TW201433346A - 淨化器匣 - Google Patents
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Abstract
本發明係關於具有加強特徵部之淨化匣。一實施例係關於一種具有張力部件之淨化匣。一淨化系統可包含界定一介質腔之一可移除式匣。一組張力部件可跨越在一第一側壁與第二側壁之間。該組張力部件可將該介質腔分為複數個腔道。
Description
本申請案主張以下申請案之優先權：2012年10月1日申請之名為「Modular Filter With Tension Members」之美國臨時專利申請案第61/708,470號、2013年3月8日申請之名為「Modular Filter With Tension Members and Manifold for Modular Filters」之美國臨時專利申請案第61/775,051號、2013年4月19日申請之名為「Manifold for Modular Filters,Modular Filter Cassettes and Connection Systems」之美國臨時專利申請案第61/813,983號、2013年5月23日申請之名為「Modular Filter with Tension Members」之美國臨時專利申請案第61/826,880號及2013年6月17日申請之名為「Manifold for Modular Filters,Modular Filter Cassettes and Connection Systems」之美國臨時專利申請案第61/835,884號，其等各自針對全部目的以引用方式全部併入本文中。
本發明係關於淨化及過濾系統。更特定言之，本文中描述之實施例係關於模組化淨化及過濾系統。甚至更特定言之，本文中描述之實施例係關於用於淨化半導體製造流體之模組化淨化及過濾系統。
半導體製程對污染極為敏感，這係因為即使在一半導體晶圓上沈積一小顆粒或其他污染物(金屬、非揮發性殘留物)亦可導致缺陷。
因此，通常採用具有移除亞微米顆粒、如金屬離子之殘留物及其他污染物之隔膜之超淨淨化器。雖然已研發出不同過濾模組以過濾半導體製造液體，但是避免矩形過濾器，這係因為矩形設計通常不能滿足一緊湊設計中可承受用於半導體製造之壓力之過濾及流速要求。因此，許多現有過濾器模組係圓柱形，具有具備其中駐留過濾器隔膜之單件式圓柱形轉筒或套筒之一外殼。通常，此等過濾器含有圍封在一外殼體與一內部核心之間之一圓形摺疊式過濾器隔膜。流體自頂部或底部進入過濾器模組，在行進穿過殼體之前在套筒之間流動，行進穿過過濾器隔膜至中空核心並退出模組。
現有圓柱形過濾器模組具有若干缺點。一缺陷係：圓形摺疊式隔膜過度限制流體流動，這係因為隔膜必須朝中心更緊密包裝以達成圓形組態。另一缺陷係：圓柱形外殼經模製或擠壓成單件，從而使其難以或不可能添加垂直於圓柱軸延伸之幾何形狀。此外，許多現有過濾器模組難以安裝及更換。因為用於半導體製造之許多液體具有腐蝕性或有毒，所以過濾器模組更換對工人有害。
採用圓柱形過濾器之當前過濾系統具有有限可組態度。在許多情況下，過濾器係透過多個單元以一固定組態連接，使其難以視需要將通過過濾器之流動自連續改變為平行。此外，許多過濾系統僅使用單一類型的過濾器，從而限制在單一過濾系統中應用用於不同目的或顆粒大小之不同過濾器之能力。
本發明描述模組化淨化系統及方法之實施例。一實施例可包含可用作一淨化器匣或用於另一目的之一緊湊壓力容器。該壓力容器可包括具有界定一內部腔之一組介質腔側壁之一主體。一第一埠可經流體連接至該內部腔之一第一部分且一第二埠可經流體耦合至該介質腔之一第二部分。
該組內部腔側壁可包括一第一側壁、一第二側壁、一第三側壁及一第四側壁，該第一側壁與該第二側壁相對且該第三側壁與該第四側壁相對。一或多個張力部件可耦合至該介質腔之該第一側壁及該第二側壁且可將該介質腔分為複數個區段。
根據一實施例，該淨化器主體可經組態具有加強結構。根據一實施例，該等加強結構包括延伸可(在一實施例中)提供雙重功能(提供流徑及加強該主體)之裝置之長度(或其他長度)之加強肋。該等加強肋可界定弧形、橢圓形或其他圓形流徑，藉此提供加強拱形件。因此，根據一實施例，一系列加強拱形件可沿該側壁界定該等流徑。
根據一實施例，該主體可包含複數個箍環狀結構以透過該壓力容器結構分佈負載，從而容許該壓力容器承受高壓及高溫應用。該等箍環狀結構可提高箍環應力以拉緊該第一側壁、該第二側壁、該第三側壁及該第四側壁。
可提供一或多個張力部件。根據一實施例，該等張力部件可平行於該第三側壁及該第四側壁延伸並將該介質腔分為複數個腔道。可在該複數個腔道之各者中安置一淨化元件。在一些實施例中，該等淨化元件可包括一經壓縮大體上矩形褶襉網片(pleat pack)，其經配置使一第一組褶襉尖端面向該介質腔之上游部分及一第二組褶襉尖端面向該介質腔之下游部分。
該淨化器匣可進一步包括沿該第一側壁安置之一第一組主流動通道及沿該第二側壁安置之一第二組主流動通道。該第一組主流動通道及該第二組主流動通道可在該複數個腔道之相對側上與該複數個腔道對準。該第一組主流動通道之各者可經流體耦合至該第一埠且經組態以與該複數個腔道之第一側交換流體，且該第二組主流動通道之各者可經流體耦合至該第二埠且經組態以與該複數個腔道之一第二側交換流體。可在該第一組主流動通道中安置一第一組子通道且可在該第
二組主流動通道中安置一第二組子通道。該第一組主流動通道可包含連接至該第一組子通道之一第一組充氣室，且該第二組主流動通道可包含連接至該第二組子通道之一第二組充氣室。
根據一實施例，該主體包括一第一側蓋，其包括該第一側壁並界定該第一組主流動通道；一第二側蓋，其包括該第二側壁並界定該第二組主流動通道；及一主殼體。該主殼體可進一步包括一底座，其具有開口以容許流體在該複數個腔道與該第二組流動通道之間流動。該主殼體可進一步包括該第三側壁、該第四側壁及一組張力部件。該第二側蓋可耦合至該底座且該第一側蓋可耦合至該第三側壁之一遠端、該第四側壁之一遠端及該張力部件之一遠端，且該第二側蓋耦合至該底座。
該淨化器匣可進一步包含一第一端帽及一第二端帽。一端帽可包含一埠接頭，其具有一組埠接頭外螺紋，諸如經組態以接合一連接螺母之內螺紋之多線螺紋。連接系統及接頭可包含對準特徵部以有助於確保該等接頭外螺紋及該等連接螺母內螺紋適當對準。
該連接系統及該匣可包含對準特徵部。在一實施例中，該接頭之該等對準特徵部可包含一對準肋及安置在一旋轉部件中以接納該對準肋之一狹槽。該對準肋及該狹槽可經組態使得該旋轉部件在該對準肋可進入該狹槽之前旋轉至某個角度(例如，對應於其中該等螺紋對準之一位置)。該對準肋及該狹槽可呈螺旋狀。
該連接螺母可包含該等連接系統對準特徵部。在一實施例中，該連接螺母可包含一第一對準特徵部且該埠接頭可包括分開以對準該連接螺母之該第一對準特徵部之一第二對準特徵部。根據一實施例，該第一對準特徵部可為一組內突出體且該第二對準特徵部可為一組缺口(例如，界定在一埠肋中或其他處)。該第二對準特徵部可與一組埠接頭外螺紋之一螺紋線分開，使得除非該連接螺母之該對準特徵部配
接該接頭之該對準特徵部(例如，該等內突出體係由該等缺口接納)，否則連接螺母內螺紋不能接合該組埠接頭外螺紋。在一些情況下，該連接系統之該對準特徵部在該連接螺母可旋轉之前行進穿過該接頭之該對準特徵部(或反之亦然)。
該等對準特徵部可經組態使得僅某些匣裝配在某些歧管(或一歧管內之特定位置)中(例如，以確保適當匣用於某些應用)。例如，缺口組及該等內突出體可在不同接頭/連接螺母之幾何形狀、間隔或其他態樣中有所變更。
另一實施例可包括一端帽，其經組態以接合一連接系統，其具有一連接系統接頭及具備多線內螺紋之一連接螺母。該端帽可包含一第一埠接頭，其具有經組態以接合該等連接螺母多線內螺紋之一組多線外螺紋。該等連接螺母內螺紋可經組態以在旋轉小於360度的情況下在該第一埠接頭與另一接頭之間產生一密封。在一些實施例中，旋轉小於360度可導致至少360度或更大螺紋式接合，且在其他實施例中可導致小於360度螺紋式接合。該螺紋式接合可提供足以在該等接頭之間產生一密封之一圓周軸向密封力(例如，至少360度或在一些情況下小於360度之一軸向密封力)。
該端帽之接頭亦可包含與該第一埠接頭之一開口分開之一對準肋。在一實施例中，該對準肋可界定一組分開缺口，該等分開缺口經定位以在該連接螺母之一選定角位置中對準該連接螺母之內突出體。該對準肋可與該組多線外螺紋之一螺紋線分開，使得除非該等內突出體行進穿過該等分開缺口，否則該等連接螺母多線內螺紋不能接合該等多線外螺紋。在另一實施例中，該對準肋可經分開以對準在該連接系統之一旋轉臂中之一狹槽。
本文中提供之實施例藉由提供一緊湊淨化器匣而提供一優點，該緊湊淨化器匣可提供相當於具有相同隔膜面積之一圓柱形淨化器之
淨化、流速及壓降但包裝更緊湊。具有較小大小之淨化器匣甚至可用可變形材料(諸如全氟烷氧基聚合物(PFA))及用於半導體製造系統之其他此等材料予以達成。
本文中描述之實施例藉由最大化摺疊式淨化器(諸如摺疊式多微孔聚合物隔膜)之有效性提供另一優點。對於矩形褶襉網片，褶襉網片密度可在該裝置內保持均勻，從而最大化淨化面積之有效性。對於具有相同淨化面積之裝置，一矩形褶襉網片將表現如同其具有多於一圓形摺疊式隔膜之淨化面積。
作為使用矩形褶襉網片之實施例之另一優點，一矩形形狀褶襉網片大體上容許褶襉高於一圓形淨化器匣之褶襉。因此，一矩形褶襉網片可更好地填充一體積並與一圓形褶襉網片相比提供一更均勻形狀，藉此減小一矩形褶襉網片裝置之封套尺寸。
作為另一優點，實施例可減小淨化器堵塞。在許多當前淨化系統中，單一淨化器負責淨化整個流體流。因此，基於欲淨化之最精細顆粒大小選擇所使用的淨化器。這意謂一精細粒度(通常昂貴的)淨化器係用以淨化大顆粒及小顆粒二者，從而導致不適當堵塞。然而，本文中描述之淨化系統之實施例容許連續淨化，從而提供優於其中使用單一淨化器之傳統淨化系統之一優點。在最後一個淨化器之前，可使用其他可能更便宜的淨化器以預淨化去除較大顆粒及其他污染物。這可導致減小惡化或擴大最終淨化器之容量。
作為另一優點，許多製造商(例如，半導體製造商)使用遍及一製造系統分佈(例如，分佈在進入點處、底板中、製造工具處)之淨化系統。容許以單一淨化單元連續淨化之一淨化系統可避免需要多個分離淨化系統且容許在製造系統中之單一點處發生所有淨化。
作為又另一優點，實施例可提供一種用於流體接頭之快速連接機構，且在一些實施例中可提供一種容許同時密封多個接頭之快速連
接系統。在一些情況下，即使埠位於一淨化器匣後面且遠離一使用者，該快速連接系統亦可容許該使用者密封該等埠。此外，該快速連接可不具備O形環，從而改良污染物控制並提供更可靠的較高溫操作。
100‧‧‧淨化器匣
102‧‧‧主體
104‧‧‧第一端帽
106‧‧‧第二端帽
108‧‧‧第一埠
110‧‧‧第二埠
112‧‧‧第三埠
114‧‧‧第四埠
120‧‧‧第一端
122‧‧‧第二端
123‧‧‧第一側
124‧‧‧第二側
125‧‧‧第三側
126‧‧‧第四側
130‧‧‧徑向肋
132‧‧‧徑向肋
134‧‧‧對準孔
136‧‧‧對準孔
138‧‧‧軸肩
140‧‧‧對準開口
142‧‧‧對準開口
210‧‧‧第一側蓋/介質蓋
220‧‧‧第二側蓋
225‧‧‧淨化器元件
230‧‧‧主殼體
232‧‧‧底座
234‧‧‧外側壁
236‧‧‧外側壁
238‧‧‧張力部件
239‧‧‧整合腔道蓋/第二腔道蓋
240‧‧‧腔道蓋
242‧‧‧支撐部件
244‧‧‧框架部件
246‧‧‧舌狀物
252‧‧‧支撐部件
260‧‧‧側支撐部件
262‧‧‧分開肋
263‧‧‧分開肋
264‧‧‧流動通道/子通道
270‧‧‧側支撐部件
272‧‧‧分開肋/間肋
273‧‧‧分開肋/間肋
274‧‧‧流動通道/子通道/次級流動通路
280‧‧‧角隅
290‧‧‧角隅
302‧‧‧端表面
304‧‧‧主流動通道
310‧‧‧充氣室區域
311‧‧‧充氣室區域
312‧‧‧內表面
314‧‧‧內表面
316‧‧‧轉折
320‧‧‧突片
400‧‧‧端帽流動通道
401‧‧‧埠腔室
402‧‧‧第二端帽流動通道
403‧‧‧埠腔室
410‧‧‧充氣室
411‧‧‧充氣室
420‧‧‧流動通道
421‧‧‧埠腔室/出口腔室
422‧‧‧第二流動通道
423‧‧‧埠腔室
506‧‧‧端壁
512‧‧‧內壁/端壁
602‧‧‧腔道部分
604‧‧‧彎曲端角隅
606‧‧‧角隅
608‧‧‧增加應力之區域
610‧‧‧增加應力之區域
700‧‧‧淨化器匣
702‧‧‧主體/匣外殼
704‧‧‧第一端帽
706‧‧‧第二端帽
708‧‧‧第一埠
710‧‧‧第二埠
712‧‧‧第三埠
714‧‧‧第四埠
720‧‧‧端
722‧‧‧端/腳座
724‧‧‧導引槽
726‧‧‧導引槽
728‧‧‧手柄連接部件
730‧‧‧表面
732‧‧‧標籤固持件
734‧‧‧標籤
772‧‧‧腳座
800‧‧‧側蓋
804‧‧‧側支撐部件
806‧‧‧間肋
808‧‧‧間肋
810‧‧‧側蓋
814‧‧‧側支撐部件
816‧‧‧分開肋
818‧‧‧分開肋
820‧‧‧埠腔室
821‧‧‧流動通道
830‧‧‧埠腔室
831‧‧‧流動通道
840‧‧‧埠腔室
841‧‧‧流動通道
850‧‧‧埠腔室
851‧‧‧流動通道
905‧‧‧腔道蓋
910‧‧‧腔道蓋
925‧‧‧淨化器元件
1000‧‧‧淨化器匣
1002‧‧‧淨化器匣主體
1004‧‧‧端帽
1006‧‧‧端帽
1008‧‧‧埠
1010‧‧‧埠
1012‧‧‧埠
1014‧‧‧埠
1100‧‧‧淨化器匣
1102‧‧‧主體
1104‧‧‧第一端帽
1106‧‧‧第二端帽
1108‧‧‧第一埠
1110‧‧‧第二埠
1112‧‧‧第三埠
1114‧‧‧第四埠
1200‧‧‧淨化器匣
1202‧‧‧匣外殼
1204‧‧‧第一端帽
1206‧‧‧第二端帽
1208‧‧‧第一埠
1210‧‧‧第二埠
1224‧‧‧導引槽
1226‧‧‧導引槽
1228‧‧‧卡扣配合狹槽
1230‧‧‧手柄連接部件
1232‧‧‧可移除式手柄
1300‧‧‧端帽
1302‧‧‧主埠
1304‧‧‧次級埠/出口埠
1308‧‧‧塑形腔
1320‧‧‧通道
1400‧‧‧匣端帽
1402‧‧‧埠
1404‧‧‧埠
1406‧‧‧端帽流動通道
1408‧‧‧端帽流動通道
1493‧‧‧端面
1500‧‧‧端帽
1502‧‧‧底座
1510‧‧‧第一埠接頭
1512‧‧‧接頭外螺紋
1514‧‧‧埠肋
1516‧‧‧分開缺口
1520‧‧‧第二埠接頭
1522‧‧‧接頭外螺紋
1524‧‧‧埠肋
1526‧‧‧分開缺口
1530‧‧‧對準開口
1540‧‧‧流動通路
1542‧‧‧流動通路
1550‧‧‧區域
1554‧‧‧區域
1556‧‧‧區域
1630‧‧‧主殼體
1640‧‧‧腔道蓋
1660‧‧‧框架部件
1662‧‧‧凹槽
1664‧‧‧舌狀物
1700‧‧‧淨化器匣
1702‧‧‧主體
1704‧‧‧端帽
1706‧‧‧端帽
1710‧‧‧側蓋
1720‧‧‧第二側蓋
1730‧‧‧主殼體
1732‧‧‧底座
1734‧‧‧外側壁
1736‧‧‧外側壁
1738‧‧‧張力部件
1739‧‧‧整合腔道蓋
1740‧‧‧腔道蓋
1744‧‧‧框架部件
1750‧‧‧埠接頭
1752‧‧‧開口
1754‧‧‧埠接頭
1760‧‧‧側支撐部件
1762‧‧‧中心肋
1770‧‧‧側支撐部件/包覆模製材料
1772‧‧‧中心肋
1800‧‧‧淨化器匣/過濾器總成
1805‧‧‧第一側蓋
1810‧‧‧第二側蓋
1812‧‧‧第一端蓋/前端蓋
1814‧‧‧第二端蓋/後端蓋
1835‧‧‧過濾器出口埠
1840‧‧‧過濾器排氣埠
1925‧‧‧過濾器固持區域
1930‧‧‧過濾器入口埠
1940‧‧‧下游介質蓋
1945‧‧‧上游介質蓋
2002‧‧‧頂壁部分
2005‧‧‧上游側壁
2007‧‧‧邊緣
2009‧‧‧底壁部分
2011‧‧‧邊緣
2015‧‧‧上耦合部分
2016‧‧‧下耦合部分
20271‧‧‧端肋
20272‧‧‧端肋
20301‧‧‧底肋
20303‧‧‧底肋
2030n‧‧‧底肋
20351‧‧‧頂肋
20353‧‧‧頂肋
2035n‧‧‧頂肋
20371‧‧‧間肋
2037n‧‧‧間肋
2040‧‧‧底部偏離部分
2045‧‧‧頂部偏離部分
2049‧‧‧側壁偏離部分
20492‧‧‧側壁偏離部分
20493‧‧‧側壁偏離部分
20494‧‧‧側壁偏離部分
20501‧‧‧流動通道
20502‧‧‧流動通道
20503‧‧‧流動通道
20504‧‧‧流動通道
2050n‧‧‧流動通道
2135‧‧‧頂壁部分
2140‧‧‧底壁部分
2141‧‧‧第一端部分
2143‧‧‧第二端部分
2145‧‧‧側壁部分
2177‧‧‧內緣
2179‧‧‧內緣
2260‧‧‧上部部件
2265‧‧‧下部部件
2270‧‧‧前端部件
2275‧‧‧後端部件
2280‧‧‧中間分開部件
2302‧‧‧主介質蓋部分
2304‧‧‧分開部件
2306‧‧‧支撐部件
2310‧‧‧下部延伸部
2312‧‧‧突片
2015‧‧‧下部耦合部分
2016‧‧‧上部耦合部分
2320‧‧‧上部延伸部
2322‧‧‧突片
2430‧‧‧凹槽
2435‧‧‧舌狀物
2440‧‧‧凹槽
2445‧‧‧舌狀物
2555‧‧‧下部舌狀物
2560‧‧‧凹槽
2570‧‧‧凹槽
2700‧‧‧過濾器總成
2705‧‧‧第一壁
2710‧‧‧第二壁
2715‧‧‧第三壁
2720‧‧‧第四壁
2725‧‧‧第五壁/端壁
2730‧‧‧第六壁/端壁
2740‧‧‧過濾器入口埠
2745‧‧‧過濾器出口埠
2747‧‧‧入口排氣埠
2750‧‧‧第一蓋
2755‧‧‧第二蓋
2760‧‧‧整合淨化器元件殼體
2765‧‧‧上部舌狀物
2800‧‧‧上游部分
2802‧‧‧下游部分
2804‧‧‧淨化器元件固持區域
2806‧‧‧第一介質蓋/上游介質蓋
2808‧‧‧第一側壁部分
2810‧‧‧第二側壁部分
2820‧‧‧第二介質蓋/下游介質蓋
2822‧‧‧耦合部分
2902‧‧‧分開部件
2904‧‧‧支撐件
2906‧‧‧開口
3002‧‧‧端面
3400‧‧‧過濾器總成
3402‧‧‧第一壁
3404‧‧‧第二壁/側壁
3406‧‧‧第三壁
3408‧‧‧第四壁/側壁
3410‧‧‧第五壁
3412‧‧‧第六壁
3420‧‧‧過濾器入口埠
3422‧‧‧過濾器出口埠
3424‧‧‧排氣埠
3426‧‧‧排氣埠
3430‧‧‧替代排氣口位置
3438‧‧‧第一蓋
3440‧‧‧第二蓋
3442‧‧‧整合淨化器元件殼體
3502‧‧‧上游部分/上游腔
3504‧‧‧下游部分
3506‧‧‧淨化器元件固持區域
3507‧‧‧第二介質蓋/下游介質蓋
3508‧‧‧第一介質蓋/上游介質蓋
3510‧‧‧第一側壁部分
3512‧‧‧第二側壁部分
3702‧‧‧入口孔
3704‧‧‧等面積區域
3805‧‧‧分開部件
3810‧‧‧支撐件
4200‧‧‧連接系統
4202‧‧‧連接外殼
4210‧‧‧連接螺母
4212‧‧‧第一接頭
4214‧‧‧第二接頭
4215‧‧‧第一側
4216‧‧‧第二側
4220‧‧‧較小直徑區域
4222‧‧‧較大直徑區域
4230‧‧‧第一區段
4232‧‧‧第二區段
4240‧‧‧互補徑向軸肩
4242‧‧‧端部分
4244‧‧‧埠接頭外螺紋
4246‧‧‧連接螺母內螺紋
4250‧‧‧螺母外螺紋
4252‧‧‧外殼內螺紋
4302‧‧‧連接外殼
4304‧‧‧連接外殼內螺紋
4310‧‧‧連接螺母
4312‧‧‧螺母內螺紋
4314‧‧‧螺母外螺紋
4320‧‧‧流體接頭
4322‧‧‧接頭外螺紋
4324‧‧‧接頭
4400‧‧‧連接系統
4402‧‧‧連接外殼
4410‧‧‧第一連接螺母
4412‧‧‧第一流體接頭
4420‧‧‧第二連接螺母
4422‧‧‧第二流體接頭
4430‧‧‧齒輪臂
4432‧‧‧傳動臂
4434‧‧‧螺母耦合部件
4436‧‧‧齒輪齒
4440‧‧‧齒輪
4450‧‧‧傳動手柄
4452‧‧‧傳動軸件
4454‧‧‧端帽對準柱
4460‧‧‧表面
