CN115980569A - 压电驱动器、成像模组、电子设备以及测试工装 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供一种压电驱动器、成像模组、电子设备及测试工装,压电驱动器包括压电体及驱动体,压电体包括相背的第一端面和第二端面,第一端面包括至少两个电极区域,至少两个电极区域中的至少一者用于被施加交流激励电信号以使压电体产生弯‑切特征模态,第二端面用于固定至待安装面,压电体沿第一端面到第二端面的方向极化,驱动体设置于第一端面,并连接于至少两个电极区域,驱动体用于与待驱动体摩擦接触,以在压电体产生弯‑切特征模态时驱动待驱动体运动。上述结构,克服了传统方式中采用弹簧预紧的压电驱动器所存在的设计制作复杂、固定约束方式不稳定的问题,减小了压电驱动器的尺寸、有利于压电驱动器应用于小型化精密器件的驱动。
Description
技术领域
本申请涉及驱动器技术领域,具体而言,涉及一种压电驱动器、成像模组、电子设备以及测试工装。
背景技术
目前压电驱动器广泛地应用,相比于传统的电磁式马达,压电驱动器具有更大的能量密度,在小尺寸情况下也能具有大推力,可以解决传统电磁马达的推力、行程、磁干扰等问题。
传统的压电驱动器通常采用弹簧预紧的约束方式,由于约束零件的增加使得弹簧预紧力等工作条件随着时间推移发生改变,而导致压电驱动器的工作谐振耦合特征模态劈裂或偏移,出现对压电驱动器的约束不稳定的问题,而且导致整个机械结构的复杂度高、装配难度大,无法实现压电驱动器的小型化。
发明内容
本申请实施例提出了一种压电驱动器、成像模组以及电子设备,以解决以上问题。
本申请实施例通过以下技术方案来实现上述目的。
第一方面,本申请实施例提供一种压电驱动器,包括压电体以及驱动体,压电体包括相背的第一端面和第二端面,第一端面包括至少两个电极区域,至少两个电极区域中的至少一者用于被施加交流激励电信号以使压电体产生弯-切特征模态,第二端面用于固定至待安装面,压电体沿第一端面到第二端面的方向极化,驱动体设置于第一端面,并连接于至少两个电极区域,驱动体用于与待驱动体摩擦接触,以在压电体产生弯-切特征模态时驱动待驱动体运动。
第二方面,本申请实施例提供一种成像模组,应用有上述的压电驱动器。
第三方面,本申请实施例还提供一种电子设备,包括壳体以及上述的成像模组,成像模组设置于壳体。
第四方面,本申请实施例还提供一种测试工装,测试工装用于测试第一方面提供的压电驱动器,测试工装包括底座、待驱动件以及固定件,待驱动件可移动地设置于底座上,固定件固定于底座,并设置于待驱动件的一侧,固定件用于固定压电驱动器的压电体。
通过待安装面对压电体的第二端面进行固定约束的基础上,通过将压电体沿第一端面到第二端面的方向极化,并在压电体与第二端面背离的第一端面形成至少两个电极区域,当向至少两个电极区域中的至少一者用于被施加交流电压,以使得压电体产生弯-切特征模态,这样既可有效克服传统方式中采用弹簧预紧的压电驱动器所存在的设计制作复杂、固定约束方式不稳定的问题,也可以减小压电驱动器的尺寸、有利于压电驱动器应用于电子设备的成像模组等小型化精密器件的驱动。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的电子设备在组装状态下的结构示意图。
图2是如图1所示电子设备中的成像模组的结构示意图。
图3是如图2所示的成像模组的爆炸结构示意图。
图4是如图3所示的成像模组中的压电体以及驱动体的结构示意图。
图5是如图3所示的成像模组移除透镜组后的结构示意图。
图6是本申请实施例提供的一种压电驱动器在第一种激励方式下的结构示意图。
图7是如图6所示的压电驱动器的弯-切模态驻波驱动方式的有限元仿真图。
图8是本申请实施例提供的一种压电驱动器在第二种激励方式下的结构示意图。
图9是如图8所示的压电驱动器的弯-切模态驻波驱动方式的有限元仿真图。
图10是本申请实施例提供的一种压电驱动器在第三种激励方式下的结构示意图。
图11是如图10所示的压电驱动器的弯-切模态行波驱动方式的有限元仿真图。
图12是本申请实施例提供的又一种压电驱动器在第一种激励方式下的结构示意图。
图13是如图12所示的压电驱动器的弯-切模态驻波驱动方式的有限元仿真图。
图14是本申请实施例提供的又一种压电驱动器在第二种激励方式下的结构示意图。
图15是如图14所示的压电驱动器的弯-切模态驻波驱动方式的有限元仿真图。
图16是本申请实施例提供的又一种压电驱动器在第三种激励方式下的结构示意图。
图17是如图16所示的压电驱动器的弯-切模态行波驱动方式的有限元仿真图。
图18是安装有本申请实施例提供的压电驱动器的压电驱动体器的测试工装的结构示意图。
图19是如图18所示的测试工装在移除底座以及压盖后的结构示意图。
图20是如图18所示的测试工装的爆炸结构示意图。
图21是如图20所示的测试工装在移除底座后的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
压电驱动器的基本原理是利用压电驱动器的定子的高频微幅振动,高频微幅振动称为定子的特征模态,与结构和材料特性有关,通过特定的结构设计,将定子与动子之间的摩擦力转化为动子的运动。随着压电驱动器的不断发展,目前混合模态压电驱动器已经采用了较为成熟的设计方式,混合模态压电驱动器具有纳米级别的位移精度,较高的能量转化效率,目前已成功应用于医疗、机械、科研等多个领域。
目前压电驱动器中最具代表性的是利用第一阶伸缩振型(L1)和第二阶弯曲振型(B2)特征模态的耦合驱动器(以下简称L1B2驱动器)。L1B2驱动器包括压电体(定子)、以及连接于压电体的驱动体(动子)、顶紧结构和边界夹持结构,通过向压电体施加预设交流激励电信号(如电压),同时激发压电体产生L1和B2特征模态,从而激发起驱动体的端部产生椭圆轨迹运动,利用摩擦力驱动待驱动体进行运动。
