TW201638543A

TW201638543A - 真空乾燥之終點檢測方法及真空乾燥裝置

Info

Publication number: TW201638543A
Application number: TW104138775A
Authority: TW
Inventors: Tsuyoshi Yoshimoto; Yoichi Ohinata
Original assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2014-12-05
Filing date: 2015-11-23
Publication date: 2016-11-01
Also published as: TWI613409B; JP6513379B2; KR20160068693A; JP2016109348A

Abstract

[課題]在進行真空凍結乾燥時，當將乾燥槽內之壓力，藉由隔膜壓力計等之第1真空計和派藍尼真空計等之第2真空計來作測定，並將在第1以及第2之兩真空計處的測定指示值之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點的情況時，成為就算是起因於被乾燥物之種類或量而導致乾燥槽內之壓力有所變動的情況時，亦能夠盡可能地迅速檢測出乾燥終點。在本發明之真空乾燥之終點檢測方法中，係使用在伴隨著乾燥槽(1)內之真空抽氣所導致的該乾燥槽內之壓力正在下降的期間中而藉由第2真空計(5b)所測定出的壓力會一旦轉變為上升時之一個反曲點、和接著而轉變為下降時之其他之反曲點，來求取出指標值，並將此求取出的指標值置換為第2真空計之測定指示值，而進行判斷。

Description

真空乾燥之終點檢測方法及真空乾燥裝置

本發明，係有關於對於被配置有被乾燥物之乾燥槽內進行真空抽氣，並在一面將從被乾燥物所氣化了的水蒸氣排氣一面使其被吸附在冷阱處而使被乾燥物乾燥的乾燥工程中，檢測出被乾燥物之乾燥終點的真空乾燥之終點檢測方法，以及真空乾燥裝置。

此種真空乾燥之終點檢測方法，例如係藉由專利文獻1而為週知。此方法，係在進行乾燥工程時，將乾燥槽內之壓力，藉由不會起因於氣體種類而產生測定指示值之影響而能夠進行全壓測定的隔膜壓力計等之第1真空計、和會起因於氣體種類而在測定指示值中產生差的能夠進行全壓測定之派藍尼真空計等之第2真空計，來進行測定。之後，將在第1以及第2之兩真空計處的測定指示值之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點。然而，係發現了，若是想要使用上述先前技術例之方法來檢測出乾燥終點，則會有不論耗費多少時間都無法檢測出乾燥終點的情況。

因此，本發明之發明者們，係反覆進行努力研究，而發現了：此一問題，乃是起因於在將被配置有藥品或食品等之被乾燥物的乾燥槽內(依存於情況，也會有一面對於被乾燥物進行加熱的情形)進行了真空抽氣時，依存於被乾燥物之種類或量，係會有第2真空計之測定指示值反覆進行上升和下降的情形，所導致者。此係因為，若是從被乾燥物所氣化的水蒸氣之量變多，則在冷阱之凝縮管內的水蒸氣之凝結量係會變多，起因於此時之凝結熱，在凝縮管內所循環的冷媒之溫度係會上升，伴隨於此，凝縮管之溫度會上升，起因於此，冷阱之吸附能力係會暫時性降低，乾燥槽內之壓力係會上升。另一方面，若是吸附能力一旦降低，則起因於在凝縮管中之水蒸氣的凝結量變少一事，冷媒的溫度會降低，伴隨於此，在凝縮管中之水蒸氣的凝結量會再度變多，乾燥槽內之壓力會下降。而，起因於此些情況的反覆產生，在乾燥槽內係會產生壓力變動，此時，可以推測到，會依存於氣體種類(水蒸氣)而在測定指示值中產生有差之第2真空計，係特別會受到影響，其之測定指示值係會出現大幅度的變動。

