TW201731752A - 帶狀體搬送裝置 - Google Patents

Abstract

一種搬送帶狀體(W)之帶狀體搬送裝置(1)，係具備：複數個非接觸導引部(2、3、4)，係繞掛有帶狀體之一部分，且以非接觸之方式支持帶狀體；以及驅動部(5、6、7)，從沿著供給至前述複數個非接觸導引部之前之前述帶狀體之表面之垂線的方向觀看時，以同一角度使前述複數個非接觸導引部中之至少二個非接觸導引部朝同一方向轉動。

Description

帶狀體搬送裝置

本發明係關於一種帶狀體搬送裝置。

本案係依據2016年3月4日在日本申請之特願2016-042696號主張優先權，在此援用其內容。

如專利文獻1所示，已知有一種具備非接觸式之轉向桿之搬送鋁製之帶狀之片料的搬送裝置。在該種搬送裝置中，藉由將流體從轉向桿噴出至片料，而以非接觸之方式支持片料。

專利文獻1之搬送裝置係為了容易且高精確度地調整被搬送之片料的中心位置，而於搬送片料時對準片料的中心，係具備變更轉向桿之位置的轉向桿調整手段。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本國特開2007-70084號公報

另外，對多重地捲繞帶狀體之捲筒體所送 出之帶狀體進行加工等時，加工位置之帶狀體的位置精確度至為重要。因此，加工位置之帶狀體的位置係固定在由規制手段等所預設之位置。另一方面，由於將帶狀體捲繞於捲筒體時之捲繞精確度，或將帶狀體搬送至加工位置時之帶狀體的位置偏離等，會造成比加工位置更上游側之帶狀體的位置搖晃之情形。結果，應力會局部地作用於帶狀體之途中部位，而會有帶狀體發生變形等之可能性。特別是，近年來有搬送極薄之可彎曲之由玻璃所構成之帶狀體的情形。此時，必須比以往更避免作用於帶狀體之應力。

為了防止此種帶狀體之變形等，在相對於帶狀體之加工位置等的下游側之部位，帶狀體之上游側的部位朝帶狀體之寬度方向平行地位移時，必須在不會對帶狀體施加應力之狀態下使帶狀體平行移動以解除變位。然而，在專利文獻1所揭示之搬送裝置中，完全未考慮固定帶狀體之下游側，且無法使帶狀體沿寬度方向平行移動。

本發明係鑑於上述之問題點而研創者，其目的在於：在以非接觸之方式支持並搬送帶狀體之帶狀體搬送裝置中，在不會對帶狀體施加應力之情況下，使帶狀體可沿寬度方向平行地移動。

本發明之一態樣之搬送帶狀體之帶狀體搬送裝置係具備：複數個非接觸導引部，係繞掛有前述帶狀體之一部分，且以非接觸之方式支持前述帶狀體；以及驅動部，從沿著供給至前述複數個非接觸導引部之前之前述 帶狀體之表面之垂線的方向觀看時，以同一角度使前述複數個非接觸導引部中之至少二個非接觸導引部朝同一方向轉動。

依據本發明，在以非接觸之方式支持並搬送帶狀體之帶狀體搬送裝置中，可在不對帶狀體施加應力之情況下，使帶狀體沿寬度方向平行移動。

1、1A‧‧‧帶狀體搬送裝置

2‧‧‧下游側轉向桿(非接觸支持部)

2a、3a、4a‧‧‧非接觸支持面

3‧‧‧上游側轉向桿(非接觸支持部)

4‧‧‧反轉轉向桿(非接觸支持部)

5‧‧‧下游側致動器(驅動部)

6‧‧‧上游側致動器(驅動部)

7‧‧‧反轉致動器(驅動部)

8‧‧‧下游側邊緣感測器

9‧‧‧上游側邊緣感測器

10‧‧‧控制部

10a‧‧‧目標值設定部

10b‧‧‧減算器

10c‧‧‧回授演算部

10d‧‧‧前饋演算部

10e‧‧‧加算器

20‧‧‧致動器

21‧‧‧連桿機構

La、Lb、Lc‧‧‧軸芯

W‧‧‧帶狀體

第1圖係示意顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的側面圖。

第2圖係示意顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的立體圖。

第3圖係從上方觀看本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置所具備之下游側轉向桿、上游側轉向桿及反轉轉向桿之示意圖。

