TW201802553A - 偏振光照射裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於能夠以簡單之構成使向對象物照射之累計光量均勻。

光源11係呈二維狀地排列有長度方向相對於上述對象物之掃描方向傾斜地設置之複數個燈11x(發光區域)。若將於掃描方向上鄰接之第1燈與第2燈在與掃描方向大致正交之方向上之間隔設為P，則第1燈及第2燈之兩端在與掃描方向大致正交之方向上錯開P/n(n為1以上之整數)，第1燈之第2燈側之端與第2燈之上述第1燈側之端在與掃描方向大致正交之方向上錯開P-P/n(n為1以上之整數)。又，若設為於光源11中，燈11x在掃描方向上排列有a(a為2以上之整數)個，則第1燈與在與掃描方向大致正交之方向上鄰接於第1燈的第3燈之間隔為P×a。

Description

偏振光照射裝置

本發明係關於一種偏振光照射裝置。

於專利文獻1中，揭示有如下之光配向用偏振光照射裝置：沿相對於光配向膜之搬送方向正交之方向延伸的線狀光源係沿光配向膜之搬送方向呈多段地配置，且沿光源之延伸方向排列有複數個線柵偏振元件。於專利文獻1所記載之光配向用偏振光照射裝置中，成為如下配置：各段中之線柵偏振元件之間之邊界部與另一段之邊界部於光配向膜之搬送方向上互不重疊。

於專利文獻2中，揭示有如下之偏振光照射裝置：使光照射部於與光配向膜之表面平行之面上，相對於光配向膜而相對地自基準位置以特定之角度旋轉。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4815995號公報

[專利文獻21日本專利特開2015-106015號公報

於專利文獻1所記載之發明中，目的在於使線柵偏振元件之間之邊界部不重疊，從而消除照度不均。然而，於如專利文獻1所記載之發明般使用較長之棒狀之燈之情形時，由於燈之長度而造成難以遍及燈整體照射強度均勻之光。其結果，產生向對象物照射之累計光量產生不均之問題。此種問題即便對線柵偏振元件之排列方式進行設計亦無法解決。

與此相對，於專利文獻2所記載之發明中，由於燈較短，故而可遍及燈整體照射強度均勻之光。又，於專利文獻2所記載之發明中，由於可針對每個燈調整光之強度，故而可進行光量之調整。然而，於專利文獻2所記載之發明中，存在若使光照射部旋轉，則偏振片亦會與光源共同旋轉的問題。又，於專利文獻2所記載之發明中，亦存在使光照射部旋轉等之機構規模較大，而導致裝置大型化的問題。

本發明係鑒於此種情況而完成者，其目的在於提供一種能夠以簡單構成使向對象物照射之累計光量均勻的偏振光照射裝置。

為了解決上述課題，本發明之偏振光照射裝置之特徵在於例如具備：平台，載置被照射偏振光之對象物；光源，具有長度方向相對於上述對象物之掃描方向傾斜地設置之複數個燈，且該複數個燈呈二維狀地排列；及偏振構件，係設置於上述光源與上述平台之間，且使自上述光源照射之光偏振；且若將上述複數個燈中於上述掃描方向上鄰接之第1燈與第2燈在與上述掃描方向大致正交之方向上之間隔設為P，則上述第1燈及 上述第2燈之兩端在與上述掃描方向大致正交之方向上錯開P/n(n為1以上之整數)，上述第1燈之上述第2燈側之端與上述第2燈之上述第1燈側之端在與上述掃描方向大致正交之方向上錯開P-P/n(n為1以上之整數)，且若設為於上述光源中，上述燈在上述掃描方向上排列有a(a為2以上之整數)個，則上述第1燈與在與上述掃描方向大致正交之方向上鄰接於上述第1燈之第3燈的間隔為P×a。

