TW201334128A - 薄膜封裝裝置 - Google Patents

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Hyun-Sik Youn
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Abstract

本發明涉及一種薄膜封裝裝置,本發明的薄膜封裝裝置透過噴嘴向基板噴射從外部供給的單體,從而封裝薄膜,所述薄膜封裝裝置的特征在于,包括:外罩,在內部設置有收容空間,並設置有開口部使得所述單體從所述噴嘴向基板噴射;頭部,接收所述單體並將所述單體收容在內部,所述頭部可旋轉地設置在所述外罩內部的所述收容空間,所述頭部的外周面形成有所述噴嘴,當所述噴嘴位于與所述開口部對應的位置時噴射所述單體;門部,設置在所述頭部的外周面並在圓弧方向上與所述噴嘴隔開,在所述門部的至少一個表面形成有傾斜面,而且設置為可沿上下方向移動,從而當位于與所述開口部對應的位置時關閉所述開口部;及至少一個引導部件,設置在所述外罩和所述頭部之間並與所述開口部的一側隔開,從而與形成在所述門部的傾斜面接觸以向開放或關閉所述開口部的方向引導所述門部。據此提供一種薄膜封裝裝置,該裝置能夠隨著頭部在外罩內部的旋轉選擇性地開放噴嘴而噴射單體,或關閉形成在外罩的開口部從而將單體與外部隔離而防止單體固化。

