TW201823869A - 感光性樹脂組成物、間隙體、保護膜以及液晶顯示元件 - Google Patents
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Abstract
本發明提出一種感光性樹脂組成物,包括鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D),其中,鹼可溶性樹脂(A)包括第一鹼可溶性樹脂(A-1),且第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包括具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及式(I)所示的具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的混合物聚合而製得,光起始劑(C)包括具有式(C1-1)所示結構的第一光起始劑(C-1)。
Description
本發明是有關於一種感光性樹脂組成物、間隙體、保護膜以及液晶顯示元件,且特別是有關於一種解析度極佳的感光性樹脂組成物、間隙體、保護膜以及液晶顯示元件。
一般而言,彩色濾光層表面的彩色印刷的畫素與黑色矩陣會產生凹凸不平之處,一般係於彩色濾光層的表面形成保護膜,藉此隱藏不平之處,進而達到平坦化的要求。
然而,在製造液晶顯示元件或固態成像裝置等光學元件中,會遇到嚴苛條件下的處理程序,例如在基板表面以酸性溶劑或鹼性溶液浸泡的處理或以濺鍍(Sputtering)形成配線電極層時,會造成局部腐蝕或高溫的產生。因此,需於這些元件的表面上鋪設保護膜,以防止製造時元件受損。為使保護膜具有抵禦上述處理的特性,所述保護膜需要與基板間具有優異的附著力,也需具有高透明度、高表面硬度與平滑的表面。而具高耐熱性與耐光性的保護膜亦可於長期使用下不會有變色、黃化或白化等變質情況的發生。此外,所述保護膜還需具有良好的耐水性、耐化性、耐溶劑性、耐酸性、耐鹼性等特性。
另一方面,在習知技術中,彩色液晶顯示元件中,為了維持兩個基板間固定的層間距,係於整個基板上隨機噴灑如聚苯乙烯珠或矽珠,其中所述珠的直徑係為兩基板間的間距。然而,此習知方式因噴珠的位置及密度分佈並不均勻,造成背光源的光線受噴珠影響而散射,進一步使得顯示元件的對比度降低。因此,以光微影製程(photolithography)方式所開發出的間隙體用感光性組成物,遂成為業界的主流。所述間隙體的形成方式,乃將所述間隙體用的感光性組成物先塗佈至基板,再於基板與曝光源間放入一指定形狀光罩,可於曝光後再經顯影形成一間隙體。依據此方法,可於R、G、B畫素外的指定位置上形成間隙體,以解決習知技術的問題;層間距也可利用感光性成分形成的塗膜厚度來控制,使層間距的距離變得容易控制,具有精度高的優點。
由於所述保護膜或間隙體係形成於彩色濾光片或是基板上,對透明度的要求極高。若保護膜或間隙體的透明度不佳,當應用於液晶顯示元件時,將造成液晶顯示元件的亮度不足,而影響液晶顯示元件的顯示品質。
為提高保護膜或間隙體的透明度,日本特開2010-054561號專利揭示一保護膜用的感光組成物,其包含(A)鹼可溶性黏結樹脂;(B)乙烯性不飽和基的化合物;(C)光起始劑;及(D)溶劑;其中所述(B)乙烯性不飽和基的化合物中不飽和鍵的結合當量為介於90至450 g/eq,且(B)乙烯性不飽和基的化合物中,單一化合物的不飽和雙鍵為介於2至4個之間,及所述(A)鹼可溶性黏結樹脂的重量平均分子量為介於10,000至20,000間。另一方面,日本特開2004-240241號專利揭示一感光組成物,其包含(A)共聚合物,所述共聚物係由乙烯性不飽合羧酸(酐)、具環氧基的乙烯性不飽合基的化合物及其他乙烯性不飽合基的化合物;(B)乙烯性不飽合基的聚合物所共聚合而得;及(C)光起始劑,其為2-丁二酮-(4-甲硫基苯)-2-(O-肟醋酸鹽)、1,2-丁二酮-1-(4-嗎啉基苯基)-2-(O-苯甲醯肟)、1,2-辛二酮-1-(4-苯硫基苯)-2-[O-(4-甲基苯甲醯)肟]或其類似物。然而,所述感光性樹脂組成物卻有解析度不佳的缺點,實為目前亟欲解決的問題。
本發明提供一種感光性樹脂組成物,其解析度佳。
本發明的一種感光性樹脂組成物,包括鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)。其中,所述鹼可溶性樹脂(A)包括第一鹼可溶性樹脂(A-1),且所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包括具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及式(I)所示的具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的混合物聚合而製得;式(I) 於所述式(I)中,所述X1
代表氫原子或甲基;所述X2
及X3
分別獨立地代表苯基、C1
-C12
烷基、C1
-C6
烷氧基或如下式(II)所示的基團;式(II) 於所述式(II)中,所述X5
、X6
與X7
分別獨立地代表苯基或C1
-C12
烷基;所述d代表2至13的整數;當d大於1時,複數個X6
為相同或不同,且複數個X7
為相同或不同;所述X4
代表C1
-C6
烷基或如下式(III)所示的基團;式(III) 於所述式(III)中,所述X8
、X9
及X10
分別獨立地代表苯基或C1
-C12
烷基;所述a代表1至6的整數;所述b代表1至150的整數;當b大於1時,複數個X2
為相同或不同,且複數個X3
為相同或不同;所述光起始劑(C)包括具有式(C1-1)所示結構的第一光起始劑(C-1);式(C1-1) 於所述式(C1-1)中,所述E30
代表含有C3
-C20
環烷基的有機基團;所述E31
及E32
各自獨立地代表烷基或芳基;以及所述E33
表示烷基。
在本發明的一實施例中,用於聚合以製造所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的所述混合物更包括具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)。
在本發明的一實施例中,用於聚合以製造所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的所述混合物更包括具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)。
在本發明的一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為10~200重量份,所述光起始劑(C)的使用量為10~100重量份,以及所述溶劑(D)的使用量為500~5000重量份。
在本發明的一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量為3~100重量份。
在本發明的一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述第一光起始劑(C-1)的使用量為1~50重量份。
在本發明的一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的使用量為5~50重量份,所述式(I)所示的具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的使用量為1~30重量份。
在本發明的一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的使用量為0~40重量份。
在本發明的一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)的使用量為0~40重量份。
本發明亦提供一種具有圖案的間隙體,其係藉由對如上所述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得。
本發明亦提供一種具有圖案的保護膜,其係藉由對如上所述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得。
本發明亦提供一種液晶顯示元件,包括如上所述的間隙體。
本發明亦提供一種液晶顯示元件,包括如上所述的保護膜。
基於上述,本發明的感光性樹脂組成物包括具有特殊結構的第一鹼可溶性樹脂(A-1)與第一光起始劑(C-1),使本發明的感光性樹脂組成物具有極佳的解析度。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。
