TW201833352A - 框架一體型遮罩及其製造方法 - Google Patents

框架一體型遮罩及其製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201833352A
TW201833352A TW106139906A TW106139906A TW201833352A TW 201833352 A TW201833352 A TW 201833352A TW 106139906 A TW106139906 A TW 106139906A TW 106139906 A TW106139906 A TW 106139906A TW 201833352 A TW201833352 A TW 201833352A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
mask
frame
integrated
plating film
mother board
Prior art date
Application number
TW106139906A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
張澤龍
Original Assignee
南韓商Tgo科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 南韓商Tgo科技股份有限公司 filed Critical 南韓商Tgo科技股份有限公司
Publication of TW201833352A publication Critical patent/TW201833352A/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00—Electroforming
    • C25D1/10—Moulds; Masks; Masterforms
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00—Electroforming
    • C25D1/20—Separation of the formed objects from the electrodes with no destruction of said electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
TW106139906A 2016-11-22 2017-11-17 框架一體型遮罩及其製造方法 TW201833352A (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20160155991 2016-11-22
??10-2016-0155991 2016-11-22
??10-2017-0093633 2017-07-24
KR1020170093633A KR20180057495A (ko) 2016-11-22 2017-07-24 프레임 일체형 마스크 및 그 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201833352A true TW201833352A (zh) 2018-09-16

Family

ID=62300060

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106139906A TW201833352A (zh) 2016-11-22 2017-11-17 框架一體型遮罩及其製造方法
TW106139907A TW201825713A (zh) 2016-11-22 2017-11-17 框架一體型遮罩的製造方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106139907A TW201825713A (zh) 2016-11-22 2017-11-17 框架一體型遮罩的製造方法

Country Status (2)

Country Link
KR (3) KR101867467B1 (ko)
TW (2) TW201833352A (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102314856B1 (ko) * 2018-07-10 2021-10-18 주식회사 오럼머티리얼 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102342737B1 (ko) * 2018-07-10 2021-12-28 주식회사 오럼머티리얼 마스크의 제조 방법
KR101989531B1 (ko) * 2018-07-10 2019-06-14 주식회사 티지오테크 마스크의 제조 방법
KR102283201B1 (ko) * 2018-08-07 2021-07-30 주식회사 오럼머티리얼 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102188948B1 (ko) * 2019-02-12 2020-12-09 주식회사 오럼머티리얼 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102661470B1 (ko) * 2018-09-03 2024-04-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 그 제조방법
WO2020085701A1 (ko) * 2018-10-22 2020-04-30 주식회사 오럼머티리얼 마스크의 제조 방법, 마스크 지지 템플릿의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102071487B1 (ko) * 2019-06-07 2020-01-30 주식회사 티지오테크 마스크의 제조 방법 및 마스크
TWI802974B (zh) * 2021-08-25 2023-05-21 達運精密工業股份有限公司 遮罩以及遮罩的製造方法
KR20230121362A (ko) 2022-02-11 2023-08-18 주식회사 한송네오텍 마이크로 led 제조용 마스크 프레임 어셈블리 제조방법
KR20230121358A (ko) 2022-02-11 2023-08-18 주식회사 한송네오텍 마이크로 led 제조용 마스크 프레임 어셈블리의 패턴마스크 스트레칭 방법
KR20230121352A (ko) 2022-02-11 2023-08-18 주식회사 한송네오텍 마이크로 led 제조용 마스크 프레임 어셈블리

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100700660B1 (ko) * 2005-04-06 2007-03-27 삼성에스디아이 주식회사 마스크 및 그의 제조 방법
TWI396771B (zh) * 2009-08-25 2013-05-21 羅門哈斯電子材料有限公司 形成矽化鎳之強化方法
KR20120069396A (ko) * 2010-12-20 2012-06-28 삼성모바일디스플레이주식회사 증착용 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR20120073900A (ko) * 2010-12-27 2012-07-05 주식회사 제이미크론 광섬유를 이용한 금도금 박리 장치
KR20140033736A (ko) * 2012-09-10 2014-03-19 김정식 도금방식으로 성장시킨 메탈 마스크와 그 제작방법
KR102126699B1 (ko) * 2013-05-30 2020-06-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180057495A (ko) 2018-05-30
TW201825713A (zh) 2018-07-16
KR101870820B1 (ko) 2018-06-27
KR101867467B1 (ko) 2018-06-15
KR20180057461A (ko) 2018-05-30
KR20180057459A (ko) 2018-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201833352A (zh) 框架一體型遮罩及其製造方法
KR20220024356A (ko) 프레임 일체형 마스크 및 그 제조방법
KR101986525B1 (ko) 마스크의 제조 방법
KR102236538B1 (ko) 마스크의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR101989531B1 (ko) 마스크의 제조 방법
CN110651374A (zh) 框架一体型掩模
KR102314854B1 (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
TW201920719A (zh) 框架一體型遮罩的製造方法
KR20190025433A (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
CN111656552A (zh) 框架一体型掩模及框架一体型掩模的制造方法
TW201907225A (zh) 遮罩、其製造方法以及母板
TW202018999A (zh) 遮罩的製造方法、遮罩及框架一體型遮罩
TW201939791A (zh) 框架一體型遮罩的製造方法
JP2020500263A (ja) 母板、母板の製造方法、マスクの製造方法及びｏｌｅｄ画素蒸着方法
KR102071487B1 (ko) 마스크의 제조 방법 및 마스크
KR101986526B1 (ko) 마스크의 제조 방법
KR102371176B1 (ko) 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법
KR102342737B1 (ko) 마스크의 제조 방법
KR20200044747A (ko) 마스크의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
TW201921098A (zh) 框架一體型遮罩的製造方法
KR20190141965A (ko) 마스크의 제조 방법
KR20200040644A (ko) 마스크 및 프레임 일체형 마스크
KR102357802B1 (ko) 프레임 일체형 마스크 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102138799B1 (ko) 마스크 및 프레임 일체형 마스크
KR101986530B1 (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법