KR20080035197A - 대면적 기판 건조 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 기판 건조 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명 대면적 기판 건조 장치는 이송되는 대면적 기판을 세정하고, 연속하여 상기 세정된 대면적 기판을 건조하는 대면적 기판 처리장치에 있어서, 상기 이송되는 대면적 기판의 표면을 따라 건조공기가 흐르도록 공기통로가 마련된 건조터널부와, 상기 건조터널부에 건조공기를 분사하는 에어나이프와, 상기 건조터널부를 통과한 건조공기를 외부로 배기하는 배기구를 포함한다. 또한, 본 발명 대면적 기판 건조 방법은 이송되는 대면적 기판을 세정하고, 연속하여 상기 세정된 대면적 기판을 건조하는 대면적 기판 처리방법에 있어서, 상기 이송되는 대면적 기판의 표면을 따라 건조공기가 흐를 수 있는 이송공간부를 마련하고, 그 이송공간부 내에 건조공기의 흐름이 발생하도록 한 상태에서 그 대면적 기판을 상기 이송공간부를 통해 이송함으로써 대면적 기판을 건조시키도록 이루어진다. 이와 같은 구성의 본 발명은 이송되는 대면적 기판이 파손되지 않을 정도의 최소한의 폭과 높이를 가지는 건조터널부를 마련하고, 그 건조터널부에 건조공기가 흐르도록 제어하여, 건조공기와 대면적 기판의 접촉시간을 증가시켜 건조효율을 향상시키는 효과가 있다.

Description

대면적 기판 건조 장치 및 방법{Dry apparatus for large area substrate and dry method thereof}

도 1은 종래 대면적 기판 건조 장치의 구성도이다.

도 2는 본 발명 대면적 기판 건조 장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

110:대면적 기판 120:이송부

130:배스 200:제1건조실

210,310:에어나이프 220,320:배기구

300:제2건조실 330:건조터널부

본 발명은 대면적 기판 건조 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초건조 공기를 사용하지 않고도 건조효율을 높일 수 있는 대면적 기판 건조 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 제조에 사용되는 대면적 기판을 세정한 후, 다 단으로 설치된 에어나이프를 이용하여 건조공기를 분사하여 건조한다.

종래에는 대면적 기판의 이송방향에 대해 전단에 건조공기를 분사하는 에어나이프를 설치하고, 그 후단에 건조공기에 비해 이슬점이 더 낮은 건조공기를 분사하는 초건조 에어나이프를 설치하였으며, 이와 같은 종래 대면적 기판 건조 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판의 건조 장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면, 종래 대면적 기판 건조 장치는 이송부(2)에 의해 이송되는 대면적 기판(1)에 건조공기를 분사하는 에어나이프(3)를 포함하는 제1건조실(10)과, 상기 제1건조실(10)에서 1차 건조된 대면적 기판(1)에 초건조공기를 분사하는 초건조에어나이프(4)를 포함하는 제2건조실(20)로 구성된다.

상기 제1건조실(10)과 제2건조실(20)은 배스(5)에 의해 공간이 정의되며, 그 배스(5)의 상부에 각각 배기구(6,7)가 마련되어 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판의 건조 장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 세정된 대면적 기판(1)이 이송부(2)를 통해 제1건조실(10)로 이송되면, 상기 제1건조실(10)과 제2건조실(20)의 경계부에 위치하는 에어나이프(3)에서 분사되는 건조공기에 의해 1차 건조된다.

이때, 상기 에어나이프(3)에서 분사되는 건조공기는 고온이며, 외기에 비해 더 낮은 이슬점을 가지는 것으로, 상기 대면적 기판(1)에 도포된 세정수를 건조하게 된다.

그러나, 상기 고온의 건조공기는 쉽게 배기구(6)를 통해 배기 되기 때문에 실질적으로 대면적 기판(1)과 접하는 시간이 짧게 되며, 건조 효율이 저하된다.

즉, 상기 에어나이프(3)의 건조공기 분사에 의한 1차의 건조를 통해 대면적 기판(1)은 완전히 건조되지 않는다.

상기 제1건조실(10)에서 건조된 대면적 기판(1)은 제2건조실(20)에서 다시 건조된다.

상기 제2건조실(20)에는 초건조에어나이프(4)가 구비되어 있으며, 그 초건조에어나이프(4)의 초건조 공기에 의해 대면적 기판(1)이 2차 건조된다.

상기 초건조 공기는 상기 에어나이프(3)에서 분사되는 건조공기에 비해 더 낮은 이슬점을 가지는 것으로 보다 건조도가 높아 대면적 기판(1)의 건조효율이 더 높다.

