KR102371176B1 - 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법 - Google Patents

프레임에 부착된 마스크의 분리 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102371176B1
KR102371176B1 KR1020180016187A KR20180016187A KR102371176B1 KR 102371176 B1 KR102371176 B1 KR 102371176B1 KR 1020180016187 A KR1020180016187 A KR 1020180016187A KR 20180016187 A KR20180016187 A KR 20180016187A KR 102371176 B1 KR102371176 B1 KR 102371176B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
frame
edge
attached
cell
Prior art date
Application number
KR1020180016187A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20190096578A (ko
Inventor
이유진
Original Assignee
주식회사 오럼머티리얼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 오럼머티리얼 filed Critical 주식회사 오럼머티리얼
Priority to KR1020180016187A priority Critical patent/KR102371176B1/ko
Publication of KR20190096578A publication Critical patent/KR20190096578A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102371176B1 publication Critical patent/KR102371176B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H01L51/56—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00—Electroforming
    • C25D1/10—Moulds; Masks; Masterforms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L51/0011—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법은, (a) 테두리 프레임부(210) 및 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하고 테두리 프레임부(210)에 연결되는 마스크 셀 시트부(200)를 포함하는, 프레임(200) 상부의 적어도 일부분에 마스크(100)가 부착된 프레임 일체형 마스크(100, 200)를 제공하는 단계, (b) 부착된 마스크(100a)의 적어도 일측 모서리(102a)의 외측 부분을 압착하는 단계, 및 (c) 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)에 외력(SP)을 가하여 프레임(200)으로부터 마스크(100)를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

프레임에 부착된 마스크의 분리 방법 {METHOD FOR SEPARATING MASK ADHERE TO FRAME}
본 발명은 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 프레임으로부터 마스크를 분리하고 교체하는 과정에서 프레임의 변형을 방지할 수 있는 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법에 관한 것이다.
최근에 박판 제조에 있어서 전주 도금(Electroforming) 방법에 대한 연구가 진행되고 있다. 전주 도금 방법은 전해액에 양극체, 음극체를 침지하고, 전원을 인가하여 음극체의 표면상에 금속박판을 전착시키므로, 극박판을 제조할 수 있으며, 대량 생산을 기대할 수 있는 방법이다.
한편, OLED 제조 공정에서 화소를 형성하는 기술로, 박막의 금속 마스크(Shadow Mask)를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 FMM(Fine Metal Mask) 법이 주로 사용된다.
기존의 OLED 제조 공정에서는 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용한다. 마스크 하나에는 디스플레이 하나에 대응하는 셀이 여러개 구비될 수 있다. 또한, 대면적 OLED 제조를 위해서 여러 개의 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 고정시킬 수 있는데, 프레임에 고정하는 과정에서 각 마스크가 평평하게 되도록 인장을 하게 된다. 마스크의 전체 부분이 평평하게 되도록 인장력을 조절하는 것은 매우 어려운 작업이다. 특히, 각 셀들을 모두 평평하게 하면서, 크기가 수 내지 수십 ㎛에 불과한 마스크 패턴을 정렬하기 위해서는, 마스크의 각 측에 가하는 인장력을 미세하게 조절하면서, 정렬 상태를 실시간으로 확인하는 고도의 작업이 요구된다.
그럼에도 불구하고, 여러 개의 마스크를 하나의 프레임에 고정시키는 과정에서 마스크 상호간에, 그리고 마스크 셀들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 있었다. 또한, 마스크를 프레임에 용접 고정하는 과정에서 마스크 막의 두께가 너무 얇고 대면적이기 때문에 하중에 의해 마스크가 쳐지거나 뒤틀어지는 문제점이 있었다.
초고화질의 OLED의 경우, 현재 QHD 화질은 500~600 PPI(pixel per inch)로 화소의 크기가 약 30~50㎛에 이르며, 4K UHD, 8K UHD 고화질은 이보다 높은 ~860 PPI, ~1600 PPI 등의 해상도를 가지게 된다. 이렇듯 초고화질의 OLED의 화소 크기를 고려하여 각 셀들간의 정렬 오차를 수 ㎛ 정도로 감축시켜야 하며, 이를 벗어나는 오차는 제품의 실패로 이어지게 되므로 수율이 매우 낮아지게 될 수 있다. 그러므로, 마스크가 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고, 정렬을 명확하게 할 수 있는 기술, 마스크를 프레임에 고정하는 기술 등의 개발이 필요한 실정이다.
한편, 마스크가 일부 정렬이 명확하지 않게 고정되거나, 마스크에 결함이 발생한 경우 마스크를 분리해야 하나, 용접된 마스크를 분리 및 교체하는 과정에서 다른 마스크의 정렬을 어긋나게 하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크와 프레임이 일체형 구조를 이루는 프레임 일체형 마스크에서 마스크의 분리 및 교체를 용이하게 할 수 있는 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 프레임이 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고 정렬을 명확하게 할 수 있는 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 상기의 목적은, 프레임에 부착된 마스크를 분리하는 방법으로서, (a) 테두리 프레임부 및 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하는, 프레임 상부의 적어도 일부분에 마스크가 부착된 프레임 일체형 마스크를 제공하는 단계; (b) 부착된 마스크의 적어도 일측 모서리의 외측 부분을 압착하는 단계; 및 (c) 마스크의 일측 모서리에 외력을 가하여 프레임으로부터 마스크를 분리하는 단계를 포함하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법에 의해 달성된다.
마스크 셀 시트부는, 제1 방향, 제1 방향에 수직인 제2 방향 중 적어도 하나의 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비할 수 있다.
마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고, 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고, 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부를 포함할 수 있다.
각각의 마스크 셀 영역에 각각의 마스크가 대응될 수 있다.
마스크는, 복수의 마스크 패턴이 형성된 마스크 셀, 및 마스크 셀 주변의 더미를 포함하고, 더미의 적어도 일부가 마스크 셀 시트부에 부착될 수 있다.
마스크는 하나의 마스크 셀을 포함하고, 마스크 셀 시트부의 각각의 마스크 셀 영역 상에 각각의 마스크가 대응 수 있다.
마스크는 복수의 마스크 셀을 포함하고, 마스크 셀 시트부의 각각의 마스크 셀 영역 상에 각각의 마스크가 대응될 수 있다.
(b) 단계에서, 마스크 일측 모서리의 외측에 배치된 마스크 셀 시트부의 상부면과 하부면을 압착할 수 있다.
마스크 일측 모서리에 대응하는 마스크 셀 시트부의 모서리 상부면을 압착바로 누를 수 있다.
프레임 형상에 대응하는 프레임 지지홈이 상부면에 형성된 지지체를 프레임의 하부에 배치할 수 있다.
(a) 단계에서, 마스크의 더미가 마스크 셀 시트부 상부에 용접되어 마스크가 프레임에 부착되고, (c) 단계에서, 마스크의 일측 모서리에 외력을 가하여 마스크의 일측 모서리를 프레임으로부터 떼어낸 후, 마스크의 일측에 대향하는 타측 모서리에 외력을 가하여 타측 모서리를 프레임으로부터 떼어내면서, 마스크를 프레임으로부터 분리할 수 있다.
(a) 단계에서, 적어도 두 금속의 합금을 포함하는 접착부를 매개하여 마스크가 프레임에 부착되고, (c) 단계에서, 외력에 더하여 소정의 온도, 소정의 압력 중 적어도 어느 하나를 접착부에 가할 수 있다.
(c) 단계에서, 접착부의 적어도 일부가 고상(solid phase)에서 액상(liquid phase)으로 변할 수 있다.
(a) 단계에서, 접착 도금부를 매개하여 마스크가 프레임에 부착되고, (c) 단계에서, 마스크의 일측 모서리에 외력을 가하여 마스크의 일측 모서리를 프레임으로부터 떼어낸 후, 마스크의 일측에 대향하는 타측 모서리에 외력을 가하여 타측 모서리를 프레임으로부터 떼어내면서, 마스크를 프레임으로부터 분리할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 마스크와 프레임이 일체형 구조를 이루는 프레임 일체형 마스크에서 마스크의 분리 및 교체를 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 프레임이 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고 정렬을 명확하게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 OLED 화소 증착용 마스크를 나타내는 개략도이다.