由于压电体的特征模态的成功激发需要给压电体施加一定的边界约束条件,一般情况下,L1B2驱动器所需约束方式为节点位置线的边界约束。发明人发现,传统的L1B2压电驱动器通常在压电体谐振的多个节点设置多个约束,采用弹簧预紧和固定约束等约束方式,这样会导致整个机械结构的复杂度高、装配难度大,同时,由于约束零件的增加使得弹簧预紧力等工作条件随着时间推移发生改变,而导致压电驱动器的工作谐振耦合特征模态劈裂或偏移,出现对压电驱动器的约束不稳定的问题,增加后续压电驱动器维护成本,缩短压电驱动器的使用寿命。此外,约束零件占用了较大的空间,使得传统的特征模态L1B2不能满足小型化的设计需求。
有鉴于此,发明人进一步投入研究,其研究至少包括了:压电驱动器的压电体的特征模态激发方式、对压电体的约束的方式、对各个电极区域施激励交流激励电信号的方式以及极化方向对整个压电驱动器的装配难度、约束不稳定以及小型化的影响。经过大量的研究和分析后,发明人提出了本申请实施例所提供的压电驱动器。
本申请实施例提供一种压电驱动器,包括压电体以及驱动体,压电体包括相背的第一端面和第二端面,第一端面包括至少两个电极区域,至少两个电极区域中的每一者用于被施加交流激励电信号以使压电体产生弯-切特征模态,第二端面用于固定至待安装面,压电体沿第一端面到第二端面的方向极化,驱动体设置于第一端面,并连接于至少两个电极区域,驱动体用于与待驱动体摩擦接触,以在压电体产生弯-切特征模态时驱动待驱动体运动。
通过待安装面对压电体的第二端面进行固定约束的基础上,通过将压电体沿第一端面动到第二端面的方向极化,并在压电体与第二端面背离的第一端面形成至少两个电极区域,当向至少两个电极区域中的至少一者用于被施加交流电压,以使得压电体产生弯-切特征模态,这样既可有效克服传统方式中采用弹簧预紧的压电驱动器所存在的设计制作复杂、固定约束方式不稳定的问题,也可以减小压电驱动器的尺寸、有利于压电驱动器应用于电子设备的成像模组等小型化精密器件的驱动。
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1和图2,本申请实施例中还提供一种电子设备300,电子设备300包括壳体310以及成像模组200,电子设备300可以利用成像模组200获取目标场景的影像,例如用于场景的拍摄照片或录制视频等。电子装置可以为但不限于为手机、平板电脑、监控摄像头、头显设备、智能手表、相机等电子装置。本申请实施方式以电子装置是手机为例进行说明,需要说明的是,电子装置的具体形式并不限于手机,还可以是其他电子装置,在此不作限制。
壳体310可以是电子设备300的外壳。壳体310可以作为成像模组200的安装载体,壳体310可以为成像模组200提供防水、防尘、防摔的保护。
在一种示例中,壳体310上可以开设有通孔,当成像模组200设置在壳体310上时,成像模组200的入光孔可以与通孔对准,而通孔可以开设在壳体310的正面或者背面,成像模组200可以通过通孔伸出于壳体310的外侧,或者位于壳体310内,并通过通孔接收环境光线。在另一种示例中,壳体310上还安装有显示屏,成像模组200可以设置在显示屏的下方,即,光线穿过显示屏后由成像模组200接收并用于成像。
在又一种示例中,在不需要使用成像模组200时,成像模组200位于显示屏下方,显示屏遮挡成像模组200;在需要使用成像模组200时,驱动显示屏与成像模组200相对运动,例如驱动显示屏与成像模组200相对滑动或相对转动,使得显示屏不再遮挡成像模组200,便于成像模组200接收环境光线;再例如,成像模组200可以伸缩地设置于壳体310内,并可选择性地伸出或者缩回至壳体310内,壳体310的侧壁可以设有通孔,成像模组200可以通过侧壁上的通孔伸出通孔外或者缩回至壳体310的内部,保证电子设备300具有较大的屏占比。
请参阅图2和图3,在本实施例中,成像模组200应用有压电驱动器100,成像模组200可以包括安装座210、镜筒220、感测元件230以及透镜组240。镜筒220相对于安装座210可伸缩地设置,镜筒220设有入光口221,透镜组240收容于镜筒220内,感测元件230位于镜筒220远离入光口221的一侧,并与透镜组240相对设置,以感测经透镜组240接收的光束。
在本实施例中,安装座210可以为壳体结构,安装座210设有安装腔211,安装腔211可用于收容镜筒220、感测元件230以及压电驱动器100等。安装座210包括内侧壁212,内侧壁212限定形成安装腔211。此外,安装座210也可以为支架结构。
在本实施例中,镜筒220可伸缩地设置于安装腔211。镜筒220为中空的筒状结构,镜筒220设有入光口221。透镜组240收容于镜筒220内,透镜组240可以邻近入光口221设置或者嵌设于入光口221。感测元件230位于镜筒220远离入光口221的一侧,感测元件230与透镜组240相对设置,透镜组240用于接收外部的环境光线以在感测元件230上进行成像,感测元件230是图像传感器,其可以是CCD(电荷藕合器件)或CMOS(互补金属氧化物半导体),其用于是将图像光信号变为电信号的电子器件。
在一些实施方式中,镜筒220的外壁设有配合部222,安装座210设有与配合部222导向配合的导向部214,配合部222可以为导槽结构,导向部214可以为导块结构,导向部214可滑动地嵌设于配合部222内,以对镜筒220进行精准导向。
在本实施例中,压电驱动器100可以设置于安装腔211内,并安装于内侧壁212,压电驱动器100与镜筒220传动配合,以用于驱使镜筒220带动透镜组240伸缩,透镜组240可以与感测元件230靠近或远离。
在其他施方式中,镜筒220可以固定于壳体310或安装座210,压电驱动器100可以设置于镜筒220的内部侧壁,透镜组240相对于镜筒220可伸缩地设置,压电驱动器100可以直接驱使透镜组240相对于镜筒220伸缩。
