TW201916237A - 基板搬送裝置及基板載置部之旋轉軸之探索方法 - Google Patents

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Abstract

於基板載置部之複數個旋轉位置中，利用物體檢測感測器來檢測設置於基板載置部之靶，求出機器人基準軸至靶之在與軸心方向正交之方向上之距離即指標長度或與其相關之資訊，基於所求出之指標長度或與其相關之資訊，來求出對位於將機器人基準軸與旋轉軸連結之直線上之靶進行檢測時的檢測線之以機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置以及基板載置部之以旋轉軸為中心之旋轉位置中之至少一個旋轉位置，基於所求出之旋轉位置，確定從機器人基準軸來看之旋轉軸所處之方向。

Description

基板搬送裝置及基板載置部之旋轉軸之探索方法
本發明係關於一種搬送半導體基板或玻璃基板等基板之技術。
先前，於半導體之製程中，為對複數個半導體基板總括地進行處理，而使用可以排列有複數個半導體基板之狀態進行積載之基板載置部。此種基板載置部通常由分隔之一對板構件、及架設於一對板構件間之複數個支柱構成。於支柱上，複數個支持槽以一定間距形成於該支柱之軸線方向，且於支持槽中嵌入基板之周緣部，藉此，基板支持於支柱上。
為對如上所述之基板載置部搬入及搬出基板，而使用基板搬送機器人。基板搬送機器人通常具備：機械臂、安裝於機器人之臂之前端的基板搬送手、以及控制器。基板搬送手具備用以保持基板之基板保持部，該基板保持方式中有吸附或握持等。專利文獻1中，例示有基板搬送手，其具備前端以Y字形分開之板狀刀片，且於刀片上載置基板而搬送。
專利文獻1中記載之基板搬送機器人中，於基板搬送手之分成兩股之兩頂端部之一者上安裝有發光部，且於另一者上以與發光部對向之方式安裝有受光部。該等發光部與受光部構成透過型光感測器，可利用該透過型光感測器對遮擋光軸之物體進行檢測。而且，藉由利用透過型光感測器，對安裝於基板處理裝置之前面外壁上之外部教示夾具進行檢測，從而使用已知之基板處理裝置內部之教示位置之中心與外部教示位置之中心之相對位置關係，來推定基板搬送裝置與教示位置之中心之相對位置關係。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2005-310858號公報
[發明所欲解決之問題]
基板載置部中，存在載置固定於旋轉台上而與該旋轉台一體地旋轉者。於此種基板載置部，以基板載置部之旋轉軸與基板之中心一致之方式積載基板。為此，操作員一面以目視來確認基板搬送機器人及基板載置部，一面操作教示器，藉此以基板載置部之旋轉軸與基板之中心一致之方式，將基板之積載位置教示於基板搬送機器人。然而，此種教示作業係極其繁瑣之作業，期望能夠自動且精確地對基板搬送機器人教示基板載置部之積載位置之技術。
由於基板為圓形之既定形狀，故而可基於基板載置部之旋轉軸之位置而容易地導出該基板台之基板之積載位置。因此，本發明中提出一種利用基板搬送機器人對成為基板載置部之旋轉之中心的旋轉軸之位置進行探索之技術。 [解決問題之技術手段]
本發明之一形態之基板載置部之旋轉軸之探索方法係使用基板搬送機器人，對以與上述軸心方向平行延伸之旋轉軸為中心而旋轉之基板載置部之上述旋轉軸進行探索之方法，上述基板搬送機器人具有：規定機器人基準軸且對遮擋檢測線之物體進行檢測之物體檢測感測器、以及在與上述機器人基準軸之軸心方向正交之平面內使上述物體檢測感測器移動之機械臂； 上述探索方法之特徵在於：於上述基板載置部之複數個旋轉位置，利用上述物體檢測感測器對設置於上述基板載置部之靶進行檢測，求出上述機器人基準軸至上述靶之在與上述軸心方向正交之方向上之距離即指標長度或與其相關之資訊， 基於所求出之上述指標長度或與其相關之資訊，求出對位於將上述機器人基準軸與上述旋轉軸連結之直線上之上述靶進行檢測時的上述檢測線之以上述機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置以及上述基板載置部之以上述旋轉軸為中心之旋轉位置中之至少一個旋轉位置，並且 基於所求出之上述旋轉位置，確定從上述機器人基準軸來看之上述旋轉軸所處之方向。
又，本發明之一形態之基板搬送裝置具備：基板搬送機器人，其具有：規定機器人基準軸且對遮擋檢測線之物體進行檢測之物體檢測感測器、以及在與上述機器人基準軸之軸心方向正交之平面內使上述物體檢測感測器移動之機械臂；基板載置部，其具有利用上述物體檢測感測器來檢測之靶，且以與上述軸心方向平行延伸之旋轉軸為中心而旋轉；以及控制器，其控制上述基板搬送機器人及上述基板載置部之動作。 而且，上述控制器 於上述基板載置部之複數個旋轉位置，利用上述物體檢測感測器來檢測上述靶，求出上述機器人基準軸至上述靶之在與上述軸心方向正交之方向上之距離即指標長度或與其相關之資訊，基於所求出之上述指標長度或與其相關之資訊，求出對位於將上述機器人基準軸與上述旋轉軸連結之直線上之上述靶進行檢測時的上述檢測線之以上述機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置以及上述基板載置部之以上述旋轉軸為中心之旋轉位置中之至少一個旋轉位置，並且 基於所求出之上述旋轉位置，確定從上述機器人基準軸來看之上述旋轉軸所處之方向。
藉由上述之基板載置部之旋轉軸之探索方法以及基板搬送裝置，可基於對位於將機器人基準軸與旋轉軸連結之直線上之靶進行檢測時的檢測線之以機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置，確定從機器人基準軸來看之旋轉軸所處之方向。此外，只要獲知對位於將機器人基準軸與旋轉軸連結之直線上之靶進行檢測時的旋轉軸之旋轉位置，則可利用其，藉由探索而求出檢測線之以機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置。而且，藉由基板搬送機器人自動進行該作業，能夠對基板搬送機器人自動教示以機器人基準軸為基準之旋轉軸之方向。 [發明之效果]