도 2는 종래의 마스크를 프레임에 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 3은 종래의 마스크를 인장하는 과정에서 셀들간의 정렬 오차가 발생하는 것을 나타내는 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임을 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프레임의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 인장 형태 및 마스크를 프레임의 셀 영역에 대응시키는 상태를 나타내는 개략도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크를 프레임의 셀 영역에 대응하여 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 10은 본 발명의 여러 실시예에 따른 마스크가 프레임에 부착된 형태를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 이용한 OLED 화소 증착 장치를 나타내는 개략도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크에서 마스크를 분리하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크에서 마스크를 분리하는 과정을 나타내는 개략도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 OLED 화소 증착용 마스크(10)를 나타내는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 마스크(10)는 스틱형(Stick-Type) 또는 판형(Plate-Type)으로 제조될 수 있다. 도 1의 (a)에 도시된 마스크(10)는 스틱형 마스크로서, 스틱의 양측을 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용할 수 있다. 도 1의 (b)에 도시된 마스크(100)는 판형(Plate-Type) 마스크로서, 넓은 면적의 화소 형성 공정에서 사용될 수 있다.
마스크(10)의 바디(Body)[또는, 마스크 막(11)]에는 복수의 디스플레이 셀(C)이 구비된다. 하나의 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응한다. 셀(C)에는 디스플레이의 각 화소에 대응하도록 화소 패턴(P)이 형성된다. 셀(C)을 확대하면 R, G, B에 대응하는 복수의 화소 패턴(P)이 나타난다. 일 예로, 셀(C)에는 70 X 140의 해상도를 가지도록 화소 패턴(P)이 형성된다. 즉, 수많은 화소 패턴(P)들은 군집을 이루어 셀(C) 하나를 구성하며, 복수의 셀(C)들이 마스크(10)에 형성될 수 있다.
도 2는 종래의 마스크(10)를 프레임(20)에 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다. 도 3은 종래의 마스크(10)를 인장(F1~F2)하는 과정에서 셀들간의 정렬 오차가 발생하는 것을 나타내는 개략도이다. 도 1의 (a)에 도시된 6개의 셀(C: C1~C6)을 구비하는 스틱 마스크(10)를 예로 들어 설명한다.
도 2의 (a)를 참조하면, 먼저, 스틱 마스크(10)를 평평하게 펴야한다. 스틱 마스크(10)의 장축 방향으로 인장력(F1~F2)을 가하여 당김에 따라 스틱 마스크(10)가 펴지게 된다. 그 상태로 사각틀 형태의 프레임(20) 상에 스틱 마스크(10)를 로딩한다. 스틱 마스크(10)의 셀(C1~C6)들은 프레임(20)의 틀 내부 빈 영역 부분에 위치하게 된다. 프레임(20)은 하나의 스틱 마스크(10)의 셀(C1~C6)들이 틀 내부 빈 영역에 위치할 정도의 크기일 수 있고, 복수의 스틱 마스크(10)의 셀(C1~C6)들이 틀 내부 빈 영역에 위치할 정도의 크기일 수도 있다.
도 2의 (b)를 참조하면, 스틱 마스크(10)의 각 측에 가하는 인장력(F1~F2)을 미세하게 조절하면서 정렬을 시킨 후, 스틱 마스크(10) 측면의 일부를 용접(W)함에 따라 스틱 마스크(10)와 프레임(20)을 상호 연결한다. 도 2의 (c)는 상호 연결된 스틱 마스크(10)와 프레임의 측단면을 나타낸다.
도 3을 참조하면, 스틱 마스크(10)의 각 측에 가하는 인장력(F1~F2)을 미세하게 조절함에도 불구하고, 마스크 셀(C1~C3)들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 나타난다. 가령, 셀(C1~C3)들의 패턴(P)간에 거리(D1~D1", D2~D2")가 상호 다르게 되거나, 패턴(P)들이 비뚤어지는 것이 그 예이다. 스틱 마스크(10)는 복수(일 예로, 6개)의 셀(C1~C6)을 포함하는 대면적이고, 수십 ㎛ 수준의 매우 얇은 두께를 가지기 때문에, 하중에 의해 쉽게 쳐지거나 뒤틀어지게 된다. 또한, 각 셀(C1~C6)들을 모두 평평하게 하도록 인장력(F1~F2)을 조절하면서, 각 셀(C1~C6)들간의 정렬 상태를 현미경을 통해 실시간으로 확인하는 것은 매우 어려운 작업이다.
따라서, 인장력(F1~F2)의 미세한 오차는 스틱 마스크(10) 각 셀(C1~C3)들이 늘어나거나, 펴지는 정도에 오차를 발생시킬 수 있고, 그에 따라 마스크 패턴(P)간에 거리(D1~D1", D2~D2")가 상이해지게 되는 문제점을 발생시킨다. 물론, 완벽하게 오차가 0이 되도록 정렬하는 것은 어려운 것이지만, 크기가 수 내지 수십 ㎛인 마스크 패턴(P)이 초고화질 OLED의 화소 공정에 악영향을 미치지 않도록 하기 위해서는, 정렬 오차가 3㎛를 초과하지 않는 것이 바람직하다. 이렇게 인접하는 셀 사이의 정렬 오차를 PPA(pixel position accuracy)라 지칭한다.
이에 더하여, 대략 6~20개 정도의 복수의 스틱 마스크(10)들을 프레임(20) 하나에 각각 연결하면서, 복수의 스틱 마스크(10)들간에, 그리고 스틱 마스크(10)의 복수의 셀(C~C6)들간에 정렬 상태를 명확히 하는 것도 매우 어려운 작업이고, 정렬에 따른 공정 시간이 증가할 수밖에 없게 되어 생산성을 감축시키는 중대한 이유가 된다.
이에, 본 발명은 마스크(100)가 프레임(200)과 일체형 구조를 이룰 수 있게 하는 프레임(200) 및 프레임 일체형 마스크를 제안한다. 프레임(200)에 일체로 형성되는 마스크(100)는 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형이 방지되고, 프레임(200)에 명확히 정렬될 수 있다. 그리고, 마스크(100)를 프레임(200)에 일체로 연결하는 제조시간을 현저하게 감축시키고, 수율을 현저하게 상승시킬 수 있는 이점을 가진다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도[도 4의 (a)] 및 측단면도[도 4의 (b)]이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임을 나타내는 정면도[도 5의 (a)] 및 측단면도[도 5의 (b)]이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 프레임 일체형 마스크는, 복수의 마스크(100) 및 하나의 프레임(200)을 포함할 수 있다. 다시 말해, 복수의 마스크(100)들을 각각 하나씩 프레임(200)에 부착한 형태이다. 이하에서는, 설명의 편의상 사각 형태의 마스크(100)를 예로 들어 설명하나, 마스크(100)들은 프레임(200)에 부착되기 전에는 양측에 클램핑되는 돌출부를 구비한 스틱 마스크 형태일 수 있고, 프레임(200)에 부착된 후에 돌출부가 제거될 수 있다.
각각의 마스크(100)에는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성되며, 하나의 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있다. 하나의 마스크 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응할 수 있다. 얇은 두께로 형성할 수 있도록, 마스크(100)는 전주도금(electroforming)으로 형성될 수 있다. 마스크(100)는 열팽창계수가 약 1.0 X 10-6/℃인 인바(invar), 약 1.0 X 10-7/℃ 인 슈퍼 인바(super invar) 재질일 수 있다. 이 재질의 마스크(100)는 열팽창계수가 매우 낮기 때문에 열에너지에 의해 마스크의 패턴 형상이 변형될 우려가 적어 고해상도 OLED 제조에서 있어서 FMM(Fine Metal Mask), 새도우 마스크(Shadow Mask)로 사용될 수 있다. 이 외에, 최근에 온도 변화값이 크지 않은 범위에서 화소 증착 공정을 수행하는 기술들이 개발되는 것을 고려하면, 마스크(100)는 이보다 열팽창계수가 약간 큰 니켈(Ni), 니켈-코발트(Ni-Co) 등의 재질일 수도 있다. 마스크의 두께는 약 2㎛ 내지 50㎛ 정도로 형성될 수 있다.
프레임(200)은 복수의 마스크(100)를 부착시킬 수 있도록 형성된다. 프레임(200)은 최외곽 테두리를 포함해 제1 방향(예를 들어, 가로 방향), 제2 방향(예를 들어, 세로 방향)으로 형성되는 여러 모서리를 포함할 수 있다. 이러한 여러 모서리들은 프레임(200) 상에 마스크(100)가 부착될 구역을 구획할 수 있다.
