TW201921061A - 偏振光照射裝置及偏振光照射方法 - Google Patents

Abstract

[課題]提供偏振光照射裝置及偏振光照射方法，其不必使裝置大型化，便可從斜向來對工件照射偏振光。 　　[解決手段]偏振光照射裝置(100)，具備：光源(11)；導光纖維(20)，其具有供來自光源(11)的光射入的射入端(23)、沿著一方向來配置且將從射入端(23)射入的光予以射出的射出端(22)；透鏡單元(30)，其具有偏光元件(34)，將偏振光以沿著上述一方向形成線狀的光照射區域(34)的方式來射出，該偏振光是將從導光纖維(20)之射出端(22)所射出的光藉由偏光元件(34)來偏光而成；以及斜向照射機構(40)，其以對被處理物(工件(W))的光照射面從斜向來照射偏振光的方式，來將透鏡單元(30)以任意的角度來固定。

Description

偏振光照射裝置及偏振光照射方法

本發明，是關於對工件照射偏振光的偏振光照射裝置及偏振光照射方法。

近年，關於以液晶面板為首之液晶顯示元件的配向膜，或是視角補償膜的配向層等之光配向處理，是採用有照射既定波長的偏振光來進行配向之稱之為光配向的技術。 　　作為進行上述般之光配向處理的裝置，例如在專利文獻1揭示有曝光裝置，其使光照射部傾斜，來從斜向對被處理物亦即工件(基板)照射光。且，於專利文獻2揭示有方法，其使支撐被處理物(基板)的固定器傾斜藉此使被處理物傾斜，來對被處理物照射斜向之光。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平10-154658號公報 　　[專利文獻2]日本特開2011-107731號公報

[發明所欲解決的課題]

如上述各專利文獻所記載般，從以前就在液晶面板(液晶基板)的製造工程中，進行有對基板從斜向來照射光的處理。且，近年，亦期望著對基板從斜向來照射偏振光。 　　但是，近年，液晶基板，是使邊長成為從2m到在此之上的大小，對這種大型的基板照射偏振光的裝置，其光照射部或用以支撐基板的平台，會伴隨著基板的大型化而成為大型且沈重者。於是，如上述各專利文獻所記載的技術般，在光照射部或使平台傾斜的構造，會讓用於此的傾斜機構成為大型者。因此，裝置全體會大型化，裝置的成本亦會變高。 　　於是，本發明的課題在於提供偏振光照射裝置及偏振光照射方法，其不必使裝置大型化，便可從斜向來對工件照射偏振光。 [用以解決課題的手段]

為了解決上述課題，本發明之偏振光照射裝置的一態樣，是具備：光源；導光纖維，其具有供來自前述光源的光射入的射入端、沿著一方向來配置且將從前述射入端射入的光予以射出的射出端；透鏡單元，其具有偏光元件，將偏振光以沿著前述一方向形成線狀的光照射區域的方式來射出，該偏振光是將從前述導光纖維之前述射出端所射出的光藉由前述偏光元件來偏光而成；以及斜向照射機構，其以對被處理物的光照射面從斜向來照射前述偏振光的方式，來將前述透鏡單元以任意的角度來固定。 　　如上述般，將透鏡單元固定成任意的角度，藉此對被處理物的光照射面從斜向來照射偏振光，故沒有必要使包含光源的光照射部全體傾斜，或是使保持被處理物的平台傾斜。於是，不必使裝置大型化，便可對被處理物的光照射面從斜向來照射偏振光。

且，上述的偏振光照射裝置中，前述導光纖維，是由將複數條纖維線以既定根數集束而成的複數條纖維束所構成，前述複數條纖維束的光射出側端部是在前述一方向並排配置而構成前述射出端亦可。該情況時，可容易且適當地形成沿著一方向延伸的射出端。 　　此外，上述的偏振光照射裝置中，複數具備前述光源，將分別對應於複數個前述光源來設置之前述導光纖維予以構成的前述複數條纖維束的光射出側端部，是以既定個數互相在前述一方向並排配置而構成前述射出端亦可。該情況時，即使是在複數個光源間存在有照度之差異的情況，亦可抑制光照射區域之照度的差異，來對被處理物照射均勻化的光。

