TW201805076A - 防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法 - Google Patents

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Abstract

本發明為防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法，用於吹乾殘留有液體的基板，包含以下步驟：提供風乾室，具有風刀、排氣單元及控制器，風刀吹氣至風乾室內，排氣單元將風乾室的氣體排出，控制器控制排氣單元的排氣量；將殘留有液體的基板輸送至風乾室的入口，並使基板朝風乾室的出口移動；風刀朝殘留有液體的基板吹氣，以將基板上的液體吹離基板，於吹氣時，風刀的吹氣量為固定的；及藉由控制器調整排氣單元的排氣量，排氣量對應於風刀吹氣至該風乾室的吹氣量，以減少風乾室的擾流，並使基板被風刀吹氣時，不會翹起。藉此，能充分地吹乾基板。

Description

防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法
本發明係關於一種風刀吹乾方法，更特別的是關於一種防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法，避免基板經過風刀時，產生翹曲或形變的狀況，亦能有效防止液體殘留於基板。
目前的技術中，玻璃基板經過清洗後，會殘留液體於玻璃基板的表面，必須經過風乾室來進行吹乾的工程。
目前於風乾室1000進行吹乾的工程中，使用固定風壓的風刀1100直接吹向殘留有液體的玻璃基板2000，如圖1所示；為了吹離玻璃基板2000的表面之液體，風刀1100必須具有較大的吹氣量，故當風刀1100對準玻璃基板2000的最前端2100或最後端2200時，玻璃基板2000容易發生翹曲或形變的狀況(如圖2及圖3所示)，從而破壞風乾室1000的流場均一性，容易導致玻璃基板2000歪斜及變形。
由於風刀1100的吹氣量為一定值，縱使減弱風刀1100的吹氣量，風刀1100仍然對準玻璃基板2000的最前端2100或最後端2200，故玻璃基板2000之兩端始終會受到氣流影響，使得玻璃基板2000之兩端發生力矩變化，從而造成玻璃基板2000翹曲或形變。
因此，如何發明出一種玻璃基板的吹乾方法，避免玻璃基板經過風刀時，產生翹曲或形變的狀況，亦能有效防止液體殘留於玻璃基板，將是本發明所欲積極揭露之處。
本發明之目的在於提供一種防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法，避免基板經過風刀時，產生翹曲或形變的狀況，亦能有效防止液體殘留於基板。
為達上述目的及其他目的，本發明提供一種防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法，用於吹乾殘留有液體的一基板，包含以下第一步驟至第四步驟。
於第一步驟中，提供一風乾室，具有至少一組風刀、至少二排氣單元及一控制器，該至少一組風刀吹氣至該風乾室內，該等排氣單元將該風乾室的氣體排出，該控制器係控制各該排氣單元的排氣量。
於第二步驟中，將殘留有液體的基板輸送至該風乾室的一入口，並使該基板朝該風乾室的一出口移動。
於第三步驟中，該至少一組風刀朝殘留有液體的基板吹氣，以將該基板上的液體吹離該基板，於吹氣時，該至少一組風刀的吹氣量為固定的。
於第四步驟中，藉由該控制器調整各該排氣單元的排氣量，該排氣量對應於該至少一組風刀吹氣至該風乾室的吹氣量，以減少該風乾室的擾流，並使該基板被該至少一組風刀吹氣時，不會翹起。
於本發明之風刀吹乾方法中，其中，該等排氣單元設置於該至少一組風刀及該風乾室的入口之間，並對應該至少一組風刀的吹氣位置。
於本發明之風刀吹乾方法中，其中，該控制器為可編程序控制器(PLC, Programmable logic controller)。
於本發明之風刀吹乾方法中，其中，隨著該基板相對於該至少一組風刀的相對位置，藉由該控制器調整各該排氣單元的排氣量。
於本發明之風刀吹乾方法中，該等排氣單元分別位於該風乾室的頂部及底部。
綜上所述，本發明防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法藉由該控制器調整該排氣單元的排氣量，能避免該基板經過該至少一組風刀時，產生翹曲或形變的狀況，亦能有效防止液體殘留於該基板。
為充分瞭解本發明之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明，說明如後：
請參照圖4，其係為本發明防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法之流程圖，該風刀吹乾方法用於吹乾殘留有液體的一基板，包含以下四個步驟。其中，該基板通常係指玻璃基板…等基板，但不限於此，只要有經過清洗且需要被風乾的基板即可。
於步驟S1中，提供一風乾室，具有至少一組風刀、至少二排氣單元及一控制器，該至少一組風刀吹氣至該風乾室內，該等排氣單元將該風乾室的氣體排出，該控制器係控制各該排氣單元的排氣量。更具體而言，該至少一組風刀係朝該風乾室內的輸送台進行吹氣，當有基板輸送於輸送台時，該至少一組風刀所吹出的氣體能將該基板上殘留的液體吹離；該控制器控制各該排氣單元的閥門，從而調整各該排氣單元的排氣量。其中，該控制器較佳為可編程序控制器(PLC, Programmable logic controller)，但不限於此，亦可為其他能調整排氣量的控制器。此外，該至少一組風刀包含一上風刀及一下風刀，分別對應該基板的兩面。
於步驟S3中，將殘留有液體的基板輸送至該風乾室的一入口，並使該基板朝該風乾室的一出口移動。
於步驟S5中，該至少一組風刀朝殘留有液體的基板吹氣，以將該基板上的液體吹離該基板，於吹氣時，該至少一組風刀的吹氣量為固定的，換言之，該吹氣量並不會因該基板相對於該至少一組風刀的相對位置之不同而有所改變。
於步驟S7中，藉由該控制器調整各該排氣單元的排氣量，各該排氣單元的排氣量分別對應於該至少一組風刀的上風刀與下風刀吹氣至該風乾室的吹氣量，以減少該風乾室的擾流，從而讓該至少一組風刀對該基板吹氣時，液體不容易附著於該基板，即液體容易從該基板的表面被吹離；此外，當該基板的前端或後端被該至少一組風刀吹氣時，由於該控制器依據該基板相對於該至少一組風刀的相對位置，來調整該排氣單元的排氣量，從而能有效避免該基板的前端或後端經過該至少一組風刀時，產生翹曲或形變的狀況。
更具體而言，依據該基板的材質、重量、尺寸，以及多次基板進行風刀吹乾的結果，透過該控制器設定該排氣單元的排氣量，使得該基板從該風乾室的入口移動至出口時，該基板相對於該至少一組風刀而位於不同位置時，所接受到的排氣量有所不同。
此外，若該等排氣單元設置於該至少一組風刀及該風乾室的入口之間，並對應該至少一組風刀的吹氣位置，則減少該風乾室的擾流之功效更佳，其原因在於，該基板經過該至少一組風刀所產生的風壓的同時，該等排氣單元能將該至少一組風刀所產生的多餘氣體給排出。
再者，該等排氣單元較佳分別位於該風乾室的頂部及底部，以分別對應於該至少一組風刀的上風刀與下風刀之吹氣位置。
再者，該風乾室中較佳具有風扇過濾器(FFU, Fan filter unit)，用於控制該風乾室中的流場。其中，該風扇過濾器較佳設置於該至少一組風刀及該風乾室的出口之間。
藉此，本發明防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法藉由該控制器調整該排氣單元的排氣量，能避免該基板經過該至少一組風刀時，產生翹曲或形變的狀況，亦能有效防止液體殘留於該基板。
本發明在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
1000‧‧‧風乾室
1100‧‧‧風刀
1200‧‧‧輸送台
2000‧‧‧玻璃基板
2100‧‧‧最前端
2200‧‧‧最後端
S1-S7‧‧‧步驟
［圖1］係為習知玻璃基板被風刀進行吹氣之示意圖。 ［圖2］係為習知玻璃基板的最前端被風刀進行吹氣之示意圖。 ［圖3］係為習知玻璃基板的最後端被風刀進行吹氣之示意圖。 ［圖4］係為本發明防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法之流程圖。
S1-S7‧‧‧步驟