本發明提供一種感光性樹脂組成物,包括鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)。以下將詳細說明用於本發明的感光性樹脂組成物的各個成分。鹼可溶性樹脂 (A)
本發明的鹼可溶性樹脂(A)包括第一鹼可溶性樹脂(A-1)。第一鹼可溶性樹脂( A-1 )
第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包括具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的混合物聚合而製得。在一實施例中,上述混合物更可以包括具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)、具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)或其組合。具有羧酸基的乙烯性不飽和單體 (a-1-1)
上述的具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的具體例包含丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯等之不飽和一元羧酸化合物;馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、檸康酸酐等之不飽和二元羧酸(酐)化合物;以及三價以上之不飽和多價羧酸(酐)化合物。上述具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)可單獨一種或混合複數種使用。
所述具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)較佳可為丙烯酸、甲基丙烯酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯或上述化合物的任意組合。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的使用量為5~50重量份,較佳為10~45重量份,更佳為15~40重量份。具有矽烷基的乙烯性不飽和單體 (a-1-2)
本發明的具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)為具有如下式(I)所示結構的乙烯性不飽和單體:式(I)
於式(I)中,X1
代表氫原子或甲基;X2
及X3
分別獨立地代表苯基、C1
-C12
烷基、C1
-C6
烷氧基或如下式(II)所示的基團:式(II)
於式(II)中,X5
、X6
與X7
分別獨立地代表苯基或C1
-C12
烷基;d代表2至13的整數;當d大於1時,複數個X6
為相同或不同,且複數個X7
為相同或不同。
於式(I)中,X4
代表C1
-C6
烷基或如下式(III)所示的基團:式(III)
於式(III)中,X8
、X9
及X10
分別獨立地代表苯基或C1
-C12
烷基。
於式(I)中,所述a代表1至6的整數;所述b代表1至150的整數;當b大於1時,複數個X2
為相同或不同,且複數個X3
為相同或不同。
前述C1
-C6
烷氧基的具體例可為甲氧基、乙氧基、丙氧基或丁氧基。
前述C1
-C12
烷基的具體例可為甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基或癸基。
如式(I)所示具有矽烷基的乙烯性不飽和單體可包含但不限於(甲基)丙烯酸矽烷類((meth)acrylic silanes),其具體例可為3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷(3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane;MPTMS)、3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷(3-methacryloyloxypropyl triethoxysilane;MPTES)、3-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二甲氧基矽烷(3-methacryloyloxypropylmethyldimethoxy silane)、3-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷(3-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane)、3-丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷(3-acryloyloxypropyltrimethoxy silane)、如下式(I-1)至(I-6)所示的化合物,或者Chisso Corporation製造的商品,其型號為FM-0711、FM-0721或FM-0725:式(I-1)式(I-2)式(I-3)式(I-4)式(I-5)式(I-6)
前述式(I)所示具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地,如式(I)所示具有矽烷基的乙烯性不飽和單體可為3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、式(I-3)所示的化合物、Chisso Corporation製造的商品(型號為FM-0711)或上述化合物的任意組合。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述式(I)所示具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的使用量為1~30重量份,較佳為3~27重量份,更佳為5~25重量份。具有多環結構的乙烯性不飽和單體 (a-1-3)
具有多環結構的乙烯性不飽和單體的構造並無特別限制,於本發明的具體例中,所述具有多環結構的乙烯性不飽和單體係為具雙環戊基的乙烯性不飽和單體、具雙環戊烯基的乙烯性不飽和單體或其混合物。
於本發明的一具體例中,所述具雙環戊基的乙烯性不飽和單體具有下式(a-1-3)所示的結構:式(a-1-3) 其中R3
係為氫原子或甲烷基;及n係為0至2的整數。
另一方面,於本發明的一具體例中,所述具雙環戊烯基的乙烯性不飽和單體具有下式(a-1-3-1)所示的結構:式(a-1-3-1) 其中R4
係為氫原子或甲烷基;及m係為0至2的整數。
於本發明的一較佳具體例中,所述具有多環結構的乙烯性不飽和單體係為(甲基)丙烯酸雙環戊酯、(甲基)丙烯酸雙環戊烯酯、(甲基)丙烯酸雙環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸雙環戊烯氧基乙酯或其混合物。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的使用量為0~40重量份,較佳為3~35重量份,更佳為5~30重量份。當該第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包含具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的混合物聚合而製得時,該感光性樹脂組成物所形成之間隙體或保護膜具有較佳之解析度。具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和 單體 (a-1-4)
具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)是以下式(a-1-4-1)至式(a-1-4-15)所表示的任何一個化合物。式(a-1-4-1)式(a-1-4-2)式(a-1-4-3)式(a-1-4-4)式(a-1-4-5)式(a-1-4-6)式(a-1-4-7)式(a-1-4-8)式(a-1-4-9)式(a-1-4-10)式(a-1-4-11)式(a-1-4-12)式(a-1-4-13)式(a-1-4-14)式(a-1-4-15)
式(a-1-4-1)至式(a-1-4-15)所表示的化合物中,R1d
表示氫原子或甲基;R2d
、R4d
、R6d
分別獨立地表示氫原子、未經取代或經取代的烷基;R3d
表示未經取代或經取代的烷基、未經取代或經取代的芳基,或未經取代或經取代的醯基;R5d
表示未經取代或經取代的烷基、未經取代或經取代的芳基;R7d
表示氫原子或甲基;R8d
表示C1
-C6
二價脂肪族烴基;X1
至X3
表示單鍵或二價有機基團。