依據本發明，可利用基板搬送機器人，實現對成為基板載置部之旋轉之中心的旋轉軸進行探索之技術。
[基板搬送裝置10之概略構成] 以下，參照圖式，對本發明之實施方式加以說明。圖1係本發明之一實施方式之基板搬送裝置10之概略側面圖，圖2係基板搬送裝置10之概略俯視圖。圖1及圖2所示之基板搬送裝置10具備：積載有基板W之基板載置部9、對基板載置部9進行基板W之搬入（積載）及搬出之基板搬送機器人1、以及控制基板搬送機器人1及基板載置部9之動作之控制器15。基板搬送裝置10可應用於例如EFEM（Equipment Front End Module，設備前端模組）、選別機、基板處理系統等各種搬送基板W之系統。
[基板載置部9之構成] 本實施方式之基板載置部9具備配置於同一圓周上之3個以上之複數個支柱92。於各支柱92上形成有1個或複數個支持部91。複數個支柱92具有實質上配置於同一平面上之對應之支持部91。而且，藉由對應之複數個支持部91來支持1個基板W之邊緣。各支持部91只要為例如形成於支柱92上之槽、或從支柱92向水平方向突出之突起等的形成從下方支持基板W之邊緣的向上之面者即可。
基板載置部9支持於旋轉台90上，且以旋轉軸O為中心而旋轉。於旋轉軸O之延長線上，設有載置於基板載置部9上之基板W之中心、以及複數個支柱92（或者複數個支持部91）所形成之圓周之中心。此外，雖基板載置部9係以可拆裝之方式支持於旋轉台90上，但基板載置部9與旋轉台90亦可構成為一體。於旋轉台90上設置有由例如伺服馬達等構成之旋轉台驅動裝置94、及對旋轉台90之旋轉位置進行檢測之旋轉位置檢測器95。
[基板搬送機器人1之構成] 基板搬送機器人1具備：基台11、支持於基台11上之機械臂（以下稱為「臂12」）、與臂12之遠側端部連結之基板搬送手（以下稱為「手13」）、及設置於手13上之物體檢測感測器41。
本實施方式之臂12由於水平方向延伸之第1連桿21、以及經由平移關節而與第1連桿21連接之第2連桿22構成。於第1連桿21上設置有平移裝置63，藉由平移裝置63之動作，第2連桿22相對於第1連桿21而與該第1連桿21之長邊方向平行地平移移動。平移裝置63例如具備：軌道及滑件、齒條及小齒輪、滾珠螺桿、或者氣缸等直線運動機構（圖示略）；以及作為驅動部之伺服馬達M3（參照圖3）。但，平移裝置63之構成並不限定於上述。
臂12之近側端部係以能夠升降及回旋之方式支持於基台11上。藉由升降裝置61之動作，與臂12之近側端部連結之升降軸23伸縮，臂12相對於基台11而升降移動。升降裝置61例如具備：使升降軸23從基台11上伸縮之直線運動機構（圖示略）、以及作為驅動部之伺服馬達M1（參照圖3）。
又，藉由回旋裝置62之動作，臂12相對於基台11，以回旋軸為中心而回旋。臂12之回旋軸係與升降軸23之軸心實質上一致。回旋裝置62例如具備：使第1連桿21圍繞回旋軸之周圍而旋轉之齒輪機構（圖示略）、以及作為驅動部之伺服馬達M2（參照圖3）。但，升降裝置61及回旋裝置62之構成並不限定於上述。
手13具備：與臂12之遠側端部連結之基部31、以及固定於基部31上之刀片32。刀片32係呈現出頂端部分成兩股之Y字狀（或者U字狀）之薄板構件。
刀片32之主面為水平，支持基板W之複數個支持墊33設置於刀片32之上表面。複數個支持墊33係以與載置於刀片32上之基板W之周緣部接觸之方式配置。進而，手13中，於刀片32之基端側設置有推動器34。於該推動器34與配置於刀片32之頂端部之支持墊33之間，握持載置於刀片32上之基板W。
此外，雖於本實施方式之手13係將基板W一面以水平之姿勢加以保持一面搬送者，手13亦可為以垂直之姿勢來保持基板W者。又，雖於本實施方式之手13之基板W之保持方式為邊緣握持式，但亦可代替邊緣握持式，而採用吸附式、落入式、載置式等公知之基板W之保持方式。
於手13上，設置有至少1組物體檢測感測器41。雖於本實施方式之物體檢測感測器41為透過型光感測器，但物體檢測感測器41並不限定於此，只要為具有直線狀或帶狀之檢測區域的接觸式或非接觸式之物體檢測感測器即可。
物體檢測感測器41設置於刀片32之分成兩股之頂端部之背面。參照圖8，物體檢測感測器41係由設置於刀片32之分成兩股之頂端部之一者上之投光器41a以及設置於另一者上之受光器41b之組合所構成。投光器41a與受光器41b係在與刀片32之主面平行之方向（即，水平方向）上分離。
投光器41a具備投射成為檢測介質之光的光源。受光器41b具備接收投光器41a之投射光而轉換為電訊號之受光元件。投光器41a與受光器41b係對向配置，從投光器41a中射出之光係直線狀前進，射入受光器41b之受光器之入光窗中。圖8中，從投光器41a中射出之光之光軸41c係以一點鏈線表示。物體檢測感測器41為透過型光感測器，可對遮擋光軸41c之物體進行檢測。物體檢測感測器41若對物體於光軸41c上通過，且射入受光器41b中之光量減少之情形進行檢測，則將物體檢測訊號向控制器15輸出。
[控制器15之構成] 圖3係表示基板搬送裝置10之控制系統之構成之圖。如圖3所示，基板搬送機器人1及基板載置部9之動作係由控制器15所控制。但，於基板搬送機器人1及基板載置部9上分別設置有獨立之控制機構，該等控制機構亦可構成為一面相互通訊一面控制基板搬送裝置10之動作。
控制器15為所謂之電腦，例如具備：微控制器、CPU（Central Processing Unit，中央處理單元）、MPU（Microprocessor Unit，微處理單元）、PLC（Programmable Logic Controller，可程式邏輯控制器）、DSP（Digital Signal Processor，數位訊號處理器）、ASIC（Application Specific Integrated Circuit，特定應用積體電路）或者FPGA（Field Programmable Gate Array，現場可程式閘陣列）等運算處理裝置（處理器）；以及ROM（Read Only Memory，唯讀記憶體）、RAM（Random Access Memory，隨機存取記憶體）等揮發性及非揮發性之存儲裝置（均未圖示）。存儲裝置中存儲有運算處理裝置所執行之程式、各種固定資料等。存儲於存儲裝置中之程式中，包含本實施方式之旋轉軸探索程式。又，存儲裝置中存儲有：用以控制臂12之動作之教示資料、與臂12或手13之形狀・尺寸有關之資料、與保持於手13上之基板W之形狀・尺寸有關之資料、以及用以控制旋轉台驅動裝置94之動作之資料等。