请参阅图2和图3,压电驱动器100包括压电体110以及驱动体120,驱动体120用于与待驱动体摩擦接触,待驱动体可以是上述的成像模组200或者成像模组200中的任意一个或者多个可移动单元,例如镜片或者图像传感器。在本实施例中,压电体110可以固定于安装座210,驱动体120与镜筒220传动配合,具体地,驱动体120的端部可以直接与镜筒220摩擦接触以驱动镜筒220相对于安装座210伸缩,或者可以在镜筒220的上设置摩擦结构,驱动体120的端部与摩擦结构摩擦接触,以驱动镜筒220相对于安装座210伸缩。
在其他施方式中,压电体110可以固定于镜筒220,驱动体120与透镜组240传动配合,例如,驱动体120的端部可以直接与透镜组240的侧壁摩擦接触以驱动透镜组240相对于镜筒220伸缩,或者可以在透镜组240的侧壁设置摩擦结构,驱动体120的端部与摩擦结构摩擦接触,以驱动透镜组240相对于镜筒220伸缩。
当压电体110在电信号(例如电压)的作用下,压电体110产生弯-切特征模态时,可以在驱动体120的端部耦合形成预设轨迹的运动(例如,椭圆轨迹运动)驱动体120的端部可驱动待驱动体沿预设方向运动,例如,驱动体120与上述的镜筒220传动配合时,其可以驱动镜筒220相对于安装座210伸缩。
需要说明的是“弯-切特征模态”是指压电体110受激发产生弯拱的振动特征模态以及剪切的振动特征模态,这两种振动特征模态叠加后在驱动体120的端部耦合形成椭圆轨迹运动,从而使得驱动体120驱使待驱动体(如上述的镜筒220)沿直线方向运动。
请参阅图4,在本实施例中,压电体110大致呈矩形体结构,压电体110可以由压电陶瓷材料或压电单晶材料制成,压电体110可以是单层陶瓷体或单层单晶体,或者也可以是多层陶瓷体或多层单晶体,例如,锆钛酸铅(PZT)基压电陶瓷、铌酸钾钠(KNN)基压电陶瓷、钛酸钡(BT)基压电陶瓷、铌镁酸铅-铌铟酸铅(PMN-PT)基压电单晶等。压电体110包括相背的第一端面111和第二端面112,压电体110沿第一端面111到第二端面112的方向极化,具体地,第一端面111和第二端面112是压电体110的厚度方向的两个相背的表面,压电体110沿着压电体110的厚度方向极化。需要说明的是,压电体110的厚度方向应为压电体110的厚度最薄的方向。
当在压电体110的极化方向上施加电场,压电体110会发生变形,当电场去掉后,压电体110的变形随之消失,这种现象称为逆压电效应。利用逆压电效应可以激发压电体110产生弯拱的振动特征模态以及剪切的振动特征模态。
在本实施例中,第一端面111和第二端面112均可以为平面,第二端面112用于固定至待安装面,也即将第二端面112固定约束在待安装面上,第二端面112部分是刚性约束在待安装面上,其中,第二端面112可以贴合固定至待安装面。在本实施例中,第二端面112可以作为全电极区域,第二端面112进行接地连接。压电体110第二端面112可以直接贴合固定于上述安装座210的待安装面上,或者可以将压电体110的第二端面112直接贴合在安装于安装座210的安装结构的待安装面上。
请参阅图4,第一端面111包括至少两个电极区域111,至少两个电极区域111中的至少一者用于被施加交流激励电信号以使压电体110产生弯-切特征模态,也即使得压电体110产生振动特征模态和剪切的振动特征模态。交流激励电信号可以是正弦交流激励电信号或余弦交流激励电信号。通过合理设计压电体110的尺寸,在预定的电极区域111施加对应的预设交流激励电信号,可以使压电体110产生振动特征模态和剪切的振动特征模态,压电体110产生的振动特征模态和剪切的振动特征模态发生耦合,以在驱动体120的端部耦合形成椭圆轨迹运动。
需要说明的是,电极区域111之间可以具有明显的界线,或者,也可以不存有界线,第一端面111可以看作一个平整的表面。电极区域111的数量可以为偶数个,相邻两个电极区域111之间彼此电性隔离,例如,第一端面111可以被划分为形状、面积大小相同的偶数个等分的电极区域111。
在本实施例中,驱动体120设置于第一端面111,并连接于至少两个电极区域111,驱动体120用于与待驱动体摩擦接触,以在压电体110产生弯-切特征模态时驱动待驱动体运动。当压电体110产生的振动特征模态和剪切的振动特征模态发生耦合时,能够在驱动体120的端部耦合形成椭圆轨迹运动,驱动体120作为摩擦头,驱动体120依靠摩擦力作用驱动待驱动体呈直线运动,例如,驱动体120可以摩擦力来待驱动体在直线方向上沿第一方向或第二方向运动,其中,第一方向与第二方向相反。
需要说明的是,驱动体120可以是柱体状、半柱体状、半球状、三角锥状等结构,具体可以根据实际需求设置。驱动体120可以固定设置于压电体110的第一端面111的中心位置。驱动体120采用耐磨材料制成,其可以采用各种高硬度耐磨陶瓷材料,如氧化铝、氧化锆、碳化硅陶瓷,或者高耐磨金属材料、碳纤维材料,以及陶瓷、金属颗粒与高分子的复合材料等,这样提高驱动体120的耐磨性。
在本申请实施例中,通过将压电体110沿厚度方向极化,驱动体120设置在沿厚度方向的第一端面111,由于压电体110沿厚度方向的尺寸较小,因此可以降低整个压电驱动器100在厚度方向的尺寸,压电驱动器100的尺寸更薄,更有利于小型化的制备。
驱动体120与压电体110可以为一体成型结构或者可拆卸结构,示例性地,驱动体120可以通过粘接、卡接、嵌套、焊接或者紧固件连接等方式固定于压电体110上,驱动体120用于与压电体110粘接的连接端面(图未示)可以进行抛光处理,这样可以保证连接端面与第一端面111基本可以处于同一平面上,以保证驱动体120可以随着第一端面111的形变而产生明显的椭圆轨迹运动,而且连接端面在与第一端面111粘接时,两者之间平整接触而在两者之间产生较高的连接强度。
请参阅图5,在本实施例中,压电驱动器100还可以包括摩擦体130,摩擦体130可以呈片体结构,摩擦体130包括相背离的连接面131以及摩擦面132,连接面131可用于固定连接于待驱动体上,连接面131可以固定连接于镜筒220的外壁,摩擦面132与驱动体120进行摩擦接触。摩擦面132为粗糙度较高的表面,摩擦体130与驱动体120之间能够产生较大的摩擦力,以在驱动体120的驱动下进行运动。摩擦体130采用耐磨材料制成,其可以采用各种高硬度耐磨陶瓷材料,如氧化铝、氧化锆、碳化硅陶瓷,或者高耐磨金属材料、碳纤维材料,以及陶瓷、金属颗粒与高分子的复合材料等。