較佳地,所述具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)是由所述式(a-1-4-1)至所述式(a-1-4-3)所表示的化合物中的任何一個化合物。更佳地,所述具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)是由所述式(a-1-4-1)所表示的化合物。
所述式(a-1-4-1)至(a-1-4-3)所表示的化合物的具體例例如但不限於以下化合物:、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、或。
所述式(a-1-4-4)至(a-1-4-15)所表示的化合物的具體例例如但不限於以下化合物:、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、或。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)的使用量為0~40重量份,較佳為3~35重量份,更佳為5~30重量份。當該第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包含具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)的混合物聚合而製得時,該感光性樹脂組成物所形成之間隙體或保護膜具有較佳之解析度。其他可共聚合的乙烯性不飽和單體 (a-1-5)
在一實施例中,用於聚合以製造所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的所述混合物更可以包括其他可共聚合的乙烯性不飽和單體(a-1-5)。本發明的其他可共聚合的乙烯性不飽和單體(a-1-5)的具體例可包含但不限於苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對氯苯乙烯、甲氧基苯乙烯等之芳香族乙烯基化合物;N-苯基馬來醯亞胺、N-鄰-羥基苯基馬來醯亞胺、N-間-羥基苯基馬來醯亞胺、N-對-羥基苯基馬來醯亞胺、N-鄰-甲基苯基馬來醯亞胺、N-間-甲基苯基馬來醯亞胺、N-對-甲基苯基馬來醯亞胺、N-鄰-甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-間-甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-對-甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺等之馬來醯亞胺化合物;丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、苯甲基甲基丙烯酸酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸第二丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯、丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸第三丁酯、丙烯酸-2-羥基乙酯、甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、丙烯酸-2-羥基丙酯、甲基丙烯酸-2-羥基丙酯、丙烯酸-3-羥基丙酯、甲基丙烯酸-3-羥基丙酯、丙烯酸-2-羥基丁酯、甲基丙烯酸-2-羥基丁酯、丙烯酸-3-羥基丁酯、甲基丙烯酸-3-羥基丁酯、丙烯酸-4-羥基丁酯、甲基丙烯酸-4-羥基丁酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸三乙二醇甲氧酯(methoxy triethylene glycol acrylate)、甲基丙烯酸三乙二醇甲氧酯(methoxy triethylene glycol methacrylate)、甲基丙烯酸十二烷基酯(lauryl methacrylate)、甲基丙烯酸十四烷基酯(tertadecyl methacrylate)、甲基丙烯酸十六烷基酯(cetyl methacrylate)、甲基丙烯酸十八烷基酯(octadecylmethacrylate)、甲基丙烯酸二十烷基酯(eicosyl methacrylate)、甲基丙烯酸二十二烷基酯(docosyl methacrylate)等之不飽和羧酸酯化合物;丙烯酸-N,N-二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸-N,N-二甲基氨基乙酯、丙烯酸-N,N-二乙基氨基丙酯、甲基丙烯酸-N,N-二甲基氨基丙酯、丙烯酸-N,N-二丁基氨基丙酯、甲基丙烯酸-N-異丁基氨基乙酯;丙烯酸環氧丙基酯、甲基丙烯酸環氧丙基酯等之不飽和羧酸環氧丙基酯化合物;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯等之羧酸乙烯酯化合物;乙烯基甲醚、乙烯基乙醚、烯丙基環氧丙基醚、甲代烯丙基環氧丙基醚等的不飽和醚基化合物;丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、氰化亞乙烯等之氰化乙烯基化合物;丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、α-氯丙烯醯胺、N-羥乙基丙烯醯胺、N-羥乙基甲基丙烯醯胺等之不飽和醯胺化合物;1,3-丁二烯、異戊烯、氯化丁二烯等之脂肪族共軛二烯化合物或上述化合物的組合;乙烯基三甲氧基矽烷(vinyltrimethoxysilane;VTMS)、乙烯基三乙氧基矽烷(vinyltriethoxysilane;VTES)、乙烯基甲基二甲氧基矽烷(Vinylmethyldimethoxysilane)、乙烯基甲基二乙氧基矽烷(vinylmethyldiethoxysilane)、乙烯基二甲基甲氧基矽烷(Vinyldimethylmethoxysilane)或乙烯基二甲基乙氧基矽烷(Vinyldimethylethoxysilane)、對苯乙烯基三甲氧基矽烷等與(a-1-2)不同之具有矽烷基的乙烯性不飽和單體。上述其他可共聚合的乙烯性不飽和單體(a-1-5)可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地,其他可共聚合的乙烯性不飽和單體(a-1-5)可包含但不限於苯乙烯、N-苯基馬來醯亞胺、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸-2-羥基乙酯、甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯或上述化合物的任意組合。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述其他可共聚合的乙烯性不飽和單體(a-1-5)的使用量為0~94重量份,較佳為10~80重量份,更佳為20~70重量份。
於製備第一鹼可溶性樹脂(A-1)時,可使用溶劑,溶劑可單獨或混合使用,且溶劑包含但不限於乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇正丙醚、二乙二醇正丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一縮二丙二醇甲醚、一縮二丙二醇乙醚、一縮二丙二醇正丙醚、一縮二丙二醇正丁醚、二縮三丙二醇甲醚、二縮三丙二醇乙醚等之(聚)亞烷基二醇單烷醚類;乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate,簡稱PGMEA)、丙二醇乙醚醋酸酯等之(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類;二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、四氫呋喃等之其他醚類;甲乙烷酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等之酮類;2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等之乳酸烷酯類;2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(ethyl 3-ethoxypropionate,簡稱EEP)、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-甲氧基丁酸乙酯等之其他酯類;甲苯、二甲苯等之芳香族碳氫化合物類;氮-甲基吡咯烷酮(NMP)、氮,氮-二甲基甲醯胺(DMF)、或氮,氮-二甲基乙醯胺(DMAC)等醯胺類等。較佳地,溶劑是選自丙二醇甲醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、或此等組合。(聚)亞烷基二醇單烷醚類是指亞烷基二醇單烷醚類或聚亞烷基二醇單烷醚類。(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類是指亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類或聚亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類。
