TW201643017A - 基板吸附裝置及基板吸附方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種基板吸附裝置，係具有：吸附部(2)，其抵接於基板(31)，且具備複數個吸引孔；吸引孔連結部(3)，其具備用以從協同前述吸附部所形成之內部共有空間吸引內部氣體的吸引口(15b)；以及板狀之吸引孔開閉部(4)，其內設於前述吸附部，且具備進行前述吸引孔之開閉的複數個閥體(21)；前述閥體係具備：閉塞板(22)，其抵接於藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面(8a)以閉塞前述吸引孔；以及彈性支承板(23)，用以將前述閉塞板支承成能夠朝向前述吸引孔之延伸方向位移；前述彈性支承板係包含：環狀部(24)，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部(27)，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部(26)，用以連結前述閉塞板和前述環狀部；前述閉塞板係從吸引前述基板之前的狀態朝向前述內側表面平行移動以閉塞前述吸引孔。

Description

基板吸附裝置及基板吸附方法

本發明係關於一種用以吸附並保持基板的基板吸附裝置及基板吸附方法。

在基板製造製程中處理基板時，已有使用一種用以吸附保持如基板之板材的吸附裝置(例如，參照專利文獻1)。如專利文獻1之吸附裝置係藉由吸引空氣並利用負壓來吸附保持板材。具體而言，專利文獻1之吸附裝置係具備能夠在被吸引之孔內自由移動的閥體，利用該閥體依重力所作用之動作來謀求藉由負壓而對板材之保持。

在如專利文獻1之利用重力之作用的吸附裝置中，係僅能在吸引孔為向下的情況下使用。亦即，當使板材作為上側而向上時，閥體就會依重力而下降並使閥體堵塞於負壓室與板材之間，因此無法吸引保持板材。亦即，在利用重量之作用的吸附裝置中，其在使用方向上有所限制，很難使對作為吸附對象物之基板的空氣吸引方向無論是在任何方向都能確實地吸引保持吸附對象物。

為了解決如此的問題，例如在專利文獻2已有揭示以下的吸附裝置，該吸附裝置係具備：吸附部，其抵接於吸附對象物，且形成有複數個吸引孔；側壁及頂壁，其協同該吸附部而形成負壓室；銷形狀之閥體，其從該負壓室延伸至該吸引孔內；以及閉塞部，其藉由該閥體滑動於該吸引孔內而使該閥體之一部分和該吸引孔的內壁之一部分密接以閉塞該吸引孔。又，在專利文獻2之吸附裝置中，該閥體係具有位於該負壓室之作為一方端部的根部，且固定於：該根部在負壓室內被架設並固定於側壁間之具有可撓性的板形狀之可撓體。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本特開2005-28489號公報。

專利文獻2：國際公開2014/112037號公報。

然而，在具備如專利文獻2所揭示之構造的吸附裝置中，因在板形狀之可撓體固定有複數個用以閉塞吸引孔的閥體，故而近接的閥體彼此會經由可撓體而相互地受到影響，為了實現吸引孔之適當的閉塞，有必要考慮近接的閥體彼此及可撓體之影響。又，因在可撓體固定有複數個閥體，故而會增加零件數並且增加成本，更且在閥體本身之 清潔等方面亦頗為費事。亦即，在具備如專利文獻2之構造的吸附裝置中，有關吸附的構造會變得繁雜，且難以謀求吸附機構之單純化、保修(maintenance)之容易化、及降低成本。

本發明係有鑑於如此之課題而開發完成者，其目的係在於提供一種可以實現吸附機構之單純化，並且可以謀求保修之容易化及降低成本的基板吸附裝置及基板吸附方法。

為了達成上述目的，本發明之基板吸附裝置係吸引內部氣體以吸附所抵接的基板，其具有：吸附部，其抵接於前述基板，且具備複數個吸引孔；吸引孔連結部，其協同前述吸附部以形成與複數個前述吸引孔之各吸引孔連結的內部共有空間，且具備用以從前述內部共有空間吸引前述內部氣體的吸引口；以及板狀之吸引孔開閉部，其內設於前述吸附部，且具備進行前述吸引孔之開閉的複數個閥體；前述閥體係具備：閉塞板，其抵接於藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面以閉塞前述吸引孔；以及彈性支承板，用以將前述閉塞板支承成能夠沿著前述吸引孔之延伸方向平行移動；前述彈性支承板係包含：環狀部，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部，用以連結前述閉塞板和前述環狀 部；前述閉塞板係從吸引前述基板之前的狀態朝向前述內側表面平行移動以閉塞前述吸引孔。