在一些实施方式中,摩擦体130的连接面131可以通过粘接的方式固定于待驱动体的外壁,例如,摩擦体130的连接面131粘接于镜筒220的外壁,摩擦体130的连接面131可以进行抛光处理,这样连接面131可以完全贴合在待驱动体的外壁的外壁,使得连接面131与待驱动体的外壁之间具有较强的粘接强度,保证摩擦体130与驱动体120之间具有良好的装配特性。此外,摩擦体130可以通过卡接、嵌套、焊接或者紧固件连接的方式固定于待驱动体的外壁。
在一些实施方式中,压电驱动器100也可以省略上述的摩擦体130,可以直接在待驱动体上构造形成摩擦结构,例如,在待驱动体的表面加工形成摩擦面132,驱动体120直接与待驱动体的摩擦面132进行摩擦接触。
请继续参阅图5,在本实施例中,压电驱动器100还可以包括安装件140,安装件140用于安装压电体110。安装件140可以固定于安装座210的内侧壁212。安装件140大致呈矩形体结构,安装件140包括待安装面141。压电体110的第二端面112沿第一端面111到第二端面112的方向的正向投影全部位于待安装面141所在范围内,也即第二端面112沿压电体110厚度方向的正向投影全部位于待安装面141所在范围内,具体地,待安装面141的长度大于第二端面112的长度,待安装面141的宽度大于第二端面112的宽度,第二端面112可以固定贴合于待安装面141上,以对第二端面112进行固定约束。待安装面141大致呈平面,第二端面112可以平整地贴合固定在待安装面141上,例如,压电体110的第二端面112可以通过粘接的方式贴合固定在待安装面141上。在一些实施方式中,第二端面112的整个边缘可以固定约束在待安装面141。
在本实施例中,安装件140为非导电结构,以避免影响压电体110的极化。安装件140其可以采用硬度较高的材料制成,安装件140可以是硬质塑胶、金属结构(例如不锈钢等五金件)等,当安装件140为金属结构,可以在其表面设置绝缘膜或者将其接地,以避免影响压电体110的极化。具体例如,硬质橡胶、陶瓷或金刚石等材料制成,这样使得安装件140的待安装面141基本不会形变,安装件140对第二端面112与其连接的部分可以形成刚性约束,从而更好的激发压电体110的特征模态。安装件140可以通过粘接、卡接、焊接、嵌套或者紧固件连接的方式固定在安装座210的内侧壁212,内侧壁212可以对安装件140的安装位置进行约束,保证驱动体120能够始终与摩擦体130之间进行良好的接触。
在本实施例中,待安装面141设有镂空部1411,镂空部1411可以是凹槽或孔结构,镂空部1411的形状可以是方形、圆形、三角形、椭圆形、菱形、T形或者其它形状。镂空部1411可大致设置于第二端面112的中部。第二端面112部分地跨设于镂空部1411上,第二端面112跨设于镂空部1411的部分未固定约束在待安装面141上,其余部分固定约束在待安装面141上,其中“跨设”是指第二端面112部分地将镂空部1411遮住,第二端面112沿第一端面111向第二端面112的正向投影部分地位于镂空部1411所在的区域内。这样不仅避免了第二端面112完全固定约束时对压电体110的激发特征模态产生阻碍,而且采取对第二端面112的边缘进行固定约束的方式可以提高整体结构装配的稳定性,避免采用传统方式中的设置夹持结构和预紧力弹簧结构来固定整个压电体110的方式,这样使得整体压电驱动器100的结构更简单、固定约束方式更稳定。
在本实施例中,安装件140包括安装侧面142,安装侧面142围设于待安装面141,并连接于待安装面141的边缘。在一些实施方式中,镂空部1411可以贯穿安装件140的安装侧面142。
在一些实施方式中,镂空部1411的面积小于第二端面112的面积,第二端面112可以跨设于整个镂空部1411,第二端面112的整个边缘固定约束于待安装面141上。
此外,也可以不用设置镂空部1411,通过合理设计第二端面112的面积大小,并将第二端面112的部分刚性约束在待安装面141上,也能够激发压电体110产生相应的特征模态并在驱动体120的端部耦合形成椭圆轨迹运动。
需要说明的是,在一些实施方式中,压电驱动器100可以省略安装件140,可以直接在安装座210上构造形成安装结构,例如,可以直接在安装座210的内侧壁212加工上述的待安装面141,并可以在待安装面141上构造形成镂空部1411。此外,也可以直接在其它的壳体结构上构造形成安装结构,例如可以直接在壳体310内构造形成待安装面141,并可以在待安装面141上构造形成镂空部1411。
在本实施例中,压电驱动器100还包括控制主板260,控制主板260选择与至少两个电极区域111中的至少一者电性连接,以用于向电极区域111施加预设交流激励电信号。控制主板260可以通过连接线(例如引线)与每个电极区域111连接。
在一些实施方式中,安装件140的侧面可以设有导引槽,连接线可以置入导引槽内,避免连接线外露而出现缠绕在驱动体120的压电体110的可能性,保证连接线对设有驱动体120的压电体110不产生任何力的附加作用。
示例性地,控制主板260可以包括切换电路、激励电路以及接地部,切换电路可以将每个电极区域111选择性地与接地部连通或者与激励电路连通,激励电路用于向不同电极区域111施加预设交流激励电信号,其中,预设交流激励电信号可以是正弦交流激励电信号或余弦交流激励电信号。
此外,压电驱动器100也可以不用设置控制主板260,压电驱动器100可以通过电连接件(引线或引脚等)与电子设备300的电路板进行电性连接,也即通过电子设备300的电路板来对压电驱动器100进行控制。
为了便于后文的说明,引入空间参考坐标系,空间坐标系包括X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向,X轴方向与压电体110的宽度方向一致,Y轴方向与压电体110的长度方向一致,Z轴方向与压电体110的厚度方向一致。