프레임(200)은 대략 사각 형상, 사각틀 형상의 테두리 프레임부(210)를 포함할 수 있다. 테두리 프레임부(210)의 내부는 중공 형태일 수 있다. 즉, 테두리 프레임부(210)는 중공 영역(R)을 포함할 수 있다. 프레임(200)은 인바, 슈퍼인바, 알루미늄, 티타늄 등의 금속 재질로 구성될 수 있으며, 열변형을 고려하여 마스크와 동일한 열팽창계수를 가지는 인바, 슈퍼 인바, 니켈, 니켈-코발트 등의 재질로 구성되는 것이 바람직하고, 이 재질들은 프레임(200)의 구성요소인 테두리 프레임부(210), 마스크 셀 시트부(220)에 모두 적용될 수 있다.
이에 더하여, 프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하며, 테두리 프레임부(210)에 연결되는 마스크 셀 시트부(220)를 포함할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 마스크(100)와 마찬가지로 전주도금으로 형성되거나, 그 외의 막 형성 공정을 사용하여 형성될 수 있다. 또한, 마스크 셀 시트부(220)는 평면의 시트(sheet)에 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 형성한 후, 테두리 프레임부(210)에 연결할 수 있다. 또는, 마스크 셀 시트부(220)는 평면의 시트를 테두리 프레임부(210)에 연결한 후, 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 형성할 수 있다. 본 명세서에서는 마스크 셀 시트부(220)에 먼저 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 형성한 후, 테두리 프레임부(210)에 연결한 것을 상정하여 설명한다.
마스크 셀 시트부(220)는 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225) 중 적어도 하나를 포함하여 구성될 수 있다. 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)는 동일한 시트에서 구획된 각 부분을 지칭하며, 이들은 상호간에 일체로 형성된다.
테두리 시트부(221)가 실질적으로 테두리 프레임부(210)에 연결될 수 있다. 따라서, 테두리 시트부(221)는 테두리 프레임부(210)와 대응하는 대략 사각 형상, 사각틀 형상을 가질 수 있다.
또한, 제1 그리드 시트부(223)는 제1 방향(가로 방향)으로 연장 형성될 수 있다. 제1 그리드 시트부(223)는 직선 형태로 형성되어 양단이 테두리 시트부(221)에 연결될 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)가 복수의 제1 그리드 시트부(223)를 포함하는 경우, 각각의 제1 그리드 시트부(223)는 동등한 간격을 이루는 것이 바람직하다.
또한, 이에 더하여, 제2 그리드 시트부(225)가 제2 방향(세로 방향)으로 연장 형성될 수 있다. 제2 그리드 시트부(225)는 직선 형태로 형성되어 양단이 테두리 시트부(221)에 연결될 수 있다. 제1 그리드 시트부(223)와 제2 그리드 시트부(225)는 서로 수직 교차될 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)가 복수의 제2 그리드 시트부(225)를 포함하는 경우, 각각의 제2 그리드 시트부(225)는 동등한 간격을 이루는 것이 바람직하다.
한편, 제1 그리드 시트부(223)들 간의 간격과, 제2 그리드 시트부(225)들 간의 간격은 마스크 셀(C)의 크기에 따라서 동일하거나 상이할 수 있다.
제1 그리드 시트부(223) 및 제2 그리드 시트부(225)는 박막 형태의 얇은 두께를 가지지만, 길이 방향에 수직하는 단면의 형상은 직사각형, 사다리꼴과 같은 사각형 형상[도 5의 (b) 및 도 10 참조], 삼각형 형상 등일 수 있고, 변, 모서리 부분이 일부 라운딩 될 수도 있다. 단면 형상은 레이저 스크라이빙, 에칭 등의 과정에서 조절 가능하다.
테두리 프레임부(210)의 두께는 마스크 셀 시트부(220)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 테두리 프레임부(210)는 프레임(200)의 전체 강성을 담당하기 때문에 수mm 내지 수cm의 두께로 형성될 수 있다.
마스크 셀 시트부(220)의 경우는, 실질적으로 두꺼운 시트를 제조하는 공정이 어렵고, 너무 두꺼우면 OLED 화소 증착 공정에서 유기물 소스(600)[도 10 참조]가 마스크(100)를 통과하는 경로를 막는 문제를 발생시킬 수 있다. 반대로, 두께가 너무 얇아지면 마스크(100)를 지지할 정도의 강성 확보가 어려울 수 있다. 이에 따라, 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 프레임부(210)의 두께보다는 얇지만, 마스크(100)보다는 두꺼운 것이 바람직하다. 마스크 셀 시트부(220)의 두께는, 약 0.1mm 내지 1mm 정도로 형성될 수 있다. 그리고, 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭은 약 1~5mm 정도로 형성될 수 있다.
평면의 시트에서 테두리 시트부(221), 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)가 점유하는 영역을 제외하여, 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)이 제공될 수 있다. 다른 관점에서, 마스크 셀 영역(CR)이라 함은, 테두리 프레임부(210)의 중공 영역(R)에서 테두리 시트부(221), 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)가 점유하는 영역을 제외한, 빈 영역을 의미할 수 있다.
이 마스크 셀 영역(CR)에 마스크(100)의 셀(C)이 대응됨에 따라, 실질적으로 마스크 패턴(P)을 통해 OLED의 화소가 증착되는 통로로 이용될 수 있게 된다. 전술하였듯이 하나의 마스크 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응한다. 하나의 마스크(100)에는 하나의 셀(C)을 구성하는 마스크 패턴(P)들이 형성될 수 있다. 또는, 하나의 마스크(100)가 복수의 셀(C)을 구비하고 각각의 셀(C)이 프레임(200)의 각각의 셀 영역(CR)에 대응할 수도 있으나, 마스크(100)의 명확한 정렬을 위해서는 대면적 마스크(100)를 지양할 필요가 있고, 하나의 셀(C)을 구비하는 소면적 마스크(100)가 바람직하다. 또는, 프레임(200)의 하나의 셀 영역(CR)에 복수의 셀(C)을 가지는 하나의 마스크(100)가 대응할 수도 있다. 이 경우, 명확한 정렬을 위해서는 2-3개 정도의 소수의 셀(C)을 가지는 마스크(100)를 대응하는 것을 고려할 수 있다.
프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하고, 각각의 마스크(100)는 각각 하나의 마스크 셀(C)이 마스크 셀 영역(CR)에 대응되도록 부착될 수 있다. 각각의 마스크(100)는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성된 마스크 셀(C) 및 마스크 셀(C) 주변의 더미[셀(C)을 제외한 마스크 막(110) 부분에 대응]를 포함할 수 있다. 더미는 마스크 막(110)만을 포함하거나, 마스크 패턴(P)과 유사한 형태의 소정의 더미 패턴이 형성된 마스크 막(110)을 포함할 수 있다. 마스크 셀(C)은 프레임(200)의 마스크 셀 영역(CR)에 대응하고, 더미의 일부 또는 전부가 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착될 수 있다. 이에 따라, 마스크(100)와 프레임(200)이 일체형 구조를 이룰 수 있게 된다.
이하에서는, 프레임 일체형 마스크를 제조하는 과정에 대해 설명한다.
먼저, 도 4 및 도 5에서 상술한 프레임(200)을 제공할 수 있다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임(200)의 제조 과정을 나타내는 개략도이다.
도 6의 (a)를 참조하면, 테두리 프레임부(210)를 제공한다. 테두리 프레임부(210)는 중공 영역(R)을 포함한 사각 틀 형상일 수 있다.
다음으로, 도 6의 (b)를 참조하면, 마스크 셀 시트부(220)를 제조한다. 마스크 셀 시트부(220)는 전주도금 또는 그 외의 막 형성 공정을 사용하여 평면의 시트를 제조한 후, 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 마스크 셀 영역(CR) 부분을 제거함에 따라 제조할 수 있다. 본 명세서에서는 6 X 5의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 형성한 것을 예로 들어 설명한다. 5개의 제1 그리드 시트부(223) 및 4개의 제2 그리드 시트부(225)가 존재할 수 있다.
다음으로, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210)에 대응할 수 있다. 대응시키는 과정에서, 마스크 셀 시트부(220)의 모든 측을 인장(F1~F4)하여 마스크 셀 시트부(220)를 평평하게 편 상태로 테두리 시트부(221)를 테두리 프레임부(210)에 대응할 수 있다. 한 측에서도 여러 포인트[도 6의 (b)의 예로, 1~3포인트]로 마스크 셀 시트부(220)를 잡고 인장할 수 있다. 한편, 모든 측이 아니라, 일부 측 방향을 따라 마스크 셀 시트부(220)를 인장(F1, F2) 할 수도 있다.