4462‧‧‧外殼之表面
4464‧‧‧缺口/凹槽
4465‧‧‧位置
4502‧‧‧第一連接螺母開口
4504‧‧‧第二連接螺母開口
4506‧‧‧狹槽
4508‧‧‧緊固件開口
4510‧‧‧螺紋孔
4600‧‧‧外螺紋
4602‧‧‧內螺紋
4604‧‧‧內突出體
4606‧‧‧彈性指狀物
4608‧‧‧特徵部
4609‧‧‧軸肩
4612‧‧‧流體接頭軸肩
4702‧‧‧特徵部
4704‧‧‧特徵部
4706‧‧‧插入件
4708‧‧‧徑向突出體
4709‧‧‧壓縮環
4710‧‧‧部分
4720‧‧‧傳動軸件通路
4722‧‧‧傳動軸件尖端
4730‧‧‧彈性指狀物
4732‧‧‧環形凹槽
4800‧‧‧對準開口
4802‧‧‧入口通道
4804‧‧‧第一徑向通道
4806‧‧‧第二徑向通道
4808‧‧‧第二軸向通道
4810‧‧‧肋狀物
4812‧‧‧脊部
4850‧‧‧插入件
4900‧‧‧連接系統
4902‧‧‧連接外殼
4930‧‧‧齒輪臂
4932‧‧‧狹槽
4934‧‧‧肋狀物
4940‧‧‧凹槽
4950‧‧‧傳動手柄
4952‧‧‧傳動軸件
4954‧‧‧凸座
5000‧‧‧連接系統
5010‧‧‧連接螺母
5012‧‧‧連接外殼
5011‧‧‧外螺紋
5014‧‧‧彎頭接頭
5016‧‧‧端帽
5020‧‧‧旋轉部件
5022‧‧‧臂
5024‧‧‧平台
5026‧‧‧工具界面
5102‧‧‧螺母內螺紋
5104‧‧‧螺母外螺紋
5200‧‧‧主體
5210‧‧‧第一側蓋
5220‧‧‧第二側蓋
5225‧‧‧淨化器元件
5230‧‧‧主殼體
5232‧‧‧底座
5234‧‧‧外側壁
5236‧‧‧外側壁
5238‧‧‧張力部件
5239‧‧‧整合腔道蓋
5240‧‧‧腔道蓋
5244‧‧‧架部件
5260‧‧‧側支撐部件
5262‧‧‧分開肋
5263‧‧‧分開肋
5264‧‧‧子通道/流動通道
5270‧‧‧側支撐部件
5272‧‧‧分開肋
5273‧‧‧分開肋
5274‧‧‧流動通道部分
5292‧‧‧標籤固持件
5294‧‧‧標籤
5300‧‧‧淨化器匣
5301‧‧‧主體
5302‧‧‧第一端帽
5304‧‧‧第二端帽
5306‧‧‧第一埠
5308‧‧‧第二埠
5310‧‧‧第三埠
5312‧‧‧第四埠
5400‧‧‧淨化器匣
5401‧‧‧主體
5402‧‧‧第一端帽
5404‧‧‧第二端帽
5406‧‧‧第一埠
5408‧‧‧第二埠
5410‧‧‧第三埠
5412‧‧‧第四埠
5500‧‧‧淨化器匣
5501‧‧‧主體
5502‧‧‧第一端帽
5504‧‧‧第二端帽
5506‧‧‧第一埠
5508‧‧‧第二埠
5510‧‧‧第三埠
5512‧‧‧第四埠
5600‧‧‧過濾系統
5602‧‧‧淨化器匣
5604‧‧‧過濾器
5606‧‧‧圓柱形過濾器
包含隨附本說明書並形成其部分之圖式以描繪本發明之實施例之某些態樣。藉由參考該等圖式中圖解說明之例示性且因此非限制性實施例將更加容易明白本發明之一更清晰印象及具備本發明之系統之組件及操作之一更清晰印象，其中相似參考數字指定相同組件。注意，該等圖式中圖解說明之特徵不一定按比例繪製。
圖1A至圖1B係一匣之一實施例之圖形表示。
圖2係一匣主體之一實施例之一視圖之一圖形表示。
圖3係一側蓋之一實施例之一圖形表示。
圖4A至圖4B係一側蓋及端帽之一實施例之圖形表示。
圖5係通過一系統之流動之一實施例之一圖形表示。
圖6係一匣中之應力之一實施例之一圖形表示。
圖7係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖8A至圖8B係一側蓋及端帽之另一實施例之圖形表示。
圖9係通過一匣之另一實施例之流動之一圖形表示。
圖10係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖11係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖12係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖13A至圖13B係一端帽之一實施例之圖形表示。
圖14係一端帽之一實施例之一圖形表示。
圖15A至圖15D係一端帽之一實施例之圖形表示。
圖16係一主殼體及腔道蓋之另一實施例之一圖形表示。
圖17A至圖17B係一匣之另一實施例之圖形表示。
圖18A至圖18B係一匣之又另一實施例之圖形表示。
圖19係一匣之另一實施例之一橫截面之一圖形表示。
圖20A至圖20B係一側蓋之一實施例之圖形表示。
圖21A至圖21B係一側蓋之一實施例之圖形表示。
圖22係一介質蓋之一實施例之一圖形表示。
圖23係一介質蓋之另一實施例之一圖形表示。
圖24A至圖24B係一主體之一部分之圖形表示。
圖25A至圖25B係一匣之一部分之一實施例之圖形表示。
圖26A至圖26B係一匣之一部分之一實施例之圖形表示。
圖27A至圖27D係一淨化器匣之另一實施例之圖形表示。
圖28係一淨化器匣之一視圖之一實施例之一圖形表示。
圖29A至圖29B係一主殼體之一實施例之圖形表示。
圖30A至圖30B係一主殼體之另一實施例之圖形表示。
圖31係一主殼體及介質蓋之一實施例之一圖形表示。
圖32係一主殼體及介質蓋之一實施例之另一視圖之一圖形表示。
圖33係具有一側蓋之一主殼體及介質蓋之一實施例之一圖形表示。
圖34A至圖34D係一淨化器匣之一實施例之視圖之圖形表示。
圖35係一淨化器匣之一實施例之一橫截面視圖之一圖形表示。
圖36係一淨化器匣之一實施例之另一視圖之一圖形表示。
圖37係一入口開口之一實施例之一圖形表示。
圖38A至圖38C係一主殼體之一實施例之圖形表示。
圖39係主殼體及介質蓋之一實施例之一圖形表示。
圖40係一主殼體、介質蓋及側蓋之一實施例之一圖形表示。
圖41係處於一非接合狀態之一連接系統之一實施例之一圖形表示。
圖42係處於一接合狀態之一連接系統之一實施例之一圖形表示。
圖43係一連接系統之另一實施例之一圖形表示。
圖44A至圖44B係一連接系統之另一實施例之圖形表示。
圖45係一連接外殼之一實施例之一圖形表示。
圖46A係一連接螺母之一實施例之一圖形表示。
圖46B係一連接螺母及接頭之一實施例之一圖形表示。
圖47A至圖47B係一傳動系統之一實施例之圖形表示。
圖48係一對準開口之一實施例之一圖形表示。
圖49A至圖49C係一傳動系統之另一實施例之圖形表示。
圖50係連接系統之一實施例之一圖形表示。
圖51係連接系統之一實施例之一視圖之一圖形表示。
圖52係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖53係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖54係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖55係一匣之另一實施例之一圖形表示。
圖56係使用大體上矩形匣對照傳統圓柱形匣之一過濾系統之一實施例之一圖形表示。
參考隨附圖式中圖解說明且下列描述中詳述之非限制性實施例更加完整地解釋淨化系統及其各種特徵及有利細節。省略已知起始材料、處理技術、組件及設備之描述以免不必要地在細節方面混淆本發明。然而，應瞭解，在指示較佳實施例時，詳細描述及特定實例係僅藉由圖解之方式且非藉由限制之方式給定。熟習此項技術者根據本發
明將明白基礎概念之精神及/或範疇內之各種替代、修改、添加及/或重新配置。
如本文中使用，術語「包括」、「包含」、「具有」或其任何其他變體旨在涵蓋一非排斥包含。例如，包括一系列元件之一程序、物品或設備不一定僅限於該等元件，但是可包含未明確列出或此程序、物品或設備固有之其他元件。進一步言之，除非明確說明相反的情形，否則「或」係指一包含性或而非一排斥性或。例如，以下任何一者滿足一條件A或B：A為真(或存在)且B為假(或不存在)，A為假(或不存在)且B為真(或存在)，以及A及B皆為真(或存在)。
此外，本文中給定之任何實例或圖解無論如何皆不會被視為約束、限於搭配其等使用之任何術語或表達其定義。相反，此等實例或圖解被視為關於一特定實施例描述且僅為視為闡釋性。一般技術者應明白，搭配此等實例或圖解使用之任何術語將涵蓋可由或不一定由任何術語或說明書中其他處給定之其他實施例，且所有此等實施例旨在包含於該(該等)術語之範疇內。指定此等非限制性實例及圖解之用語包含(但不限於)：「例如」、「在一實施例中」。
為便於解釋，可關於一第一軸(x軸)、一第二軸(y軸)及一第三軸(z軸)描述實施例。此外，實施例可被稱作具有一頂側、底側、前側、後側、左側及右側以及一高度、深度及寬度。此等軸及術語係藉由解釋方式提供。可以其他方式定向並組態實施例。此外，雖然某些項目可被稱作「第一」、「第二」、「第三」、「第四」等等(例如，一第一側壁、第二側壁)，但是應瞭解此等術語係用於解釋且多個此等項目之任一者皆可被視為「第一」、「第二」等等。
本文中描述之實施例係關於緊湊型大體上矩形壓力容器，其包含能夠自液體移除如顆粒、離子、氣體等等之污染物之淨化器匣。更特定言之，一些實施例係關於用於淨化多種流體(包含(但不限於)半導
體製程流體，諸如用於濕式蝕刻及清洗應用之化學物質)之淨化器匣。在其他實例中，實施例可應用於淨化微影處理中之化學物質(光化學物質)。光化學物質包含諸如底材(primer)、助黏劑、光阻、邊珠去除劑(edge bead remover)、抗反射塗層、顯影劑、介電質等等之材料。可在使用點(POU)、底板或其他處淨化化學物質。淨化器匣亦可用以過濾其他液體，包含漿體。
一淨化器匣可包含自一製程液體或其他流體添加或移除材料之一淨化元件。一淨化元件或淨化器元件係指可自一液體或其他流體添加或移除材料之任何淨化介質。例如，可由介質移除之污染物包含(但不限於)顆粒、凝膠、分子污染物、離子、溶解氣體、氣泡或此等之組合。可添加之材料可包含如臭氧及二氧化碳之氣體。如本文中使用之過濾係指自一液體或其他流體移除污染物之所有或一部分之動作或步驟。淨化可包含(但不限於)機篩、靜電、化學鍵結、離子交換、螯合作用、吸收、脫氣及此等之組合。
介質係指自一液體或其他流體移除污染物或將材料轉移至液體或其他流體中之一材料或材料組合。介質可包含(但不限於)用於移除顆粒之多孔隔膜；用於脫氣液體之無孔隔膜；具有離子交換基團或配位基之多孔隔膜，或隔膜內含有離子交換介質之多孔隔膜，或囊封離子交換、吸收或用於移除液體中之離子或殘留物之其他反應性微粒介質(諸如(但不限於)矽珠粒、離子交換珠粒或活性碳)之多孔隔膜。一介質可為多孔介質(例如，用於過濾)或無孔介質(例如，用於氣體交換)。在一些實施例中，介質可用以將材料轉移至諸如一液體之一製程流體中。一實例將包含用於對液體添加臭氧氣體或二氧化碳氣體之一多孔或無孔隔膜。在各種實施例中，淨化器匣含有一或多種介質。
一淨化介質可包含一隔膜。例示性隔膜包含(但不限於)由聚合物材料製成之隔膜。實例可包含(但不限於)聚烯烴，如超高分子量聚乙
烯、聚丙烯及高密度聚乙烯；鹵化聚烯烴，諸如聚四氟乙烯及聚偏二氟乙烯；全氟化聚合物，如全氟烷氧基聚合物(PFA)及氟化乙烯丙烯(FEP)；聚碸、包含尼龍6,6之聚醯胺及聚酯。隔膜可為多孔、無孔或具有去皮表面(多孔或無孔)。多孔隔膜可為單層或多層且包含具有跨隔膜之厚度之對稱或不對稱(及組合)小孔大小之隔膜。隔膜可藉由熔噴或電紡絲澆鑄、擠壓或形成或可為由此等之一組合製成之多層隔膜。聚合物結網材料及其他材料可連同一隔膜一起摺疊。在一些實施例中，一無孔隔膜可用於熱量交換。
在論述特定實例之前，某種背景可能有用。在過濾半導體製造流體時，通常需要平衡顆粒保留或污染物移除、流速、大小及跨過濾器之壓降。隨著保留或污染物移除或流速增加，過濾器之大小亦增加以減小增加的壓降。例如，對於一給定過濾介質，將小孔大小減小50%可使流阻增加400%。這意謂為維持一所要流速，過濾器中之壓降將大幅增加。為補償壓降增加，因此可能必須增加過濾器外殼之大小及對應隔膜面積。然而，大型過濾器的使用歸因於空間約束或其他考慮而可能非所要或不可行。
習知地，圓柱形過濾器表示大小、保留或污染物移除、流速及壓力損失之一良好的平衡。因此，半導體製造產業大體上採用圓柱形過濾器。避免矩形過濾器，這係因為一矩形過濾器中之應力要求矩形過濾器經製造大於一相當的圓柱形過濾器以達成相同過濾及流速。此外，認為半導體製造過濾器中通常經歷的壓力將造成典型的矩形設計中的高局部應力。此等應力將導致通常用於半導體製造裝置之非反應性材料(諸如全氟烷氧基聚合物(PFA)及聚四氟乙烯(PTFE))屈服，從而導致過濾器故障。
本文中描述之實施例可提供一種淨化器匣，其具有呈一緊湊設計之一大體上矩形外形，與具有一相當的過濾器介質面積之一圓柱形
過濾器相比，該淨化器匣可提供相當或優越的保留(或其他淨化)、流速及壓降。該匣可進一步提供較低外殼表面面積及無效體積以改良過濾效能。在一些實施例中，該匣可由諸如PFA之材料及其他非反應性材料形成，且可因此適用於搭配半導體製造流體使用。RFID標籤及其他特徵部可整合於一淨化器匣中以促進程式化操作並促進由機器人進行過濾器替換。
根據一實施例，一匣可組態為一淨化器匣。可使用多種淨化器元件，包含由隔膜形成以過濾一液體或其他流體之摺疊式過濾器。隔膜可經選擇以達成所要顆粒大小保留或其他淨化結果。對於一些半導體製造應用，可選擇具有20奈米、15奈米、10奈米或更小之顆粒大小保留之多孔隔膜。對於亞15奈米保留，可將一相對較高流速維持在此等保留額定值，包含(但不限於)大於每分鐘15公升。例如，可由介質移除之污染物包含(但不限於)顆粒、凝膠、分子污染物、離子、溶解氣體、氣泡或此等之組合。
半導體製造中經歷之另一問題係缺少一適當快速連接接頭。可承受較高壓力之許多接頭必須旋轉若干次以完成一密封。此等連接尤其難以在狹小空間中使用，且無法促進由機器人進行過濾器替換。為此，本文中描述之實施例進一步提供一種快速連接接頭，其可用於多種應用，包含半導體製造系統。快速連接接頭可提供非O形環密封。非O形環設計可減小污染物並提供更可靠的高溫操作。快速連接接頭可進一步提供防止插入錯誤或不正確就位之特徵部。
應注意，淨化器匣可包含如上所述般執行淨化之任何適當淨化介質。在一些情況下，一匣可經組態用於其他應用，諸如熱量交換或其他應用。
圖1A及圖1B係一淨化器匣100之一實施例之圖形表示。為論述之目的，將就一第一端120(一頂端)、一第二端122(一底端)、一第一側
123(一前側)、一第二側124(一後側)、一第三側125及一第四側126描述淨化器匣。淨化器匣100具有具備一大體上矩形外形之一主體102、一第一端帽104及一第二端帽106。主體102可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。端帽104及端帽106提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠108、第二埠110、第三埠112及第四埠114之一或多者)。取決於淨化器匣100之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或其他類型的埠。在一些情況下，該等埠可經放置使得可顛倒淨化器匣(例如，淨化器匣可在端120作為頂部且端122作為底部(或反之亦然或在另一定向上)之情況下配接至一歧管)。可使用任何適當機構，包含(但不限於)透過音波黏結、熱黏結、黏著劑或其他連結方案或透過機械緊固件或其等之一組合進行的連結，將各種外殼組件耦合在一起。
在其他實施例中，埠接頭可在內部具有螺紋或不具備螺紋。如所描繪，埠在x-y平面中開向匣100後面且穿過埠之主要流徑平行於z軸。一端帽上之埠在x及y軸二者上彼此偏離。由於埠沿y軸偏離，端帽可能較為狹窄，從而容許淨化器匣100之總寬度(例如，x方向上的大小)保持較小。雖然圖解說明兩個端帽，但是一淨化器匣可具有一端帽，而另一端被密封。在其他實施例中，埠可安置在匣之一側壁中或其他處且未使用端帽。
如圖1A中描繪，埠接頭可包含埠接頭外螺紋以接合一歧管或其他組件之螺紋。此外，一埠接頭可包含自端帽之一表面延伸且自各自埠開口(例如，埠108及埠112)後移之一徑向突出埠肋(例如，徑向肋130及徑向肋132)。徑向肋130及徑向肋132可用作一對準特徵部且有助於確保如下論述般進行一密封連接。在一些實施例中，不存在徑向肋。一徑向肋之一實例係下文結合圖49論述之一螺旋肋。然而，徑向肋130及徑向肋132亦可具有其他組態。
端帽可包含諸如對準孔、軌道、導槽或類似物之特徵部以接合一歧管總成上之互補特徵部以有助於確保適當地放置淨化器匣。在圖1A之實施例中，端帽104包含對準孔134且端帽106包含開向匣100前面之對準孔136以接納一歧管之導銷(例如，諸如下文論述之對準把手或其他導軌)。對準孔134/136可接納一歧管之對應導軌以垂直定位並固持匣100。端帽104可進一步包含一對準開口140且端帽106可包含對準開口142。根據一實施例，對準開口140軸向對準埠108且對準開口142軸向對準埠112。對準開口140及對準開口142可如下文論述般接納一傳動手柄之一對準柱。匣100之外側壁可進一步包含可用以支撐並對準匣之軸肩138。例如，軸肩138可接觸一歧管之導引臂或其他對準特徵部以有助於對準並支撐匣100。
如下文論述，匣100可包含用於方便安全地處置之額外特徵部(諸如標籤、手柄等等)。作為一實例，可在匣100與埠開口相對之側上安置腳座或平坦表面以容許匣100擱在一表面上使得埠開口面向上且不傾倒。
圖2係自一端觀察之主體102之一實施例之一圖形表示(例如，移除端帽106)。主體102可界定一介質腔。介質腔可隔離為腔道，其中各腔道中安置一淨化器元件225。根據一實施例，平行腔道在x-z平面及x-y平面中具有一大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示三個腔道，但是淨化器匣可具有更多或更少個腔道。腔道可經密封使其等彼此阻隔使得流體未在腔道之間流動。在其他實施例中，可提供開口使得流體可在隔離腔道之間流動。
根據一實施例，主體102包括第一側蓋210、第二側蓋220、主殼體230及腔道蓋240(指示其等之一者)。主殼體230、第一側蓋210、第二側蓋220及端帽可使用緊固件、音波黏結、干涉配合或其他耦合機構耦合在一起，且可協同以形成介質腔及平行腔道。主殼體230提供
在外側壁234與外側壁236之間延伸之一底座232及自底座232延伸之一組分開張力部件238。側壁234、側壁236、側蓋210及側蓋220可形成內腔之側壁。主殼體側壁及張力部件238可沿長軸在腔內延伸一長度以形成腔道側壁。底座232介於腔道側壁之間(例如，外側壁234/236與一張力部件238之間及兩個張力部件238之間)之部分形成整合腔道蓋239，其包括一格柵以容許流體流入或流出對應腔道。在一些實施例中，一支撐部件252可延伸格柵之長度以提供額外支撐。在一些情況下，支撐部件252可被分成不連續區段以容許格柵之不同部分在用於組裝程序之熱量下獨立地膨脹或收縮。例如，多個格柵狹槽可全程跨一整合腔道蓋239延伸，從而將支撐部件252分為區段。
底座232之一側可包含促進將側蓋220耦合至底座232之特徵部。根據一實施例，底座提供可熱黏結或以其他方式耦合側蓋220之一部分之一組側蓋安裝表面。在相對側上，外側壁234、外側壁236及張力部件238遠離底座232之端可提供促進將側蓋210耦合至主殼體230之特徵部。例如，遠端表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋210之一部分之側蓋安裝表面。
腔道蓋240跨越在各主殼體側壁234/236與一張力部件238之間或相鄰張力部件238之間，且可延伸腔道之長度以覆蓋腔道與底座232相對之側。腔道蓋240可包括包含延伸腔道蓋240之長度之框架部件244之一外框架及跨越在框架部件244之間之一格柵部分。延伸格柵之長度之一支撐部件242可對一腔道蓋240提供額外剛性。在一些情況下，支撐部件242可被分成不連續區段以容許格柵之不同部分在熱量下獨立地膨脹或收縮。腔道蓋240中之開口可相同或不同於底座232之整合腔道蓋239中之開口。
