TW201810914A - 振動波馬達及光學機器 - Google Patents

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芦沢隆利
武藤梓
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日商尼康股份有限公司
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Abstract

本發明之課題在於提供一種即便為低密度亦可獲得良好之驅動特性之振動波馬達。
本發明之振動波馬達10具備：電氣機械轉換元件13；彈性體12，其藉由上述電氣機械轉換元件13之振動而於驅動面產生振動波；及相對運動構件15，其與上述彈性體12之上述驅動面接觸，並藉由上述振動波被旋轉驅動；上述電氣機械轉換元件13之密度為4.2~6.0×103kg/m3，於上述彈性體12之上述驅動面側設置有複數個溝槽12c，於將上述複數個溝槽12c之至少一個溝槽之深度設為T，將上述溝槽12c之底部至上述第1面為止之厚度設為B，並且將上述電氣機械轉換元件13之厚度定義為C之情形時，T/(B+C)之值為1.3~2.8之範圍。

Description

振動波馬達及光學機器
本發明係關於一種振動波馬達及光學機器。
振動波馬達利用壓電體之伸縮而於彈性體之驅動面產生行進性振動波(下文中略記為行進波)(參照專利文獻1)。此種振動波馬達之振子通常係由電氣機械轉換元件(以下稱為壓電體)與彈性體構成。先前，壓電體通常係由被通稱為PZT之鈦酸鋯酸鉛等材料構成，但近年來，因環境問題而對無鉛材料進行研究，且正研究將其搭載於振動波馬達(參照專利文獻1)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特公平1-17354號公報
本發明將振動波馬達設為如下構成，具備：電氣機械轉換元件；彈性體，其藉由上述電氣機械轉換元件之振動而於驅動面產生振動波；及相對運動構件，其與上述彈性體之上述驅動面接觸，並藉由上述振動波 被旋轉驅動；上述電氣機械轉換元件之密度為4.2~6.0×103kg/m3，於上述彈性體之上述驅動面側設置有複數個溝槽，且於將上述複數個溝槽之至少一個溝槽之深度設為T，將上述溝槽之底部至上述第1面為止之厚度設為B，並且將上述電氣機械轉換元件之厚度定義為C之情形時，T/(B+C)之值為1.3~2.8之範圍。
又，本發明之光學機器設為具備上述振動波馬達之構成。
1‧‧‧相機
10‧‧‧振動波馬達
11‧‧‧振子
12‧‧‧彈性體
12a‧‧‧驅動面
12c‧‧‧突起部
12e‧‧‧凸緣部
13‧‧‧壓電體
13A‧‧‧第1面
14‧‧‧固定部
15‧‧‧移動元件
15a‧‧‧滑動面
16‧‧‧振動傳遞防止構件
18‧‧‧加壓彈簧
19‧‧‧壓環
20‧‧‧透鏡鏡筒
23‧‧‧振動吸收構件
24‧‧‧輸出傳遞構件
25‧‧‧軸承
31‧‧‧外側固定筒
32‧‧‧內側固定筒
34‧‧‧環
35‧‧‧叉
36‧‧‧凸輪環
37‧‧‧鍵槽
38‧‧‧固定銷
40‧‧‧驅動電路
60‧‧‧振盪部
62‧‧‧移相部
64‧‧‧放大部
66‧‧‧旋轉檢測部
68‧‧‧控制部
80‧‧‧驅動裝置
131‧‧‧電極部
131C‧‧‧電極部
131D‧‧‧電極
132‧‧‧電極部
132C‧‧‧電極部
132D‧‧‧電極部
圖1係組入有實施形態之振動波馬達10之透鏡鏡筒20及相機1之概略剖面圖。
圖2係將振子11及移動元件15之一部分切除後之立體圖。
圖3係表示壓電體13之圖，(a)係與彈性體之接合面，(b)係其背面。
圖4係對實施形態之振動波馬達10之驅動裝置80進行說明之方塊圖。
圖5係對振動波馬達10之振子11之等效電路進行說明之圖，(a)係等效電路，(b)係機械品質係數Qm之計算式。
圖6係表示分別使T值、B值、C值變化並利用CAE分析算出Lm值所得之結果之曲線圖。
圖7係表示T/(B+C)與驅動電壓之關係之曲線圖。
圖8係對T/(B+C)與振子11之突起部12d之舉動之關係進行說明之圖，(a)係T/(B+C)較小之情形，(b)係T/(B+C)較大之情形。
圖9係啟動振動波馬達10時之序列。
圖10係將數值記入至圖7之曲線圖而成之圖。
以下，一面參照隨附圖式，一面對振動波馬達10之實施形態詳細地進行說明。圖1係組入有實施形態之振動波馬達10之透鏡鏡筒20及相機1之概略剖面圖。
作為振動波馬達，實施形態對圓環型振動波馬達10進行說明。
透鏡鏡筒20具有外側固定筒31與內側固定筒32。透鏡鏡筒20成為將具有振動波馬達10之馬達單元固定於該外側固定筒31與內側固定筒32之間之機構。
驅動電路40設置於透鏡鏡筒20之外側固定筒31與內側固定筒32之間，並進行振動波馬達10之驅動、控制、轉速之檢測、振動感測器之檢測等。
繼而，對振動波馬達10進行說明。振動波馬達10具有振子11與移動元件15。圖2係將振子11及移動元件15之一部分切除後之立體圖。
振子11係由以將電能轉換成機械能之壓電元件或電伸縮元件等為例之電氣機械轉換元件(以下，稱為壓電體13)及接合有壓電體13之彈性體12構成。雖以於振子11產生行進波之方式構成，於本實施形態中，作為一例，對波數為9之行進波進行說明。
彈性體12係由共振銳度較大之金屬材料構成，且具有圓環形狀。於彈性體12中之接合壓電體13之相反面切出溝槽12c。突起部12d (不存在溝槽12c之部位)之前端面成為驅動面12a並加壓接觸於移動元件15。切出溝槽12c之原因在於，使行進波之中立面儘可能地向壓電體13側靠近，藉此將驅動面12a之行進波之振幅放大。
於彈性體12之內周側設置有沿徑向延伸之凸緣部12e，於凸緣部12e設置有未圖示之切口部，該切口部與設置於固定部14之未圖示之突起部嵌合而限制彈性體12之圓周方向之移動。
圖3係表示壓電體13之圖，(a)係與彈性體之接合面，(b)係其背面。壓電體13之接合面沿圓周方向被分成2個相(A相、B相)。於各相中，排列有每1/2波長而極化交替之要素，於A相與B相之間空出相當於1/4波長之間隔。關於設置於表面之電極或電極圖案，將於下文進行敍述。
移動元件15係由鋁等輕金屬構成，於滑動面15a之表面設置有用以提高耐磨耗性之滑動材料。為了吸收移動元件15之縱向之振動，而於移動元件15之與振子11相反之面配置有橡膠般之振動吸收構件23，並於其上配置有輸出傳遞構件24。
為了吸收移動元件15之縱向之振動，而於移動元件15上配置有橡膠般之振動吸收構件23，並於其上配置有輸出傳遞構件24。
輸出傳遞構件24因設置於固定部14之軸承25而加壓方向與徑向受到限制，藉此，移動元件15之加壓方向與徑向受到限制。輸出傳遞構件24具有突起部24a，自該突起部24a嵌合有連接於凸輪環36之叉35，且凸輪環36與輸出傳遞構件24之旋轉一起旋轉。
於凸輪環36傾斜地切出鍵槽37。設置於AF環34之固定銷 38嵌合於鍵槽37，且構成為可藉由使凸輪環36進行旋轉驅動而將AF環34向沿光軸方向直進之方向驅動，並停止於所期望之位置。
於壓電體13與加壓彈簧18之間設置有不織布或毛氈般之振動傳遞防止構件16，而使得振子11之振動不傳遞至加壓彈簧18或壓環19等。
加壓彈簧18係由盤簧或波形墊圈構成。
固定部14藉由螺絲而安裝有壓環19，藉由安裝壓環19，可將從輸出傳遞構件24經過移動元件15、振子11到加壓彈簧18構成為一個馬達單元。
