TW201808534A - 心軸單元及加工裝置 - Google Patents

Abstract

藉由低價且簡易的構成來辨識心軸棒的旋轉方向。

心軸單元(42)，具備裝配有磨削輪(46)之心軸棒(44)、及將心軸棒予以可旋轉地支撐之外殼(43)、及令心軸棒旋轉之馬達(71)、及檢測心軸棒的旋轉方向之旋轉檢測手段(81)。旋轉檢測手段，構成為具備於心軸棒的圓周方向相距間隔而配置之寬幅相異的複數個遮光板(82)、及檢測複數個遮光板之感測器部(84)，藉由遮光板的檢測節奏的不同來檢測心軸棒的旋轉方向。

Description

心軸單元及加工裝置

本發明有關在先端裝配有加工具之心軸(spindle)單元及加工裝置。

作為磨削裝置的心軸單元，已知有一種在心軸棒的先端側的座架裝配作為加工具之磨削輪，在心軸棒的後端側連結作為驅動源之馬達而成者(例如參照專利文獻1)。此種心軸單元中，通常，在與心軸棒一體旋轉之旋轉體會形成狹縫等，藉由感測器部檢測狹縫等來辨識心軸棒的旋轉有無及旋轉速度(旋轉數(rpm))。也就是說，由狹縫等做1次旋轉的時間來辨識旋轉速度，由一定時間之期間狹縫等被感測器部檢測到的次數來辨識旋轉數。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2013-158872號公報

不過，心軸單元中使用的馬達是使用感應馬達等，此種馬達可藉由配線的連接方法來變更心軸棒的旋轉方向。然而，如上述般雖能在裝置側辨識旋轉有無或旋轉速度，但若因馬達的配線的連接疏失等而心軸棒的旋轉方向錯誤，也無法令裝置側辨識旋轉方向。雖可設想藉由在心軸棒裝配編碼器來令其辨識旋轉方向，但編碼器昂貴，而有成本增加的問題。

本發明係有鑑於此點而研發，目的之一在於提供一種能夠藉由低價且簡易的構成來辨識心軸棒的旋轉方向之心軸單元及加工裝置。

本發明一個態樣之心軸單元，為具備連接裝配加工具的座架之心軸棒、及將該心軸棒予以可旋轉地支撐之外殼、及連結至該心軸棒之旋轉驅動源的馬達、及檢測該馬達所造成的該心軸棒的旋轉之旋轉檢測手段的心軸單元，該旋轉檢測手段，具備連結至該心軸棒而以該心軸棒的軸心為中心於圓周方向至少2個的相異寬幅之檢測部、及檢測旋轉的該至少2個的檢測部之感測器部，令該心軸棒旋轉，藉由該感測器部檢測出之旋轉的該至少2個的檢測部之檢測節奏的不同，可判斷旋轉方向。

按照此構成，隨著心軸棒的旋轉而至少2個的相異寬幅的檢測部被感測器部檢測，藉此會從旋轉檢測手段輸出和心軸棒的旋轉方向相應之檢測節奏。因此，會由 一定時間中的檢測節奏的節奏模式的反覆次數來辨識心軸棒的旋轉數。此外，檢測節奏因應心軸棒的旋轉方向而相異，因此由檢測節奏的不同能夠判斷心軸棒的旋轉方向。像這樣，運用用來檢測心軸棒的旋轉數之構成，能夠藉由低價且簡易的構成來檢測旋轉方向。

本發明一個態樣之加工裝置，為具備上述之心軸單元、及判斷手段的加工裝置，該判斷手段，將預先記憶著的第1旋轉方向之第1節奏及成為該第1旋轉方向的相反方向即第2旋轉方向之第2節奏，和該感測器部檢測出之檢測節奏予以比較，來判斷該心軸棒的旋轉方向。

按照本發明，藉由感測器部檢測和心軸棒共同旋轉之至少2個的相異寬幅的檢測部，藉此能夠藉由低價且簡易的構成來辨識心軸棒的旋轉方向。

1‧‧‧磨削裝置(加工裝置)

42‧‧‧心軸單元

43‧‧‧外殼

44‧‧‧心軸棒

45‧‧‧座架

46‧‧‧磨削輪(加工具)

61‧‧‧辨識手段

62‧‧‧判斷手段

71‧‧‧馬達

81、91、96‧‧‧旋轉檢測手段

82、92、97‧‧‧遮光板(檢測部)