以下以将电极区域111的数量为偶数个为例,对压电驱动器100具体的工作方式和原理进行阐述,具体如下:
在第一种实施方式中,电极区域111的数量可以为两个,两个电极区域111并排设置,两个电极区域111的极化方向可以相同,也即第一端面111被对称划分为两个等份的电极区域111,电极区域111可以大致为长方形电极区域111。具体地,至少两个电极区域111包括并排设置的第一电极区域1111以及第二电极区域1112,驱动体120连接于第一电极区域1111和第二电极区域1112。示例性地,第一电极区域1111和第二电极区域1112的形状、面积大致相同,驱动体120可以大致设置在第一端面111的中心位置,第一电极区域1111和第二电极区域1112可大致关于驱动体120呈现对称设置。
基于第一种实施方式中,驱动压电体110产生弯-切特征模态的驻波运动的具体方式如下:
示例一,控制主板260可以向第一电极区域1111或第二电极区域1112施加一个第一预设交流激励电信号,可以使得压电体110产生弯-切特征模态的驻波运动,第一预设交流激励电信号为正弦交流激励电信号或者余弦交流激励电信号。具体地,请参阅图6和图7,将第二端面112作为全电极区域,并将其进行接地。采用CH1模式驱动时,切换电路将第一电极区域1111与激励电路连通,激励电路可向第一电极区域1111施加第一预设交流激励电信号,切换电路将第二电极区域1112与接地部连通,以将第二电极区域1112进行接地,压电体110可以产生如图7所示的向Y方向剪切的特征模态和向Z方向弯拱的特征模态,两种特征模态在驱动体120的端部耦合,驱动体120可以驱动待驱动体沿第一方向运动,因此,驱动体120可以驱动上述的镜筒220带动透镜组240靠近拍摄对象,透镜组240距离拍摄对象之间的距离更近,以实现焦距的减小。
示例二,可以将第二端面112作为全电极区域,并将其进行接地。具体地,如图8和图9所示,采用CH2模式驱动时,切换电路将第二电极区域1112与激励电路连通,激励电路可向第二电极区域1112施加第一预设交流激励电信号,切换电路将第一电极区域1111与接地部连通,以将第一电极区域1111进行接地,压电体110可以产生如图9所示的向Y方向剪切的特征模态和向Z方向弯拱的特征模态,两种特征模态在驱动体120的端部耦合,驱动体120可以驱动待驱动体沿与第一方向相反的第二方向运动。因此,驱动体120可以驱动上述的镜筒220带动透镜组240靠近远离拍摄对象,透镜组240距离拍摄对象之间的距离更远,以实现焦距的增大。
示例三,进一步地,当采用CH1模式驱动时,驱动体120的端部可以驱动待驱动体沿第一方向运动,再采用CH2模式驱动时,驱动体120的端部可以驱动待驱动体沿第二方向运动,因此,反复采用CH1模式以及CH2模式驱动时,驱动体120的端部可以驱动待驱动体沿第一方向和第二方向往复运动。因此,可以实现焦距的增大和减小。
基于第一种实施方式中,驱动压电体110产生弯-切特征模态的行波运动的具体方式如下:
示例一,控制主板260可以向第一电极区域1111施加第一预设交流电压,在第二电极区域1112施加第二预设交流激励电信号,以在第一预设交流激励电信号和第二预设交流激励电信号共同作用下,通过将压电体110各运动合成产生弯-切特征模态的行波运动,也即同时采用CH1和CH2模式驱动;
具体地,如图10和图11所示,可以将第二端面112作为全电极区域,并将其进行接地。切换电路将第一电极区域1111、第二电极区域1112与激励电路连通,激励电路向第一电极区域1111施加第一预设交流激励电信号,以及向第二电极区域1112施加第二预设交流激励电信号,需要说明的是,第一预设交流激励电信号为正正弦交流激励电信号时,第二预设交流激励电信号可以为负正弦交流激励电信号;第一预设交流激励电信号为正余弦交流激励电信号时,第二预设交流激励电信号可以为负余弦流激励电信号。
通过同时激发压电体110产生特征模态和弯拱的特征模态,再通过耦合特征模态和弯拱的特征模态,以使得驱动体120的端部产生椭圆轨迹运动。通过改变激励电信号相位差(±90°)或时间相位差,可以改变驱动体120的端部的椭圆轨迹运动方向,即可以改变待驱动体120的运动方向,以使得驱动体120沿第一方向或第二方向运动。因此,驱动体120可以通过驱动成像模组200,以实现成像模组200的焦距的调节。
在第二种实施方式中,电极区域111的数量可以为四个,第一端面111可以被划分为四个等份的电极区域111,电极区域111可以大致为长方形电极区域111。具体地,至少两个电极区域111包括第一电极区域1111、第二电极区域1112、第三电极区域1113以及第四电极区域1114,第一电极区域1111与第三电极区域1113呈对角设置,第二电极区域1112与第四电极区域1114呈对角设置。“呈对角设置”是指两个电极区域沿第一端面111的对角线方向或者平行于对角线方向的设置,具体地,第一电极区域1111与第三电极区域1113大致沿第一端面111的第一对角线方向设置,第二电极区域1112与第四电极区域1114大致沿第二对角线方向方向设置。驱动体120连接于第一电极区域1111、第二电极区域1112、第三电极区域1113以及第四电极区域1114,驱动体120可以大致设置在第一端面111的中心位置。进一步地,第一电极区域1111、第二电极区域1112关于驱动体120呈对称设置,第三电极区域1113以及第四电极区域1114大致关于驱动体120呈对称设置。
在一些实施方式中,控制主板260可以向第一电极区域1111以及第三电极区域1113分别施加一个第一预设正向交流激励电信号、第一预设负向交流激励电信号,并将第二电极区域1112与第四电极区域1114接地,从而使得压电体110产生弯-切特征模态的驻波运动。
在另一些实施方式中,控制主板260可以向第二电极区域1112以及第四电极区域1114分别施加一个第二预设负向交流激励电信号、第二预设正向交流激励电信号,并将第一电极区域1111以及第三电极区域1113接地,从而使得压电体110产生弯-切特征模态的驻波运动。