在此種情況中，若是將在乾燥槽內而一次進行乾燥處理的被乾燥物之量減少、或者是作為冷阱而使用對於水蒸氣而具有充分之吸附能力的高性能之冷阱，則就算是藉由上述先前技術例之方法，也能夠檢測出乾燥終點，但是，如此一來，則會發生乾燥冷卻用之設備成本和營運成本會變得極大的問題。

〔先前技術文獻〕〔專利文獻〕

[專利文獻1]日本專利第5094372號公報

本發明，係為基於上述之知識而進行者，其課題，係在於提供一種：就算是起因於被乾燥物之種類或量而導致乾燥槽內之壓力有所變動的情況時，亦能夠盡可能地迅速檢測出乾燥終點的真空乾燥之終點檢測方法、以及真空乾燥裝置。

為了解決上述課題，本發明之真空乾燥之終點檢測方法，係對於被配置有被乾燥物之乾燥槽內進行真空抽氣，並在一面將從被乾燥物所氣化了的水蒸氣排氣一面使其被吸附在冷阱處而使被乾燥物乾燥的乾燥工程中，檢測出被乾燥物之乾燥終點，並具備有下述特徵：亦即是，係將乾燥槽內之壓力，藉由第1真空計和第2真空計來作測定，並將在第1以及第2之兩真空計處的測定指示值之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點，該第1真空計，係為不會受到起因於氣體種類所導致的測定指示值之影響的能夠進行全壓測定之真空計，該第2真空計，係為會起因於氣體種類而在測定指示值中產生差的能夠進行全壓測定之真空計，使用在伴隨著乾燥槽內之真空抽氣所導致的該乾燥槽內之壓力正在下降的期間中而藉由第2真空計所測定出的壓力會一旦轉變為上升時之一個反曲點、和接著而轉變為下降時之其他之反曲點，來求取出指標值，將此求取出的指標值置換為第2真空計之測定指示值，並進行判斷。

在上述構成中，例如，係可將前述一個反曲點作為最小值，並將前述其他之反曲點作為最大值，若是最大值和最小值之間之差成為特定值以下，則將此時之最大值以及最小值的至少其中一者作為前述指標值。另一方面，亦可將前述一個反曲點作為最小值，並將前述其他之反曲點作為最大值，且取得此些之最大值和最小值之間之中間值，若是接續所取得的中間值之差成為特定值以下，則將此時之至少其中一者的中間值作為前述指標值。

若依據上述構成，則由於例如，係如同當最大值和最小值之間之差或者是接續之中間值的差成為特定值以下時一般地，來使用一個的反曲點和其他的反曲點而求取出指標值，並將此指標值視為第2真空計之測定指示值，再將其與第1真空計之測定指示值之間之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點，因此，就算是起因於被乾燥物之種類或量而導致乾燥槽內之壓力有所變動的情況時，亦能夠盡可能地迅速檢測出乾燥終點。於此情況，係並不需要將在乾燥槽內而一次進行乾燥處理的被乾燥物之量減少或者是作為冷阱而使用水蒸氣之吸附能力為極高者，而為有利。另外，當乾燥槽內發生壓力變動時，第1真空計之測定指示值雖然也會有無關於第2真空計之變動地而發生變動的情況，但是，在檢測出乾燥終點之區域中的變動量，相較於第2真空計，係為極少，對於乾燥終點之檢測所賦予的影響係為小。但是，在第1真空計處，亦同樣的，若是當在伴隨著乾燥槽內之真空抽氣所導致的該乾燥槽內之壓力正在下降的期間中而藉由第1真空計所測定出的壓力會一旦轉變為上升時，將該反曲點作為最小值，並將接著而轉變為下降時之反曲點作為最大值，且當在每單位時間中而最小值以及最大值有複數次之連續減少的情況時，使用此時之最大值以及最小值的至少其中一方作為第1真空計之測定指示值，或者是當最小值和最大值之平均值在每單位時間中而連續減少的情況時，將此時之平均值作為第1真空計之測定指示值，則係能夠更進一步來盡可能迅速且確實地檢測出乾燥終點，而為理想。