框架部件244面向側蓋210之表面可提供一側蓋安裝表面以促進側蓋210之耦合。例如，側蓋安裝表面可提供可黏結或以其他方式耦
合側蓋210之一部分之一表面。腔道蓋240亦可包含耦合特徵部以促進使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋240耦合至主殼體230。根據一實施例，腔道蓋240可包含自框架部件244突出之舌狀物246。舌狀物246係接納在各自外側壁234/236或張力部件238之對應凹槽中以將腔道蓋240卡住在適當位置中。
如圖2中描繪，在一淨化器元件225之一上游側及一下游側二者上提供一腔道蓋(例如，呈腔道蓋240及整合腔道蓋239之形式)。在其他實施例中，僅在淨化器元件225之一側上提供一腔道蓋。在又另一實施例中，完全不使用腔道蓋。具有腔道蓋以覆蓋淨化器元件225之上游側及下游側之一優點係：可在正向流動及反向流動中支撐淨化器元件225，從而容許匣在任一流動方向上類似地運行。
側蓋210可包含側支撐部件260、對準張力部件238之一組分開肋262，且可包含對準介質蓋支撐部件242之一組分開肋263。在圖1A及圖1B之定向上，側支撐部件沿側蓋210之前側(側123)及後側(側124)邊緣延伸。側蓋220可類似地包含側支撐部件270、對準張力部件238之一組分開肋272及大體上對準第二腔道蓋之支撐部件252之一組分開肋273。
可沿側壁安置流動通道。為此，側支撐部件260、分開肋262及分開肋263可延伸一長度並協同以形成一組平行流動通道264，其等沿其等長度開向腔道蓋240。類似地，側支撐部件270、分開肋272及分開肋273可延伸一長度並協同以形成一組平行流動通道274，其等沿其等長度開向腔道蓋239。流動通道之端可經流體耦合至入口埠、出口埠、排氣埠或排放埠之一或多者。
雖然每個腔道描繪兩個流動通道，但是匣之每個腔道可具有單一流動通道。例如，可省略肋狀物263及273或肋狀物263/273與各自腔道蓋之間可存在一間隙。其他實施例之每個腔道可具有額外流動通
道。流動通道264及274可具有任何所要形狀及大小，且相同側或相對側上之不同流動通道可具有不同組態。根據一實施例，流動通道可呈弧形、橢圓形或圓形以沿界定通道之側蓋內側產生一系列拱形件。圓形或橢圓形形狀可產生箍環應力以拉緊主體，從而最大化其強度能力。
各側蓋上之分開肋之一些分開以對準張力部件238。此等肋狀物之內表面可耦合至張力部件之端。例如，肋狀物272之內表面可在張力部件238之底座處耦合至主殼體230且肋狀物262之內表面可耦合至張力部件238之遠端。因此，當壓力容器腔受到壓力時，張力部件238將於側蓋210及220上撐住一力以減小或防止側蓋210及220彎曲。張力部件238之大小及組態可經選擇使得在期望操作壓力下，壓力容器腔之體積變形小於一所要百分比。
其他分開肋可對準腔道蓋之支撐部件242(例如，分開肋263對準腔道蓋240之支撐部件242且分開肋273對準腔道蓋239之支撐部件252)。肋狀物263及273之端可耦合至各自支撐部件242/252或肋狀物263及273之端與各自支撐部件之間可保留一間隙。
主體102可包括更好地分佈力之一系列箍環狀結構。根據一實施例，內表面中平行於腔道延伸之轉折彎曲。因此，例如，側蓋210之角隅280、側蓋220之角隅290及流動通路關於平行於腔道之軸彎曲。此外，主殼體側壁234及236具有彎曲外部，且側蓋210及220在自側125至側124及側123之轉折及自側126至側124及側123之轉折處具有彎曲角隅。
圍繞腔道之箍環狀結構在腔室中產生壓力以造成至少部分箍環應力(法向於正切於曲率之一方向上之壓力之應力)且分佈應力。效應可能係在中心腔道上方於側蓋210及側蓋220中產生張力且沿側壁之中心軸於側壁234及236中產生張力。箍環狀結構之組態可經選擇使得馮
米斯應力(von Mises stress)小於側蓋210、側蓋220、側壁234及側壁236以及張力部件、過濾器蓋及其他特徵部及當加壓主體時經歷此應力之配接位置之屈服應力。
如上所述，腔道可提供淨化器元件固持區域以固持淨化器元件225。淨化器元件225可為多孔聚合物隔膜之褶襉網片，其等經摺疊使得隔膜褶襉之長度平行於匣之長軸。褶襉尖端可經定向使得一側上之褶襉尖端指向側蓋210，而相對褶襉尖端經定向以指向側蓋220使得褶襉尖端鄰接各自腔道蓋。在此配置中，一組褶襉尖端面向腔之上游部分且另一組褶襉尖端面向腔之下游部分。淨化器元件225可為分離淨化器元件，或淨化器元件之各者可為相同連續褶襉網片之部分，使得(例如)一淨化器元件225之最後的褶襉轉折至下一個淨化器元件225之第一褶襉中，且該淨化器元件之最後的褶襉轉折至下一個淨化器元件225之第一褶襉中，以此類推。各淨化器元件之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。較佳地，褶襉壓縮在一起並在上游側上形成一大體上較平坦矩形入口界面且在下游側上形成一大體上較平坦矩形出口界面。一腔道中一給定隔膜區域之隔膜褶襉壓縮量可經選擇以最佳化一所要壓降對流速。在一些實施例中，腔道蓋(例如，腔道蓋240)可經輪廓化以增加所曝露之褶襉網片之表面面積，這可呈現輪廓化形狀。
圖3係側蓋220之一實施例之一圖形表示，側蓋220可與側蓋210相似或可不同。側蓋220包括側支撐部件270、間肋272及間肋273。側支撐部件270、間肋272及間肋273之內表面可提供可黏結或以其他方式耦合至其他組件之安裝表面。側蓋220亦可包含可提供可黏結或以其他方式耦合至一端帽之端帽安裝表面之端表面302。
側支撐部件270及分開間肋272可形成對準腔道之一組主流動通道304，且分開間肋273可在主流動通道內形成一組子通道274。一主
流動通道304可在一端或兩端處包括一充氣室區域(例如，充氣室區域310及充氣室區域311)。充氣室區域310可為具有大於子通道274之一橫截面面積之一區域(例如，自該端觀察時)且可用以在減小損失的情況下將流體分佈至子通道274且亦幫助減小歸因於黏結溢料(bonding flash)或將端帽耦合至主體之錯位造成的壓力損失效應。在所描繪之實施例中，充氣室區域310具有具備圓形角隅290之一大體上矩形橫截面(自該端觀察時)，而子通道274具有一半圓形外形。
增加充氣室區域310之入口橫截面可降低由側蓋220造成的壓降。例如，使用一腔道蓋作為一參考，其中充氣室區域310之內表面312相距腔道蓋比子通道274之內表面314之頂點相距腔道蓋遠3毫米之一組態提供的壓力損失與其中內表面312及內表面314之頂點與腔道蓋相距相同距離之一組態相比有所降低。此外，將轉折316塑形至子通道274中可減小壓降。因此，在充氣室區域310與次級流動通路274之間之包括一內圓角、倒角之一轉折或其他形狀的轉折316可展現出小於一銳利角隅之壓降，但是在一些實施例中可使用角隅。
又，如圖3中圖解說明，側蓋220亦可包含自一側支撐部件270之前側外表面突出之突片320。突片320可包含一凹槽、開口或其他特徵部以容納標籤、手柄或如下文論述之其他組件。此外，蓋220之突片320與介質蓋210(未展示)上之對應突片一起作用可提供腳座使得一淨化器匣可放置在一平坦表面上，使得埠面向上且不傾倒。
圖4A及圖4B係耦合至端帽104及端帽106之側蓋220(圖4A)及側蓋210(圖4B)之一實施例之一橫截面之圖形表示。端帽106可包含在子通道274之一端處將一埠腔室401流體耦合至充氣室310之端帽流動通道400及在子通道264之一端處將充氣室410流體耦合至埠腔室403之一第二端帽流動通道402。端帽104可包含在子通道264之另一端處將一埠腔室421流體耦合至充氣室411之一流動通道420及將充氣室311流
體耦合至埠腔室423之一第二流動通道422。從圖4A及圖4B應注意，端帽及側蓋可為所描繪之相似部分。在其他實施例中，該兩個側蓋可具有不同特徵部或不對稱使得其等不可互換。
參考圖5，淨化器匣100之一實施例之一剖視圖，該淨化器匣100具有黏結或以其他方式耦合至側蓋210、側蓋220及主殼體230(圖2)之端以形成一密封外殼之端帽104及端帽106。端帽104具有可用作腔道之一端處之一端壁之一內壁512，且端帽106具有可用作腔道之另一端處之一端壁之一內壁506。張力部件238及主殼體側壁之端可密封至端壁506及512。此外，過濾器隔膜之端亦可藉由(例如)用一聚合物樹脂裝填接著黏結至端壁506及512而密封，使得過濾器隔膜之端與可讓流體流過之端壁之間不存在空間。
端帽104包含形成通道420及埠腔室421之一塑形腔及包括流動通道422及埠腔室423之一塑形腔。所描繪之實施例中之埠腔室421大體上係圓柱形且可呈錐形以在埠開口處較寬。埠腔室421至流動通道420之界面可偏離流動通道420與充氣室411之間的界面。因此，流動通道420可自埠腔室421向外傾斜行進至充氣室411。流動通道420可具有與充氣室411之橫截面入口面積相同之一恆定橫截面面積。在其他實施例中，流動通道420可具有一不同橫截面面積且可具有不同於充氣室411之橫截面面積之一橫截面面積。在又另一實施例中，可將流動通道420分為多個內部通道。
端帽106包含形成通道400及埠腔室401之一塑形腔及包括流動通道402及排放埠腔室403之一塑形腔。所描繪之實施例中之埠腔室401大體上係圓柱形且可呈錐形以在埠開口處較寬。埠腔室401至流動通道400之界面可偏離流動通道400與充氣室310之間的界面。因此，流動通道400可自埠腔室401向外傾斜行進至充氣室310。流動通道400可具有與充氣室310之橫截面入口面積相同之一恆定橫截面面積。在其
他實施例中，流動通道400可具有一不同橫截面面積且可具有不同於充氣室310之橫截面區域之一橫截面面積。在又另一實施例中，可將流動通道400分為多個內部通道。端帽106可進一步包含形成流動通道402及排放埠腔室403之一塑形腔。
在圖5之實例中，一液體供應系統經組態使得埠112係入口埠，埠108(圖1A)係出口埠，埠114(圖1A)係一出口排放埠且埠110係一入口排氣埠。在操作中，流體可透過埠112進入淨化器匣，藉由流動通道400自埠腔室401引導至充氣室310且分佈至主流動通道304及/或子通道274。流體流過腔道蓋239、在一褶襉尖端-尖端方向上流過淨化器元件225且流過腔道蓋240而至側蓋210中之主流動通道及/或子通道264。因此，淨化器匣可提供有效法向流動過濾。在側蓋210中流動之流體可在通道420及出口腔室421中合併。流體透過出口埠退出腔室421。流體中之氣體可上升至排氣埠(埠110)，且當自淨化器匣移除壓力時，流體中之氣體可排出排放埠及出口埠(例如，啟動時)或入口埠。各種流徑經組態以避免無效空間--即其中一製程流體可滯留之空間。因此，淨化器匣可提供增加的清潔度。
關於排氣，主體102可由一材料形成使得內部表面比淨化器元件更親近氣體--或換言之，淨化器元件可經選擇以比外殼材料更疏遠氣體--以促進氣體對外殼側壁之親和力。例如(但非限制)，側蓋220材料與淨化器元件225之間的表面能量之差可大於10達因/平方公分。因此，淨化器元件與側壁之間可存在一表面能量梯度。因此，隨著流體沖洗一側蓋220之內部，流體中之氣體將被吸附至側壁。因此與氣體行進穿過淨化器元件相比，氣體更加可能上升至過濾器排氣口。因此，入口排氣口可位於過濾器之上游側上的最高點處以有助於確保氣體不會被困。
在圖5之實施例中，流動通道經組態使得流動平行行進穿過各褶
襉網片。然而，在其他實施例中，流動通道可經組態使得流體連續流過淨化器元件225(例如，流過呈側蓋及/或端帽之幾何形狀)。因此，可在各腔道中放置不同淨化器元件使得各腔道用於一淨化目的(例如，預過濾、脫氣、離子交換、精緻過濾等等)。
使用具有三個腔道(例如，一第一腔道、第二腔道、第三腔道)之一介質腔之一實例，一入口流動通道可連接至第一腔道之一第一側上之一分佈通道。流體可流過分佈通道並流過第一腔道中之淨化器元件。第一腔道之第二側上之流動通道可將流動引導至第二腔道，且流體可流過第二腔道中之淨化器元件而返回至第一側。過濾器之第一側上之一分佈通道可將接收自第二腔道之流體引導至第三腔道。流體可流過第三腔道中之淨化器元件而至連接至出口埠之一分佈通道。在另一實施例中，端帽可包含流動通道以按一連續方式將流體自一腔道引導至下一個腔道。在又另一實施例中，多種類型的淨化器元件(例如，兩種或更多種類型的褶襉網片)可堆疊在一腔道中，使得即使流體被平行引導至腔道，亦可在單一腔道中連續執行多種類型的淨化器元件(例如，在圖5之實施例中，一粗糙過濾褶襉網片可位於蓋239附近且一精細過濾褶襉網片可位於一腔道中之蓋240附近)。
在淨化期間，淨化器匣將受到壓力。淨化器匣之實施例可併有(在一安全因數下)防止或最小化在期望操作壓力下的變形之特徵部。轉向圖6，圖6係一主體102之一實施例之一圖形表示，其展示一例示性應力分佈及額外應力分佈特徵部。
如上所述，實施例可圍繞各腔道提供一箍環狀結構。為此，一側蓋210之一實施例可具有對應於各腔道之一腔道部分602。各腔道部分602可包括彎曲外部角隅。例如，最外面的腔道部分602包含彎曲端角隅604使得自一側至一相鄰側之外表面轉折彎曲。此外，外表面可在相鄰腔道部分602之間的角隅606處向內彎曲(例如，以產生大體上
對準張力部件238之平行折痕)。因此，在側蓋210之各外部角隅處，內表面可彎曲(例如，歸因於流動通道或角隅280(如圖2中所示)之曲率)，且外表面可彎曲。
提供箍環狀結構可提供一所要應力外形。如圖6中描繪，雖然可存在應力增加之一些局部區域，但是側蓋210中經計算von Mises應力大體上在各腔道部分602之中心軸附近最高(如由增加應力之區域608指示)，且各主殼體側壁中之von Mises應力大體上在沿各主殼體側壁之中心軸處最高(如由側壁234中之增加應力之區域610指示)。在一安全因數下，von Mises應力保持在主體102之屈服強度以下。
圖7係一淨化器匣700之另一實施例之一圖形表示。淨化器匣700具有具備一大體上矩形外形之一主體702、一第一端帽704及一第二端帽706。匣外殼702可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。如上所述，內部腔可隔離為一組腔道，其中各腔道中安置一大體上矩形褶襉網片或其他淨化器元件。
端帽704及端帽706可提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠708、第二埠710、一第三埠712及第四埠714之一或多者)。取決於淨化器匣700之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或另一類型的埠(且可存在更多或更少個埠)。如圖7中描繪，埠接頭具有埠接頭外螺紋以連接至一歧管或其他供應器。根據一實施例，螺紋式埠可為如下文論述之多線螺紋。
如所描繪，埠在x-y平面中朝匣700前面敞開且穿過埠之主要流徑平行於z軸。在一些情況下，埠可經放置使得淨化器匣可顛倒(例如，淨化器匣可在端720作為頂部且端722作為底部(或反之亦然)之情況下配接至一歧管)。
端帽可包含諸如對準孔、軌道、導槽或類似物之特徵部以接合一歧管總成上之互補特徵部以有助於確保適當地放置淨化器匣。在圖
7之實施例中，端帽704包含導引槽724且端帽706包含開向匣700前面之導引槽726。導引槽724/726可接納一歧管之對應導引臂以垂直定位並固持匣700。
一匣可包含連接至與埠開向的側相同之匣之側之一搬運手柄。例如，匣700包含手柄連接部件728以容許一可移除式手柄從匣後面連接。此配置容許一使用者(諸如一人類使用者或機器人)在所有埠面向上的情況下搬運匣。根據一實施例，手柄連接部件可包括在側邊緣處自匣向後延伸且界定自一可移除式手柄接納突出部之開口之突片。在另一實施例中，手柄連接特徵部可整合於表面730中。在又另一實施例中，可整合一手柄。在另一實施例中，手柄連接特徵部可併入端帽704及706、側蓋中或其他處。
一匣亦可包含容許方便地搬運並存放該匣之特徵部。根據一實施例，匣可在該匣與埠開口相對之側上或其他處包含平坦表面以容許將匣放置在一平坦表面上。例如，匣700包括自端帽704及端帽706之前側延伸之腳座772。因此，匣700可放置在一存放貨架上，其中埠面向上且匣700不翻倒或滾動。
匣700亦可包含一標籤系統。雖然可使用基於黏著劑之標籤，但是此等標籤在附接至PFA裝置時通常剝落(尤其對於高溫應用而言)。根據一實施例，匣700可包含一或多個標籤固持件732。根據一實施例，標籤固持件732可包括自匣之側邊緣附近或其他處向後延伸且界定面向彼此之一組凹槽之一突片或其他延伸部。標籤734可為裝配在凹槽中之一卡扣配合標籤，且亦可製成使得(若需要)在匣組裝操作期間插入標籤。標籤可由一塑膠材料、金屬或其他材料製成。例如，標籤可包括經雷射切割、模製、直接注入等等之彩色PTFE或PFA材料，使得其與淨化器匣成對比且使文字高度可見。色彩編碼標籤讓使用者易於區分裝置。例如，一種色彩的標籤可用以加標籤於15奈米的過濾
器，而另一種色彩標籤可用以加標籤於10奈米的過濾器。對於用於需要一「全鐵氟龍(all Teflon)」命名之應用之淨化器匣，PTFE材料維持淨化器匣之此命名。若需要，可使用替代材料。在圖1A及圖1B之實施例中可使用一標籤系統，且(例如)可在側123或124上實施該標籤系統。亦可在淨化器匣之其他實施例中實施標籤。
圖8A至圖8B係匣700之一實施例之一橫截面之圖形表示，其等描繪耦合至端帽704及706之側蓋800及側蓋810。注意，該兩側係對稱的。在圖8A及圖8B之實施例中，側蓋800可包含可黏結或以其他方式耦合至一組側壁之側支撐部件804、可耦合至張力部件之分開間肋806及可耦合至一腔道蓋之分開間肋808(在一些情況下，並非所有分開間肋皆耦合至腔道蓋)。側支撐部件804及分開肋806可形成對應於過濾器外殼中之各腔道之流動通道，且分開肋808進一步將主流動通道分為較小流動通道。側蓋810可包含可黏結或以其他方式耦合至一組側壁之側支撐部件814、可耦合至張力部件之分開間肋816及可耦合至一腔道蓋之分開間肋818。側支撐部件814及分開肋816形成對應於過濾器外殼中之各腔道之流動通道，且分開肋818進一步將腔道分為較小流動通道。然而，在圖8A至圖8B之實施例中，側蓋中未提供充氣室。
參考圖8A，端帽704可包含一塑形腔，其提供一埠腔室820及將埠腔室820連接至分佈流動通道之一第一端之一流動通道821。端帽706可包含一塑形腔，其提供一埠腔室830及將埠腔室830連接至由側蓋800界定之分佈流動通道之第二端之一流動通道831。參考圖8B，端帽704提供一第二塑形腔，其提供一埠腔室840及將埠腔室840連接至由側蓋810界定之分佈流動通道之第一端之一流動通道841。端帽706提供一第二塑形腔，其提供一埠腔室850及將埠腔室850連接至由側蓋810界定之分佈流動通道之第一端之一流動通道851。埠腔室可傾
斜使得埠腔室820之頂面朝埠710之開口向上傾斜，埠腔室830之底面朝埠714之開口向下傾斜，埠腔室840之上表面朝埠708之開口向上傾斜，且埠腔室850之底面朝埠712之開口向下傾斜。對於埠腔室820及840，這意謂到達埠腔室之氣體可退出各自埠。
圖9係通過淨化器匣700之流動之另一實施例之一圖形表示。在此實例中，一供應器系統經組態使得埠712(圖7)係一入口埠，埠714係一出口埠，埠708係一上游(入口)側排放埠，且埠710係一下游(出口)側排放埠。在操作中，流體透過埠開口流入埠腔室850中且經由流動通道851引導至安置在側蓋810上之上游流動分佈通道，通過一腔道蓋905、通過一淨化器元件925且通過一腔道蓋910。流動通道831連接安置在側蓋800上之下游流動通道與埠腔室830，使得流體可流入埠腔室830中且經由埠714退出淨化器匣700。
如上所述，側蓋可比淨化器元件925更加親近氣體。因此，氣泡可被吸附至側蓋。上游流體分佈通道可將氣體引導至埠腔室840，且下游流體分佈通道可將氣體引導至埠腔室820。埠腔室840及820可經設計使得氣體流至各自埠開口並流出匣700。