第4圖係本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置中，僅藉由回授控制來進行控制時之控制系統圖。

第5圖係本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置中，除了回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。

第6圖係顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置的平行移動量與下游側轉向桿、上游側轉向桿及反轉轉向桿之轉動角度之關係的展開圖。

第7圖係示意顯示本發明第2實施形態之帶狀體搬送 裝置之概略構成的側視圖。

第8圖係示意顯示本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的立體圖。

第9圖係本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置中，僅藉由回授控制來進行控制時之控制系統圖。

第10圖係說明本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置之連桿機構之動作的示意圖。

第11圖係本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置中，除了進行回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。

以下，參照圖式說明本發明之帶狀體搬送裝置之一實施形態。

此外，在以下之圖式中，為了可辨識各構件之大小而適當地變更各構件之比例尺。

(第1實施形態)

第1圖係示意顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的側面圖。第2圖係示意顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的立體圖。此外，第1圖中係圖示了後述之下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯相對於帶狀體W之寬度方向設為平行的狀態。此外，第2圖中係圖示了下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯相對於帶狀體W之寬度方向傾斜的狀態。

如第1圖及第2圖所示，帶狀體搬送裝置1係具備：下游側轉向桿2(非接觸導引部)；上游側轉向桿3(非接觸導引部)；反轉轉向桿4(非接觸導引部)；下游側致動器5；上游側致動器6；反轉致動器7；下游側邊緣感測器8；上游側側邊緣感測器9；以及控制部10。此外，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，帶狀體W係從第1圖及第2圖之右側搬送至左側。亦即，在本實施形態中，如第1圖及第2圖之箭頭所示，第1圖及第2圖中之左方向係設為帶狀體W之主要的搬送方向。此外，將第1圖及第2圖中之右側設為搬送方向之上游側，將第1圖及第2圖中之左側設為搬送方向之下游側。惟，在帶狀體W朝主要之搬送方向搬送之期間，會變更帶狀體W之行進方向。

下游側轉向桿2係具有沿著中心角為90°之圓弧之周面的中空棒狀構件。下游側轉向桿2係配置在下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4中之帶狀體W之行進方向的最下游側。下游側轉向桿2係如第1圖所示，藉由未圖示之支持部，可移動地被支持成為下游側轉向桿2之軸芯La沿水平方向延伸且使下游側轉向桿2之周面朝向上游側轉向桿3側且朝向下側之姿態。在下游側轉向桿2之周面，設置有未圖示之複數個貫通孔，從未圖示之流體供給部供給至下游側轉向桿2之內部的流體係由貫通孔噴出。如此，從貫通孔噴射之流體朝帶狀體W噴射，藉以使帶狀體W以非接觸之方式支持在下游側轉向桿2。亦即，下游側轉向桿2之周面係作為以非接觸之方式支 持帶狀體W的非接觸支持面2a而發揮功能。

下游側轉向桿2係使從上方供給之帶狀體W的一部分沿著非接觸支持面2a而朝向第1圖中之順時針方向繞轉，藉此，以使帶狀體W之行進方向變更90°之方式導引帶狀體W。在本實施形態中，藉由下游側轉向桿2導引之帶狀體W係在到達下游側轉向桿2之前，以表背面成為垂直之姿態行進，而在通過下游側轉向桿2之後，以表背面成為水平之姿態行進。下游側轉向桿2係使帶狀體W之垂直方向之位置(亦即，帶狀體W之厚度方向的位置)對合於供給至上游側轉向桿3之前的位置。