且，上述的偏振光照射裝置中，前述導光纖維，是由將複數條纖維線予以集束成1條的1條纖維束所構成，前述1條纖維束的光射出側端部是以往前述一方向延伸的方式被集束而構成前述射出端亦可。該情況時，可容易且適當地形成沿著一方向延伸的射出端。 　　此外，上述的偏振光照射裝置中，前述透鏡單元，進一步具備：光學系統，其將從前述導光纖維的前述射出端所射出的光當成射入光，並使該射入光的照度均勻化；以及聚光透鏡，其將來自前述光學系統的射出光予以聚光，前述偏光元件，是將由前述聚光透鏡所聚光而成的光予以偏光亦可。 　　該情況時，可適當形成照度被均勻化且沿著一方向的光照射區域。此外，由於在偏光元件的射出側沒有設置其他的光學元件，便將由偏光元件所偏光過的偏振光直接照射至被處理物，故可抑制偏光軸之意料之外的旋轉，來適當地照射所期望的偏振光。

且，上述的偏振光照射裝置中，前述光學系統，是具有沿著前述一方向來配置之長邊的玻璃板亦可。該情況時，可用簡易的構造來使射入光的照度均勻化。 　　此外還有，上述的偏振光照射裝置中，前述聚光透鏡，為柱面透鏡亦可。該情況時，可用簡易的構造來適當地形成沿著一方向之線狀的光。 　　且，上述的偏振光照射裝置中，前述斜向照射機構，是構成為可調整前述透鏡單元對前述光照射面的角度亦可。該情況時，可調整從透鏡單元射出的光對被處理物之光照射面的射入角度。

此外，本發明之偏振光照射方法的一態樣，是含有：將來自光源的光，射入至導光纖維的射入端，並從沿著一方向配置的射出端來射出的步驟；將從前述導光纖維之前述射出端所射出的光，射入至具有偏光元件的透鏡單元，將該射入的光藉由前述偏光元件來偏光而成的偏振光，是以沿著前述一方向形成線狀的光照射區域的方式來射出的步驟；將前述透鏡單元以任意的角度來固定，而對被處理物的光照射面從斜向來照射前述偏振光的步驟。 　　如上述般，將透鏡單元固定成任意的角度，藉此對被處理物的光照射面從斜向來照射偏振光，故沒有必要使包含光源的光照射部全體傾斜，或是使保持被處理物的平台傾斜。於是，不必使裝置大型化，便可對被處理物的光照射面從斜向來照射偏振光。 [發明的效果]

根據本發明，不必使裝置大型化，便可從斜向來對工件照射偏振光。

以下，根據圖式來說明本發明的實施形態。 (第一實施形態) 　　圖1，是表示本實施形態之偏振光照射裝置100的概略構造圖。 　　偏振光照射裝置100，是具備：含有第一燈具(燈罩)10A、第二燈具(燈罩)10B、導光纖維20及透鏡單元30而構成的光照射部、斜向照射機構40、工件平台50。偏振光照射裝置100的被處理物亦即工件W，例如為在光照射面形成有光配向膜的矩形狀之基板。 　　偏振光照射裝置100，是一邊射出偏振光(偏光過的光)一邊使工件平台50藉由未圖示的搬送部來直線移動，對於藉由工件平台50來搬送之工件W的光照射面上所形成的光配向膜，照射上述偏振光來進行光配向處理。在本實施形態，偏振光照射裝置100，可實施對工件W的光照射面從斜向來照射偏振光的光配向處理。