又，在本發明中，若是構成為將前述一個反曲點和其他之反曲點在每單位時間中而連續減少的情況，追加至求取出指標值的條件中，並進行前述指標值之對於第2真空計的測定指示值之置換，則係能夠更確實地檢測出乾燥終點。

在本發明中，較理想，作為前述第1真空計，係使用隔膜壓力計，作為前述第2真空計，係使用派藍尼真空計。

又，為了解決上述課題，本發明之真空乾燥裝置，係具備有：被配置有被乾燥物之乾燥槽；和將真空槽內真空抽氣之真空幫浦；和將從被乾燥物所氣化了的水蒸氣作吸附之冷阱，該真空乾燥裝置，係在一面將水蒸氣排氣一面使其被吸附在冷阱處而使被乾燥物乾燥的情況時，能夠進行此真空乾燥之終點檢測，該真空乾燥裝置，其特徵為，係更進而具備有：判定手段，係將乾燥槽內之壓力，藉由第1真空計和第2真空計來作測定，並將在第1以及第2之兩真空計處的測定指示值之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點，該第1真空計，係為不會受到起因於氣體種類所導致的測定指示值之影響的能夠進行全壓測定之真空計，該第2真空計，係為會起因於氣體種類而在測定指示值中產生差的能夠進行全壓測定之真空計，該判定手段，係使用在伴隨著乾燥槽內之真空抽氣所導致的該乾燥槽內之壓力正在下降的期間中而藉由第2真空計所測定出的壓力會一旦轉變為上升時之一個反曲點、和接著而轉變為下降時之其他之反曲點，來求取出指標值，並將此求取出的指標值置換為第2真空計之測定指示值，而進行判斷。

1‧‧‧真空凍結乾燥裝置

1‧‧‧乾燥槽

2‧‧‧冷阱

3‧‧‧真空幫浦

4‧‧‧加熱器

5a‧‧‧電容式真空計(第1真空計)

5b‧‧‧派藍尼真空計(第2真空計)

S‧‧‧被乾燥物

[圖1]係為對於在本發明之真空乾燥之終點檢測方法的實施中所使用之真空乾燥裝置的構成作展示之示意圖。

[圖2](a)以及(b)，係為用以進行真空乾燥之終點檢測的流程圖。

[圖3]係為對於真空乾燥時之第1以及第2之兩真空計的壓力變動作展示之圖表。

以下，參考圖面，將本發明之真空乾燥裝置設為真空凍結乾燥裝置，並以使用此真空凍結乾燥裝置來使藥品和食品之類的被乾燥物S真空凍結的情況為例，來對於本發明之真空乾燥之終點檢測方法以及真空乾燥裝置之實施形態作說明。

參考圖1，DM，係為能夠適用本發明之真空乾燥之終點檢測方法的真空凍結乾燥裝置。真空凍結乾燥裝置DM，係具備有特定容積之乾燥槽1、和將從被乾燥物S所氣化的水蒸氣作吸附之冷阱2、和將乾燥槽1內作真空抽氣之真空幫浦3、以及加熱被乾燥物S之加熱器4。在作為氣密容器之乾燥槽1內，係於上下方向空出有間隔地而設置有複數之能夠載置被乾燥物S的棚11。冷阱2，係具備有內藏於乾燥槽1中之凝縮管21、和對於凝縮管21供給冷媒之冷動機22，並成為將凝縮管21恆常冷卻至一定之溫度(例如，-50℃程度)。另外，作為冷凍機22，由於係可利用公知之構造者，因此，於此係將冷凍機之亦包含有其之溫度控制等的詳細之說明作省略。