上游側轉向桿3係與下游側轉向桿2同樣地，具有沿著中心角為90°之圓弧之周面的中空棒狀構件。上游側轉向桿3係配置在下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4中之帶狀體W的行進方向之最上游側。上游側轉向桿3係配置成與下游側轉向桿2相同之高度。上游側轉向桿3係藉由未圖示之支持部，可移動地被支持成為上游側轉向桿3之軸芯Lb與下游側轉向桿2之軸芯La平行。再者，上游側轉向桿3係配置成為上游側轉向桿3之周面朝向下游側轉向桿2側且朝向下側之姿態。在上游側轉向桿3之周面，與下游側轉向桿2之周面同樣地，設置有未圖示之複數個貫通孔，從未圖示之流體供給部供給至上游側轉向桿3之內部的流體係由貫通孔噴出。如此，從貫通孔噴射之流體朝帶狀體W噴射，藉以使帶狀體W以非接觸之方式支持在上游側轉向桿3。亦即，上游側轉 向桿3之周面係作為以非接觸之方式支持帶狀體W之非接觸支持面3a而發揮功能。

上游側轉向桿3係使從水平方向供給之帶狀體W的一部分沿著非接觸支持面3a而朝向第1圖中之順時針方向繞轉，藉此，以使帶狀體W之行進方向變更90°之方式導引帶狀體W。在本實施形態中，藉由上游側轉向桿3導引之帶狀體W係在到達上游側轉向桿3之前，以表背面成為水平之姿態行進，而在通過上游側轉向桿3之後，以表背面成為垂直之姿態行進。

反轉轉向桿4係從水平方向觀看時，配置在下游側轉向桿2與上游側轉向桿3之上方，從垂直方向觀看時，係配置在下游側轉向桿2與上游側轉向桿3之間。反轉轉向桿4係具有沿著中心角為180°之圓弧之周面的中空棒狀構件。反轉轉向桿4係藉由未圖示之支持部，可移動地被支持成為反轉轉向桿4之軸芯Lc與下游側轉向桿2之軸芯La及上游側轉向桿3之軸芯Lb平行。再者，反轉轉向桿4係配置成為使反轉轉向桿4之周面朝向上方。在反轉轉向桿4之周面，與下游側轉向桿2之周面及上游側轉向桿3之周面同樣地，設置有未圖示之複數個貫通孔，從未圖示之流體供給部供給至反轉轉向桿4之內部的流體係由貫通孔噴出。如此，從貫通孔噴射之流體朝帶狀體W噴射，藉以使帶狀體W以非接觸之方式支持在反轉轉向桿4。亦即，反轉轉向桿4之周面係作為以非接觸之方式支持帶狀體W之非接觸支持面4a而發揮功能。

反轉轉向桿4係使通過上游側轉向桿3而從下方供給之帶狀體W的一部分沿著非接觸支持面4a而朝向第1圖中之逆時針方向繞轉，藉此，以使帶狀體W之行進方向變更180°之方式導引帶狀體W。反轉轉向桿4係使藉由上游側轉向桿3而變更方向之帶狀體W的行進方向朝下游側轉向桿2反轉。在本實施形態中，藉由反轉轉向桿4導引之帶狀體W係在到達反轉轉向桿4之前及通過反轉轉向桿4之後，行進方向係反轉180°。

下游側致動器5係透過未圖示之傳達機構與下游側轉向桿2連接，使下游側轉向桿2轉動。第3圖係從上方(沿著供給至非接觸導引部之前之帶狀體之表面之垂線的方向)觀看下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之示意圖。在本實施形態中，下游側轉向桿2係藉由下游側致動器5，如第3圖所示，以位於沿著下游側轉向桿2之軸芯La的方向之中心位置O1作為中心，在水平面內轉動。

上游側致動器6係透過未圖示之傳達機構與上游側轉向桿3連接，使上游側轉向桿3轉動。在本實施形態中，上游側轉向桿3係藉由上游側致動器6，如第3圖所示，以位於沿著上游側轉向桿3之軸芯Lb的方向之中心位置O2作為中心，在水平面內轉動。

反轉致動器7係透過未圖示之傳達機構與反轉轉向桿4連接，使反轉轉向桿4轉動。在本實施形態中，反轉轉向桿4係藉由反轉致動器7，如第3圖所示， 以位於沿著反轉轉向桿4之軸芯Lc的方向之中心位置O3作為中心，在水平面內轉動。

在此，在本實施形態中，在控制部10的控制下，下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4係朝同一方向以同一角度轉動。亦即，如第3圖所示，在下游側轉向桿2朝順時針方向以轉動角度θ轉動時，上游側轉向桿3及反轉轉向桿4皆朝順時針方向以轉動角度θ轉動。