Description

薄膜封裝裝置
本發明涉及一種薄膜封裝裝置,更為詳細地涉及這洋一種薄膜封裝裝置:在圓弧方向上與設置在頭部外周面的噴嘴隔開而設置有門部,從而能夠隨著頭部在外罩內部的旋轉選擇性地開放噴嘴而噴射單體,或關閉開口部而將單體與外部隔離而防止單體固化,從而防止產品質量的下降並提高設備耐久性。其中,所述頭部在內部收容有單體並可旋轉地設置在外罩內部。
顯示裝置係透過各種形態的具體工序來制造。顯示裝置的制造工序中一個主要工序係在基板等上形成多個薄膜的工序,在這種薄膜形成工序中廣泛使用蒸鍍膜工序。
特別是,有機發光元件(Organic light emitting diodes,OLED)作為自發光器件,能夠在單板上起到顯示器功能,而且不但回應速度非常快,厚度薄,視角寬,耗電量少。
在蒸鍍工序中使用的有機發光元件基板蒸鍍裝置與習知的透過加熱有機物以化學方式在基板上蒸鍍的方法不同,其透過將液體狀態的有機物印刷的方式進行蒸鍍而密封,具有能夠生產沒有玻璃封蓋的柔性顯示器的優點。
然而,這種有機發光元件在其特性上對水分及氧氣較脆弱,因而在暴露時,即使為不在驅動中的有機發光元件,在空氣中存在的水分緩慢地與內部電極或有機薄膜等接觸 而產生黑點,從而具有元件特性變差,縮短壽命的問題。
因此,薄膜封裝技術係為了從水分或氧氣中保護元件內部物質的過程,係必要的核心技術,為了阻斷有機發光元件與水分和氧氣的接近,採用用於在薄膜的表面蒸鍍單體的薄膜封裝裝置(Thin Film Encapsulation System)。
以往,在這種薄膜封裝裝置中噴射單體的噴嘴在外罩內部未完全與外部阻斷,導致單體暴露在外部而固化,從而導致產品質量變差,並由于噴嘴的堵塞等現象,設備無法正常運行。
(專利文獻1)韓國發明專利公報第10-0679854號
(專利文獻2)韓國發明專利公開公報第10-2008-0114301號
因此,本發明係為了解決上述以往問題而提出的,其目的係提供一種薄膜封裝裝置,該裝置能夠隨著頭部在外罩內部的旋轉而選擇性地開放噴嘴而噴射單體,或關閉開口部使得單體與外部隔開,從而防止單體的固化。
所述目的係透過本發明的薄膜封裝裝置來實現的。本發明的薄膜封裝裝置透過噴嘴向基板上噴射從外部供給的單體,從而封裝薄膜,所述薄膜封裝裝置的特征在于,包括:外罩,在內部設置有收容空間,並設置有開口部使得所述單體從所述噴嘴向基板噴射;頭部,接收所述單體並將所述單體收容在內部,所述頭部可旋轉地設置在所述外 罩內部的所述收容空間,所述頭部的外周面形成有所述噴嘴,當所述噴嘴位于與所述開口部對應的位置時噴射所述單體;門部,設置在所述頭部的外周面並在圓弧方向上與所述噴嘴隔開,在所述門部的至少一個表面形成有傾斜面,而且設置為可沿上下方向移動,從而當位于與所述開口部對應的位置時關閉所述開口部;及至少一個引導部件,設置在所述外罩和所述頭部之間並與所述開口部的一側隔開,從而與形成在所述門部的傾斜面接觸並向開放或關閉所述開口部的方向引導所述門部。
而且,優選包括至少一個鉸鏈,設置在所述門部和所述頭部之間,使得所述開口部能夠上下方向移動。
而且,優選包括至少一個彈性部件,設置在所述門部和所述頭部之間,用於向所述頭部和所述門部之間施加彈性力。
而且,優選包括止擋部件,設置在所述門部和所述頭部之間,用於防止所述門部透過彈性部件緊貼在所述頭部的外周面。
而且,優選在與所述開口部接觸的所述門部設置有密封部件,當所述開口部和所述門部接觸時與所述開口部緊貼而防止所述單體的洩露。
根據本發明,提供一種薄膜封裝裝置,該裝置能夠隨著頭部在外罩內部的旋轉選擇性地開放噴嘴而噴射單體,或關閉形成在外罩的開口部,從而將單體與外部隔離而防止單體固化。
需要說明的是,對于具有相同結構的結構要素使用同樣的符號,並在第一實施例中代表性地進行說明。
以下,參照圖式詳細說明本發明的一實施例的薄膜封裝裝置。
圖1係本發明的薄膜封裝裝置的剖視圖。如圖所示,本發明的薄膜封裝裝置包括:外罩10,內部設置有收容空間,一側形成有開口部11;頭部20,設置在外罩10內部的收容空間;門部3,設置為可上下移動,選擇性開閉開口部110;及引導部40,設置在外罩10的內部,引導門部30的移動。
在外罩10的內部設置有頭部20,外罩10作為使頭部20與外部隔離的部件具有單方向的長度,並且在內部形成有收容空間,在兩端部形成有與收容空間連通的圓形孔,從而與後述的頭部20的兩端部結合。
而且,在上端面的中央部形成有長度方向的開口部11。透過開口部11露出噴嘴23或透過門部31關閉開口部11。
頭部20可旋轉地設置在外罩10的內部,係用於收容從外部供給的單體並透過開口部11噴射單體的部件,包括主體21、收容單體的收容部22、噴射單體的噴嘴23和從外部供給單體的供給通道(未圖示)。主體21為圓筒形狀,收容從外部供給的單體的收容部22在主體21的內部沿主體21的長度方向形成。