又，作為真空幫浦3，係藉由透過排氣管31 來與乾燥槽1作連接的例如機械升壓幫浦32、及其之背壓側的油旋轉真空幫浦33，而構成之，並成為能夠將乾燥槽1內真空抽氣至特定之壓力。另外，在本實施形態中，雖係針對在乾燥槽1中內藏有凝縮管21者為例來作說明，但是，係亦可採用將密閉容器透過連結管來連接於乾燥槽處，並在該密閉容器中內藏凝縮管並且將從真空幫浦而來之排氣管作連接的構成。又，作為加熱器4，只要是能夠將想要乾燥的被乾燥物加熱至會使其之水份氣化的特定溫度者，則係並不限定其之型態，係可使用電阻加熱式者或者是燈管式者，於此情況，係可設置於乾燥槽1之內側或外側，或者是亦可內藏於棚11中，又，依存於被乾燥物S之種類，係亦可將加熱器4省略。

在乾燥槽1中，係為了對於槽內之壓力(全壓)作測定，而設置有測定方式互為相異之第1真空計5a和第2真空計5b。作為第1真空計5a，係使用能夠在乾燥時之壓力為1Pa~200Pa程度之壓力範圍內而進行全壓測定的身為並不會受到氣體之種類的影響之隔膜壓力計的電容式真空計。另一方面，作為第2真空計5b，係使用能夠在乾燥時之壓力為1Pa~200Pa程度之壓力範圍內而進行全壓測定的對於熱傳導有所利用並且會依存於測定氣體之種類而在測定指示值中產生有差的派藍尼真空計。

上述真空凍結乾燥裝置DM之冷凍機22、真空幫浦3和第1以及第2之兩真空計5a、5b之動作等，係藉由具備有微電腦、序列器和記憶體等之亦具有作為判定手段之功能的控制單元6而作統籌控制，並基於藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定並輸入至控制單元6中之測定指示值，來將該測定指示值之差收斂為小的時間點作為真空乾燥之終點而檢測出來。以下，參考圖2以及圖3，針對本實施形態之真空乾燥之終點檢測作具體性說明。

如同圖2(a)中所示一般，若是在乾燥槽1中安置被乾燥物S並開始乾燥工程(STEP1)，則冷阱2、真空幫浦3以及加熱器4係分別動作，藉由此，來藉由真空幫浦3而將乾燥槽1內作真空抽氣，藉由加熱而從被乾燥物S所氣化的水蒸氣係被排氣並且被吸附在冷阱2處，被乾燥物S係乾燥，伴隨於此，乾燥槽1內之壓力亦係逐漸降低。接著，藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定出的乾燥槽1內之壓力，係以一定之週期而被輸入至控制單元6中(STEP2)，將此時之第1真空計5a的測定指示值作為DG，並將第2真空計5b之測定指示值作為PG，而設定(記憶)在控制單元6中(STEP3、4)。之後，係判定在對於DG和PG作了比較時的DG和PG間之差是否為較能夠判斷為係將被乾燥物S作了必要且充分之乾燥的事先所設定於控制單元6中之特定值(SP)而更加降低(STEP5)，若是成為特定值SP₁以下，則係判斷在第1以及第2之兩真空計5a、5b處的測定指示值之差係收斂為小，並將該時間點作為真空乾燥之終點而檢測出來(STEP6)。另外，當DG和PG間之差為較特定值SP₁而更高的情況時，係回到STEP2處，此時，藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定出的乾燥槽1內之壓力，係被輸入至控制單元6中，將此時之測定指示值作為新的DG、PG，而對於在控制單元6中所設定者作更新。