第一燈具10A，如圖2所示般，具備：放射紫外線的光源11、鏡子12。第二燈具10B，具有與第一燈具10A相同的構造，故在此僅針對第一燈具10A的構造進行說明。 　　光源11，例如，可使用短弧型的超高壓水銀燈，或金屬鹵素燈等之燈，放射因應內部發光源之波長的紫外光。又，光源11，並不限定於燈，例如亦可使用LED或LD。光源11的種類，可因應必要的波長來適當選擇。

鏡子12，是將來自光源11的紫外線予以反射，並聚光於導光纖維20的射入端23。例如，鏡子12，是其剖面為楕圓形狀的碗(盆)狀聚光鏡，在光源11為燈的情況，其發光點是配置成與楕圓的第一焦點一致。又，在光源11為燈的情況，光源11，為水平點燈亦可，為垂直點燈亦可。 　　又，在本實施形態，雖針對光照射部具備2個燈具10A、10B的情況進行說明，但燈具的數量並不限定於上述。燈具的數量，是因應後述之光照射區域34的大小或照度等來適當設定。

導光纖維20，是各自對應燈具10A及10B來設置。導光纖維20，是將來自燈具10A、10B的光導引至透鏡單元30。導光纖維20，是由多數條細的纖維線21所構成，可柔軟地撓曲(具有可撓性)。導光纖維20的一端，是將導光後的光射出成點狀的射出端22，另一端，是供來自第一燈具10A及第二燈具10B的光射入的射入端23。 　　導光纖維20的纖維線21，是在導光纖維20的射入端23，配合由上述鏡子12所聚光之光的形狀，例如集束成1個圓形。另一方面，纖維線21，是在導光纖維20的射出端22，沿著一方向被集束成線狀(亦包含帶狀)。

在本實施形態，導光纖維20，是由將纖維線21以既定根數集束而成的複數條纖維束所構成，複數條纖維束的光射出側端部，具有在對於工件W的搬送方向(基板搬送方向)呈正交的方向並排配置成線狀的構造。也就是說，在本實施形態，複數條纖維束的光射出側端部，是在一方向(基板搬送方向)並排配置來構成射出端22。又，圖1中，只示出1條纖維束，但實際上，導光纖維20是如上述般分岐成複數。

圖3，是本實施形態之導光纖維20的構造例。圖3中，與圖面正交的方向(往圖面裡面的方向)為基板搬送方向。如該圖3所示般，使構成連接於第一燈具10A的導光纖維20的複數條纖維束之光射出側端部、構成連接於第二燈具10B的導光纖維20的複數條纖維束之光射出側端部，1個個交互地配置亦可。該情況時，具有隨機性，即使是在複數個燈具間有照度差異的情況，亦可抑制光照射區域內的照度差異。

又，圖3中，雖示出了各導光纖維20各自具有12根纖維束，共24根纖維束的射出端22是在一方向配置成一列的例子，但射出端22的配置並不限定於上述。輸出端22，只要沿著一方向配置即可，例如，在基板搬送方向配置成複數列亦可。且，在圖3，雖示出了使纖維束的光射出側端部1個個交互地配置的情況，但亦可每複數個來交互地配置。且，在燈具為3個以上的場合，亦同樣地，可將分別與各燈具對應來設置的導光纖維20予以構成的複數條纖維束的光射出側端部，以每既定個來互相並排配置於一方向。

此外，在本實施形態，雖針對導光纖維20是由複數條纖維束所構成的情況進行說明，但導光纖維20，亦可由1條纖維束所構成。也就是說，構成導光纖維20的所有纖維線21，是在射出端22，例如集束成1個長方形狀，並配置成使其長邊與對基板搬送方向呈正交的方向一致。

圖4，是用來說明透鏡單元30之構造的圖。該圖4，是從圖1拿掉斜向照射機構40，表示出透鏡單元30之剖面的圖。 　　透鏡單元30，是具備：長方體狀的玻璃板31、柱面透鏡32、偏光板(偏光元件)33。該等之構件，是讓照射至被處理物亦即工件W的紫外線穿透的材料，例如由石英所構成。