다음으로, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210)에 대응하면, 마스크 셀 시트부(220)의 테두리 시트부(221)를 용접(W)하여 부착할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)가 테두리 시트부(221)에 견고하게 부착될 수 있도록, 모든 측을 용접(W)하는 것이 바람직하다. 용접(W)은 테두리 프레임부(210)의 모서리쪽에 최대한 가깝게 수행하여야 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220) 사이의 들뜬 공간을 최대한 줄이고 밀착성을 높일 수 있게 된다. 용접(W) 부분은 라인(line) 또는 스팟(spot) 형태로 생성될 수 있으며, 마스크 셀 시트부(220)와 동일한 재질을 가지고 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220)를 일체로 연결하는 매개체가 될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프레임의 제조 과정을 나타내는 개략도이다. 도 6의 실시예는 마스크 셀 영역(CR)을 구비한 마스크 셀 시트부(220)를 먼저 제조하고 테두리 프레임부(210)에 부착하였으나, 도 7의 실시예는 평면의 시트를 테두리 프레임부(210)에 부착한 후에, 마스크 셀 영역(CR) 부분을 형성한다.
먼저, 도 6의 (a)처럼, 중공 영역(R)을 포함한 테두리 프레임부(210)를 제공한다.
다음으로, 도 7의 (a)를 참조하면, 테두리 프레임부(210)에 평면의 시트[평면의 마스크 셀 시트부(220')]를 대응할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220')는 아직 마스크 셀 영역(CR)이 형성되지 않은 평면 상태이다. 대응시키는 과정에서, 마스크 셀 시트부(220')의 모든 측을 인장(F1~F4)하여 마스크 셀 시트부(220')를 평평하게 편 상태로 테두리 프레임부(210)에 대응할 수 있다. 한 측에서도 여러 포인트[도 7의 (a)의 예로, 1~3포인트]로 마스크 셀 시트부(220')를 잡고 인장할 수 있다. 한편, 모든 측이 아니라, 일부 측 방향을 따라 마스크 셀 시트부(220')를 인장(F1, F2) 할 수도 있다.
다음으로, 마스크 셀 시트부(220')를 테두리 프레임부(210)에 대응하면, 마스크 셀 시트부(220')의 테두리 부분을 용접(W)하여 부착할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220')가 테두리 프레임부(220)에 견고하게 부착될 수 있도록, 모든 측을 용접(W)하는 것이 바람직하다. 용접(W)은 테두리 프레임부(210)의 모서리쪽에 최대한 가깝게 수행하여야 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220') 사이의 들뜬 공간을 최대한 줄이고 밀착성을 높일 수 있게 된다. 용접(W) 부분은 라인(line) 또는 스팟(spot) 형태로 생성될 수 있으며, 마스크 셀 시트부(220')와 동일한 재질을 가지고 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220')를 일체로 연결하는 매개체가 될 수 있다.
다음으로, 도 7의 (b)를 참조하면, 평면의 시트[평면의 마스크 셀 시트부(220')]에 마스크 셀 영역(CR)을 형성한다. 레이저 스크라이빙, 에칭 등을 통해 마스크 셀 영역(CR) 부분의 시트를 제거함에 따라 마스크 셀 영역(CR)을 형성할 수 있다. 본 명세서에서는 6 X 5의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 형성한 것을 예로 들어 설명한다. 마스크 셀 영역(CR)을 형성하게 되면, 테두리 프레임부(210)와 용접(W)된 부분이 테두리 시트부(221)가 되고, 5개의 제1 그리드 시트부(223) 및 4개의 제2 그리드 시트부(225)를 구비하는 마스크 셀 시트부(220)가 구성될 수 있다.
한편, 도 6 및 도 7에서는 테두리 프레임부(210)와 마스크 셀 시트부(220)가 용접(W)으로 부착된 실시예를 설명하였으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니며, 도 10에서 후술할, 유테틱 접착부(EM), 전주 도금부(150) 및 기타 유무기 접착제 등을 사용한 방법으로 부착을 수행할 수도 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(100)의 인장 형태[도 8의 (a)] 및 마스크(100)를 프레임(200)의 셀 영역(CR)에 대응시키는 상태[도 8의 (b)]를 나타내는 개략도이다.
다음으로, 복수의 마스크 패턴(P)이 형성된 마스크(100)를 제공할 수 있다. 전주도금 방식으로 인바, 슈퍼 인바 재질의 마스크(100)를 제조할 수 있고, 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있음은 상술한 바 있다.
전주도금에서 음극체(cathode)로 사용하는 모판(mother plate)은 전도성 재질을 사용한다. 전도성 재질로서, 메탈의 경우에는 표면에 메탈 옥사이드들이 생성되어 있을 수 있고, 메탈 제조 과정에서 불순물이 유입될 수 있으며, 다결정 실리콘 기재의 경우에는 개재물 또는 결정립계(Grain Boundary)가 존재할 수 있으며, 전도성 고분자 기재의 경우에는 불순물이 함유될 가능성이 높고, 강도. 내산성 등이 취약할 수 있다. 메탈 옥사이드, 불순물, 개재물, 결정립계 등과 같이 모판(또는, 음극체)의 표면에 전기장이 균일하게 형성되는 것을 방해하는 요소를 "결함"(Defect)으로 지칭한다. 결함(Defect)에 의해, 상술한 재질의 음극체에는 균일한 전기장이 인가되지 못하여 도금막[마스크(100)]의 일부가 불균일하게 형성될 수 있다.
UHD 급 이상의 초고화질 화소를 구현하는데 있어서 도금막 및 도금막 패턴[마스크 패턴(P)]의 불균일은 화소의 형성에 악영향을 미칠 수 있다. FMM, 새도우 마스크의 패턴 폭은 수 내지 수십㎛의 크기, 바람직하게는 30㎛보다 작은 크기로 형성될 수 있으므로, 수㎛ 크기의 결함조차 마스크의 패턴 사이즈에서 큰 비중을 차지할 정도의 크기이다.
또한, 상술한 재질의 음극체에서의 결함을 제거하기 위해서는 메탈 옥사이드, 불순물 등을 제거하기 위한 추가적인 공정이 수행될 수 있으며, 이 과정에서 음극체 재료가 식각되는 등의 또 다른 결함이 유발될 수도 있다.
따라서, 본 발명은 단결정 실리콘 재질의 모판(또는, 음극체)를 사용할 수 있다. 전도성을 가지도록, 단결정 실리콘 재질의 모판에는 1019/cm3 이상의 고농도 도핑이 수행될 수 있다. 도핑은 모판의 전체에 수행될 수도 있으며, 모판의 표면 부분에만 수행될 수도 있다.
도핑된 단결정 실리콘의 경우는 결함이 없기 때문에, 전주 도금 시에 표면 전부에서 균일한 전기장 형성으로 인한 균일한 도금막[마스크(100)]이 생성될 수 있는 이점이 있다. 균일한 도금막을 통해 제조하는 프레임 일체형 마스크(100, 200)는 OLED 화소의 화질 수준을 더욱 개선할 수 있다. 그리고, 결함을 제거, 해소하는 추가 공정이 수행될 필요가 없으므로, 공정비용이 감축되고, 생산성이 향상되는 이점이 있다.
또한, 실리콘 재질의 모판을 사용함에 따라서, 필요에 따라 모판의 표면을 산화(Oxidation), 질화(Nitridation)하는 과정만으로 절연부를 형성할 수 있는 이점이 있다. 절연부는 포토레지스트를 사용하여 형성할 수도 있다. 절연부가 형성된 부분에서는 도금막[마스크(100)]의 전착이 방지되어, 도금막에 패턴[마스크 패턴(P)]을 형성하게 된다.
마스크 패턴(P)의 폭은 40㎛보다 작게 형성될 수 있고, 마스크(100)의 두께는 약 2~50㎛로 형성될 수 있다. 프레임(200)이 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 구비하므로, 각각의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)에 대응하는 마스크 셀(C: C11~C56)을 가지는 마스크(100)도 복수개 구비할 수 있다.