控制器15中，藉由運算處理裝置讀出存儲於存儲裝置中之程式等軟體且執行，而進行用以控制基板搬送機器人1以及基板載置部9之動作之處理。此外，控制器15可藉由單一之電腦之集中控制而執行各處理，亦可藉由複數台電腦之協作之分散控制而執行各處理。
於控制器15上連接有：臂12之升降裝置61之伺服馬達M1、回旋裝置62之伺服馬達M2、以及平移裝置63之伺服馬達M3。於各伺服馬達M1～3上設置有對其輸出軸之旋轉角進行檢測之位置檢測器E1～3，各位置檢測器E1～3之檢測訊號向控制器15輸出。進而，於控制器15上亦連接有手13之推動器34。而且，控制器15係根據與由位置檢測器E1～3各自所檢測之旋轉位置對應的手13之姿態（即，空間中之位置及姿勢）以及存儲於存儲部中之教示資料，來運算既定之控制時間後之目標姿態。控制器15係以於既定之控制時間後，手13成為目標姿態之方式，使各伺服馬達M1～3動作。
進而，於控制器15上連接有旋轉台90之旋轉台驅動裝置94以及旋轉位置檢測器95。控制器15係基於預先存儲之程式、以及由旋轉位置檢測器95所檢測之旋轉位置，而使旋轉台驅動裝置94動作。藉此，可使基板載置部9向所期望之旋轉位置旋轉。
[基板載置部9之旋轉軸O之探索方法] 此處，對利用基板搬送機器人1之探索基板載置部9之旋轉軸O之方法進行說明。此外，以下雖未特別明確記載，但控制器15係藉由讀出預先存儲之既定程式且執行，來進行基板載置部9之旋轉軸O之探索之各處理。
對基板搬送機器人1賦予「機器人基準軸R」。機器人基準軸R係與基板載置部9之旋轉軸O平行延伸之虛擬軸。本實施方式中，在與臂12之回旋軸相同之軸上規定機器人基準軸R，且以該機器人基準軸R為基準而構築用於控制基板搬送機器人1之機器人座標系。但，機器人基準軸R可規定於基板搬送機器人1之任意位置。以下，對探索以機器人基準軸R為基準之基板載置部9之旋轉軸O之位置、即從機器人基準軸R來看之旋轉軸O之方向的方法進行說明。
如圖4所示，物體檢測感測器41具有作為帶或直線狀之檢測區域的檢測線D。本實施方式中，光軸42c相當於檢測線D。物體檢測感測器41係支持於臂12上，可藉由臂12之回旋動作及/或伸縮動作而使檢測線D之姿態（即，空間中之位置及姿勢）變化。換言之，藉由臂12之回旋動作，檢測線D以機器人基準軸R為中心而旋轉，藉由臂12之伸縮動作，檢測線D與機器人基準軸R接近・離開。控制器15可根據由基板搬送機器人1之各位置檢測器E1～E3所檢測之馬達M1～M3之旋轉位置等，藉由運算而求出檢測線D之姿態、即以機器人基準軸R為基準之位置及姿勢。尤其，控制器15可根據由回旋裝置62之位置檢測器E2所檢測之回旋用之馬達M2之旋轉位置，來運算檢測線D之從所提供之基準旋轉位置起之旋轉角度即旋轉位置φ。
又，基板載置部9可以旋轉軸O為中心而旋轉，使基板載置部9之從所提供之基準旋轉位置起之旋轉角度即旋轉位置θ變化。控制器15可根據設置於基板載置部9上之旋轉位置檢測器95之檢測值，來求出基板載置部9之旋轉位置θ。
控制器15係於基板載置部9之複數個旋轉位置θ，進行利用基板搬送機器人1來探索靶T之處理，求出各旋轉位置θ之指標長度L。指標長度L表示機器人基準軸R至靶T（或者檢測線D）之距離。本實施方式中，利用基板載置部9所具備之複數個支柱92中之一個來作為靶T。該靶T係剖面形狀為圓形之柱狀，圓之半徑、及圓之中心至旋轉軸O之距離為已知。但，靶T並不限定於本實施方式。
基板搬送機器人1探查出靶T係藉由如下方式來檢測：藉由靶T遮擋物體檢測感測器41之光軸41c，受光器41b中之受光從開啟切換為關閉。或者，基板搬送機器人1探查出靶T係藉由如下方式來檢測：藉由靶T不再遮擋物體檢測感測器41之光軸41c，受光器41b中之受光從關閉切換為開啟。
控制器15係基於以上述方式於複數個基板載置部9之旋轉位置θ所獲得之複數個指標長度L，來求出當靶T位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上時的基板載置部9之旋轉位置θs、及/或檢測線D之旋轉位置φs。對位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上之靶T進行檢測時之指標長度L成為最大。此外，若使用指標長度L，則運算變得單純，但代替指標長度L而使用與指標長度L相關之資訊，亦可求出當靶T位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上時的基板載置部9之旋轉位置θs、及/或檢測線D之旋轉位置φs。與指標長度L相關之資訊例如為：於手13上規定之任意基準點之姿態，或使檢測線D移位之馬達M2、M3之旋轉位置等。
而且，控制器15係基於基板載置部9之旋轉位置θs以及檢測線D之旋轉位置φs中之至少一者，來求出將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線之延伸方向，換言之，從機器人基準軸R來看之旋轉軸O之方向。此外，根據基板載置部9之旋轉位置θs，可藉由將基板載置部9設為旋轉位置θs，利用基板搬送機器人1來探索靶T，從而求出檢測線D之旋轉位置φs。根據檢測線D之旋轉位置φs，可直接求出從機器人基準軸R來看之旋轉軸O之方向。
控制器15可將以上述方式求出之從機器人基準軸R來看之旋轉軸O之方向，作為檢測線D（臂12）之0°之回旋角度而教示（存儲）於存儲裝置中。此處，控制器15於回旋角度之教示時，將回旋裝置62之位置檢測器E2之檢測值存儲於存儲裝置中。
又，控制器15亦可基於基板載置部9之旋轉位置θs，來求出機器人基準軸R至旋轉軸O之距離。機器人基準軸R至旋轉軸O之距離為指標長度L之最大值、與已知之旋轉軸O至靶T之距離之和。
控制器15可將以上述方式求出之機器人基準軸R至旋轉軸O之距離存儲（教示）於存儲裝置中。
