KR101074630B1 - 유기박막 형성장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기박막 형성장치에 관한 것으로서, 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 증발 또는 승화되는 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서, 상기 증발원은, 상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니; 상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부; 상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부; 상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부; 상기 열차단부의 개구부를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터와, 상기 셔터가 회동되도록 상기 셔터의 단부에 설치되는 힌지축과, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 개구부의 중앙부터 개방되는 정도를 조절하도록 상기 힌지축에 연결되어 상기 셔터를 상호 대향되게 회동시키는 개폐수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 증발원의 이동이 자유롭고, 셔터의 동작을 정밀하게 제어할 수 있으며, 셔터가 유리기판에 증착되는 유기재료의 두께를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

OLED, 유기EL, 유기재료, 증발, 승화, 진공실, 셔터, 슬라이드

Description

유기박막 형성장치{organic thin film forming Apparatus}

본 발명은 유기박막 형성장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유기재료의 가열에 의해 유기재료가 증발 또는 승화되어 유리기판에 증착되는 것을 제어하는 증발원의 셔터와 증발원에서 유기재료가 증발 또는 승화되는 속도를 측정하는 측정센서가 증발원에 일체로 형성되어 증발원의 이동이 자유롭고, 유리기판에 증착되는 유기재료의 막두께를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치에 관한 것이다.

통상의 유기EL표시소자는 자발광 소자로서, 시야각이 넓고 구조가 간단하기 때문에 저비용으로 대형화가 가능한 표시 패널로서 기대되고 있다.

이러한 유기EL표시소자는 양극으로서의 유리기판 위에 산화인지움(ITO) 등과 같은 투명도전막이 형성되고, 투명도전막 위에 정공수송층과 발광층과 캐소드전극이 차례로 성막되고 최종적으로 전체에 내환경성을 높이기 위한 밀봉처리의 보호막이 형성되는 구조를 갖는다.

이러한 유기EL표시소자의 각 층을 제작하는데 사용되는 유기박막 형성장치는 일반적으로 증착 기술을 이용한다.

종래의 유기박막 형성장치는 도시되지 않았지만, 진공펌프를 이용한 고진공 의 진공실에 증발원이 배치되고, 증발원 안에 분말 형태의 증착재료가 담겨져 있다. 그리고 진공실의 상방에는 유리기판이 고정되어 있고 유리기판과 증발원 사이에는 성막되는 막의 두께를 제어하는 셔터와 막의 두께를 모니터하는 막두께측정기가 배치된다.

상술한 구조의 유기박막 형성장치에서 증발원을 고온으로 가열하면 증발원 안의 증착재료가 증발 또는 승화되어 증발원에 형성된 개구부를 통해 상승하고 유리기판의 하면으로 부착되어 성막이 이루어진다.

이때, 막두께측정기에 의해 막의 두께를 모니터하면서 셔터가 막의 두께를 제어하도록 한다.

하지만, 종래기술에 따른 유기박막 형성장치는 증발원과 셔터와 막두께측정기가 상호 분리되어 증발원의 이동 또는 증발원 안에 세팅되는 증착재료의 종류에 따라 막두께측정기 및 셔터가 오동작하는 문제점이 있다.

또한, 상기 오동작에 따라 유리기판에 증착되는 증착재료의 두께를 정밀하게 제어할 수 없는 문제점이 있다.

또한, 상술한 셔터가 한장으로 구성되어 증발원에서 증발 또는 승화되는 증착재료를 정밀하게 제어하기 힘든 문제점이 있다.

상술한 문제점들을 해결하기 위한 노력이 계속되고 있으나, 아직까지 유리기판에 증착되는 증착재료의 막두께를 정밀하게 제어하지 못하고 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증발원의 이동을 자유롭게 하고, 증착재료의 종류에 따라 막두께측정기 또는 셔터가 오동작하는 것을 방지할 수 있는 유기박막 형성장치를 제공함에 있다.

또한, 셔터가 유리기판에 증착되는 증착재료의 두께를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치를 제공함에 있다.