도 8의 (a)를 참조하면, 마스크(100)를 프레임(200)의 하나의 마스크 셀 영역(CR)에 대응할 수 있다. 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 대응시키는 과정에서, 마스크(100)의 일축 방향을 따라 두 측을 인장(F1~F2)하여 마스크(100)를 평평하게 편 상태로 마스크 셀(C)을 마스크 셀 영역(CR)에 대응할 수 있다. 한 측에서도 여러 포인트(도 8의 예로, 1~3포인트)로 마스크(100)를 잡고 인장할 수 있다. 한편, 일축 방향이 아니라, 모든 축 방향을 따라 마스크(100)의 모든 측을 인장(F1~F4) 할 수도 있다.
예를 들어, 마스크(100)의 각 측에 가하는 인장력은 4N을 초과하지 않을 수 있다. 마스크(100)의 크기에 따라 가하는 인장력은 동일하거나, 달라질 수 있다. 다시 말해, 본 발명의 마스크(100)는 1개의 마스크 셀(C)을 포함하는 크기이므로, 복수개의 셀(C1~C6)을 포함하는 종래의 스틱 마스크(10)보다 필요로 하는 인장력이 동일하거나, 적어도 줄어들 가능성이 있다. 9.8N이 1kg의 중력 힘을 의미함을 고려하면, 1N은 400g의 중력 힘보다도 작은 힘이기 때문에, 마스크(100)가 인장된 후에 프레임(200)에 부착되어도 마스크(100)가 프레임(200)에 가하는 장력(tension), 또는, 반대로 프레임(200)이 마스크(100)에 가하는 장력은 매우 적게 된다. 그리하여, 장력에 의한 마스크(100) 및/또는 프레임(200)의 변형이 최소화되어 마스크(100)[또는, 마스크 패턴(P)]의 정렬 오차가 최소화 될 수 있다.
그리고, 종래의 도 1의 마스크(10)는 셀 6개(C1~C6)를 포함하므로 긴 길이를 가지는데 반해, 본 발명의 마스크(100)는 셀 1개(C)를 포함하여 짧은 길이를 가지므로 PPA(pixel position accuracy)가 틀어지는 정도가 작아질 수 있다. 예를 들어, 복수의 셀(C1~C6, ...)들을 포함하는 마스크(10)의 길이가 1m이고, 1m 전체에서 10㎛의 PPA 오차가 발생한다고 가정하면, 본 발명의 마스크(100)는 상대적인 길이의 감축[셀(C) 개수 감축에 대응]에 따라 위 오차 범위를 1/n 할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 마스크(100)의 길이가 100mm라면, 종래 마스크(10)의 1m에서 1/10로 감축된 길이를 가지므로, 100mm 길이의 전체에서 1㎛의 PPA 오차가 발생하게 되며, 정렬 오차가 현저히 감소하게 되는 효과가 있다.
한편, 마스크(100)가 복수의 셀(C)을 구비하고, 각각의 셀(C)이 프레임(200)의 각각의 셀 영역(CR)에 대응하여도 정렬 오차가 최소화되는 범위 내에서라면, 마스크(100)는 프레임(200)의 복수의 마스크 셀 영역(CR)에 대응할 수도 있다. 또는, 복수의 셀(C)을 가지는 마스크(100)가 하나의 마스크 셀 영역(CR)에 대응할 수도 있다. 이 경우에도, 정렬에 따른 공정 시간과 생산성을 고려하여, 마스크(100)는 가급적 적은 수의 셀(C)을 구비하는 것이 바람직하다.
마스크(100)가 평평한 상태로 마스크 셀 영역(CR)에 대응하도록 인장력(F1~F4)을 조절하면서, 현미경을 통해 실시간으로 정렬 상태를 확인할 수 있다. 본 발명의 경우는, 마스크(100)의 하나의 셀(C)을 대응시키고 정렬 상태를 확인하기만 하면 되므로, 복수의 셀(C: C1~C6)을 동시에 대응시키고 정렬 상태를 모두 확인하여야 하는 종래의 방법[도 2 참조]보다, 제조시간을 현저하게 감축시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 프레임 일체형 마스크 제조 방법은, 6개의 마스크(100)에 포함되는 각각의 셀(C11~C16)을 각각 하나의 셀 영역(CR11~CR16)에 대응시키고 각각 정렬 상태를 확인하는 6번의 과정을 통해, 6개의 셀(C1~C6)을 동시에 대응시키고 6개 셀(C1~C6)의 정렬 상태를 동시에 모두 확인해야 하는 종래의 방법보다 훨씬 시간이 단축될 수 있다.
또한, 본 발명의 프레임 일체형 마스크 제조 방법은, 30개의 셀 영역(CR: CR11~CR56)에 30개의 마스크(100)를 각각 대응시키고 정렬하는 30번의 과정에서의 제품 수득률이, 6개의 셀(C1~C6)을 각각 포함하는 5개의 마스크(10)[도 2의 (a) 참조]를 프레임(20)에 대응시키고 정렬하는 5번의 과정에서의 종래의 제품 수득률보다 훨씬 높게 나타날 수 있다. 한번에 6개씩의 셀(C)이 대응하는 영역에 6개의 셀(C1~C6)을 정렬하는 종래의 방법이 훨씬 번거롭고 어려운 작업이므로 제품 수율이 낮게 나타나는 것이다.
한편, 마스크(100)를 프레임(200)에 대응한 후, 프레임(200)에 소정의 접착제를 개재하여 마스크(100)를 임시로 고정할 수도 있다. 이후에, 마스크(100)의 부착 단계를 진행할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(100)를 프레임(200)의 셀 영역(CR)에 대응하여 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다. 도 10은 도 9의 B-B' 단면도로서, 본 발명의 여러 실시예에 따른 마스크(100)가 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223)]에 부착된 형태를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
다음으로, 도 9, 도 10의 (a) 및 (b)를 참조하면, 마스크(100)의 테두리의 일부 또는 전부를 프레임(200)에 부착할 수 있다. 부착은 용접(W)으로 수행될 수 있고, 바람직하게는 레이저 용접(W)으로 수행될 수 있다. 용접(W)된 부분은 마스크(100)/프레임(200)과 동일한 재질을 가지고 일체로 연결될 수 있다.
레이저를 마스크(100)의 테두리 부분[또는, 더미]의 상부에 조사하면, 마스크(100)의 일부가 용융되어 프레임(200)과 용접(W)될 수 있다. 용접(W)은 프레임(200)의 모서리쪽에 최대한 가깝게 수행하여야 마스크(100)와 프레임(200) 사이의 들뜬 공간을 최대한 줄이고 밀착성을 높일 수 있게 된다. 용접(W) 부분은 라인(line) 또는 스팟(spot) 형태로 생성될 수 있으며, 마스크(100)와 동일한 재질을 가지고 마스크(100)와 프레임(200)을 일체로 연결하는 매개체가 될 수 있다.
제1 그리드 시트부(223)[또는, 제2 그리드 시트부(225)]의 상면에 두 개의 이웃하는 마스크(100)의 일 테두리가 각각 부착(W)된 형태가 나타난다. 제1 그리드 시트부(223)[또는, 제2 그리드 시트부(225)]의 폭, 두께는 약 1~5mm 정도로 형성될 수 있고, 제품 생산성 향상을 위해, 제1 그리드 시트부(223)[또는, 제2 그리드 시트부(225)]와 마스크(100)의 테두리가 겹치는 폭을 약 0.1~2.5mm 정도로 최대한 감축시킬 필요가 있다.
제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 길이 방향에 수직하는 단면의 형상은 높이가 낮은 사각형, 평행사변형 등일 수 있다.
용접(W) 방법은 마스크(100)를 프레임(200)에 부착하는 하나의 방법일 뿐이며, 이러한 실시예로 국한되지 않는다.
다른 예를 설명하면, 도 10의 (c)와 같이, 유테틱 재질의 접착부(EM)를 사용하여 마스크(100)를 프레임(200)에 부착할 수 있다. 유테틱 재질의 접착부(EM)는 적어도 두가지 금속을 포함하는 접착제로서, 필름, 선, 다발 형태 등의 다양한 모양을 가질 수 있고, 약 10 ~ 30㎛의 얇은 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 유테틱 재질의 접착부(EM)는 In, Sn, Bi, Au 등의 그룹과 Sn, Bi, Ag, Zn, Cu, Sb, Ge 등의 그룹에서 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 유테틱 재질의 접착부(EM)는 적어도 두 개의 금속 고상(solid phase)을 포함하고, 특정 온도/압력의 유테틱 포인트(eutectic point)에서는 두 개의 금속 고상이 모두 액상(liquid phase)이 될 수 있다. 그리고 유테틱 포인트를 벗어나면 다시 두 개의 금속 고상이 될 수 있다. 이에 따라, 고상 -> 액상 -> 고상의 상변화를 통해 접착제로서의 역할을 수행할 수 있는 것이다.