以下，關於基板載置部9之旋轉軸O之探索製程，列舉具體例來說明。該說明中，將使設置有檢測線D之臂12之遠側端部與機器人基準軸R連結的與機器人基準軸R之軸線方向正交之線段規定為「臂基準線A」。將臂基準線A之從任意之基準旋轉位置起之旋轉角度以「旋轉位置φ」來表示。臂基準線A之旋轉位置φ係與檢測線D之旋轉位置相同或者相關。雖於本實施方式中，臂基準線A之延伸方向與檢測線D之延伸方向正交，但臂基準線A之延伸方向與檢測線D之延伸方向若相對角度為已知，則亦可不正交。又，將使靶T之任意基準點與旋轉軸O連結的與機器人基準軸R之軸線方向正交之線段規定為「載置部基準線B」。將載置部基準線B之從任意之基準旋轉位置起之旋轉角度以「旋轉位置θ」來表示。載置部基準線B之旋轉位置θ係與基板載置部9之旋轉位置相同或者相關。
圖5係表示基板載置部9之旋轉軸O之探索製程之流程之流程表。如圖5所示，基板載置部9之旋轉軸O之探索製程依序進行：將載置部基準線B與臂基準線A設為平行之平行化處理（步驟S1）、使載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致之方向合併處理（步驟S2）、以及旋轉軸O相對於機器人基準軸R之相對方向之教示處理（步驟S3）。
進而，基板載置部9之旋轉軸O之探索製程中，繼上述步驟S3之後進行：用以求出機器人基準軸R至旋轉軸O之距離之距離算出處理（步驟S4）、以及機器人基準軸R至旋轉軸O之距離之教示處理（步驟S5）。以下，對平行化處理、方向合併處理、以及距離算出處理進行詳細說明。
[平行化處理] 平行化處理（步驟S1）包含：求出載置部基準線B與臂基準線A成為平行的基板載置部9之第1旋轉位置θf以及檢測線D之第1旋轉位置φf之步驟；以及將基板載置部9設於第1旋轉位置θf，並且將檢測線D設於第1旋轉位置φf之步驟。該等2個步驟亦可同時進行。
（平行化處理之第1方法） 圖6係表示第1方法之平行化處理之流程之流程表，圖8～12係對平行化處理加以說明之基板載置部9與基板搬送機器人1之概略圖。第1方法之平行化處理中，一面將臂基準線A之旋轉位置φ（即，檢測線D之旋轉位置φ）保持於第1旋轉位置φf，一面探索指標長度L相等之2個載置部基準線B之旋轉位置θ0、θ1（即，基板載置部9之旋轉位置θ0、θ1），將該2個旋轉位置θ0、θ1之中央之旋轉位置作為第1旋轉位置θf而求出。
於開始進行第1方法之平行化處理時，控制器15將基板載置部9所具備之複數個支柱92中之一個指定為靶T。靶T例如可選擇複數個支柱92中與機器人基準軸R距離最近者。或者，亦可接收來自作業者之輸入，從複數個支柱92中指定靶T。又，靶T並不限定於支柱92，與支柱92不同之其他靶T亦可設置於基板載置部9上。
如圖6及圖8所示，首先，控制器15求出臂基準線A之旋轉位置φ（步驟S11），將其作為第1旋轉位置φf而存儲。又，控制器15求出載置部基準線B之旋轉位置θ（步驟S12），將其作為初始旋轉位置θ0而存儲。
其次，控制器15使基板搬送機器人1探索當載置部基準線B位於初始旋轉位置θ0時之靶T（步驟S13）。然後，控制器15求出檢測出靶T時之指標長度L（θ0）（步驟S14）。
繼而，控制器15係如圖9A所示，使載置部基準線B從初始旋轉位置θ0起僅正旋轉任意之角度α，使基板搬送機器人1探索靶T（步驟S15）。然後，控制器15求出檢測出靶T時之指標長度L（θ0＋α）（步驟S16）。
繼而，控制器15係如圖9B所示，使載置部基準線B從初始旋轉位置θ0起僅反旋轉α，使基板搬送機器人1探索靶T（步驟S17）。然後，控制器15求出檢測出靶T時之指標長度L（θ0－α）（步驟S18）。此外，上述步驟S13、15、17中，控制器15係以一面將臂基準線A保持於第1旋轉位置φf上，一面使檢測線D向檢測靶T之位置移動之方式，使臂12進行伸縮動作。
進而，控制器15將指標長度L（θ0＋α）與指標長度L（θ0－α）進行比較，將獲得其中之較小值之旋轉位置之從初始旋轉位置θ0起之旋轉方向決定為「探索方向」（步驟S19）。圖9A、圖9B所示之例中，由於指標長度L（θ0＋α）小於指標長度L（θ0－α），故而探索方向決定為正旋轉方向。
繼而，控制器15係如圖10所示，於將臂基準線A保持於第1旋轉位置φf之狀態下，使基板載置部9向探索方向旋轉，利用基板搬送機器人1來反覆探索靶T，探查出指標長度L（θ1）成為與初始指標長度L（θ0）相等之旋轉位置θ1（步驟S20）。
而且，控制器15係如圖11所示，將載置部基準線B之初始旋轉位置θ0與旋轉位置θ1之中間之旋轉位置（θf＝（θ0＋θ1）/2），作為載置部基準線B與臂基準線A成為平行之第1旋轉位置θf而算出（步驟S21）。
最後，控制器15使載置部基準線B旋轉至第1旋轉位置θf（步驟S22）。藉由以上之平行化處理，載置部基準線B與臂基準線A成為平行。
（平行化處理之第2方法） 平行化處理，亦可代替上述第1方法，而為如下所示之第2方法。第2方法之平行化處理中，與第1方法之平行化處理同樣地，一面將臂基準線A之旋轉位置φ保持於第1旋轉位置φf，一面探索指標長度L相等之2個載置部基準線B之旋轉位置θ0、θ1，將該2個旋轉位置θ0、θ1之中央之旋轉位置作為載置部基準線B之第1旋轉位置θf而求出。但，第1方法中，使載置部基準線B一點點地旋轉來運算指標長度L，與此相對，第2方法中，藉由確定利用物體檢測感測器41的靶T之檢測・非檢測之變化點，不運算指標長度L而探索上述2個旋轉位置θ0、θ1。
第2方法之平行化處理中，上述第1方法之步驟S11～步驟S14、步驟S21～步驟S22為止之處理之流程相同，該等步驟之說明省略。
第2方法中，於步驟S14之後，控制器15使載置部基準線B從初始旋轉位置θ0向正方向及反方向中之一方向旋轉，直至以物體檢測感測器41不再檢測出靶T為止。繼而，控制器15使載置部基準線B向正方向及反方向中之另一方向旋轉，直至利用物體檢測感測器41再次不再檢測出靶T為止。進而，控制器15使載置部基準線B向正方向及反方向中之一方向稍微旋轉，直至以物體檢測感測器41檢測出靶T為止，對再次檢測出靶T時之旋轉角度（θ1）進行檢測（參照圖10）。最後，控制器15利用初始旋轉位置θ0及旋轉位置θ1，來進行上述步驟S21～步驟S22之處理。藉由以上之第2方法之平行化處理，載置部基準線B與臂基準線A成為平行。