圖10係一淨化器匣1000之另一實施例之一圖形表示，淨化器匣1000具有一淨化器匣主體1002、端帽1004及端帽1006。淨化器匣1000可類似於淨化器匣700(圖7)。然而，如圖10中描繪，端帽1004具有沿x及y軸二者彼此偏離之埠1008及1010，且端帽1006具有沿x及y軸二者彼此偏離之埠1012及1014。埠沿y軸偏離可容許將埠一起更緊密地放置在x方向上，因此容許淨化器匣1000之總寬度(x方向上的大小)保持較小。
圖11是一淨化器匣1100之另一實施例之一圖形表示。淨化器匣1100具有具備一大體上矩形外形之一主體1102、一第一端帽1104及一第二端帽1106。主體1102可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。
端帽1104及端帽1106可提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠1108、第二埠1110、第三埠1112及第四埠1114之一或多者)。取決於淨化器匣1100之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或另一類型的埠。在圖11之實施例中，埠不具備螺紋。
圖12是一淨化器匣1200之另一實施例之一圖形表示。淨化器匣1200具有具備一大體上矩形外形之一主匣外殼1202、一第一端帽1204及一第二端帽1206。匣外殼1202可提供其中安置一淨化器元件之一內部腔。端帽1204及端帽1206可提供經流體耦合至內部腔之埠(例如，第一埠1208、第二埠1210、一第三埠及一第四埠之一或多者)。取決於淨化器匣1200之組態，該一或多個埠之任一者可用作一入口埠、一出口埠、一排氣埠、排放埠或另一類型的埠。
端帽可包含諸如對準孔、軌道、導槽或類似物之特徵部以接合一歧管總成上之互補特徵部以有助於確保適當地放置淨化器匣。在圖12之實施例中，端帽1204包含導引槽1224且端帽1206包含開向匣1200前面之導引槽1226。導引槽1224/1226可接納一歧管之對應導引臂以垂直定位並固持匣1200。此外，端帽1204或端帽1206可包含垂直卡扣配合狹槽1228以接納歧管上之銷以水平定位並固縛匣1200。
匣1200可進一步包含手柄連接部件1230。根據一實施例，手柄連接部件可包括在側邊緣處自匣向後延伸之突片。突片界定可自一可移除式手柄1232接納突出部之開口。
圖13A至圖13B係一端帽1300之另一實施例之圖形表示。端帽1300可包含在一第一平面(例如，一x-y平面)中敞開之一主埠1302及在一第二平面(例如，一x-z平面)中敞開之一次級埠1304。根據一實施例，主埠1302可用作如上所述般組態或以其他方式組態之一入口或出口，且次級埠1304可用作一排氣口或排放口。端帽1300可進一步界定
一塑形腔1308，其與內部流體分佈通道流體連通且經塑形使得界定腔1308之所有內部表面將會將氣泡引導至通道1320及出口埠1304，使得埠1304用作一排氣埠，或將流體引導至埠1304使得埠1304用作一排放口。
圖14係一匣端帽1400之另一實施例之一圖形表示。端帽1400包括埠1402及1404。進入埠1402之流體被分佈至端帽1400內部之一系列端帽流動通道1406。流體可透過端帽1400內部之端帽流動通道1408接納且在退出埠1404之前合併在端帽1400中。端帽流動通道1406及1408可對準界定在過濾器主體中之對應流動分佈通道，且可經配置以連續或平行分佈流體。端帽流動通道可對準(例如)充氣室、主流動通道或子通道，且可搭配多種埠設計使用。
圖15A至圖15D係一端帽1500之另一實施例之圖形表示。端帽1500包括可耦合至一匣主體之一底座1502、一第一埠接頭1510及一第二埠接頭1520。雖然展示兩個埠接頭，但是可使用一埠接頭或具有兩個以上埠接頭之裝置。埠接頭可具有外螺紋(如螺紋1512及1522所示)。埠接頭可在相同或相反方向上具有螺紋。
埠接頭可包含對準特徵部，其等可協同一連接系統之對應對準特徵部而促進埠接頭與連接系統之對準。對準特徵部可經組態使得除非接頭及連接系統之對應特徵部對準或配接，否則螺紋1512及1522之螺紋線不能接合連接系統之對應螺紋。
根據一實施例，例如，一組對準特徵部可包含對準一連接螺母之內突出體(例如，圖46A之連接螺母4410之內突出體4604)之缺口。為此，在已圖解說明之實施例中，一環形對準肋如由埠肋1514及1524所示般自各埠接頭向外徑向延伸。各對準肋可在肋狀物之周邊處包含分開對準缺口。例如，肋狀物1514包含分開缺口1516且肋狀物1524包含分開缺口1526。分開對準缺口可經配置使得僅當螺紋1512及1522適
當地對準一連接系統之螺紋時，該連接系統中之一對準特徵部方可行進穿過該等缺口。
埠肋1514可自埠接頭外螺紋1512之螺紋線後移一選定距離，使得除非對準特徵部行進穿過對準缺口1516，否則螺紋1512之螺紋線不能接合連接系統之對應螺紋。類似地，埠肋1524可自埠接頭外螺紋1522之螺紋線後移一選定距離，使得除非對準特徵部行進穿過對準缺口1526，否則螺紋1522之螺紋線不能接合連接系統之對應螺紋。雖然使用對應突出體及缺口之實例，但是可採用任何適當對準特徵部。
端帽1500可具有一對準開口1530以接受一傳動手柄對準插入件。對準開口1530可軸向對準埠1510或可以其他方式定位。對準開口1530可形成一鍵孔使得手柄可僅在一所要定向上裝配在對準開口1530中。
圖15D係底座1502之一底部之一視圖。底座1502可包含用於流動通路之開口，其等將埠1510及埠1520流體連接至過濾器主體中之流動通路。為此，至底座1502中之流動通路1540之開口可經定位使得其介接一第一組充氣室，且至流動通路1542之開口可經定位使得其介接一第二組充氣室。雖然展示為單一流動通路，但是流動通路1540及1542之各者可被分為若干流動通路。
底座1502亦可提供可黏結或以其他方式耦合至匣主體之端之一表面。例如，區域1550可黏結至側蓋之端，且區域1554可黏結至主殼體側壁之端。區域1556可將一端壁提供至淨化器匣主體內部之一組腔道，且可提供可黏結或以其他方式耦合張力部件及腔道蓋之端之一表面。
圖16係一主殼體1630及腔道蓋1640之另一實施例之一圖形表示。在圖16之實施例中，腔道蓋1640包含具有框架部件1660之一框架。腔道蓋1640及主殼體1630可包含促進使用一卡扣配合、干涉配
合、音波黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋1640耦合至主殼體1630之特徵部。根據一實施例，腔道蓋1640可包含沿框架部件1660之長度延伸之凹槽1662。自主殼體側壁及張力部件突出之舌狀物1664可接納在對應凹槽1662中以產生一卡扣配合。在其他實施例中，舌狀物可位於腔道蓋1640上且凹槽位於側壁及張力部件上。亦可使用其他機構以固縛腔道蓋。
可以任何適當方式組裝淨化器匣。根據一實施例，可將一側蓋(例如，圖2之側蓋220)黏結至主殼體且接著將褶襉網片插入在腔道中。一褶襉網片之第一及最後的褶襉可沿褶襉網片之長度伸出。可在各褶襉網片之第一及最後的翻瓣卡住在一腔道蓋與各自側壁或張力部件之間的情況下附接分離的腔道蓋。可將第二側蓋(例如，圖2之側蓋220)黏結至主殼體。可裝填或以其他方式密封主體之端以密封腔道及褶襉網片之端。接著可將端帽黏結至主體。在另一實施例中，例如，第一步驟可為安裝淨化元件及腔道蓋且接著串聯黏結側蓋210、220、端帽104及端帽106或同時黏結此等組件之兩者或更多者。可在腔道中放置其他淨化介質或促進如本文中描述之其他製程(例如，熱量交換)之介質。
如上所述，淨化器匣之實施例可用於多種應用，包含(但不限於)半導體製造應用。在一些半導體製程中，過濾器通常以小於100psi操作。本文中描述之實施例可提供一全聚合物匣(一過濾器，其中該過濾器之流體流徑及結構組件由聚合物材料製成，且無需(例如)金屬支撐板、金屬安裝支架等等)(包含一淨化器匣，其中主體及端帽主要或完全係由PFA、PTFE或其他非反應性材料形成)，其可具有100psi(.68MPa)或更大(包含大於400psi(2MPa))之破裂壓力，且在一些情況下在小於提供相當的保留、流速及壓降之一圓柱形過濾器所需體積之一體積中大於900psi(6.2MPa)。
此外，流速通常為約5公升/分鐘(lpm)至20公升/分鐘(lpm)，且通常使用可處置多達50lpm之過濾器。淨化器匣之實施例可用於具有廣泛範圍的流速(包含小於50lpm之流速及大於50lpm之流速)之應用。如上所述之淨化器匣可在亞15奈米顆粒之過濾期間提供高流速(例如，大於15lpm)。淨化器匣亦可經組態使得其他淨化介質執行其他過濾或淨化製程。
此外，淨化器匣可展現出一所要壓降。根據一實施例，一淨化器匣可經組態以具有一基線壓降(在一流體具有1MPa之一黏度且未安裝淨化器元件的情況下之壓降)，包含(但不限於)在40公升/分鐘下小於30kPa(在一些情況下，包含小於10kPa)、在30公升/分鐘下小於20kPa(在一些情況下，包含小於10kPa)、在20公升/分鐘下小於20kPa(在一些情況下，包含小於10kPa)之一基線壓降。通常，淨化器之組態可平衡流速及壓降。
給腔道添加一淨化介質可增加壓降，且淨化器元件之組態可經選擇以平衡保留效能與壓降。一般而言，以一給定流速跨一過濾器之壓降將隨褶襉高度(褶襉尖端之間的距離)及相同量的隔膜面積之壓縮比的增加而增加。壓縮比係一褶襉網片相對於一比率1.0壓縮的量，其中褶襉並未分離且並未進一步壓縮在一起。因此，例如，具有100個褶襉及.0415公分之一厚度之一過濾器隔膜在1.0之一壓縮比下將具有近似4.15公分之一寬度，但在0.7之一壓縮比下具有近似2.905cm之一寬度。
對於一給定隔膜過濾面積，固持一矩形褶襉網片所需體積大致上係：v=a*t*cr，其中：v=過濾器網片體積，a=過濾面積，
t=過濾器隔膜之未壓縮厚度
cr=壓縮比。
現在採用具有一隔膜面積3m2、210毫米之一褶襉網片長度(平行於褶襉)、63毫米之一內徑及76毫米之一外徑及0.0415公分之一厚度之一圓柱形過濾器，圓柱形淨化器元件需要近似714cm3的體積且寬度必須為至少7.6公分。對於相同隔膜面積，具有1.0之一壓縮比之一正方形褶襉網片可為近似124cm3。
一褶襉網片可藉由選擇褶襉之長度、褶襉之高度及褶襉網片之寬度而配置在一所要體積中。褶襉之高度及壓縮比可影響跨褶襉網片之壓降。所要褶襉高度及壓縮比可透過測試不同隔膜而判定。取決於應用及流動需要，一褶襉網片可具有任何所要壓縮比，包含(但不限於)0.6至1.0之一壓縮比。在一些情況下，褶襉不一定被壓縮(可具有大於1之一比率)。
圖17A及圖17B係淨化器匣1700之一實施例之圖形表示，淨化器匣1700具有一主體1702及端帽1704及1706。主體1702可界定一介質腔。介質腔可隔離為腔道，其中各腔道中安置一淨化器元件。根據一實施例，平行腔道具有一大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示兩個腔道，但是淨化器匣可具有更多或更少個腔道。腔道可經密封使其等彼此阻隔使得流體不能在腔道之間流動。在其他實施例中，可提供開口使得流體可在隔離腔道之間流動。
根據一實施例，主體1702包括第一側蓋1710、一第二側蓋1720及主殼體1730。主殼體1730、第一側蓋1710、第二側蓋1720及端帽可使用緊固件、音波黏結、干涉配合或其他耦合機構耦合在一起，且可協同以形成介質腔及平行腔道。主殼體1730提供在外側壁1734與外側壁1736之間延伸之一底座1732及自底座1732延伸之一張力部件1738。側壁1734、側壁1736、側蓋1710及側蓋1720可形成內腔之側壁。主殼
體側壁及張力部件1738可沿長軸在腔內延伸一長度以形成腔道側壁。底座1732介於腔道側壁之間(例如，外側壁1734/1736與一張力部件1738之間及兩個張力部件1738之間(若存在多個張力部件))之部分形成整合腔道蓋1739，其包括一格柵以容許流體流入或流出對應腔道。
底座1732之一側可包含促進將側蓋1720耦合至底座1732之特徵部。根據一實施例，底座提供可黏結或以其他方式耦合側蓋1720之一部分之一組側蓋安裝表面。在相對側上，外側壁1734、外側壁1736及張力部件1738遠離底座1732之端可提供促進將側蓋1710耦合至主殼體1730之特徵部。例如，遠端表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋1710之一部分之側蓋安裝表面。
腔道蓋1740可跨越在各主殼體側壁1734/1736與一張力部件1738之間或相鄰張力部件1738之間，且延伸腔道之長度以覆蓋腔道與底座1732相對之側(亦可提供分離腔道蓋)。腔道蓋1740可包括包含延伸腔道蓋1740之長度之框架部件1744之一框架及跨越在框架部件之間之一格柵部分。腔道蓋1740亦可包含如上所述之支撐部件。腔道蓋1740中之開口可相同或不同於底座1732之整合腔道蓋1739中之開口。
腔道蓋1740面向側蓋1710之表面可提供一側蓋安裝表面以促進側蓋1710之耦合。例如，側蓋安裝表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋1710之一部分之一表面。腔道蓋亦可包含耦合特徵部以促進使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結、熱黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋1740耦合至主殼體1730。
如圖17A中描繪，在一淨化器元件之一上游側及一下游側上提供一腔道蓋(呈腔道蓋1740及腔道蓋1739之形式)。在其他實施例中，僅在腔道之一側上提供一腔道蓋。在又另一實施例中，完全不使用腔道蓋。
側蓋1710可包含側支撐部件1760、對準張力部件1738之一中心
肋1762。側蓋1720可類似地包含側支撐部件1770、對準張力部件1738之一中心肋1772(或一組分開肋(若存在更多腔道))。此等肋狀物之內表面可耦合至張力部件之端。例如，肋狀物1772之內表面可在張力部件1738之底座處耦合至主殼體1730且肋狀物1762之內表面可耦合至張力部件1738之遠端。因此，當壓力容器腔受到壓力時，張力部件1738將於側蓋1710及1720上撐住一力以減小或防止側蓋1710及1720彎曲。張力部件1738之大小及組態可經選擇使得在期望操作壓力下壓力容器腔之體積變形小於一所要百分比。側支撐部件與肋狀物之間的區域可形成各腔道之流動通道。在一些情況下，額外肋狀物或其他特徵部可界定額外流動通道。
主體1702可經組態以分佈應力。根據一實施例，側蓋1720及側蓋1710可向外彎曲。此外，主殼體側壁1734及1736可具有彎曲外部，且側蓋1710及1720可在淨化器匣之側之間的轉折處具有彎曲角隅。
如上所述，腔道可提供淨化器元件固持區域以固持淨化器元件。淨化器元件可較佳地為褶襉網片，其等經摺疊使得褶襉之長度平行於匣之長軸。褶襉尖端可經定向使得一側上之褶襉尖端指向側蓋，而相對褶襉尖端經定向以指向側蓋使得褶襉尖端鄰接各自腔道蓋。在此配置中，一組褶襉尖端面向腔之上游部分且另一組褶襉尖端面向腔之下游部分。淨化器元件可為分離淨化器元件，或淨化器元件之各者可為相同連續褶襉網片之部分，使得(例如)一淨化器元件之最後的翻瓣轉折至下一個過濾器元件之第一翻瓣中，且該淨化器元件之最後的翻瓣轉折至下一個淨化器元件之第一翻瓣中，以此類推。各淨化器元件之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。較佳地，褶襉壓縮在一起並在上游側上形成一大體上較平坦矩形入口界面且在下游側上形成一大體上較平坦矩形出口界面。一給定隔膜區域之壓縮量可經選擇以達成一所要壓降及流速。
端帽1704可包括一埠接頭1750，其經流體耦合至腔道之一側上之流動通道(例如，如由開口1752指示)。端帽1706可包括一埠接頭1754，其經流體耦合至腔道之另一側上之流動通道。因此，一埠接頭可提供一入口埠且另一埠接頭可提供一出口埠。在其他實施例中，入口埠及出口埠可位於相同端帽上。亦可提供排氣埠及排放埠。
圖17B係包覆模製一包覆模製材料1770之淨化器匣1700之一實施例之一圖形表示。根據一實施例，一包覆模製的使用可提供若干優勢。包覆模製材料可經選擇以減小成本、提供強度、提供不同熱膨脹性質、考量主體材料之尺寸變動、減小通過外殼之滲入(化學物質、氣體等等)、提供其中更加易於併有人體工學及裝飾特徵之一材料等等。雖然在匣1700之背景中展示一包覆模製，但是應瞭解亦可包覆模製匣之其他實施例。
圖18A至圖18B係一淨化器匣1800之一實施例之圖形表示。一淨化器匣外殼可由多個外殼組件形成。淨化器匣外殼係由一側蓋1805、一側蓋1810、一第一端蓋1812及一第二端蓋1814形成。外殼可包含各種埠，其等包含一過濾器入口埠、一過濾器出口埠1835及過濾器排氣埠1840。
圖19係一淨化器匣1800之一橫截面之一實施例之一圖形表示，淨化器匣1800具有一過濾器外殼(包含第一側蓋1805及第二側蓋1810)，其界定由安置在一過濾器固持區域1925中之一淨化器元件(未展示)分為一上游部分及下游部分之一介質腔。過濾器元件可為任何適當淨化介質，包含(但不限於)一或多個摺疊式過濾器、深度過濾器、中空纖維隔膜或其他淨化介質。在一實施例中，淨化器元件包括一或多個矩形褶襉網片。過濾器之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。過濾器隔膜可經摺疊使得褶襉之長度平行於匣之長軸。淨化器元件固持區域1925可經組態使得當自褶襉
之端觀察時，一褶襉網片將具有一移位平行四邊形橫截面。
一過濾器入口埠1930位於淨化器元件上游，且一過濾器出口埠1835位於淨化器元件下游(自延伸穿過過濾器之一流體流動觀點來看)。過濾器排氣埠(例如，過濾器排氣埠1840)可位於淨化器元件上游及/或下游。根據一實施例，過濾器入口埠1930界定垂直於褶襉方向之一向上垂直入口流徑(使得流動進入法向於褶襉網片之頂部及底部翻瓣)，過濾器出口埠1835界定垂直於褶襉方向之一向上垂直出口流徑，且過濾器排氣埠1840界定一向上垂直排氣流徑。較佳地，過濾器排氣埠1840在可能最高點處開向介質腔之上游部分，使得上游部分中之任何氣體自然地上升至過濾器排氣埠1840。類似地，可提供一出口埠，其較佳地在可能最高點處開向介質腔之下游部分，使得下游部分中之任何氣體自然地上升至出口排氣埠。排氣埠(或歧管中之對應埠)可在大於流體之驅動壓力之一致動壓力下而以壓力致動。埠可包括來自Entegris,Inc.(Billerica,MA)之Connectology®連接件、Swagelok接頭或能夠進行流體密封之其他連接件。亦可使用其他類型的連接件，包含如下文論述之一螺紋式連接件。
根據一實施例，各種埠可經定位儘可能遠離淨化器匣前面，並同時仍容許黏結組件。在其他實施例中，埠可以其他方式配置(例如，一或多個埠在淨化器匣中心或後端附近)。在一實施例中，過濾器入口埠(例如，圖19之過濾器入口埠1930)及1835之開口之中線可位於匣之最寬部分處。自匣內之一流體流動觀點來看，過濾器入口埠之開口可位於介質腔之最低點處，且埠1835及1840之開口可位於介質腔之最高點處。
可在腔中安置一下游介質蓋1940及一上游介質蓋1945，且其等可形成一淨化器元件固持區域1925。上游介質蓋1945及下游介質蓋1940可自下而上朝一上游側壁傾斜。在一實施例中，上游介質蓋1945
與下游介質蓋1940之角度可匹配安置在側蓋1805上之肋狀物之側壁偏離部分之錐面。上游及下游介質腔之實施例在下文加以更詳細論述。
為將埠有效地放置在一佔據面積中，淨化器元件固持區域1925可經定位使得淨化器元件之摺疊區域與過濾器入口埠1930、過濾器出口埠1835及/或過濾器排氣埠1840重疊。然而，若進入過濾器總成1800之流體流動充足，則流體可破壞隔膜。因此，上游介質蓋1945(其之一實施例在下文加以更詳細論述)可包含阻礙朝隔膜流動並將流動改向至上游側壁之一部分。