그러나 이와 같은 초건조 공기는 에어나이프(3)에서 분사되는 건조공기에 비하여 더 비싸며, 제조원가를 상승시키는 요인이된다.

또한, 초건조 공기 역시 고온으로 쉽게 배기구(7)를 통해 배기 되기 때문에 상기 대면적 기판(1)과 접촉되는 시간이 짧아 건조효율이 저하되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 초건조 공기를 사용하지 않고도 대면적 기판의 건조효율을 높일 수 있는 대면적 기판 건조 장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 건조공기와 대면적 기판의 접촉시간이 보다 연장되도록 할 수 있는 대면적 기판 건조 장치 및 방법을 제공함에 있다.

그리고 본 발명의 또 다른 목적은 대면적 기판을 건조하기 위한 건조공기의 분사량을 현저하게 줄일 수 있는 대면적 기판 건조 장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 대면적 기판 건조 장치는 이송되는 대면적 기판을 세정하고, 연속하여 상기 세정된 대면적 기판을 건조하는 대면적 기판 처리장치에 있어서, 상기 이송되는 대면적 기판의 표면을 따라 건조공기가 흐르도록 공기통로가 마련된 건조터널부와, 상기 건조터널부에 건조공기를 분사하는 에어나이프와, 상기 건조터널부를 통과한 건조공기를 외부로 배기하는 배기구를 포함한다.

또한, 본 발명 대면적 기판 건조 방법은 이송되는 대면적 기판을 세정하고, 연속하여 상기 세정된 대면적 기판을 건조하는 대면적 기판 처리방법에 있어서, 상기 이송되는 대면적 기판의 표면을 따라 건조공기가 흐를 수 있는 이송공간부를 마련하고, 그 이송공간부 내에 건조공기의 흐름이 발생하도록 한 상태에서 그 대면적 기판을 상기 이송공간부를 통해 이송함으로써 대면적 기판을 건조시키도록 이루어진다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명 대면적 기판 건조 장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명 대면적 기판 건조 장치의 바람직한 실시예는 대면적 기판(110)을 이송하는 이송부(120)와, 상기 이송부(120)에 의해 이송된 대면적 기판(110)에 건조공기를 분사하는 에어나이프(210)를 구비하는 제1건조실(200)과, 상기 제1건조실(200)을 통해 1차 건조된 대면적 기판(110)이 이송되는 가운데 그 대면적 기판(110)의 상면과의 거리를 최소화한 건조터널부(330)와 그 건조터널부(330)의 내로 건조공기를 분사하는 에어나이프(310)를 구비하는 제2건조실(300)을 포함하여 구성된다.

상기 제1건조실(200)과 제2건조실(300)은 배스(130)에 의해 그 공간이 정의되며, 각각 배기구(220,320)를 구비하여 건조에 사용된 건조공기를 외부로 배기하 도록 구성된다.

특히, 상기 배기구(320)은 건조터널부(330)를 중심으로 상기 에어나이프(310)의 반대편에 위치하도록 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 대면적 기판의 건조 장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 대면적 기판(110)이 세정된 후, 이송부(120)를 통해 이송되어 제1건조실(200)로 들어오면, 그 대면적 기판(110)은 에어나이프(210)에서 분사되는 건조공기에 의해 1차 건조된다.

이때의 건조공기는 고온이며, 대면적 기판(110)과 접촉하여 접촉부분의 세정수의 일부를 건조시키고 배기구(220)를 통해 배기된다.

이와 같이 1차 건조된 대면적 기판(110)은 이송부(120)를 통해 제2건조실(300)로 이송된다.

상기와 같이 제2건조실(300)로 이송된 대면적 기판(110)은 건조터널부(330)를 지나 이송된다.

상기 건조터널부(330)는 배스(130)의 상부가 다른 영역에 비해 더 낮게 위치하는 것일 수 있으며, 별도의 격벽구조를 설치하여 형성한 것일 수 있다.

상기 건조터널부(330)의 높이는 대면적 기판(110)의 두께보다 좀 더 높게하되, 이송되는 대면적 기판(110)이 건조터널부(330)를 이루는 배스(130)에 닿아 파 손되지 않는 높이로 한다.

상기 건조터널부(330)에는 에어나이프(310)에서 분사되는 건조공기가 흐르고 있으며, 그 건조터널부(330)를 지나는 대면적 기판(110)과의 접촉시간이 증가하게 된다.

이는 건조터널부(330)의 내측에서는 고온의 건조공기가 외부로 배기될 수 없는 구조이기 때문이며, 이에 따라 적은 양의 건조공기를 사용하여 대면적 기판(110)을 건조시킬 수 있게 된다.