如此，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4係可轉動。此外，本實施形態之帶狀體搬送裝置1係具備：在控制部10的控制下，使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4朝同一方向以同一角度轉動之下游側致動器5、上游側致動器6、及反轉致動器7。在本實施形態中，本發明之驅動部係由下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7所構成。

下游側邊緣感測器8係配置在下游側轉向桿2之更下游側，檢測出通過下游側轉向桿2之帶狀體W之寬度方向的一方側(在本實施形態中為第1圖及第2圖之紙面的外側)之邊緣位置。上游側邊緣感測器9係配置在上游側轉向桿3之更上游側，檢測出到達上游側轉向桿3之前的帶狀體W之寬度方向的一方側(在本實施形態中為第1圖及第2圖之紙面的外側)的邊緣位置。下游側邊緣感測器8、上游側邊緣感測器9亦可採用例如雷射式之邊緣感 測器。下游側邊緣感測器8及上游側邊緣感測器9係與控制部10電性連接，將檢測結果輸出至控制部10。

控制部10係依據下游側邊緣感測器8及上游側邊緣感測器9之至少任一方的檢測結果，算出下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、與反轉轉向桿4之轉動角度θ，且依據轉動角度θ來控制下游側致動器5、上游側致動器6、及反轉致動器7。

第4圖係本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，僅藉由回授控制來進行控制時之控制系統圖。如第4圖所示，在僅藉由回授控制來進行控制時，控制部10係具備目標值設定部10a、減算器10b、及回授演算部10c。目標值設定部10a係設定通過下游側轉向桿2後之帶狀體W的邊緣位置(第1圖及第2圖之正前側之邊緣位置)的目標值。目標值設定部10a係將預先記憶之值或由外部輸入之值設定作為目標值。減算器10b係計算下游側邊緣感測器8之檢測結果與目標值之差分。回授演算部10c係依據由減算器10b所算出之下游側邊緣感測器8之檢測結果與目標值之差分來進行例如PID處理，算出下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4之轉動角度θ。

如此，依據由控制部10所算出之轉動角度θ，進行下游側致動器5、上游側致動器6、及反轉致動器7之控制，使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4轉動。

如此，當下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、 及反轉轉向桿4轉動時，首先，帶狀體W之寬度方向的一方邊緣及另一方邊緣側到達上游側轉向桿3之位置會不同。例如，如第3圖之一點鎖線所示，當上游側轉向桿3朝順時針方向轉動時，第1圖及第2圖之紙面的深入側的邊緣會比紙面的外側之邊緣更先到達上游側轉向桿3。因此，如第2圖所示，帶狀體W會沿著上游側轉向桿3扭曲成螺旋狀，且通過上游側轉向桿3後之帶狀體W的行進方向會相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之法線，朝向帶狀體W之寬度方向傾斜。如此，行進方向因上游側轉向桿3而傾斜之帶狀體W係因反轉轉向桿4而反轉行進方向，且在行進方向相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之法線傾斜之情形下，到達下游側轉向桿2。在下游側轉向桿2中，帶狀體W會朝與上游側轉向桿3相反之方向扭曲成螺旋狀，而解除帶狀體W之扭曲。在此，帶狀體W係從上游側轉向桿3到達下游側轉向桿2之期間，在相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之法線傾斜的狀態下行進。結果，通過下游側轉向桿2之後的帶狀體W之部位係相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之部位，沿寬度方向平行移動。

以此方式平行移動之帶狀體W的邊緣位置會再次在下游側邊緣感測器8被檢測出，藉由將該檢測結果輸入至控制部10，在本控制系統中，連續地進行回授控制。

第5圖係在本實施形態之帶狀體搬送裝置1 中，除了回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。如第5圖所示，除了回授控制之外亦進行前饋控制時，控制部10係除了具備目標值設定部10a、減算器10b、及回授演算部10c之外，亦具備前饋演算部10d、及加算器10e。