另外，依存於被乾燥物S之種類或者是想要藉由乾燥槽1來進行處理之被乾燥物S之量，例如係會有超過冷阱2的能力之量的水蒸氣被氣化的情況，起因於此，如同圖3中所示一般，第1以及第2之各真空計5a、5b的測定指示值會反覆產生上升及下降，起因於此，係會有無法盡可能迅速地判定出真空乾燥之終點之虞(圖3中，以實線所示者，係為藉由第1真空計5a所測定者，以虛線所示者，係為藉由第2真空計5b所測定者)。因此，在本實施形態中，係於伴隨著乾燥槽1內之真空抽氣而該乾燥槽1內之壓力持續進行通常下降的工程中，使用當在控制單元6正進行辨識的期間中而藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所測定的壓力一旦會轉變為上升的情況時之1個反曲點、和接著而轉變為下降時之其他之反曲點，來求取出指標值，並構成為將此求取出之指標值對於第1以及第2之兩真空計5a、5b的測定指示值作置換而進行判斷。例如，在藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所測定的壓力一旦轉變為上升的情況時，係將該一個反曲點作為最小值(DGmin，PGmin)，並將再度轉變為下降的情況時之其他之反曲點作為最大值 (DGmax，PGmax)(亦參考圖3)，若是最大值和最小值之間之差成為特定值以下，則將此時之最大值以及最小值的至少其中一者作為指標值，並將此指標值分別對於上述第1以及第2之兩真空計5a、5b的測定指示值作置換，而進行判斷。亦即是，在圖2(a)中所示之真空乾燥之終點檢測的流程中，當發生有1個反曲點的情況時，係構成為將在STEP3、4中所設定之DG和PG基於上述之最大值或最小值來作置換。以下，參考圖2(b)，針對基於身為其他反曲點之最大值來進行DG、PG之設定的其中一例(將STEP3、4之DG、PG藉由STEP24之值來作置換之例)作具體性說明。

在圖2(a)中所示之真空乾燥之終點檢測流程(STEP1~6)中，若是於在STEP3、4中而設定了DG和PG之狀態下，藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定的乾燥槽1內之壓力被輸入至控制單元6中(STEP11：與STEP2~4相同)，則此時之測定指示值係被與已設定了的DG、PG作比較，並判別是否正在上升(STEP12)。當正在上升的情況時，係作為發生了一個反曲點，而將此時之測定指示值作為最小值，並作為DGmin、PGmin而設定於控制單元6中(STEP13)，並且，在真空乾燥之終點檢測流程(STEP1~6)中，於STEP5處之判別，係設為在STEP24結束後才進行。另外，雖然並未特別作圖示並說明，但是，當無法發現一個反曲點的情況時，係依據真空乾燥之終點檢測流程 (STEP1~6)而設定有DG、PG，終點係被檢測出來。進而，如同上述一般，反曲點，係藉由被輸入至控制單元6中之測定指示值與已設定之值(DG、PG)之間的比較來判斷，但是，係並不被限定於此。例如，作為被輸入至控制單元6中之測定指示值，係亦可使用施加有用以將雜訊成分除去之平均化處理後的值(於此情況之進行平均化的樣本群之時間範圍，係只要因應於成為對象之裝置來適宜作選擇即可)，亦可適用其他之比例限制或一次延遲濾波器等之手法。亦即是，係可將被施加有公知之雜訊降低手法後的值，作為被輸入至控制單元6中之測定指示值以及已設定知壓力值，來使用在反曲點之判斷中。

另一方面，若是最小值DGmin、PGmin被作了設定，則例如係能夠將超過了冷阱2之能量的量之水蒸氣被氣化一事，視為第1以及第2之各真空計5a、5b之測定指示值反覆產生上升和下降一事，之後，若是藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定的乾燥槽1內之壓力被輸入至控制單元6中(STEP14)，則此時之測定指示值係被與DGmin、PGmin作比較，並判別是否為在一旦作了上升之後而開始了下降者(STEP15)。而，當係身為開始了下降者的情況時，係將此時之測定指示值作為最大值，並作為DGmax、PGmax而設定於控制單元6中(STEP16)。