83、93‧‧‧狹縫

84、94、98‧‧‧感測器部

[圖1]本實施形態之磨削裝置的立體圖。

[圖2]本實施形態之心軸單元的截面模型圖。

[圖3]本實施形態之旋轉檢測手段的俯視模型圖。

[圖4]本實施形態之旋轉檢測手段所做的旋轉方向的檢測動作說明圖。

[圖5]變形例之旋轉檢測手段所做的旋轉方向的檢測 動作說明圖。

[圖6]變形例之旋轉檢測手段的俯視模型圖。

以下參照所附圖面，說明本實施形態之磨削裝置。圖1為本實施形態之磨削裝置的立體圖。另，作為加工裝置雖示例磨削裝置來說明，但只要是具備本實施形態之心軸單元的加工裝置即可。此外，磨削裝置，不限定於如圖1所示般磨削加工專用的裝置構成，例如，亦可組入至以全自動實施磨削加工、研磨加工、洗淨加工等一連串加工之全自動型式的加工裝置。

如圖1所示，磨削裝置1，構成為使用將多數個磨削砥石47以環狀並排而成之磨削輪(加工具)46，來磨削被保持於保持平台20之晶圓W。晶圓W是在貼附有保護膠帶T的狀態下被搬入至磨削裝置1，透過保護膠帶T被保持於保持平台20。另，晶圓W，只要是作為磨削對象之板狀構件即可，可為矽、砷化鎵等半導體晶圓，亦可為陶瓷、玻璃、藍寶石等光學元件晶圓，亦可為元件圖樣形成前的原切割(as-sliced)晶圓。

在磨削裝置1的基台10的上面，形成有朝X軸方向延伸之矩形狀的開口，此開口和保持平台20共同被可移動之移動板11及蛇腹狀的防水罩12覆蓋。在防水罩12的下方，設有令保持平台20朝X軸方向移動之滾珠螺桿式的進退手段(未圖示)。保持平台20連結至旋轉手段(未圖 示)，構成為可藉由旋轉手段的驅動而旋轉。此外，在保持平台20的上面，形成有藉由多孔質的多孔材來吸引保持晶圓W之保持面21。

在基台10上的柱15，設有將磨削手段40朝相對於保持平台20而言接近及遠離的方向(Z軸方向)予以磨削饋送之磨削饋送手段30。磨削饋送手段30，具有配置於柱15之平行於Z軸方向的一對導軌31、及可滑動設置於一對導軌31之馬達驅動的Z軸平台32。在Z軸平台32的背面側形成未圖示之螺帽部，滾珠螺桿33螺合至該些螺帽部。滾珠螺桿33藉由連結至滾珠螺桿33的一端部之驅動馬達34而受到旋轉驅動，藉此，磨削手段40沿著導軌31朝Z軸方向移動。

磨削手段40，透過機殼41而安裝於Z軸平台32的前面，構成為藉由心軸單元42令磨削輪46繞中心軸旋轉。心軸單元42，為所謂的空氣心軸，在外殼43的內側透過空氣將心軸棒44予以浮動支撐。在心軸棒44的先端連結有座架45，在座架45裝配有多數個磨削砥石47以環狀配設而成之磨削輪46。磨削砥石47，是將鑽石研磨粒藉由金屬結合劑或樹脂結合劑等結合劑予以固定而形成。

此外，磨削手段40的高度位置，是藉由線性標尺51來測定。線性標尺51，是以設於Z軸平台32之讀取部52來讀取設於導軌31的表面之尺規部53的刻度，藉此測定磨削手段40的高度位置。在基台10的上面，設有測定晶圓W的厚度之厚度測定手段55。厚度測定手段55，是令一 對接觸器56、57接觸保持平台20的保持面21及晶圓W的上面，由保持平台20的保持面高度與晶圓W的上面高度之差分來測定晶圓W的厚度。

此外，在磨削裝置1，設有統括控制裝置各部之控制手段60、顯示各種資訊之顯示手段65。控制手段60及顯示手段65，藉由執行各種處理之處理器或記憶體等來構成。記憶體，視用途而定是由ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等一個或複數個記憶媒體來構成。此磨削裝置1中，基於線性標尺51及厚度測定手段55的測定結果而藉由控制手段60控制磨削饋送量，晶圓W藉由磨削手段40被磨削至規定厚度。