為了達成上述目的，本發明之基板吸附方法，係具有：抵接步驟，用以將基板抵接於具備複數個吸引孔並且藉由前述吸引孔露出內側表面的吸附部；吸引步驟，用以吸引前述吸引孔內之內部氣體；以及閉塞步驟，當前述內部氣體之吸引量成為臨限值以上時，被配設於前述吸引孔內的板狀之彈性支承板就沿著前述吸引孔之延伸方向撓曲，使由前述彈性支承板所支承的閉塞板位移以閉塞前述吸引孔；在前述閉塞步驟中，藉由前述彈性支承板之構造使前述閉塞板沿著前述吸引孔之延伸方向平行移動並抵接於前述吸附部之前述內側表面以閉塞前述吸引孔，該前述彈性支承板係包含：環狀部，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部，用以連結前述閉塞板和前述環狀部。

藉由本發明，就可以實現吸附機構之單純化，並且可以謀求保修之容易化及降低成本。

1‧‧‧基板吸附裝置

2‧‧‧吸附部

3‧‧‧蓋體(吸引孔連結部)

4‧‧‧金屬平板(吸引孔開閉部)

5‧‧‧連接管

5a‧‧‧貫通孔

6‧‧‧彈性物

7‧‧‧第1夾持板

8‧‧‧第2夾持板

8a‧‧‧內側表面

11‧‧‧貫通孔

12‧‧‧貫通孔

12a‧‧‧第1開口部

12b‧‧‧第2開口部

12c‧‧‧第3開口部

13‧‧‧貫通孔

13a‧‧‧第1開口部

13b‧‧‧第2開口部

14‧‧‧吸引孔

15‧‧‧貫通孔

15a‧‧‧連結口

15b‧‧‧吸引口

21‧‧‧閥體

22‧‧‧閉塞板

23‧‧‧彈性支承板

24‧‧‧環狀部

25‧‧‧周邊區域

26‧‧‧連結部

27‧‧‧開口部

31‧‧‧基板

32‧‧‧穿通孔

51‧‧‧吸附墊

51a‧‧‧貫通孔

52‧‧‧支承構件

52a‧‧‧貫通孔

圖1係本發明之實施例的基板吸附裝置之概略立體圖。

圖2係本發明之實施例的基板吸附裝置之吸附面側的前視圖。

圖3係沿著圖2之線III-III的基板吸附裝置之剖視圖。

圖4係作為本發明之實施例的基板吸附裝置之構成構件的金屬平板之俯視圖。

圖5係圖4中的虛線區域V之放大圖。

圖6係圖3中的虛線區域VI之放大圖。

圖7係顯示與圖3同樣之已將基板予以抵接之狀態的基板吸附裝置之剖視圖。

圖8係圖7中的虛線區域VIII之放大圖。

圖9係顯示與圖5同樣之本發明之變化例的金屬平板之放大俯視圖。

圖10係顯示與圖3同樣之本發明之變化例的基板吸附裝置之剖視圖。

圖11係顯示與圖3同樣之本發明之變化例的基板吸附裝置之剖視圖。

以下，參照圖式，基於實施例詳細地說明本發明之實施形態。另外，本發明並非被限定於以下說明之內容，只要在未變更其要旨之範圍內皆能夠任意地變更實施。又，實施例之說明中所用的圖式，無論是哪個圖式都是顯示本發明之基板吸附裝置及其構成構件的示意圖，有時為了進一步理解而進行局部的強調、放大、縮小或省略等，且有 時並未正確地顯示基板吸附裝置及其構成構件之縮尺或形狀等。更且，在實施例中所用的各種數值係顯示一例，其能夠按照需要而進行各種變更。

(實施例)

首先，參照圖1至圖3說明本發明之實施例的基板吸附裝置1之構造。在此，圖1係本實施例的基板吸附裝置1之概略立體圖。又，圖2係本實施例的基板吸附裝置1之吸附面側的前視圖。更且，圖3係沿著圖2之線III-III的本實施例之基板吸附裝置1的剖視圖。

如根據圖1至圖3所明白般，本實施例之基板吸附裝置1係具有：吸附部2，其抵接於作為吸附對象物之基板而進行吸附作業；蓋體3，其設置於吸附部2之一端面；金屬平板4，其內設於吸附部2；以及連接管5，其連接於蓋體3。又，如圖3所示，吸附部2係由以下之構件所構成：平板狀之彈性物(elastomer)6；第一夾持板7，其連接於該彈性物6之一端面；以及第二夾持板8，其與第一夾持板7一起支承金屬平板4。另外，吸附部2、蓋體3及金屬平板4之連接，係藉由螺栓等的連接構件(未圖示)所進行，由於此等構件可輕易地分離，故易於進行基板吸附裝置1本身之保修及清潔等。

如根據圖2及圖3所明白般，在彈性物6係形成有大 致矩陣狀的複數個貫通孔11。在此，在本實施例中，係以5列×5行且於中央部未形成有貫通孔11的方式形成有合計24個圓柱狀的貫通孔11。另外，該數量、形狀、配置構成並不限於此，可以按照基板吸附裝置1本身之尺寸、處理的基板之尺寸、所需之吸引力來適當變更。

又，如圖3所示，在第一夾持板7係形成有複數個貫通孔12，在第二夾持板8係形成有複數個貫通孔13。在此，貫通孔12及貫通孔13係以對應貫通孔11的方式形成大致矩陣狀。因此，一個貫通孔11、一個貫通孔12及一個貫通孔13係連通，且形成一個吸引孔14，作為基板吸附裝置1本身係具備24個吸引孔14。

更且，如圖3所示，貫通孔12係藉由開口尺寸互異的圓柱狀之第一開口部12a、圓柱狀之第二開口部12b、以及圓柱狀之第三開口部12c連通所形成。在本實施例中，第一開口部12a之開口徑係設定為比貫通孔11之開口徑更大，第二開口部12b之開口徑係設定為比第一開口部12a之開口徑更小，第三開口部12c之開口徑係設定為比第一開口部12a及第二開口部12b之開口徑更大。另一方面，貫通孔13亦藉由開口尺寸互異的圓柱狀之第一開口部13a、以及圓柱狀之第二開口部13b連通所形成。在本實施例中，第一開口部13a之開口徑係設定為與貫通孔12之第三開口部12c的開口徑相同，第二開口部13b之開口徑係 設定為比第一開口部13a之開口徑更小。另外，各開口部之形狀、及開口尺寸，並未被限定於上面所述的內容，例如，開口形狀亦可為多角形或橢圓形，且可以適當調整開口尺寸以便可以最佳地進行殘存於基板吸附裝置1內的內部氣體(例如，空氣、或基板吸附裝置1被使用時的環境氣體(氮氣、氧氣、或空氣等))之吸引。

然後，如圖3所示，在蓋體3係形成有用以連結24個吸引孔14並與連接管5之貫通孔5a連接的貫通孔15。更具體而言，貫通孔15係由以下之構件所構成：連結口15a，用以連結24個吸引孔14；以及吸引口15b，用以從連結口15a之中央部將內部氣體吸引至連接管5之貫通孔5a。藉由如此的蓋體3之構成，蓋體3和第二夾持板8(吸附部2)就能藉由協同而形成內部共有空間(即相當於連結口15的空間)，而蓋體3就具有作為吸引孔14之連結部(吸引孔連結部)的功能。

在本實施例中，藉由上面所述之各貫通孔使吸引孔14及貫通孔15連結，且連接於連接管5之貫通孔5a。因此，在本實施例之基板吸附裝置1中，係使作為吸附對象物之基板抵接於彈性物6，且藉由連接於連接管5的吸引泵浦(未圖示)從連接管5側吸引內部氣體，藉此使基板吸附裝置1內形成為負壓狀態(一般的真空狀態)而能夠進行基板之吸附。另外，有關基板之吸附的詳細說明將於後述。

在本實施例中，雖然為了不損傷地吸引作為吸引對象物之基板，而在與該基板抵接的部分使用了板狀之彈性物6，但是只要不損傷該基板，又可以容易地形成貫通孔11，則亦可使用其他的構件(例如由樹脂所構成的平板)來取代彈性物6。又，在本實施例中，針對第一夾持板7及第二夾持板8，雖然為了基板吸附裝置1之破損防止或強度提高，而使用鋁製的平板，但是亦可使用具備一定之強度且可以容易地形成貫通孔的其他板材。

其次，一邊參照圖4至圖6，一邊針對金屬平板4加以詳細說明。在此，圖4係金屬平板4之俯視圖。又，圖5係圖4中的虛線區域V之放大圖。更且，圖6係圖3中的虛線區域VI之放大圖。

在本實施例中，金屬平板4係具備正方形的外形，在金屬平板4之材料方面係使用不鏽鋼。又，如圖4所示，在金屬平板4係形成有大致矩陣狀之用以進行吸引孔14之開閉的複數個閥體21。在此，係以5列×5行且於中央部未形成有閥體21的方式形成有合計24個閥體21。另外，金屬平板4之材料及形狀、閥體21之數量、以及閥體21之配置構成並未被限定於上面所述的內容，可以使其對應基板吸附裝置1本身之尺寸、吸附孔14之數量、以及吸引孔14之形成位置而進行適當變更。例如，作為金屬平板4 之材料，亦可以使用鎳、銅等的其他金屬材料。

如圖5所示，閥體21之各個係由以下之構件所構成：閉塞板22，其位於中央部，用以閉塞吸引孔14；以及彈性支承板23，其以包圍閉塞板22之周圍的方式所配置，且將閉塞板22支承成能夠朝向吸引孔14之延伸方向(即貫穿閉塞板22之表背面的方向)位移。換言之，彈性支承板23係將閉塞板22支承成能夠沿著吸引孔14之延伸方向平行移動。又，彈性支承板23係包含：四個環狀部24，其以閉塞板22為中心而形成為同心狀；以及合計10個的連結部26，用以連結環狀部24彼此、環狀部24和閉塞板22、以及環狀部24和閥體21之周邊區域25。

更具體而言，連結部26係對鄰接的環狀部24彼此各設置有二個，亦對鄰接的環狀部24和閉塞板22各設置有二個，更且亦對鄰接的環狀部24和閥體21之周邊區域25各設置有二個。又，設置於從閉塞板22之中心起算之距離為相等之位置的連結部26彼此，係配設於相互地對向的位置(即作為閉塞板22之中心而點對稱)。亦即，當將設置於從閉塞板22之中心起算之距離為相等之位置的二個連結部26設為一組時，閥體21就具備合計五組的連結部26。更且，設置於從閉塞板22之中心起算之距離為相等之位置的一組連結部26，相較於配設在比該一組連結部26更靠近其中一個之內側的另一組的連結部26，係配設於以閉塞 板22之中心為基準而旋轉90度的位置。

將此等換言之，在閉塞板22之周圍係形成有同心狀的10個半圓弧狀之開口部27，當將形成於從閉塞板22之中心起算之距離為相等之位置的二個開口部27設為一組時，就形成有合計五組的開口部27。然後，形成於從閉塞板22之中心起算之距離為相等之位置的一組開口部27，相較於配設在比該一組開口部27更靠近其中一個之內側的其他之一組的開口部27，係以閉塞板22之中心為基準而旋轉90度所形成。藉由上面所述的閉塞板22、環狀部24、連結部26及開口部27之構造及配置構成，閥體21係成為由二點連結結構之板簧所構成。

如圖6所示，在已設置於基板吸附裝置1之吸附部2之內部的狀態之金屬平板4中，係在由貫通孔12之第三開口部12c和貫通孔13之第一開口部13a所包圍的空間內配置有閥體21。在此，閥體21之閉塞板22係具有比貫通孔13之第二開口部13b的開口徑更大的直徑。在本實施例中，雖然將閥體21本身之直徑設為約4mm，將閉塞板22之直徑設為約2mm，將貫通孔13之第二開口部13b的開口徑設為1.6mm，但是此等的數值可以按照基板吸附裝置1所要求的吸引力等而進行適當變更。

因閥體21係由二點連結結構之板簧所構成，故而當環 境氣體(例如，空氣或氮氣)從基板吸附裝置1之外部流通至吸引孔14內時，就會在閥體21上產生將閉塞板22朝向貫通孔13之第二開口部13b按壓之力。該按壓之力係可以藉由以下之數式(1)來表示。

F=αW (1)

在此，F為按壓閉塞板22之力，α為比例常數，W為環境氣體之流量。另外，α為依存於閥體21之材質、尺寸、構造等的比例常數。

當在閥體21上產生按壓閉塞板22之力時(即彈性支承板23撓曲時)，閉塞板22就朝向貫通孔13之第二開口部13b位移。該位移量係可以藉由以下之數式(2)表示。

L=βF (2)

在此，L為閉塞板22之位移量，β為比例常數，F為按壓上面所述的閉塞板22之力。另外，β為依存於閥體21之材質、尺寸、構造等的比例常數。

藉由上述數式(1)、(2)，當環境氣體之流量(即吸引量)成為臨限值以上時，閉塞板22就抵接於藉由貫通孔13之第一開口部13a而露出的第二夾持板8之內側表面8a。亦即，閥體21係按照環境氣體之流量而進行吸引孔14之開閉。換言之，閥體21係可以按照環境氣體之流量而自行堵 塞吸引孔14。

在此，因上面所述的環境氣體之流量的臨限值，係指為了在從閉塞板22之位移前的位置至第二夾持板8之內側表面8a的位置為止之距離A(圖6中之雙向箭頭A所示)內位移而所需要的流量之意，故而可以藉由縮小該距離A，來縮小環境氣體之流量的臨限值，且可以藉由增大該距離A，來增大環境氣體之流量的臨限值。亦即，可以藉由該距離A來控制由閉塞板22而致使的吸引孔14之閉塞的開始(即閉塞板22抵接於內側表面8a的時序(timing))。換言之，能夠僅藉由第二夾持板8之第一開口部13a的深度(擴孔量(counterbore amount))，來調整閥體21之自行堵塞的時序。

然後，在本實施例中，因閉塞板22之直徑係比第二開口部13b之開口徑更大，故而能夠藉由閉塞板22位移至貫通孔13之第二開口部13b，而確實地閉塞第二開口部13b(即吸引孔14)。亦即，金屬平板4係具有作為進行吸引孔14之開閉的吸引孔開閉部之功能。另外，閥體21、閉塞板22及貫通孔13之開口徑，係可以按照基板吸附裝置1所要求的吸引力而進行適當變更。

作為本實施例的金屬平板4之製造方法，亦可對由金屬所構成的一片平板，藉由使用光微影術(photolithography) 之公知的光罩(mask)形成技術、及公知的蝕刻(etching)或雷射(laser)加工，在所期望之部位形成開口部27，且形成具備複數個閥體21的金屬平板4。或是，亦可對具備閥體21及對應周邊區域25之空隙的模具，施予電鍍並在該空隙填充金屬，而形成具備複數個閥體21的金屬平板4。然後，亦可將具備如本實施例之被配置成5列×5行(但並未形成於中心)之閥體21的金屬平板4形成作為一個區塊(block)，且同時形成複數個區塊，之後各切斷成一片的金屬平板4。從而，本實施例之金屬平板4，與如習知之閥體和支承該閥體的構件為獨立之機構相較，能夠大量且容易地製造。

其次，一邊參照圖7及圖8，一邊針對使用本實施例之基板吸附裝置1的基板吸附方法加以說明。圖7係顯示與圖3同樣之已將基板31予以抵接之狀態的基板吸附裝置1之剖視圖。又，圖8係圖7中的虛線區域VIII之放大圖。

首先，作為基板吸附方法，係進行將吸附部2抵接於基板31的抵接步驟。更具體而言，使彈性物6之表面接觸於作為對象物的基板31之表面。在此，如圖7所示，假定被設置於基板31的穿通孔(through hole)32已與一個吸引孔14連通的狀態。

在此狀態下，經由連接管5開始吸引孔14內的內部氣 體之吸引(吸引步驟)。在開始吸引後，雖然在並未與穿通孔32連結的吸引孔14中，內部氣體會被吸引並維持低壓狀態，但是在與穿通孔32連結的吸引孔14中，環境氣體則經由穿通孔32並從外部流通。另外，在該環境氣體流通的狀態下，貫通孔15不會成為負壓狀態，將使基板31之吸附變得不穩定。

在上面所述的狀態下，因在並未與穿通孔32連結的吸引孔14中，環境氣體不流通，故而閥體21之閉塞板22不會位移。另一方面，在環境氣體從外部流通的吸引孔14中，係如圖7及圖8所示，彈性支承板23撓曲，閉塞板22會抵接於第二夾持板8之內側表面8a。亦即，閉塞板22係從吸引基板31之前的狀態朝向內側表面8a平行移動，且閉塞吸引孔14。藉此，全部的吸引孔14成為已閉合的狀態，全部的貫通孔13及貫通孔15成為負壓狀態，可以藉由更進一步維持該負壓狀態而確實地進行基板31之吸附。

另外，閉塞板22係藉由彈性支承板23之撓曲而在吸引孔14之延伸方向以一定之週期振動，雖然實際上是以該週期反覆進行與第二夾持板之內側表面8a的接觸及非接觸，但是因該週期非常短故實質上與始終接觸的狀態幾乎沒有差異。

又，在圖7及圖8中，雖然已假定被設置於基板31之穿通孔32已與一個吸引孔14連通的狀態，但是在基板沒有穿通孔32的情況、或即便存在有穿通孔32但未與吸引孔14連通的情況下，則可以藉由抵接基板31而使吸引孔14閉合，且藉由之後之吸引來維持全部的貫通孔13及貫通孔15之負壓狀態。因此，在如此的情況下，不會有閉塞板22位移的情形。

在本實施例中，係在內設於吸附部2之作為板狀之吸引孔開閉部的金屬平板4形成複數個閥體21，該閥體21不會受重力影響，能藉由依存於環境氣體之吸引量的彈性力而進行吸引孔14之開閉。因此，本實施例之基板吸附裝置1的吸引方向亦不受限定。又，因對吸引孔14之開閉，僅使用形成有複數個閥體21的一片板狀之金屬平板4，故相較於由閥體和支承該閥體的構件的不同構件所構成者、或閥體之各個為獨立者，可以將吸引機構本身單純化，且可以謀求基板吸附裝置1本身的保修之容易化及降低成本。

在上面所述的實施例中，雖然已說明閥體21係由二點連結結構之板簧所構成的情況，但是如圖9所示，亦可以將用以連結互為鄰接之環狀部24彼此、環狀部24和閉塞板22、以及環狀部24和閥體21之周邊區域25的連結部26各形成為四個，且構成四點連結結構之板簧，亦可構成 未圖示的三點連結結構之板簧。另外，當連結機構之數量(即連結部26之數量)增加時，因彈性支承板23之撓曲量就會變小，且閉塞板22之位移量亦會變小，故而較佳是構成為連結機構之數量儘量少的板簧。

又，只要閥體21係由板簧所構成，亦可不具備連結結構。例如，亦可為將彈性支承板形成為螺旋狀，且在該彈性支承板之中心部分配置閉塞板的結構。

更且，如圖10所示，亦可對彈性物6施予擴孔加工(counterboring)，且由第一開口部11a、第二開口部11b構成貫通孔11。具體而言，亦可將位在抵接於基板之部分的第一開口部11a之開口徑形成比第二開口部11b之開口徑更大，藉由如此的構造，可以提高吸引力，且實現更高精度且強力的基板之吸附。

又，如圖11所示，作為吸附部2之構成構件，亦可不使用一片彈性物6，而是在每一吸引孔14設置具備彈性的吸附墊51。亦即，作為抵接於基板31的構件，係可以使用24個吸附墊51。更具體而言，吸附墊51係安裝於已與第二夾持板7之第一開口部12a螺合的金屬製之支承構件52。又，在支承構件52係設置有與第二夾持板7之第二開口部12b連通的貫通孔52a。更且，在吸附墊51係設置有與該貫通孔52a連通的貫通孔51a。從而，一個貫通孔11、 一個貫通孔12、一個貫通孔13、一個貫通孔52a及一個貫通孔51a係連通，且形成一個吸引孔14。然後，在圖11之變化例中，係由第一夾持板7、第二夾持板8、支承構件52及吸附墊51構成吸附部2。

如此，可以藉由在每一吸引孔14設置吸附墊51，而更高精度地進行基板31之吸附。

(本發明之實施態樣)

本發明之第1實施態樣的基板吸附裝置係吸引內部氣體以吸附所抵接的基板，其具有：吸附部，其抵接於前述基板，且具備複數個吸引孔；吸引孔連結部，其協同前述吸附部以形成與複數個前述吸引孔之各吸引孔連結的內部共有空間，且具備用以從前述內部共有空間吸引前述內部氣體的吸引口；以及板狀之吸引孔開閉部，其內設於前述吸附部，且具備進行前述吸引孔之開閉的複數個閥體；前述閥體係具備：閉塞板，其抵接於藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面以閉塞前述吸引孔；以及彈性支承板，用以將前述閉塞板支承成能夠沿著前述吸引孔之延伸方向平行移動；前述彈性支承板係包含：環狀部，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部，用以連結前述閉塞板和前述環狀部；前述閉塞板係從吸引前述基板之前的狀態朝向前述內側表面平行移動以閉塞前述吸引孔。

在本實施態樣中，係在內設於吸附部的板狀之吸引孔開閉部形成閥體，且藉由不受該閥體之重力影響的移動來進行吸引孔之開閉。因此，吸引方向亦不受限定。又，因是對吸引孔之開閉，僅使用形成有複數個閥體的一片板狀之吸引孔開閉部，故而吸引機構本身亦可以單純化，且可以謀求基板吸附裝置本身的保修之容易化及降低成本。

本發明之第2實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第1實施態樣，其中前述閉塞板係直接抵接於藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面以閉塞前述吸引孔。藉此，可以更正確地進行吸引孔之開閉。

本發明之第3實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第1或第2實施態樣，其中前述彈性支承板係包含複數個前述環狀部，且包含用以將複數個前述環狀部彼此連結的連結部。藉此，就可以增加閉塞板之位移量，且可以更容易且正確地進行吸引孔之開閉。

本發明之第4實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第3實施態樣，其中前述閉塞板和前述環狀部、以及相互地鄰接的前述環狀部，係藉由複數個連結部所連結。藉此，就可以增加閉塞板之位移量，且可以更容易且正確地進行吸引孔之開閉。

本發明之第5實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第1至4實施態樣中之任一實施態樣，其中前述吸引孔係具備：第一貫通孔，其於內部配設有前述閥體；以及第二貫通孔，其包含比前述閉塞板更小的開口形狀。藉此，就可以更確實地進行吸引孔之開閉。

本發明之第6實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第1至5實施態樣中之任一實施態樣，其中前述吸附部係包含：抵接於前述基板的彈性物；以及夾持前述吸引孔開閉部的第一夾持板及第二夾持板。藉此，可以將吸附部之主要構成構件形成為三個，且吸引機構本身亦可以更單純化，可以更謀求基板吸附裝置本身的保修之容易化及降低成本。

本發明之第7實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第1至5實施態樣中之任一實施態樣，其中前述吸附部係具有以下的構造：對複數個前述吸引孔之各吸引孔，設置有具備彈性的吸附墊。藉此，能夠更確實地進行基板之吸附。

本發明之第8實施態樣的基板吸附裝置，係如上面所述的第1至7實施態樣中之任一實施態樣，其中複數個前述閥體係在前述吸引孔開閉部形成為矩陣狀。藉此，基板 吸附裝置就具備複數個吸引孔以及內設於該吸引孔的閥體，而可以謀求吸引力之提高。

本發明之第9實施態樣的基板吸附方法，係具有：抵接步驟，用以將基板抵接於具備複數個吸引孔並且藉由前述吸引孔露出內側表面的吸附部；吸引步驟，用以吸引前述吸引孔內之內部氣體；以及閉塞步驟，當前述內部氣體之吸引量成為臨限值以上時，被配設於前述吸引孔內的板狀之彈性支承板就沿著前述吸引孔之延伸方向撓曲，使由前述彈性支承板所支承的閉塞板位移以閉塞前述吸引孔；在前述閉塞步驟中，係藉由前述彈性支承板之構造，使前述閉塞板沿著前述吸引孔之延伸方向平行移動並抵接於前述吸附部之前述內側表面，以閉塞前述吸引孔，該前述彈性支承板係包含：環狀部，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部，用以連結前述閉塞板和前述環狀部。

在本實施態樣中，係在內設於吸附部的板狀之吸引孔開閉部形成閥體，且藉由與內部氣體之吸引量相應的該閥體之移動來進行吸引孔之開閉。因此，吸引方向亦不受限定，吸引機構本身亦可以單純化，更可以謀求基板吸附裝置本身的保修之容易化及降低成本。

本發明之第10實施態樣的基板吸附方法，係如上面所 述的第9實施態樣，其中藉由前述閉塞板而致使的前述吸引孔之閉塞的開始，係根據到達藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面且與前述閉塞板接觸的部分、和位移前的前述閉塞板之位置為止的距離所調整。藉此，就可以容易地調整藉由閉塞板而致使的吸引孔之閉塞的開始時序，且可以按照作為吸附物的基板之尺寸及特性、以及基板吸附裝置之尺寸，以最佳的時序來閉塞吸引孔，可以實現更高精度的基板之吸附。