根據本發明之偏振光照射裝置，光源係呈二維狀地排列有長度方向相對於上述對象物之掃描方向傾斜地設置之複數個燈(燈之端為發光區域之端)，且若將於掃描方向上鄰接之第1燈與第2燈在與掃描方向大致正交之方向上之間隔設為P，則第1燈及第2燈之兩端在與掃描方向大致正交之方向上錯開P/n(n為1以上之整數)，且第1燈之第2燈側之端與第2燈之上述第1燈側之端在與掃描方向大致正交之方向上錯開P-P/n(n為1以上之整數)。又，若設為於光源中，燈沿掃描方向排列有a(a為2以上之整數)個，則第1燈與在與掃描方向大致正交之方向上鄰接於第1燈的第3燈之間隔為P×a。藉此，藉由n次曝光而使對象物W之所有區域通過燈11x之下方，因此可使向對象物照射之累計光量均勻。又，由於不具有特別之機構(例如旋轉機構)，故而可設為簡單之構成。

此處，亦可為，上述偏振構件具有呈二維狀地排列之複數個偏振片，於上述燈設置有至少2個上述偏振片，且將設置於上述第1燈之第1偏振片與第2偏振片之對應之點連結的線之傾斜度與上述燈之傾斜度大致相同。藉此，可防止自燈照射之光之外側之一部分被偏振片遮蔽而光量降低、即所謂暈邊。

此處，亦可於設置於上述第1燈之第1偏振片與設置於上述第3燈之第3偏振片之間具有第1空隙，於設置於上述第2燈之第1偏振片與設置於第4燈之第4偏振片之間具有第2空隙，上述第4燈在與上述掃描方向大致正交之方向上鄰接於上述第2燈，且上述第1空隙與上述第2空隙在與上述掃描方向正交之方向上之位置重疊。藉此，可使偏振片之大小變小，又，可使鄰接之燈彼此在與掃描方向大致正交之方向上之間隔變窄。

根據本發明，能夠以簡單構成使向對象物照射之累計光量均勻。

1、2、3‧‧‧偏振光照射裝置

10、10A、10B‧‧‧偏振光照射部

11、11A、11B‧‧‧光源

11x‧‧‧燈

12‧‧‧特定波長透射濾光片

13、13A、13B‧‧‧偏振構件

13a‧‧‧透明基板

13b‧‧‧金屬線

13x‧‧‧偏振片

14‧‧‧反射器

20‧‧‧平台

30‧‧‧平台驅動部

31‧‧‧平台導軌

32‧‧‧驅動部

100‧‧‧偏振光照射部

101‧‧‧控制部

102‧‧‧記憶部

103‧‧‧輸入部

104‧‧‧輸出部

圖1係表示第1實施形態之偏振光照射裝置1之概略之前視圖。

圖2係表示偏振光照射部10之概略之俯視圖。

圖3係表示自側面觀察偏振光照射部10時之概略之主要部分透視圖。

圖4係偏振光照射部10之俯視圖，且係將偏振光照射部10局部放大之圖。

圖5係表示偏振光照射裝置1之電性構成之方塊圖。

圖6係表示偏振光照射裝置1之曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。

圖7係對偏振光照射部10A進行說明之圖。

圖8係表示偏振光照射裝置2之第1次曝光時之燈11x之位置與對象物 W之位置關係的圖。

圖9係表示偏振光照射裝置2之第2次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。

圖10係對偏振光照射部10B進行說明之圖。

圖11係表示偏振光照射裝置3之第1次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。

圖12係表示偏振光照射裝置3之第2次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。

圖13係表示習知之偏振光照射裝置100之概略及使用偏振光照射裝置100之情形時之累計光量的圖。

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行詳細說明。

<第1實施形態>

圖1係表示第1實施形態之偏振光照射裝置1之概略之前視圖。偏振光照射裝置1例如使來自光源之光通過偏振膜而獲得偏振光，並將該偏振光照射至玻璃基板等(以下稱為對象物W)之被曝光面而生成液晶面板用配向膜等。以下，將對象物W之搬送方向設為y方向，將與搬送方向正交之方向設為x方向，將鉛垂方向設為z方向。