介質腔之內部表面可由比淨化器元件之材料更疏親氣性(phobic or philic to gas)之一材料形成。在一實施例中，過濾器外殼可由一材料形成使得側壁之內部表面比淨化器元件更親近氣體--或換言之，淨化器元件可經選擇比外殼材料更疏遠氣體--以促進氣體對側壁之親和力。氣體因此更加可能上升至過濾器排氣埠1840而非行進穿過淨化器元件。下游部分中可發生一類似現象。此外，匣之形狀可經選擇使得內部腔之上游及下游部分之寬度及/或高度在遠離各自埠的方向上降低。因此，介質腔之上游部分之水力直徑在遠離過濾器入口埠1930的方向上降低，且介質腔之下游部分之水力直徑可在朝向過濾器出口埠1835的方向上增加。
圖20A至圖20B係側蓋1805之一實施例之圖形表示。側蓋1805可包含一頂壁部分2002、一上游側壁2005及一底壁部分2009。頂壁部分2002可自上游側壁2005延伸至頂壁部分連結邊緣2007，且底壁部分2009可自側壁部分2005延伸至底壁部分連結邊緣2011。頂壁部分2002及底壁部分2009可包含一上耦合部分2015及一下耦合部分2016。上耦合部分2015及下耦合部分2016可包括延伸側蓋1805之長度之舌狀物及凹槽。
根據一實施例，側蓋1805可具有突出進入內部腔之一系列肋狀物，包含(例如)端肋20271及20272、底肋20301至2030n、頂肋20351至
2035n以及間肋20371至2037n。較佳地n可為1至20，甚至更佳地n可為自1個至10個底肋、頂肋及間肋。可存在不同數目個頂肋、底肋及間肋(例如，10個頂肋、4個間肋及7個底肋)。各肋狀物可包含一底部偏離部分(例如，底部偏離部分2040)、一頂部偏離部分(例如，頂部偏離部分2045)及一側壁偏離部分(例如，側壁偏離部分2049)之一或多者。例如，肋狀物2030可大體上呈L形狀，其中一底部偏離部分2040自底壁部分2009延伸一第一高度且一側壁偏離部分2049延伸大於該第一高度之一第二高度。在一實施例中，底部偏離部分2040自壁2005跨內部腔之底部延伸垂直於內部腔之長度(或至少與內部腔之長度成另一角度)之一第一距離，且側壁偏離部分2049自側壁2005延伸至內部腔中達小於底部偏離部分2040自側壁2005延伸至內部腔中之距離之一距離。底部偏離部分2040可用作來自內部腔之底面之一隔膜支座，且側壁偏離部分2049可用作來自側壁2005之一褶襉支座。側壁偏離部分2049可呈錐形使得側壁偏離部分2049在遠離側壁2005的方向上延伸之距離朝頂部降低，藉此自下而上減小內部腔之上游部分之面積。
頂肋2035亦可大體上呈L形狀，其中一頂部偏離部分2045自頂壁部分2002延伸一第一深度且靠近側壁2005之一側壁偏離部分2049延伸大於該第一深度之一第二深度。在一實施例中，頂部偏離部分2045自側壁2005跨內部腔之頂部延伸垂直於內部腔之長度(或至少與內部腔之長度成另一角度)之一第一距離，且側壁偏離部分2049自側壁2005延伸至內部腔中達小於頂部偏離部分2045自側壁2005延伸至內部腔中之距離之一距離。頂部偏離部分2045可用作來自內部腔之頂面之一隔膜支座，且側壁偏離部分2049可用作來自側壁2005之一褶襉支座。側壁偏離部分2049可呈錐形使得側壁偏離部分2049在遠離側壁2005的方向上延伸之距離朝頂部降低。
根據一實施例，底肋2030之高度經選擇使得當安裝淨化器匣時
底部偏離部分2040之上緣彼此齊平。當淨化器匣處於一完全安裝位置中(例如，過濾器入口埠1930垂直對準)時，交替底肋之側壁偏離部分2049之頂端亦可彼此齊平。例如，肋狀物2030之一底部偏離部分2040之上緣位於一第一平面中，且一第一組交替底肋2030之側壁偏離部分2049之上緣位於一第二平面中。因此，當安裝過濾器時，各肋狀物20301至2030n之底部偏離部分2040之頂部將處於相同液面，且該第一組交替底肋2030(例如，肋狀物20302、20304等等)之側壁偏離部分2049之頂部將彼此處於相同液面。
類似地，當安裝淨化器匣時，頂肋2035之頂部偏離部分2045之下緣可彼此齊平，且交替頂肋2035之側壁偏離部分2049之下緣亦可彼此齊平。例如，肋狀物2035之頂部偏離部分2045之下緣可位於一第三平面中，且一第一組頂肋2035之側壁偏離部分2049之下緣可處於一第四平面中。當淨化器匣處於一完全安裝、操作位置中(例如，過濾器入口埠1930垂直對準)時，第一、第二、第三及第四平面可為平行水平面。
側蓋1805可進一步包括對準交替頂肋及底肋並自側壁2005向內突出以提供側壁偏離之一組間肋20371至2037n。間肋2037向內突出之距離可自下而上沿肋狀物降低。交替頂肋2035及底肋2030可垂直對準間肋2037。根據一實施例，一間肋2037之長度經選擇使得間肋之頂端與相鄰交替頂肋2035之側壁偏離部分2049重疊，且間肋之下端與相鄰交替底肋2030之側壁偏離部分2049重疊。例如，肋狀物20371之頂端與肋狀物20351及20353之側壁偏離部分2049重疊，且肋狀物20371之下端與底肋20301及20303之側壁偏離部分2049重疊。
相鄰肋狀物之間的空間協同上游介質蓋之底部形成流動通道。例如，相鄰肋狀物20301及20302之間的區域形成開向過濾器入口之流動通道20502。當上游介質蓋位於適當位置且流體被引入至介質腔中
時，流體將跟隨流動通道。在所示實例中，流體將沿內部腔之底部填充流動通道20502，且接著順著側壁2005跟隨流動通道20502直至其高出肋狀物20302，此時流體將流入相鄰通道20503中。流體將繼續填充通道20502及20503直至流體高出肋狀物20301及20303以開始填充流動通道20501及20504。此程序可繼續進行直至流體填充通道2050n。肋狀物組態有助於確保流體沿側壁2005迂迴前進，從而增加氣泡被吸附至側壁2005且向上流動之可能性。此外，肋狀物組態有助於沿側壁2005之長度分佈流體以促進淨化器元件均勻濕潤。
根據一實施例，底部偏離及頂部偏離各自具有一圓角底座以形成具有圓角側之流動通道。圓角底座提供優於其中肋狀物以一銳角接觸頂壁及底壁之情況之應力分佈。此外，穿過底肋2030之底部偏離部分及頂肋2035之頂部偏離部分之孔容許相鄰流動通道之間的流動。
圖20B進一步圖解說明頂壁部分2002及底壁部分2009可具有在遠離過濾器入口埠1930的方向上朝彼此呈錐形之內表面。在所圖解說明之實施例中，錐形緊接過濾器入口埠1930處開始。這可有助於在遠離過濾器入口埠1930的方向上降低介質腔之水力直徑，從而有助於減小或消除無效空間。此外，在所示實施例中，過濾器排氣埠1840開向介質腔中之最高點。其他實施例可包含非錐形部分及錐形部分。
圖21A及圖21B係一側蓋1810之一實施例之圖形表示。側蓋1810可包含一頂壁部分2135、一底壁部分2140、一側壁部分2145、一第一端部分2141及一第二端部分2143。頂壁部分2135可自側壁部分2145延伸至一內緣2177，且底壁部分2140可自側壁部分2145延伸至一內緣2179。邊緣2177及2179可分別黏結至邊緣2007及2011以產生平行於褶襉網片之褶襉延伸過濾器匣之長度之一連結接縫。
側蓋1810可經塑形使得匣之最寬部分或至少內部腔之下游部分之最寬部分與過濾器出口埠1835之中線重合。此外，側蓋1810可經塑
形使得內部腔之下游部分之前區段之面積自出口埠前面降低，及/或內部腔之下游部分之後區段之面積自過濾器出口埠1835後面降低。例如，頂壁部分2135亦可經塑形使得內部腔自過濾器出口埠1835後面向下呈錐形。頂壁部分2135亦可經塑形使得內部腔自過濾器出口埠1835前面向下呈錐形。類似地，底壁部分2140可經塑形使得內部腔自過濾器出口埠1835後面且自過濾器出口埠1835前面向上呈錐形。側壁2145亦可經塑形使得內部腔自過濾器出口埠1835後面及過濾器出口埠1835下面向內呈錐形。
圖22係下游介質蓋1940之一實施例之一圖形表示。介質蓋1940可經組態以將一淨化器元件維持在適當位置並同時容許流動。根據一實施例，介質蓋1940可包括一外框架，其具有一上部部件2260、一下部部件2265、跨越上部部件2260與下部部件2265之間之一前端部件2270及一後端部件2275。上部部件2260及下部部件2265可包含容許將介質蓋1940耦合至淨化器匣之剩餘部分之特徵部。如下文論述，例如，介質蓋1940可包含用於卡扣配合連接至主蓋之一舌狀物及凹槽特徵部。介質蓋2260可經組態使得上部部件2260之一第一側含有接觸頂肋2035之尖端之一接觸表面，且下部部件2265包含接觸底肋2030之尖端之一接觸表面。
介質蓋1940亦可包含跨越上部部件2260與下部部件2265之間之中間分開部件2280。分開部件在其等之間具有敞開空間以容許液體或流體流動。自端部件2270及後端部件2275跨越之一支撐部件可對分開部件2280提供額外支撐。較佳地，中間部件2280或其他固定結構足夠堅固以抵著主蓋之肋狀物固持淨化器元件。側蓋1810亦可包含肋狀物以接觸中間部件2280以提供額外支撐。中間部件2280可向上傾斜且傾斜至前面，以容許側蓋上之此等肋狀物用作流動引導裝置以將進入內部腔之下游部分之流動引導至過濾器出口埠。在其他實施例中，介質
蓋1940可包含網孔或其他結構元件以維持淨化器元件並同時容許流動。
圖23係上游介質蓋1945之一實施例之一圖形表示。上游介質蓋1945可包括一主介質蓋部分2302，其包括一組分開部件2304。分開部件在其等之間具有敞開空間以容許流動。支撐部件2306可跨越介質蓋1945之長度以對分開部件2304提供支撐。上部及下部延伸部2320及2310可自介質蓋部分2302延伸(例如，以對過濾器固持區域產生一頂部及底部)。突片2322可自上部延伸部2320向上延伸，且突片2312可自下部延伸部2310延伸。突片2322及2312可足夠薄使得當側蓋1805與下游介質蓋1940耦合在一起時突片2322及2312卡住在下游介質蓋1940與側蓋1805之間。
參考圖24A、圖24B、圖25A、圖25B、圖26A及圖26B(圖24A、圖25A及圖26A表示一上部部分，且圖24B、圖25B及圖26B表示一下部部分)，介質蓋1940及1945可使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結、熱黏結或根據任何適當耦合機構耦合至側蓋1805。根據一實施例，側蓋1805可包含下部及上部耦合部分2015及2016以將介質蓋1940及1945耦合至側蓋1805。耦合部分2015界定延伸側蓋1805之長度之一凹槽2430及舌狀物2435。耦合部分2016包含延伸側蓋1805之長度之一凹槽2440及舌狀物2445。介質蓋1940包含對應下部舌狀物2555及凹槽2560以及上部舌狀物2765及凹槽2570。凹槽2430卡住舌狀物2765且凹槽2570卡住舌狀物2435。類似地，凹槽2440卡住舌狀物2555且凹槽2560卡住舌狀物2445。在操作中，介質蓋1940可使用一卡扣配合固縛，使得上部耦合部分及下部耦合部分2015稍微展開以容許舌狀物2555及2765分別通過舌狀物2435及2445並坐落在凹槽2430及2440中。側蓋1805材料之彈性可導致耦合部分2015及2016向後卡扣至其中卡住介質蓋1940之一位置。根據一實施例，卡扣可足以提供固縛介質蓋
1940之觸覺或聽覺回饋。突片2322及2312可足夠薄使得當側蓋1805與下游介質蓋1940卡扣配合在一起時突片2322及2312可卡住在下游介質蓋1940與側蓋1805之間。雖然未展示，但是一摺疊式淨化器元件之上部及下部翻瓣亦可卡住在下游介質蓋1940與側蓋1805之間。
介質蓋1940及1945可在耦合部分2015及2016處黏結至側蓋1805。此外，上游介質蓋可黏結至端肋、間肋、頂肋或底肋之一或多者之邊緣。此外，下游介質蓋1940可黏結至側蓋1810。例如，上部部件2260之一側可黏結至邊緣2177且下部部件2265之一側可黏結至邊緣2179。上游介質蓋1945及下游介質蓋1940之端亦可黏結至端蓋。
上游介質蓋1945及下游介質蓋1940可用作張力部件以在平行於褶襉及垂直於褶襉之一方向上(例如，平行於入口及出口流徑)提供張力。例如，上游介質蓋1945及下游介質蓋1940可在圖19之匣中自上而下及自前而後提供強度。
返回至圖19，在操作中，一過濾器總成可提供法向流動過濾(NFF)。流體以一大體上向上方向進入過濾器入口埠1930並被引導至介質腔之一上游側壁2005。在上游部分中隨著壓力增加，流體流過淨化器元件(在一褶襉尖端對褶襉尖端方向上)。在一實施例中，流體通過淨化器元件之主要流徑可大體上垂直於通過過濾器入口埠1930之流徑。介質腔可經組態以促進遍及該裝置之均勻或近似均勻流動以完整地掃掠過濾器(例如，以最小化或消除無效空間)並最小化壓力損失效應。
可根據下列步驟組裝使用一褶襉網片淨化器元件之一淨化器匣。可將一過濾器隔膜插入至介質蓋1945中且可將介質蓋1945放置在側蓋1805中(或反之亦然)，其中褶襉之最後的翻瓣及突片2322及2312(圖23)之端沿耦合部分2015及2016坐落。可在一或多個點處將介質蓋1945黏結至側蓋1805。可將介質蓋1940卡扣配合至適當位置。此步驟
將隔膜及介質蓋1940鎖定在適當位置，其中舌狀物及凹槽裝配在蓋1940與殼體之間。不同於一典型的圓柱形樣式匣裝置，在兩個長隔膜邊緣組裝至一裝置中之前將該兩個長隔膜邊緣密封在一起無須纏繞一褶襉網片。接著可使用任何適當黏結方案(包含(但不限於)音波黏結、熔接、黏著劑、熱接觸黏結或非接觸熱黏結操作)將側蓋1810黏結至側蓋1805。根據一實施例，可以單一黏結操作發生黏結外殼及密封隔膜邊緣。亦可使用機械緊固件將側蓋1810耦合至側蓋1805。若需要，可在側蓋1810與側蓋1805之間安置一墊片。
可以一聚合物或樹脂裝填褶襉網片之端。根據一實施例，總成之各端之一所要長度可浸泡在所要裝填材料(諸如一層合物、聚合物、樹脂、黏著劑或其他裝填材料)中以密封內部腔室及褶襉網片之端。較佳地，裝填材料係一熱塑性材料。例如(但非限制)，可使用裝填材料密封褶襉網片前面及後面達0.3175公分至1.27公分。裝填材料可密封褶襉網片之端及內部腔，從而分離過濾器總成之上游部分及下游部分並減小或防止佔用體積。在其他實施例中，褶襉網片之端可在插入至側蓋1805之前使用一裝填材料而密封，然而這可在裝填材料與淨化器匣之端之間產生一定的無效空間。可使用裝填材料、音波黏結、熔接、黏著劑、熱黏結、接觸或非接觸黏結操作、機械緊固件或其他方式將前端蓋及後端蓋1812/1814(圖18)耦合至淨化器匣之主體。
圖27A至圖27D係配置成一淨化器匣之一過濾器總成2700之另一實施例之圖形表示。過濾器總成2700可包括由一或多個部分形成之一外殼。根據一實施例，過濾器總成2700可大體上呈矩形，其具有一第一壁2705、一第二壁2710、與第一壁相對之一第三壁2715、與第二壁相對之一第四壁2720、一第五壁2725及與第五壁相對之一第六壁2730。各個壁可由過濾器總成2700之一或多個部分形成。根據一實施
例，過濾器總成2700之外壁可相對平直。過濾器總成2700可進一步包括第一端處之一過濾器入口埠2740及第二端處之一過濾器出口埠2745及入口排氣埠2747。入口埠及出口埠可包含任何適當連接系統。例如(但非限制)，入口埠及出口埠可使用PrimeLock®接頭。在一些實施例中，亦可包含一或多個排放埠(例如，在壁2725處)。壁2725及2730可為具有相同數量及組態的埠之相同部分。
根據一實施例，過濾器總成2700之側壁可由一第一蓋2750、一第二蓋2755及一整合淨化器元件殼體2760形成。端壁2725及2730可與整合淨化器元件殼體2760成一體或與其分離。整合淨化器元件殼體2760可使至少一介質蓋與用作一壓力容器之外殼之壁成一體。
圖28係過濾器總成2700之一實施例之一橫截面之一圖形表示。外殼界定一介質腔，其具有由安置在淨化器元件固持區域2804中之一淨化器元件(未展示)分離之一上游部分2800及一下游部分2802。根據一實施例，淨化器元件可包括一或多個矩形褶襉網片，其中平行於過濾器總成之長軸的褶襉具有大體上配置在一平面中且面向上游部分2800之一第一組褶襉尖端及大體上配置在一平面中且面向下游部分2802之一第二組褶襉尖端。
根據一實施例，整合淨化器元件殼體2760可包含延伸介質腔之長度之一第一介質蓋2806(例如，一上游介質蓋)、自第一介質蓋2806延伸且形成壁2710之一部分之一第一側壁部分2808及自第一介質蓋2806延伸且形成相對壁2720之一部分之一第二側壁部分2810。蓋2750之一第一內緣及第二內緣可連結至整合淨化器元件殼體2760，且第二蓋2755之一第一內緣及第二內緣可連結至第一側壁部分2808及第二側壁部分2810之端以形成平行於褶襉延伸側壁之長度之黏結接縫。第一蓋2750及第二蓋2755之端緣可黏結至端壁以完成對過濾器總成2700的密封。
淨化器元件固持區域2804可藉由延伸介質腔之長度之一第二介質蓋2820(例如，一下游介質蓋)協同整合淨化器元件殼體2760而界定為一移位平行四邊形。第一側壁部分2808及第二側壁部分2810之端可包含使用如上所述之一卡扣配合而耦合至第二介質蓋2820之耦合部分2822。
根據一實施例，淨化器元件可為一褶襉網片，其具有鄰接上游介質蓋2806之褶襉尖端及鄰接下游介質蓋2820之一組褶襉尖端，該等褶襉自介質腔之第一端延伸至一第二端。流體可在平行於褶襉之一方向上(例如，自第一端壁)進入介質腔，且在平行於褶襉之一方向上(例如，自一第二端壁)退出。在另一實施例中，流體可自相同端壁進入並離開。
圖29A至圖29B係整合淨化器元件殼體2760之一實施例之圖形表示。在已圖解說明之實施例中，端壁2725及2730係整合淨化器元件殼體2760之部分。第一介質蓋2806自端壁2725延伸至端壁2730且介於第一側壁部分2808與第二側壁部分2810之間。第一介質蓋可包含跨第一介質蓋2806延伸且容許流體流過2806之分開部件2902。可包含自第一介質蓋2806之一第一端延伸至一第二端以對分開部件提供支撐之一支撐件2904。第一介質蓋2806可傾斜使得當整合淨化器元件殼體2760在適當位置時，上游部分2800之面積自第四壁2720至第二壁2710降低(參見圖28)使得水力直徑隨著流體向上移動且遠離入口而降低。圖29A進一步圖解說明開向過濾器入口埠2740之開口2906。
圖30A至圖30B圖解說明具有介質蓋2806及側壁部分2810/2808之一整合淨化器元件殼體2760之另一實施例。在此實施例中，介質蓋2806與過濾器外殼之側壁成一體，但與端蓋分離。淨化器元件殼體2760可在淨化器元件殼體2760之第一端及第二端處界定端面3002及1493以促進黏結或其他耦合。端面3002可在端面3002在介質蓋2806上
游之側上具有一切口使得端面3002不會阻礙流體進入介質腔。
圖31及圖32係介質蓋2820在適當位置中之整合淨化器元件殼體2760之一實施例之圖形表示。根據一實施例，介質蓋2820可卡扣配合至淨化器元件殼體2760且可被進一步黏結。介質蓋2820可進一步黏結或以其他方式耦合至(圖29B之)端壁2725及2730。圖33圖解說明第二蓋2755在適當位置中之一過濾器總成之一實施例。介質蓋2820之一上部部件可黏結或以其他方式耦合至第二蓋2755之上緣之一部分，且介質蓋2820之一下部部件可沿介質蓋2820之長度黏結或以其他方式耦合至第二蓋2755之內部下緣。
根據一實施例，圖27至圖33之實施例可經安裝使得褶襉垂直延伸。過濾器入口埠及出口埠可經配置使得入口流徑及出口流徑平行於配置在淨化器元件固持區域2804中之淨化器元件之褶襉。此垂直組態提供更佳的排氣及排放特性，且減小淨化器匣封套。此外，整合端壁及上游介質蓋可減小褶襉網片之端處之無效空間。過濾器亦可在一水平部分中延伸，較佳地使得入口位於外殼之低點處且排氣口及出口位於外殼之高點處。
此外，整合淨化器元件殼體2760及介質蓋2820可提供張力部件以在平行於褶襉方向之一方向上提供結構支撐(對端壁2725及2730提供結構支撐)及在垂直於褶襉之一方向上提供結構支撐(例如，對壁2710及2720提供支撐)。