（平行化處理之第3方法） 平行化處理，亦可代替上述第1方法，而為如下所示之第3方法。第3方法之平行化處理中，一面將臂基準線A之旋轉位置φ維持於第1旋轉位置φf，一面探索指標長度L成為最小之載置部基準線B之旋轉位置θ，將該旋轉位置θ作為第1旋轉位置θf而求出。
第3方法之平行化處理中，上述第1方法之步驟S11～步驟S19之處理之流程相同，該等步驟之說明省略。
第3方法中，於步驟S19之後，控制器15係於將檢測線D保持於第1旋轉位置φf之狀態下，使載置部基準線B向探索方向旋轉，利用基板搬送機器人1來反覆探索靶T，探查出指標長度L（θf）成為最小之第1旋轉位置θf。最後，控制器15進行上述步驟S22之處理。藉由以上之第3方法之平行化處理，載置部基準線B與臂基準線A成為平行。
此外，雖於以上所說明之第1～3方法之平行化處理中，於將臂基準線A保持於第1旋轉位置φf之狀態下，使載置部基準線B之旋轉位置θ變化，但亦可於將載置部基準線B之旋轉位置θ保持於第1旋轉位置θf之狀態下，使臂基準線A之旋轉位置φ變化，或者藉由使載置部基準線B之旋轉位置θ以及臂基準線A之旋轉位置φ變化，而進行用以將載置部基準線B與臂基準線A設為平行之處理。
[方向合併處理] 於完成平行化處理（步驟S1）之狀態下，載置部基準線B與臂基準線A為平行，因此於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線與載置部基準線B及臂基準線A之間形成之錯角相等。方向合併處理（步驟S2）包含：求出載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致之載置部基準線B之旋轉位置（第2旋轉位置θs）之步驟；以及將載置部基準線B設於第2旋轉位置θs，並且將臂基準線A設於第2旋轉位置φs之步驟。該等2個步驟亦可同時進行。
（方向合併處理之第1方法） 圖7係表示第1方法之方向合併處理之流程之流程表，圖13及圖14係對方向合併處理加以說明之載置部基準線B與基板搬送機器人1之概略圖。如圖7及圖12所示，於第1方法之方向合併處理中，控制器15一面維持載置部基準線B為第1旋轉位置θf且臂基準線A為第1旋轉位置φf之狀態，一面使基板搬送機器人1探索靶T（步驟S31），求出檢測出靶T時之指標長度L（θf）（步驟S32）。
其次，控制器15使載置部基準線B從第1旋轉位置θf起僅正旋轉任意之角度β，同樣地，使臂基準線A從第1旋轉位置φf起向正旋轉方向僅旋轉角度β。而且，控制器15係使基板搬送機器人1探索當載置部基準線B位於旋轉位置（θf＋β）時之靶T（步驟S33），求出檢測出靶T時之指標長度L（θf＋β）（步驟S34）。
繼而，控制器15使載置部基準線B從第1旋轉位置θf起僅反旋轉任意之角度β，同樣，使臂基準線A從第1旋轉位置φf起向反旋轉方向僅旋轉角度β。而且，控制器15使基板搬送機器人1探索當載置部基準線B位於旋轉位置（θf－β）時之靶T（步驟S35），求出檢測出靶T時之指標長度L（θf－β）（步驟S36）。
進而，控制器15將指標長度L（θf＋β）與指標長度L（θf－β）進行比較，將獲得其中之較大值之旋轉方向決定為「探索方向」（步驟S37）。於圖12所示之例中，由於指標長度L（θf＋β）大於指標長度L（θf－β），故而探索方向決定為正旋轉方向。
繼而，控制器15係如圖13所示，使載置部基準線B及臂基準線A向探索方向每次旋轉同一旋轉角度，利用基板搬送機器人1來反覆探索靶T，探查出指標長度L（θ2）成為與指標長度L（θf）相等之載置部基準線B之旋轉位置θ2（步驟S38）。
而且，控制器15係如圖14所示，將第1旋轉位置θf與旋轉位置θ2之中間之旋轉位置（θs＝（θf＋θ2）/2），作為載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致之載置部基準線B之第2旋轉位置θs而算出（步驟S39）。
控制器15使載置部基準線B從旋轉位置θ2向第2旋轉位置θs旋轉，且使臂基準線A以與載置部基準線B相同之旋轉方向且相同之旋轉角度而旋轉（步驟S40）。藉由以上之方向合併處理，載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致。
（方向合併處理之第2方法） 方向合併處理，亦可代替上述第1方法，而為以下所示之第2方法。於第2方法之方向合併處理中，與第1方法之方向合併處理同樣，使載置部基準線B以旋轉軸O為中心，且使臂基準線A以機器人基準軸R為中心，分別向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，探索指標長度L相等之2個旋轉位置θf、θ2，將該2個旋轉位置θf、θ2之中央之旋轉位置作為第2旋轉位置θs而求出。但，於第1方法中，使載置部基準線B一點點地旋轉而運算指標長度L，與此相對，於第2方法中，藉由確定利用物體檢測感測器41的靶T之檢測・非檢測之變化點，不運算指標長度L而探索上述2個旋轉位置θf、θ2。
第2方法之方向合併處理中，上述第1方法之步驟S31至步驟S32之處理之流程相同，該等步驟之說明省略。
第2方法中，於步驟S32之後，控制器15使載置部基準線B及臂基準線A向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，直至以物體檢測感測器41不再檢測出靶T為止。此處，旋轉方向為正方向及反方向中之一方向。繼而，控制器15使載置部基準線B及臂基準線A向正方向及反方向中之另一方向僅旋轉同一旋轉角度，直至以物體檢測感測器41再次檢測出靶T為止。進而，控制器15對再次檢測出靶T時之載置部基準線B之旋轉角度（θ2）進行檢測（參照圖13）。最後，控制器15利用第1旋轉位置θf及旋轉位置θ2，來進行上述之步驟S39～步驟S40之處理。藉由以上之第2方法之方向合併處理，載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致。