偏振光照射裝置1主要具有偏振光照射部10、平台20、及平台驅動部30。

偏振光照射部10向對象物W照射偏振光。關於偏振光照射 部10，將於下文進行詳細敍述。平台20係設置為可沿x方向及y方向移動。於平台20之上表面載置對象物W。平台驅動部30具有沿y方向延設之平台導軌31、及具有致動器等之驅動部32。驅動部32使平台20沿平台導軌31(即掃描方向)移動(參照圖1之粗箭頭)。又，驅動部32使平台20沿與掃描方向(y方向)大致正交之偏移方向(x方向)移動偏移量(將於下文進行詳細敍述)。平台驅動部30使平台20移動之構成已眾所周知，因此省略說明。

其次，對偏振光照射部10進行詳細說明。圖2係表示偏振光照射部10之概略之俯視圖。圖3係表示自側面觀察偏振光照射部10時之概略之主要部分透視圖。

偏振光照射部10主要具有光源11、特定波長透射濾光片12、偏振構件13、及反射器14(省略圖示)。再者，於圖2中，省略特定波長透射濾光片12及反射器14之圖示。

光源11包含複數個燈11x。燈11x係發光長度較短且為大致200mm之棒狀之燈，照射未偏振之光(例如紫外光)。作為燈11x，可使用高效率地發出光配向處理所需之短波長紫外光(例如254nm波長光)之長弧光燈。再者，於本發明中，設為燈11x整體發光，且燈11x之兩端為發光區域之端。

複數個燈11x係呈二維狀地排列。於圖2所示之例中，於光源中，燈11x於x方向上排列有13個，且於y方向上排列有4個，自-y側起依序具有A行、B行、C行、D行之4個光源行。再者，燈11x之數量並不限定於圖2所示之情形。光源11只要於x方向及y方向上均排列有2個 以上之燈11x即可。

燈11x係長度方向相對於y方向傾斜。關於燈11x之配置，將於下文進行詳細敍述。

於光源11之下側(-z側)、即燈11x與平台20之間，設置有特定波長透射濾光片12及偏振構件13。自燈11x照射之光係於反射器14反射，並通過特定波長透射濾光片12與偏振構件13(偏振片13x)而照射至對象物W(參照圖3)。

特定波長透射濾光片12係以僅使特定之波長範圍之光透射且吸收其他波長之光之方式製作的濾光片。特定波長透射濾光片12係於板狀玻璃(石英玻璃等)之透明基板上，形成有僅使特定之波長範圍之光透射的帶通濾光片之濾光片層。但，形成於透明基板上之濾光片並不限定於帶通濾光片，例如亦可為低截濾光片或反射濾光片。

偏振構件13具有複數個偏振片13x。作為偏振片13x，使用入射角度依存性較少之線柵偏振片。線柵偏振片係指於透明基板13a(參照圖3)之表面形成有金屬線13b(參照圖3)者。藉由將金屬線13b之間距設為入射之光之波長以下，而反射與金屬線13b之長度方向大致平行之偏振光成分，使與金屬線13b之長度方向大致正交之偏振光成分通過。金屬線13b例如由鋁形成。具體而言，偏振片13x係如圖3所示，金屬線13b之長度方向沿著y方向，使x方向之偏振光成分通過。再者，偏振片13x並不限定於線柵偏振片，可使用僅使任意方向之光透射之各種類型之偏振片。

複數個偏振片13x係呈二維狀排列。偏振片13x係使未偏振之光偏振者，設置於特定波長透射濾光片12與平台20之間。再者，偏振片 13x可針對每個燈11x各設置1個，亦可針對每個燈11x設置2個以上。於本實施形態中，偏振片13x係對於每個燈11x分別於y方向鄰接地設置有2個。關於偏振片13x之配置，將於下文進行詳細敍述。

其次，對燈11x之配置進行說明。圖4係偏振光照射部10之俯視圖，且係將偏振光照射部10局部放大之圖。

燈11x係長度方向相對於y方向傾斜。若將於y方向上鄰接之燈11x(例如圖4中之燈11x-1、11x-2)之間隔設為p，則燈11x之兩端於x方向上錯開p/n(n為1以上之整數)。又，燈11x-1之燈11x-2側之端與燈11x-2之燈11x-1側之端在x方向上之位置錯開p-p/n(n為1以上之整數)。