第一鹼可溶性樹脂(A-1)製備時所使用之起始劑一般為自由基型聚合起始劑,具體例可包含但不限於:2,2'-偶氮雙異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙-2-甲基丁腈(2,2'-azobis-2-methyl butyronitrile,簡稱AMBN)等之偶氮(azo)化合物;異丙苯過氧化氫、二異丙基苯氫過氧化物、2-第三丁基過氧化物、過氧化月桂醯、過氧化苯甲醯、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯、第三丁基過氧化-2-己酸乙酯等之過氧化合物。上述之自由基型聚合起始劑可單獨一種或混合複數種使用。同時,該自由基型聚合起始劑可與過度金屬鹽類或胺類一起併用。
另外,上述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的酸價較佳為50 mgKOH/g至200 mgKOH/g,更佳為60 mgKOH/g至150 mgKOH/g。
另外,上述第一鹼可溶性樹脂(A-1)之重量平均分子量只要根據目的、用途而適當設定即可,一般為2,000至50,000,較佳為3,000至40,000,更佳為4,000至30,000。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量為3~100重量份,較佳為10~100重量份,更佳為20~100重量份。其他鹼可溶性樹脂 (A-2)
在一實施例中,本發明的鹼可溶性樹脂(A)亦可包括其他鹼可溶性樹脂(A-2)。在本實施例中,其他鹼可溶性樹脂(A-2)係由含一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體,和其它可共聚合之乙烯性不飽和單體共聚合而得。在本實施例中,基於共聚合用單體的總使用量100重量份,較佳地,該其他鹼可溶性樹脂(A-2)係由5重量份至50重量份之含一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體和50重量份至95重量份之其它可共聚合之乙烯性不飽和單體共聚合而得。
在本實施例中,含一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體可單獨或混合使用,且含羧酸基之乙烯性不飽和單體包含但不限於丙烯酸、甲基丙烯酸(methacrylic acid,簡稱MAA)、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester,簡稱HOMS)等之不飽和一元羧酸類;馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸及檸康酸酐等之不飽和二元羧酸(酐)類;三個羧酸基以上之之不飽和多元羧酸(酐)類。較佳地,含羧酸基之乙烯性不飽和單體是選自丙烯酸、甲基丙烯酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯。更佳地,含羧酸基之乙烯性不飽和單體是選自2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯,可以提高顏料分散性及增進顯影速度以及減少殘渣發生。
在本實施例中,其它可共聚合之乙烯性不飽和單體可單獨或混合使用,且其它可共聚合之乙烯性不飽和單體包含但不限於苯乙烯(styrene,簡稱SM)、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對氯苯乙烯、甲氧基苯乙烯等之芳香族乙烯基化合物;氮-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide,簡稱PMI)、氮-鄰-羥基苯基馬來醯亞胺、氮-間-羥基苯基馬來醯亞胺、氮-對-羥基苯基馬來醯亞胺、氮-鄰-甲基苯基馬來醯亞胺、氮-間-甲基苯基馬來醯亞胺、氮-對-甲基苯基馬來醯亞胺、氮-鄰-甲氧基苯基馬來醯亞胺、氮-間-甲氧基苯基馬來醯亞胺、氮-對-甲氧基苯基馬來醯亞胺、氮-環己基馬來醯亞胺等之馬來醯亞胺類;丙烯酸甲酯(methyl acrylate,簡稱MA)、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸第二丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯、丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸第三丁酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯、甲基丙烯酸2-羥基丙酯、丙烯酸3-羥基丙酯、甲基丙烯酸3-羥基丙酯、丙烯酸2-羥基丁酯、甲基丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸3-羥基丁酯、甲基丙烯酸3-羥基丁酯、丙烯酸4-羥基丁酯、甲基丙烯酸4-羥基丁酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯(benzyl methacrylate,簡稱BzMA)、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸三乙二醇甲氧酯、甲基丙烯酸三乙二醇甲氧酯、甲基丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸十四烷基酯、甲基丙烯酸十六烷基酯、甲基丙烯酸十八烷基酯、甲基丙烯酸二十烷基酯、甲基丙烯酸二十二烷基酯、丙烯酸雙環戊烯基氧化乙酯(dicyclopentenyloxyethyl acrylate,簡稱DCPOA)等之不飽和羧酸酯類;丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基乙酯、甲基丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基乙酯、丙烯酸-氮,氮-二乙基胺基丙酯、甲基丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基丙酯、丙烯酸氮,氮-二丁基胺基丙酯、氮-甲基丙烯酸異-丁基胺基乙酯;丙烯酸環氧丙基酯、甲基丙烯酸環氧丙基酯等之不飽和羧酸環氧丙基酯類;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯等之羧酸乙烯酯類;乙烯基甲醚、乙烯基乙醚、烯丙基環氧丙基醚、甲代烯丙基環氧丙基醚等之不飽和醚類;丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、氰化亞乙烯等之腈化乙烯基化合物;丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、α-氯丙烯醯胺、氮-羥乙基丙烯醯胺、氮-羥乙基甲基丙烯醯胺等之不飽和醯胺;1,3-丁二烯、異戊二烯、氯化丁二烯等之脂肪族共軛二烯類。
較佳地,其他可共聚合之乙烯性不飽和單體是選自苯乙烯、氮-苯基馬來醯亞胺、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯、丙烯酸雙環戊烯基氧化乙酯、或此等組合。