유테틱 접착부(EM)는 일반적인 유기 접착제와 다르게 휘발성 유기물을 전혀 포함하고 있지 않다. 따라서, 접착제의 휘발성 유기물질이 공정 가스와 반응하여 OLED의 화소에 악영향을 주거나, 접착제 자체에 포함된 유기물질 등의 아웃 가스가 화소 공정 챔버를 오염시키거나 불순물로서 OLED 화소에 증착되는 악영향을 방지할 수 있게 된다. 또한, 유테틱 접착부(EM)는 고체이므로, OLED 유기물 세정액에 의해서 세정되지 않고 내식성을 가질 수 있게 된다. 또한, 두가지 이상의 금속을 포함하고 있으므로, 유기 접착제에 비해서 동일한 금속 재질인 마스크(100), 프레임(200)과 높은 접착성을 가지고 연결될 수 있고, 금속 재질이므로 변형 가능성이 낮은 이점이 있다.
또 다른 예를 설명하면, 도 10의 (d)와 같이, 마스크(100)와 동일한 재질의 접착 도금부(150)를 더 형성하여 마스크(100)를 프레임(200)에 부착할 수 있다. 마스크(100)를 프레임(200)에 대응시킨 후, 마스크(100)의 하부면 방향에 PR 등의 절연부를 형성할 수 있다. 그리고, 절연부가 커버하지 않고 노출된 마스크(100)의 후면 및 프레임(200) 상에서 접착 도금부(150)를 전착할 수 있다.
접착 도금부(150)가 마스크(100)의 노출된 표면 및 프레임(200) 상에서 전착되면서, 마스크(100)와 프레임(200)을 일체로 연결하는 매개체가 될 수 있다. 이때, 접착 도금부(150)는 마스크(100)의 테두리 부분에 일체로 연결되며 전착되므로, 프레임(200) 내측 방향 또는 외측 방향으로 인장력을 가하는 상태를 가지며 마스크(100)를 지지할 수 있다. 그리하여, 별도로 마스크를 인장하고 정렬하는 과정을 수행할 필요없이, 팽팽하게 프레임(200) 측으로 당겨진 마스크(100)를 프레임(200)과 일체로 형성할 수 있게 된다.
도 10에서는 설명의 편의를 위해 용접(W)된 부분, 유테틱 재질의 접착부(EM) 부분의 두께 및 폭이 다소 과장되게 도시되었음을 밝혀두며, 실제로 이 부분은 거의 돌출되지 않고 마스크(100)에 포함된 상태로 프레임(200)을 연결하는 부분일 수 있다.
다음으로, 하나의 마스크(100)를 프레임(200)에 부착하는 공정을 완료하면, 나머지 마스크(100)들을 나머지 마스크 셀(C)에 순차적으로 대응시키고, 프레임(200)에 부착하는 과정을 반복할 수 있다. 이미 프레임(200)에 부착된 마스크(100)가 기준 위치를 제시할 수 있으므로, 나머지 마스크(100)들을 셀 영역(CR)에 순차적으로 대응시키고 정렬 상태를 확인하는 과정에서의 시간이 현저하게 감축될 수 있는 이점이 있다. 그리고, 하나의 마스크 셀 영역에 부착된 마스크(100)와 이에 이웃하는 마스크 셀 영역에 부착된 마스크(100) 사이의 PPA(pixel position accuracy)가 3㎛를 초과하지 않게 되어, 정렬이 명확한 초고화질 OLED 화소 형성용 마스크를 제공할 수 있는 이점이 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크(100, 200)를 이용한 OLED 화소 증착 장치(1000)를 나타내는 개략도이다.
도 11을 참조하면, OLED 화소 증착 장치(1000)는, 마그넷(310)이 수용되고, 냉각수 라인(350)이 배설된 마그넷 플레이트(300)와, 마그넷 플레이트(300)의 하부로부터 유기물 소스(600)를 공급하는 증착 소스 공급부(500)를 포함한다.
마그넷 플레이트(300)와 소스 증착부(500) 사이에는 유기물 소스(600)가 증착되는 유리 등의 대상 기판(900)이 개재될 수 있다. 대상 기판(900)에는 유기물 소스(600)가 화소별로 증착되게 하는 프레임 일체형 마스크(100, 200)[또는, FMM]이 밀착되거나 매우 근접하도록 배치될 수 있다. 마그넷(310)이 자기장을 발생시키고 자기장에 의해 대상 기판(900)에 밀착될 수 있다.
증착 소스 공급부(500)는 좌우 경로를 왕복하며 유기물 소스(600)를 공급할 수 있고, 증착 소스 공급부(500)에서 공급되는 유기물 소스(600)들은 프레임 일체형 마스크(100, 200)에 형성된 패턴(P)을 통과하여 대상 기판(900)의 일측에 증착될 수 있다. 프레임 일체형 마스크(100, 200)의 패턴(P)을 통과한 증착된 유기물 소스(600)는 OLED의 화소(700)로서 작용할 수 있다.
새도우 이펙트(Shadow Effect)에 의한 화소(700)의 불균일 증착을 방지하기 위해, 프레임 일체형 마스크(100, 200)의 패턴은 경사지게 형성(S)[또는, 테이퍼 형상(S)으로 형성]될 수 있다. 경사진 면을 따라서 대각선 방향으로 패턴을 통과하는 유기물 소스(600)들도 화소(700)의 형성에 기여할 수 있으므로, 화소(700)는 전체적으로 두께가 균일하게 증착될 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크(100, 200)에서 마스크(100)를 분리하는 과정을 나타내는 개략도이다. 도 12의 (a)는 두 마스크 셀(C11, C12)에 대한 평면도, 도 12의 (b) 내지 (d) 는 도 12의 (a)의 D-D' 단면 개략도이다. 도 12에서는 용접(W)으로 프레임(200)에 부착한 마스크(100)를 분리하는 과정을 설명하나, 이는 접착 도금부(150)[도 10의 (d) 참조]를 개재하여 프레임(200)에 부착한 마스크(100)를 분리하는 과정과도 실질적으로 동일하다.
한편, 프레임(200)에 부착된 마스크(100)에 이물질이 개재된다거나, 마스크 패턴(P)에 손상이 발생하는 등과 같은 결함이 발생한 경우 마스크(100)를 교체할 필요가 있다. 또는, 마스크 패턴(P)의 일부 정렬이 명확하지 않게 마스크(100)가 프레임(200)에 부착된 경우에도 마스크(100)만을 교체하여 정렬을 명확하게 할 필요가 있다.
종래[도 2 참조]에는 프레임(20)에 용접(W)된 스틱 마스크(10)에 물리적인 힘을 가하여 스틱 마스크(10)를 프레임(20)으로부터 분리하였다. 예를 들어, 펜치, 니퍼 등을 통해 스틱 마스크(10)를 프레임(20)으로부터 뜯어내는데, 이 과정에서 프레임(20)에 힘이 작용하여 프레임(20)에 미세한 변형을 일으킬 수 있다. ㎛ 수준에서의 미세한 변형도 스틱 마스크(10)들의 마스크 셀(C: C1~C6)들간에 정렬이 어긋나는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명은 프레임(200)으로부터 마스크(100)를 분리/교체하는 과정에서 프레임(200)이 변형되는 것을 방지할 수 있는 마스크(100)의 분리 방법을 제안한다.
도 12의 (a) 및 (b)를 참조하면, 결함이 발생하여 교체하고자 하는 마스크(100a)가 부착된 프레임 일체형 마스크(100, 200)를 준비한다. 마스크 셀(C11)을 포함하는 마스크(100a)를 분리하는 것을 상정한다. 마스크(100a)는 좌측 모서리(101a) 및 우측 모서리(102a)가 용접(W)되어 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착된 상태인 것을 상정한다. 물론, 마스크(100)의 네 모서리 모두가 용접(W)되어 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착된 상태일 수도 있으며, 이 경우는 네 모서리 중 하나의 모서리의 부착을 떼어낼 때 나머지 모서리들은 압착하는 것이 필요하다.