於本實施形態中，n(曝光次數)為1，若將n=1代入至上文所示之關係，則燈11x之兩端錯開p/1=p。又，燈11x-1之燈11x-2側之端與燈11x-2之燈11x-1側之端在x方向上之位置錯開p-p/1=0、即x方向上之位置一致。此處，若設為p=36mm，則燈11x之兩端在x方向上之位置分開36mm，θ=10.4度。

進而，若設為於光源11中，燈11x於y方向上排列有a(a為2以上之整數)個，則於同一行內鄰接之燈11x彼此在x方向上之間隔、即燈11x-1與燈11x-3在x方向上之間隔為p×a。於本實施形態中，a為4。因此，燈11x-1與燈11x-3在x方向上之間隔為p×4=4p。

其次，利用圖4對偏振片13x之配置進行說明。於圖4所示之例中，於燈11x-1，於y方向鄰接地設置有2個偏振片13x、即偏振片13x-1a、偏振片13x-1b。同樣地，於燈11x-2~11x-10，設置有偏振片13x-2a~13x-10a、偏振片13x-2b~13x-10b。

將設置於燈11x之複數個偏振片13x之對應之點連結的線之傾斜度與燈11x之傾斜度大致相同。於圖4所示之例中，將設置於燈11x-3之2個偏振片13x-3a、偏振片13x-3b之對應之點即角C1、角C2連結的線與y方向所成之角度為燈11x之傾斜度θ。

藉由以此種方式配置偏振片13x，而可防止自燈11x照射之光之外側之一部分被偏振片13x遮蔽而導致光量減少、即所謂暈邊。

於x方向上鄰接之偏振片13x彼此分別具有空隙。而且，存在於任意光源行之空隙在x方向上之位置與存在於其他光源行之空隙在x方向上之位置重疊。

於圖4所示之例中，於偏振片13x-1a、偏振片13x-1b與偏振片13x-3a、偏振片13x-3b之間，分別具有空隙S1、S2。於偏振片13x-2a、偏振片13x-2b與偏振片13x-4a、偏振片13x-4b之間，分別具有空隙S3、S4。於偏振片13x-5a、偏振片13x-5b與偏振片13x-6a、偏振片13x-6b之間，分別具有空隙S5、S6。於偏振片13x-7a、偏振片13x-7b與偏振片13x-8a、偏振片13x-8b之間，分別具有空隙S7、S8。於偏振片13x-6a、偏振片13x-6b與偏振片13x-9a、偏振片13x-9b之間，分別具有空隙S9、S10。於偏振片13x-8a、偏振片13x-8b與偏振片13x-10a、偏振片13x-10b之間，分別具有空隙S11、S12。再者，圖4中之虛線係用以對空隙S1~S12進行說明者，並非實際存在者。

而且，存在於A行之空隙S2與存在於B行之空隙S3、存在於B行之空隙S4與存在於C行之空隙S5、及存在於C行之空隙S6與存在於D行之空隙S7各者在x方向上之位置重疊。又，存在於A行之空隙 S1與存在於C行之空隙S10、及存在於A行之空隙S1與存在於D行之空隙S11、S12各者在x方向上之位置重疊。進而，存在於B行之空隙S3與存在於D行之空隙S12在x方向上之位置重疊。

藉此，可使偏振片13x之大小變小，又，可使鄰接之燈11x彼此在x方向上之間隔變小。

圖5係表示偏振光照射裝置1之電性構成之方塊圖。偏振光照射裝置1主要包含控制部101、記憶部102、輸入部103、輸出部104而構成。

控制部101係作為運算裝置之CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)等程式控制裝置，根據記憶部102中所儲存之程式而進行動作。關於控制部101之詳細動作內容，將於下文進行詳細敍述。