於製備其他鹼可溶性樹脂(A-2)時,可使用溶劑,溶劑可單獨或混合使用,且溶劑包含但不限於乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇正丙醚、二乙二醇正丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一縮二丙二醇甲醚、一縮二丙二醇乙醚、一縮二丙二醇正丙醚、一縮二丙二醇正丁醚、二縮三丙二醇甲醚、二縮三丙二醇乙醚等之(聚)亞烷基二醇單烷醚類;乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate,簡稱PGMEA)、丙二醇乙醚醋酸酯等之(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類;二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、四氫呋喃等之其他醚類;甲乙烷酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等之酮類;2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等之乳酸烷酯類;2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(ethyl 3-ethoxypropionate,簡稱EEP)、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-甲氧基丁酸乙酯等之其他酯類;甲苯、二甲苯等之芳香族碳氫化合物類;氮-甲基吡咯烷酮(NMP)、氮,氮-二甲基甲醯胺(DMF)、或氮,氮-二甲基乙醯胺(DMAC)等醯胺類等。較佳地,溶劑是選自丙二醇甲醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、或此等組合。(聚)亞烷基二醇單烷醚類是指亞烷基二醇單烷醚類或聚亞烷基二醇單烷醚類。(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類是指亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類或聚亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類。
其他鹼可溶性樹脂(A-2)製備時所使用之起始劑一般為自由基型聚合起始劑,具體例可包含但不限於:2,2'-偶氮雙異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙-2-甲基丁腈(2,2'-azobis-2-methyl butyronitrile,簡稱AMBN)等之偶氮(azo)化合物;異丙苯過氧化氫、二異丙基苯氫過氧化物、2-第三丁基過氧化物、過氧化月桂醯、過氧化苯甲醯、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯、第三丁基過氧化-2-己酸乙酯等之過氧化合物。上述之自由基型聚合起始劑可單獨一種或混合複數種使用。同時,該自由基型聚合起始劑可與過度金屬鹽類或胺類一起併用。
本發明之其他鹼可溶性樹脂(A-2)之重量平均分子量只要根據目的、用途而適當設定即可,一般為2,000至50,000,較佳為3,000至40,000,更佳為4,000至30,000。
基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份,其他鹼可溶性樹脂(A-2)的使用量為0~97重量份,較佳為0~90重量份,且更佳為0~80重量份。具有乙烯性不飽和基的化合物 (B)
本發明的具有乙烯性不飽和基之化合物(B)可選自於具有1個乙烯性不飽和基之化合物或具有2個以上(含2個)乙烯性不飽和基之化合物。
前述之具有1個乙烯性不飽和基之化合物可包含但不限於(甲基)丙烯醯胺((meth)acrylamide)、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、氮,氮-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯[tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate]、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羥基-(甲基)丙烯酸乙酯、2-羥基-(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己內醯胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸乙二酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二酯、(甲基)丙烯酸冰片酯等。前述之具有1個乙烯性不飽和基之化合物一般可單獨一種或混合複數種使用。
前述之具有2個以上(含2個)乙烯性不飽和基之化合物包含但不限於乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧乙烷(簡稱EO)改質之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧丙烷改質(簡稱PO)之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯[di(trimethylolpropane) tetra(meth)acrylate]、經環氧乙烷改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之甘油三(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質之雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、式(B-2-1)到式(B-2-4)所示之化合物等。式(B-2-1)式(B-2-2)式(B-2-3)式(B-2-4)
前述之具有2個以上(含2個)乙烯性不飽和基之化合物一般可單獨一種或混合複數種使用。
上述之具有乙烯性不飽和基之化合物(B)之具體例如:三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧乙烷改質之三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質之三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質之甘油三丙烯酸酯、式(B-2-1)到式(B-2-4)所示之化合物或上述之任意組合。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為10~200重量份,較佳為20~180重量份,更佳為30~150重量份。光起始劑 (C)
較佳地,所述光起始劑(C)可進一步包含第一光起始劑(C-1)。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述光起始劑(C)的使用量為10~100重量份,較佳為15~90重量份,更佳為20~80重量份。第一光起始劑 (C-1)
在一實施例中,第一光起始劑(C-1)具有如式(C1-1)所示的結構:式(C1-1)
式(C1-1)中,E30
表示含有C3
-C20
環烷基之有機基團,E31
及E32
各自獨立地表示烷基或芳基,E33
表示烷基。
以能夠進一步提高感度為考量,E30
表示含有C3
-C10
環烷基的有機基團為較佳,E30
表示含有C5
-C8
環烷基的有機基團為更佳。
E30
表示含有C3
-C20
環烷基的有機基團可以是間雜有二價的碳氫基之含有環烷基的有機基團,所述二價碳氫基的例子較佳為伸烷基,更佳為C2
-C5
伸烷基,最佳為伸乙基。
所述E30
是含有C3
-C20
環烷基的有機基團,較佳為環烷基伸烷基,更佳為環戊基乙基。
所述式(C1-1)中,以進一步提升感度為考量,所述E31
為烷基或芳基,較佳為烷基,更佳是C1
-C5
烷基,最佳是甲基。
所述式(C1-1)中,以進一步提升感度為考量,所述E32
為烷基或芳基,較佳為烷基,更佳是C1
-C10
烷基,最佳是乙基。
所述式(C1-1)中,以進一步提升感度為考量,該E33
為烷基,較佳是C1
-C5
烷基,更佳為甲基。
所述式(C1-1)中,E33
的取代位置可以為鄰位、間位或對位。以進一步提高感度為考量,較佳為鄰位。
由式(C1-1)中表示的化合物的例子中,E30
是環烷基伸乙基,E31
是甲基,E32
是乙基,E33
是甲基,具體商品例如為常州強力株式會社的TR-PBG-304等。
第一光起始劑(C-1)的具體例例如但不限於具有如下式(C-1-1)至式(C-1-10)所示的結構的化合物的光起始劑。式(C-1-1)式(C-1-2)式(C-1-3)式(C-1-4)式(C-1-5)式(C-1-6)式(C-1-7)式(C-1-8)式(C-1-9)式(C-1-10)