玻璃板31，是將由導光纖維20所射入的射入光作為均勻化過的光來射出的均勻照射光學系統，也是長方體的石英板，在其上表面具有與導光纖維20之射出端22的配置對應的長方形狀。也就是說，玻璃板31，是使其上表面的長邊方向配置成與對基板搬送方向呈正交的方向一致。從該玻璃板31的上表面射入的光，是在玻璃板31之側壁內側的面反覆反射，使照度分布均勻化而從玻璃面31的下表面射出。 　　又，均勻照射光學系統，並不限定於長方體形狀的玻璃板31，例如，亦可由並排配置之圓柱形狀的複數個圓柱透鏡所構成。且，均勻化照射光學系統，是內面由鏡子所構成的筒狀構件亦可。

從玻璃板31所射出的光，是射入柱面透鏡32。柱面透鏡32，是將從玻璃板31所射出的光予以聚光，並將照射至工件W的光予以成形為線狀用的聚光透鏡。在本實施形態，是針對使用2根柱面透鏡32的情況進行說明。本實施形態的柱面透鏡32，是使平面與凸面對向配置的平凸透鏡。而且，2根柱面透鏡32，是配置成使凸面彼此在鉛直方向相對，在水平面內，是設置成其長度方向沿著玻璃板31的上述長邊方向。 　　又，柱面透鏡32的形狀、配置及個數，並不限定於上述，可因應照射至工件W的光照射區域34之形狀等來適當設定。且，聚光透鏡，並不限定於柱面透鏡，亦可適用圓柱形狀的圓柱透鏡。

從柱面透鏡32所射出的光，是射入至偏光板(偏光元件)33，並成為偏振光而射出。偏光板33，例如，是線柵型偏光元件。該偏光板33，是沿著柱面透鏡32的上述長度方向來配置，由偏光板33所偏光過的偏振光，是如圖1所示般，以沿著與基板搬送方向呈正交的方向形成線狀的光照射區域34的方式來射出。 　　偏振光，若射入至光學元件或藉由光學元件來反射的話，偏光軸的方向會從所期望的方向錯開(偏光軸會旋轉)。因此，在偏光板33的射出側，不設置光學元件為佳。也就是說，透鏡單元30，是從來自導光纖維20的光所射入之側，依序具備：玻璃板31、柱面透鏡32、偏光板(偏光元件)33，將藉由偏光板(偏光元件)33偏光過的偏振光，不透過光學元件而直接照射至工件W的光照射面為佳。

回到圖1，斜向照射機構40，具備：支架41、旋轉軸42、旋轉拉桿43。 　　支架41，是將導光纖維20的射出端22與透鏡單元30，固定成射出端22與透鏡單元30的玻璃板31之間的相對位置不會變化(兩者的位置不會偏移)。該支架41，是安裝於旋轉軸42。 　　旋轉軸42，是對於基板搬送方向呈正交之方向的軸，藉由使旋轉軸42旋轉，而使支架41以旋轉軸42為中心來旋轉，並使固定於支架41的透鏡單元30以旋轉軸42為中心來旋轉。

若透鏡單元30以旋轉軸42為中心來旋轉的話，從透鏡單元30所射出的光對工件W的射入角度會變化。該旋轉軸42，是藉由旋轉軸拉桿43，而可固定成任意的旋轉角度。也就是說，藉由旋轉軸拉桿43的操作，來將透鏡單元30對工件W的角度調整成任意的角度，而可將射入至工件W之光的角度調整成任意的角度。 　　又，在本實施形態，如圖1所示般，旋轉軸42，是設在透鏡單元30的中央部附近。於是，在透鏡單元30以旋轉軸42為中心來旋轉的情況，透鏡單元30之下端部的位置，是以旋轉軸42為中心以畫圓弧的方式移動。因此，光照射區域34的位置，是在基板搬送方向移動。