記憶部102為非揮發性記憶體、揮發性記憶體等，保持藉由控制部101而執行之程式等，並且作為控制部101之工作記憶體而進行動作。於記憶部102保持有偏移方向、偏移量(例如P/n)、曝光次數n等資訊。曝光次數n係裝置固有之數，於偏振光照射裝置1中，n=1。

輸入部103包含鍵盤或滑鼠等輸入裝置。於本實施形態中，自輸入部103輸入關於對象物W之資訊。輸出部104為顯示器等。

對偏振光照射裝置1之作用進行說明。於進行處理前，平台20位於圖1所示之初始位置。控制部101進行如下之曝光處理：一面自偏振光照射部10照射光，一面經由驅動部32而使平台20(即對象物W)沿作為掃描方向之y方向移動(1次掃描)，將自偏振光照射部10照射之光照射至對象物W之被曝光面而生成配向膜等。控制部101以記憶部102中所 記憶之曝光次數反覆進行曝光處理。於本實施形態中，由於n=1，故而當平台20往返一次時，控制部101結束對於1片對象物W之處理。

圖6係表示偏振光照射裝置1之曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。燈11x之兩端錯開p/1=p，燈11x-1與燈11x-2在x方向上之間隔為p，燈11x-1之燈11x-2側之端與燈11x-2之燈11x-1側之端在x方向上之位置一致。因此，於曝光時，對象物W之所有區域通過燈11x之下方。

根據本實施形態，於曝光時，對象物W之所有區域通過燈11x之下方，因此可使向對象物照射之累計光量均勻。

例如，於將較長之棒狀之燈沿x方向設置之情形時，難以自燈整體照射強度均勻之光，因此向對象物照射之累計光量產生不均。又，即便使用可自燈整體照射強度均勻之光之較短之棒狀之燈11x，於使用如圖13所示般燈11x之長度方向沿著y方向之偏振光照射部100之情形時，於通過燈11x之下方之部分與未通過燈11x之下方之部分之間，累計光量亦會產生不均。

與此相對，於本實施形態中，藉由將燈11x傾斜地設置，而使對象物W中不存在未通過燈11x之下方之區域，其結果，可使向對象物照射之累計光量均勻。

又，根據本實施形態，僅將燈11x傾斜地設置，無需旋轉機構等，因此可將偏振光照射裝置1設為簡單之構成。進而，可使偏振片13x變小而使偏振光照射裝置1小型化。

<第2實施形態>

本發明之第1實施形態使燈11x之兩端錯開p/1=p，且使燈11x-1之燈11x-2側之端與燈11x-2之燈11x-1側之端在x方向上之位置一致，藉此，於1次曝光中，使對象物W之所有區域通過燈11x之下方，但於曝光時使對象物W之所有區域通過燈11x之下方之形態並不限定於此。

第2實施形態係以複數次曝光使對象物W之所有區域通過燈11x之下方之形態。以下，對第2實施形態之偏振光照射裝置進行說明。第1實施形態之偏振光照射裝置1與第2實施形態之偏振光照射裝置2之差異僅在於偏振光照射部之構成，因此，以下，僅對第2實施形態之偏振光照射裝置2中之偏振光照射部10A進行說明，對於其他，省略圖示及說明。又，對與第1實施形態相同之部分標註相同符號並省略說明。

圖7係對偏振光照射部10A進行說明之圖。偏振光照射部10A主要具有光源11A、特定波長透射濾光片12(省略圖示)、偏振構件13A、及反射器14(省略圖示)。

光源11A包含複數個燈11x，偏振構件13A包含複數個偏振片13x。

於本實施形態中，n為2。若於光源11A中，將於y方向上鄰接之燈11x(例如圖7中之燈11x-21、11x-22)之間隔設為p，則燈11x之兩端於x方向上錯開p/n、即P/2。又，燈11x-21之燈11x-22側之端與燈11x-22之燈11x-21側之端在x方向上之位置錯開p-p/n、即P/2。此處，若設為p=48mm，則燈11x之兩端在x方向上之位置分開24mm，θ=6.9度。