接著，在最大值DGmax、PGmax被作了設定之後，若是藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定出的乾燥槽1內之壓力被輸入至控制單元6中(STEP17)，則係基於此時之測定指示值係身為再度開始上升者並且係成為較已設定之最小值而更低之測定指示值一事，來判別是否需要進行DGmin、PGmin之更新(STEP18)，當需要進行更新的情況時，係將此時之測定指示值作為新的DGmin、PGmin而對於在控制單元6中所設定者作更新(STEP19)。而，在最小值被作了更新之後，若是藉由第1以及第2之兩真空計5a、5b所分別測定出的乾燥槽1內之壓力被輸入至控制單元6中(STEP20)，則係基於此時之測定指示值係身為在一旦作了上升之後而開始了下降者並且係成為較已設定之最大值而更高之測定指示值一事，來判別是否需要進行DGmax、PGmax之更新(STEP21)，當需要進行更新的情況時，係將此時之測定指示值作為新的DGmax、PGmax而對於在控制單元6中所設定者作更新(STEP22)。

接著，若是最大值DGmax、PGmax被更新，則係針對第1以及第2之兩真空計5a、5b之各者，而判別DGmax和DGmin之間之差以及PGmax和PGmin之間之差是否分別成為SP₂、SP₃以下(STEP23)，當分別成為特定值SP₂、SP₃以下的情況時，係將此時之最大值DGmax、PGmax作為指標值，並將此些之指標值分別對於在圖2(a)中所示之真空乾燥之終點檢測的流程中之DG和PG作置換(將STEP3、4之DG、PG藉由STEP24之值DGmax、PGmax來作置換)，之後，進行STEP5之判別，當並未被判定為真空乾燥之終點檢測的情況時，雖並未特別作圖示，但是，係回到STEP17。另外，當係為較特定值SP₂、SP₃而更高的情況時，係並不進行STEP5之判別，而回到STEP17。

若依據以上之實施形態，則就算是當從被乾燥物S所氣化之水蒸氣的量為多而兩真空計5a、5b之測定指示值產生有變動的情況時，亦由於在DGmax和DGmin之間之差以及PGmax和PGmin之間之差係分別成為特定值SP₂、SP₃以下的情況時，係將此時之值DGmax、PGmax作為指標值，並將此指標值視為測定指示值DG、PG，再基於此來將兩者之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點，因此，就算是起因於被乾燥物S之種類或量而導致乾燥槽1內之壓力有所變動的情況時，亦能夠盡可能地迅速檢測出乾燥終點。又，作為其他手法，雖並未特別圖示，但是，就算是藉由當作為一個反曲點之最小值DGmin、PGmin和作為其他之反曲點之最大值DGmax、PGmax分別在每單位時間中而連續減少的情況時，於減少率成為預先所設定之值之範圍的時間點處，進行對於第1以及第2之兩真空計5a、5b的測定指示值之置換，亦能夠檢測出乾燥終點。又，若是構成為將複數之手法作組合來進行判斷，則係能夠更確實地檢測出乾燥終點。其結果，係並不需要將在乾燥槽1內而一次進行乾燥處理的被乾燥物之量減少或者是作為冷阱2而使用水蒸氣之吸附能力為極高者，而為有利。

以上，雖係針對本發明之實施形態作了說明，但是，本發明，係並不被限定於上述形態。在上述實施形態中，雖係針對根據最大值DGmax、PGmax來求取出指標值並將此對於在圖2(a)所示之真空乾燥之終點檢測的流程中的DG和PG作置換者為例來作了說明，但是，係並不被限定於此。例如，亦可構成為根據最小值DGmin、PGmin來求取出指標值，又，係亦可根據最大值DGmax和最小值PGmin或者是根據最小值DGmin和最大值PGmax，來求取出指標值。進而，雖並未特別圖示並進行說明，但是，亦可構成為在一定之週期中，根據最大值DGmax、PGmax和最小值DGmin、PGmin來針對真空計5a、5b之每一者而取得中間值，並當接續所取得的中間值分別成為特定位置以下，且中間值於每單位時間中而連續減少的情況時，進行對於測定指示值DG、PG之置換。