또한, 상기 셔터가 증발원에서 증발 또는 승화되는 증착재료를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치를 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 증발원에 충전된 유기재료를 가열하여 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서, 상기 증발원은, 상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니; 상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부; 상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부; 상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부; 상기 열차단부의 개구부를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터와, 상기 셔터가 회동되도록 상기 셔터의 단부에 설치되는 힌지축과, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 개구부의 중앙부터 개방되는 정도를 조절하도록 상기 힌지축에 연결되어 상기 셔터를 상호 대향되게 회동시키는 개폐수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 유기박막 형성장치에 의해 달성된다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 증발원에 충전된 유기재료를 가열하여 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서, 상기 증발원은, 상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니; 상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부; 상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부; 상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부; 상기 열차단부의 개구부 중앙을 중심으로 상기 개구부 둘레를 따라 배열되는 다수의 셔터와, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 개구부의 중앙부터 개방되는 정도를 조절하도록 상기 셔터의 단부에 연결되어 각 셔터를 상기 열차단부의 개구부 중앙에서 상기 열차단부의 개구부 둘레를 향해 이동시키는 개폐수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 유기박막 형성장치에 의해 달성된다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 증발원에 충전된 유기재료를 가열하여 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서, 상기 증발원은, 상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니; 상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부; 상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부; 상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부; 상기 열차단부의 개구부를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터와, 상기 셔터가 서로 대향되게 슬라이드 이동하도록 상기 셔터의 양측단부를 가이드하는 슬라이딩부와, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 열차단부의 개구부 개방 정도를 조절하도록 상기 셔터의 슬라이딩 방향에 따른 상기 셔터의 단부에 연결되어 상기 셔터를 슬라이드 이동시키는 개폐수단과, 상기 개폐수단을 통해 상기 셔터에 가해지는 힘이 제거되면 상기 셔터가 상기 열차단부의 개구부를 폐쇄하도록 하는 고정수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 유기박막 형성장치에 의해 달성된다.

여기서 상기 개폐부는 상기 개폐수단을 통해 상기 셔터에 가해지는 힘이 제거되면, 상기 셔터가 상기 열차단부의 개구부를 폐쇄하도록 하는 고정수단을 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 상기 증발원은 상기 진공실의 바닥부에서 수평 이동이 가능하게 설치되도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 상기 증발원은 상기 열차단부의 하면에 연결되어 상기 유리기판과 상기 증발원 사이의 거리를 조절하는 승강부가 더 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 증발원에 셔터 및 측정부가 일체로 형성되어 증발원의 이동이 자유롭고, 유기재료의 종류에 따라 유기재료가 증발 또는 승화되는 속도를 통해 셔터의 동작을 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

또한, 유기재료가 증발 또는 승화되는 속도를 통해 셔터가 유리기판에 증착되는 유기재료의 두께를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

또한, 셔터를 복수로 구성하여 증발원에서 증발 또는 승화되는 증착재료의 증발량을 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

또한, 셔터가 증발원의 개구부를 개폐하는 방법에 따라 유기재료가 증발 또는 승화되는 속도를 정밀하게 측정할 수 있고, 이에 따라 셔터의 동작을 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

또한, 셔터가 유기재료의 증발 또는 승화를 신속하게 차단할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

또한, 증발원과 유리기판 사이의 거리를 조절하여 유기재료의 종류에 따라 유리기판에 증착되는 유기재료의 두께를 정밀하게 제어할 수 있는 유기박막 형성장치가 제공된다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치에 대하여 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 유기박막 형성장치는 유리기판(7)에 소정의 두께를 가지는 유기재료(8)의 각 증착층을 연속적으로 정확하게 증착하기 위한 증착 장치이다.

첨부 도면 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 유기박막 형성장치는 유기재료의 증착 작용에 의해 성막이 이루어지는 진공실(1)을 포함하고 있다.

진공실(1)은 진공펌프(P)를 이용하여 진공 상태를 유지할 수 있도록 한다.

진공실(1)에서 천정부에는 유기재료가 증착되는 유리기판(7)을 고정하기 위한 홀더(21)가 마련된다. 홀더(21)는 회전구동부(2)에 연결되어 회전할 수 있도록 하여 유리기판(7)에 유기재료가 균일한 두께로 증착될 수 있도록 한다.