마스크 셀(C11)을 포함하는 마스크(100a)의 일측 모서리(102a; 우측 모서리)를 프레임(200)으로부터 떼어낸 후에, 타측 모서리(101a; 좌측 모서리)를 프레임(200)으로부터 떼어낼 수 있다. 구체적으로, 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)는, 마스크 셀 영역(CR11)의 우측 모서리인 제1 그리드 시트부(223a)에 부착된 상태일 수 있다. 그리하여 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)에 외력(SP)을 가하여 떼어내려고 하면, 마스크(100a)와 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]의 부착력에 의해 제1 그리드 시트부(223a)의 부분에 변형이 발행하는 문제가 있다. 따라서, 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]을 단단하게 고정시킨 후에 마스크(100a)를 떼어낼 필요가 있다.
외력(SP)에 대해 프레임(200)을 단단하게 고정시키기 위해 외력(SP)이 직접적으로 작용하는 마스크(100a) 일측 모서리(102a)의 외측 부분을 압착할 수 있다. 즉, 마스크(100a)가 부착되어 있는 제1 그리드 시트부(223a) 및/또는 마스크(100a)의 우측에 이웃한 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)을 압착할 수 있다. 제1 그리드 시트부(223a) 및/또는 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 상부면과 하부면을 압착함에 따라, 이들을 외력(SP)에 대해서 단단하게 고정시킬 수 있다.
상부에서는 압착바(260)를 통해 제1 그리드 시트부(223a)와 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 상부면을 압착할 수 있다. 하부에서도 압착바(미도시)를 통해 제1 그리드 시트부(223a)와 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 하부면을 압착할 수 있다. 도 12에서는 압착바(260)와 제1 그리드 시트부(223a), 마스크(100b)와 접촉하는 단부에 단차가 있는 것처럼 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의상 두께 및 폭이 과장되게 도시된 것이며, 실제로 마스크(100b)의 두께는 수㎛ 정도이고, 용접(W)된 부분도 거의 돌출되지 않고 마스크(100)에 포함된 상태이기 때문에, 압착바(260)의 단부는 편평한 것으로 이해될 수 있다.
한편, 하부에서는 압착바(미도시)를 사용하지 않고, 프레임(200)을 지지하는 지지체(250)를 사용할 수 있다. 지지체(250)는 프레임(200)의 하부를 지지할 수 있다. 지지체(250)는 프레임(200)을 지지할 수 있도록 판 형상을 가질 수 있고, 대략 프레임(200)의 면적보다 동일하거나 작게 형성될 수 있다. 지지체(250)는 열팽창계수를 고려하여 프레임(200)과 동일한 재질을 사용하는 것이 바람직하나, 강성이 높은 재질을 사용할 수도 있다.
지지체(250)의 상부에는 프레임(200)의 형상에 대응하는 프레임 지지홈(251, 253)이 형성될 수 있다. 프레임 지지홈(251, 253)은 테두리 지지홈(251) 및 그리드 지지홈(253)을 포함한다. 테두리 지지홈(251)은 테두리 프레임부(210)와 테두리 시트부(221)에 대응하는 형상의 홈일 수 있다. 그리드 지지홈(253)은 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)에 대응하는, 제1 방향(x 방향), 제2 방향(y 방향)으로 형성될 수 있다. 그리드 지지홈(253)은 직선 형태로 형성되어 양단이 테두리 지지홈(251)에 연결될 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)와 마찬가지로, 각각의 그리드 지지홈(253)은 동등한 간격을 이룰 수 있다. 그리그 지지홈(253)의 길이 방향에 수직하는 단면의 형상은 제1, 2 그리드 시트부(223, 235) 대응하는 형상의 홈일 수 있다.
테두리 프레임부(210)와 테두리 시트부(221)의 두께가 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 두께보다 두꺼울 수 있으므로, 테두리 지지홈(251)은 그리드 지지홈(253)보다 깊은 두께로 형성될 수 있다.
프레임(200)은 지지체(250)의 프레임 지지홈(251, 253)에 수용되어 안착 지지될 수 있다. 프레임(200)이 지지체(250)에 안착 지지된 상태에서 프레임(200)의 최상면, 즉, 마스크(100)가 부착되는 면은 지지체(250)의 최상면보다 동일하거나 높은 위치를 가질 수 있다. 그리하여, 지지체(250)가 마스크(100)에 영향을 주지 않고 프레임(200)만을 지지할 수 있게 된다.
다음으로, 도 12의 (c)를 참조하면, 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)에 외력(SP)을 가하여 제1 그리드 시트부(223a)로부터 떼어낼 수 있다. 이때, 상부에서는 압착바(260)가 일측 모서리(102a)의 외측인 제1 그리드 시트부(223a)와 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 상부면을 압착하고, 하부에서는 지지체(250)가 지지홈(251, 253)에 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]를 수용하여 안정적으로 지지하므로, 외력(SP)이 가해져도 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]이 변형되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 마스크(100a)의 타측 모서리(101a)와 테두리 시트부(221a)도 압착바(260')가 압착하고 있으므로, 외력(SP)에 의해 우측 모서리(102b)만 떼어질 수 있게 된다. 물론 타측 모서리(101a) 외에 상부 및 하부 모서리에도 압착바(미도시)가 압착을 가할 수 있다.
다음으로, 도 12의 (d)를 참조하면, 마스크(100a)의 타측 모서리(101a)에 외력(SP)을 가하여 테두리 시트부(221a)로부터 떼어낼 수 있다. 이때, 상부에서는 압착바(260")가 타측 모서리(101a)의 외측인 테두리 시트부(221a)의 상부면을 압착하고, 하부에서는 지지체(250)가 지지홈(251, 253)에 프레임(200)[테두리 시트부(221a)]을 수용하여 안정적으로 지지하므로, 외력(SP)이 가해져도 프레임(200)[테두리 시트부(221a)]이 변형되는 것을 방지할 수 있다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크에서 마스크를 분리하는 과정을 나타내는 개략도이다. 도 13의 (a)는 두 마스크 셀(C11, C12)에 대한 평면도, 도 13의 (b) 내지 (d) 는 도 13의 (a)의 D-D' 단면 개략도이다. 이하에서는, 도 12과 차이점에 대해서만 설명한다.
도 13의 (a) 및 (b)를 참조하면, 결함이 발생하여 교체하고자 하는 마스크(100a)가 부착된 프레임 일체형 마스크(100, 200)를 준비한다. 마스크 셀(C11)을 포함하는 마스크(100a)를 분리하는 것을 상정한다. 마스크(100a)는 좌측 모서리(101a) 및 우측 모서리(102a)에 적어도 두 금속의 합금을 포함하는 유테틱 접착부(EM)를 매개하여 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착된 상태인 것을 상정한다. 물론, 마스크(100)의 네 모서리 모두에 접착부(EM)가 개재되어 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착된 상태일 수도 있으며, 이 경우는 네 모서리 중 하나의 모서리의 부착을 떼어낼 때 나머지 모서리들은 압착하는 것이 필요하다.
상부에서는 압착바(260)를 통해 제1 그리드 시트부(223a)와 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 상부면을 압착할 수 있다. 하부에서도 압착바(미도시)를 통해 제1 그리드 시트부(223a)와 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 하부면을 압착할 수 있다. 도 13에서는 압착바(260)와 제1 그리드 시트부(223a), 마스크(100b)와 접촉하는 단부에 단차가 있는 것처럼 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의상 두께 및 폭이 과장되게 도시된 것이며, 실제로 마스크(100b)의 두께는 수㎛ 정도이고, 유테틱 접착부(EM)의 부분도 거의 돌출되지 않기 때문에, 압착바(260)의 단부는 편평한 것으로 이해될 수 있다.
한편, 하부에서는 압착바(미도시)를 사용하지 않고, 프레임(200)을 지지하는 지지체(250)를 사용할 수 있다. 프레임(200)은 지지체(250)의 프레임 지지홈(251, 253)에 수용되어 안착 지지될 수 있다.
다음으로, 도 13의 (c)를 참조하면, 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)에 위치한 유테틱 접착부(EM)에 소정의 온도/압력(HP)을 인가할 수 있다. 접착부(EM)의 금속들이 고상에서 액상으로 변하기 위한 온도, 압력을 가할 수 있다. 접착부(EA)를 구성하는 금속에 따라서 적절한 온도, 압력을 선택할 수 있다. 약 100℃ ~ 300℃의 열을 가하는 것만으로도 접착부(EM)는 고상에서 액상으로 변할 수 있다.