噴嘴23在主體21的外周面沿主體21的長度方向設置, 從收容部22連接到外部,從而當噴嘴23位于與開口部11對應的位置時向外部噴射在收容部22中儲存的單體。
供給通道(未圖示)係將從外部供給的單體向主體21內部的收容部22供給的流道,設置在主體21的一側端部。
門部30係隨著頭部20的旋轉關閉開口部11的部件,包括關閉開口部11的門31、調節門31的高低的鉸鏈32、施加彈性力的彈性部件33、維持門31與頭部20的主體21之間的隔開距離的止擋部件34和當門31關閉開口部11時使兩者彼此緊貼的密封部件35。
門31係關閉開口部11從而將設置在外罩10內部的噴嘴與外部隔離以防止固化的部件,其形成為矩形板狀,透過後述的鉸鏈32和彈性部件33設置在頭部20的主體21的外周面一側。而且,在門31的一側面形成有傾斜面,從而當頭部20向逆時針方向旋轉時,所述門31與後述的引導部件40接觸並被引導。
在頭部20旋轉時與後述的引導部件40接觸的門31的一側面形成有傾斜面。鉸鏈32設置在主體21與門31之間,在門31的長度方向上設置有多個所述鉸鏈32,從而使門31能夠在上下方向上移動。多個彈性部件33設置在主體31與門31之間,用於施加與所述門31從主體21隔開的方向相反方向的彈性力。
止擋部件34設置在門31與主體21對向的表面,在彈性部件33施加彈性力的情況下,調節門31與主體21的隔開距離從而使門31與主體21維持規定的距離。
因此,當頭部20向逆時針方向旋轉時,門31的傾斜面透過止擋部件34與後述的引導部件40接觸。
密封部件35由具有彈性的部件形成,沿著與開口部11接觸的門31的上表面的側邊設置,當與開口部11接觸時與所述開口部11緊貼而維持外罩10內部的氣密性。
參照圖1至圖3,引導部件40與開口部11的一側隔開而設置在外罩10和頭部20之間。在本實施例中,作為引導部件40設置有通常使用的輥輪,當頭部20旋轉時與形成在門31的傾斜面接觸,從而將門31向關閉開口部11的方向引導。
另外,優選在外罩10的內部沿著長度方向設置有多個引導部件40。
下面說明所述薄膜封裝裝置的一實施例的操作。
圖1為表示當噴嘴23位于與開口部11對應的位置時的圖。如圖所示,為了將蒸鍍在基板的有機薄膜層封裝,頭部20的噴嘴23位于與開口部11對應的位置。
透過噴嘴23向外罩10的外部噴射單體,從而將形成在基板的有機薄膜層封裝,其中所述單體透過供給通道(未圖示)從外部存儲在頭部20內部的收容部22。在完成封裝工序後,控制部(未圖示)透過驅動致動器(未圖示)使頭部20旋轉。
圖2為表示隨著頭部20的旋轉,門31與引導部件40接觸並移動的狀態的圖,圖3為表示門31完全關閉開口部11的狀態的圖。
如圖2和圖3所示,當使頭部20向逆時針方向旋轉90度以上時,透過止擋部件34從主體21隔開適當距離的門31的傾斜面與引導部件40接觸。
之後,如圖3表示,傾斜面與引導部件40接觸,使得輥輪形狀的引導部件40旋轉的同時門31沿著傾斜面向上移動,結果係門31關閉開口部11。此時,設置在門31上的密封部件35與開口部11的下部緊貼,從而氣密性地密封外罩10的內部。因此,在封裝工序中除了噴射單體並將其蒸鍍於基板的情況以外,儲存在頭部20內部的單體可透過門部30的門31維持與外部隔離的狀態。因此,透過上述方法能夠使單體與外罩10的外部阻斷而保護單體並防止固化。
另外,當為了向基板上噴射密封的單體,重新驅動驅動部50使得頭部20向順時針方向旋轉時,透過設置在主體21和門31之間的彈性部件33,門31會重新移動到原來的位置,而且透過止擋部件34,門31會配置在與主體21隔開規定間隔的位置,使得噴嘴23重新位於與開口部11對應的位置。
根據上述內容,噴嘴23只有在位于與開口部11對應的位置時才向外部噴射單體,當頭部20旋轉使得門31關閉開口部時,噴嘴23以與外部阻斷的狀態位于外罩10的內部。
綜上,能夠透過與外部阻斷的噴嘴23保護單體,因此能夠提高產品的質量並能夠長時間維持裝置的耐久性。
本發明的權利範圍並不限于上述實施例,在所附的申請專利範圍的記載範圍內可實現為多種形式的實施例。在不脫離申請專利範圍所要求保護的本發明精神的範圍內,本發明所屬技術領域中具有一般知識的人均能變形的各種範圍也應屬于本發明的保護範圍。
10‧‧‧外罩
11‧‧‧開口部
20‧‧‧頭部
21‧‧‧主體
22‧‧‧收容部
23‧‧‧噴嘴
30‧‧‧門部
31‧‧‧門
32‧‧‧鉸鏈
33‧‧‧彈性部件
34‧‧‧止擋部件
35‧‧‧密封部件
40‧‧‧引導部件
圖1為本發明的薄膜封裝裝置的剖視圖。
圖2及圖3為表示本發明的薄膜封裝裝置的操作的操作圖。
10‧‧‧外罩
11‧‧‧開口部
20‧‧‧頭部
21‧‧‧主體
22‧‧‧收容部
23‧‧‧噴嘴
30‧‧‧門部
31‧‧‧門
32‧‧‧鉸鏈
33‧‧‧彈性部件
34‧‧‧止擋部件
35‧‧‧密封部件
40‧‧‧引導部件