又，在上述實施形態中，雖係針對第1以及第2之兩真空計5a、5b的各測定指示值而進行置換，但是，係並不被限定於此。亦即是，當乾燥槽1內發生壓力變動時，第1真空計5a之測定指示值雖然也會有無關於第2真空計5b之變動地而發生變動的情況，但是，在檢測出乾燥終點之區域中的變動量，係會有相較於第2真空計5b者而為極少的情況。在此種情況中，係只要將依據上述說明所求取出的指標值對於第2真空計5b之測定指示值作置換即可。

Claims

一種真空乾燥之終點檢測方法，係為對於被配置有被乾燥物之乾燥槽內進行真空抽氣，並在一面將從被乾燥物所氣化了的水蒸氣排氣一面使其被吸附在冷阱處而使被乾燥物乾燥的乾燥工程中，檢測出被乾燥物之乾燥終點，該真空乾燥之終點檢測方法，其特徵為：係將乾燥槽內之壓力，藉由第1真空計和第2真空計來作測定，並將在第1以及第2之兩真空計處的測定指示值之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點，該第1真空計，係為不會受到起因於氣體種類所導致的測定指示值之影響的能夠進行全壓測定之真空計，該第2真空計，係為會起因於氣體種類而在測定指示值中產生差的能夠進行全壓測定之真空計，使用在伴隨著乾燥槽內之真空抽氣所導致的該乾燥槽內之壓力正在下降的期間中而藉由第2真空計所測定出的壓力會一旦轉變為上升時之一個反曲點、和接著而轉變為下降時之其他之反曲點，來求取出指標值，將此求取出的指標值置換為第2真空計之測定指示值，並進行判斷。
如申請專利範圍第1項所記載之真空乾燥之終點檢測方法，其中，係將前述一個反曲點作為最小值，並將前述其他之反曲點作為最大值，若是最大值和最小值之間之差成為特定值以下，則將此時之最大值以及最小值的至少其中一者作為前述指標值。
如申請專利範圍第1項所記載之真空乾燥之終點檢測方法，其中，係將前述一個反曲點作為最小值，並將前述其他之反曲點作為最大值，且取得此些之最大值和最小值之間之中間值，若是接續所取得的中間值之差成為特定值以下，則將此時之至少其中一者的中間值作為前述指標值。
如申請專利範圍第1~3項中之任一項所記載之真空乾燥之終點檢測方法，其中，當前述一個反曲點和其他之反曲點在每單位時間中而連續減少的情況時，係進行前述指標值之對於第2真空計的測定指示值之置換。
如申請專利範圍第1~4項中之任一項所記載之真空乾燥之終點檢測方法，其中，作為前述第1真空計，係使用隔膜壓力計，作為前述第2真空計，係使用派藍尼真空計。
一種真空乾燥裝置，係具備有：被配置有被乾燥物之乾燥槽；和將真空槽內真空抽氣之真空幫浦；和將從被乾燥物所氣化了的水蒸氣作吸附之冷阱，該真空乾燥裝置，係在一面將水蒸氣排氣一面使其被吸附在冷阱處而使被乾燥物乾燥的情況時，能夠進行此真空乾燥之終點檢測，該真空乾燥裝置，其特徵為，係更進而具備有：判定手段，係將乾燥槽內之壓力，藉由第1真空計和第2真空計來作測定，並將在第1以及第2之兩真空計處的測定指示值之差收斂為小的時間點，判斷為乾燥終點，該第1真空計，係為不會受到起因於氣體種類所導致的測定指示值之影響的能夠進行全壓測定之真空計，該第2真空計，係為會起因於氣體種類而在測定指示值中產生差的能夠進行全壓測定之真空計，該判定手段，係使用在伴隨著乾燥槽內之真空抽氣所導致的該乾燥槽內之壓力正在下降的期間中而藉由第2真空計所測定出的壓力會一旦轉變為上升時之一個反曲點、和接著而轉變為下降時之其他之反曲點，來求取出指標值，並將此求取出的指標值置換為第2真空計之測定指示值，而進行判斷。