TW201543039A - 用於測試探針卡之轉換卡 - Google Patents

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Abstract

一種用於測試探針卡之轉換卡，包含有一板體及設於板體上之數第一傳輸單元、數第二傳輸單元及一直流/交流轉換電路，第一傳輸單元電性連接於測試儀器，第二傳輸單元電性連接於探針卡介面，直流/交流轉換電路電性連接於該第一傳輸單元、該第二傳輸單元；藉第一傳輸單元傳輸交流信號，並將交流信號經由直流/交流轉換電路、第二傳輸單元、探針卡介面接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合邏輯分析儀、示波器、時域反射儀、頻域網路分析儀、誤碼產生器、眼圖分析儀等交流信號測試儀器，利用交流方式可對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善，避免誤判探針卡的錯誤率，達到降低換卡率及清針率，降低直流探針卡的庫存率。

Description

用於測試探針卡之轉換卡
本發明係有關於一種轉換卡，特別是指其為一種用於測試探針卡之轉換卡。
長久以來，半導體業界在晶圓可靠度測試(wafer acceptance test)時，都會先驗證直流探針卡(Probe Card)是否可用，因直流探針卡擔負著最後段測試時，IC在被切割前(WS：Wafer Sort)，功能測試是否正常的重要角色，當IC測試能正常工作後，IC即會被切割包裝(FT：Final Test；IC has been packaged)並再作後續之分類(BIN)測試，由此可知，當直流探針卡的錯誤率高時，會直接影響後面出貨的速度與品質，但直流探針卡隨著IC功能越來越強，腳數越來越多，甚至高達幾萬根的腳數，其價格動輒千萬，若直流探針卡被判為錯誤率高，則須再作清針，甚至換卡的動作，這些動作非常耗費成本及時間，晶圓廠及測試廠時常為了趕貨給客戶，經常以直接換卡的方式測到正確為止，而這些換下來的直流探針卡的費用則是由晶圓廠及測試廠直接吸收掉，因此直流探針卡的庫存率，常會達到台幣幾千萬至數億的等級，造成成本大幅提高。
由於半導體業界長期藉由此直流測試方式來測試直流探針卡，其改善方式已達瓶頸，爰是，本發明人今基於產品不斷改良創新之理念，乃本著多年從事半導體及與電子相關之測試產業產品設計開發的實務 經驗，以及積極潛心研發思考，而「利用交流方式對直流電探針卡的錯誤分析及改善」，經由無數次之實際測試、實驗，致有本發明之產生。
本發明之目的，係在提供一種藉第一傳輸單元傳輸交流信號，並將交流信號經由直流/交流轉換電路、第二傳輸單元接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合交流信號儀器利用交流方式對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善之用於測試探針卡之轉換卡。
為達上述之目的，本發明構造包含有一板體、至少一第一傳輸單元、至少一第二傳輸單元、一直流/交流轉換電路，其中該第一傳輸單元設於該板體，該第一傳輸單元用以電性連接於測試儀器以傳輸交流信號；該第二傳輸單元設於該板體，該第二傳輸單元用以電性連接於探針卡介面；該直流/交流轉換電路設於該板體，該直流/交流轉換電路電性連接於該第一傳輸單元、該第二傳輸單元。
以藉第一傳輸單元傳輸交流信號，並將交流信號經由直流/交流轉換電路、第二傳輸單元、探針卡介面接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合邏輯分析儀、示波器、時域反射儀、頻域網路分析儀、誤碼產生器、眼圖分析儀等交流信號測試儀器，利用交流方式可對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善，避免誤判探針卡的錯誤率，達到降低換卡率及清針率，降低直流探針卡的庫存率。.
以下僅藉由具體實施例，且佐以圖式作詳細之說明，俾使貴審查委員能對於本發明之各項功能、特點，有更進一步之了解與認識。
10‧‧‧用於測試探針卡之轉換卡
11‧‧‧板體
12‧‧‧第一傳輸單元
121‧‧‧連接線
13‧‧‧第二傳輸單元
14‧‧‧直流/交流轉換電路
15‧‧‧穿孔
20‧‧‧探針卡介面
30‧‧‧直流探針卡
31‧‧‧測試設備
40‧‧‧邏輯分析儀
41‧‧‧數位信號產生器
50‧‧‧示波器
60‧‧‧時域反射儀
70‧‧‧頻域網路分析儀
80‧‧‧誤碼產生器
90‧‧‧眼圖分析儀
91‧‧‧誤碼產生器與眼圖分析儀整合機型
第1圖係本發明之上視圖。
第2圖係本發明之上視局部放大圖。
第3圖係本發明測試實施例之立體分解圖。
第4圖係本發明測試實施例之剖面圖。
第5圖係本發明之構造方塊示意圖。
