JP7375477B2 - 研削装置及び研削方法 - Google Patents

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本発明は、研削装置及び研削方法に関する。
従来、回転駆動する砥石によって工作物を研削加工する研削装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の研削装置は、回転駆動される工作物と、工作物の外周面を研削する砥石と、工作物の研削点付近にクーラントを供給するクーラントノズルと、工作物の研削焼けを判定する研削焼け判定部と、を備えている。研削焼け判定部は、砥石を回転駆動するモータの電力計から出力される情報と、工作物の温度を測定する温度センサの検出値とに基づいて研削焼けの有無を判定する。温度センサは、工作物の外周面のうち研削点に対して軸対象となる位置に当接して、当該部位の表面温度を検出する。
特開2010-194641号公報
特許文献1に記載の研削装置では、工作物の表面に温度センサが当接しているため、温度センサが当接している工作物の表面にクーラントが付着していると、工作物の表面温度を高精度に検出することが困難な場合があり、研削焼けの判定精度においてなお改善の余地があった。
そこで、本発明の目的は、工作物の研削焼けの判定精度を向上させることが可能な研削装置及び研削方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記の目的を達成するため、工作物を研削する砥石と、前記砥石を回転駆動する駆動機構と、前記工作物と前記砥石とを相対移動させる移動機構と、前記駆動機構及び前記移動機構を制御する制御部とを有する研削装置であって、前記制御部は、前記砥石が前記工作物に接する研削点からの熱流を検出する熱流センサの検出値に基づいて、前記工作物における研削焼けの発生を判定する、研削装置を提供する。
また、本発明は、上記の目的を達成するため、工作物を研削する砥石と、前記砥石を回転駆動する駆動機構と、前記工作物と前記砥石とを相対移動させる移動機構と、前記駆動機構及び前記移動機構を制御する制御部と、前記砥石が前記工作物に接する研削点からの熱流を検出する熱流センサと、を有する研削装置を用いて前記工作物を研削する研削方法であって、前記熱流センサの検出値に基づいて前記工作物の研削焼けを判定する判定工程と、前記工作物における研削焼け深さを測定する測定工程と、前記測定工程での測定結果に基づいて研削条件を変更する変更工程と、を備えている、研削方法を提供する。
本発明に係る研削装置及び研削方法によれば、工作物の研削焼けの判定精度を向上させることが可能である。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る研削装置の全体構成を示す説明図である。 図2(a)は、砥石の回転軸方向に沿って見た場合の研削装置の構成を示す模式図であり、図2(b)は、砥石と工作物との並び方向であって、砥石側から見た場合の研削装置の構成を示す模式図である。 図3は、砥石、工作物、及び熱流センサの構成を示す斜視図である。 図4は、閾値を決定するための試験において熱流センサが検出した熱流と研削能率との関係を示すグラフの一例である。 図5(a)は、熱流センサに熱流が貫通する状態を示した説明図であり、図5(b)は、熱流センサの構成を示す説明図である。 図6は、第2の実施の形態に係る研削装置の構成を示す説明図である。 図7は、第2の実施の形態に係る砥石、工作物、及び熱流センサの構成を示す斜視図である。 図8は、第3の実施の形態に係る研削装置をY軸方向に沿って見た場合の熱流センサの位置を示した説明図である。
[第1の実施の形態]
本発明の実施の形態について、図1乃至図5を参照して説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、本発明を実施する上での好適な具体例として示すものであり、技術的に好ましい種々の技術的事項を具体的に例示している部分もあるが、本発明の技術的範囲は、この具体的態様に限定されるものではない。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る研削装置100の全体構成を示す説明図である。
図1に示すように、研削装置100は、土台となるベッド1と、軸状の工作物80を研削する円盤状の砥石2と、砥石2を回転駆動する駆動機構としての砥石用電動モータ3と、工作物80に対して砥石2を相対移動させる移動力を発生するX軸モータ41及びY軸モータ51と、砥石用電動モータ3、X軸モータ41、及びY軸モータ51を制御する制御部6と、を備えている。