여기에서, 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)에 외력(SP)을 가하여 제1 그리드 시트부(223a)로부터 떼어낼 수 있다. 이때, 상부에서는 압착바(260)가 일측 모서리(102a)의 외측인 제1 그리드 시트부(223a)와 마스크(100b)의 좌측 모서리 부분(101b)의 상부면을 압착하고, 하부에서는 지지체(250)가 지지홈(251, 253)에 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]를 수용하여 안정적으로 지지하므로, 외력(SP)이 가해져도 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]이 변형되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 접착부(EM)가 액상으로 변하면서 접착력이 매우 약해지기 때문에, 적은 외력(SP)으로도 마스크(100a)의 일측 모서리(102a)가 제1 그리드 시트부(223a)로부터 떼어질 수 있으며, 프레임(200)[제1 그리드 시트부(223a)]이 변형되는 것을 더욱 방지할 수 있게 된다.
또한, 마스크(100a)의 타측 모서리(101a)와 테두리 시트부(221a)도 압착바(260')가 압착하고 있으므로, 외력(SP)에 의해 우측 모서리(102b)만 떼어질 수 있게 된다. 물론 타측 모서리(101a) 외에 상부 및 하부 모서리에도 압착바(미도시)가 압착을 가할 수 있다.
다음으로, 도 13의 (d)를 참조하면, 마스크(100a)의 타측 모서리(101a)에 위치한 유테틱 접착부(EM)에 소정의 온도/압력(HP)을 인가할 수 있다. 유테틱 접착부(EM)는 고상에서 액상으로 변할 수 있다. 이에 더하여 마스크(100a)의 타측 모서리(101a)에 외력(SP)을 가하여 테두리 시트부(221a)로부터 떼어낼 수 있다. 이때, 상부에서는 압착바(260")가 타측 모서리(101a)의 외측인 테두리 시트부(221a)의 상부면을 압착하고, 하부에서는 지지체(250)가 지지홈(251, 253)에 프레임(200)[테두리 시트부(221a)]을 수용하여 안정적으로 지지하므로, 외력(SP)이 가해져도 프레임(200)[테두리 시트부(221a)]이 변형되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 마스크
110: 마스크 막
150: 접착 도금부
200: 프레임
210: 테두리 프레임부
220: 마스크 셀 시트부
221: 테두리 시트부
223: 제1 그리드 시트부
225: 제2 그리드 시트부
250: 지지체
260: 압착바
1000: OLED 화소 증착 장치
C: 셀, 마스크 셀
CR: 마스크 셀 영역
EM: 유테틱 재질의 접착부
F1~F4: 인장력
R: 테두리 프레임부의 중공 영역
P: 마스크 패턴
W: 용접

Claims (14)

  1. 테두리 프레임부 및 테두리 프레임부에 연결되고 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는 마스크 셀 시트부를 포함하는 프레임에 부착된 마스크를 분리하는 방법으로서,
    (a) 프레임의 마스크 셀 시트부의 적어도 일부분에 마스크가 부착된 프레임 일체형 마스크를 준비하는 단계;
    (b) 마스크의 일측 모서리의 외측에 연결된 마스크 셀 시트부의 상부면과 하부면을 압착하는 단계; 및
    (c) 마스크의 상기 일측 모서리에 외력을 가하여 마스크 셀 시트부로부터 마스크를 분리하는 단계
    를 포함하고,
    (b) 단계에서, 마스크의 상기 일측 모서리는 압착되지 않으며, 마스크 셀 시트부의 상부면과 하부면만을 압착하되,
    (c) 단계에서, 마스크 셀 시트부가 압착된 상태로 마스크만 분리하여 프레임의 변형이 방지되는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    마스크 셀 시트부는, 제1 방향, 제1 방향에 수직인 제2 방향 중 적어도 하나의 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    마스크 셀 시트부는,
    테두리 시트부;
    제1 방향으로 연장 형성되고, 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및
    제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고, 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부
    를 포함하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    각각의 마스크 셀 영역에 각각의 마스크가 대응되는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    마스크는,
    복수의 마스크 패턴이 형성된 마스크 셀, 및 마스크 셀 주변의 더미를 포함하고,
    더미의 적어도 일부가 마스크 셀 시트부에 부착되는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    마스크는 하나의 마스크 셀을 포함하고, 마스크 셀 시트부의 각각의 마스크 셀 영역 상에 각각의 마스크가 대응된, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    마스크는 복수의 마스크 셀을 포함하고, 마스크 셀 시트부의 각각의 마스크 셀 영역 상에 각각의 마스크가 대응된, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    마스크 일측 모서리에 대응하는 마스크 셀 시트부의 모서리 상부면을 압착바로 누르는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    프레임 형상에 대응하는 프레임 지지홈이 상부면에 형성된 지지체를 프레임의 하부에 배치하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    (a) 단계에서, 마스크의 더미가 마스크 셀 시트부 상부에 용접되어 마스크가 프레임에 부착되고,
    (c) 단계에서, 마스크의 일측 모서리에 외력을 가하여 마스크의 일측 모서리를 프레임으로부터 떼어낸 후, 마스크의 일측에 대향하는 타측 모서리에 외력을 가하여 타측 모서리를 프레임으로부터 떼어내면서, 마스크를 프레임으로부터 분리하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    (a) 단계에서, 적어도 두 금속의 합금을 포함하는 접착부를 매개하여 마스크가 프레임에 부착되고,
    (c) 단계에서, 외력에 더하여 소정의 온도, 소정의 압력 중 적어도 어느 하나를 접착부에 가하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    (c) 단계에서, 접착부의 적어도 일부가 고상(solid phase)에서 액상(liquid phase)으로 변하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    (a) 단계에서, 접착 도금부를 매개하여 마스크가 프레임에 부착되고,
    (c) 단계에서, 마스크의 일측 모서리에 외력을 가하여 마스크의 일측 모서리를 프레임으로부터 떼어낸 후, 마스크의 일측에 대향하는 타측 모서리에 외력을 가하여 타측 모서리를 프레임으로부터 떼어내면서, 마스크를 프레임으로부터 분리하는, 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법.
KR1020180016187A 2018-02-09 2018-02-09 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법 KR102371176B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180016187A KR102371176B1 (ko) 2018-02-09 2018-02-09 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180016187A KR102371176B1 (ko) 2018-02-09 2018-02-09 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190096578A KR20190096578A (ko) 2019-08-20
KR102371176B1 true KR102371176B1 (ko) 2022-03-08

Family

ID=67807336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180016187A KR102371176B1 (ko) 2018-02-09 2018-02-09 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102371176B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7445449B2 (ja) * 2020-02-07 2024-03-07 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスクの製造方法および製造装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6926840B2 (en) * 2002-12-31 2005-08-09 Eastman Kodak Company Flexible frame for mounting a deposition mask
KR100534580B1 (ko) * 2003-03-27 2005-12-07 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
KR20120069396A (ko) * 2010-12-20 2012-06-28 삼성모바일디스플레이주식회사 증착용 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101383644B1 (ko) * 2012-06-01 2014-04-09 이종철 기판 분리 장치 및 이를 이용한 기판 분리 방법
KR101574267B1 (ko) * 2013-12-23 2015-12-04 주식회사 글로벌식스 반도체 발광소자용 지지 기판 및 이를 이용하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190096578A (ko) 2019-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102217810B1 (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR20200006349A (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR20190096577A (ko) 프레임 일체형 마스크 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102537761B1 (ko) 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법
KR102371176B1 (ko) 프레임에 부착된 마스크의 분리 방법
KR102241770B1 (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
TWI778129B (zh) 框架一體型遮罩
KR20190105977A (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102357802B1 (ko) 프레임 일체형 마스크 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102010003B1 (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102071487B1 (ko) 마스크의 제조 방법 및 마스크
KR102010815B1 (ko) 프레임 및 프레임 일체형 마스크
KR20190095238A (ko) 프레임 일체형 마스크
KR20190095237A (ko) 프레임 및 프레임 일체형 마스크
KR20200006346A (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법 및 oled 화소 형성용 마스크
KR102142435B1 (ko) 프레임 일체형 마스크 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR20200006350A (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR20200006351A (ko) 마스크의 제조 방법
KR102010816B1 (ko) 프레임 일체형 마스크
KR20200009785A (ko) 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102357803B1 (ko) 마스크 세트 및 프레임 일체형 마스크의 마스크 교체 방법
KR20190092123A (ko) 프레임에 접착된 마스크의 분리 방법 및 프레임에 접착된 마스크의 교체 방법
KR20190141965A (ko) 마스크의 제조 방법
KR20190092840A (ko) 프레임의 제조 방법
KR102217813B1 (ko) Oled 화소 형성용 마스크와 그 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant