TW201730081A - 拾取裝置及電子零件搬送裝置 - Google Patents

Abstract

在從保持手段拉出配線所形成的拾取裝置、或者具備該拾取裝置的電子零件裝置搬送裝置中，兼顧高速搬送與裝置可靠性的提升。2台拾取頭(51a、51b)，彼此180度對向配置，在第1停止點面向收容體並保持電子零件，在第2停止點面向搬送路徑(1a)並解除電子零件的保持。旋轉工作台(511)，將與工作台平面直交的工作台中心作為軸，逐次以180度進行往復旋轉，使2台拾取頭(51a、51b)以雙方的中間位置作為中心而逐次以180度形成往復旋轉，進而使2台拾取頭(51a、51b)的場所交互地切換至前述的第1停止點與前述第2停止點。將2台拾取頭(51a、51b)作為終點的配線，在抵達固定端為止的途中，不具滑動接點。

Description

拾取裝置及電子零件搬送裝置

本發明關於：從收容體取出電子零件並朝搬送路徑供給的拾取裝置；及具備該拾取裝置，可於搬送電子零件的同時，實施預定處理的電子零件搬送裝置。

電子零件，經過「接受電氣特性和外觀等的各種檢查，根據品質而分類，並重新包裝」的後置製程(post-process)。電子零件搬送裝置，是擔任後置製程的製造裝置，形成有搬送路徑，並將用來實施各種檢查、分類或者包裝的處理單元配置於搬送路徑。然後，電子零件搬送裝置，使電子零件沿著搬送路徑移動，並在各種處理單元對電子零件實施處理。

該種電子零件搬送裝置，具備用來收納「形成電子零件之搬送路徑的搬送單元」與電子零件的收納單元，從收納單元將電子零件取出並使其移動於搬送路徑上。但是，在搬送單元與收容單元之間有必要保持間隔，在搬送單元與收納單元無法直接收送電子零件的場合中，在搬送單元與收納單元之間配置拾取裝置。

拾取裝置，是在收容單元與搬送單元之間執行電子零件之收送的裝置。拾取裝置，具備電子零件的保持手段。保持手段，面向收容單元並拾取電子零件，使電子零件朝向搬送單元下降(落下)。傳統上，存有一種：具有1台保持手段，並使該1台保持手段往復移動的拾取裝置。該種拾取裝置，使1台保持手段朝一方向移動而因迎向收容單元，並使該1台保持手段朝相反方向移動而迎向搬送單元。此外，存有一種：以90度的間隔配置4台保持手段，並使該4台保持手段持續朝單一方向轉動360度的拾取裝置。

在具有1台保持手段的拾取裝置中，利用一方向的移動，將1個電子零件從收容單元搬送至搬送單元。相反方向的移動，形成使空的保持手段回到收容單元的處理，該期間不會有電子零件的移動。亦即，該拾取裝置，每朝向搬送單元往復共2次的移動才能執行1次電子零件的供給，缺乏大量搬送性。相對於此，在「以90度的間隔配置4個保持手段」的拾取裝置中，由於每1次轉動90度可供給1個電子零件，因此具有大量搬送性。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]：日本特開2003-209393號公報

[專利文獻2]：日本特開2009-170791號公報

在「以90度的間隔配置4個保持手段」的拾取裝置中，無法反覆執行「順時針方向與逆時針方向」的往復運動，必須朝單一方向360度轉動。拾取裝置，為了達成保持手段的功能，必須將各種配線連接於保持手段。舉例來說，在保持手段為吸附夾頭的場合中，必須將用來供給負壓的壓力配線連接於保持手段。此外，為了對搬送單元和收容單元接送電子零件，在對保持手段設置有「能自力前進及後退之致動器」的場合中，必須將「促使致動器作動的電氣配線」拉入保持手段。

保持手段的相反端，必須連接負壓產生源、或者電源及控制裝置。由於無法使負壓產生源、或者電源及控制裝置配合保持手段而轉動，故從保持手段延伸的配線在某處成為固定端。因為這緣故，一旦以90度的間隔所配置的4個保持手段朝一方向持續轉動360度，壓力配線和電氣配線將捲繞於旋轉體，最糟的狀況將導致斷線。

為了解決該問題，傳統上，利用滑動接點連接於配線的旋轉體與固定端之間，或者不採用吸附夾頭，而是採用靜電夾頭之類的其他保持手段，在外部設置致動器而被動地驅動保持手段。

在「於壓力配線設置滑動接點」的場合中，可列舉出以下的構造。亦即，使雙層構造的滑動接點介存於配線的途中。雙層構造的滑動接點，是將圓筒狀的分歧裝 置作為核心，並將環狀容器嵌入外殼所構成。分歧裝置，譬如從負壓產生源將壓力配管引入一平面，並在圓周面具有複數個開口。分歧裝置持續由負壓產生源作用負壓，且為不動的物體。

另外，環狀容器，與分歧裝置形成同心圓狀並旋轉，使其內周面與分歧裝置的外周面滑動接合。該環狀容器，其複數個貫穿孔是從內周面到外周面以複數個形成放射狀。在貫穿孔的外周面開口連接著管，且該管連接於保持手段。在這樣的滑動接點中，當形成於分歧裝置外周面的開口、與環狀容器的貫穿孔形成一致時，負壓產生源、壓力配管、分歧裝置、環狀容器、管及保持手段全部連通，而朝保持手段供給負壓。

倘若將管連接於不動的物體，亦即連接於分歧裝置，以90度的間隔配置4個保持手段並使其轉動360度的拾取裝置，將導致管纏繞，但只要採用上述的滑動接點，管便不會捲繞。此外，預先將「用來遮斷負壓的電磁閥」設置於分歧裝置的話，用來朝電磁閥傳送控制訊號的電氣配線便不會纏繞。然而，倘若是「採用該滑動接點」的方式，由於無法持續地對保持手段供給負壓，而使在保持手段所產生的吸引力變弱。因為這個緣故，將電子零件從收容單元搬送至供給單元期間，恐有導致電子零件脫落的疑慮。

在「於電氣配線設置滑動接點」的場合中，可列舉出以下的構造。亦即，使不動的電極與刷狀的電極介 存於配線的途中。從保持手段的致動器所導出的配線部分，連接於刷狀的電極。只要配合保持手段的動作使刷狀的電極在不動的電極上滑動，即使是「以90度的間隔配置4個保持手段並使其轉動360度的拾取裝置」，電氣配線也不會纏繞。然而，倘若是採用該滑動接點的方式，不動的電極與刷狀的電極將因為滑動而導致磨耗，進而產生更換的必要，最糟的狀況，將因為接觸不良而導致保持手段無法運作。

本發明是為了解決上述的問題點所提出的發明，本發明的目的在於：在從保持手段導出配線所形成的拾取裝置、或者具備該拾取裝置的電子零件搬送裝置中，兼顧高速搬送及裝置可靠性的提升。

本發明的拾取裝置，是從收容體取出電子零件並朝搬送路徑供給的拾取裝置，其特徵為具備：2台保持手段、旋轉工作台及配線，該2台保持手段，180度相對配置，在第1停止點與收容體相對向並保持電子零件，在第2停止點與搬送路徑相對向並解除電子零件的保持，該旋轉工作台，使前述2台保持手段以雙方的中間位置作為中心並逐次以180度地往復旋轉，而使前述2台保持手段的位置交互地切換至前述第1停止點與前述第2停止點，該配線的其中一端成為固定端，另一端連接於前述保持手段，且其間不具滑動接點。

亦可形成：前述保持手段，是被供給負壓而藉由吸引力來保持電子零件的吸附夾頭，前述配線為壓力配線。

亦可形成：具備持續作用負壓之不動的分歧裝置，前述配線，是固定端直接連接於前述分歧裝置的管。

亦可形成：具備持續作用負壓的分歧裝置，前述配線，包含前述分歧裝置，從前述保持手段經由前述分歧裝置拉出，並被固定在拉出的目的地。

亦可形成：前述保持手段具有：用來保持電子零件的保持部；及被搭載於該保持手段，促使該保持部前進及反向後退的音圈馬達，前述配線，是對前述音圈馬達供給控制訊號或者電力的電氣配線。

亦可形成：更進一步具備平行移動手段，該平行移動手段促使前述旋轉工作台沿著前述收容體之電子零件的排列平面平行移動，而往復於「前述收容體的電子零件、與其中一個前述保持手段之間的位置對齊」的前述第1停止點、與「前述搬送路徑之電子零件收授場所、與另一個前述保持手段之間的位置對齊」的前述第2停止點之間。

亦可形成：更進一步具備電子零件的位置偵測手段，該電子零件的位置偵測手段是用來偵測前述第1停止點之前述排列平面上的位置。

此外，本發明為電子零件搬送裝置，其特徵 為具備：用來搭載前述收容體的收容單元、形成前述搬送路徑的搬送單元、被配置於前述收容單元與前述搬送單元之間的前述拾取裝置。

根據本發明，由於能以180度的往復旋轉形成電子零件的傳送，不會有配線不良的情形，可兼顧電子零件的高速搬送、及裝置可靠性的提升。

1‧‧‧電子零件搬送裝置

1a‧‧‧搬送路徑

2‧‧‧台(pedestal)

21‧‧‧軌道

22‧‧‧控制裝置

3‧‧‧搬送單元

31‧‧‧旋轉工作台

32‧‧‧直驅馬達(Direct drive motor)

33‧‧‧吸附噴嘴

4‧‧‧晶圓環承座(wafer ring holder)

41‧‧‧環插入部

42‧‧‧環移動機構

43‧‧‧環旋轉機構

44‧‧‧上推銷(push-up pin)

5‧‧‧拾取裝置

51a、51b‧‧‧拾取頭

51c‧‧‧菱鏡

511‧‧‧旋轉工作台

512‧‧‧噴嘴部

512a、512b‧‧‧端子

513‧‧‧筒夾(collet)

514‧‧‧音圈馬達(voice coil rmotor)

514a‧‧‧電氣配線(electrical wiring)

515‧‧‧底座(base frame)

52‧‧‧直驅馬達

53‧‧‧零件位置偵測部

54‧‧‧拾取頭平行移動機構

6‧‧‧外觀檢查單元

61‧‧‧單元框體

611‧‧‧立柱框架

62‧‧‧照相機

63‧‧‧菱鏡

64‧‧‧環狀照明

65‧‧‧滑件(slider)

7‧‧‧捲帶單元(taping unit)

71‧‧‧行走溝

72‧‧‧收納作業位置

73‧‧‧單元框體

731‧‧‧立柱框架

8‧‧‧進退驅動裝置

81‧‧‧桿

91‧‧‧負壓產生源

92‧‧‧分歧裝置

921‧‧‧壓力配管

922a‧‧‧第1分配通路

922b‧‧‧第2分配通路

923‧‧‧電磁閥

923a‧‧‧電氣配線

93a、93b‧‧‧管

第1圖：是顯示電子零件搬送裝置1之全體構造的側視圖。

第2圖：是顯示晶圓環承座之構造的立體圖。

第3圖：是顯示拾取裝置之構造的立體圖。

第4圖：是顯示拾取頭之構造的立體圖。

第5圖：是顯示對拾取頭之配線的塊狀圖。

第6圖：是顯示搬送單元之構造的側視圖。

第7圖：是顯示搬送單元之構造的俯視圖。

第8圖：是顯示外觀檢查單元之構造的立體圖。

第9圖：是顯示捲帶單元之構造的立體圖。

第10圖：是顯示拾取頭之動作的示意圖。

(整體構造)

以下，針對本實施形態的電子零件搬送裝置1，參考圖面進行詳細地說明。第1圖所示的電子零件搬送裝置1，搬送電子零件的同時實施特定處理。電子零件，是電氣製品所使用的零件，是由半導體元件等封裝形成，就半導體元件而言，可列舉出：電晶體、二極體、電容、電阻之類的離散半導體；和積體電路等。

該電子零件搬送裝置1具備：搬送單元3、晶圓環承座4、拾取裝置5、外觀檢查單元6、及捲帶單元7。在台2的上面載置有：搬送單元3、外觀檢查單元6及捲帶單元7，與台2的平面保持平行地將晶圓環承座4橫置配置在台2的下方。台2的局部被切開，拾取裝置5朝台2的上下突出而被設置於缺口部分。

晶圓環承座4，是用來收容執行外觀檢查之電子零件的收容單元的其中一例。晶圓環承座4搭載著由晶圓環所形成的收容體。拾取裝置5從晶圓環承座4拾取(pick-up)欲搬送的電子零件並傳遞至搬送單元3。搬送單元3，在其周圍形成環狀且一定高度的搬送路徑1a，使電子零件沿著搬送路徑1a移動。拾取裝置5被配置在搬送路徑1a之其中一處的正下方，晶圓環承座4在拾取裝置5的正下方，沿著與搬送路徑1a保持平行地擴展的平面橫置。

捲帶單元7被配置在搬送路徑1a之其中一處 的正下方。捲帶單元7與拾取裝置5分離配置。該捲帶單元7，將經外觀檢查的電子零件收容於載帶。外觀檢查單元6，是用來實施特定處理之處理單元的其中一例，用來檢查電子零件的外觀。被配置在拾取裝置5與捲帶單元7間之搬送路徑1a上其中一處的正下方。

(晶圓環承座)

晶圓環承座4的詳細構造顯示於第2圖。晶圓環承座4，將晶圓環水平放置並予以保持，使晶圓環在與水平面平行的狀態下朝向「彼此直交的2個方向」移動，藉此使預定拾取的電子零件位於拾取裝置5的正下方。晶圓環，是將貼有「經裁剪的晶圓」的薄片張貼成環狀所形成，將單獨的電子零件排列成矩陣狀。

該晶圓環承座4具備：可供晶圓環水平地插入的環插入部41；和促使環插入部41水平移動的環移動機構42；和使環插入部41以「與水平面直交的縱軸」作為中心而旋轉的環旋轉機構43；及被定點設置，從晶圓環的背面側將電子零件向上頂起的上推銷44。

環插入部41，是由水平延伸的2張同心圓板41a、41b所構成。其中一個同心圓板41a與另一個同心圓板41b，設有間隙部41c並疊合。將晶圓環插入間隙部41c。被設在同心圓板41a、41b中心的孔，包圍整個被插入環插入部41的晶圓環。

環移動機構42具有：從下層側之同心圓板 41a的背面將其固定之更下層的支承板42a；及被固設於支承板42a背面的軌道42b、42c。在支承板42a的中心也設有：包圍整個被插入環插入部41之晶圓環的孔。軌道42b朝向「與水平面平行」的1個軸方向延伸，軌道42c朝向「與水平面平行，且與軌道42b直交」的第2個軸方向延伸。一旦支承板42a沿著軌道42b、42c滑動，被固定於支承板42a的環插入部41將沿著水平面形成2維移動(two-dimensional moving)。

環旋轉機構43具備：被固定於環插入部41的正時帶輪(Timing pulley)43a、和捲繞於正時帶輪43a的皮帶43b、及促使皮帶43b行走的馬達43c。正時帶輪43a，具有與環插入部41呈同心圓的環狀，並於外周捲附有皮帶43b。該環旋轉機構43，藉由使馬達43c旋轉，而促使皮帶43b行走，並伴隨著皮帶43b的行走而令正時帶輪43a旋轉。環插入部21連動於正時帶輪43a的旋轉而旋轉。

上推銷44，是由「作為內殼，越朝前端越尖的銷」與「作為外殼，用來收容該銷的筒」所構成的2層(雙層)結構構件，且朝向環插入部41的孔突出。該上推銷44形成：銷可從筒前進及後退。一旦藉由驅動機構使銷前進，上推銷44將伸長直到將「晶圓環之薄片上的一點」頂起(上推)為止。

環移動機構42，在被上推銷44所頂起(上推)的位置促使電子零件移動，環插入部41修正「被上推銷 44所頂起(上推)之電子零件」的方向。上推銷44，藉由將電子零件上推，將「與鄰接的電子零件之間的切割線」撐開(擴開)，而易於執行電子零件的拾取。

(拾取裝置)

拾取裝置5的詳細構造顯示於第3圖。拾取裝置5具備：一對拾取頭51a、51b，從晶圓環承座4收取電子零件並將其遞送至搬送單元3；和直驅馬達52，使拾取頭51a、51b依序面向晶圓環承座4與搬送單元3；和零件位置偵測部53，用來偵測預定拾取之電子零件的位置偏移；及拾取頭平行移動機構54，促使拾取頭51a或51b的位置與電子零件的位置一致。

拾取頭51a、51b，是利用吸引來保持電子零件的吸附夾頭，為保持手段的一例。拾取頭51a、51b，朝向180度的正反方向(意指：間隔180度且彼此相對向)，並被支承於同一個旋轉工作台511的平面上。拾取頭51a、51b的軸延長線，雙方一起通過旋轉工作台511的中心，拾取頭51a、51b，將從旋轉工作台511的中心以相等距離分離的位置作為基端，朝向旋轉工作台511的半徑方向外側突出。拾取頭51a、51b的全長相同。亦即，拾取頭51a、51b的前端，位在與旋轉工作台511呈同心圓的同一個軌道上。

旋轉工作台511，將與工作台平面直交的工作台中心作為軸，藉由直驅馬達52間歇地以180度反覆地 正轉與逆轉。該旋轉工作台511，具有直交於「搬送路徑1a及晶圓環承座4之擴張的平面」的平面。亦即，含有拾取頭51a、51b的旋轉工作台511被縱向配置。

拾取頭51a、51b間歇地切換位置，拾取頭51a、51b在「朝向正上方的第1停止點」與「朝向正下方的第2停止點」停止。朝向正下方的拾取頭51a或51b，隔著晶圓環的電子零件面向晶圓環承座4的上推銷44，執行「被上推銷44鎖上推之電子零件」的接收並予以保持。朝向正上方的拾取頭51a或51b，面向「形成搬送單元3之搬送路徑1a上的一點」，將「從晶圓環承座4取出的電子零件」朝搬送單元3遞送。

零件位置偵測部53，偵測「預定拾取之電子零件所在的晶圓環承座4上的位置」。該零件位置偵測部53，具備菱鏡51c及照相機51d。菱鏡51c被安裝在旋轉工作台511之平面上的中心。菱鏡51c，使與旋轉工作台511的中心軸呈同軸的光徑朝正下方彎曲(折射)。照相機51d被配置於該光徑上。照相機51d拍攝以下的位置：位在「朝向正下方之拾取頭51a或51b的延長線上」的晶圓環上之電子零件的位置。藉由照相機51d的攝像結果，得以解析「預定拾取的電子零件」與「朝向正下方的拾取頭51a或51b」的位置關係。

拾取頭平行移動機構54，使拾取頭51a、51b與旋轉工作台511一起沿著「與晶圓環承座4擴張的平面呈平行的第1軸(X軸)」及「與該第1軸直交的第2軸(Y軸) 」平行移動。晶圓環承座4擴張的平面，是指排列著電子零件的排列平面。該拾取頭平行移動機構54具備：朝X軸方向延伸的滾珠螺桿機構54x、及朝Y軸方向延伸的滾珠螺桿機構54y。

滾珠螺桿機構54x與滾珠螺桿機構54y，分別是由馬達；和加工形成螺紋並藉由馬達而形成軸旋轉的軸；及與軸螺合且支承旋轉工作台511的滑件所構成，滾珠螺桿機構54x的軸朝X軸方向延伸，滾珠螺桿機構54y的軸朝Y軸方向延伸。藉由軸伴隨著馬達的旋轉所產生的旋轉，使滑件沿著軸移動，藉此使拾取頭51a、51b朝X軸方向及Y軸方向移動。

更進一步詳細地說明拾取頭51a、51b。第4圖，是顯示拾取頭51a之詳細構造的立體圖。拾取頭51b與拾取頭51a的構造相同，省略其詳細說明。拾取頭51a，是將「前端形成開口的中空管，亦即噴嘴部512」作為本體。噴嘴部512，其旋轉工作台511之半徑方向的外側形成開口。在噴嘴部512的前端，為了減緩對電子零件的荷重，嵌入有筒夾513。藉由對噴嘴部512作用負壓，而利用吸引力保持電子零件。藉由遮斷朝拾取頭51a、51b作用的負壓，使電子零件脫離。

此外，拾取頭51a，朝向旋轉工作台511的半徑方向外側伸長，且朝向旋轉工作台511的半徑方向中心側縮回。該拾取頭51a，自備用於伸長及縮回的致動器，而能自力驅動。換言之，拾取頭51a，其頭部前端的相反 側端部，成為音圈馬達514。具體地說，噴嘴部512被固定於音圈馬達514的可動部。可動部，譬如是可動線圈(moving coil)型的線圈捲線軸(bobbin)。

音圈馬達514，經由底座515被固定於旋轉工作台511的平面。拾取頭51a，一旦音圈馬達514作動，將伴隨著可動部的前進而朝旋轉工作台511的半徑方向外側伸長，並伴隨著可動部的後退，朝旋轉工作台511的半徑方向中心側縮回。

第5圖，是顯示拾取頭51a、51b之配線的示意圖。如第5圖所示，拾取裝置5具備：將與負壓產生源91連接的壓力配管921分歧成2個通路922a、922b的分歧裝置92。在分配通路922a、922b的通路途中，存有電磁閥923。負壓產生源91，譬如是被收容於支架內部，並以台2作為上(表)面的真空泵。壓力配管921，通過直驅馬達52的旋轉軸內，與負壓產生源91連接。

在分歧裝置92，經由壓力配管921由負壓產生源91持續地供給負壓。在分歧裝置92的第1分配通路922a，直接連接著管93a，在分歧裝置92的第2分配通路922b，直接連接著管93b。管93a的另一端連接於拾取頭51a，管93b的另一端連接於拾取頭51b。因此，只要開啟電磁閥923，將在拾取頭51a、51b持續產生負壓。

相對於本身是旋轉體的拾取頭51a、拾取頭51b及旋轉工作台511，該分歧裝置92為不動體。這是為了可供「促使電磁閥923作動的電氣配線923a」的捲繞。 換言之，管93a及管93b，是將不動體亦即分歧裝置92作為固定端，另一端則與旋轉體，亦即拾取頭51a及拾取頭51b無滑動點地連接。

此外，從音圈馬達514拉出電氣配線514a，並與控制裝置22連接。控制裝置22是由電腦與電源所構成，經由電氣配線514a對音圈馬達514執行控制訊號的輸入及供電。控制裝置22，被收容於以台2作為上(表)面的支架內，統合地控制電子零件搬送裝置1。該電氣配線514a，通過直驅馬達52的旋轉軸內，並在到達控制裝置22的途中，由拉桿(stay)等所固定。亦即，電氣配線514a，從本身為旋轉體的音圈馬達514拉出，直到被拉桿等所固定的固定端之間，不存在滑動接點。

(搬送單元)

搬送單元3的詳細構造顯示於第6圖及第7圖。搬送單元3，具備旋轉工作台31、直驅馬達32及吸附噴嘴33。旋轉工作台31，是從圓盤形狀或者星型形狀等的中心在同一平面上擴展成放射狀，並具有從中心到各外緣之距離相等的圓形包絡線(envelope)。該旋轉工作台31，圓中心是由直驅馬達32的旋轉軸所軸支承，並經由直驅馬達32而設置於台2。在旋轉工作台31的外周側與台2之間形成有間隙。該旋轉工作台31，是藉由直驅馬達32而在圓周方向上間歇旋轉。

吸附噴嘴33，是藉由吸引電子零件而加以保 持的保持手段，並在旋轉工作台31的緣部，於圓周上等距的配置位置被支承成可升降。在本實施形態中，旋轉工作台31具有「臂31a沿著半徑方向延伸成放射狀」的星型形狀，臂31a在圓周上等距的配置位置延伸。吸附噴嘴33被支承於臂31a的前端，與「旋轉工作台31的擴展平面」呈垂直狀地延伸，從旋轉工作台31朝下方下垂。

具體地說，在臂31a的前端具備導軌31b。導軌31b，與「旋轉工作台31的擴展平面」呈垂直狀地延伸。吸附噴嘴33，握持著該導軌31b，而形成可升降。此外，與導軌31b平行地設有螺旋彈簧31c，將吸附噴嘴33朝上方彈推。

吸附噴嘴33具備內部中空的管形狀，其下端開口形成吸引口33b。吸附噴嘴33的中空內部與負壓產生源91連通，在吸附噴嘴33產生負壓，而形成可在吸引口33b以吸引力保持電子零件。此外，在通往吸附噴嘴33的通路配置有電磁閥，藉由關閉電磁閥而破壞真空狀態，促使電子零件脫離。

在該搬送單元3中，旋轉工作台31之每1節距的旋轉角度、與相鄰的吸附噴嘴33所形成的角度為相同。吸附噴嘴33，從旋轉工作台32的圓中心起，位在相等距離處。因此，各吸附噴嘴33，沿著相同的軌跡，並在相同的位置停止。藉由吸附噴嘴33的間歇旋轉，吸附噴嘴33之吸引部33b所行進的軌跡，成為電子零件的搬送路徑1a。朝向拾取裝置5的正上方方向之拾取頭51a、 51b的位置；外觀檢查單元6的設置位置及捲帶單元7的設置位置，被調整成位在吸附噴嘴33之任何一個停止位置的正下方。

(外觀檢查單元)

外觀檢查單元6的詳細構造顯示於第8圖。在單元框體61搭載著照相機62、菱鏡63、環狀照明64及進退驅動裝置8所形成。菱鏡63、環狀照明64及進退驅動裝置8，在外觀檢查單元6的前方側，使其高度不同地設置成在俯視視角中的相同位置。依據從下而上的順序配置菱鏡63、環狀照明64、進退驅動裝置8。詳細地說，在單元框體61，較環狀照明64的位置更朝高度方向(更往上方)延伸地延伸設置有立柱框架611，在該立柱框架611的上端部支承著進退驅動裝置8。

照相機62透過菱鏡63進行攝像。菱鏡63，使光軸朝向照相機62彎折(折射)。環狀照明64，是在由聚矽氧等透明構件所形成的環內部將LED等發光元件配置成環狀所構成，使光集中於環上方且集中於環的中心軸。進退驅動裝置8，具備可相對於本體前進及後退的桿81，並以桿81的前端按壓物體。舉例來說，進退驅動裝置8具備馬達與圓筒凸輪，桿81從動於圓筒凸輪的凸輪面，圓筒凸輪將馬達的旋轉力轉換成直線推力，桿81作為凸輪從動件並採「從圓筒凸輪中心分離」的方式前進。

菱鏡63、進退驅動裝置8及環狀照明64，被 配置成：使「由菱鏡63朝向照相機62折射之前的光軸」、「進退驅動裝置8之桿81的軸線」、「環狀照明64的中心軸」成為共通軸，外觀檢查單元6被配置成：使在外觀檢查單元6的設置點停止之吸附噴嘴33的軸線、與該共通軸形成一致。

立柱框架611，相較於菱鏡63、進退驅動裝置8及環狀照明64的列，被豎立設置於外觀檢查單元6的後方側，進退驅動裝置8與環狀照明64之間的空間，除了外觀檢查單元6的後方之外，朝向外觀檢查單元6的前方側及兩側開放。因此，立柱框架611，不會對吸附噴嘴33的移動造成物理性的阻礙。

該外觀檢查單元6，進退驅動裝置8的桿81將吸附噴嘴33的頭部33a壓入，使吸附噴嘴33下降至「環狀照明64所照明的位置」，再由菱鏡63將「吸附噴嘴33所保持之電子零件的影像」導向照相機62。

(捲帶單元)

捲帶單元7的詳細構造顯示於第9圖。該捲帶單元7，實施將電子零件收納於載帶的處理。載帶，沿著帶的長度方向併設有經壓花加工的袋，各袋為電子零件的收納領域。該捲帶單元7，具有使載帶呈直線狀行走的行走溝71，使載帶沿著行走溝71行走。

該捲帶單元7，使載帶間歇地行走。載帶每1個節距的行走量，與「將鄰接的袋中心彼此連結之線段」的 長度一致，捲帶單元7使各袋在相同的場所(位置)停止。袋之相同的停止場所的其中1個場所，成為電子零件的收納作業位置72。

該捲帶單元7，在收納作業位置72於正上方具備進退驅動裝置8。在捲帶單元7的單元框體73，較行走溝71的上端更朝高度方向(更往上方)延伸地延伸設置有立柱框架731，在該立柱框架731的上端部支承著進退驅動裝置8。該捲帶單元7，進退驅動裝置8的桿81將吸附噴嘴33的頭部33a壓入，使吸附噴嘴33下降至收納作業位置72，將電子零件插入空的袋。

立柱框架731，相較於收納作業位置72及進退驅動裝置8的列，被豎立設置於捲帶單元7的後方側，進退驅動裝置8與收納作業位置72之間的空間，除了捲帶單元7的後方之外，朝向捲帶單元7的前方側及兩側開放。立柱框架731，不會對吸附噴嘴33的移動造成物理性的阻礙。

(動作)

說明該電子零件搬送裝置1的動作。預先將晶圓環放置於晶圓環承座4的環插入部41，並將載帶放置於捲帶單元7的行走溝71。在晶圓環承座4，電子零件依序移動至上推銷44的正上方，並由上推銷44所頂起(上推)。拾取裝置5，收取經上推銷44所頂起(上推)的電子零件並傳遞至搬送單元3。

搬送單元3，使空置(意指未吸附物件)的吸附噴嘴33依序在拾取裝置5的正上方待機。一旦吸附噴嘴33從拾取裝置5接收了電子零件，旋轉工作台31將藉由直驅馬達32而間歇地旋轉。保持著電子零件的吸附噴嘴33，立即在外觀檢查單元6的設置場所停止。

外觀檢查單元6所具備的進退驅動裝置8，使桿81朝下方前進，並以桿81的下端按壓吸附噴嘴33的頭部33a，並對抗螺旋彈簧31c的彈推力，使吸附噴嘴33沿著導軌31b下降。環狀照明64，照射「被吸附噴嘴33的吸引口33b所吸引的電子零件」，菱鏡63將「光軸上之電子零件的影像」導入照相機62，照相機62對電子零件進行攝像。

一旦電子零件的攝像結束，外觀檢查單元6所具備的進退驅動裝置8，使桿81朝上方後退，並藉由螺旋彈簧31c的彈推力使吸附噴嘴33上升。一旦吸附噴嘴33上升，旋轉工作台31將藉由直驅馬達32而更進一步間歇地旋轉，保持著電子零件的吸附噴嘴33，立即在捲帶單元7的設置場所停止。

捲帶單元7，在保持著電子零件的吸附噴嘴33停止於收容作業位置72的正上方之前，促使載帶形成1個節距的行走，而令空置的袋移動至收容作業位置72。捲帶單元7所具備的進退驅動裝置8，使桿81朝下方前進，並以桿81的下端按壓吸附噴嘴33的頭部33a，並對抗螺旋彈簧31c的彈推力，使吸附噴嘴33沿著導軌31b 下降。然後，吸附噴嘴33因為真空破壞而使電子零件脫離，而將電子零件收容於位在收容作業位置72之空置的袋。

更進一步詳細地說明拾取裝置5的動作。首先，具備180度相對向之拾取頭51a、51b的拾取裝置5，在180度往復旋轉之前進路徑及後退路徑的每一次移動中，一旦從晶圓環承座4取出1次電子零件，便將該1次所取出的電子零件朝搬送單元3遞送。利用往復的移動將2個電子零件供給至搬送路徑1a。

在該期間，於晶圓環承座4，環移動機構42促使環插入部41朝X軸方向及Y軸方向移動，而使電子零件依序移動至上推銷44的正上方，亦即拾取位置。此時，依據電子零件的貼附條件，預定拾取之電子零件的位置與方向，有時與規定位置及規定方向不同。在拾取裝置5中，零件位置偵測部53，在面向正下方之譬如拾取頭51a移動之前，偵測預定拾取之電子零件對規定位置及規定方向的偏移。

規定位置，當旋轉工作台511回復至原點位置時，為拾取頭51a、51b之軸線的延長線上。原點位置，是「拾取頭51a、51b」與「在拾取裝置5之正上方停止的吸附噴嘴33」並列於一直線上的位置。規定方向是指：在「停止於拾取裝置5之正上方的吸附噴嘴33」的存在點，與吸附噴嘴33的移動軌跡接觸的切線、與電子零件的其中一邊形成平行的方向。

零件位置偵測部53，透過菱鏡51c對包含規定位置的領域進行攝影，並解析影像資料，進而解析預定拾取的電子零件、與規定位置及規定方向的各個偏移。影像解析手段譬如為電腦，可搭載於拾取裝置5，也可以是電子零件搬送裝置1所具備之用來整合控制的電腦。

拾取頭平行移動機構54，令滾珠螺桿機構54x及滾珠螺桿機構54y作動，為了消除電子零件從規定距離起的位置偏移，而促使旋轉工作台511移動，進而使面向正下方的拾取頭51a移動至已位置偏移之電子零件的拾取位置。此外，晶圓環承座4的環旋轉機構43，為了使已方向偏移的電子零件與規定方向一致，而促使環插入部41旋轉。然後，上推銷44，將電子零件朝向「面向正下方的拾取頭51a」上推(頂起)。朝向正下方之拾取頭51a的音圈馬達514，使拾取頭51a朝向電子零件，並朝旋轉工作台511的半徑方向外側前進。

筒夾513藉由音圈馬達514的作動而與電子零件抵接。音圈馬達514，以對通電電流呈比例的推力，促使拾取頭51a、51b抵接於電子零件。因此，可控制對電子零件的精密荷重。音圈馬達514，以趨近於零的荷重，令拾取頭51a、51b抵接於電子零件。與電子零件抵接的拾取頭51a、51b，與負壓產生源91持續連接。因此，拾取頭51a、51b，利用強力的吸引力保持電子零件。

如第10圖的上半部所示，一旦朝向正下方方 向的拾取頭51a保持電子零件，直驅馬達52將促使旋轉工作台511朝向譬如逆時針方向等的單一方向形成180度的旋轉，使已從晶圓環承座4取出電子零件的拾取頭51a朝向正上方的方向。朝向正上方方向的拾取頭51b將電子零件遞送至搬送單元3，朝逆時針方向等的單一方向旋轉180度，而朝向正下方的方向。

此時，管93a及管93b，其中一端追隨拾取頭51a、51b，另一端被固定於不動體，亦即分歧裝置92。因此，在該180度旋轉的前進通路，管93a、93b形成180度的扭轉。此外，電氣配線514a，其中一端追隨音圈馬達514，另一端被固定於拉桿等，因此在180度轉的前進通路形成180度的扭轉。

但是，如第10圖的下半部所示，下一次一旦朝向正下方方向的拾取頭51a保持電子零件，直驅馬達52將促使旋轉工作台511朝向譬如順時針方向等的相反方向形成180度的旋轉，使已從晶圓環承座4取出電子零件的拾取頭51b朝向正上方的方向。朝向正上方方向的拾取頭51a將電子零件遞送至搬送單元3，朝順時針方向等的相反方向旋轉180度，而朝向正下方的方向。

因此，在該180度旋轉的後退通路，經180度扭轉之管93a、93b的扭轉被解除。此外，雖然在180度旋轉的前進通路中電氣配線514被扭轉了180度，但在180度旋轉的後退通路中復原。如此一來，其中一端連接於旋轉體而令一端連接於不動體的管93a、93b，由於反 覆地形成扭轉及該扭轉的解除，因此不會過度地扭轉，即使沒有滑動接點也不會產生阻塞。此外，其中一端連接於旋轉體而令一端連接於不動體的電氣配線514a，由於反覆地形成扭轉及該扭轉的解除，因此不會過度地扭轉，即使沒有滑動接點也不會產生斷線。

(效果)

如以上所述，從搭載於晶圓環承座4的晶圓環取出電子零件並供給至搬送路徑1a的拾取裝置5，具備旋轉工作台511及2台拾取頭51a、51b。其中一端分別連接於2台拾取頭51a、51b，而另一端成為固定端的管93a、93b及電氣配線514a等的配線，並不具滑動接點。

在該拾取裝置5中，2台拾取頭51a、51b，彼此180度對向配置，在第1停止點面向收容體並保持電子零件，在第2停止點面向搬送路徑1a並解除電子零件的保持。旋轉工作台511，使2台拾取頭51a、51b以雙方的中間位置作為中心而逐次以180度形成往復旋轉，使得2台拾取頭51a、51b的場所交互地切換至前述的第1停止點與前述第2停止點。

藉此，隨著2台拾取頭51a、51b之前進通路與後對通路的2次180度旋轉，可從晶圓環拾取2個電子零件，並將2個電子零件朝供給單元3遞送。因此，相較於傳統上具備1台拾取頭的拾取裝置，搬送速度成為2倍。為了達成2倍的搬送速度，拾取頭51a、51b並不侷 限於吸附夾頭。拾取頭51a、51b，是保持電子零件之保持手段的一例，就保持手段而言，也能採用：靜電吸附的方式、白努利(Bernoulli)夾頭的方式、或者及機械性地夾持電子零件的夾頭機構。

不僅如此，即使採用吸附夾頭作為拾取頭51a、51b，雖然管93a、93b由於180度的往復旋轉而產生扭轉也必定能復原，因此不會有管93a、93b的阻塞和斷線等的疑慮。因此，不需要滑動接點，可對拾取頭51a、51b持續供給負壓。因此，相較於傳統上以90度的間隔配置4個拾取頭的拾取裝置，拾取頭51a、51b的吸引力大增，能抑制電子零件的脫落。

在本實施形態中，雖然管93a、93b的固定端連接於不動體，亦即分歧裝置92，但分歧裝置92亦可形成與旋轉工作台511一起旋轉。即使在該場合中，經由分歧裝置92延伸至負壓產生源91的壓力配線，由於壓力產生源91呈現不動，故在某處必須有固定端，而在「從分歧裝置92更進一步延伸的壓力配管921」產生180度的扭轉，但藉由反向旋轉便能使扭轉復原，因此不會有壓力配線921的阻塞和斷線等的疑慮。因此，可將滑動接點從壓力配管921排除，可對拾取頭51a、51b持續供給負壓。

此外，拾取頭51a、51b搭載著：促使電子零件的保持部亦即噴嘴部512前進及後退的音圈馬達514。連接於拾取頭51a、51b的電氣配線514a即使因180度旋轉的前進通路而被扭轉，也能藉由180度旋轉的後退通路 而復原，因此為了拉入電氣配線514a，可排除滑動接點。因此，拾取裝置5之組裝作業的程序可減少，能降低拾取裝置5的成本。

就拾取頭51a、51b的驅動源而言，並不侷限於音圈馬達514，也能採用具有「利用凸輪將旋轉運動轉換成直線運動之機構」的旋轉馬達之類的各種致動器。但是，藉由音圈馬達514，能精準地控制對電子零件的荷重，能降低導致電子零件產生損傷的疑慮。

此外，具備拾取頭平行移動機構54，該拾取頭平行移動機構54促使旋轉工作台511沿著晶圓環承座4之電子零件的排列平面平行移動，而往復於「收容體的電子零件、與其中一個拾取頭51a或51b之間的位置對齊」的拾取場所(位置)、與「搬送路徑1a之電子零件收授場所、與另一個拾取頭51a或51b之間的位置對齊」的掉落場所(位置)。

晶圓環承座4之類的收容單元，能迅速地移動電子零件的機構優先，且1個節距的移動距離較長，因此，使得電子零件與拾取頭51a或拾取頭51b的定位精度變低。話雖如此，在該拾取裝置5中，拾取頭51a或51b為了與電子零件對齊而移動，故能提高電子零件與拾取頭51a或拾取頭51b的定位精度。

雖然在本實施形態中，說明了將晶圓環作為收容體，將晶圓環承座4作為用來搭載收容體的單元，但本發明並不侷限於此。舉例來說，亦可具備：將載帶作為 收容體的捲帶單元、將托盤作為收容體的托盤偏移裝置、使電子零件從承杯(bowl)落入直線軌道之前端的供料器(part feeder)。在供料器的場合中，可將承杯及直線軌道視為收容體，朝向正下方方向的拾取頭51a或拾取頭51b接收電子零件的拾取場所，成為直線軌道的前端。

(其他實施形態)

以上雖然說明的本發明的各實施形態，但在不脫離發明要旨的範圍內，可執行各種的省略、置換、變更。而這些實施形態和其變形的態樣，皆為本發明的範圍和要旨所包含，且皆包含於本發明之申請專利範圍所記載的發明、及與本發明之申請專利範圍均等的範圍。

2‧‧‧台

5‧‧‧拾取裝置

51a、51b‧‧‧拾取頭

51c‧‧‧菱鏡

51d‧‧‧照相機

52‧‧‧直驅馬達

53‧‧‧零件位置偵測部

54‧‧‧拾取頭平行移動機構

54x‧‧‧滾珠螺桿機構

54y‧‧‧滾珠螺桿機構

511‧‧‧旋轉工作台

Claims (8)

1. 一種拾取裝置，是從收容體取出電子零件並供給至搬送路徑的拾取裝置，其特徵為：具備：2台保持手段，彼此180度對向配置，在第1停止點面向收容體並保持電子零件，在第2停止點面向搬送路徑並解除電子零件的保持；和旋轉工作台，使前述2台保持手段以雙方的中間位置作為中心而逐次以180度形成往復旋轉，使得前述2台保持手段的位置交互地切換至前述的第1停止點與前述第2停止點；及配線，其中一端成為固定端，另一端連接於前述保持手段，兩端之間不具有滑動接點。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的拾取裝置，其中前述保持手段，是被供給負壓而藉由吸引力來保持電子零件的吸附夾頭，前述配線為壓力配線。
3. 如申請專利範圍第2項所記載的拾取裝置，其中具備持續作用負壓之不動的分歧裝置，前述配線，是固定端直接連接於前述分歧裝置的管。
4. 如申請專利範圍第2項所記載的拾取裝置，其中具備持續作用負壓的分歧裝置，前述配線，包含前述分歧裝置，從前述保持手段經由前述分歧裝置拉出，並被固定在拉出的目的地。
5. 如申請專利範圍第1~4項之其中任一項所記載的 拾取裝置，其中前述保持手段具有：用來保持電子零件的保持部；及被搭載於該保持手段，促使該保持部前進及反向後退的音圈馬達，前述配線，是對前述音圈馬達供給控制訊號或者電力的電氣配線。
6. 如申請專利範圍第1~5項之其中任一項所記載的拾取裝置，其中更進一步具備平行移動手段，該平行移動手段促使前述旋轉工作台沿著前述收容體之電子零件的排列平面平行移動，而往復於：使前述收容體的電子零件、與其中一個前述保持手段之間的位置對齊的前述第1停止點；以及使前述搬送路徑之電子零件收授場所、與另一個前述保持手段之間的位置對齊的前述第2停止點之間。
7. 如申請專利範圍第6項所記載的拾取裝置，其中更進一步具備電子零件的位置偵測手段，該電子零件的位置偵測手段是用來偵測前述第1停止點之前述排列平面上的位置。
8. 一種電子零件搬送裝置，其特徵為：具備：搭載前述收容體的收容單元、和形成前述搬送路徑的搬送單元、及被配置於前述收容單元與前述搬送單元間之申請專利範圍第1~7項的其中任一項所記載的拾取裝置。