如上所述，圖3係表示壓電體13之圖，(a)係與彈性體之接合面，(b)係其背面。於壓電體13之作為接合面之第1面13A設置有複數個電極部131。於本實施形態中，沿著圓周方向設置16個相當於行進波之波長之1/2波長之長度之電極部131。
將該電極部131設為分為左右各8個之群。一側之群傳遞A相之驅動電壓，另一側之群傳遞B相之驅動電壓。於A相與B相之間設置相當於1/4波長之電極部131C與相當於3/4波長之電極131D，設置有共計18個電極部131。
於實施形態中，設置有該18個電極部131之側與彈性體12接合。
另一方面，於圖3(b)所示之與第1面為相反面之第2面，於第1面中存在A相之電極部之位置設置如使A相之電極群耦合般之電極。
同樣地，於B相之電極群之位置設置如使B相之電極群耦合般之電極，於A相與B相之間設置相當於1/4波長之電極部132C與相當於3/4波長之電極部132D，設置有共計4個電極部132。
於實施形態中，對該第2面施加A相驅動訊號與B相驅動訊號，1/4波長部利用導電塗料與彈性體12短路而獲得GND。
實施形態所使用之壓電體13之材料被稱為無鉛材，係以鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉、鈦酸鋇為主成分之材料。
圖4係對實施形態之振動波馬達10之驅動裝置80進行說明之方塊圖。
首先，對振動波馬達10之驅動/控制部68進行說明。
振盪部60根據控制部68之指令產生所期望之頻率之驅動訊號。移相部62將由振盪部60產生之驅動訊號分成相位不同之2個驅動訊號。
放大部64將由移相部62劃分之2個驅動訊號分別升壓至所期望之電壓。來自放大部64之驅動訊號被傳遞至振動波馬達10，藉由施加該驅動訊號而於振動體產生行進波，從而驅動移動元件15。
旋轉檢測部66係由光學式編碼器或磁性編碼器等構成，檢測藉由移動元件15之驅動而被驅動之驅動物之位置或速度，並將檢測值作為電氣訊號傳遞至控制部68。
控制部68基於來自透鏡鏡筒20內或相機1本體之CPU之驅動指令控制振動波馬達10之驅動。控制部68接收來自旋轉檢測部66之檢測訊號，基於該值獲得位置資訊與速度資訊，並以定位於目標位置之方式控制振盪部60之頻率。控制部68於向旋轉方向切換時變更移相部62之相位差。
繼而，對實施形態之振動波馬達10之動作進行說明。
當自控制部68發佈驅動指令時，振盪部60產生驅動訊號。驅動訊號藉 由移相部62而分割成相位相差90度之2個驅動訊號，並藉由放大部64而放大至所期望之電壓。
驅動訊號被施加至振動波馬達10之壓電體13而使壓電體13激振。藉由該激振而於彈性體12產生9階彎曲振動。
壓電體13被分成A相與B相，驅動訊號分別被施加至A相與B相。
自A相產生之9階彎曲振動與自B相產生之9階彎曲振動係位置上之相位偏移1/4波長，又，A相驅動訊號與B相驅動訊號之相位偏移90度，故而2個彎曲振動合成而成為9波之行進波。
行進波之波頭產生橢圓運動。因此，加壓接觸於驅動面12a之移動元件15藉由該橢圓運動而被摩擦驅動。於藉由移動元件15之驅動而驅動之驅動體配置有光學式編碼器，自光學式編碼器產生電氣脈衝，並傳遞至控制部68。控制部68可基於該訊號而獲得當前之位置與當前之速度。
於本實施形態中，如上所述，考慮到環境問題而使用無鉛材作為壓電體13。
然而，本發明者等人進行了努力研究，結果得知，於將無鉛之壓電體13搭載於振動波馬達10之情形時，難以獲得與相同條件下之PZT(鋯鈦酸鉛)之壓電體相同之驅動性能。
為了究明其原因，使用CAE(computer aided engineering)分析等進行了研究，結果判明無鉛之壓電體13與PZT之密度不同。
無鉛之壓電體13之密度例如於鈮系材料之情形時為4.2~4.7×103kg/m3，於鈦酸鋇系材料之情形時為5.5~6.0×103kg/m3。相對於此，PZT為7.7~7.8×103kg/m3。