（方向合併處理之第3方法） 方向合併處理，亦可代替上述第1方法，而為以下所示之第3方法。第3方法之方向合併處理中，使載置部基準線B及臂基準線A向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，探索指標長度L成為最大之載置部基準線B之旋轉位置，將該旋轉位置作為第2旋轉位置θs而求出。
於第3方法之方向合併處理中，上述第1方法之步驟S31至步驟S37之處理之流程相同，該等步驟之說明省略。
第3方法中，於步驟S37之後，控制器15使載置部基準線B及臂基準線A向探索方向旋轉且每次旋轉同一旋轉角度，利用物體檢測感測器41來進行靶T之檢測，探索指標長度L成為最大之載置部基準線B之旋轉位置θs。於經探索之旋轉位置θs，載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致。
[距離算出處理] 於距離算出處理（步驟S4）中，控制器15使基板搬送機器人1探索當載置部基準線B位於第2旋轉位置θs時之靶T，求出檢測出靶T時之指標長度L（θs）。進而，控制器15基於該指標長度L（θs）、旋轉軸O至靶T之已知距離、及靶T之已知形狀，而求出旋轉軸O與機器人基準軸R之距離，將其作為教示資料而存儲於存儲裝置中。
指標長度L（θs）係與方向合併處理之第3方法中所求出之指標長度L之最大值相同。因此，於方向合併處理中採用第3方法之情形時，可省略上述距離算出處理中之探索處理。
如以上所說明，本實施方式之基板搬送裝置10具備：基板搬送機器人1，其具有：規定機器人基準軸R且對遮擋檢測線D之物體進行檢測之物體檢測感測器41、以及在與機器人基準軸R之軸心方向正交之平面內使物體檢測感測器41移動之臂12；基板載置部9，其具有利用物體檢測感測器41來檢測之靶T，且以與軸心方向平行延伸之旋轉軸O為中心而旋轉；以及控制器，其控制基板搬送機器人1及基板載置部9之動作。
而且，本實施方式之基板搬送裝置10中，控制器15係構成為：於基板載置部9之複數個旋轉位置θ中，利用物體檢測感測器41來檢測靶T，求出機器人基準軸R至靶T之在與軸心方向正交之方向上之距離即指標長度L或與其相關之資訊，基於所求出之指標長度L或與其相關之資訊，求出對位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上之靶T進行檢測時的檢測線D之以機器人基準軸R為旋轉中心之旋轉位置φs以及基板載置部9之以旋轉軸O為中心之旋轉位置θs中之至少一個旋轉位置，且基於所求出之旋轉位置，確定從機器人基準軸R來看之旋轉軸O所處之方向。
同樣地，本實施方式之基板載置部9之旋轉軸O之探索方法中，於基板載置部9之複數個旋轉位置θ，利用物體檢測感測器41來檢測設置於基板載置部9上之靶T，求出機器人基準軸R至靶T之在與軸心方向正交之方向上之距離即指標長度L或與其相關之資訊，基於所求出之指標長度L或與其相關之資訊，求出對位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上之靶T進行檢測時的檢測線D之以機器人基準軸R為旋轉中心之旋轉位置φs以及基板載置部9之以旋轉軸O為中心之旋轉位置θs中之至少一個旋轉位置，基於所求出之旋轉位置，確定從機器人基準軸R來看之旋轉軸O所處之方向。
依據上述之基板搬送裝置10以及基板載置部9之旋轉軸O之探索方法，可基於對位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上之靶T進行檢測時的檢測線D之以機器人基準軸R為旋轉中心之旋轉位置φs，確定從機器人基準軸R來看之旋轉軸O所處之方向。此外，只要獲知對位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上之靶T進行檢測時的旋轉軸O之旋轉位置θs，則利用其，可藉由探索而求出檢測線D之以機器人基準軸R為旋轉中心之旋轉位置。而且，藉由基板搬送機器人1自動進行該作業，能夠對基板搬送機器人1自動教示以機器人基準軸R為基準之旋轉軸O之方向。
又，上述實施方式之基板搬送裝置10中，控制器15係構成為：基於對位於將機器人基準軸R與旋轉軸O連結之直線上之靶T進行檢測時的指標長度L、以及從旋轉軸O至靶T之已知距離，來求出從機器人基準軸R至旋轉軸O之距離。
同樣地，上述實施方式之基板載置部9之旋轉軸O之探索方法中，基於對位於將機器人基準軸與旋轉軸連結之直線上之靶進行檢測時的指標長度、以及旋轉軸至靶之已知距離，來求出機器人基準軸至旋轉軸之距離。
依據上述基板搬送裝置10以及基板載置部9之旋轉軸O之探索方法，能夠對基板搬送機器人1自動教示機器人基準軸R至旋轉軸O之距離。
又，上述實施方式之基板搬送裝置10中，控制器15係構成為：求出載置部基準線B與臂基準線A成為平行的載置部基準線B之以旋轉軸O為旋轉中心之第1載置部旋轉位置θf、以及臂基準線A之以機器人基準軸R為旋轉中心之第1臂旋轉位置φf，藉由位於第1載置部旋轉位置θf之載置部基準線B與位於第1臂旋轉位置φf之臂基準線A向相同方向僅旋轉相同之旋轉角度，而求出載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致的載置部基準線B之第2載置部旋轉位置θs以及臂基準線A之第2臂旋轉位置φs。此處，與機器人基準軸R之軸心方向正交、且通過連接有物體檢測感測器41之臂12之遠側端部及機器人基準軸R之直線規定為臂基準線A，與機器人基準軸R之軸心方向正交、且通過旋轉軸O及靶T之直線規定為載置部基準線B。
此外，控制器15係構成為：將載置部基準線B設於第1載置部旋轉位置θf，並且將臂基準線A設於第1臂旋轉位置φf，將載置部基準線B從第1載置部旋轉位置θf而設於第2載置部旋轉位置θs，並且將臂基準線A從第1臂旋轉位置φf而設於第2臂旋轉位置φs，將臂基準線A位於第2臂旋轉位置φs時的臂12之關節之旋轉位置（即，利用位置檢測器E1～3來檢測之旋轉位置）進行存儲。