또한, 진공실(1)에서 바닥부에는 유기재료가 담겨져 있는 증발원(3)이 배치된다. 증발원(3)은 유리기판(7)에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치될 수 있으며, 도면에서는 3개의 증발원(3)이 설치된 것을 도시하고 있다.

도시되지 않았지만, 증발원(3)은 진공실(1)의 바닥부에서 회전 가능한 원반(미도시)에 배치될 수 있으며, 원반(미도시)의 회전에 의해 증발원(3)의 수평 이동 이 가능하다.

또한, 증발원(3)은 승강부(6)에 의해 증발원(3)과 유리기판(7) 사이의 거리를 조절할 수 있다. 승강부(6)는 증발원(3)의 하면에 설치되는 승강부재(61)와, 승강부재(61)를 상하로 이동시키는 승강구동부(63)로 구분한다. 승강부(6)는 실린더 방식으로 피스톤 운동하도록 구성될 수 있다.

도시되지 않았지만, 증발원(3)에는 열전대가 설치되어 가열되는 유기재료의 온도를 제어하게 된다.

증발원(3)에는 상측으로 이격 설치되어 가열된 유기재료가 증발 또는 승화되는 속도를 측정하는 측정부(4)가 일체로 형성된다.

또한, 증발원(3)에는 상면에 설치되어 가열된 유기재료가 상승하는 개구부를 개폐하는 개폐부(5)가 일체로 형성된다. 개폐부(5)는 측정부(4)에서 측정된 값에 따라 개구부의 중앙부터 개방되도록 하고 있다.

지금부터 본 발명의 제1실시예에 따른 증발원에 대하여 상세하게 설명한다.

첨부 도면 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원을 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원을 개략적으로 나타내는 종단면도이다.

도 2와 도 3을 참조하면, 증발원(3)은 담겨진 유기재료(8)가 증발 또는 승화될 수 있도록 제어하는 것으로, 상면에 개구부(37)가 형성되는 보관부와, 보관부의 상측으로 이격 설치되어 가열된 유기재료(8)가 증발 또는 승화되는 속도를 측정하는 측정부(4)와, 보관부의 상면에 설치되어 개구부(37)를 개폐하도록 하는 개폐부(5)가 일체로 형성되어 있다.

보관부는 유리기판(7)에 증착되는 유기재료(8)가 충전되는 통형의 도가니(31)와, 도가니(31)의 외주면을 감싸 도가니(31)를 가열하는 가열부(33)와, 열의 방출을 차단하도록 가열부(33)를 감싸는 열차단부(35)로 구분할 수 있다.

여기서 도가니(31)는 보관부에서 착탈이 가능하다. 그리고 열차단부(35)는 상면에 도가니(31)의 크기에 대응되는 개구부(37)가 형성된다.

도시되지 않았지만, 보관부에는 열전대가 설치되어 도가니(31)의 가열 온도를 제어하는 것이 바람직하다.

측정부(4)는 지지대(41)에 의해 보관부의 상측에 이격 설치되도록 하며, 유기재료(8)가 상승하는 개구부(37)의 중앙에 설치되는 것이 바람직하다.

개폐부(5)는 판상으로 보관부의 상면(열차단부(35)의 상면)에 설치되고, 보관부의 개구부(37)를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터(51)가 형성된다.

셔터(51)는 개폐부(5)의 측벽을 따라 상호 대향되게 슬라이드 이동하도록 한다.

셔터(51)가 상호 대향되게 슬라이드 이동하도록 셔터(51)의 양측단부를 가이드하는 슬라이딩부(53)가 형성되는 것이 바람직하다.

슬라이딩부(53)는 도시되지 않았지만, 슬라이더와, 슬라이더가 삽입되어 슬라이더의 이동을 가이드하는 슬라이드홈으로 구성된다.

셔터(51)의 슬라이딩 방향에 따른 단부에는 측정부(4)에서 측정된 값에 따라 셔터(51)를 슬라이드 이동시키는 개폐수단(55)이 형성된다.

개폐수단(55)은 셔터(51)의 슬라이딩 방향에 따른 단부와 연결되는 연결라인(L)과, 연결라인(L)에 의해 셔터(51)를 슬라이드 이동시켜 측정부(4)에서 측정된 값에 따라 보관부의 개구부(37) 개방 정도를 조절하는 구동모터(M)로 구분된다.