在又一些实施方式中,第一电极区域1111以及第三电极区域1113分别施加一个第一预设正向交流激励电信号、第一预设负向交流激励电信号,以及在第二电极区域1112以及第四电极区域1114分别施加一个第二预设负向交流激励电信号、第二预设正向交流激励电信号,从而使得压电体110产生弯-切特征模态的行波运动。
需要说明的是,第一预设正向交流激励电信号以及第一预设负向交流激励电信号为正弦交流激励电信号时,第二预设正向交流激励电信号以及第二预设负向交流激励电信号可以为余弦交流激励电信号。此外,第一预设正向交流激励电信号以及第一预设负向交流激励电信号为余弦交流激励电信号时,第二预设正向交流激励电信号以及第二预设负向交流激励电信号可以为正弦交流激励电信号。
示例性地,第一预设正向交流激励电信号为正正弦交流激励电信号、第一预设负向交流激励电信号为负正弦交流激励电信号;第二预设正向交流激励电信号为负余弦交流激励电信号、第二预设负向交流激励电信号为正余弦交流激励电信号。具体示例如下:
(1)基于第二种实施方式中,驱动压电体110产生弯-切特征模态的驻波运动的具体方式如下:
示例一,可以将第二端面112作为全电极区域,并将其进行接地,并将第二电极区域1112和第四电极区域1114接地。如图12和图13所示,采用CH1和CH2模式驱动时,通过在第一电极区域1111以及第三电极区域1113施加第一预设正向交流激励电信号、第一预设负向交流激励电信号。采用该方式对压电体110进行激励时,如图13从左往右分别展示了沿第一对角线方向D1剪切的特征模态的正视图及右视图,正视图说明了压电体110谐振时第一电极区域1111向Z方向弯拱、第三电极区域1113向-Z方向弯拱,右视图说明了第一电极区域1111以及第二电极区域1112向Z方向弯拱的幅度大于第三电极区域1113以及第四电极区域1114向-Z方向弯拱的幅度,从而使得驱动体120沿第一对角线方向D1发生谐振形变。
示例二,可以将第二端面112作为全电极区域,并将其进行接地,并将第二电极区域1112和第四电极区域1114接地。如图14和图15所示,同时采用CH3和CH4模式驱动时,通过在第二电极区域1112以及第四电极区域1114施加第二预设正向交流激励电信号、第二预设负向交流激励电信号。采用该方式对压电体110进行激励时,如图15从左往右分别展示了第二对角线方向D2上剪切的特征模态的正视图及右视图,正视图说明了压电体110谐振时第二电极区域1112向Z方向弯拱、第四电极区域1114向-Z方向弯拱,右视图说明了第二电极区域1112、第一电极区域1111向Z方向弯拱的幅度大于第三电极区域1113以及第四电极区域1114向-Z方向弯拱的幅度,从而使得驱动体120沿第二对角线方向D2发生谐振形变。
(2)基于第二种实施方式中,驱动压电体110产生弯-切特征模态的行波运动的具体方式如下:
可以将第二端面112作为全电极区域,并将其进行接地,该驱动方式是要同时激发CH1和CH2、CH3和CH4模式。具体地,如图16和图17所示,在第一电极区域1111、第三电极区域1113施加正弦交流激励电信号,以及向第二电极区域1112以及第四电极区域1114施加余弦交流激励电信号,这样同时激发压电体110产生剪切的特征模态和弯拱的特征模态的行波运动,再通过耦合弯-切特征模态,产生椭圆轨迹运动。图17示出了在行波驱动方式时,压电体110在一个周期内的有限元仿真的振动特征模态。在一些实施方式中,可以通过改变电压激励相位差(±90°)或时间相位差,可以改变驱动体的端部的椭圆轨迹运动方向,即可以改变待驱动体的直线运动的方向。
需要说明的是,以上的各实施方式仅为几种示例,电极区域111的具体数量以及激励方式,可以采用与第一种实施方式以及第二种实施方式中类似的施加交流激励电流的方式进行激励,通过向不同的电极区域111施加预设的交流激励电信号,激发压力体110产生弯-切特征模态的驻波运动,或者激发压力体110产生弯-切特征模态的行波运动即可,具体可以根据实际需求进行设计。
本申请实施例提供的提供的电子设备300,通过待安装面对压电体110的第二端面112进行固定约束的基础上,通过将压电体110沿第一端面111到第二端面112的方向极化,并在压电体110与第二端面112背离的第一端面111形成至少两个电极区域111,当向至少两个电极区域111中的至少一者用于被施加交流电压,以使得压电体110产生弯-切特征模态,这样既可有效克服传统方式中采用弹簧预紧的压电驱动器100所存在的设计制作复杂、固定约束方式不稳定的问题,也可以减小压电驱动器100的尺寸、有利于压电驱动器100应用于成像模组等小型化精密器件的驱动。
请参阅图18和图19,本申请实施例还提供一种测试工装500,以用于测试上述的压电驱动器100,其可以对压电驱动器100的工作方式进行模拟,以及对工作性能进行测试。
在本实施例中,测试工装500包括底座510、待驱动件520以及固定件530,待驱动件520可移动地设置于底座510上,固定件530固定于底座510,并设置在待驱动件520的一侧。固定件530用于固定上述的压电驱动器100的压电体110,待驱动件520用于与压电驱动器100的驱动体120摩擦接触。待驱动件520用于模拟实际产品中压电驱动器100用于驱动的对象,例如可以用于模拟成像模组。固定件530可以用于模拟实际产品中用于固定压电驱动器100的对象,例如可以模拟实际产品中用于固定压电驱动器100的壳内壁。因此,模拟压电驱动器100设置在精密产品上的工作环境,真实地模拟压电驱动器在实际产品中的工况。固定件530与底座510可以为一体成型结构或者可拆卸结构。
请参阅图18和图19,在本实施例中,待驱动件520可滑动连接于底座510上,其可以沿Y轴方向呈直线方向滑动,待驱动件520可以用于模拟实际产品中待驱动的对象沿直线运动的工况。底座510设有导轨511,待驱动件520可以滑动连接于导轨511上。待驱动件520包括朝向固定件530的配合面521,配合面521可用于连接摩擦体130。驱动体120的摩擦体130可以固定在配合面521上。