前饋演算部10d係依據下游側邊緣感測器8之檢測結果及上游側邊緣感測器9之檢測結果來算出轉動角度θ 1。在第5圖所示之構成中，例如依據由前饋演算部10d所算出之轉動角度θ 1，大致決定下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4之轉動角度θ(θ≒θ 1)，並以回授演算部10c所算出之轉動角度θ 2進行轉動角度θ之微修正。因此，在第5圖所示之構成中，以加算器10e進行前饋演算部10d所算出之轉動角度θ 1與回授演算部10c所算出之轉動角度θ 2的相加，藉此求出轉動角度θ。依據該控制，可比僅進行回授控制之情形更加提升反應性能。

在此，針對轉動角度θ之具體的計算方法加以說明。第6圖係顯示第2圖所示之本實施形態之帶狀體搬送裝置1中之寬度方向的平行移動量△h與下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之轉動角度θ之關係的展開圖。如第6圖所示，將下游側轉向桿2之軸芯La、上游側轉向桿3之軸芯Lb、反轉轉向桿4之軸芯Lc的轉動角度設為θ，將與供給至下游側轉向桿2之前的帶狀體W之一方側邊緣重疊的直線設為直線LA，將與供給至下游側轉向桿2之前的帶狀體W之另一方側邊緣重疊的 直線設為直線LB，將軸芯La與直線LA之交點設為點A，將軸芯Lb與直線LA之交點設為點B，將從軸芯La至軸芯Lb之路徑長度設為L時，平行移動量△h可如下式(1)來表示。此外，實用上，路徑長度L為例如數公尺時，由於平行移動量△h為例如數公厘，因此下式(1)之近似式可成立。

△h=y1-y2=L×cos θ×sin θ≒L×sin θ≒L×sin θ 1…(1)

因此，控制部10可依據下游側邊緣感測器8之檢測結果、上游側邊緣感測器9之檢測結果及目標值設定部10a所設定之目標值來求出△h，並且藉由採用下式(2)來算出轉動角度θ 1。此外，在下式(2)中，y1係顯示下游側邊緣感測器8之檢測結果，y2係顯示上游側邊緣感測器9之檢測結果。

θ 1=sin^-1(△h/L)=sin^-1((y1-y2)/L)…(2)

依據以上之本實施形態的帶狀體搬送裝置1，以非接觸之方式支持帶狀體W之下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4係朝同一方向以同一角度轉動。藉此，帶狀體W係能夠以螺旋狀繞掛在下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4，且可使通過下游側轉向桿2之帶狀體W的部位相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之部位，沿帶狀體W之寬度方向平行移動。因此，依據本發明，可在不對帶狀體W施加應力之情形 下，使帶狀體W沿寬度方向平行移動。

再者，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，利用棒狀之下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4來導引帶狀體W。因此，與利用非棒狀體之形狀的非接觸導引部來導引帶狀體W之情形相比較，可使非接觸導引部之形狀單純化，使裝置構成變得簡單。

再者，本實施形態之帶狀體搬送裝置1係具備下游側邊緣感測器8及上游側邊緣感測器9，且具備依據下游側邊緣感測器8與上游側邊緣感測器9之檢測結果來控制下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7的控制部10。因此，可將帶狀體W之位置自動且正確地進行調整。

(第2實施形態)

接著，針對本發明之第2實施形態，參照第7圖至第11圖加以說明。此外，在本實施形態之說明中，對於與上述第1實施形態相同之部分，省略或簡化其說明。

第7圖係示意顯示本實施形態之帶狀體搬送裝置1A之概略構成的側面圖。再者，第8圖係示意顯示本實施形態之帶狀體搬送裝置1A之概略構成的立體圖。此外，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，亦將帶狀體W從第7圖及第8圖之右側搬送至左側。亦即，在本實施形態中，如第7圖及第8圖之箭頭所示，將第7圖及第8圖中之左方向設為帶狀體W之主要搬送方向。再 者，將第7圖及第8圖中之右側設為搬送方向之上游側，將第7圖及第8圖中之左側設為搬送方向之下游側。

此外，在第7圖中係圖示了下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯係相對於帶狀體W之寬度方向設為平行之狀態。再者，在第8圖中係圖示了下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯相對於帶狀體W之寬度方向傾斜的狀態。