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述第一光起始劑(C-1)的使用量為1~50重量份,較佳為3~45重量份,更佳為5~40重量份。當未同時使用第一鹼可溶性樹脂(A-1)及第一光起始劑(C-1)時,該感光性樹脂組成物所形成之間隙體或保護膜具有解析度不佳之問題。其他光起始劑 (C-2)
在一實施例中,本發明的光起始劑(C)更可以包括其他光起始劑(C-2)。其他光起始劑(C-2)的具體例包括但不限於:O-醯基肟類化合物、三氮雜苯系化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等。
上述之O-醯基肟類化合物的具體例為:1-[4-(苯基硫代)苯基]-丙烷-3-環戊烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙醯肟)、1,2-丁二酮-1-[4-(甲硫基)苯基] 2-(O-乙醯基肟)。
前述之O-醯基肟類化合物以1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)等為較佳。上述之O-醯基肟類化合物可單獨一種或混合複數種使用,端視實際需要而定。
上述之三氮雜苯系化合物可包括但不限於乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物及4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。
前述之乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例為:2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮雜苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
前述之2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例為:2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯等。
前述之4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例為:4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯等。
前述之三氮雜苯系化合物以4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等為較佳。上述之三氮雜苯系化合物可單獨一種或混合複數種使用,端視實際需要而定。
上述之苯乙烷酮類化合物之具體例為:對二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等。前述之苯乙烷酮類化合物以2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等為較佳。上述之苯乙烷酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用,端視實際需要而定。
上述之二咪唑類化合物之具體例為:2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(對-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。前述之二咪唑類化合物以2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑為較佳。上述之二咪唑類化合物可單獨一種或混合複數種使用,端視實際需要而定。
上述之二苯甲酮類化合物之具體例為:噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮等。前述之二苯甲酮類化合物以4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮為較佳。上述之二苯甲酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用,端視實際需要而定。
上述之α-二酮類化合物之具體例為:苯偶醯、乙醯基等。上述之酮醇類化合物之具體例為:二苯乙醇酮。上述之酮醇醚類化合物之具體例為:二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮異丙醚等。上述之醯膦氧化物類化合物之具體例為:2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物、雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。上述之醌類化合物之具體例為:蒽醌、1,4-萘醌等。上述之含鹵素類化合物之具體例為:苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸、三(三氯甲基)-s-三氮雜苯等。上述之過氧化物之具體例為:二-第三丁基過氧化物等。上述之α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等可單獨一種或混合複數種使用,端視實際需要而定。
在一實施例中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述其他光起始劑(C-2)的使用量為0~99重量份,較佳為10~90重量份,更佳為20~80重量份。溶劑 (D)
本發明之溶劑(D)是指可將鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)溶解,但又不與上述之成分產生反應的溶劑。所述溶劑較佳具有適當之揮發性。
溶劑(D)可包含但不限於乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二甘醇甲醚、二甘醇乙醚、二甘醇正丙醚、二甘醇正丁醚、三甘醇甲醚、三甘醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一縮二丙二醇甲醚、一縮二丙二醇乙醚、一縮二丙二醇正丙醚、一縮二丙二醇正丁醚、二縮三丙二醇甲醚(tripropylene glycol monomethyl ether)或二縮三丙二醇乙醚(tripropylene glycol monoethyl ether)等之(聚)亞烷基二醇單烷醚類溶劑;乙二醇單甲醚醋酸酯、乙二醇單乙醚醋酸酯、丙二醇單甲醚醋酸酯或丙二醇單乙醚醋酸酯等之(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類溶劑;二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、二甘醇二乙醚或四氫呋喃等之其他醚類溶劑;甲乙烷酮、環己酮、2-庚酮或3-庚酮等之酮類溶劑;2-羥基丙酸甲酯或2-羥基丙酸乙酯等之乳酸烷酯類溶劑;2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯或2-氧基丁酸乙酯等之其他酯類溶劑;甲苯或二甲苯等之芳香族碳氫化合物溶劑;氮-甲基吡咯烷酮、氮,氮-二甲基甲醯胺或氮,氮-二甲基乙醯胺等之羧酸醯胺溶劑。所述溶劑(D)可單獨一種使用或混合複數種使用。
基於所述鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,所述溶劑(D)的使用量為500~5000重量份,較佳為600~4500重量份,更佳為700~4000重量份。添加劑 (E)
在不影響本發明功效之前提下,本發明之感光性樹脂組成物可選擇性地包含添加劑(E)。所述添加劑(E)可包含填充劑、前述鹼可溶性樹脂(A)以外之聚合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑或防凝集劑。
前述填充劑之具體例可包含但不限於玻璃或鋁等。
前述聚合物之具體例可包含但不限於聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯或上述聚合物之任意組合。
前述密著促進劑之具體例可包含但不限於乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)矽烷、氮-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、氮-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基甲基二甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-硫醇基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷或上述化合物之任意組合。