ベッド1には、X軸方向に延びるX軸案内レール10a,10bが設けられ、X軸案内レール10a,10b上にはX軸テーブル40が設置されている。X軸テーブル40は、ベッド1上に設けられたX軸ボールねじ42によってX軸方向に移動され、X軸案内レール10a,10b上を摺動する。X軸ボールねじ42は、ベッド1に設置されたX軸モータ41によって駆動される。砥石用電動モータ3は、X軸テーブル40上に設置されたY軸テーブル20に取り付けられている。
Y軸テーブル20は、X軸テーブル40においてY軸方向に延びたY軸案内レール40a,40b上に設置されている。また、Y軸テーブル20は、X軸テーブル40に設けられたY軸ボールねじ52によってY軸方向に移動され、Y軸案内レール40a,40b上を摺動する。Y軸ボールねじ52は、X軸テーブル40に配置されたY軸モータ51によって駆動される。X軸モータ41、Y軸モータ51、X軸ボールねじ42、及びY軸ボールねじ52は、工作物80と砥石2とを相対移動させる移動機構を構成する。
工作物80は、その軸方向の両端がベッド1上に設置された主軸台11,12に支持されており、主軸台11,12に内蔵されたモータによって回転駆動される。
研削装置100は、砥石2が工作物80に接する研削点からの熱流を検出する熱流センサ7をさらに備えている。本実施の形態では、研削装置100をXY平面に垂直な方向に沿って見た場合に、熱流センサ7が、砥石2と重なる位置に設けられている。熱流センサ7は、制御部6と電気的に接続されており、制御部6は熱流センサ7の検出値を取得可能である。
図2(a)は、砥石2の回転軸O方向(図1におけるX方向)に沿って見た場合の研削装置100の構成を示す模式図であり、図2(b)は、砥石2と工作物80との並び方向(図1におけるY方向)であって、砥石2側から見た場合の研削装置100の構成を示す模式図である。図2(a)では、砥石2及び工作物80の回転方向を矢印で示している。以下の説明において、「上」「下」とは、鉛直方向の上下をいうものとする。
図2(a)に示すように、研削装置100は、研削点Pにクーラントノズル81からクーラントを供給しながら工作物80を研削する。ここで、研削点Pとは、工作物80の外周面のうち砥石2によって研削される点をいう。クーラントノズル81は、研削点Pの近傍に配置され、研削点Pの上部に位置している。
工作物80は、その外周面80aに当接する第1及び第2のシュー13,14によって回転可能に支持されている。第1のシュー13は、その先端が研削点Pよりも下方に位置する工作物80の外周面80aに当接している。第2のシュー14は、その先端が工作物80の回転軸Oに対して研削点Pと対称となる位置の工作物80の外周面80aに当接している。
熱流センサ7は、フレキシブル基板で形成された薄型平板状であり、その測定面7aが砥石2の外周面2aと対向する位置であって、クーラントノズル81の先端部よりも上方の位置に設けられている。また、熱流センサ7は、測定面7aとは反対側の裏面7bが、X軸方向に対して傾斜した金属プレート70の表面に接して取り付けられている。なお、熱流センサ7の測定面7aと砥石2の外周面2aとの間の砥石2の半径方向の距離は、例えば、40mm~60mmである。
図2(b)に示すように、Y軸方向に見た場合に、X軸方向における熱流センサ7の取付位置は、測定面7aの少なくとも一部が砥石2と重なる位置である。なお、砥石2の回転軸O方向における熱流センサ7の位置はこれに限られるものではなく、例えばY軸方向に見た場合に、熱流センサ7の測定面7aと砥石2とが重ならない位置であってもよい。
図3は、砥石2、工作物80、及び熱流センサ7の構成を示す斜視図である。図3では、熱流センサ7を破線で示している。図3に示すように、金属プレート70は、砥石2の外周面2aを上方から覆うように配置されている。なお、熱流センサ7を通過する熱流の流れをよくするために、金属プレート70の材料は熱伝導率の高いものが望ましい。熱流センサ7は、研削点Pから発せられる熱流や、研削点Pから砥石2の内部へ伝導した熱が外周面2aから放射される熱流を検出する。
制御部6は、熱流センサ7が検出した熱流に基づいて、研削焼けの有無を判定する。より詳細には、制御部6は、熱流センサ7の出力値に基づいた熱流が、予め定められた閾値より大きい場合に研削焼けが発生したと判定する。この閾値は、予め試験によって得られることができる。この試験は、例えば同一の研削対象でクーラントの供給量を一定にした状態において、研削能率(単位時間単位幅当たりの研削量)を変化させたときの熱流を測定し、研削焼けの有無をプロットしていくものである。
図4は、上記の試験を行った際の熱流センサ7が検出した熱流と研削能率との関係を示すグラフの一例である。図4に示すように、研削能率を上げていくと熱流も大きくなり、研削焼けが発生していることがわかる。なお、制御部6は、熱流センサ7から出力される検出値が閾値を超えた場合には、砥石2の送り速度や、工作物80の回転速度等の研削条件を最適化するように自動的に変更するように設定されている。なお、上記では、事前に実施した試験で得られたデータに基づいて閾値を決定しているが、これに限らず、例えば研削加工中に得られたデータに基づいて閾値を決定するようにしてもよい。