如該等圖所示，本實施形態之帶狀體搬送裝置1A並未具備第1實施形態之帶狀體搬送裝置1所具備之下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7，而是具備單一之致動器20。此外，本實施形態之帶狀體搬送裝置1A係具備將下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、反轉轉向桿4之各者與致動器20連接的連桿機構21。

致動器20係產生用以轉動下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之全部的動力。致動器20亦可採用例如直動式之致動器。連桿機構21係將由致動器20所生成之動力傳達至下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之各者，同時使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4轉動。藉由具備連桿機構21，無須對於下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之各者設置致動器，而可使裝置構成更簡單。

第9圖係本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，僅藉由回授控制來進行控制時之控制系統圖。 如第9圖所示，本實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，由於設置有單一之致動器20，因此回授演算部10c係算出致動器20之驅動量。例如，致動器20為直動式，且如第10圖所示，以使軸芯La轉動之方式與棒狀之連桿機構21之一端連接的情形下，將致動器20之驅動量設為x，將從致動器20與連桿機構21之連接部位至軸芯La之中心位置O1的距離設為d時，轉動角度θ與致動器20之驅動量x係可由下式(3)來表示。因此，回授演算部10c係例如依據式(3)來算出驅動量x。

θ=sin^-1(x/d)…(3)

第11圖係本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，除了回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。如第11圖所示，除了回授控制之外亦進行前饋控制時，前饋演算部10d係依據下游側邊緣感測器8之檢測結果及上游側邊緣感測器9之檢測結果，來算出致動器20之驅動量x1。在此，例如依據下式(4)，來算出驅動量x1。此外，式(4)係依據下式(5)、下式(6)、及式(3)而被導出。

x=d×(y1-y2)/L…(4)

△h=y1-y2=L×cos θ×sin θ≒Lsin θ…(5)

θ=sin^-1((y1-y2)/L)…(6)

再者，在第11圖所示之構成中，例如依據前饋演算部10d所算出之驅動量x1，大致決定致動器20之驅動量x，並依據回授演算部10c所算出之驅動量x2進行驅動量x之微修正。因此，在第11圖所示之構成中，加算器10e係進行前饋演算部10d所算出之驅動量x1與回授演算部10c所算出之驅動量x2的相加，藉此求出驅動量x。依據該控制，可使比僅進行回授控制之情形形更為提升反應性能。

依據以上之本實施形態的帶狀體搬送裝置1A，由於僅具備單一之致動器20，因此與具備下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7之情形相比較，可使控制單純化。

以上，一面參照圖式，一面針對本發明之較佳實施形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態。在上述之實施形態中所示之各構成構件的諸形狀或組合等係為一例，在不脫離本發明之主旨之範圍下，可依據設計要求等進行各種變更。

例如，上述實施形態中，具備下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4作為本發明之非接觸導引部。然而，本發明並不限定於此，亦可具備非棒狀之其他形狀的非接觸導引部。此時，所有的非接觸導引部不必為相同形狀。

再者，亦可省略反轉轉向桿4，而使下游側 轉向桿2與上游側轉向桿3沿高度方向位移而配置。此時，供給至上游側轉向桿3之前與通過下游側轉向桿2之後的帶狀體W之高度雖不同，但可使帶狀體W沿寬度方向平行移動。

再者，亦可具備2個或4個以上(複數個)非接觸導引部。此外，具備3個以上非接觸導引部時，無須使該等所有的非接觸導引部轉動，只要以同一角度使至少2個非接觸導引部朝同一方向轉動即可。在此情形下，藉由未轉動的非接觸導引部與帶狀體W之間隙距離會變化而容許帶狀體W之變形。例如，在上述第1實施形態中，不使反轉轉向桿4轉動，而使下游側轉向桿2及上游側轉向桿3轉動之情形下，藉由下游側轉向桿2及上游側轉向桿3導引之帶狀體W會在維持非接觸狀態下，局部地接近或遠離反轉轉向桿4。即使在此情形下，亦可確保帶狀體W以非接觸之方式支持在反轉轉向桿4之狀態。