Claims (7)

  1. 一種防止液體殘留於基板的風刀吹乾方法，用於吹乾殘留有液體的一基板，包含以下步驟： 第一步驟：提供一風乾室，具有至少一組風刀、至少二排氣單元及一控制器，該至少一組風刀吹氣至該風乾室內，該等排氣單元將該風乾室的氣體排出，該控制器係控制各該排氣單元的排氣量； 第二步驟：將殘留有液體的基板輸送至該風乾室的一入口，並使該基板朝該風乾室的一出口移動； 第三步驟：該至少一組風刀朝殘留有液體的基板吹氣，以將該基板上的液體吹離該基板，於吹氣時，該至少一組風刀的吹氣量為固定的；及 第四步驟：藉由該控制器調整各該排氣單元的排氣量，該排氣量對應於該至少一組風刀吹氣至該風乾室的吹氣量，以減少該風乾室的擾流，並使該基板被該至少一組風刀吹氣時，不會翹起。
  2. 如請求項1所述之風刀吹乾方法，其中，該等排氣單元設置於該至少一組風刀及該風乾室的入口之間，並對應該至少一組風刀的吹氣位置。
  3. 如請求項2所述之風刀吹乾方法，其中，該控制器為可編程序控制器(PLC, Programmable logic controller)。
  4. 如請求項1所述之風刀吹乾方法，其中，該控制器為可編程序控制器(PLC, Programmable logic controller)。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之風刀吹乾方法，其中，隨著該基板相對於該至少一組風刀的相對位置，藉由該控制器調整各該排氣單元的排氣量。
  6. 如請求項5所述之風刀吹乾方法，其中，該等排氣單元分別位於該風乾室的頂部及底部。
  7. 如請求項1至4中任一項所述之風刀吹乾方法，其中，該等排氣單元分別位於該風乾室的頂部及底部。
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