不過，一般的磨削裝置中，設有辨識心軸棒的旋轉數等之構成。例如，在和心軸棒一體地旋轉之旋轉體會形成狹縫，藉由光感測器或光纖感測器計數狹縫的一定時間的檢測次數來檢測心軸棒的旋轉數。然而，此構成中雖能令磨削裝置側辨識心軸棒的旋轉數，但無法令其辨識心軸棒的旋轉方向。此外，作為馬達當採用感應馬達的情形下，是藉由配線的連接讓旋轉方向變更，但因配線的連接疏失等會導致心軸棒逆旋轉。

若是像泵浦等可藉由是否正常作動來容易地判別旋轉方向之物倒是無妨，但若是像磨削裝置的心軸單元般無法一眼判別旋轉方向之物的情形下，恐會在逆旋轉的情況下持續磨削晶圓W。在此情形下，亦可在心軸棒設置編碼器來檢測旋轉方向。然而，編碼器，是使用於正逆 旋轉的馬達，並且是將旋轉位移量輸出作為電子訊號，若使用在磨削裝置的心軸單元這般僅朝單一方向旋轉，也不需要檢測旋轉位移量之物，則成本會變高。

本案發明者，研討了不使用昂貴的編碼器而低價且簡易地辨識心軸棒44的旋轉方向之構成，改良辨識心軸棒44的旋轉數等之構成，而完成了可辨識旋轉方向之心軸單元42。如此一來，便能令磨削裝置1除了心軸棒44的旋轉數等以外還辨識旋轉方向。此外，藉由將心軸棒44的旋轉方向以顯示手段65顯示，可將馬達71的配線的連接疏失等所造成之心軸棒44的逆旋轉通知給操作者。

以下參照圖2及圖3，說明本實施形態之心軸單元。圖2為本實施形態之心軸單元的截面模型圖。圖3為本實施形態之旋轉檢測手段的俯視模型圖。

如圖2所示，心軸單元42，是形成為空氣軸承，即，將直立姿勢的心軸棒44以外殼43圍繞，對於心軸棒44的側面令空氣從外殼43噴出，而可旋轉地支撐心軸棒44。在心軸棒44的先端連接裝配有磨削輪46之座架45，在心軸棒44的後端連結有旋轉驅動源之馬達71。馬達71，是由設於心軸棒44的上端部分之轉子72、及透過冷卻套(cooling jacket)74而設於外殼43的內周面之定子73所構成。在冷卻套74內形成有多數個冷卻水路75，藉由冷卻水路75抑制馬達71的發熱。

在心軸棒44的下端部分及中間部分形成大徑的圓板部76、77，在外殼43的下端部分以竄入圓板部76、 77之間的方式形成有環狀部78。在此情形下，在心軸棒44的圓板部76、77與外殼43的環狀部78之間，設有作為空氣的通路之些微間隙。在環狀部78的外面形成有多數個噴射口79，各噴射口79通過環狀部78內的通路連接至空氣供給源80。從環狀部78的多數個噴射口79對心軸棒44的外面噴射空氣，藉此心軸棒44相對於外殼43而言會透過空氣受到浮動支撐。

此時，藉由外殼43的環狀部78，心軸棒44的圓板部76、77是透過空氣而廣面積地受到浮動支撐，因此對於心軸棒44而言朝推力(thrust)方向作用之加工負荷會被分散。此外，心軸棒44與外殼43內的空氣，會一面將馬達71空冷一面從心軸單元42的上方被排氣，並且通過設於外殼43的下端之罩67的內側而從心軸單元42的下方被排氣。此外，在罩67的下部內面，安裝有防止磨削水往罩67內進入之帶狀的海綿材68。

如圖2及圖3所示，在外殼43的上面，安裝有檢測馬達71所造成的心軸棒44的旋轉之旋轉檢測手段81。旋轉檢測手段81，構成為藉由感測器部84來檢測朝以心軸棒44的軸心為中心之圓周方向交互配置之寬幅相異(中心角相異)的3個扇狀的遮光板(檢測部)82a-82c與3個狹縫83a-83c。3個遮光板82a-82c，是在和心軸棒44的軸心正交之水平面內，以形成相異寬幅的狹縫83a-83c之方式於圓周方向相距間隔而配置於心軸棒44。