圖34A至圖34D係配置成一淨化器匣之一過濾器總成3400之另一實施例之圖形表示。過濾器總成3400可包括由一或多個部分形成之一外殼。根據一實施例，過濾器總成3400可大體上呈矩形，其具有一第一壁3402、一第二壁3404、與第一壁相對之一第三壁3406、與第二壁相對之一第四壁3408、一第五壁3410及與第五壁相對之一第六壁3412。各個壁可由過濾器總成3400之一或多個部分形成。根據一實施
例，過濾器總成3400之外壁可相對平直。過濾器總成3400可進一步包括第一端處之一過濾器入口埠3420及第二端處之一過濾器出口埠3422及排氣埠3424及3426。可以其他方式放置排氣口。例如，至少一排氣口可開向介質腔之上游側。例如，在3430處圖解說明一替代排氣口位置。入口埠及出口埠可包含任何適當連接系統。例如(但非限制)，入口埠及出口埠可使用PrimeLock®接頭。
根據一實施例，過濾器總成3400之壁可由一第一蓋3438、一第二蓋3440及一整合淨化器元件殼體3442形成。端壁3410及3412可與整合淨化器元件殼體3442成一體或與其分離。整合淨化器元件殼體3442可使至少一介質蓋與用作一壓力容器之外殼之壁(包含側壁及/或端蓋)成一體。
圖35係過濾器總成3400之一實施例之一橫截面之一圖形表示。外殼界定一介質腔，其具有由安置在淨化器元件固持區域3506中之一淨化器元件(未展示)分離之一上游部分3502及一下游部分3504。根據一實施例，淨化器元件可包括一或多個矩形褶襉網片，其中平行於過濾器總成之長軸之褶襉具有大體上配置在一平面中且面向上游部分3502之一第一組褶襉尖端及大體上配置在一平面中且面向下游部分3504之一第二組褶襉尖端。
根據一實施例，整合淨化器元件殼體3442可包含延伸介質腔之長度之一第一介質蓋3508(例如，一上游介質蓋)、自第一介質蓋3508延伸且形成側壁3404之一部分之一第一側壁部分3510及自第一介質蓋3508延伸且形成相對側壁3408之一部分之一第二側壁部分3512。第一蓋3438之一第一內緣及第二內緣可連結至整合淨化器元件殼體3442，且第二蓋3440之一第一內緣及第二內緣可連結至整合淨化器元件殼體3442之第一側壁部分3510及第二側壁部分3512之端以形成平行於褶襉延伸側壁之長度之黏結接縫。第一蓋3438及第二蓋3440之端緣可黏結
至端壁以完成對過濾器總成3400的密封。
淨化器元件固持區域3506可藉由延伸介質腔之長度之一第二介質蓋3507(例如，一下游介質蓋)協同整合淨化器元件殼體3442而界定。第一側壁部分3510及第二側壁部分3512之端可包含使用如上所述之一卡扣配合而耦合至第二介質蓋3507之耦合部分。可在3506中放置且裝填一褶襉網片隔膜，且蓋3438及3440可如上所述般黏結至3442。
根據一實施例，淨化器元件可為一褶襉網片，其具有鄰接上游介質蓋3508之褶襉尖端及鄰接下游介質蓋3507之一組褶襉尖端，該等褶襉自介質腔之第一端延伸至一第二端。流體可在平行於褶襉之一方向上(例如，自第一端壁)進入介質腔，且在平行於褶襉之一方向上(例如，自一第二端壁)退出。
圖36圖解說明過濾器總成3400之一實施例之另一橫截面視圖。在圖36之實施例中，可在淨化器元件固持區域3506中安置一或多個摺疊式過濾器，其中一第一組褶襉尖端面向上游介質蓋3508且第二組褶襉尖端面向下游介質蓋3507。褶襉網片可跨介質腔之長度傾斜使得入口接頭及出口接頭同軸或更接近同軸，且無須針對接頭使流徑改向。在此實例中，存在自入口至上游組的褶襉尖端之一直線路徑。
根據一實施例，過濾器格柵開口及/或介質蓋3508之入口側表面可經設計使得入口流體流改向而以等體積通過各格柵開口。例如，上游介質蓋3508可經設計，使得若入口流體孔分成等面積之水平矩形截面，則各面積截面將各自對準入口側介質蓋3508中之一對應開口。簡要地轉向圖37，圖37圖解說明至介質腔且分成等面積區域3704之一入口孔3702之一實施例。等面積之各區域可突出至上游介質蓋3508中之分離開口。
返回至圖36，隨著流體自入口埠3420進入上游腔3502，流體將趨於散開。上游蓋3508之格柵大小可經設計以適應此效應以確保以一
均勻流動體積將即將來臨的流體流動卡住在各格柵開口處。格柵開口可傾斜以改向流動使其垂直通過褶襉網片。格柵開口亦可傾斜以分散由入口埠3420之較小水力直徑驅動進入過濾器外殼中之流體流動之力。格柵開口中亦可併有幾何形狀以將流動更均勻地引導至一曝露開口內之曝露褶襉尖端之各者。
介質蓋(及因此淨化器元件)相距上游側壁之距離自第一端壁3410至第二端壁3412降低，且介質蓋(及因此淨化器元件)相距下游側壁之距離自第一端壁3410至第二端壁3412增加。因此，在上游腔3502中水力直徑隨著流體在遠離入口埠的方向上移動而降低，且在下游腔3504中水力直徑隨著流體移動朝向出口埠3422而增加。
此外，整合淨化器元件殼體3442及介質蓋3507可提供張力部件以在平行於褶襉方向之一方向上提供結構支撐(對端壁3410及3412提供結構支撐)及在垂直於褶襉之一方向上提供結構支撐(例如，對圖34A之壁3404及3408提供支撐)。
圖38A至圖38C係整合淨化器元件殼體3442之一實施例之圖形表示。第一介質蓋3508在分開第一側壁部分3510與第二側壁部分3512之間自一第一端延伸至一第二端。第一介質蓋3508可包含跨第一介質蓋3508延伸之分開部件3805，藉此提供一格柵使得流體流過3442。如上所述，分開部件3805可經設計以提供所要流動特性並改向流動使其垂直於褶襉尖端。此外，分開部件3805可分開使得分開部件之間的開口對應於等面積之入口開口之不同區段。可包含自第一介質蓋3508之一第一端延伸至一第二端以對分開部件提供支撐之一支撐件3810(且支撐件3810可用作外殼之一張力部件)。
圖39係介質蓋3507在適當位置中且界定淨化器元件固持區域3506(未展示隔膜褶襉網片)之整合淨化器元件殼體3442之一實施例之圖形表示。淨化器元件固持區域3506可具有一實質上矩形端外形。根
據一實施例，介質蓋3507可卡扣配合至淨化器元件殼體3442且亦可被進一步黏結。淨化器元件之上部及下部隔膜翻瓣可卡住在介質蓋3507與整合過濾器殼體3442之間。介質蓋3507可進一步黏結或以其他方式耦合至端壁。圖40圖解說明蓋3438及3440在適當位置中之一過濾器總成之一實施例。介質蓋3507之一上部部件可黏結或以其他方式耦合至蓋3440之上緣之一部分，且介質蓋3507之一下部部件可沿介質蓋3507之長度黏結或以其他方式耦合至蓋3440之內部下緣。
在圖27至圖40之實施例中，一褶襉網片或其他網片可放置在整合過濾器殼體中且第二介質蓋耦合至整合過濾器殼體。隔膜之最後的翻瓣可卡住在整合過濾器殼體與第二蓋之間。第二蓋亦可黏結至整合過濾器殼體。外殼之剩餘部分可透過一黏結操作或其他耦合操作而耦合至整合過濾器殼體。褶襉網片可或可不裝填。可在整合過濾器殼體中放置其他淨化介質或促進如本文中描述之其他製程(諸如熱量交換)之介質。
淨化器匣之實施例可由多種材料製成，多種材料包含(但不限於)親油性樹脂、全氟化樹脂(諸如(但不限於)聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)、全氟烷氧基聚合物(PFA))、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚二醚酮(PEEK)、金屬或其他材料。根據一實施例，外層可由一相對便宜的聚合物形成，而內層可包括不太可能與製程流體反應或污染製程流體之一更昂貴的聚合物。例如，組件可包括由聚丙烯或可承受一應用之溫度及壓力需求之其他材料形成之一外殼體。在外殼體內側，通常更昂貴、更耐化學腐蝕、較高純度的材料之一內層可經熱成型且附接至外層。在另一實施例中，可在外層內側上方包覆模製所要材料之一內層。過濾器之整個濕潤表面可為更耐化學腐蝕、純度較高的聚合物，諸如PTFE、FEP、PFA或其他材料。
諸如下文論述之腔道蓋之內部組件可由多種材料製成，多種材料包含(但不限於)親油性樹脂、全氟化樹脂(諸如(但不限於)PTFE、FEP、PFA)、PVDF、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、PP、PE、PEEK、金屬或其他材料。在一實施例中，腔道蓋可由多層形成。核心可包括相對便宜的第一聚合物(例如，聚丙烯)，而接觸流體之任何層可包括不太可能與製程流體反應或污染製程流體之一更耐化學腐蝕、純度較高的第二聚合物。根據一實施例，第二聚合物可包覆模製在第一聚合物上。例如，PET之熔化溫度低於PFA及一PTFE隔膜。根據一實施例，因此，具有PFA及PTFE組份之一過濾器總成之一或多個部分可經PET包覆模製或裝填。
淨化器匣可經組態以提供法向流動過濾(NFF)，其中流體在所施加的壓力下直接朝過濾器隔膜對流。太大而不能行進穿過隔膜之小孔之顆粒累積在隔膜表面處或過濾介質之深度中，而小分子行進穿過隔膜小孔至下游側。根據一實施例，淨化器匣可經選擇以移除微米及/或亞微米顆粒(例如，100奈米或更小之顆粒)。可在單一過濾系統單元中串聯應用多個過濾器以連續移除較小顆粒或不同類型的顆粒。可最後串聯放置最精細過濾器使得在較大顆粒到達該最後的過濾器之前濾除較大顆粒。這可減小最精細(通常最昂貴)的過濾器之磨損。在其他實施例中，匣可經組態用於交叉流動過濾，例如(但不限於)切向流動過濾或氣體接觸。
在一實施例中，淨化器匣使用非圓形摺疊式淨化器元件。例如，一實施例可包含一或多個矩形摺疊式過濾器，其中一第一組褶襉尖端面向介質腔之上游部分及一第二組褶襉尖端面向介質腔之下游部分。第一組褶襉尖端可大體上配置在一第一平面中，且第二組褶襉尖端可大體上配置在一第二平面中。淨化器元件可提供一大體上較平坦的矩形入口界面及一大體上較平坦的矩形出口界面。在多孔聚合物隔
膜的情況下，使用矩形褶襉尖端可在與傳統半導體液體過濾器相同之佔據面積中提供相當多的額外過濾區域。過濾器之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。此外，聚合物結網材料及其他材料可連同隔膜一起摺疊。可使用容許在隔膜中橫向流動(平行於褶襉流動)之一隔膜。
將一褶襉網片分成由張力部件分離之多個腔道提供強度之一改良，從而容許使用一較小匣。在一些情況下，可使用一相對較薄壁的匣。根據一實施例，可形成一PFA匣，其中外殼之厚度係致使流體相距裝置之四側上之外表面小於5毫米且在一些情況下小於4毫米。在佔據面積減小且材料較少的情況下，此一匣可提供可相當於圓柱形過濾器之過濾、流速及壓降。例如，可形成具有一PFA主體之一匣，其具有3m2隔膜，該3m2隔膜達成與具有一3m2隔膜之一相當的圓柱形過濾器相同之過濾、流速及壓降，但體積較小且佔據小於一半的寬度。因此，淨化器匣之實施例可經組態以減小佔據面積及維護空間需要。注意，3m2隔膜及其他尺寸被提供作為一實例，且可形成包含任何適當隔膜面積之匣，且該匣可包含其他類型的過濾器介質。此外，淨化器匣可由多種材料形成且用於其他淨化應用或其他應用。
除使大小減小以外，淨化器匣可使複雜度減小。根據一實施例，可使用最小數量個獨有部分形成一淨化器匣，從而減小製造複雜度及成本。在一些實施例中，此等部分可包含一主殼體、側蓋、腔道蓋及端帽。然而，在其他實施例中，淨化器匣可由任何數量個部分形成。
此外，與圓柱形過濾器相比，淨化器匣可改良排放及排氣且降低外殼表面面積及無效體積以改良效能及清潔度。本文中描述之實施例亦可藉由促進個別平行及連續過濾來促進先進的過濾應用。本文中描述之實施例亦可更容易受機器人操控，從而促進過濾器替換及維護
之自動化。
如可根據前述瞭解，淨化器匣可具有多種組態。熟習此項技術者將瞭解，可組合各個圖式中所示之特徵且且可搭配其他實施例使用一實施例中所示之特徵。此外，雖然某些組件可展示為整體式或分離式，但是亦可以其他方式配置該等組件。因此，雖然側壁234、側壁236、第二腔道蓋239及張力部件被描繪為整合於一主殼體230中，但是其等亦可為分離組件。例如，第二腔道蓋239可為分離蓋且張力部件238可與側蓋之一者成一體。此外，應瞭解，尚考慮其他配置，諸如與一主體成一體之埠或其他組態。此外，雖然已主要就過濾描述匣，但是匣可提供一緊湊壓力容器以用於任何適當淨化應用或其他應用，包含(例如)作為一虛擬匣、一加壓混合器、一熱量交換器或其他應用。
一匣可使用任何適當連接件接合一供應器系統。例如，可使用如Gashgaee等人在2009年6月16日發佈且名為「O-Ring-Less Low Profile Fittings and Fitting Assemblies」之美國專利第7,547,049號中(該案係以引用方式全部併入本文)描述之非O形環接頭及接頭總成或其他連接機構連接一淨化器匣。在其他實施例中，過濾器可使用諸如以下專利中描述之一連接機構使得可透過旋轉而連接：2002年4月30日發佈且名為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第6,378,907號、2006年4月4日發佈且名為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第7,021,667號、2007年11月20日發佈且名為「Method and System for Purging a Dispensed Fluid Within a Fluid Dispensing System Including a Filter-Free Connector Apparatus」之美國專利第7,296,582號、2008年4月1日發佈且名為「Method and System for Purging a Dispensed Fluid with a Fluid Dispensing System Including A Filter-Free
Connector Apparatus」之美國專利第7,350,821號、2006年5月2日發佈且名為「Connector Apparatus and System Including Connector Apparatus」之美國專利第7,037,424號，該等案係各以引用方式全部併入本文。此外，淨化器匣埠可使用此項技術中已知或開發之任何其他適當連接件(包含(但不限於)FlareMountTM、Pillar 5300、Super Pillar、Flaretek、PrimeLock®、Galtek、Swagelok連接件)而連接。
圖41及圖42係一例示性連接系統4200之一實施例之圖形表示。連接系統4200包括界定一螺母接納區域之一連接外殼4202、安置在螺母接納區域中之一連接螺母4210、至少部分由螺母接納之一第一接頭4212及一第二接頭4214。第一接頭4212提供開向第一接頭4212靠近連接螺母4210之端之一流體流動通路，且第二接頭4214提供開向第二接頭4214靠近連接螺母4210之一端之一流體流動通路。第一接頭4212及第二接頭4214可經組態以配接或鄰接使得流動通路可經連接以形成一連續流動通路。較佳地，接頭係經組態以在軸向力下形成一密封之互補接頭，諸如一Primelock®接頭、FlareMountTM接頭或此項技術中已知或開發之其他接頭。雖然接頭4212被圖解說明為一母接頭且接頭4214被圖解說明為一公接頭，但是在其他實施例中，接頭4212可為一公接頭且接頭4214可為一母接頭。接頭之一者可為(例如，如圖1A中所示之)一匣之一端帽之部分。
連接螺母4210包括沿連接螺母4210之一主軸自一第一側4215延伸至一第二側4216之一開口。螺母圍封接頭之一者之端部分且可繞與流動通路同軸之接頭旋轉。穿過螺母之開口可具有包含較小直徑之一區域4220及較大直徑之一區域4222之不同直徑之區域。根據一實施例，螺母之開口在穿過連接螺母4210之開口之一第一端處具有一較狹窄直徑，且在穿過連接螺母4210之開口之第二端處具有一較大直徑(形成一階狀軸肩)。
根據一實施例，接頭之一者可經塑形使得接頭之一第一部分行進穿過較狹窄直徑之區域，而一第二部分具有大於較狹窄直徑之區域之一直徑(或其他塑形佔據面積)。如所描繪，例如，第一接頭4212之端部分具有行進穿過螺母之左端之一第一區段4230及太大而不能行進穿過較狹窄直徑區域4220之一第二區段4232。在此實施例中，連接螺母4210及第一接頭形成在使用期間經塑形且經定位以鄰接之互補徑向軸肩4240(例如，連接螺母4210之一內軸肩鄰接接頭4212之一外軸肩)。第二接頭4214可包含透過螺母開口之第二端接納之一端部分4242。第二接頭4214之接納部分可包含外螺紋4244。
一組連接螺母內螺紋4246安置在連接螺母4210之第二端附近且可經設計以接合埠接頭外螺紋4244。連接螺母4210亦可包含安置在連接螺母4210之外側之至少一部分上且接合安置在外殼4202內側上之外殼螺紋4252之外螺紋4250。
在操作中，第一接頭4212及第二接頭4214之端可放在一起。當第二接頭4214之端部分在適當位置處時，連接螺母4210可經旋轉以使螺母內螺紋4246接合接頭外螺紋4244。接頭外螺紋4244上及接頭4212之軸肩4240上之力將第一接頭4212及第二接頭4214按壓在一起以產生一密封(如圖42中所示)。
連接系統4200可用以有助於尤其維護其中形成或由軸向力促進密封之接頭之密封。根據一實施例，螺母內螺紋4246可繞接頭360度接合接頭外螺紋4244，而無須使連接螺母4210旋轉360度以產生360度接合。為此，螺母內螺紋4246及接頭外螺紋4244可為多線螺紋，諸如雙線螺紋、三線螺紋等等。一雙線、三線或其他多線螺紋可大致上旋轉一半或更少而繞全密封連接件提供360度軸向負載。螺母內螺紋4246及接頭外螺紋4244可為接受高軸向負載之螺紋。螺紋可包含各種標準的螺紋外形，包含(但不限於)1個至12個UNF螺紋、鋸齒螺紋、
梯形螺紋或其他螺紋。此外，可使用定做或專屬螺紋。
在一實施例中，螺母內螺紋4246及接頭外螺紋4244可為雙線螺紋，其中各螺紋線偏離近似180度且螺紋自各螺紋線延伸至少180度。在此情況下，連接螺母4210可經旋轉以接合雙線螺紋。螺母旋轉180度將導致雙線螺紋繞外部接頭進行360度接合。更特定言之，使用一第一螺紋之螺紋線作為參考，開始於第一螺紋線之螺母內螺紋4246之第一螺紋可自0度至180度接觸接頭外螺紋4244且開始於一第二螺紋線之螺母內螺紋4246之一第二螺紋可自180度至360度接觸接頭外螺紋4244，使得接頭4214上存在繞接頭360度之一軸向力。雖然使用180度之實例，但是亦可使用其他長度的雙線螺紋。
使用三線螺紋之實例，各螺紋線可偏離近似120度且螺紋可自各螺紋線延伸近似135度。在此情況下，連接螺母4210旋轉135度將產生360度接合。在此實例中，開始於第一螺紋線之螺母內螺紋4246之第一螺紋可自0度至135度接觸接頭外螺紋4244，開始於一第二螺紋線之螺母內螺紋4246之一第二螺紋可自120度至255度接觸接頭外螺紋4244，且開始於一第三螺紋線之一第三螺紋可自240度至15度接觸接頭外螺紋4244，使得接頭4214上存在繞接頭360度之一軸向力。雖然使用135度之實例，但是亦可使用其他長度的三線螺紋。
因此，多線螺紋組態可用以在連接螺母4210旋轉小於360度(且在一些情況下小於180度)的情況下繞全密封連接件提供360度軸向負載。在其他實施例中，軸向負載可小於360度，但是足以產生一密封。例如，負載外形中可存在小的間隙，前提係該密封仍可頂住間隙(例如，存在其中不具備螺紋接合之一角度範圍)。一般技術者應瞭解，所提供之螺紋實例係藉由實例方式提供且可使用多線螺紋之其他組態。
連接系統4200可包含一反向旋轉防止特徵部以產生一足夠大的
力，使得連接螺母4210將不會在軸向負載下反向旋轉(旋轉以釋放該密封)。根據一實施例，反向旋轉防止特徵部可為一摩擦配合。摩擦配合可由外殼內螺紋4252與螺母外螺紋4250之間的摩擦力而提供。螺母外螺紋4250及外殼內螺紋4252可為經選擇以在螺紋之間產生足夠大的表面面積接觸之較精細螺紋，使得連接螺母4210與連接外殼4202之間存在有效大小的摩擦力以防止連接螺母4210在期望軸向負載(包含循環軸向負載)下反向旋轉。然而，有效大小的摩擦力可足夠低使得當連接螺母4210上施加足夠大的外部旋轉力時，連接螺母4210可反向旋轉，藉此容許脫離接頭。在此情況下，螺母外螺紋4250固持連接螺母4210之位置且螺母內螺紋4246支承軸向負載。反向旋轉防止螺紋可包含任何標準的螺紋，包含統一螺釘螺紋或提供足夠大的摩擦力之定做螺紋。亦可使用其他螺紋設計，包含(但不限於)鋸齒螺紋。根據一實施例，螺母外螺紋4250及外殼內螺紋4252係單線螺紋。