本發明之第11實施態樣的基板吸附方法，係如上面所述的第9或第10實施態樣，其中前述吸附部係具有以下的構造：對複數個前述吸引孔之各吸引孔，設置有具備彈性的吸附墊；在前述抵接步驟中，係使前述吸附墊抵接於前述基板。藉此，就能夠更確實地進行基板之吸附。

6‧‧‧彈性物

11‧‧‧貫通孔

Claims (11)

1. 一種基板吸附裝置，係吸引內部氣體以吸附所抵接的基板，具有：吸附部，抵接於前述基板，且具備複數個吸引孔；吸引孔連結部，其協同前述吸附部以形成與複數個前述吸引孔之各吸引孔連結的內部共有空間，且具備用以從前述內部共有空間吸引前述內部氣體的吸引口；以及板狀之吸引孔開閉部，其內設於前述吸附部，且具備進行前述吸引孔之開閉的複數個閥體；前述閥體係具備：閉塞板，其抵接於藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面以閉塞前述吸引孔；以及彈性支承板，用以將前述閉塞板支承成能夠沿著前述吸引孔之延伸方向平行移動；前述彈性支承板係包含：環狀部，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部，用以連結前述閉塞板和前述環狀部；前述閉塞板係從吸引前述基板之前的狀態朝向前述內側表面平行移動以閉塞前述吸引孔。
2. 如請求項1所記載之基板吸附裝置，其中前述閉塞板係直接抵接於藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面以閉塞前述吸引孔。
3. 如請求項1或2所記載之基板吸附裝置，其中前述彈性支承板係包含複數個前述環狀部，且包含用以將複數個前述環狀部彼此連結的連結部。
4. 如請求項3所記載之基板吸附裝置，其中前述閉塞板和前述環狀部、以及相互地鄰接的前述環狀部係藉由複數個連結部所連結。
5. 如請求項1所記載之基板吸附裝置，其中前述吸引孔係具備：第一貫通孔，其於內部配設有前述閥體；以及第二貫通孔，其包含比前述閉塞板更小的開口形狀。
6. 如請求項1所記載之基板吸附裝置，其中前述吸附部係包含：抵接於前述基板的彈性物；以及夾持前述吸引孔開閉部的第一夾持板及第二夾持板。
7. 如請求項1所記載之基板吸附裝置，其中前述吸附部係具有以下的構造：對複數個前述吸引孔之各吸引孔設置有具備彈性的吸附墊。
8. 如請求項1所記載之基板吸附裝置，其中複數個前述閥體係在前述吸引孔開閉部形成為矩陣狀。
9. 一種基板吸附方法，具有：抵接步驟，用以將基板抵接於具備複數個吸引孔並且藉由前述吸引孔露出內側表面的吸附部；吸引步驟，用以吸引前述吸引孔內之內部氣體；以及閉塞步驟，當前述內部氣體之吸引量成為臨限值以上時，被配設於前述吸引孔內的板狀之彈性支承板就沿著 前述吸引孔之延伸方向撓曲，使由前述彈性支承板所支承的閉塞板位移以閉塞前述吸引孔；在前述閉塞步驟中，藉由前述彈性支承板之構造使前述閉塞板沿著前述吸引孔之延伸方向平行移動並抵接於前述吸附部之前述內側表面以閉塞前述吸引孔，該前述彈性支承板係包含：環狀部，其以前述閉塞板為中心而形成為同心狀；開口部，其位於前述閉塞板與前述環狀部之間；以及連結部，用以連結前述閉塞板和前述環狀部。
10. 如請求項9所記載之基板吸附方法，其中藉由前述閉塞板而致使的前述吸引孔之閉塞的開始係根據到達為藉由前述吸引孔而露出的前述吸附部之內側表面且為與前述閉塞板接觸的部分起至和位移前的前述閉塞板之位置為止的距離所調整。
11. 如請求項9或10所記載之基板吸附方法，其中前述吸附部係具有以下的構造：對複數個前述吸引孔之各吸引孔設置有具備彈性的吸附墊；在前述抵接步驟中，使前述吸附墊抵接於前述基板。