前述抗氧化劑之具體例可包含但不限於2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚或上述化合物之任意組合。
前述紫外線吸收劑之具體例可包含但不限於2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮、烷氧基苯酮(alkoxy phenone)或上述化合物之任意組合。
前述防凝集劑之具體例可包含但不限於聚丙烯酸鈉(sodium polyacrylate)等。
基於所述鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,所述添加劑(E)的使用量為0~10重量份,較佳為1~9重量份,更佳為3~8重量份。感光性樹脂組成物的製備方法
可用來製備感光性樹脂組成物的方法例如:將鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)放置於攪拌器中攪拌,使其均勻混合成溶液狀態,必要時亦可添加添加劑(E),予以均勻混合後,便可獲得溶液狀態的感光性樹脂組成物。
又,感光性樹脂組成物的製備方法沒有特別的限制。感光性樹脂組成物的製備方法例如是先將一部分的鹼可溶性樹脂(A)及具有乙烯性不飽和基的化合物(B)分散於一部分的溶劑(D)中,以形成分散溶液;並且接著混合其餘的鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、溶劑(D)以及添加劑(E)。保護膜 與間隙體 的形成
本發明提供一種保護膜與一種間隙體,其是使用上述的感光性樹脂組成物所形成。以下詳細說明其製備方法。
本發明的保護膜的形成方法是先將由紅色、綠色及藍色著色層組成的畫素層形成於透明基板上,再將前述的透明感光性樹脂組成物塗佈在前述形成紅、綠、藍等畫素著色層之基板上後,進行曝光、顯影以及後烤等步驟,藉此去除其中的溶劑,以形成彩色濾光層保護膜。
本發明的間隙體的形成方法是先在已形成有保護膜及畫素層的透明基板上,形成透明導電膜,再將前述的透明感光性樹脂組成物塗佈在前述透明導電膜上,接著,進行曝光、顯影以及後烤等步驟,藉此去除其中的溶劑,以形成間隙體。
換言之,若欲形成保護膜,是將感光性樹脂組成物塗佈於基板上的畫素層上;而若欲形成間隙體,則是將感光性樹脂組成物塗佈於基板上的透明導電膜上。
上述之塗佈方法可例如為噴灑(spray)法、輥式(roller)塗佈法、旋轉塗佈(spin coating)法、桿式(bar)塗佈法或噴墨印刷(ink jet)法等。上述之塗佈方法可採用旋轉塗佈機(spin coater)、非旋轉式塗佈機(spin loess coating machine)以及狹縫式塗佈機(slit-die coating machine)等進行塗佈為較佳。
上述預烤(pre-bake)之條件,依各成分之種類,配合比率而異,通常預烤乃在70℃至90℃溫度下進行1分鐘至15分鐘。預烤後,預烤塗膜之厚度為0.15μm至8.5μm,然以0.15μm至6.5μm為較佳,又以0.15μm至4.5μm為更佳。可以理解的是,上述預烤塗膜之厚度是指去除溶劑後之厚度。
上述預烤塗膜形成後,再以熱板或烘箱等加熱裝置進行加熱處理。加熱處理的溫度通常為150至250℃,其中,使用熱板之加熱時間為5分鐘至30分鐘,使用烘箱之加熱時間為30分鐘至90分鐘。
當上述硬化性樹脂組成物使用光起始劑時,倘若有需要,可在將硬化性樹脂組成物塗佈在基板表面上,並以預烤方式去除溶劑而形成預烤塗膜後,對所述預烤塗膜進行曝光處理。
上述之曝光處理所使用之光線可例如可見光、紫外線、遠紫外線、電子束(electron beam)、X射線等,然以波長為190nm至450nm之含有紫外線的光為較佳。
上述之曝光處理之曝光量以100 J/m2
至20,000 J/m2
為宜,然以150 J/m2
至10,000 J/m2
為較佳。
在上述曝光處理後,可選擇性利用熱板或烘箱等加熱裝置進行加熱處理。加熱處理的溫度通常為150至250℃,其中,使用熱板之加熱時間為5分鐘至30分鐘,使用烘箱之加熱時間為30分鐘至90分鐘。
本發明的保護膜及間隙體並不限定於形成於畫素層或透明導電膜上,而可以形成於基板上或基板上的各種元件上。彩色濾光片的製備方法
具體而言,本發明的彩色濾光片的製造方法例如是:在形成紅、綠、藍等畫素著色層及保護膜後,在溫度介於220℃至250℃之間的真空環境下,於保護膜層的表面上進行濺鍍,而形成ITO保護膜,必要時,對ITO保護膜進行蝕刻,並進行佈線,然後在ITO保護膜表面上塗布配向膜,便能製造出包含將本發明的感光性樹脂組成物硬化而成的硬化物的彩色濾光片。液晶顯示裝置的製造方法
首先,將藉由上述彩色濾光片的製造方法所形成的彩色濾光片以及設置有薄膜電晶體的基板作對向配置,並且在上述兩者之間設置間隙(晶胞間隔,cell gap)。接著,以黏著劑貼合彩色濾光片與上述基板的周圍部分並且留下注入孔。然後,在基板表面以及黏著劑所分隔出的間隙內由注入孔注入液晶,最後封住注入孔來形成液晶層。隨後,藉由在彩色濾光片中接觸液晶層的另一側與基板中接觸液晶層的另一側提供偏光板來製作液晶顯示裝置。上述所使用的液晶,亦即液晶化合物或液晶組成物,此處並未特別限定。惟,可使用任何一種液晶化合物及液晶組成物。
此外,於製作彩色濾光片中所使用的液晶配向膜是用來限制液晶分子的配向,並且沒有特別的限制,舉凡無機物或有機物任一者均可,並且本發明並不限於此。實施例
以下將列舉實施例詳細說明本發明,但本發明並不侷限於這些實施例所揭露的內容。第一鹼可溶性樹脂 (A-1) 的合成
本發明的第一鹼可溶性樹脂的合成例A-1-1~A-1-12的合成所使用的各個反應試劑的用量列於下表1,各個反應試劑的名稱或結構列於下表2。合成例 A-1-1
在一四頸錐瓶上設置攪拌器、溫度計、冷凝管及氮氣入口,並導入氮氣。然後,加入100重量份之丙二醇甲醚醋酸酯(簡稱為PGMEA),並將溫度升溫至100℃。接著,將30重量份之單體(a-1-1-1)、10重量份之單體(a-1-2-1)、15重量份之單體(a-1-2-4)、25重量份之單體(a-1-5-1)、20重量份之單體(a-1-5-2)及4重量份之2,2'-偶氮雙-2-甲基丁腈(簡稱為AMBN)溶於100重量份之丙二醇甲醚醋酸酯(簡稱為PGMEA)中,並將此混合溶液於2小時內逐滴滴入四頸錐瓶中,於100℃反應6.5小時後,即可製得合成例A-1-1之第一鹼可溶性樹脂(A-1-1)。合成例 A-1-2 至 A-1-12
合成例A-1-2至合成例A-1-12的第一鹼可溶性樹脂是以與合成例A-1-1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變第一鹼可溶性樹脂合成所使用的成分種類及其使用量(如表1所示)。 表1
表2 其他鹼可溶性樹脂 (A-2) 的合成
本發明的其他鹼可溶性樹脂的合成例A-2-1~A-2-6的合成所使用的各個反應試劑的用量、反應溫度、聚合時間列於下表3、表4;各個反應試劑的名稱或結構列於下表5。合成例 A-2-1
在一四頸錐瓶上設置攪拌器、溫度計、冷凝管及氮氣入口,並導入氮氣。然後,加入120重量份之丙二醇甲醚醋酸酯(簡稱為PGMEA),並將溫度升溫至80℃。接著,將50重量份的甲基丙烯酸(簡稱為MAA)、20重量份的甲基丙烯酸雙環戊酯(簡稱為FA-513M)、10重量份的苯乙烯(簡稱為SM)及20重量份的甲基丙烯酸環氧丙基酯(簡稱為GMA)及4重量份的2,2'-偶氮雙異丁腈(簡稱為AIBN)溶於120重量份之丙二醇甲醚醋酸酯(簡稱為PGMEA)中,並將此混合溶液於2小時內逐滴滴入四頸錐瓶中,於80℃反應4.5小時。接著,再將其升溫至100℃,並添加0.5重量份的2,2’-偶氮二異丁腈(簡稱為AMBN)。進行聚合反應1小時後,即可製得合成例A-2-1之其他鹼可溶性樹脂(A-2-1)。合成例 A-2-2 至合成例 A-2-6
合成例A-2-2至合成例A-2-6的鹼可溶性樹脂是以與合成例A-2-1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變成分種類及其使用量、反應時間以及反應溫度(如表3、4所示)。 表3
表4
表5 感光性樹脂組成物的實施例 1~16
以下說明感光性樹脂組成物的實施例1至實施例16以及比較例1至比較例7:實施例 1