図5(a)及び(b)は、熱流センサ7の原理を説明するための説明図であり、図5(a)は、熱流センサ7に熱流が貫通する状態を示した説明図であり、図5(b)は、熱流センサ7の構成を示す説明図である。
図5(a)に示すように、熱流センサ7の厚みをd、測定面7aの温度をT、測定面7aとは反対側の裏面7bの温度をT、熱流センサ7の熱伝導率をλとすると、熱流センサ7を通過する熱流Qは、以下の式で求められる。
Q=(T-T)λ/d
つまり、熱流センサ7は、熱流センサ7の測定面7aとその裏面7bとの間の温度差に起因して発生する電圧により、熱流センサ7を通過する熱流Qを検出する。
図5(b)に示すように、熱流センサ7では、複数の熱電対700が測定点Aと測定点Bとに多点で直列して接続され、これらの熱電対のうち一端にある熱電対と他端にある熱電対のそれぞれ接点が計測器端子90に接続される。複数の熱電対700が直列して接続されていることにより、測定点Aと測定点Bとの間の温度差に起因した出力電圧が増幅される。これにより、熱流センサ7の感度が増大し、精度の高い検出が可能となる。
本実施の形態では、制御部6が感度の高い熱流センサ7の検出値に基づいて研削点Pにおける研削焼けを判定するので、高精度に研削焼けを検知することが可能である。
本実施の形態に係る研削装置100は、以下に述べる研削方法において用いられる。本実施の形態に係る研削方法は、工作物80の研削焼けを判定する判定工程と、工作物80における研削焼け深さを測定する測定工程と、測定工程で測定した研削焼け深さに基づいて研削装置100の研削条件を変更する変更工程と、を有している。
判定工程は、前述した通り、制御部6が熱流センサ7の検出値に基づいて研削焼けを判定する工程である。測定工程では、判定工程において研削焼けが有ると判定された工作物80の研削焼けの深さを実測する。この測定は、例えば作業者の目視によって行われる。変更工程では、測定工程において測定した研削焼けの深さに基づいて研削条件を変更する。例えば、研削焼け深さが事前に定めていた所定の値よりも大きい場合には、研削焼け深さが浅くなるように研削条件を設定することができる。なお、研削条件としては、例えば砥石2の送り速度や、研削能率、工作物80の回転速度などがある。また、変更工程では、例えば、研削焼け深さと熱流センサ7が検出した熱流との関係をデータ化し、このデータに基づいて工作物80の研削焼け深さを推定することも可能である。
以上説明したように、制御部6は、砥石2が工作物80に接する研削点Pからの熱流を検出する熱流センサ7の検出値に基づいて、工作物80における研削焼けの発生を判定する。
本実施の形態によれば、熱流センサの検出値に基づいて研削焼けの判定をするので、例えばサーミスタ等の温度センサを用いた場合に比べて高い精度で研削点Pから発生する熱を検知することができる。つまり、工作物80の研削焼けの判定精度を高めることが可能である。
なお、上記の実施の形態では、熱流センサ7が平板状であったが、例えば砥石2の外周面に沿って円弧状に湾曲して取り付けられていてもよい。
[第2の実施の形態]
次に、第2の実施の形態に係る研削装置100について図6及び図7を参照して説明する。図6は、第2の実施の形態に係る研削装置100を砥石2の回転軸O方向に沿って見た場合の構成例を示す説明図である。図7は、第2の実施の形態に係る砥石2、工作物80、及び熱流センサ7Aの構成を示す斜視図である。
図7及び図8に示すように、第2の実施の形態に係る研削装置100は、その熱流センサ7Aの位置が第1の実施の形態に係る研削装置100と異なる。図6に示すように、第2の実施の形態に係る研削装置100では、熱流センサ7Aが工作物80の外周面80aと対向する位置に設けられている。
熱流センサ7Aは、第1の実施の形態と同様、フレキシブル基板によって形成されており、曲面に沿って折り曲げ可能である。本実施の形態では、金属プレート70Aが工作物80の周方向に沿って円弧状に湾曲しており、熱流センサ7Aも金属プレート70Aの曲面に沿って湾曲して取り付けられている。つまり、熱流センサ7Aは、工作物80の周方向に沿って円弧状となるように取り付けられている。熱流センサ7Aは、研削点Pから発せられる熱流や、研削点Pから工作物80の内部へと電動した熱が外周面80aから放射される熱流を検出する。
この第2の実施の形態においても、制御部6が熱流センサ7Aの検出値に基づいて研削焼けを判定するので、第1の実施の形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
なお、第2の実施の形態の変形例として、熱流センサ7Aが、研削点Pよりも下方に位置する工作物80の外周面80aに当接する第1のシューと、回転軸Oに対してクーラントノズル81とは反対側にあたる工作物80の外周面80aに当接するシューとの間で、工作物80の外周面80aと対向するように配置されていてもよい。