感測器部84，為所謂透射型的光纖感測器， 夾著遮光板82的外周側而令投光部85與受光部86上下相向。來自投光部85的光藉由遮光板82a-82c被遮光，藉此藉由感測器部84來檢測遮光板82a-82c。因此，藉由心軸棒44旋轉而遮光板82a-82c及狹縫83a-83c通過投光部85與受光部86之間，便會從感測器部84輸出光的透射與遮光反覆而成之檢測節奏。藉由從此感測器部84輸出的檢測節奏的不同，可判斷心軸棒44的旋轉方向。

此外，在控制手段60，設有辨識心軸棒44的旋轉數之辨識手段61及判斷心軸棒44的旋轉方向之判斷手段62。辨識手段61，連接至旋轉檢測手段81，基於從旋轉檢測手段81輸出的檢測節奏來辨識軸棒44的旋轉數(rpm)。例如，辨識手段61，是由在一定時間內的檢測節奏表現出之節奏模式的反覆次數來辨識心軸棒44的旋轉數。在此情形下，亦可由一定時間內的遮光板82a-82c、狹縫83a-83c的任一者之檢測次數來辨識心軸棒44的旋轉數。

判斷手段62，連接至旋轉檢測手段81，由從旋轉檢測手段81輸出的檢測節奏來判斷心軸棒44的旋轉方向。判斷手段62，預先記憶著示意第1旋轉方向之第1節奏、示意成為第1旋轉方向的相反方向即第2旋轉方向之第2節奏，並和藉由旋轉檢測手段81的感測器部84檢測出的檢測節奏比較來判斷心軸棒44的旋轉方向。此外，在判斷手段62，連接有顯示心軸棒44的旋轉數或旋轉速度以及旋轉方向之顯示手段65。另，顯示手段65，亦可設計成僅顯 示心軸棒44的逆旋轉。

另，藉由旋轉檢測手段81的感測器部84檢測出的檢測節奏，例如被輸出成以遮光狀態為ON、以透射狀態為OFF之脈衝訊號。此外，判斷手段62中預先記憶的第1、第2節奏，是記憶著實際上令心軸棒44正逆旋轉時之旋轉檢測手段81的輸出。另，第1、第2節奏不限於以實驗方式求出的值，亦可為以經驗方式或理論方式求出的值。此外，亦可替換掉藉由顯示手段65顯示心軸棒44的逆旋轉之構成，而是藉由警告音、嗶音等這樣的聲響，或燈的閃爍或點燈等這樣的發光來通報心軸棒44的逆旋轉。

像這樣，因應藉由感測器部84檢測出的檢測節奏，心軸棒44的旋轉方向會被磨削裝置1側辨識出。因此，能夠將心軸棒44的逆旋轉通知給操作者，來將馬達71的配線重新連接以便成為正常的旋轉方向。故，能夠防止心軸棒44在逆旋轉的情況下持續磨削晶圓W。此外，藉由用於旋轉數等的檢測之旋轉檢測手段81來檢測旋轉方向，藉此，相較於使用編碼器之構成，可藉由低價且簡易的構成來檢測心軸棒44的旋轉方向。

參照圖4，說明旋轉檢測手段所做的旋轉方向的檢測動作。圖4為本實施形態之旋轉檢測手段所做的旋轉方向的檢測動作說明圖。另，圖4A揭示心軸棒為正旋轉之狀態，圖4B揭示心軸棒為逆旋轉之狀態。此外，在旋轉檢測手段，作為第1節奏是訂為記憶圖示之逆時針的檢測節奏，作為第2節奏是訂為記憶圖示之順時針的檢測節 奏。

如圖4A所示，若心軸棒44朝箭頭A方向旋轉，則會從旋轉檢測手段81輸出電壓的ON區間T1a、OFF區間T2b、ON區間T1b、OFF區間T2c、ON區間T1c、OFF區間T2a反覆而成之檢測節奏。在檢測節奏的ON區間T1a-T1c，感測器部84的光會被遮光板82a-82c遮光，藉此在恰好和各遮光板82a-82c的板寬相應之期間電壓會成為ON。在檢測節奏的OFF區間T2a-T2c，將感測器部84的光透射狹縫83a-83c，藉此在恰好和各狹縫83a-83c的狹縫寬相應之期間電壓會成為OFF。

也就是說，檢測節奏的ON區間T1a-T1c各自對應於遮光板82a-82c，檢測節奏的OFF區間T2a-T2c各自對應於狹縫83a-83c。藉由旋轉檢測手段81檢測出的檢測節奏會和第1、第2節奏比較，假設檢測節奏和第1節奏一致，則判斷心軸棒44朝逆時針旋轉。像這樣，從檢測節奏辨識出依遮光板82a、狹縫83b、遮光板82b、狹縫83c、遮光板82c、狹縫83a的順序通過感測器部84。