亦可提供一鎖定機構(例如，諸如接頭之旋轉部件上之止回爪及/或凹口、卡扣配合或其他特徵部)以防止螺母4210非所期地反向旋轉。在一些情況下，除較高摩擦力螺母外螺紋4250以外亦可使用鎖定機構或可使用鎖定機構來代替較高摩擦力螺母外螺紋4250(同時仍使用螺母外螺紋或根本不使用螺母外螺紋)以防止螺母旋出。在一些實施例中，連接螺母4210不具備外螺紋且螺母4210由一替代固定機構而軸向固持在適當位置。
一連接系統可包含將螺母固持至一所需角度範圍之特徵部(諸如螺紋上之止動塊)以防止螺母旋轉超過某個點。特定言之，螺母之旋轉可限於一第一角位置與一第二角位置之間之一範圍，其中第一角位置對應於全接合且一第二角位置對應於全脫離。在第二角位置中，內螺紋之螺紋線將處於一已知位置，從而有助於確保使螺母內螺紋與接頭外螺紋適當地對準。
一連接系統可被調適為不同埠大小。可基於埠大小、軸向行進需求、負載需求及密封效能需求改變內螺紋及外螺紋。組件可由多種材料製成，多種材料包含聚合物材料，諸如(但不限於)親油性樹脂、全氟化樹脂(諸如(但不限於)PTFE、FEP、PFA)、PVDF、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚碳酸酯、PP、PE、PEEK、金屬或其他材料。根據一實施例，連接系統可主要由PFA形成以對半導體產業提供一真實超淨PFA、快速連接密封連接件。
連接系統可用於多種應用，包含獨立接頭、直立管套接接頭、彎頭接頭或其他接頭，且可整合於其他裝置中。雖然上文圖解說明之接頭以一FlareMountTM密封機構為特徵，但是亦可使用其他樣式的接頭。接頭可經Purebond®熔接至管道或管子或使用一或兩端處之一管子連接件而模製。接頭亦可插入至管子之擴邊端中。接頭之一者亦可熔接至一過濾器外殼上或模製至一過濾器外殼中(例如，一Chemline或Chemlock®過濾器外殼或(例如)其他過濾器外殼)。替代地亦可使用連接系統以進行一管子密封樣式連接。
圖43係使用一經修改螺紋設計之一連接系統之一實施例之一圖形表示。已圖解說明之連接系統之部分包括具有連接外殼內螺紋4304之一連接外殼4302、具有螺母內螺紋4312及螺母外螺紋4314之一連接螺母4310及具有一外螺紋4322之一流體接頭4320。亦圖解說明另一接頭4324之一部分。
螺母內螺紋4312及接頭外螺紋4322可為經修改鋸齒螺紋。一美國標準鋸齒螺紋具有與法向軸成7度之一負載螺腹角及與法向軸之相對側成45度之一離隙螺腹角，從而產生52度之一螺紋角(在一負載螺腹角與相鄰離隙螺腹角之間的角度)。螺母內螺紋4312及接頭外螺紋4322之實施例可具有小於45度之一離隙螺腹角。根據一實施例，離隙螺腹角介於15度至40度之間，但是可以更小。負載螺腹角可介於0度
至15度之間且如離隙螺腹角一樣可在法向軸之相同或相對側。在一實施例中，例如，離隙螺腹角係近似30度且負載螺腹角係近似3度以提供一33度螺紋角。在另一實施例中，負載螺腹可傾斜使得螺紋角小於離隙螺腹角。換言之，負載螺腹及離隙螺腹可與離隙螺腹一樣傾斜至法向軸之相同側。
此外，在一些實施例中，接頭外螺紋4322之負載螺腹角可不同於螺母內螺紋4312之負載螺腹角以增加干涉。例如，如圖解說明，接頭外螺紋之負載螺腹可為近似0度，而連接螺母內螺紋之負載螺腹朝接頭螺紋負載螺腹傾斜若干度。
此外，外殼內螺紋4304及螺母外螺紋4314可經組態以增加干涉。根據一實施例，例如，外殼內螺紋4304及螺母外螺紋4314之負載螺腹角可不同。在一些實施例中，連接螺母4310不具備外螺紋且軸向固定在外殼中，同時使用另一機構以防止連接螺母4310反向旋轉。
上文論述之連接件可由任何適當材料形成，材料包含(但不限於)PVDF、FEP、PP、PFA及PTFE、包括聚合物之組份、金屬或其他材料，其等滿足用於半導體製造之需求。在一些情況下，若期望高溫，則可期望使用展現出較低潛變之材料。因此，例如，當應用超過攝氏100度時可較佳對連接螺母及接頭使用PFA，這係因為PTFE在此等溫度下展現出更大潛變。在任何情況下，一連接系統可超過半導體製造接頭之限制條件，且在室溫或更高溫度下可承受245psi(1.69MPa)達5分鐘(例如，在室溫下承受535psi(3.7MPa)達5分鐘)。例如，當在室溫下施加壓力達5分鐘時，由PFA及PTFE形成之圖43之一連接系統可具有大於415psi之一洩漏壓力(214 lbs.軸向密封力)(2.87MPa及952牛頓密封力)。接頭之洩漏壓力在室溫下可大於500psi(3.4MPa)且甚至大於950psi(6.6MPa)。例如，具有由PFA形成之一螺母及接頭之一連接系統可因此在一安全因數下提供規定用於FlareMountTM連接
件之所需150 lbs.(667牛頓)力(例如，一連接系統可對1英寸(2.54公分)接頭提供高於210 lbs.(934牛頓)軸向力)。
一連接螺母可具有任何適當外觀尺寸且可整合為另一組件之一部分。在一些實施例中，連接螺母可以一翼形螺母樣式設計為特徵，其中該等翼經定位使得一使用者可在螺母上提供扭力負載以接合或脫離接頭。在其他實施例中，可提供容許一使用者更容易施加扭力於螺母之另一形式的旋轉部件。在一實施例中，一連接螺母可耦合至一齒輪總成或使一或多個連接螺母旋轉之其他傳動系統。傳動系統可任意複雜且可一次同時使多個連接螺母旋轉以產生若干密封件。
圖44A及圖44B係一連接系統4400之一實施例之圖形表示。連接系統4400包括一連接外殼4402、可繞一第一流體接頭4412旋轉之一第一連接螺母4410、可繞一第二流體接頭4422旋轉之一第二連接螺母4420及傳動系統。連接外殼4402包含自外殼4402之一第一側行進穿過外殼4402至外殼4402之一第二側之螺紋式開口。螺紋可經組態以接合連接螺母4410及4420之螺母外螺紋。傳動系統操作地耦合至第一連接螺母4410及第二連接螺母4420以同時使第一連接螺母4410及第二連接螺母4420在外殼4402內旋轉。
齒輪臂4430之一第一端處之一螺母耦合部件4434延伸至外殼4402之第一側。一傳動臂4432自螺母耦合部件4434延伸超過外殼4402之第二側一所要距離。連接螺母耦合部件4434耦合至第一螺母4410且包含具有齒輪齒4436之一外表面。齒輪臂4430驅動耦合至第二連接螺母4420之一第二齒輪4440。齒輪臂4430用作旋轉部件使得齒輪臂4430之旋轉導致第一連接螺母4410及第二連接螺母4420同時旋轉以在第一流體接頭4412與一淨化器匣上之一接頭之間及第二流體接頭4422與一淨化器匣上之一第二接頭之間形成一密封。
當齒輪臂4430旋轉時，較小的齒輪4440亦在相反方向上旋轉以
在接合較大埠的同時接合較小埠。此機構容許在齒輪臂4430上使用一個旋轉動作密封兩個埠。在已圖解說明之實施例中，齒輪具有一1.6：1齒輪比，因此較小的連接螺母4420旋轉次數大於較大的連接螺母4410(但是亦可使用任何適當齒輪比)。若連接螺母4410經組態具有三線內螺紋使得旋轉165度導致一360度(或更大)螺紋接合，則連接螺母4420可經組態具有三線或其他多線內螺紋使得旋轉264度導致360度密封力。注意，當連接螺母轉動時，連接螺母可朝淨化器匣端帽(或其他接頭)平移。因此，齒輪臂4430及齒輪4440亦可平移。在其他實施例中，連接螺母產生小於360度螺紋式接合(及小於360度圓周軸向密封力)，但仍產生足夠大的力以密封接頭。
較小的連接螺母4420之內螺紋及外螺紋可具有相對於連接螺母4410之內螺紋及外螺紋調整之節距，使得過濾器及螺母軸向移動與齒輪臂4430旋轉相同之距離。齒輪比及節距高度可基於所需埠大小及軸向行進距離之選取而改變。此外，可提供齒輪以使額外連接螺母旋轉以對額外埠提供密封，且連接系統可經嚙合使得所有連接螺母在相同方向上旋轉。
可提供容易受人類或機器人使用者操控之一傳動手柄4450。一傳動軸件4452自手柄4450朝外殼4402延伸且可接納在齒輪臂4430中之一傳動軸件通路中。傳動軸件4452及傳動軸件通路可用齒條接合或以其他方式組態以容許在通路中平移傳動軸件4452。一端帽對準柱4454可平行於傳動軸件4452延伸。端帽對準柱4454可接納在一淨化器匣端帽中之一互補開口(例如，圖15之開口1530)中。端帽對準柱4454界定傳動軸件樞轉軸。
齒輪臂4430之旋轉可限於一特定旋轉範圍，且可提供鎖定齒輪臂4430之角位置之特徵部。為此，傳動軸件通路更靠近連接外殼4402、接近齒輪臂4430之一第一端之一部分可敞開以曝露傳動軸件
4452之外表面。傳動軸件4452可收縮使得隨著傳動軸件4452繞其樞轉點旋轉，傳動軸件4452最接近連接外殼4402之端可行進超過表面4460。即，傳動軸件通路及外殼4402可經組態使得傳動軸件4452之端重疊外殼4402之表面4460且在繞傳動軸件樞轉軸之一角位置範圍中與外殼4402之表面4460分開。在某些位置中，雖然傳動軸件4452之端可接納在表面4460之一開口中，但是外殼之側中之一缺口或凹槽4464或其他特徵部將齒輪臂4430鎖定在一所要角位置中。因此，例如，傳動軸件4452之端可在表面4460上方自位置4465行進至缺口4464。當傳動軸件4452對準缺口4464時，傳動軸件4452可經平移使得傳動軸件4452之一部分接納在缺口4464(接合位置)中，從而防止齒輪臂4430旋轉。
可使用其他機構以禁止齒輪臂4430旋轉。作為另一實例，外殼4402之表面4462及螺母耦合部件4434之接觸面可包含錐齒輪齒或其他特徵部使得可維持齒輪臂4430之角位置。亦可使用其他鎖定機構，諸如凹口及止回爪、鎖定銷、夾具。
在一些實施例中，可由圓點及箭頭或其他視覺指示符標記旋轉之結束點。圓點及箭頭亦提供用以確認接合或脫離之一視覺指示符之一實例。在又另一實施例中，可使用當旋轉部件在適當位置中時開啟之LED或其他指示燈，從而再次提供適當接合/脫離之一指示。
圖45係一連接外殼4402之一實施例之一圖形表示，其描繪具有內螺紋之一第一連接螺母開口4502及具有內螺紋之一第二連接螺母開口4504。雖然圖解說明兩個連接螺母開口，但是實施例可包含具有一或多個螺紋式開口之一連接外殼及對應連接螺母及流體接頭。在其他實施例中，外殼可軸向固定不具備螺紋之連接螺母。圖45進一步描繪安置在外殼4402之側壁中之缺口4464，其經組態以卡住傳動軸件4452之一部分。
連接外殼4402可包括具有可經塑形使得連接外殼4402可安裝至
一歧管板之一狹槽4506之一支架。緊固件開口4508容許使用一螺釘、銷或其他部件以將連接外殼4402耦合至歧管板。一螺紋孔4510可容許一匣對準特徵部耦合至連接外殼4402。
圖46A係一連接螺母4410之一實施例之一圖形表示。連接螺母4410包括外螺紋4600及內螺紋4602。內螺紋4602可經組態使得旋轉小於360度(且在一些情況下旋轉小於180度)可在接頭之間產生一密封(且可產生360度螺紋式接合或大於或小於360度螺紋式接合)。外螺紋4600可經組態以防止連接螺母4410旋出。在其他實施例中，連接螺母4410可缺少外螺紋且可軸向固定在外殼中，同時使用另一機構以防止連接螺母4410反向旋轉。
連接螺母4410可包括對準一接頭上之互補特徵部之一組對準特徵部。例如，連接螺母4410可包括自螺母開口之內部徑向表面向內突出之突出體4604。突出體4604可對準一接頭上之特徵部。參考圖15B，例如，突出體4604可配合穿過對準肋1514中之缺口1516。突出體4604可與內螺紋4602之螺紋線分開，使得除非突出體4604行進穿過對應缺口，否則內螺紋4602不能接合特徵部外螺紋(例如，圖15B之螺紋1512)。突出體4604可經定位使得當連接螺母4410係在關於端帽或其他接頭螺紋之一特定定向上時，內螺紋4602可僅接合固定件外螺紋。此外，在已圖解說明之實施例中，連接螺母4410在突出體行進穿過缺口後才能旋轉。因此，接頭之對準特徵部及連接系統上(在此實例中，連接螺母上)之對準特徵部防止連接螺母在螺紋彼此相對適當地定位之前旋轉。
連接螺母4410可進一步包括自一側延伸之彈性指狀物4606。彈性指狀物4606可由一齒輪臂或齒輪卡住。彈性指狀物4606之端處之特徵部4608可提供可鄰接一齒輪或齒輪臂之一表面之軸肩4609。
圖46B係連接螺母4410及流體接頭4412之一實施例之一圖形表
示。穿過連接螺母4410之開口可包括較大直徑之一區域及小直徑之一區域以形成一連接螺母軸肩4610。流體接頭4412接納在連接螺母4410中之部分可具有具備一較小直徑之一部分及具備一較大直徑之一部分以形成鄰接連接螺母軸肩4610之流體接頭軸肩4612。連接螺母軸肩4610可抵著流體接頭軸肩4612推動以提供足以將流體接頭4412密封至一淨化器匣之一埠或其他組件之一軸向力。
圖47A係一傳動系統之一實施例之一圖形表示。齒輪臂4430可包含具有一開口以接納一第一連接螺母之一螺母耦合部件4434及具有一開口以接納一第二連接螺母之齒輪4440。特徵部4702及4704可產生可讓各自連接螺母之彈性指狀物行進穿過之通道。彈性指狀物之端處之特徵部(圖46A之特徵部4608)可用以將連接螺母緊固至齒輪臂或齒輪開口中。當齒輪臂及齒輪旋轉時，特徵部4702及4704可藉由在彈性臂之側緣上推動而施加徑向力於各自連接螺母，從而導致連接螺母旋轉。
圖47A進一步圖解說明具有一傳動軸件4452及一端帽對準柱4454之一傳動手柄之一實施例。傳動軸件4452可插入至齒輪臂4430之一通路中。傳動軸件4452之所有或一部分及該通路可用齒條接合。根據一實施例，傳動軸件通路齒條可由一插入件4706提供至齒輪臂4430之端中。端帽對準柱4454可包括配合在一端帽開口中之通道中之一或多個徑向突出體4708。通道及突出體4708可協同以導引傳動手柄4450之移動以有助於確保如下文論述之一適當密封。對準柱4454之端可包括具有一環形凹槽及唇緣之一可壓縮環4709。唇緣可如下文進一步論述般由端帽之一部分卡住。
圖47B係圖47A中所示之一傳動系統之實施例之一橫截面視圖之一圖形表示。齒輪臂4430包括接納傳動軸件4452之傳動軸件通路4720。傳動軸件通路4720之一端部分敞開以曝露傳動軸件4452之一部
分(部分4710處指示)。
傳動軸件4452可在傳動軸件通路4720中平移，使得傳動軸件尖端4722可被推進且收縮。在收縮傳動軸件4452之方向上的平移可受限於插入件4706。插入件4706可包含與傳動軸件4452同軸且向內推動之一組彈性指狀物4730。當傳動軸件4452收縮一定距離時，彈性指狀物4730向內推動進入環形凹槽4732以禁止在該方向上進一步平移。插入件4706可在通路4720中旋轉使得傳動手柄4450可繞傳動軸件4452之軸旋轉，直至將對準柱4454向前推動進入端帽對準開口，從而使齒條與狹槽對準，狹槽允許進一步推進傳動手柄4450以將該兩個部分旋轉地鎖定在一起。
圖48係安置在一端帽或其他組件中以接納對準柱4454(圖44A)之一對準開口4800之一實施例之一圖形表示。可在對準開口4800內側上界定多個肋狀物或其他特徵部以界定一系列軸向通道及徑向通道。根據一實施例，該等特徵部界定入口通道4802、一第一徑向通道4804、一第二徑向通道4806及連接第一徑向通道與第二徑向通道4806之第二軸向通道4808(展示其等之一者)。在一實施例中，可在插入至一端帽開口中之一插入件4850中界定該等通道。
參考圖44至圖48，當對準柱4454插入至開口4800中時，突出體4708接納在入口通道4802中。這意謂在可插入對準柱4454之前，傳動系統係在正確定向上。此定向可與其中連接螺母4410及連接螺母4420之內螺紋適當對準一端帽、接頭或其他固定件上之外螺紋之定向一致。可平移傳動手柄4450，從而在通路4720中平移傳動軸件4452。然而，第二軸向通道4808未對準入口通道4802(例如，肋狀物4810與入口通道4802重疊且用作一止動塊)，使得傳動手柄4450之進一步平移受限。傳動手柄4450可旋轉直至突出體4708對準軸向通道4808。此位置可對應於其中傳動軸件4452對準外殼4402中之缺口4464且連接螺母4410及
連接螺母4420旋轉以產生一360度密封之一位置。接著可進一步推進傳動手柄4450使得傳動軸件4452接納在缺口4464中。壓縮環4709之環狀唇緣可在脊部4812上方行進使得脊部4812卡住在壓縮環4709之凹槽中。壓縮環4709及脊部4812可產生當傳動軸件4452完全接合缺口4464時提供觸覺回饋之一卡扣配合。此外，壓縮環4709及脊部4812提供防止傳動軸件4452突然收縮之一機構。
因此，對準開口4800可提供一鍵合特徵部，其經組態使得當傳動軸件4452在一第一角位置中時，可將傳動軸件4452推進一有限第一距離。傳動軸件4452可接著藉由旋轉齒輪臂4430而旋轉至一第二角位置，該第二角位置對應於一密封連接。傳動軸件4452可被推進至一最終完全插入位置，其中傳動軸件4452用作一固定銷以防止進一步角旋轉。
圖49A係類似於連接系統4400之一連接系統4900之一部分之一實施例之一圖形表示。連接系統4900可包含接合一端帽、接頭或其他固定件上之一互補對準特徵部之一對準特徵部。在此實例中，旋轉部件(例如，齒輪臂4930)具有一狹槽4932，狹槽4932具有法向於齒輪臂4930之徑向行進之方向(即，平行於樞轉軸之側中)之一入口。狹槽4932可接納一端帽、接頭或其他固定件上之一徑向延伸肋4934(例如，圖1之肋狀物130)。此等配接特徵部部分纏繞在埠之軸周圍。根據一實施例，狹槽4932及肋狀物4934經組態，使得當連接螺母內螺紋及端帽、接頭或其他固定件之外螺紋經正確定位以容許進行適當接合時，肋狀物4934之端與狹槽4932之入口對準。因此，連接系統對準特徵部及互補端帽、接頭或其他固定件對準特徵部經組態使得在齒輪臂旋轉之前，該等螺紋係在適當位置中及適當定向上。
根據一實施例，肋狀物4934歸因於肋狀物4934之橫截面由於肋狀物4934徑向伸出(圖49B中所示)而變得更大而固持在齒輪臂4930之
狹槽4932中。狹槽4932亦可隨著狹槽徑向伸出而變得更寬。此外，根據一實施例，狹槽4932及肋狀物4934可呈螺旋形。此機構可用以有助於相對於過濾器端帽固持齒輪臂4930之位置，且亦可隨著齒輪臂4930繞埠軸旋轉而(例如，透過一干涉配合)在端帽與流體接頭之間產生更大軸向負載。連接外殼4902之另一側上之負載可大致上等效於由狹槽4932之壁與肋狀物4934之間的接合之干涉配合產生之負載。這可有助於將負載分佈在旋轉機構之兩側上以確保一平滑旋轉及密封接合。肋狀物4934及狹槽4932可具有近似等於(即，較大連接螺母之)連接螺母內螺紋之節距之一節距。
傳動軸件可以一凸座或經設計以接合位於過濾器接頭之螺旋肋狀物4934上之一凹槽4940之其他特徵部為特徵。當在流體密封過濾器之後向前推動傳動軸件時，迫使凸座進入肋狀物4934上之凹槽4940中。這在靠近過濾器接頭處提供一防旋轉特徵部。若傳動軸件並非在正確定向上，則將不會接合該特徵部，從而警告使用者傳動手柄未旋轉至正確定向且密封並不完全。圖49B圖解說明肋狀物4934之一橫截面之一實施例。圖49C係具有具備凸座4954之一傳動軸件4952之傳動手柄4950之一實施例之一圖形表示。
圖50圖解說明用於連接至一匣端帽或其他接頭之一連接系統5000之另一實施例。連接系統5000可包含安置在一連接外殼5012上之一連接螺母5010。連接螺母5010將一彎頭接頭5014連接至一端帽5016上之一接頭。一旋轉部件5020促進螺母5010之旋轉。根據一實施例，旋轉部件5020包括耦合至螺母5010且與穿過螺母5010之開口相距一徑向距離之一臂5022。臂5022可自螺母5010之一端面延伸。臂5022可長於與端帽接頭同軸之彎頭接頭5014之一第一部分。旋轉部件5020亦可包含垂直於臂5022延伸之一平台5024使得平台5024之一外面平行於螺母5010之端面。平台5024可包含一工具界面5026以容許一旋轉工具鑽