同樣地，上述實施方式之基板載置部9之旋轉軸O之探索方法包含：求出載置部基準線B與臂基準線A成為平行的載置部基準線B之以旋轉軸O為旋轉中心之第1載置部旋轉位置θf、以及臂基準線A之以機器人基準軸R為旋轉中心之第1臂旋轉位置φf之步驟；藉由使位於第1載置部旋轉位置θf之載置部基準線B與位於第1臂旋轉位置φf之臂基準線A向相同方向僅旋轉相同之旋轉角度，而求出載置部基準線B之延伸方向與臂基準線A之延伸方向一致的載置部基準線B之第2載置部旋轉位置θs以及臂基準線A之第2臂旋轉位置φs之步驟。
進而，上述實施方式之基板載置部9之旋轉軸O之探索方法包含：將載置部基準線B設於第1載置部旋轉位置θf，並且將臂基準線A設於第1臂旋轉位置φf之步驟；以及將載置部基準線B從第1載置部旋轉位置θf而設於第2載置部旋轉位置θs，並且將臂基準線A從第1臂旋轉位置φf而設於第2臂旋轉位置φs之步驟。
依據上述基板搬送裝置10以及基板載置部9之旋轉軸O之探索方法，可不進行複雜之運算等而實現如下處理：利用於載置部基準線B之複數個旋轉位置θ檢測出靶T時所求出之指標長度L或與其相關之資訊，確定從機器人基準軸R來看之旋轉軸O所處之方向。
雖以上已對本發明之較佳實施方式進行說明，但於不脫離本發明之精神之範圍內，對上述實施方式之具體結構及/或功能之詳情加以變更者亦可包含於本發明中。
1‧‧‧基板搬送機器人
9‧‧‧基板載置部
10‧‧‧基板搬送裝置
11‧‧‧基台
12‧‧‧臂
13‧‧‧手
15‧‧‧控制器
21、22‧‧‧連桿
23‧‧‧升降軸
31‧‧‧基部
32‧‧‧刀片
33‧‧‧支持墊
34‧‧‧推動器
41‧‧‧物體檢測感測器
41a‧‧‧投光器
41b‧‧‧受光器
41c‧‧‧光軸
61‧‧‧升降裝置
62‧‧‧回旋裝置
63‧‧‧平移裝置
90‧‧‧旋轉台
91‧‧‧載置部
92‧‧‧支柱
94‧‧‧旋轉台驅動裝置
95‧‧‧旋轉位置檢測器
A‧‧‧臂基準線
B‧‧‧載置部基準線
D‧‧‧檢測線
E1～3‧‧‧位置檢測器
L‧‧‧指標長度
M1～3‧‧‧伺服馬達
O‧‧‧旋轉軸
R‧‧‧機器人基準軸
T‧‧‧靶
W‧‧‧基板
圖1係本發明之一實施方式之基板搬送裝置之概略側面圖。 圖2係基板搬送裝置之概略俯視圖。 圖3係表示基板搬送裝置之控制系統之構成之圖。 圖4係對旋轉軸之探索方法進行說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖5係表示旋轉軸之探索製程之流程之流程表。 圖6係表示第1方法之平行化處理之流程之流程表。 圖7係表示第1方法之方向合併處理之流程之流程表。 圖8係對平行化處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖9係對平行化處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖10係對平行化處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖11係對平行化處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖12係對平行化處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖13係對方向合併處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。 圖14係對方向合併處理加以說明之基板載置部與基板搬送機器人之概略圖。

Claims (16)

  1. 一種基板載置部之旋轉軸之探索方法，係使用具備規定機器人基準軸且對遮擋檢測線之物體進行檢測之物體檢測感測器、以及在與上述機器人基準軸之軸心方向正交之平面內使上述物體檢測感測器移動之機械臂的基板搬送機器人，對以與上述軸心方向平行延伸之旋轉軸為中心而旋轉之基板載置部之上述旋轉軸進行探索之方法，其特徵在於： 於上述基板載置部之複數個旋轉位置，利用上述物體檢測感測器來檢測設置於上述基板載置部之靶，求出上述機器人基準軸至上述靶之在與上述軸心方向正交之方向上之距離即指標長度或與其相關之資訊； 基於所求出之上述指標長度或與其相關之資訊，求出對位於將上述機器人基準軸與上述旋轉軸連結之直線上之上述靶進行檢測時的上述檢測線之以上述機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置以及上述基板載置部之以上述旋轉軸為中心之旋轉位置中之至少一個旋轉位置；並且 基於所求出之上述旋轉位置，確定從上述機器人基準軸來看之上述旋轉軸所處之方向。
  2. 如請求項1所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其中 基於對位於將上述機器人基準軸與上述旋轉軸連結之直線上之上述靶進行檢測時的上述指標長度、及上述旋轉軸至上述靶之已知距離，來求出上述機器人基準軸至上述旋轉軸之距離。
  3. 如請求項1所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其中 與上述軸心方向正交且通過連接有上述物體檢測感測器之上述機械臂之遠側端部及上述機器人基準軸之直線規定為臂基準線，與上述軸心方向正交且通過上述旋轉軸及上述靶之直線規定為載置部基準線；並且 包含：求出上述載置部基準線與上述臂基準線成為平行的上述載置部基準線之以上述旋轉軸為旋轉中心之第1載置部旋轉位置、及上述臂基準線之以上述機器人基準軸為旋轉中心之第1臂旋轉位置的步驟；以及 藉由位於上述第1載置部旋轉位置之上述載置部基準線及位於上述第1臂旋轉位置之上述臂基準線向相同方向僅旋轉相同之旋轉角度，而求出上述載置部基準線之延伸方向與上述臂基準線之延伸方向一致的上述載置部基準線之第2載置部旋轉位置以及上述臂基準線之第2臂旋轉位置的步驟。
  4. 如請求項3所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其更包含： 將上述載置部基準線設於上述第1載置部旋轉位置，並且將上述臂基準線設於上述第1臂旋轉位置之步驟；以及 將上述載置部基準線從上述第1載置部旋轉位置而設於上述第2載置部旋轉位置，並且將上述臂基準線從上述第1臂旋轉位置而設於上述第2臂旋轉位置的步驟。