第6圖係本發明配合邏輯分析儀、數位信號產生器之測試實施例圖。
第7圖係第6圖之測試結果圖。
第8圖係本發明配合邏輯分析儀、示波器、數位信號產生器之測試實施例圖。
第9圖係第8圖之測試結果圖。
第10圖係本發明配合時域反射儀之測試實施例圖。
第11圖係第10圖之測試結果圖。
第12圖係本發明配合頻域網路分析儀之測試實施例圖。
第13圖係第12圖之測試結果圖。
第14圖係本發明配合眼圖分析儀、誤碼產生器之測試實施例圖。
第15圖係第14圖之測試結果圖。
第16圖係本發明配合眼圖分析儀與誤碼產生器整合機型之測試實施例圖。
第17圖係本發明之測試程序流程圖。
請參閱第1圖至第16圖所示，本發明用於測試探針卡(Probe Card)之轉換卡10構造包含有一板體11、數第一傳輸單元12、數第二傳輸單元13及一直流/交流轉換電路14，其中： 該板體11於一實施例係具有一穿孔15，用以減輕重量、節省材料，進而降低製造成本。
該第一傳輸單元12設於板體11，第一傳輸單元12用以電性連接於預定之測試儀器以傳輸交流信號，於本實施例第一傳輸單元12係可與測試儀器之連接線121電性連接，而第一傳輸單元12係以八個狀平均設於板體11，使數個連接線121也可同時電性連接於數個第一傳輸單元12，據此，測試儀器能藉由一條連接線121連接於不同位置之第一傳輸單元12而分區測試直流探針卡30，或者測試儀器能藉由數條連接線121連接於不同位置之第一傳輸單元12而同時分區測試直流探針卡30。
該第一傳輸單元12於一實施例係為數個排列成一區域之電性連接孔。
該第二傳輸單元13設於板體11，第二傳輸單元13用以電性連接於探針卡介面(POGO tower)20。
該第一傳輸單元12於一實施例係為電性連接孔，於本實施例探針卡介面20上側之數探針係穿設於第二傳輸單元13中。
該直流/交流轉換電路14設於板體11，直流/交流轉換電路14電性連接於該第一傳輸單元12、第二傳輸單元13。
於一構造實施例，該板體11、第一傳輸單元12、第二傳輸單元13及直流/交流轉換電路14係一體製成為一印刷電路板(PCB，Printed circuit board)；或者是該板體11、第一傳輸單元12、第二傳輸單元13及直流/交流轉換電路14壓合成一體。
以藉第一傳輸單元12傳輸交流信號，並將交流信號經由直流 /交流轉換電路14、第二傳輸單元13、探針卡介面20接至直流探針卡(Probe Card)30，運用交流電路及傳輸線原理，以配合邏輯分析儀40、示波器50、時域反射儀60、頻域網路分析儀70、誤碼產生器80、眼圖分析儀90等交流信號測試儀器，利用交流方式可對直流探針卡30進行錯誤分析測試及改善，避免誤判探針卡的錯誤率，達到降低換卡率及清針率，降低直流探針卡的庫存率。.
請參閱第3圖、第4圖所示，本發明測試時的樣態通常為設於探針卡介面20上，而探針卡介面20設於直流探針卡30上，直流探針卡30設於測試設備31上。
請參閱第6圖至第17圖所示，本發明之測試實施例，係板體11之第一傳輸單元12可藉由連接線121電性連接於邏輯分析儀40、示波器50、時域反射儀60、頻域網路分析儀70、誤碼產生器80、眼圖分析儀90、誤碼產生器與眼圖分析儀整合機型91等交流信號測試儀器，另外，數位信號產生器41配合邏輯分析儀40或同時配合邏輯分析儀40、示波器50而電性連接於直流探針卡30，以藉上述交流信號測試儀器依照預定測試程序對直流探針卡30進行錯誤分析測試及改善，而測試及改善結果可由上述該些交流信號測試儀器顯示。
另外，當然也可以依照實際須要選擇上述部份的交流信號測試儀器來對直流探針卡30進行錯誤分析測試及改善。
由於原直流方式僅能測試一定準位的電壓電流值，並且是給電壓量電流，或是給電流量電壓，此會造成當一些有問題的訊號不在此位準時，根本量不到而被忽略，故而也會造成對直流探針卡30的誤判，若以 交流的方式，由於準位會隨具有週期性，若配合邏輯分析儀40的不同位準調整方式，就能抓出隱藏在直流標準位準下的關鍵錯誤信號，進而判別錯誤是由哪一個腳位產生，進而針對該腳位做改善，又邏輯分析儀40一次能同時判別2000根以上的腳位，故當直流探針卡30的腳位超過萬根時，經由分區測試，就能在最快時間內測完所有腳位，現有之探針卡分析儀每個腳位平均2秒，若1萬根就要2萬秒，下表即可表示其差別：
由探針卡的探針一直到載板間共有4~5層的不同載體以構成整個測試系統，然而，每個載體都有其不同的電路特性與阻抗匹配之問題，因此，在每根腳位都有其不同的阻抗特性(即使在同樣製程下也是如此)，若以時域反射儀60來對有問題的腳位做分析，因其輸出的是非常高頻的步階波，上升時間在7~12ps(pico second)之內，若反推回距離即為nm(naro meter)的解析度，由於現有之IC設計與應用都在GHz等級(如DDR3,HDMI,PCI-e.…等等)，再加上產品必須輕薄短小，又要功能強大，IC越來越小，功能越來越多，相對的IC內部線路更複雜，其傳輸線效應也越明顯，亦即各個不同的頻率會因為一些小的製程缺陷，就會產生不同的感應或寄生電容電感電阻(統稱感應電路)，造成原本應有的特性都被感應電路影響，這在 直流的世界是完全無法量測到的，本發明利用時域反射儀60的步階波，不但可分析出這些感應電路發生的地方，並能換算該地方感應電路的特性，進而再針對該部分進行改善，由於解析度是到nm等級，因而能了解到底是哪一層載體造成錯誤，而非全歸錯於探針卡。