Claims (5)

  1. 一種薄膜封裝裝置,透過噴嘴向基板上噴射從外部供給的單體,從而封裝薄膜,所述薄膜封裝裝置的特徵在於,包括:外罩,在內部設置有收容空間,設置有開口部使得所述單體從所述噴嘴向基板噴射;頭部,接收所述單體並將所述單體收容在內部,所述頭部可旋轉地設置在所述外罩內部的所述收容空間,所述頭部的外周面形成有所述噴嘴,當所述噴嘴位於與所述開口部對應的位置時噴射所述單體;門部,設置在所述頭部的外周面並在圓弧方向上與所述噴嘴隔開,在所述門部的至少一個表面形成有傾斜面,而且設置為能夠沿上下方向移動,從而當位於與所述開口部對應的位置時關閉所述開口部;及至少一個引導部件,設置在所述外罩和所述頭部之間並與所述開口部的一側隔開,從而與形成在所述門部的傾斜面接觸並向開放或關閉所述開口部的方向引導所述門部。
  2. 申請專利範圍第1項所述之薄膜封裝裝置,其特徵在於,包括:至少一個鉸鏈,設置在所述門部與所述頭部之間,使得所述開口部能夠上下方向移動。
  3. 申請專利範圍第2項所述之薄膜封裝裝置,其特徵在於,包括: 至少一個彈性部件,設置在所述門部與所述頭部之間,用於向所述頭部與所述門部之間施加彈性力。
  4. 申請專利範圍第3項所述之薄膜封裝裝置,其特徵在於,包括:止擋部件,設置在所述門部與所述頭部之間,用於防止所述門部透過彈性部件緊貼在所述頭部的外周面。
  5. 申請專利範圍第4項所述之薄膜封裝裝置,其特徵在於,在與所述開口部接觸的所述門部設置有密封部件,當所述開口部與所述門部接觸時與所述開口部緊貼而防止所述單體的洩露。
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Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR980007938A (ko) * 1996-06-29 1998-03-30 배순훈 전자부품 자동장착기 노즐헤드부의 로터 로킹장치
DE19843818A1 (de) * 1998-09-24 2000-03-30 Leybold Systems Gmbh Bedampfungsvorrichtung für Vakuum-Bedampfungsanlagen
KR100430104B1 (ko) * 2001-09-18 2004-05-03 디지웨이브 테크놀러지스 주식회사 선형 증착과 간접 가열을 이용한 진공증착장치 및 그증착방법
JP4551996B2 (ja) 2003-10-09 2010-09-29 グローバル・オーエルイーディー・テクノロジー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 蒸発装置
KR100825970B1 (ko) * 2006-09-28 2008-04-29 (주)리드 기판 처리 장치 및 방법
KR101069842B1 (ko) * 2009-05-11 2011-10-04 에스엔유 프리시젼 주식회사 기판 처리 시스템
KR101174875B1 (ko) * 2010-01-14 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치

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