且，在透鏡單元30以旋轉軸42為中心來旋轉的情況，透鏡單元30之上端部的位置，也是以旋轉軸42為中心以畫圓弧的方式來移動。也就是說，連接於透鏡單元30的導光纖維20之射出端22的位置，是以旋轉軸42為中心以畫圓弧的方式移動，而使燈具10A、10B與射出端22的相對位置變化。 　　在本實施形態，燈具10A、10B與透鏡單元30，是藉由具有可撓性的導光纖維20來連接。因此，藉由透鏡單元30的旋轉移動而產生之射出端22的移動，是藉由導光纖維20的彎曲來吸收。導光纖維20，只要不是急遽的角度，可對應水平方向到垂直方向的彎曲。

如上述般，本實施形態的偏振光照射裝置100，是使用導光纖維20作為將來自燈具10A、10B的光導光至透鏡單元30的導光手段，將透鏡單元30對工件W的光照射面以任意的角度來固定，藉此對工件W從斜向來照射偏振光。 　　根據這種構造，就沒有必要使燈具10A、10B傾斜，亦沒有必要使保持工件W的工件平台50傾斜，便可對工件W從斜向來照射偏振光。例如，工件W為液晶顯示器(LCD)用之形成有光配向膜的基板的情況，對該基板從斜向來照射偏振光，藉此可對光配向膜賦予預傾角。

又，在本實施形態，雖如圖1所示般，針對將旋轉軸42設在透鏡單元30的中央部附近，而使透鏡單元30以透鏡單元30的中央部附近為中心來旋轉的情況進行了說明，但透鏡單元30的旋轉中心並不限定於上述。 　　例如，亦可成為以下構造：使透鏡單元30，以透鏡單元30的傾斜為零(對工件W呈垂直)時之工件W上之光照射區域34的位置為中心來旋轉。該情況時，即使透鏡單元30旋轉，亦可使光照射區域34的位置不變化。但是，該情況時，就必須要有用來將透鏡單元30支撐成可旋轉的圓弧狀導件等，會使斜向照射機構40的構造複雜化。

工件平台50，是可藉由真空吸附等的方法來將工件W予以吸附保持之平板狀的平台。又，在本實施形態，雖然工件平台50及工件W為矩形狀，但並不限定於此，可為任意的形狀。且，並不限定為將工件W以平板狀的平台來吸附保持的構造，亦可為藉由複數個銷來吸附保持工件W的構造。

使工件平台50直線移動用之未圖示的搬送部，具備使工件平台50往基板搬送方向移動用的驅動機構。該驅動機構，例如可為線性馬達驅動機構。又，驅動機構，例如為使用滾珠螺桿的機構亦可。亦即，驅動機構的構造，只要為可使工件平台50往基板搬送方向移動的構造的話，可採用任意的構造。工件平台50的移動路徑，是設計成通過光照射區域34，該光照射區域34是由從透鏡單元30射出的偏振光所形成。

如以上說明般，本實施形態的偏振光照射裝置100，是具備：各自具備光源11的複數個燈具10A、10B。且，偏振光照射裝置100，是具備導光纖維20，該導光纖維20具有：供來自光源11的光射入的射入端23、沿著一方向來配置，並使從射入端23所射入的光射出的射出端22。此外，偏振光照射裝置100，是具備透鏡單元30，該透鏡單元30具有偏光板(偏光元件)33，且將從導光纖維20的射出端22所射出的光予以偏光而成的偏振光，沿著上述一方向以形成線狀之光照射區域34的方式來射出。且，偏振光照射裝置100，具備斜向照射機構40，該斜向照射機構40是將透鏡單元30以任意的角度來固定，而使從透鏡單元30所射出的偏振光對被處理物亦即工件W從斜向來照射。

