽極24為不溶解性陽極，其用來傳導電流，而電鍍液22中之金屬離子則是以金屬鹽來補充。不溶解性陽極通常為良好的導電體，且不會與電鍍液22產生化學作用而污染溶液也不會受到侵蝕。

在一個優選具體實施方案中，係可將成對的陽極24分別置於電鍍槽21內部相對於陰極23之兩側，且於陰極23吊掛欲進行電鍍的待鍍物30，使分別在陽極24與陰極23輸入電流之狀態下，令電鍍槽21內之電鍍液22因電解反應而析出沈積於陰極端的金屬離子，待金屬離子於陰極23還原後，形成沉積鍍著於待鍍物30表面的金屬鍍層40。

電鍍輔助板10係設置於電鍍槽21中，位於該陽極24與該待鍍面31之間，該電鍍輔助板10係將陽極24部分遮蔽而形成遮蔽區域24a以及非遮蔽區域24b，該電鍍輔助板10之板體11係略平行於該待鍍面31，且該電鍍輔助板10之遮蔽件12係朝向於該陽極24，該遮蔽件12係充填於該電鍍輔助板10與該陽極24間之間隙。在一個優選具體實施方案中，該遮蔽件12之高度可以等於略小於該電鍍輔助板10與該陽極24間之間隙大小，且遮蔽件12之長度可等於略小於該電鍍槽21之寬度。

其中，電鍍輔助板10之板體11可阻擋部分電力線的形成，改變了原有電場分佈，加了電鍍輔助板10之後電鍍槽21內電場分佈之變化，特別是待鍍物30部分之電力線已改善不再較其他部位為密，如此使得非遮蔽區域24b上電流分佈均勻，電鍍所得之電鍍金屬層厚度也可均勻一致；反之，遮蔽區域24a處不形成電力線，且遮蔽件12係充填於該電鍍輔助板10與該陽極24間之間隙，可阻斷遮蔽區域24a處的電鍍液與電鍍槽其他區域的電鍍液間的流動，讓遮蔽區域24a處造成電鍍液的停滯，且遮蔽區域24a處的電解反應難度大為提升，使相對該遮蔽區域24a之待鍍面31無法有金屬鍍層沉積，讓被鍍物之待鍍面31可局部沉積有金屬鍍層40，使用者更可依其所需改變電鍍輔助板的形狀或相對於待鍍面之位置，而得到具有特定位置或特定形狀之金屬鍍層。而上述之電鍍輔助板10除了可達到調整電鍍時之電場分佈的能力外，亦可調整電鍍液中金屬離子的擴散路徑，讓被鍍物表面金屬鍍層的膜厚均勻度提升，達到均勻電鍍之目的。

在一個優選具體實施方案中，該電鍍槽21之內側面設有至少一導槽211，如第4圖所示，以供插設該電鍍輔助板10，該電鍍輔助板10之板體11二相對之邊側具有可供深入於該導槽211之導引邊部112，以及由該導引邊部112延伸至該電鍍槽內部之遮蔽部113，而該遮蔽件12則位於該遮蔽部113之至少一側，該遮蔽部113進一步設有至少一開口114，該開口114可供該陽極24之非遮蔽區域24b外露，該開口114的位置及形狀則相對於待鍍面進行電鍍後所形成金屬鍍層的位置及形狀。在上述優選具體實施方案中，板體11二相對邊側之導引邊部112係插置於導槽211內，而板體11之遮蔽部113底側則接觸電鍍槽21之底面，故僅需於板體11之遮蔽部113頂側設置一遮蔽件12，即可阻隔遮蔽部113相對之遮蔽區域24a處的電鍍液與電鍍槽其他區域的電鍍液間的流動。在另一個優選具體實施方案中，本創作板體11之遮蔽部113若移動至其他位置，例如往上移動時，此時遮蔽部113底側並無接觸電鍍槽21之底面，而讓遮蔽區域24a於該處的電鍍液與電鍍槽其他區域的電鍍液間構成相通狀態，則可進一步於遮蔽部113底側設置有遮蔽件12，藉以達到完全阻隔之作用。

在另一個優選具體實施方案中，本創作進一步設有一驅動模組(圖未示)，係與該電鍍輔助板連結，可帶動該電鍍輔助板位移，藉以自動化的方式來改變電鍍輔助板相對於待鍍面之位置。

以上諸實施例僅供說明本創作之用，而並非對本創作的限制，相關領域的技術人員，在不脫離本創作的技術範圍做出的各種變換或變化也應屬於本創作的保護範疇。

10‧‧‧電鍍輔助板
11‧‧‧板體
111‧‧‧側面
112‧‧‧導引邊部
113‧‧‧遮蔽部
114‧‧‧開口
12‧‧‧遮蔽件
13‧‧‧固定件
21‧‧‧電鍍槽
211‧‧‧導槽
22‧‧‧電鍍液
23‧‧‧陰極
24‧‧‧陽極
24a‧‧‧遮蔽區域
24b‧‧‧非遮蔽區域
25‧‧‧電鍍金屬
30‧‧‧待鍍物
31‧‧‧待鍍面
40‧‧‧金屬鍍層

第1圖所示為本創作中電鍍輔助板第一實施例之結構立體圖； 第2圖所示為本創作中電鍍輔助板第二實施例之立體分解圖； 第3圖所示為本創作中電鍍系統之結構示意圖；以及 第4圖所示為本創作中電鍍輔助板第二實施例之結構立體圖。

10‧‧‧電鍍輔助板

11‧‧‧板體

111‧‧‧側面

12‧‧‧遮蔽件

13‧‧‧固定件

Claims (8)

1. 一種電鍍輔助板，適於設置在一電鍍系統，為不導電之板體，且該板體具有至少一側面，該至少一側面處係設有一遮蔽件，該遮蔽件係突出於該板體表面一預定高度。
2. 如請求項1所述之電鍍輔助板，其中，進一步設有一驅動模組，係與該電鍍輔助板連結，可帶動該電鍍輔助板位移。
3. 如請求項1或2所述之電鍍輔助板，其中，該遮蔽件利用一固定件固定於該板體。
4. 一種電鍍系統，適於對一待鍍物進行電鍍，該電鍍系統係至少包含： 一電鍍槽，係供裝設電鍍液； 一陰極，設置於該電鍍槽並耦接該待鍍物； 至少一陽極，設置於該電鍍槽並耦接一電鍍金屬，該陽極面對該待鍍物的一待鍍面；以及 至少一如請求項1或2所述之電鍍輔助板，位於該陽極與該待鍍面之間，該電鍍輔助板之該遮蔽件係朝向於該待鍍面，該遮蔽件係充填於該電鍍輔助板與該待鍍面間之間隙。
5. 如請求項4所述之電鍍系統，其中，該遮蔽件利用一固定件固定於該板體。
6. 如請求項4所述之電鍍系統，其中，該電鍍槽之內側面設有至少一導槽，以供插設該電鍍輔助板。
7. 如請求項6所述之電鍍系統，其中，該電鍍輔助板具有可供深入於該導槽之導引邊部，以及由該導引邊部延伸至該電鍍槽內部之遮蔽部，而該遮蔽件則位於該遮蔽部之至少一側。
8. 如請求項7所述之電鍍系統，其中，該遮蔽部進一步設有至少一開口，該開口可供該待鍍面外露。