[第3の実施の形態]
次に、第3の実施の形態に係る研削装置について図8を参照して説明する。図8は、第3の実施の形態に係る研削装置をY軸方向に沿って見た場合の熱流センサ7Bの位置を示した説明図である。
図8に示すように、第3の実施の形態に係る研削装置100は、その熱流センサ7Bの位置が第1の実施の形態に係る研削装置100と異なる。第3の実施の形態に係る研削装置では、熱流センサ7Bが、砥石2の回転軸O方向における軸方向端面21と対向する位置に設けられている。つまり、熱流センサ7Bの測定面と、砥石2の軸方向端面21とが対面している。熱流センサ7Bは、砥石2の近傍に配置された平板状の金属プレート70Bに取り付けられている。
この第3の実施の形態によっても、第1の実施の形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
(付記)
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、これらの実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
上記の実施の形態において、研削装置100は、金属プレート7を冷却することにより金属プレート7の温度を一定に保つ冷却手段を備えていてもよい。これにより、金属プレート7の温度上昇を防ぐことができ、熱流センサ7の裏面7bの温度上昇に伴う検出誤差を防ぐことができる。
1…ベッド
2…砥石
3…砥石用電動モータ
5…軸モータ
6…制御部
7,7A,7B…熱流センサ
7a…測定面
7b…裏面
81…クーラントノズル
70,70A,70B…金属プレート
80…工作物
100…研削装置

Claims (6)

  1. 工作物を研削する砥石と、前記砥石を回転駆動する駆動機構と、前記工作物と前記砥石とを相対移動させる移動機構と、前記駆動機構及び前記移動機構を制御する制御部とを有する研削装置であって、
    前記制御部は、前記砥石が前記工作物に接する研削点からの熱流を検出する熱流センサの検出値に基づいて、前記工作物における研削焼けの発生を判定する、
    研削装置。
  2. 前記制御部は、研削焼けが発生したと判定したときに研削条件を変更する、
    請求項1に記載の研削装置。
  3. 前記熱流センサは、前記砥石の外周面と対向する位置に設けられている、
    請求項1又は2に記載の研削装置。
  4. 前記熱流センサは、前記工作物の外周面と対向する位置に設けられている、
    請求項1又は2に記載の研削装置。
  5. 前記熱流センサは、前記砥石の回転軸方向における端面と対向する位置に設けられている、
    請求項1又は2に記載の研削装置。
  6. 工作物を研削する砥石と、前記砥石を回転駆動する駆動機構と、前記工作物と前記砥石とを相対移動させる移動機構と、前記駆動機構及び前記移動機構を制御する制御部と、前記砥石が前記工作物に接する研削点からの熱流を検出する熱流センサと、を有する研削装置を用いて前記工作物を研削する研削方法であって、
    前記熱流センサの検出値に基づいて前記工作物の研削焼けを判定する判定工程と、
    前記工作物における研削焼け深さを測定する測定工程と、
    前記測定工程での測定結果に基づいて研削条件を変更する変更工程と、を備えている、
    研削方法。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010194641A (ja) 2009-02-24 2010-09-09 Jtekt Corp 研削焼け判定方法およびその方法を用いた研削盤
JP2018084491A (ja) 2016-11-24 2018-05-31 株式会社デンソー 表面粗さ測定方法及び表面粗さ測定装置
JP2019138464A (ja) 2018-02-13 2019-08-22 Ntn株式会社 軸受装置およびスピンドル装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2905840B2 (ja) * 1988-05-17 1999-06-14 株式会社ナガセインテグレックス 研削盤

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010194641A (ja) 2009-02-24 2010-09-09 Jtekt Corp 研削焼け判定方法およびその方法を用いた研削盤
JP2018084491A (ja) 2016-11-24 2018-05-31 株式会社デンソー 表面粗さ測定方法及び表面粗さ測定装置
JP2019138464A (ja) 2018-02-13 2019-08-22 Ntn株式会社 軸受装置およびスピンドル装置

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