연결라인(L)은 일단이 셔터(51)의 슬라이딩 방향에 따른 단부에 고정되고, 타단이 구동모터(M)의 회전축에 감기는 형태로 구성된다.

도시되지 않았지만, 개폐수단(55)은 실린더 방식으로 피스톤 운동하면서 셔터(51)를 슬라이드 이동시킬 수 있다.

그리고 개폐수단(55)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거될 때, 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 신속하게 폐쇄할 수 있도록 고정수단(57)이 더 형성되는 것이 바람직하다.

고정수단(57)은 도면에 도시된 바와 같이 셔터(51)의 슬라이드 방향에 따른 단부와 보관부의 개구부(37) 일단을 연결하는 탄성부재(스프링) 형태로 구성될 수 있으며, 셔터(51)가 슬라이드 이동하여 보관부의 개구부(37)를 개방하였더라도 개폐수단(55)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거되면, 탄성부재(스프링)의 탄성복원력에 의해 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 신속하게 폐쇄하도록 하는 것이 바람직하다.

지금부터는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원의 동작에 대하여 설명한다.

첨부 도면 도 4는 도 2의 증발원에서 개구부 개방상태를 나타내는 평면도이고, 도 5는 도 3의 증발원에서 개구부 개방상태를 나타내는 종단면도이다.

도 1 및 도 4와 도 5를 참조하면, 진공실(1)의 바닥부에 배치되는 다수의 증발원(3)은 원반(미도시)에 의해 수평이동하면서 유리기판(7)에 증착될 유기재료(8)가 담겨진 증발원(3)이 선택된다. 그리고 승강부(6)의 동작에 따라 유리기판(7)과 증발원(3) 사이의 거리를 조절하게 되고, 가열부(33)에 의해 도가니(31)를 가열하여 도가니(31)에 담겨진 유기재료(8)가 증발 또는 승화될 수 있도록 한다.

여기서 진공실(1)의 천정부에 설치된 유리기판(7)은 회전구동부(2)에 의해 회전하도록 하여 기판 면에 유기재료(8)가 균일하게 증착될 수 있도록 한다.

유리기판(7)에 유기재료(8)를 증착하기 위해 한 쌍의 셔터(51)가 상호 대향되게 슬라이드 이동하여 보관부의 개구부(37) 중앙부터 개방된다.

측정부(4)는 보관부의 개구부(37)에서 상승하는 유기재료(8)가 증발 또는 승화되는 속도를 측정하고, 측정부(4)에서 측정된 값에 따라 개폐수단(55)이 동작하면서 셔터(51)를 슬라이드 이동시켜 보관부의 개구부(37)가 개방되는 정도를 조절하고, 유기재료(8)가 증발 또는 승화되는 속도를 제어한다.

본 발명의 증발원(3)은 유기재료(8)가 증발 또는 승화되는 속도를 정확하게 제어하여 유리기판(7)에 증착되는 유기재료(8)의 두께를 결정하도록 하고 있으므로, 종래 기술에 따른 막두께측정기가 성막된 막두께를 모니터하지 않아도 된다.

유기재료(8)가 증발 또는 승화되는 속도에 의해 유기재료(8)의 증착이 완료되면, 개폐수단(55)의 동작이 해제된다. 그러면, 개폐수단(55)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거됨으로써, 고정수단(57)의 탄성복원력에 의해 셔터(51)가 슬라이드 이동하여 보관부의 개구부(37)를 폐쇄하게 된다.

여기서 유리기판(7)에 증착되는 유기재료(8)의 증착 두께를 정확하게 하기 위해 셔터(51)의 개폐 속도를 빠르게 하는 것이 유리하다.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 유기박막 형성장치를 설명한다.

첨부 도면 도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 증발원에서 개구부 개폐상태를 나타내는 종단면도로써, 도 6을 참조하면, 제2실시예에 따른 증발원(3)은 제1실시예에 따른 그것의 구성과 동일하지만, 셔터(51)의 개폐 방법에서 차이가 있다.

다시 말해, 제2실시예에 따른 증발원(3)은 보관부와, 측정부(4)와, 개폐부(5)로 구분할 수 있으며, 보관부와 측정부(4)는 제1실시예의 그것과 동일한 구성으로 생략한다.