即，無鉛之壓電體13與PZT相比，密度小20幾%至40幾%。
(等效電路)
圖5係對振動波馬達10之振子11之等效電路進行說明之圖，(a)係等效電路，(b)係機械品質係數Qm之計算式。
圖中，Lm表示等效電感，Cm表示等效電容，R表示共振電阻，Cd表示壓電體13之靜電電容。
Lm或Cm之值影響振子11之共振特性。機械品質係數Qm係表示共振特性之標準，該Qm值越大，表示共振特性越佳。
如圖5(b)所示，得知Lm值越大，則Qm越大。
以下所示之表1係將各材料設為壓電體13時利用CAE分析算出Lm值、Cm值所得之值。
此處，壓電體13之模型設為以下。
外徑：62mm、內徑：55mm、振子11之厚度：4.22mm、設置於驅動面12a側之溝槽12c之數量：48個、溝槽12c之深度：1.92mm、
如表1所示，PZT之Lm值為0.341，相對於此，鈦酸鋇系之Lm值為0.325，鈮酸系之Lm值為0.313。即，密度越小，則Lm值越小。將無鉛之壓電體13組入至振子11中之情形與組入有PZT之壓電體之情形相比，Lm值減小。即，組入有無鉛之壓電體13之情形之機械品質係數Qm與組入有PZT之壓電體之情形相比減小。因此得知，與組入有PZT之壓電體13之情形相比，於組入有無鉛之壓電體13之情形時難以獲得所期望之共振特性。
振動波馬達10之原理在於利用共振，故而若振子11無法獲得所期望之振動特性，則難以獲得組合有移動元件15之狀態下之驅動性能。因此，使用無鉛之壓電體13之振子11有難以獲得所期望之驅動性能之傾向。
因此，為了提高使用無鉛之壓電體13之振子11之共振特性，對Lm值提高之振子11之尺寸之傾向進行了調查。
此處，將設置於彈性體12之梳齒之溝槽12c之深度設為T，溝槽12c之底部至與壓電體13之接合面為止之厚度設為B，壓電體13之厚度設為C。
圖6係表示於T值：1.9~2.8、B值：1.3~1.8、C值：0.25~0.5
之範圍內分別變化並利用CAE分析算出Lm值所得之結果之曲線圖。
根據計算結果得知，T/(B+C)之值與Lm存在關聯。其原因在於，T之值越大，則Lm成為越大之值，另一方面，B值越小或C值越 小，則Lm成為越大之值。
因此，於密度為PZT及小於PZT之鈮系材料(4.2~4.7×103kg/m3)而改變T/(B+C)值之情形時，利用CAE算出於各壓電體材料中振子11之Lm值變成怎樣之值。關於其結果，將針對T/(B+C)為1.2、1.3、2、2.8之情形時之算出值示於表2。
再者，表2表示於T值：1.9~3.5、B值：1.0~2.2、C值：0.25~0.8
之範圍內分別變化並利用CAE分析算出Lm值所得之結果。
4.2~4.7×103kg/m3之範圍係一般之鈮系之壓電材料之密度之範圍，故而以其上限密度值與下限密度值實施CAE分析。
如表2所示，得知密度越小，則Lm值越小，另一方面，若增大T/(B+C)值，則可獲得相當於搭載有PZT之振子11之值。
然而，亦考慮到增大T/(B+C)值時之弊端。因此，試製搭載有鈮系材料之振動並對作為振動馬達之共振特性進行調查。
壓電體13之材料以鈮酸鉀鈉為主成分，彈性體12設為不鏽 鋼，試製12種改變彈性體12之T、B值及壓電體13之C之試製品，並對各試製品中可驅動之驅動訊號之電壓(驅動電壓)進行了調查。
試製品設為T值：1.5~2.0
B值：0.35~0.75
C值：0.25~0.5
之範圍。又，試製品之壓電體13之密度為4.4×103kg/m3。
認為可驅動之驅動電壓越低，則振動馬達之實機中之共振特性越佳，驅動電壓越高，則振動馬達之實機中之共振特性越不佳。
將測定所得之結果示於圖7。
於T/(B+C)值為1.2之情形時，即便賦予100V之驅動電壓，振動波馬達10亦不啟動。
於T/(B+C)值為1.3~2.8之範圍內，能以100V以下之適當之驅動電壓驅動。