如上述般，將透鏡單元30固定成任意的角度，藉此對工件W的光照射面從斜向來照射偏振光，故沒有必要使含有光源11的光照射部全體傾斜，或是使工件平台50傾斜。 　　例如光源11為弧光燈的情況，使光照射部全體傾斜之構造的情況，燈具的移動會受到弧光燈之點燈條件的限制。也就是說，若弧光燈傾斜則電弧的形狀會變形，有著產生不良狀況之虞，故在點燈時，有必要使弧光燈的姿勢維持垂直或水平。因此，為了斜向照射而使光照射部全體移動的情況，有必要維持弧光燈的姿勢來使燈具移動。於是，光照射部的傾斜機構會複雜化，且成為大型者。

且，在工件W為大型之液晶基板等的情況，保持該工件W的工件平台50也會大型化。因此，在使工件平台傾斜的情況，為了此的傾斜機構會成為大型者。 　　相對於此，在本實施形態，沒有使燈具移動的必要，故可使斜向照射機構40的構造簡略化。且，在本實施形態，亦沒有使工件平台50傾斜的必要，故可維持在將工件W穩定保持的狀態。如上述般，不必使裝置大型化，便可對工件W的光照射面從斜向來照射偏振光。

此外，偏振光照射裝置100，作為將來自光源11的光導光至透鏡單元30用的手段，是使用具有可撓性的導光纖維20。藉此，為了斜向照射而使透鏡單元30移動之際，導光纖維20可容易吸收透鏡單元30的移動。也就是說，對於透鏡單元30的角度變化，導光纖維20會柔軟地變形，可適當地將來自光源11的光導引至透鏡單元30。 　　例如，亦有考慮到將來自光源11的光，使用光學系統來導引至透鏡單元30，但在該情況時，有必要配合透鏡單元30的動作來調整光學系統的詳細位置。在本實施形態，是如上述般使用導光纖維20，藉此可容易進行透鏡單元30的角度設定。

且，本實施形態的導光纖維20，是由將複數條纖維線21以既定根數集束而成的複數條纖維束所構成，複數條纖維束的光射出側端部是在對基板搬送方向呈正交的方向並排配置而構成射出端22。如上述般，由複數條纖維束來構成導光纖維20，藉此可容易且適當地形成沿著一方向來配置成所期望之大小的射出端。

且，本實施形態的透鏡單元30，是具備：作為光學系統的玻璃板31，其將從導光纖維20的射出端22所射出的光當成射入光，並使該射入光的照度均勻化；作為聚光透鏡的柱面透鏡32，其將來自玻璃板31的射出光予以聚光；以及偏光板(偏光元件)33，其將由柱面透鏡32所聚光的光予以偏光。 　　藉此，透鏡單元30，是將照度被均勻化且具有指向性之線狀的光予以射出，而可在工件W的光照射面適當地形成線狀的光照射區域34。且，藉由透鏡單元30之光學系統的設計，而可使光照射區域34的形狀(寬度或長度)容易成為所期望的形狀。且，在偏光元件的射出側不設置光學元件，藉此可有效地抑制偏光性能的散亂，並可得到較高的消光比。

如上述般，本實施形態的偏振光照射裝置100，不會導致裝置的大型化，可將具有指向性的光，對被處理物亦即工件W的光照射面以任意的角度來照射。

(變形例) 　　上述實施形態中，斜向照射機構40，是以手動來操作旋轉拉桿43，藉此可調整偏振光對工件W之光照射面的照射角度，雖以該構造的情況進行了說明，但上述的角度調整並不限定於手動調整。例如，亦可利用馬達等來自動進行角度調整。 　　且，上述實施形態中，斜向照射機構40，雖以可調整偏振光對工件W之光照射面的照射角度之構造的情況進行了說明，但該照射角度亦可用任意的角度來固定。