此外,若压电驱动器100的摩擦体130未设有摩擦体130时,可以将待驱动件520的配合面521设置为摩擦面,压电驱动器100的驱动体120直接与摩擦面摩擦接触。
在本实施例中,底座510设置有连接部511,连接部511用于与安装平台进行连接,以保证整个测试工装500的稳定性,保证压电驱动器100在测试过程中的稳定性和测试数据的可靠性。连接部511可以是连接孔,连接孔设置于底座510的多个边角处。安装时,通过紧固件穿设于连接孔以及安装平台,从而将底座510牢固地固定在安装平台上。
请参阅图20和图21,在本实施例中,固定件530设有夹持部531,夹持部531设置在固定件530朝向待驱动件520的一侧,其可以用于夹持压电驱动器100的安装件140。固定件530包括连接壁5313以及相对的第一侧壁5311、第二侧壁5312,连接壁5313连接于第一侧壁5311和第二侧壁5312之间,第一侧壁5311以及第二侧壁5312共同限定形成夹持部531。压电驱动器100的安装件140可以限位在夹持部531内。固定件530与底座510可以为一体成型结构,或者可拆卸结构。
在一些实施方式中,若压电驱动器100未设有安装件时,测试工装500可以包括模拟安装件,模拟安装件包括用于与第二端面112连接的模拟待安装面,其用于模拟所述压电体110的第二端面112贴合固定在产品内壁的工况,即模拟压电体110的第二端面112以固定约束的方式贴合固定在产品内壁的工况,此外,模拟待安装面上可以设有镂空结构。
在一些实施方式中,如图20和图21所示,测试工装500包括顶紧件550,顶紧件550设置于固定件530,并朝向待驱动件520可伸缩地设置,以用于向压电驱动器100提供朝向待驱动件520的顶紧力,从而保证压电驱动器100的压电体120与待驱动件520保持摩擦接触。顶紧件550可伸缩地设置可以是指顶紧件550可借助自身形变(例如弹性形变)相对于待驱动件520靠近或远离,或者也可以相对于固定件530可移动以选择性地靠近或远离待驱动件520。示例性地,顶紧件550可以向压电驱动器100提供Z轴方向的顶紧力,顶紧件550可连接于压电驱动器100的安装件140与固定件530之间,例如,顶紧件550可连接于安装件140与连接壁5313之间,保证压电体110在受激发产生振动时在Z轴方向不偏动。若压电驱动器100未设有安装件时,测试工装500包括模拟安装件时,顶紧件550可连接于模拟安装件与连接壁之间。
在一些实施方式中,如图20和图21所示,连接壁5313可以设有螺纹孔5314,顶紧件550的外周设有外螺纹,以使得顶紧件550螺纹连接于螺纹孔5314,螺纹孔5314可以沿Z轴方向设置,通过调整顶紧件550沿Z轴方向的移动,以调节其作用于压电驱动器100的驱动体120与摩擦体130之间的预紧力,从而使得驱动体120与摩擦体130之间保持良好的装配特性。
在一些实施方式中,如图20和图21所示,测试工装500包括支撑件560,支撑件560设置于固定件530并用于向压电驱动器100提供侧向的支撑力,例如,支撑件560可以连接于第一侧壁5311与安装件140之间,以为安装件140提供侧向的支撑力,以使得安装件140抵紧于第二侧壁5312。示例性地,支撑件560可以大致沿Y轴方向设置,其可以为安装件140提供沿Y轴方向的支撑力。支撑件560可以是弹性结构,其能够根据压电驱动器100的尺寸差异选择性地伸缩,以调节支撑件560与第二侧壁5312之间的间距,支撑件560能够将安装件140抵紧在第二侧壁5312。若压电驱动器100未设有安装件140时,测试工装500包括模拟安装件时,模拟安装件安装在夹持部531,支撑件560可以设置于第一侧壁5311与模拟安装件之间,并将模拟安装件抵紧在第二侧壁5312。
在一些实施方式中,如图20和图21所示,测试工装500还包括端盖570,端盖570连接于固定件530远离底座510的顶端面,以将安装件140抵压在底座510上。端盖570远离底座510的顶端面可以设置固定螺纹孔539,固定螺纹孔539可沿X轴方向设置。在安装时,通过紧固件穿设于端盖570并连接于固定螺纹孔539,端盖570可以沿X轴方向抵紧安装件140,以将安装件140抵压在底座510上。若压电驱动器100未设有安装件时,测试工装500包括模拟安装件时,模拟安装件安装在夹持部531,端盖570连接于固定件530远离底座510的顶端面,并将模拟安装件抵压在底座510上。
当压电驱动器100的压电体110受激发时,压电驱动器100的驱动体120产生椭圆轨迹运动,以驱使待驱动件520沿Y轴方向连续直线运动。通过采用不同的激励方式来激励驱动压电体110产生弯-切特征模态的驻波运动,或者驱动压电体110产生弯-切特征模态的行波运动,以模拟压电驱动器100的真实工况。
需要说明的是,在本申请说明书中,当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是连接于或者直接设置在另一个组件上,或者可能同时存在居中组件(也即二者间接连接);当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件,也即,两个组件之间可以是间接连接。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“里”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请而简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位,以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”或“其他的实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