於T/(B+C)值為3.33時，雖驅動，但移動元件15之旋轉狀態為略不穩定之狀態。
若增大T/(B+C)值，則振子11之Lm值增大，Qm值提高。然而，會產生振子11之電氣機械耦合係數Kvn減小之情形，而產生電能向機械能之轉換效率變差之弊病。
認為於將T/(B+C)值設為3.33時會產生該弊病，而移動元件15之旋轉狀態變得略不穩定。
(第1實施形態)
基於以上之研究結果，本發明之第1實施形態設為下述構成。
壓電體13係以鈮酸鉀鈉為主成分之材料，其密度設為4.2~4.7×103kg/m3，彈性體12使用不鏽鋼，且T/(B+C)值之範圍為1.3~2.8。
藉由設為此種構成，即便壓電體13之密度減小，作為振子11，可確保共振特性，成為可確保組合有移動元件15之狀態下之驅動性能。
於T/(B+C)為1.3時，於利用CAE分析所得之計算結果中，振子11之Lm值成為約0.41，又，於T/(B+C)為2.8時，振子11之Lm值成為約0.74。
(第2實施形態)
繼而，對第2實施形態進行說明。
第2實施形態中，壓電體13係以鈦酸鋇為主成分之材料，其密度設為5.5~6.0×103kg/m3，彈性體12使用不鏽鋼，且將T/(B+C)值之範圍設為1.3~2.8。
即便於將壓電體13設為鈦酸鋇時，亦由於與PZT相比密度較小，故而振子11之Lm值下降，作為振子11而無法獲得充分之共振特性。即便於該狀態下組合移動元件15，亦無法獲得驅動性能。
因此，於本實施形態中，嘗試改變T/(B+C)值，並利用CAE分析算出振子11之Lm值。
表3係算出將密度設為5.5×103kg/m3時與6.0×103kg/m3時且將T/(B+C)值變更為1.2、1.3、2、2.8時之各振子11之Lm值所得之結果。
5.5~6.0×103kg/m3之範圍係一般之鈦酸鋇系之壓電材料之密度之範 圍，故而以其上限密度值與下限密度值實施CAE分析。再者，於T值設為1.9~3.5、B值設為1.0~2.2、C值設為0.25~0.8之範圍進行CAE分析。
於T/(B+C)值為1.3時，Lm值成為約0.42，於T/(B+C)為2.8時，振子11之Lm值成為約0.75。
於壓電體13之密度為5.5~6.0×103kg/m3之材料中，關於T/(B+C)值與Lm之關係，亦成為與4.2~4.7×103kg/m3之材料大致相同之值。
因此，認為T/(B+C)值之適當之範圍為1.3~2.8。
鈮系(密度：4.2~4.7×103kg/m3)之Lm值、鈦酸鋇系(密度：5.5~6.0×103kg/m3)之Lm值於T/(B+C)值為1.3~2.8時均成為相同之值之關係，故而認為於密度4.2~6.0×103kg/m3時，T/(B+C)值之適當之範圍為1.3~2.8。
(第3實施形態)
繼而，對本發明之第3實施形態進行說明。
圖8係對T/(B+C)與振子11之突起部12d之舉動之關係進行說明之圖。圖8(a)表示T/(B+C)較小之情形時(作為示例，溝槽12c深度較淺時)之振子11之突起部12d之舉動，(b)表示T/(B+C)較大之情形時(作為示例，溝槽12c深度較深時)之振子11之突起部12d之舉動。
於振子11產生行進性振動波時，彎曲自彈性體12之溝槽12c之底部於壓電體13之接著面之厚度之部分與壓電體13之厚度合併之狀態下產生變形(即，於不存在突起部12d之狀態下產生彎曲變形)。
彎曲之中立面存在於彈性體12之溝槽12c底部至壓電體13之下面之間。並且，突起部12d係於隨自彈性體12之溝槽12c之底部於壓電體13之接著面之厚度之部分與壓電體13之厚度合併之狀態下產生之彎曲振動的狀態下，產生於驅動方向上擺動般之運動。
於T/(B+C)較小時，突起部12d之前端(驅動部)於驅動方向上之運動減小，於T/(B+C)較大時，於驅動方向上之運動增大。