此外，上述實施形態中，雖針對將本發明適用於偏振光照射裝置的情況進行了說明，但照射至工件W的光並不限定於偏振光。例如，亦可將本發明適用在：將含有紫外線的光照射至工件來進行曝光的曝光裝置，或是藉由紫外線來進行熱硬化處理的紫外線照射裝置等的光照射裝置。在該等之光照射裝置的情況，可從斜向來對工件照射光，藉此例如可對工件的高低差部分等有效地照射光，可進行適當的光照射處理。

10A、10B‧‧‧燈具

11‧‧‧光源

12‧‧‧鏡子

20‧‧‧導光纖維

21‧‧‧纖維線

22‧‧‧射出端

23‧‧‧射入端

30‧‧‧透鏡單元

31‧‧‧玻璃板

32‧‧‧柱面透鏡

33‧‧‧偏光板

34‧‧‧光照射區域

40‧‧‧斜向照射機構

41‧‧‧支架

42‧‧‧旋轉軸

43‧‧‧旋轉拉桿

50‧‧‧工件平台

100‧‧‧偏振光照射裝置

圖1為表示本實施形態之偏振光照射裝置的概略構造圖。 　　圖2為燈具(燈罩)的構造例。 　　圖3為導光纖維的構造例。 　　圖4為透鏡單元的構造例。

Claims (9)

1. 一種偏振光照射裝置，其特徵為，具備：光源； 　　導光纖維，其具有供來自前述光源的光射入的射入端、沿著一方向來配置且將從前述射入端射入的光予以射出的射出端； 　　透鏡單元，其具有偏光元件，將偏振光以沿著前述一方向形成線狀的光照射區域的方式來射出，該偏振光是將從前述導光纖維之前述射出端所射出的光藉由前述偏光元件來偏光而成；以及 　　斜向照射機構，其以對被處理物的光照射面從斜向來照射前述偏振光的方式，來將前述透鏡單元以任意的角度來固定。
2. 如請求項1所述之偏振光照射裝置，其中，前述導光纖維， 　　是由將複數條纖維線以既定根數集束而成的複數條纖維束所構成， 　　前述複數條纖維束的光射出側端部是在前述一方向並排配置而構成前述射出端。
3. 如請求項2所述之偏振光照射裝置，其中，複數具備前述光源， 　　將分別對應於複數個前述光源來設置之前述導光纖維予以構成的前述複數條纖維束的光射出側端部，是以既定個數互相在前述一方向並排配置而構成前述射出端。
4. 如請求項1所述之偏振光照射裝置，其中，前述導光纖維， 　　是由將複數條纖維線予以集束成1條的1條纖維束所構成， 　　前述1條纖維束的光射出側端部是以往前述一方向延伸的方式被集束而構成前述射出端。
5. 如請求項1～4中任一項所述之偏振光照射裝置，其中，前述透鏡單元，進一步具備： 　　光學系統，其將從前述導光纖維的前述射出端所射出的光當成射入光，並使該射入光的照度均勻化；以及 　　聚光透鏡，其將來自前述光學系統的射出光予以聚光， 　　前述偏光元件，是將由前述聚光透鏡所聚光而成的光予以偏光。
6. 如請求項5所述之偏振光照射裝置，其中，前述光學系統，是具有沿著前述一方向來配置之長邊的玻璃板。
7. 如請求項5所述之偏振光照射裝置，其中，前述聚光透鏡，為柱面透鏡。
8. 如請求項1所述之偏振光照射裝置，其中，前述斜向照射機構， 　　是構成為可調整前述透鏡單元對前述光照射面的角度。
9. 一種偏振光照射方法，其特徵為，含有： 　　將來自光源的光，射入至導光纖維的射入端，並從沿著一方向配置的射出端來射出的步驟； 　　將從前述導光纖維之前述射出端所射出的光，射入至具有偏光元件的透鏡單元，將該射入的光藉由前述偏光元件來偏光而成的偏振光，是以沿著前述一方向形成線狀的光照射區域的方式來射出的步驟； 　　將前述透鏡單元以任意的角度來固定，而對被處理物的光照射面從斜向來照射前述偏振光的步驟。