將40重量份合成例A-1-1的鹼可溶性樹脂(以下簡稱為A-1-1)、60重量份合成例A-2-1的鹼可溶性樹脂(以下簡稱為A-2-1)、40重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯(以下簡稱為B-1)、10重量份的由式(C-1-1)所表示的化合物(以下簡稱為C-1-1)加入800重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下簡稱為D-1)中,並且以搖動式攪拌器(shaking type stirrer)攪拌均勻後,即可製造得實施例1的感光性樹脂組成物。將所製得的感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價,其結果如表6所示。實施例 2 至實施例 16
實施例2至實施例16的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表6所示),其中表6中標號所對應的化合物如表7所示。將所製得的感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價,其結果如表6所示。 表6
表7 感光性樹脂組成物的比較例 1~7
本發明的比較例1~7的感光性樹脂組成物的合成所使用的各個反應試劑的用量、評價結果列於下表8。比較例 1 至 比較例 7
比較例1至比較例7的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表8所示)。將所製得的感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價,其結果如表8所示。 表8 評價 方式 解析度
將所製得之感光性樹脂組成物,於玻璃基板上以旋轉塗佈方式塗佈,在100℃下預烤2分鐘,可得到約1 μm之預烤塗膜。將所述預烤塗膜介於線與間距(line and space)之光罩(日本Filcon製),利用50 mJ/cm2
之紫外光(曝光機型號AG500-4N;M&R Nano Technology製)進行照射後,再以0.84%氫氧化鉀水溶液,於23℃下予以顯影1分鐘,將基板上未曝光部份之塗膜除去,然後以純水洗淨,再以235℃後烤30分鐘,即可於玻璃基板上形成間隙體或保護膜,其具有藉由指定之光罩圖案所形成之圓柱。將上述玻璃基板上形成間隙體或保護膜以顯微鏡或掃描式電子顯微鏡觀察間隙體或保護膜之圓柱的可成形最小直徑。 ◎:解析度≦10μm ○:12μm≦解析度<10μm △:14μm≦解析度<12μm ╳:解析度>14μm
見表6中的實施例3~5、9~10、13~15,實施例3~5、9~10、13~15使用的第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包含具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的混合物聚合而製得,因此,實施例3~5、9~10、13~15製得的感光性樹脂組成物所形成之間隙體或保護膜具有較佳之解析度。
見表6中的實施例6~9、11、13~15,實施例6~9、11、13~15使用的第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包含具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)的混合物聚合而製得時,該感光性樹脂組成物所形成之間隙體或保護膜具有較佳之解析度。
見表8中的比較例1~7,比較例1~7未同時使用第一鹼可溶性樹脂(A-1)及第一光起始劑(C-1),因此,比較例1~7製得的感光性樹脂組成物所形成之間隙體或保護膜的解析度不佳。
綜上所述,本發明的感光性樹脂組成物包括具有特殊結構的第一鹼可溶性樹脂(A-1)與第一光起始劑(C-1),使本發明的感光性樹脂組成物具有極佳的解析度。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
無。
無。
Claims (13)
- 一種感光性樹脂組成物,包括: 鹼可溶性樹脂(A); 具有乙烯性不飽和基的化合物(B); 光起始劑(C);以及 溶劑(D), 其中, 所述鹼可溶性樹脂(A)包括第一鹼可溶性樹脂(A-1),且所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包括具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及式(I)所示具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的混合物聚合而製得;式(I) 於所述式(I)中,所述X1 代表氫原子或甲基; 所述X2 及X3 分別獨立地代表苯基、C1 -C12 烷基、C1 -C6 烷氧基或如下式(II)所示的基團;式(II) 於所述式(II)中,所述X5 、X6 與X7 分別獨立地代表苯基或C1 -C12 烷基; 所述d代表2至13的整數; 當所述d大於1時,複數個X6 為相同或不同,且複數個X7 為相同或不同; 所述X4 代表C1 -C6 烷基或如下式(III)所示的基團;式(III) 於所述式(III)中,所述X8 、X9 及X10 分別獨立地代表苯基或C1 -C12 烷基; 所述a代表1至6的整數; 所述b代表1至150的整數; 當所述b大於1時,複數個X2 為相同或不同,且複數個X3 為相同或不同; 所述光起始劑(C)包括具有式(C1-1)所示結構的第一光起始劑(C-1);式(C1-1) 於所述式(C1-1)中,所述E30 代表含有C3 -C20 環烷基的有機基團; 所述E31 及E32 各自獨立地代表烷基或芳基;以及 所述E33 表示烷基。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包含具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的混合物聚合而得。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)由包含具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)的混合物聚合而得。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為10~200重量份,所述光起始劑(C)的使用量為10~100重量份,以及所述溶劑(D)的使用量為500~5000重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量為3~100重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,所述第一光起始劑(C-1)的使用量為1~50重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中基於所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的總量為100重量份,所述具有羧酸基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的使用量為5~50重量份,所述式(I)所示的具有矽烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的使用量為1~30重量份。
- 如申請專利範圍第2項所述的感光性樹脂組成物,其中基於所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的總量為100重量份,所述具有多環結構的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的使用量為0~40重量份。
- 如申請專利範圍第3項所述的感光性樹脂組成物,其中基於所述第一鹼可溶性樹脂(A-1)的總量為100重量份,所述具有脂環式環氧基的乙烯性不飽和單體(a-1-4)的使用量為0~40重量份。
- 一種具有圖案的間隙體,其係藉由對如申請專利範圍第1項至第9項任一項所述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得。
- 一種具有圖案的保護膜,其係藉由對如申請專利範圍第1項至第9項任一項所述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得。
- 一種液晶顯示元件,包括如申請專利範圍第10項所述的間隙體。
- 一種液晶顯示元件,包括如申請專利範圍第11項所述的保護膜。
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