進而，若設為於光源11A中，燈11x於y方向上排列有a(此處a為3)個，則於同一行內鄰接之燈11x彼此在x方向上之間隔、即燈11x-21 與燈11x-23在x方向上之間隔為p×a、即3p。

又，存在於某一光源行之空隙在x方向上之位置、與存在於其他光源行之空隙在x方向上之位置重疊。例如，存在於A行之空隙S22與存在於B行之空隙S23、及存在於B行之空隙S24與存在於C行之空隙S25各者在x方向上之位置重疊。又，存在於A行之空隙S21與存在於C行之空隙S26在x方向上之位置重疊。

對偏振光照射裝置2之作用進行說明。於本實施形態中，由於n=2，故而控制部101於對於1片對象物W之處理中，使平台20往返一次(2次掃描)。首先，控制部101進行如下之曝光處理：一面自偏振光照射部10照射光，一面經由驅動部32而使平台20(即對象物W)沿作為掃描方向之y方向移動(往返一次)，將自偏振光照射部10照射之光照射至對象物W之被曝光面而生成配向膜等。

其次，控制部101經由驅動部32而使平台20沿偏移方向移動偏移量。然後，控制部101與第1次同樣地使平台20沿y方向往返一次而進行曝光處理。

圖8係表示偏振光照射裝置2之第1次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。圖9係表示偏振光照射裝置2之第2次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。於圖8、9中，將於第1次曝光時被曝光之區域設為區域E，將於第2次曝光時被曝光之區域設為區域F，且分別以陰影表示。

燈11x-21與燈11x-22在x方向上之間隔為p，燈11x之兩端錯開p/2，燈11x-1之燈11x-2側之端與燈11x-2之燈11x-1側之端錯開p/2。 因此，於第2次曝光時，對象物W中在第1次曝光時未通過燈11x之下方之區域(此處為區域F)通過燈11x之下方。因此，對象物W之所有區域(此處為區域E、F)通過燈11x之下方。

根據本實施形態，於曝光時，對象物W之所有區域通過燈11x之下方，因此可使向對象物照射之累計光量均勻。再者，於本實施形態中，n為2，但n為2以上之整數即可。

<第3實施形態>

第3實施形態與第2實施形態同樣為以複數次曝光使對象物W之所有區域通過燈11x之下方之形態。以下，對第3實施形態之偏振光照射裝置進行說明。第1實施形態之偏振光照射裝置1與第3實施形態之偏振光照射裝置3之差異僅在於偏振光照射部之構成，因此，以下，僅對第3實施形態之偏振光照射裝置3中之偏振光照射部10B進行說明，對於其他，省略圖示及說明。又，對與第1實施形態或第2實施形態相同之部分標註相同符號，並省略說明。

圖10係對偏振光照射部10B進行說明之圖。偏振光照射部10B主要具有光源11B、特定波長透射濾光片12(省略圖示)、偏振構件13B、及反射器14(省略圖示)。

光源11B包含複數個燈11x，偏振構件13B包含複數個偏振片13x。於本實施形態中，n為2。若於光源11B中，將於y方向上鄰接之燈11x(例如圖7中之燈11x-31、11x-32)之間隔設為p，則燈11x之兩端於x方向上錯開p/n、即p/2。又，燈11x-21之燈11x-22側之端與燈11x-22之燈11x-21側之端在x方向上之位置錯開p-p/n、即p/2。此處，若設為p= 36mm，則燈11x之兩端在x方向上之位置分開18mm，θ=5.2度。

進而，若設為於光源11B中，燈11x於y方向上排列有a(此處a為4)個，則於同一行內鄰接之燈11x彼此在x方向上之間隔、即燈11x-1與燈11x-3在x方向上之間隔為p×a、即4p。

而且，存在於鄰接之光源行之空隙在x方向上之位置、與存在於相鄰第3行之光源行之空隙在x方向上之位置重疊。於圖10所示之例中，存在於A行之空隙S32與存在於B行之空隙S33、存在於B行之空隙S34與存在於C行之空隙S35、及存在於C行之空隙S36與存在於D行之空隙S37各者在x方向上之位置重疊。又，存在於A行之空隙S31與存在於D行之空隙S38在x方向上之位置重疊。