此外，上述實施形態中係具備下游側邊緣感測器8及上游側邊緣感測器9。然而，若為可檢測帶狀體W之邊緣位置的感測器，感測器之配置部位及設置數並不限定在上述實施形態。

此外，上述實施形態中係藉由噴出流體而以非接觸之方式支持帶狀體W。然而，本發明並非限定於此，亦可藉由例如磁力或靜電力而非接觸地支持帶狀體W。

上述實施形態之帶狀體W亦可為例如由玻璃、陶瓷、或矽等的脆性材料所構成之帶狀體，或者，亦 可為有機材料等之薄膜。由玻璃所構成之帶狀體時，厚度例如可為0.2mm以下之極薄玻璃。

再者，上述實施形態中係針對帶狀體W之主要主搬送方向為水平方向之構成加以說明。然而，本發明並非限定於此，藉由使上述實施形態之裝置構成的全體傾斜等，亦可將帶狀體W之主要搬送方向設為水平方向以外之方向。

再者，上述實施形態中係針對使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4之全部轉動的構成加以說明。然而，本發明並限定於此，例如亦可僅使下游側轉向桿2及上游側轉向桿3轉動。

此外，上述實施形態中，控制部10係進行回授控制、或與回授控制並行地進行前饋控制。然而，本發明並非限定於此，控制部10亦可僅進行前饋控制。

(產業上之可利用性)

依據本發明，在以非接觸之方式支持帶狀體並同時進行搬送之帶狀體搬送裝置中，可在不對帶狀體施加應力之情況下沿寬度方向平行移動。

1‧‧‧帶狀體搬送裝置

2‧‧‧下游側轉向桿(非接觸支持部)

2a、3a、4a‧‧‧非接觸支持面

3‧‧‧上游側轉向桿(非接觸支持部)

4‧‧‧反轉轉向桿(非接觸支持部)

5‧‧‧下游側致動器(驅動部)

6‧‧‧上游側致動器(驅動部)

7‧‧‧反轉致動器(驅動部)

8‧‧‧下游側邊緣感測器

9‧‧‧上游側邊緣感測器

10‧‧‧控制部

La、Lb、Lc‧‧‧軸芯

W‧‧‧帶狀體

Claims (6)

1. 一種帶狀體搬送裝置，係搬送帶狀體，該帶狀體搬送裝置係具備：複數個非接觸導引部，係繞掛有前述帶狀體之一部分，且以非接觸之方式支持前述帶狀體；以及驅動部，從沿著供給至前述複數個非接觸導引部之前之前述帶狀體之表面之垂線的方向觀看時，以同一角度使前述複數個非接觸導引部中之至少二個非接觸導引部朝同一方向轉動。
2. 如申請專利範圍第1項所述之帶狀體搬送裝置，其中，前述複數個非接觸導引部係具備：上游側轉向桿，係配置在前述複數個非接觸導引部中之前述帶狀體之行進方向的最上游側，且變更前述帶狀體之行進方向；下游側轉向桿，係配置在前述複數個非接觸導引部中之前述帶狀體之行進方向的最下游側，且使前述帶狀體之厚度方向之位置對合於供給至前述上游側轉向桿之前的位置；以及反轉轉向桿，係使藉由前述上游側轉向桿而變更之前述帶狀體的行進方向朝前述下游側轉向桿反轉。
3. 如申請專利範圍第2項所述之帶狀體搬送裝置，其更具備：上游側邊緣感測器，係配置在比前述上游側轉向桿更上游側，檢測前述帶狀體之邊緣位置； 下游側邊緣感測器，係配置在比前述下游側轉向桿更下游側，檢測前述帶狀體之邊緣位置；以及控制部，依據前述上游側邊緣感測器之檢測結果及前述下游側邊緣感測器之檢測結果的至少一個結果來控制前述驅動部。
4. 如申請專利範圍第1項所述之帶狀體搬送裝置，其中，前述驅動部係具備：致動器；以及連桿機構，係將前述致動器所產生之動力傳達至前述至少2個非接觸導引部。
5. 如申請專利範圍第2項所述之帶狀體搬送裝置，其中，前述驅動部係具備：致動器；以及連桿機構，係將前述致動器所產生之動力傳達至前述至少2個非接觸導引部。
6. 如申請專利範圍第3項所述之帶狀體搬送裝置，其中，前述驅動部係具備：致動器；以及連桿機構，係將前述致動器所產生之動力傳達至前述至少2個非接觸導引部。