개폐부(5)는 판상으로 보관부의 상면(열차단부(35)의 상면)에 설치되고, 보관부의 개구부(37)(열차단부(35)의 개구부(37))를 이분하여 폐쇄하도록 한 쌍의 셔터(51)가 형성된다.

셔터(51)의 단부는 힌지축(54)에 의해 개폐부(5)의 바닥면에 연결되어 회동하도록 한다.

그리고 개폐수단(55)은 연결라인(L)을 이용하여 힌지축(54)과 구동모터(M)를 연결하고, 구동모터(M)의 동작에 따라 셔터(51)를 상호 대향되게 회동시킨다.

여기서 연결라인(L)은 밸트 또는 체인, 기어결합체 등이 이용될 수 있다.

제2실시예에 따른 개폐수단(55) 역시 측정부(4)에서 측정된 값에 따라 보관부의 개구부(37) 개방 정도를 조절하게 된다.

그리고 고정수단은 도시되지 않았지만, 힌지축(54)을 감싸는 탄성부재(스프링) 형태로 양단이 각각 셔터(51)와 개폐부(5)의 바닥면에 고정될 수 있다.

그러면 셔터(51)가 힌지축(54)을 중심으로 회동하여 보관부의 개구부(37)를 개방하였더라도 개폐수단(55)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거되면, 탄성부재(스프링)의 탄성복원력에 의해 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 신속하게 폐쇄할 수 있다.

고정수단(57, 미도시)은 개폐수단(55)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거될 때, 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 신속하게 폐쇄할 수 있으면 충분하다.

제2실시예에 따른 증발원(3)은 셔터(51)가 힌지축(54)을 중심으로 회동하면서 보관부의 개구부(37)를 개폐하는 데서 제1실시예와 차이가 있으며, 동작은 제1실시예에 따른 증발원(3)의 동작과 동일하다.

다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 유기박막 형성장치를 설명한다.

첨부 도면 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원을 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 8은 도 7의 증발원에서 개구부 개방상태를 나타내는 평면도이다.

도 7과 도 8을 참조하면, 제3실시예에 따른 증발원(3)은 제1실시예에 따른 그것의 구성과 동일하지만, 셔터(51)의 개폐 방법에서 차이가 있다.

다시 말해, 제3실시예에 따른 증발원(3)은 보관부와, 측정부(4)와, 개폐부(5)로 구분할 수 있으며, 보관부와 측정부(4)는 제1실시예의 그것과 동일한 구성으로 생략한다.

개폐부(5)는 판상으로 보관부의 상면(열차단부(35)의 상면)에 설치되고, 보관부의 개구부(37)(열차단부(35)의 개구부(37)) 중앙을 중심으로 개구부(37) 둘레를 따라 배열되는 다수의 셔터(51)가 형성된다.

그리고 개폐수단은 도시되지 않았지만, 연결라인(L, 미도시)을 이용하여 셔터(51)의 단부와 구동모터(M, 미도시)를 연결하고, 구동모터(M, 미도시)의 동작에 따라 각 셔터(51)가 보관부의 개구부(37) 중앙에서 보관부의 개구부(37) 둘레를 향해 이동할 수 있도록 한다.

제3실시예에 따른 개폐수단(55, 미도시) 역시 측정부(4)에서 측정된 값에 따라 보관부의 개구부(37) 개방 정도를 조절하게 된다.

또한, 고정수단은 도시되지 않았지만, 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 개방하였더라도 개폐수단(55, 미도시)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거되면, 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 신속하게 폐쇄할 수 있다.

제3실시예에 따른 고정수단(57, 미도시)은 개폐수단(55, 미도시)을 통해 셔터(51)에 가해지는 힘이 제거될 때, 셔터(51)가 보관부의 개구부(37)를 신속하게 폐쇄할 수 있으면 충분하다.