  5. 如請求項3所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其中 求出上述第1載置部旋轉位置之步驟包含：一面將上述臂基準線保持於上述第1臂旋轉位置，一面探索上述指標長度相等之上述載置部基準線之2個旋轉位置，將該2個旋轉位置之中央之旋轉位置設為上述第1載置部旋轉位置。
  6. 如請求項3所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其中 求出上述第1載置部旋轉位置之步驟包含：一面將上述臂基準線保持於上述第1臂旋轉位置，一面探索上述指標長度最小之上述載置部基準線之旋轉位置，將該旋轉位置設為上述第1載置部旋轉位置。
  7. 如請求項3所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其中 求出上述第2載置部旋轉位置之步驟包含：使位於上述第1臂旋轉位置之上述臂基準線以上述機器人基準軸為中心，且使位於上述第1載置部旋轉位置之上述基板載置部以上述旋轉軸為中心，分別向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，來探索上述指標長度相等之2個旋轉位置，將該2個旋轉位置之中央之旋轉位置設為上述第2載置部旋轉位置。
  8. 如請求項3所述之基板載置部之旋轉軸之探索方法，其中 求出上述第2載置部旋轉位置之步驟包含：使位於上述第1臂旋轉位置之上述臂基準線以上述機器人基準軸為中心，且使位於上述第1載置部旋轉位置之上述基板載置部以上述旋轉軸為中心，分別向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，探索上述指標長度最大之旋轉位置，將該旋轉位置設為上述第2載置部旋轉位置。
  9. 一種基板搬送裝置，其具備： 基板搬送機器人，其具有：規定機器人基準軸且對遮擋檢測線之物體進行檢測之物體檢測感測器、以及在與上述機器人基準軸之軸心方向正交之平面內使上述物體檢測感測器移動之機械臂； 基板載置部，其具有利用上述物體檢測感測器來檢測之靶，且以與上述軸心方向平行延伸之旋轉軸為中心而旋轉；以及 控制器，其控制上述基板搬送機器人及上述基板載置部之動作；並且 上述控制器係 於上述基板載置部之複數個旋轉位置，利用上述物體檢測感測器來檢測上述靶，求出上述機器人基準軸至上述靶之在與上述軸心方向正交之方向上之距離即指標長度或與其相關之資訊， 基於所求出之上述指標長度或與其相關之資訊，求出對位於將上述機器人基準軸與上述旋轉軸連結之直線上之上述靶進行檢測時的上述檢測線之以上述機器人基準軸為旋轉中心之旋轉位置以及上述基板載置部之以上述旋轉軸為中心之旋轉位置之至少一個旋轉位置，且 基於所求出之上述旋轉位置，確定從上述機器人基準軸來看之上述旋轉軸所處之方向。
  10. 如請求項9所述之基板搬送裝置，其中 上述控制器係 基於對位於將上述機器人基準軸與上述旋轉軸連結之直線上之上述靶進行檢測時的上述指標長度、以及上述旋轉軸至上述靶之已知距離，求出上述機器人基準軸至上述旋轉軸之距離。
  11. 如請求項9所述之基板搬送裝置，其中 與上述軸心方向正交且通過連接有上述物體檢測感測器之上述機械臂之遠側端部及上述機器人基準軸之直線規定為臂基準線，與上述軸心方向正交且通過上述旋轉軸及上述靶之直線規定為載置部基準線；並且 上述控制器係 求出上述載置部基準線與上述臂基準線成為平行的上述載置部基準線之以上述旋轉軸為旋轉中心之第1載置部旋轉位置、及上述臂基準線之以上述機器人基準軸為旋轉中心之第1臂旋轉位置， 藉由位於上述第1載置部旋轉位置之上述載置部基準線及位於上述第1臂旋轉位置之上述臂基準線向相同方向僅旋轉相同之旋轉角度，而求出上述載置部基準線之延伸方向與上述臂基準線之延伸方向一致的上述載置部基準線之第2載置部旋轉位置以及上述臂基準線之第2臂旋轉位置。
  12. 如請求項11所述之基板搬送裝置，其中 上述控制器係 將上述載置部基準線設於上述第1載置部旋轉位置，並且將上述臂基準線設於上述第1臂旋轉位置， 將上述載置部基準線從上述第1載置部旋轉位置而設於上述第2載置部旋轉位置，並且將上述臂基準線從上述第1臂旋轉位置而設於上述第2臂旋轉位置，且 將上述臂基準線位於上述第2臂旋轉位置時的上述機械臂之關節之旋轉位置進行存儲。
  13. 如請求項11所述之基板搬送裝置，其中 上述控制器係以一面將上述臂基準線保持於上述第1臂旋轉位置，一面探索上述指標長度相等之上述載置部基準線之2個旋轉位置之方式，使上述基板搬送機器人及上述基板載置部動作，將該2個旋轉位置之中央之旋轉位置設為上述第1載置部旋轉位置。
  14. 如請求項11所述之基板搬送裝置，其中 上述控制器係以一面將上述臂基準線保持於上述第1臂旋轉位置，一面探索上述指標長度最小之上述載置部基準線之旋轉位置之方式，使上述基板搬送機器人及上述基板載置部動作，將該旋轉位置設為上述第1載置部旋轉位置。
  15. 如請求項11所述之基板搬送裝置，其中 上述控制器係以使位於上述第1臂旋轉位置之上述臂基準線以上述機器人基準軸為中心，且使位於上述第1載置部旋轉位置之上述基板載置部以上述旋轉軸為中心，分別向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，來探索上述指標長度相等之2個旋轉位置之方式，使上述基板搬送機器人及上述基板載置部動作，將該2個旋轉位置之中央之旋轉位置設為上述第2載置部旋轉位置。
  16. 如請求項11所述之基板搬送裝置，其中 上述控制器係以使位於上述第1臂旋轉位置之上述臂基準線以上述機器人基準軸為中心，且使位於上述第1載置部旋轉位置之上述基板載置部以上述旋轉軸為中心，分別向同一旋轉方向僅旋轉同一旋轉角度，來探索上述指標長度最大之旋轉位置之方式，使上述基板搬送機器人及上述基板載置部動作，將該旋轉位置設為上述第2載置部旋轉位置。
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