頭(例如，諸如六角起子、Philips鑽頭、平頭鑽頭、星形鑽頭)或其他工具接合旋轉部件。旋轉部件5020旋轉會使螺母5010旋轉。在一些實施例中，旋轉部件5020小於360度(包含小於180度，且在一些情況下小於135度)的旋轉可導致螺母之內螺紋360度接合端帽5016之外螺紋。
旋轉部件5020之旋轉範圍可受到限制使得螺母5010在已知位置中停止旋轉。這可有助於確保螺母5010之螺紋適當地對準在完全脫離位置中。在一些實施例中，旋轉之結束點可由圓點及箭頭或其他視覺指示符標記。圓點及箭頭亦提供用以確認接合或脫離之一視覺指示符之一實例。在又另一實施例中，可使用當旋轉部件在適當位置中時開啟之LED或其他指示燈，從而再次提供適當接合/脫離之一指示。
圖51係連接系統5000之一實施例之一橫截面之一圖形表示。如圖51中描繪，連接螺母5010可包含接合端帽5016之埠接頭上之外螺紋5011之螺母內螺紋5102及接合連接外殼5012之內螺紋之螺母外螺紋5104。如上所述，螺紋可經組態使得螺母5010在旋轉小於360度的情況下在接頭5014與端帽5016之間產生一360度密封且將不會在期望負載下旋出。
亦可提供一鎖定機構(例如，諸如接頭之旋轉部件上之止回爪/凹口、旋轉部件與接頭之間之卡扣配合或其他組件或其他特徵部)以防止旋轉部件非所期地旋轉。在一些情況下，可使用鎖定機構來代替螺母外螺紋以防止螺母旋出。
圖52係自一端觀察之主體5200(例如，移除端帽104及端帽106)之一實施例之一圖形表示。主體5200可界定一介質腔。介質腔可隔離為腔道，其中各腔道中安置一淨化器元件5225。根據一實施例，平行腔道在x-z平面及x-y平面中具有一大體上矩形(包含正方形)外形。雖然展示三個腔道，但是淨化器匣可具有更多或更少個腔道。腔道可經密
封使其等彼此阻隔使得流體未在腔道之間流動。在其他實施例中，可提供開口使得流體可在隔離腔道之間流動。圖52進一步圖解說明標籤固持件5292中之標籤5294。
根據一實施例，主體5200包括第一側蓋5210、第二側蓋5220、主殼體5230及腔道蓋5240(指示其等之一者)。主殼體5230、第一側蓋5210、第二側蓋5220及端帽可使用緊固件、音波黏結、干涉配合或其他耦合機構耦合在一起，且可協同以形成介質腔及平行腔道。主殼體5230提供在外側壁5234與外側壁5236之間延伸之一底座5232及自底座5232延伸之一組分開張力部件5238。側壁5234、側壁5236、側蓋5210及側蓋5220可形成內腔之側壁。主殼體側壁及張力部件5238可沿長軸在腔內延伸一長度以形成腔道側壁。底座5232介於腔道側壁之間(例如，外側壁5234/5236與一張力部件5238之間及兩個張力部件5238之間)之部分形成整合腔道蓋5239，其包括一格柵以容許流體流入或流出對應腔道。
底座5232之一側可包含促進將側蓋5220耦合至底座5232之特徵部。根據一實施例，底座提供可黏結或以其他方式耦合側蓋5220之一部分之一組側蓋安裝表面。在相對側上，外側壁5234、外側壁5236及張力部件5238遠離底座5232之端可提供促進將側蓋5210耦合至主殼體5230之特徵部。例如，遠端表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋5210之一部分之側蓋安裝表面。
腔道蓋5240跨越在各主殼體側壁5234/5236與一張力部件5238之間或相鄰張力部件5238之間，且延伸腔道之長度以覆蓋腔道與底座5232相對之側。腔道蓋5240可包括包含延伸腔道蓋5240之長度之框架部件5244之一外框架及跨越在框架部件5244之間之一格柵部分。腔道蓋5240中之開口可相同或不同於底座5232之整合腔道蓋5239中之開口。
框架部件5244面向側蓋5210之表面可提供一側蓋安裝表面以促進側蓋5210之耦合。例如，側蓋安裝表面可提供可黏結或以其他方式耦合側蓋5210之一部分之一表面。腔道蓋5240亦可包含耦合特徵部以促進使用一卡扣配合、干涉配合、音波黏結或根據任何適當耦合機構將腔道蓋5240耦合至主殼體5230。根據一實施例，腔道蓋5240可包含舌狀物、凹槽或其他特徵部使得腔道蓋5240可卡住在適當位置中。
如圖52中描繪，在一淨化器元件5225之一上游側及一下游側上提供一腔道蓋(例如，呈腔道蓋5240及整合腔道蓋5239之形式)。在其他實施例中，僅在淨化器元件5225之一側上提供一腔道蓋。在又另一實施例中，完全不使用腔道蓋。具有腔道蓋以覆蓋淨化器元件5225之上游側及下游側之一優點係：可在正向流動及反向流動中支撐淨化器元件5225，從而容許匣在任一流動方向上類似地運行。
側蓋5210可包含側支撐部件5260、對準張力部件5238之一組分開肋5262及一組分開肋5263。側蓋5220可類似地包含側支撐部件5270、對準張力部件5238之一組分開肋5272及一組分開肋5273。注意，與圖2之肋狀物263及273相比，肋狀物5263及5273並未全程延伸至腔道蓋。即，腔道蓋5240與肋狀物5263之端之間存在一間隙及肋狀物5273之端與腔道蓋5239之間存在一間隙。
可沿側壁安置流動通道。為此，側支撐部件5260、分開肋5262及分開肋5263可延伸一長度並協同以形成細分為子通道5264之一組平行流動通道，子通道5264沿其等長度開向腔道蓋5240。類似地，側支撐部件5270、分開肋5272及分開肋5273可延伸一長度並協同以形成細分為流動通道部分5274之一組平行流動通道，流動通道部分5274沿其等長度開向腔道蓋5239。流動通道之端可形成如上所述之充氣室且經流體耦合至入口、出口、排氣口或排放口之一或多者。
雖然每個腔道描繪細分為兩個子通道之一流動通道，但是匣之
每個腔道可具有多個隔離流動通道及額外子通道或不具備子通道。流動通道5264及5274可具有任何所要形狀及大小，且相同側或相對側上之不同流動通道可具有不同組態。根據一實施例，流動通道可呈弧形、橢圓形或圓形以沿側蓋產生一系列拱形件。每個腔道亦可使用一弧形、橢圓形或圓形形狀(例如，使得流體通道未被細分，但仍為圓形)。
各側蓋上之分開肋之一些分開以對準張力部件5238。此等肋狀物之內表面可耦合至張力部件之端。例如，肋狀物5272之內表面可在張力部件5238之底座處耦合至主殼體5230且肋狀物5262之內表面可耦合至張力部件5238之遠端。因此，當壓力容器腔受到壓力時，張力部件5238將於側蓋5210及5220上撐住一力以減小或防止側蓋5210及5220彎曲。張力部件5238之大小及組態可經選擇使得在期望操作壓力下壓力容器腔之體積變形小於一所要百分比。
主體5200可包括如上所述般更好地分佈力之一系列箍環狀結構。根據一實施例，內表面中平行於腔道延伸之轉折彎曲。因此，例如，如上文結合圖2論述，側蓋5210之角隅、側蓋5220之角隅及流動通路繞平行於腔道之軸彎曲。此外，主殼體側壁5234及5236具有彎曲外部，且側蓋5210及5220具有彎曲角隅(例如，參考圖1A及圖1B，在自側125至側124及側123之轉折及自側126至側124及側123之轉折處)。
如上所述，腔道可提供淨化器元件固持區域以固持淨化器元件5225。根據一實施例，淨化器元件5225可包括褶襉網片，其等經摺疊使得褶襉之長度平行於匣之長軸。褶襉尖端可經定向使得一側上之褶襉尖端指向側蓋5210，而相對褶襉尖端經定向以指向側蓋5220使得褶襉尖端鄰接各自腔道蓋。在此配置中，一組褶襉尖端面向腔之上游部分且另一組褶襉尖端面向腔之下游部分。淨化器元件5225可為分離淨
化器元件，或淨化器元件之各者可為相同連續褶襉網片之部分，使得(例如)一淨化器元件5225之最後的翻瓣轉折至下一個淨化器元件5225之第一翻瓣中，且該淨化器元件之最後的翻瓣轉折至下一個淨化器元件5225之第一翻瓣中，以此類推。各淨化器元件之褶襉可由單一隔膜或多個隔膜形成，隔膜由相同或不同材料形成。較佳地，褶襉壓縮在一起並在上游側上形成一大體上較平坦矩形入口界面且在下游側上形成一大體上較平坦矩形出口界面。一腔道中一給定隔膜區域之隔膜壓縮量可經選擇以達成一所要壓降及流速。如上所述，亦可在腔道中放置其他淨化介質或用於其他目的(例如，熱量交換)之其他介質。
圖53係一淨化器匣5300之另一實施例之一圖形表示，淨化器匣5300包括一主體5301、一第一端帽5302及一第二端帽5304。主體5301可如上所述般組態。端帽5302可提供一第一埠5306及一第二埠5308，且端帽5304可提供一第三埠5310及一第四埠5312。該等埠可提供一入口埠、一出口埠、一排氣埠及一排放埠。例如，埠5306可為一出口埠，埠5308可為一排氣埠，埠5310可為一入口埠，且埠5312可為一排放埠。在圖53之實施例中，埠接頭可為用於(例如)半導體製造之標準埠接頭。
端帽5302可經組態使得匣之一上游側上之氣體被引導至第二埠5308(例如，端帽5302可經設計或以其他方式塑形使得排氣埠係在腔之上游側上之最高點處)，且端帽5304可經組態使得下游側上之流體流至埠5312(例如，端帽5304可經設計或以其他方式塑形使得排放埠係在腔之下游側上之最低點處)。
圖54係一淨化器匣5400之另一實施例之一圖形表示，淨化器匣5400包括一主體5401、一第一端帽5402及一第二端帽5404。主體5401可如上所述般組態。端帽5402可提供一第一埠5406及一第二埠5408，且端帽5404可提供一第三埠5410及一第四埠5412。該等埠可提供一入
口埠、一出口埠、一上游排氣埠及一下游排氣埠。例如，埠5406可為一下游排氣埠，埠5408可為一上游排氣埠，埠5410可為一入口埠，且埠5412可為一出口埠。端帽5402可經組態使得氣體被引導至第一埠5406及第二埠5408(例如，端帽5402可經設計或以其他方式塑形使得排氣埠係在腔之上游側及腔之下游側上之最高點處)。在圖54之實施例中，埠接頭可為用於(例如)半導體製造之標準埠接頭。
圖55係流體埠面向前面及後面之一淨化器匣5500之另一實施例之一圖形表示，淨化器匣5500包括一主體5501、一第一端帽5502及一第二端帽5504。主體5501可如上所述般組態。端帽5502可提供一第一埠5506及一第二埠5508，且端帽5504可提供一第三埠5510及一第四埠5512。該等埠可提供一入口埠、一出口埠、一排氣埠及一排放埠。在此情況下，所有埠可為水平埠。在圖55之實施例中，埠接頭可為用於(例如)半導體製造之標準埠接頭。
端帽5502可經組態使得匣之一上游側上之氣體被引導至排氣埠(例如，端帽5502可經設計或以其他方式塑形使得排氣埠係在腔之上游側上之最高點處)，且端帽5504可經組態使得下游側上之流體流至埠5512(例如，端帽5504可經設計或以其他方式塑形使得排放埠係在腔之下游側上之最低點處)。
圖56係一過濾系統5600之一實施例之一圖形表示，過濾系統5600具有兩個大體上矩形淨化器匣5602，其等與具有相同過濾面積之先前圓柱形過濾器(由Entegris,Inc.(Billerica,Massachusetts)生產的Chemline I過濾器5604及Chemlock圓柱形過濾器5606(亦由Entegris,Inc.生產))相比各自提供3m2過濾隔膜(總計6m2)。大體上矩形淨化器匣在一較小體積中提供相同過濾面積。過濾系統5600佔用空間且僅需要歧管前面的空間以操控齒輪臂並插入過濾器。圓柱形過濾器較寬，且實務上佔用多於所示橫向空間之橫向空間以使一使用者在更換過濾
器時操控過濾器接頭。圖56之尺寸係由上下文提供且無限制。淨化器匣可取決於應用及淨化及流動需求而被製造得更大或更小。
雖然已描述特定實施例，但是此等實施例僅僅係闡釋本發明且非限制本發明。本發明之已圖解說明之實施例之本文描述(包含發明摘要及發明內容中的描述)不旨在詳盡無遺或將本發明限於本文中揭示之精確形式(且特定言之，發明摘要或發明內容內包含任何特定實施例、特徵或功能不旨在將本發明之範疇限於此實施例、特徵或功能)。相反，該描述旨在描述闡釋性實施例、特徵及功能以使此項技術中之一般技術者理解本發明且不將本發明限於任何特定描述之實施例、特徵或功能，包含發明摘要或發明內容中描述之任何此實施例、特徵或功能。雖然本文中已僅針對闡釋性目的而描述本發明之特定實施例及實例，但是如熟習此項技術者將認知並明白，各種等效修改在本發明之精神及範疇內係可行的。如指示，鑑於本發明之已圖解說明之實施例之前述描述，可對本發明作出此等修改，且此等修改包含在本發明之精神及範疇內。因此，雖然本文中已參考本發明之特定實施例而描述本發明，但是修改之一範圍、各種改變及替代旨在前述揭示內容中，且應明白在一些例項中，在不脫離如陳述之本發明之範疇及精神的情況下，可採用本發明之實施例之一些特徵而不對應地使用其他特徵。因此，可作出許多修改以將一特定情形或材料調適至本發明之本質範疇及精神。
例如，本文中描述之任何過濾器結構可包括使用一第二聚合物包覆模製在一或多個表面上之一第一聚合物。作為另一實例，介質可包含可藉由化學塗層、電漿處理、雷射或燈具處理等進行表面改質以包含離子交換基團、親水基、疏水基及輔助淨化由多孔隔膜處理之流體之其他官能基團之隔膜。作為另一實例，離子交換介質可放置在隔膜袋中且此等袋密封至匣之通道或腔道中。在另一實施例中，可將具
有嵌入式離子交換隔膜之一多孔隔膜摺疊並黏結至腔道中。亦將可在一匣內使用一多孔或無孔隔膜藉由使一液體在外殼之一側上流動並透過匣之另一側上之接頭施加氣體或牽引真空而氣化或脫氣液體。在另一實施例中，一匣可經組態以使用一無孔隔膜轉移熱量。
在本說明書內對「一實施例」、「一特定實施例」或類似術語的引用意謂結合實施例描述之一特定特徵、結構或特性包含在至少一實施例中且不一定存在於所有實施例中。因此，片語「在一實施例中」、「在一特定實施例中」或類似術語在本說明書內各處的各自出現不一定係指相同實施例。此外，任何特定實施例之特定特徵、結構或特性可以任何適當方式與一或多個其他實施例組合。應瞭解，鑑於本文中的教示，本文中描述並圖解說明之實施例之其他變動及修改係可行的且被視為本發明之精神及範疇之部分。
在本文中的描述中，提供數種特定細節(諸如組件及/或方法之實例)以提供對本發明之一完整理解。然而，熟習此項技術者應認知，一實施例能夠在不具備該等特定細節之一或多者的情況下或在具有其他設備、系統、總成、方法、組件、材料、部分及/或類似物的情況下加以實踐。在其他例項中，並未具體展示或詳細描述已知結構、組件、系統、材料或操作以避免混淆本發明之實施例之態樣。雖然可藉由使用一特定實施例圖解說明本發明，但是這未將且的確未將本發明限於任何特定實施例，且一般技術者將認知額外實施例可容易理解且係本發明之一部分。
亦應明白，該等圖式及/或圖中描繪之元件之一或多者亦可以一更分離或整體方式實施，或甚至在某些情況下被移除或呈現為不可操作，這在符合一特定應用時係有用的。此外，除非另有具體說明，否則該等圖式/圖中之任何標示箭頭應僅被視為例示性且非限制。
上文已關於特定實施例描述優勢、其他優點及解決問題之方
法。然而，該等優勢、優點及解決問題之方法及可導致任何優勢、優點及解決問題之方法發生或變得更明顯之任何組件不應被解釋為一重要、必需或本質特徵或組件。
100‧‧‧淨化器匣
102‧‧‧主體
123‧‧‧第一側
124‧‧‧第二側
125‧‧‧第三側
126‧‧‧第四側
210‧‧‧第一側蓋/介質蓋
220‧‧‧第二側蓋
225‧‧‧淨化器元件
230‧‧‧主殼體
232‧‧‧底座
234‧‧‧外側壁
236‧‧‧外側壁
238‧‧‧張力部件
239‧‧‧整合腔道蓋/第二腔道蓋
240‧‧‧腔道蓋
242‧‧‧支撐部件
244‧‧‧框架部件
246‧‧‧舌狀物
252‧‧‧支撐部件
260‧‧‧側支撐部件
262‧‧‧分開肋
263‧‧‧分開肋
264‧‧‧流動通道/子通道
270‧‧‧側支撐部件
272‧‧‧分開肋/間肋
273‧‧‧分開肋/間肋
274‧‧‧子通道/次級流動通路
280‧‧‧角隅
290‧‧‧角隅
Claims (21)
- 一種淨化器匣，其包括：一淨化器主體，其進一步包括至少部分界定一介質腔之一組介質腔側壁，該組介質腔側壁包括一第一側壁、一第二側壁、一第三側壁及一第四側壁，該第一側壁與該第二側壁相對且該第三側壁與該第四側壁相對；一或多個張力部件，其(其等)耦合至該介質腔之該第一側壁及該第二側壁，該一或多個張力部件將該介質腔分為複數個區段；一淨化器元件，其安置在該介質腔中；一第一淨化器埠，其經流體連接至該介質腔；及一第二淨化器埠，其經流體連接至該介質腔。
- 如請求項1之淨化器匣，其中該一或多個張力部件平行於該第三側壁及該第四側壁延伸並將該介質腔分為複數個腔道。
- 如請求項2之淨化器匣，其進一步包括一主殼體，該主殼體進一步包括：一底座，其具有開口以容許流體流入或流出該複數個腔道；該第三側壁；該第四側壁；及該一或多個張力部件。
- 如請求項2之淨化器匣，其中該淨化器元件包括安置在該複數個腔道之各者中之一淨化器元件。
- 如請求項4之淨化器匣，其中各淨化器元件包括一經壓縮大體上矩形褶襉網片，其經配置使一第一組褶襉尖端面向該介質腔之一上游部分及一第二組褶襉尖端面向該介質腔之一下游部分。
- 如請求項1之淨化器匣，其進一步包括一第一端帽及一第二端帽。
- 如請求項1之淨化器匣，其中該淨化器主體界定複數個箍環狀結構，其等經組態使得該介質腔中之壓力在該第一側壁、該第二側壁、該第三側壁及該第四側壁中產生張力。
- 如請求項1至7中任一項之淨化器匣，其中該淨化器進一步包括：一第一側蓋，其包括該第一側壁並界定沿該第一側壁安置之一第一組流動通道，該第一組流動通道連接至該第一埠；一第二側蓋，其包括該第二側壁並界定沿該等第二側壁安置之一第二組流動通道，該第二組流動通道在該複數個區段與該第一組流動通道相對之一側上。
- 如請求項8之淨化器匣，其中該第一側蓋包括沿該第一側壁界定一系列拱形件之一組分開加強肋狀物，且該第二側蓋包括沿該第二側壁界定一系列拱形件之一組分開加強肋狀物。
- 如請求項8之淨化器匣，其中該第一側蓋在至該第一組流動通道之一入口處界定一組充氣室。
- 如請求項8之淨化器匣，其中該第二側蓋耦合至一底座且該第一側蓋耦合至該第三側壁之一遠端、該第四側壁之一遠端及該一或多個張力部件之遠端。
- 如請求項8之淨化器匣，其中該淨化器匣包括一對準特徵部，其經組態以對準一連接系統之對應對準特徵部。
- 如請求項12之淨化器匣，其中該對準特徵部包括一徑向埠肋，其經定位以由該連接系統之該對應對準特徵部接納。
- 如請求項12之淨化器匣，其中該對準特徵部與一組埠接頭外螺紋之一螺紋線分開一距離，使得除非該對準特徵部配接連接螺 母之該對應對準特徵部，否則一組埠接頭外螺紋不能接合一組連接螺母內螺紋。
- 如請求項14之淨化器匣，其中該對準特徵部包括一組缺口，其等分開以對準該連接螺母之一組內突出體。
- 如請求項8之淨化器匣，其進一步包括一第一埠接頭，其具有多線外螺紋，其等經組態以接合一組連接螺母多線內螺紋使得該等連接螺母多線內螺紋在該連接螺母旋轉小於360度的情況下將該第一埠接頭密封至另一埠接頭。
- 如請求項1至7中任一項之淨化器匣，其中該淨化器匣包括一對準特徵部，其經組態以對準一連接系統之對應對準特徵部。
- 如請求項1至7中任一項之淨化器匣，其進一步包括一第一埠接頭，其具有多線外螺紋，其等經組態以接合一組連接螺母多線內螺紋使得該等連接螺母多線內螺紋在該連接螺母旋轉小於360度的情況下將該第一埠接頭密封至另一埠接頭。
- 一種經組態以接合具有一連接系統接頭及具備一組連接螺母多線內螺紋之一連接螺母之一連接系統之端帽，該端帽包括：一第一埠接頭，其進一步包括一組多線外螺紋，其等經組態以接合該等連接螺母多線內螺紋使得該等連接螺母多線內螺紋在該連接螺母旋轉小於360度的情況下將該第一埠接頭密封至一第二流體接頭；及一第一對準肋，其與該第一埠接頭之一開口分開。
- 如請求項19之端帽，其中該第一對準肋界定一組分開缺口，該等分開缺口經定位以在該連接螺母之一選定角位置中對準該連接螺母之內突出體，該對準肋與該組多線外螺紋之一螺紋線分開使得除非該等內突出體行進穿過該等分開缺口，否則該等連接螺母多線內螺紋不能接合該等多線外螺紋。
- 如請求項19或20之端帽，其中該端帽包括具有一第二對準肋之一第二埠接頭。
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