제3실시예에 따른 증발원(3)은 다수의 셔터(51)가 보관부의 개구부(37) 중앙에서 보관부의 개구부(37) 둘레를 향해 이동하면서 보관부의 개구부(37)를 개폐하 는 데서 제1실시예 또는 제2실시예와 차이가 있으며, 동작은 제1실시예의 증발원(3) 동작과 동일하다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치를 개략적으로 나타내는 도면,

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원을 개략적으로 나타내는 평면도,

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원을 개략적으로 나타내는 종단면도,

도 4는 도 2의 증발원에서 개구부 개방상태를 나타내는 평면도,

도 5는 도 3의 증발원에서 개구부 개방상태를 나타내는 종단면도,

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 증발원에서 개구부 개폐상태를 나타내는 종단면도,

도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 유기박막 형성장치에서 증발원을 개략적으로 나타내는 평면도,

도 8은 도 7의 증발원에서 개구부 개방상태를 나타내는 평면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 진공실 2: 회전구동부 3: 증발원

4: 측정부 5: 개폐부 6: 승강부

7: 유리기판 8: 유기재료 21: 홀더

31: 도가니 33: 가열부 35: 열차단부

37: 개구부 41: 지지대 51: 셔터

53: 슬라이딩부 54: 힌지축 55: 개폐수단

57: 고정수단 61: 승강부재 63: 승강구동부

P: 진공펌프 M: 구동모터 L: 연결라인

Claims (6)

1. 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 증발원에 충전된 유기재료를 가열하여 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서,

   상기 증발원은,

   상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니;

   상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부;

   상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부;

   상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부;

   상기 열차단부의 개구부를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터와, 상기 셔터가 회동되도록 상기 셔터의 단부에 설치되는 힌지축과, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 개구부의 중앙부터 개방되는 정도를 조절하도록 상기 힌지축에 연결되어 상기 셔터를 상호 대향되게 회동시키는 개폐수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 유기박막 형성장치.
2. 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 증발원에 충전된 유기재료를 가열하여 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서,

   상기 증발원은,

   상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니;

   상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부;

   상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부;

   상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부;

   상기 열차단부의 개구부 중앙을 중심으로 상기 개구부 둘레를 따라 배열되는 다수의 셔터와, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 개구부의 중앙부터 개방되는 정도를 조절하도록 상기 셔터의 단부에 연결되어 각 셔터를 상기 열차단부의 개구부 중앙에서 상기 열차단부의 개구부 둘레를 향해 이동시키는 개폐수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 유기박막 형성장치.
3. 진공실 내에 증발원을 설치하고, 상기 증발원에 충전된 유기재료를 가열하여 상기 진공실의 천정부에 설치된 유리기판에 유기재료를 증착하는 유기박막 형성장치에 있어서,

   상기 증발원은,

   상기 유기재료가 충전되는 통형의 도가니;

   상기 도가니를 감싸 가열하는 가열부;

   상면에 상기 도가니의 크기에 대응되는 개구부가 형성되고 상기 가열부를 감싸는 열차단부;

   상기 열차단부의 상측에서 상기 개구부의 중앙에 설치되어 상기 도가니에서 증발 또는 승화되는 유기재료의 속도를 측정하는 측정부;

   상기 열차단부의 개구부를 이분하여 폐쇄하는 한 쌍의 셔터와, 상기 셔터가 서로 대향되게 슬라이드 이동하도록 상기 셔터의 양측단부를 가이드하는 슬라이딩부와, 상기 측정부에서 측정된 값에 따라 상기 열차단부의 개구부 개방 정도를 조절하도록 상기 셔터의 슬라이딩 방향에 따른 상기 셔터의 단부에 연결되어 상기 셔터를 슬라이드 이동시키는 개폐수단과, 상기 개폐수단을 통해 상기 셔터에 가해지는 힘이 제거되면 상기 셔터가 상기 열차단부의 개구부를 폐쇄하도록 하는 고정수단을 포함한 개폐부; 를 일체로 포함하고, 상기 유리기판에 증착되는 유기재료의 종류에 따라 다수 개가 설치되는 유기박막 형성장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 개폐부는

   상기 개폐수단을 통해 상기 셔터에 가해지는 힘이 제거되면, 상기 셔터가 상기 열차단부의 개구부를 폐쇄하도록 하는 고정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막 형성장치.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 증발원은 상기 진공실의 바닥부에서 수평 이동이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 유기박막 형성장치.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 증발원은 상기 열차단부의 하면에 연결되어 상기 유리기판과 상기 증발원 사이의 거리를 조절하는 승강부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 형성장치.

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