JP5878269B1 - 基板吸着装置及び基板吸着方法 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本発明の実施例に係る基板吸着装置1の構造について、図1乃至図3を参照して説明する。ここで、図1は、本実施例に係る基板吸着装置1の概略斜視図である。また、図2は、本実施例に係る基板吸着装置1の吸着面側の正面図である。更に、図3は、図2の線III-IIIに沿った本実施例に係る基板吸着装置1の断面図である。
ここで、Fが閉塞板22を押す力であり、αは比例定数であり、Wは雰囲気ガスの流量である。なお、αは弁体21の材質、寸法、構造等に既存する比例定数である。
ここで、Lが閉塞板22の変位量であり、βは比例定数であり、Fは上述した閉塞板22を押す力である。なお、βは弁体21の材質、寸法、構造等に既存する比例定数である。
2 吸着部
3 蓋体(吸引孔連結部)
4 金属平板(吸引孔開閉部)
5 接続管
5a 貫通孔
6 エラストマー
7 第1挟持板
8 第2挟持板
8a 内側表面
11 貫通孔
12 貫通孔
12a 第1開口部
12b 第2開口部
12c 第3開口部
13 貫通孔
13a 第1開口部
13b 第2開口部
14 吸引孔
15 貫通孔
15a 連結口
15b 吸引口
21 弁体
22 閉塞板
23 弾性支持板
24 環状部
25 周辺領域
26 連結部
27 開口部
31 基板
32 スルーホール
Claims (9)
- 内部ガスを吸引して当接した基板を吸着する基板吸着装置であって、
前記基板に当接し、複数の吸引孔を備える吸着部と、
前記複数の吸引孔のそれぞれと連結する内部共有空間を前記吸着部と協働して形成し、前記内部共有空間から前記内部ガスを吸引するための吸引口を備える吸引孔連結部と、
前記吸着部に内設され、前記吸引孔の開閉を行う複数の弁体を備える板状の吸引孔開閉部と、を有し、
前記弁体は、前記吸引孔によって露出した前記吸着部の内側表面に当接して前記吸引孔を閉塞する閉塞板、前記閉塞板を前記吸引孔の延在方向に沿って平行移動可能に支持する弾性支持板を備え、
前記弾性支持板は、前記閉塞板を中心として同心状に形成された環状部、前記閉塞板と前記環状部との間に位置する開口部、及び前記閉塞板と前記環状部とを連結する連結部を含み、
前記閉塞板は、前記基板を吸引する前の状態から前記内側表面に向って平行移動して前記吸引孔を閉塞する基板吸着装置。 - 前記閉塞板は、前記吸引孔によって露出した前記吸着部の内側表面に直接当接して前記吸引孔を閉塞する請求項1に記載の基板吸着装置。
- 前記弾性支持板は、前記環状部を複数含み、且つ複数の前記環状部同士を連結する連結部を含む請求項1又は2に記載の基板吸着装置。
- 前記閉塞板と前記環状部、及び互いに隣接する前記環状部は、複数の連結部によって連結されている請求項3に記載の基板吸着装置。
- 前記吸引孔は、前記弁体が内部に配設された第1貫通孔、及び前記閉塞板よりも小なる開口形状を含む第2貫通孔を備える請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板吸着装置。
- 前記吸着部は、前記基板に当接するエラストマー、並びに前記吸引孔開閉部を挟持する第1挟持板及び第2挟持板を含む請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板吸着装置。
- 前記複数の弁体は、前記吸引孔開閉部においてマトリックス状に形成されている請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板吸着装置。
- 複数の吸引孔を備えるとともに前記吸引孔によって内側表面が露出した吸着部に基板を当接する当接工程と、
前記吸引孔内の内部ガスを吸引する吸引工程と、
前記内部ガスの吸引量が閾値以上になると、前記吸引孔内に配設された板状の弾性支持板が前記吸引孔の延在方向に沿って撓み、前記弾性支持板に支持された閉塞板が変位して前記吸引孔を閉塞する閉塞工程と、を有し、
前記閉塞工程においては、前記閉塞板を中心として同心状に形成された環状部、前記閉塞板と前記環状部との間に位置する開口部、及び前記閉塞板と前記環状部とを連結する連結部からなる前記弾性支持板の構造により、前記閉塞板が前記吸引孔の延在方向に沿って平行移動して前記吸着部の前記内側表面に当接し、前記吸引孔を閉塞する基板吸着方法。 - 前記閉塞板による前記吸引孔の閉塞の開始は、前記吸引孔によって露出した前記吸着部の内側表面であって前記閉塞板と接触する部分と、変位前の前記閉塞板の位置とまでの距離によって調整される請求項8に記載の基板吸着方法。
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
JP7456399B2 (ja) * | 2021-02-12 | 2024-03-27 | 株式会社村田製作所 | シート搬送装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0556376U (ja) * | 1992-01-16 | 1993-07-27 | 茂男 広瀬 | 吸着装置 |
JP2002350483A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
JP2004055707A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワーク吸着ユニット |
JP2006019396A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2010027726A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Nikon Corp | 基板接合装置 |
JP2010255757A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Optnics Precision Co Ltd | 面状ばね及びこれを用いた安全弁 |
Family Cites Families (3)
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JP2010076929A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Ushio Inc | 基板搬送アーム |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0556376U (ja) * | 1992-01-16 | 1993-07-27 | 茂男 広瀬 | 吸着装置 |
JP2002350483A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
JP2004055707A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワーク吸着ユニット |
JP2006019396A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2010027726A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Nikon Corp | 基板接合装置 |
JP2010255757A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Optnics Precision Co Ltd | 面状ばね及びこれを用いた安全弁 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016158301A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社メイコー | 基板吸着装置及び基板吸着方法 |
WO2017154881A1 (ja) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | 住友重機械工業株式会社 | 吸着装置 |
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