若估算其速度之大小，則於將自彈性體12之溝槽12c底部於壓電體13之接著面之厚度之部分與壓電體13之厚度合併之狀態下產生之於驅動方向上之運動設為((B+C)/2)時，驅動面12a產生(T+(B+C)/2)/((B+C)/2)倍之於驅動方向上之運動。例如若增大T，則驅動面12a之擺動相應地增大。
於T/(B+C)較大時，於驅動方向上之運動較大，因此自移動元件15施加至驅動面12a之力增大。例如，若於驅動方向上之運動之位移變成2倍，則速度及加速度亦變成2倍，於欲使與驅動面12a接觸之移動元件15移動時，會對驅動面12a施加2倍之力(負載)。有可能因此而導致於成為振動波馬達10之啟動時般之速度變化較大之狀態時等無法驅動。
於實施形態中，於將密度較小之無鉛材之壓電體13組入至振子11時，為了改善振子11之Lm，而相較組入有PZT之壓電體13時增大T/(B+C)。因此，於該情形時，容易產生如上所述之狀況。
因此，發明者等人進行了研究，結果得知，可藉由在振動波馬達10之啟動時，於掃描頻率時延長使頻率變化之時間而解決。
圖9為啟動振動波馬達10時之序列。
於不存在來自控制部68之驅動指令之狀態(t0)下，成為如下，即，驅動頻率：fs0
驅動電壓：電壓V0(=0V)
A相與B相之相位差：0度。
當自控制部68收到驅動指令時(t1)，設定為如下，即，驅動頻率：維持fs0
驅動電壓：電壓V1
A相與B相之相位差：90度(反相驅動時為-90度)。
此時，旋轉速度=0。
於緩慢降低驅動頻率而變成t2時之頻率：f0時，移動元件15被驅動。
於t4時，頻率變成flow，旋轉速度達到目標速度Rev1。
於本實施形態中，於掃描頻率時，根據T/(B+C)值延長針對頻率變化之時間。
具體而言，使flow-fs0之頻率差與t4-t2之時間差具有關係。
並且，於T/(B+C)值較小時，縮短t4-t2之時間差，於T/(B+C)值較大時，延長t4-t2之時間差。
如此，藉由增大上升時間，而減小起動時之振動波馬達10之振子11所受到之來自移動元件15之反作用力。
於搭載有PZT之振動波馬達10之情形(T/(B+C)：1.08)時，起動時之頻率掃描之頻率變化率設為1kHz/msec左右。
於T/(B+C)為1.2~1.7之範圍時，驅動面12a於驅動方向上之運動相對於T/(B+C)：1.08，增加約1.1~1.4倍左右。因此，將t4-t2時間設為1.4倍。
即，若將頻率掃描之頻率變化率設為其1/1.4左右、0.7kHz/msec，則對振動波馬達10之負擔成為與搭載PZT時(T/(B+C)：1.08)相同之程度或相同程度以下。
又，於T/(B+C)為1.7~2.8之範圍時，驅動面12a於驅動方向上之運動相對於T/(B+C)：1.08，增加約1.4~2.0倍左右。
因此，若將t4-t2時間設為2.0倍、即將頻率掃描之頻率變化率設為其1/2.0左右、0.5kHz/msec，則對振動波馬達10之負擔成為與搭載PZT時(T/(B+C)：1.08)相同之程度或相同程度以下。
藉由根據T/(B+C)使頻率之變化量變化，即便成為振動波馬達10之起動時般之速度變化較大之狀態(即成為對振動波馬達10之振子11之負擔較大之狀態時)，亦可確實地啟動。
於本實施形態中，揭示了於使用行進性振動波之振動波馬達10中波數為4或9之情形，但即便為其他波數之5~8波、10波以上，只要以相同之構成進行相同之控制，亦可獲得相同之效果。
又，於T/(B+C)為1.7時，可將頻率之變化量設為0.7kHz/msec以下，亦可將頻率之變化量設為0.5kHz/msec以下。
關於上述第1實施形態與第2實施形態中所說明之T/(B+ C)，如圖10所示，於T/(B+C)為1.76~2.8之範圍內，驅動電壓成為60V左右而較佳。進而，於T/(B+C)為1.76~2.50之範圍內，驅動電壓進一步降低而更佳。