在本说明书中,描述的具体特征或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不驱使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (17)
1.一种压电驱动器,其特征在于,包括:
压电体,所述压电体包括相背的第一端面和第二端面,所述第一端面包括至少两个电极区域,所述至少两个电极区域中的至少一者用于被施加交流激励电信号以使所述压电体产生弯-切特征模态,所述第二端面用于固定至待安装面,所述压电体沿所述第一端面到所述第二端面的方向极化;以及
驱动体,设置于所述第一端面,并连接于至少两个所述电极区域,所述驱动体用于与待驱动体摩擦接触,以在所述压电体产生弯-切特征模态时驱动所述待驱动体运动。
2.根据权利要求1所述的压电驱动器,其特征在于,所述至少两个电极区域包括并排设置的第一电极区域以及第二电极区域,所述驱动体连接于所述第一电极区域和所述第二电极区域;其中,所述第一电极区域和所述第二电极区域中的一者用于被施加第一预设交流激励电信号,另一者用于接地,第一预设交流激励电信号为正弦交流激励电信号或为余弦交流激励电信号;或者,
所述第一电极区域和所述第二电极区域分别用于被施加第一预设交流激励电信号以及第二预设交流激励电信号,其中,若所述第一预设交流激励电信号为正正弦交流激励电信号时,则所述第二预设交流激励电信号为负正弦交流激励电信号;若所述第一预设交流激励电信号为正余弦交流激励电信号时,则所述第二预设交流激励电信号为负余弦交流激励电信号。
3.根据权利要求1所述的压电驱动器,其特征在于,所述至少两个电极区域包括第一电极区域、第二电极区域、第三电极区域以及第四电极区域,所述第一电极区域与所述第三电极区域呈对角设置,所述第二电极区域与所述第四电极区域呈对角设置,所述驱动体连接于第一电极区域、第二电极区域、第三电极区域以及第四电极区域;
其中,所述第一电极区域以及所述第三电极区域分别用于被施加第一预设正向交流激励电信号以及所述第一预设负向交流激励电信号,所述第二电极区域以及所述第四电极区域用于接地;或者,
所述第二电极区域以及所述第四电极区域分别用于被施加第二预设负向交流激励电信号以及所述第二预设正向交流激励电信号,所述第一电极区域以及所述第三电极区域用于接地;或者,
所述第一电极区域以及所述第三电极区域分别用于被施加第一预设正向交流激励电信号以及所述第一预设负向交流激励电信号,所述第二电极区域以及所述第四电极区域分别被施加第二预设负向交流激励电信号以及所述第二预设正向交流激励电信号。
4.根据权利要求1所述的压电驱动器,其特征在于,所述压电驱动器包括安装件,所述安装件包括所述待安装面,所述第二端面贴合固定于所述待安装面,所述第二端面沿所述第一端面到所述第二端面的方向的正向投影全部位于所述待安装面范围内。
5.根据权利要求4所述的压电驱动器,其特征在于,所述待安装面设有镂空部,所述第二端面部分地跨设于所述镂空部,所述第二端面的边缘固定贴合于所述待安装面。
6.根据权利要求5所述的压电驱动器,其特征在于,所述镂空部的面积小于所述第二端面的面积,所述第二端面跨设于整个所述镂空部,所述第二端面的整个边缘固定约束于所述待安装面。
7.根据权利要求1所述的压电驱动器,其特征在于,所述压电驱动器包括摩擦体,所述摩擦体包括相背面的连接面和摩擦面,所述连接面用于固定连接于待驱动体,所述摩擦面用于与所述驱动体摩擦接触。
8.一种成像模组,其特征在于,所述成像模组应用有如权利要求1~7中任一项所述的压电驱动器。
9.根据权利要求8所述的成像模组,其特征在于,所述成像模组包括安装座、镜筒、感测元件以及收容于所述镜筒内的透镜组,所述镜筒相对于所述安装座可伸缩地设置,所述镜筒设有入光口,所述感测元件位于所述镜筒远离所述入光口的一侧,并与所述透镜组相对设置,以感测经所述透镜组接收的光束,所述压电驱动器的压电体固定于所述安装座,所述驱动体与所述镜筒传动配合。
10.根据权利要求9所述的成像模组,其特征在于,所述镜筒的外壁设有配合部,所述安装座设有与所述配合部导向配合的导向部。
11.根据权利要求8所述的成像模组,其特征在于,所述成像模组包括镜筒以及透镜组,所述透镜组相对于所述镜筒可伸缩地设置,所述压电驱动器的压电体固定于所述镜筒,所述驱动体与所述透镜组传动配合。
12.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括壳体以及如权利要求8~11中任一项所述的成像模组,所述成像模组设置于所述壳体。
13.一种测试工装,其特征在于,所述测试工装用于测试如权利要求1~7中任一项所述的压电驱动器,所述测试工装包括底座、待驱动件以及固定件,所述待驱动件可移动地设置于所述底座上,所述固定件固定于所述底座,并设置于所述待驱动件的一侧,所述固定件用于固定所述压电驱动器的压电体。
14.根据权利要求13所述的测试工装,其特征在于,所述待驱动件可滑动地连接于所述底座并可沿直线方向滑动,所述待驱动件包括朝向所述固定件的配合面,所述配合面用于与所述压电驱动器的驱动体摩擦接触。
15.根据权利要求14所述的测试工装,其特征在于,所述压电驱动器包括安装件,所述固定件设置有夹持部,所述夹持部设置于所述固定件朝向所述待驱动件的一侧,所述安装件限位于所述夹持部内,所述第二端面固定于所述安装件。
16.根据权利要求15所述的测试工装,其特征在于,所述固定件包括相对的第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁与所述第二侧壁共同限定形成所述夹持部,所述测试工装还包括支撑件,所述支撑件连接于所述第一侧壁与所述安装件之间,以将所述安装件抵紧于所述第二侧壁。
17.根据权利要求13或15所述的测试工装,其特征在于,所述测试工装还包括顶紧件,所述顶紧件设置于所述固定件,并朝向所述待驱动件可伸缩地设置,以用于向所述压电驱动器提供朝向所述待驱动件的顶紧力。
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