另一方面，如圖4B所示，若心軸棒44朝箭頭B方向旋轉，則會從旋轉檢測手段81輸出電壓的ON區間T1c、OFF區間T2c、ON區間T1b、OFF區間T2b、ON區間T1a、OFF區間T2a反覆而成之檢測節奏。藉由旋轉檢測手段81檢測出的檢測節奏會和第1、第2節奏比較，假設檢測節奏和第2節奏一致，則判斷心軸棒44朝順時針旋轉。像這樣，從檢測節奏辨識出依遮光板82c、狹縫83c、遮光板 82b、狹縫83b、遮光板82a、狹縫83a的順序通過感測器部84。

不過，旋轉檢測手段81的遮光板82a-82c、狹縫83a-83c的大小相異，因此重量平衡會發生不一致而恐使心軸棒44偏心發生振動。因此，遮光板82a-82c的重量會受到調整，以便對於心軸棒44之重量平衡成為均一。例如，遮光板82a-82c的厚度變更、材料變更、砝碼追加、開孔加工等，以不對感測器部84所做的檢測造成影響之方式實施。如此一來，即使遮光板82的大小相異，心軸棒44也不會偏心，晶圓W的加工精度不會惡化。

如以上般，按照本實施形態之心軸單元42，隨著心軸棒44的旋轉而相異寬幅的3個遮光板82被感測器部84檢測，藉此會從旋轉檢測手段81輸出和心軸棒44的旋轉方向相應之檢測節奏。因此，會由一定時間中的檢測節奏的節奏模式的反覆次數來辨識心軸棒44的旋轉數。此外，檢測節奏因應心軸棒44的旋轉方向而相異，因此由檢測節奏的不同能夠判斷心軸棒44的旋轉方向。像這樣，運用用來檢測心軸棒44的旋轉數之構成，能夠藉由低價且簡易的構成來檢測旋轉方向。

另，本實施形態中，旋轉檢測手段81，構成為作為檢測部是具備了3個遮光板82a-82c，但不限定於此構成。旋轉檢測手段，只要具備至少2個相異寬幅的檢測部即可，例如，亦可設計成使用2個遮光板來檢測心軸棒的旋轉方向。以下參照圖5，說明變形例之旋轉檢測手段 所做的旋轉方向的檢測動作。圖5為變形例之旋轉檢測手段所做的旋轉方向的檢測動作說明圖。

如圖5A所示，變形例之旋轉檢測手段91，朝以心軸棒44的軸心為中心之圓周方向配置寬幅相異(中心角相異)的2個扇狀的遮光板92a、92b，在遮光板92a、92b之間形成同一寬幅的狹縫93a、93b。此旋轉檢測手段91，是藉由感測器部94交互檢測2個遮光板92a、92b，因此即使旋轉方向相異仍會依ON區間T1a、OFF區間T2、ON區間T1b、OFF區間T2、ON區間T1a...這樣反覆相同的檢測節奏。在此情形下，藉由著眼於檢測節奏的先頭的ON區間，便可判斷心軸棒44的旋轉方向。

例如，當感測器部94的初期位置被對合至狹縫93a的情形下，會因應ON區間T1a、T1b的哪一者被檢測成先頭的ON區間來判斷心軸棒44的旋轉方向。若ON區間T1b被檢測成先頭的ON區間，則判斷心軸棒44的旋轉方向為逆時針。另一方面，如圖5B所示，若ON區間T1a被檢測成先頭的ON區間，則判斷心軸棒44的旋轉方向為順時針。但，當將感測器部94的初始位置對合至狹縫93b的情形下判斷結果會成為相反，因此必須事先掌握感測器部94的初始位置。

此外，如圖5C所示，當感測器部94的初始位置被對合至遮光板92a的途中的情形下，是因應先頭的ON區間的長度來判斷心軸棒44的旋轉方向。若ON區間T1a的一半以下的區間被檢測成先頭的ON區間，則判斷心軸棒 44的旋轉方向為逆時針。另一方面，如圖5D所示，若ON區間T1a的一半以上的區間被檢測成先頭的ON區間，則判斷心軸棒44的旋轉方向為順時針。另，即使將感測器部94的初始位置對合至遮光板92b的途中的情形下，仍可依同樣方式判斷心軸棒44的旋轉方向。

