TW201338909A - 可透視靜電吸板 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種可透視靜電吸板，其主要是由可透視板體上直接形成蝕刻電路部，並再覆蓋設置可透視絕緣覆膜層所構成，於該可透視板體及可透視絕緣覆膜層之間的蝕刻電路部導通高壓電流，電荷無法導通釋放的情況下產生靜電，藉此靜電吸附物件；本發明可透視板體本身可透視的特性能便於進行對合作業的檢視，不僅能提高作業檢視的方便性，更能降低對合精度不良之問題，提昇產品良率。
Description
本發明提供一種可透視靜電吸板，其是與可吸附物件結構有關。
一般的靜電吸板如第1圖所示，該靜電吸板10包含一基板11、一吸附板12以及一電路板13，該吸附板12以絕緣的PVC材質所製成，該吸附板12包覆於該電路板13外，而該基板11則固定於該吸附板12的一側；藉由外部電路導電於該電路板13，使該吸附板12積存電荷而產生靜電以吸附物件，而習知的靜電吸板10之基板11通常由無法透視的材質所製成，而該靜電吸板10又時常被使用於貼合半導體基板的製程，而在貼合半導體基板時，半導體基板的對位準確度非常重要，習知靜電吸板10之無法透視的基板11將會提高半導體基板的對位困難度；另外，在導電於電路板13的過程中，由於電路板13通電時會產生熱，而有可能使PVC材質之吸附板12產生撓曲變形的狀況產生，此時，該基板11便能支撐該吸附板12確保該吸附板12不會產生變形，由此可知，該靜電吸板10必須倚賴另外的設置的基板11提供支撐確保不會變形，如此使得該靜電吸板的結構組成較為繁雜，生產的工序相對增加，亦無法提供高收益的經濟價值；有鑑於此，本發明人潛心研究並更深入構思，歷經多次研發試作後，終於發明出一種可透視靜電吸板。
本發明提供一種可透視靜電吸板，其主要目的是解決習知靜電吸板結難以進行透視對位之問題；而次要目的則能改善習知靜電吸板結構之結構組成繁多而生產工序繁雜之問題。
為達前述目的，本發明提供一種可透視靜電吸板，由一可透視板體、一可透視絕緣覆膜層及二電連接埠所構成，其中：該可透視板體的一面上形成二蝕刻電路部，該可透視板體為可透視並絕緣的材質所製成；各該電連接埠電性連接各該蝕刻電路部；以及該可透視絕緣覆膜層覆蓋設置於該可透視板體具有蝕刻電路部的一面上，並使該電連接埠外露。
本發明藉由可透視板體上直接形成蝕刻電路部，便於兩透視板體對合作業時的對合，提高作業檢視的方便性，能降低對合精度不良之問題，提昇產品良率。
為使貴審查委員對本發明之目的、特徵及功效能夠有更進一步之瞭解與認識，以下茲請配合【圖式簡單說明】詳述如后：本發明可透視靜電吸板的較佳實施例如第2、3圖所示，該可透視靜電吸板由一可透視板體20、一可透視絕緣覆膜層30以及二電連接埠40所構成，其中：該可透視板體20為可透視且絕緣的材質所製成，且該可透視板體20一面上形成二蝕刻電路部21，本實施例之可透視板體20為玻璃板或壓克力板；該電連接埠40電性連接各該蝕刻電路部21；以及該可透視絕緣覆膜層30覆蓋設置於該可透視板體20具有蝕刻電路部21的一面上，並使各該電連接埠40外露，各該電連接埠40供以電性連接電力源，本實施例之可透視絕緣覆膜層30為透明、絕緣性佳且與玻璃黏著性強的膠體。
以上為本發明可透視靜電吸板之結構關係，而該靜電吸板使用時，可藉由各電連接埠40分別電性連接電力源的正、負極，藉由電連接埠40輸出電力至該蝕刻電路部21，而該蝕刻電路部21受包覆於該可透視板體20本身及該可透視絕緣覆膜層30之間，如此使得電力沒有任何可導通電力之物件可釋放，如此，便會使得該可透視板體20因電荷的留滯積聚而產生靜電，則本發明之可透視靜電吸板即能憑藉靜電作物件的吸附動作；而由上述說明可知，本發明可提供靜電吸附物件的能力，且本發明產生靜電之物件為該可透視板體20，而靜電吸板時常被使用於貼合兩半導體基板的動作，當使用兩個本發明可透視靜電吸板進行兩半導體基板對合的動作時，將兩個半導體基板分別吸附於一個該可透視板體20，而當兩個該可透視板體20相對合時，由於該可透視板體20為可透視之材質製成，因此，操作者便可由該可透視板體20透視檢視兩半導體基板是否正確對準貼合，能便於操作者進行對合檢視的作業，且同時能降低對合精度不良之問題，提昇產品良率；而當本發明之可透式板體20為玻璃所製成時，則該可透視板體20本身即具有絕緣及不會受熱變形之特性，因此本發明可透視靜電吸板更不需憑藉其他構件以作為支撐，能確實簡化整體結構組成，且本發明之蝕刻電路部21又是直接蝕刻成形於該可透視板體20上，因此本發明可透視靜電吸板係具有較習知靜電吸板較薄的結構厚度，減小靜電吸板整體所佔之空間。
10．．．靜電吸板
11．．．基板
12．．．吸附板
13．．．電路板
20．．．可透視板體
21．．．蝕刻電路部
30．．．可透視絕緣覆膜層
40．．．電連接埠
第1圖 為習知靜電吸板的示意圖。
第2圖 為本發明可透視靜電吸板的側視圖。
第3圖 為本發明可透視靜電吸板的俯視圖。
20．．．可透視板體
21．．．蝕刻電路部
30．．．可透視絕緣覆膜層
40．．．電連接埠
Claims (3)
- 一種可透視靜電吸板，由一可透視板體、一可透視絕緣覆膜層及二電連接埠所構成，其中：該可透視板體的一面上形成二蝕刻電路部，該可透視板體為可透視並絕緣的材質所製成；各該電連接埠電性連接各該蝕刻電路部；以及該可透視絕緣覆膜層覆蓋設置於該可透視板體具有蝕刻電路部的一面上，並使該電連接埠外露。
- 如申請專利範圍第1項所述的可透視靜電吸板，其中，該可透視板體為玻璃板。
- 如申請專利範圍第1項所述的可透視靜電吸板，其中，該可透視板體為壓克力板。
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|---|---|---|---|
| TW101109609A TWI455792B (zh) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | 可透視靜電吸板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW101109609A TWI455792B (zh) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | 可透視靜電吸板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201338909A true TW201338909A (zh) | 2013-10-01 |
| TWI455792B TWI455792B (zh) | 2014-10-11 |
Family
ID=49770674
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| TW101109609A TWI455792B (zh) | 2012-03-21 | 2012-03-21 | 可透視靜電吸板 |
Country Status (1)
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| TW (1) | TWI455792B (zh) |
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-
2012
- 2012-03-21 TW TW101109609A patent/TWI455792B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI455792B (zh) | 2014-10-11 |
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