當數位信號在IC內部流動時，如何正確的在適當時間輸出或輸入應有的數位信號，關係著此顆IC在真正產品上是否能達到所需的功能(Function)，如前所述，現有應用都在GHz等級，故時脈的準確度及信號輸出入的精準控制非常重要，因為GHz等級時，時脈常會被抖動(Jitter)及系統及各高頻頻率造成的雜訊(noise)干擾，故須利用誤碼產生器(Bit Error Rate Tester)80及眼圖分析儀(eye-diagram analyzer)90來了解信號傳輸品質的好壞，並分析造成抖動(如TJ(total jitter)，PJ(periodic jitter)，DCD(Duty-cycle jitter)…等等)或雜訊(如RN(random noise)，DN(deterministic noise)，DDN(data dependent noise)…等等)的原因。
如前所述，現有應用都在GHZ等級，亦即所謂的射頻(RF)等級，故而我們必須要用射頻網路分析儀來分析該載體系統在射頻底下的頻域行為，如輸入損耗(Insertion loss)，反射損耗(Return Loss)及傳輸損耗(Transitions Loss)等，如此配合前述之狀況，就能了解各層載體在時域(Time domain)及頻域(Frequency domain)的行為，達到以不同手段及方法來做改善。
由上述可知，本發明藉由板體、第一傳輸單元、第二傳輸單元及直流/交流轉換電路之設置，將整個測試直流探針卡的構造介面整合在一起，運用交流電路及傳輸線原理，能一次測出所有非常的關鍵參數及造 成錯誤原因的因素，不但可降低探針卡的高庫存率，也能為後續的功能測試(functional test)排除更多的錯誤，加快產品上市的速度，克服直流測試探針卡的瓶頸，且不光是針對直流探針卡，對整個原有每個測試層，如載卡(load board)，載卡與探針卡介面(POGO tower)，探針頭(probe head)及探針(needle)等，都能測出其特性及錯誤，如此便能針對真正的問題層作解決，而非一再清針與換卡。
以上為本案所舉之實施例，僅為便於說明而設，當不能以此限制本案之意義，即大凡依所列申請專利範圍所為之各種變換設計，均應包含在本案之專利範圍中。
10‧‧‧用於測試探針卡之轉換卡
11‧‧‧板體
12‧‧‧第一傳輸單元
13‧‧‧第二傳輸單元
14‧‧‧直流/交流轉換電路
15‧‧‧穿孔

Claims (6)

  1. 一種用於測試探針卡之轉換卡，係包含有：一板體；至少一第一傳輸單元，設於該板體，該第一傳輸單元用以電性連接於測試儀器以傳輸交流信號；至少一第二傳輸單元，設於該板體，該第二傳輸單元用以電性連接於探針卡介面；一直流/交流轉換電路，設於該板體，該直流/交流轉換電路電性連接於該第一傳輸單元、該第二傳輸單元。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之用於測試探針卡之轉換卡，其中，該板體具有一穿孔。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之用於測試探針卡之轉換卡，其中，該第一傳輸單元為數個排列成一區域之電性連接孔。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之用於測試探針卡之轉換卡，其中，該第二傳輸單元為電性連接孔。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之用於測試探針卡之轉換卡，其中，該板體、該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該直流/交流轉換電路係一體製成為一印刷電路板(PCB，Printed circuit board)。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之用於測試探針卡之轉換卡，其中，該板體、該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該直流/交流轉換電路係壓合成一體。
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