再者，實施形態及變形形態雖亦可適當地組合使用，但此處省略詳細說明。又，本發明不受以上所說明之實施形態限定。
T‧‧‧溝槽深度
B‧‧‧基底厚度
C‧‧‧壓電體厚度

Claims (12)

  1. 一種振動波馬達，其具備：電氣機械轉換元件；彈性體，其藉由上述電氣機械轉換元件之振動而於驅動面產生振動波；及相對運動構件，其與上述彈性體之上述驅動面接觸，並藉由上述振動波被旋轉驅動；上述電氣機械轉換元件之密度為4.2~6.0×103kg/m3，於上述彈性體之上述驅動面側設置有複數個溝槽，於將上述複數個溝槽之至少一個溝槽之深度設為T，將上述溝槽之底部至上述第1面為止之厚度設為B，並且將上述電氣機械轉換元件之厚度定義為C之情形時，T/(B+C)之值為1.3~2.8之範圍。
  2. 如申請專利範圍第1項之振動波馬達，其具備驅動電路，該驅動電路對上述振動波馬達供給反覆變動之驅動訊號，且於將上述振動波馬達自速度0啟動至大於速度0之速度時，針對上述驅動訊號，基於T/(B+C)值對頻率掃描之頻率變化率進行變更。
  3. 如申請專利範圍第2項之振動波馬達，其中針對頻率掃描之頻率變化率，於T/(B+C)為1.3~1.7之範圍時，將頻率之變化量設為0.7kHz/msec以下，於T/(B+C)為1.7~2.8之範圍時，將頻率之變化量設為0.5kHz/msec 以下。
  4. 一種振動波馬達，其具備：元件，其藉由施加電壓而位移；及彈性體，其以底面與上述元件接觸，並且藉由因上述元件之位移而於具有溝槽之驅動面產生之振動波驅動移動構件；上述元件之密度為4.2~6.0×103kg/m3，於將上述溝槽之深度設為T，將上述溝槽之底部至上述底面為止之距離設為B，並且將上述元件之厚度設為C之情形時，T/(B+C)之值為1.3~2.8之範圍。
  5. 如申請專利範圍第4項之振動波馬達，其中元件之厚度為上述溝槽之深度方向之厚度。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之振動波馬達，其中T/(B+C)值為1.76~2.8之範圍。
  7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之振動波馬達，其中T/(B+C)值為1.76~2.50之範圍。
  8. 如申請專利範圍第4至7項中任一項之振動波馬達，其具備驅動電路，該驅動電路向上述振動波馬達供給反覆變動之驅動訊號，且於將上述振動波馬達自速度0啟動至大於速度0之速度時，基於T/(B+C)值對上述驅動訊號之頻率之變化率進行變更。
  9. 如申請專利範圍第8項之振動波馬達，其中針對上述頻率之變化率， 於T/(B+C)為1.3~1.7之範圍時，將頻率之變化量設為0.7kHz/msec以下，於T/(B+C)為1.7~2.8之範圍時，將頻率之變化量設為0.5kHz/msec以下。
  10. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之振動波馬達，其中上述電氣-機械轉換元件係以鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉或鈦酸鋇為主成分之材料。
  11. 如申請專利範圍第4至9項中任一項之振動波馬達，其中上述電氣-機械轉換元件係以鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉或鈦酸鋇為主成分之材料。
  12. 一種光學機器，其具備如申請專利範圍第1至11項中任一項之振動波馬達。
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