此外，本實施形態中，旋轉檢測手段81，構成為作為檢測部是具備了扇狀的遮光板82a-82c，但不限定於此構成。例如，如圖6所示，旋轉檢測手段96，作為檢測部亦可具備相異寬幅的長方形狀的遮光板97a-97c。在遮光板97a-97c之間雖變得不存在狹縫，但即使是這樣的構成仍可檢測心軸棒44的旋轉方向。

此外，本實施形態中，說明了作為檢測部是示例遮光板、作為感測器部是示例光纖感測器，但不限定於此構成。旋轉檢測手段，只要為可檢測檢測部之構成即可，例如，亦可具備金屬板作為檢測部、磁感測器等的接近感測器作為感測器部，亦可具備反射板作為檢測部、反射型的光感測器作為感測器部。

此外，本實施形態中，說明了判斷手段62將檢測節奏和第1、第2節奏比較來判斷心軸棒44的旋轉方向之構成，但不限定於此構成。判斷手段62，亦可僅依檢測節奏的節奏模式來判斷心軸棒44的旋轉方向。

此外，本實施形態中，說明了磨削裝置1的心軸單元42，但不限定於此構成。心軸單元只要為可判斷心軸棒的旋轉方向之構成即可，例如亦可為研磨裝置或切削 裝置的心軸單元。在此情形下，在研磨裝置的心軸單元會裝配研磨墊作為加工具，在切削裝置的心軸單元會裝配切削刀作為加工具。

此外，雖說明了本實施形態及變形例，但作為本發明的其他實施形態，亦可為將上述實施形態及變形例予以全體地或部分地組合而成者。

此外，本發明之實施形態不限定於上述的實施形態，在不脫離本發明的技術性思想的意旨之範圍內亦可做各式各樣的變更、置換、變形。甚至，若因技術的進歩或衍生之其他技術，而能夠以別的方式實現本發明之技術性思想，則亦可用該方法來實施。是故，申請專利範圍，涵括本發明的技術性思想之範圍內可能包含之所有的實施形態。

此外，本實施形態中，說明了將本發明適用於磨削裝置的心軸單元之構成，但亦可適用於能夠藉由低價且簡易的構成來辨識心軸棒的旋轉方向之加工裝置的心軸單元。

[產業利用性]

如以上說明般，本發明，具有能夠藉由低價且簡易的構成來辨識心軸棒的旋轉方向之功效，特別是，對於使用了感應馬達之心軸單元及加工裝置係為有用。

42‧‧‧心軸單元

43‧‧‧外殼

44‧‧‧心軸棒

45‧‧‧座架

46‧‧‧磨削輪(加工具)

47‧‧‧磨削砥石

60‧‧‧控制手段

61‧‧‧辨識手段

62‧‧‧判斷手段

65‧‧‧顯示手段

67‧‧‧罩

68‧‧‧海綿材

71‧‧‧馬達

72‧‧‧轉子

73‧‧‧定子

74‧‧‧冷卻套

75‧‧‧冷卻水路

76、77‧‧‧圓板部

78‧‧‧環狀部

79‧‧‧噴射口

80‧‧‧空氣供給源

81‧‧‧旋轉檢測手段

82‧‧‧遮光板(檢測部)

84‧‧‧感測器部

85‧‧‧投光部

86‧‧‧受光部

Claims (2)

1. 一種心軸單元，為具備連接裝配加工具的座架之心軸棒、及將該心軸棒予以可旋轉地支撐之外殼、及連結至該心軸棒之旋轉驅動源的馬達、及檢測該馬達所造成的該心軸棒的旋轉之旋轉檢測手段的心軸單元，該旋轉檢測手段，具備連結至該心軸棒而以該心軸棒的軸心為中心於圓周方向至少2個的相異寬幅之檢測部、及檢測旋轉的該至少2個的檢測部之感測器部，令該心軸棒旋轉，藉由該感測器部檢測出之旋轉的該至少2個的檢測部之檢測節奏的不同，可判斷旋轉方向。
2. 一種加工裝置，為具備如申請專利範圍第1項所述之心軸單元、及判斷手段的加工裝置，該判斷手段，將預先記憶著的第1旋轉方向之第1節奏及成為該第1旋轉方向的相反方向即第2旋轉方向之第2節奏，和該感測器部檢測出之檢測節奏予以比較，來判斷該心軸棒的旋轉方向。