對偏振光照射裝置3之作用進行說明。於本實施形態中，由於n=2，故而控制部101與偏振光照射裝置2同樣地，於對於1片對象物W之處理中，使平台20往返一次。

圖11係表示偏振光照射裝置3之第1次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。圖12係表示偏振光照射裝置3之第2次曝光時之燈11x之位置與對象物W之位置關係的圖。於圖11、12中，將於第1次曝光時被曝光之區域設為區域G，將於第2次曝光時被曝光之區域設為區域H，且分別以陰影表示。於第2次曝光時，對象物W中在第1次曝光時未通過燈11x之下方之區域(此處為區域H)通過燈11x之下方。因此，對象物W之所有區域(此處為區域H、G)通過燈11x之下方。

根據本實施形態，於曝光時，對象物W之所有區域通過燈11x之下方，因此可使向對象物照射之累計光量均勻。

再者，於本實施形態中，存在於鄰接之光源行之空隙在x方向上之位置、與存在於相鄰第3行之光源行之空隙在x方向上之位置重疊，但存在於相鄰第2行之光源行之空隙在x方向上之位置不重疊。然而，只要至少存在於鄰接之光源行之空隙在x方向上之位置重疊，便可獲得使偏振片13x之大小變小而使鄰接之燈11x彼此在x方向上之間隔變小的效果。

以上，參照圖式對本發明之實施形態進行了詳細敍述，但具體構成並不限定於本實施形態，亦包含不脫離本發明之主旨之範圍內之設計變更等。

又，於本發明中，「大致」係不僅包含嚴格相同之情形，而且還包含不損失同一性之程度之誤差或變形的概念。例如，大致平行並不限定於嚴格平行之情形。又，例如於僅表述為平行、正交等之情形時，不僅包含嚴格平行、正交等情形，還包含大致平行、大致正交等情形。

10‧‧‧偏振光照射部

11x-1~11x-10‧‧‧燈

13x-1a~13x-10a、13x-1b~13x-10b‧‧‧偏振片

C1、C2‧‧‧角

p‧‧‧間隔

S1~S12‧‧‧空隙

θ‧‧‧傾斜度

Claims (3)

1. 一種偏振光照射裝置，其特徵在於，具備：平台，載置被照射偏振光之對象物；光源，具有長度方向相對於上述對象物之掃描方向傾斜地設置之複數個燈，且該複數個燈呈二維狀地排列；及偏振構件，係設置於上述光源與上述平台之間，且使自上述光源照射之光偏振；且若將上述複數個燈中於上述掃描方向上鄰接之第1燈與第2燈在與上述掃描方向大致正交之方向上之間隔設為P，則上述第1燈及上述第2燈之兩端在與上述掃描方向大致正交之方向上錯開P/n(n為1以上之整數)，上述第1燈之上述第2燈側之端與上述第2燈之上述第1燈側之端在與上述掃描方向大致正交之方向上錯開P-P/n(n為1以上之整數)，且若設為於上述光源中，上述燈在上述掃描方向上排列有a(a為2以上之整數)個，則上述第1燈與在與上述掃描方向大致正交之方向上鄰接於上述第1燈之第3燈的間隔為P×a。
2. 如申請專利範圍第1項之偏振光照射裝置，其中上述偏振構件具有呈二維狀排列之複數個偏振片，於上述燈設置有至少2個上述偏振片，且將設置於上述第1燈之第1偏振片與第2偏振片之對應之點連結的線之傾斜度與上述燈之傾斜度大致相同。
3. 如申請專利範圍第1或2項之偏振光照射裝置，其中於設置於上述第1燈之第1偏振片與設置於上述第3燈之第3偏振片之間具有第1空隙，於設置於上述第2燈之第1偏振片與設置於第4燈之第4偏振片之間具有第2空隙，上述第4燈於與上述掃描方向大致正交之方向上鄰接於上述第2燈，且上述第1空隙與上述第2空隙在與上述掃描方向正交之方向上之位置重疊。