상기 건조터널부(330)의 길이가 길수록 건조공기의 대면적 기판(110)과의 접촉시간은 증가되어, 대면적 기판(110)의 건조효율이 향상된다. 그러나 전체 장비의 집적도를 고려하여 적당한 길이로 제한되어야 한다.

상기 제2건조부(300)의 배기구(320)는 상기 건조터널부(330)를 중심으로 에어나이프(310)와는 반대편의 배스(130)의 상면측에 위치하고 있어, 상기 건조터널부(330)를 통과하여 대면적 기판(110)의 건조에 사용된 건조공기를 외부로 배기한다.

이와 같은 배기구(320)의 위치에 의해 에어나이프(310)에서 분사된 건조공기는 역류하지 않고, 대면적 기판(110)의 이송방향과는 반대방향으로 일정한 흐름을 가지게 된다. 이러한 건조공기의 흐름은 상기 건조터널부(330)에 의해 제공되는 공기통로에 의해 대면적 기판(110)의 표면부에서 지속적으로 이루어진다.

이러한 건조공기의 흐름은 대면적 기판(110)과의 접촉시간을 증가시킬 수 있게 된다.

상기 설명과 같이 상기 건조터널부(330)는 대면적 기판(110)이 손상되지 않고 이송될 최소한의 이송공간부를 제공하여, 상기 에어나이프(310)에서 상대적으로 더 적은 양의 건조공기를 분사하는 경우에도 건조공기와 대면적 기판(110)의 접촉시간을 증가시켜 우수한 건조 효율을 나타내도록 하는 것이다.

특히, 상기 건조터널부(330)의 폭과 높이의 제한은 대면적 기판(110)이 손상되지 않는 범위에서 건조공기의 유속을 더욱 빠르게 할 수 있어 건조효율을 더 높일 수 있게 된다.

상기 건조터널부(330)에 에어나이프(310)의 공기유입을 원활하게 하기 위하여 그 건조터널부(330)의 에어나이프(310) 측 개구면적이 더 넓도록 할 수 있으며, 이는 건조터널부(330)의 상면이 에어나이프(310) 측으로 상향 경사지게 함으로써 구현할 수 있다.

상기의 실시예에서는 건조터널부(330)를 제2건조실(300)에 적용한 예를 들고 설명하였으나, 상기 건조터널부(330)가 제1건조실(200)에 위치하거나 제1건조 실(200)과 제2건조실(300) 모두에 위치하도록 구성할 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명 대면적 기판 건조 장치 및 방법은 이송되는 대면적 기판이 파손되지 않을 정도의 최소한의 폭과 높이를 가지는 건조터널부를 마련하고, 그 건조터널부에 건조공기가 흐르도록 제어하여, 건조공기와 대면적 기판의 접촉시간을 증가시켜 건조효율을 향상시키는 효과가 있다.

또한, 본 발명 대면적 기판 건조 장치 및 방법은 상기 건조터널부의 사용에 의해 초건조 공기를 사용하지 않고도 높은 건조효율을 얻을 수 있어, 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.

아울러 본 발명은 건조터널부에 공급하는 건조공기의 양을 기존의 방식에 비해 대폭 감소시키고도 높은 건조효율을 얻을 수 있어 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 이송되는 대면적 기판을 세정하고, 연속하여 상기 세정된 대면적 기판을 건조하는 대면적 기판 처리장치에 있어서,

   상기 이송되는 대면적 기판의 표면을 따라 건조공기가 흐르도록 공기통로가 마련된 건조터널부;

   상기 건조터널부에 건조공기를 분사하는 에어나이프; 및

   상기 건조터널부를 통과한 건조공기를 외부로 배기하는 배기구를 포함하는 대면적 기판 건조 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 대면적 기판은 건조터널부의 내부로 이송되기 이전에 1차 건조 처리된 것을 특징으로 하는 대면적 기판 건조 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 건조터널부는 에어나이프측이 배기구측에 비하여 개구면이 더 넓은 것을 특징으로 하는 대면적 기판 건조 장치.
4. 이송되는 대면적 기판을 세정하고, 연속하여 상기 세정된 대면적 기판을 건조하는 대면적 기판 처리방법에 있어서,

   상기 이송되는 대면적 기판의 표면을 따라 건조공기가 흐를 수 있는 이송공간부를 마련하고, 그 이송공간부 내에 건조공기의 흐름이 발생하도록 한 상태에서 그 대면적 기판을 상기 이송공간부를 통해 이송함으로써 대면적 기판을 건조시키는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 건조 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 건조공기의 흐름 방향은 대면적 기판의 이송방향과는 반대방향인 것을 특징으로 하는 대면적 기판 건조 방법.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서,

   상기 건조공기는 그 흐름이 유지되도록 흐름방향의 종점부에서 외부로 배기되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 건조 방법.

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