TW201220421A - Transport system having multilayer tracks and controlling method thereof - Google Patents

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201220421 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 統及i::係有關於一種具有多層式軌道結構之台車系 升搬運’尤指—種用於半導體生產製程，而可指 Lf具有多層式軌道結構之台車系統及 【先前技術】 在1C的生產流程中，生產物料可能停留在不 2產早位（又稱BAY)或是多次停留在相同的生產單位 ^而在生產設備中的不_程階段，IC製造工薇可利 用自動化控制生產物料輸送系統，以辅助傳送物料到達 生產单位’或是將完成製程之物料由生產單位中移出. 此外’上述物料輸送㈣㈣㈣送存放於各個儲存位 置或是儲存位置之間等待處理的物料。 目刖，懸樑式輸送（〇verHead Transp〇rt，〇Ητ)系 統可用於輸送每個生產單位内的生產物料，亦即將位於儲 存櫃之生產物料以及位於生產工具（即機台）之生產物料 /產品進行輸送。典型的懸樑式輸送系統通常依賴生產設備 及作業區域上方之執道’而依附在上述執道來移動平台或 台車。 又例如，一種稱做0verhead Shuttle的懸樑式運送 (OHS)系統相較於0HT系、統為高速、高運量之輸送系统: 以輔助OHT系統之物料輸送。典型〇HS系統的軌道高度 與OHT系統的軌道高度不同，通常是高於贿系統的執 4/18 201220421 道南度。 可以交換·^ 了使〇HT、QHS兩種不同軌道高度的系統 二:物料或產品’-般會設置固定式的 定气轉運’其為"'義似電梯的設計，固 j轉運㈣搬運效能上有很大的限制 •兩糸統間傳送之生產物料或產。都… 要在 低台車行進的速车都須經過轉運站’降 平了㈣連率，且隨者搬運量的增加 率大幅降低；另外，傳送路徑 、> •得整體的搬運系統效能 路徑，使 命令的負荷情況，導致搬送 再方面由於〇HS系統屬於較高读的 ==無法設置健存植以存放生產物料或:’品'，換 二存=:僅以。町為主’故生產一 缺失本^人有鑑於上述f用的技術於實際施用時的 、失且積累個人從事相關產業開 研究’終於提出-種設計合理且有效改善上:::之 【發明内容】 構之，在於提供—種具有多層式執道結 台車;:==:r=上下層軌道之搬運 接垂直地在系統中;=提物料可以直 以徒阿丰導體生產之搬運系統的 201220421 效能及減少搬運時間。 様之月之$目的’在於提供—種具有多層式轨道結 △車統及其㈣方法，其可_上下純道之搬運 條件、❹^率的地點進行連結動作，例如以最短距離為 故阻礙其他台車的位置等因素進行連結， 故可k升搬運系統的效能。 槿之月之再目的’在於提供—種具有多層式執道結 二：：糸統及其控制方法，其可利用多層執道旁的位置 “物料儲存櫃，故可提高物料的儲存空間。 為了達到上述目的，本發明係提供 道結構之台車系統，包含：一底層執道；至少一 道;以及多個沿著該底層軌道與該= ::進以運輸物料的搬運台車。每-搬運台車分別具 外料^有開口的本體部，該本體部中設有一容置空間； Γ、二山體邛的仃走單元;設於該本體部中以搬移物料輸 、雨出之搬動單元’·一設於該本體部上端的第一卡合 i勤ί—設於該本體部τ端的第"·卡合部；其中位於該底 :乂之5亥搬運台車的該第一卡合部係卡合於位於該上 1=，搬運台車的該第二卡合部，以將所承載之物料 在b底層執道與該上層軌道之間運送。 道述目的’本發_提供一種具有多層式軌 ι、，·σ構之台車系統的控制方法，包括以下步驟： △鱼提供—種如前段述之具有多層式軌道結構之 ;口…统’該台車系統主要包括-底層執道；至少一設於 X &曰執道上之上層執道；以及多個沿著該底層執道與該 6/18 201220421 運輸物料的搬運台車，且位於該底層執道 二=二;係卡合於位於該上層執道 固定，以將所Η Τ'卡 使上述兩台車可彼此連結 運送； 纟載之物料在該底層執道與該上層軌道之間 步驟二：利用—控制單元輸人-傳送指令； 步驟二：依據該傳送指令進行一士乎 著該底層軌道行進的所述之搬運^ _ ==之_車進行連結，其二= 卡合於位於該上層軌 ==將所述之兩個進行連結的該搬運 之所承載之物料傳送至i中黑—d τ 該底層執道與該上層執道^間運送m斤承載之物料在 固定以:L益的效果:本發明不需利用傳統之 進行連結的方式，將兩者之間、岽If執道之搬運台車直接 直接將物料在垂直方向上傳自對的固定態樣’藉此 本發明不受限於搬送量的多提高搬運的效能；且 統可負荷相當大的物料傳送需求。、。之本發明之台車系 為使此更進一步瞭解本發明 閱以下有關本發明之詳細說明與附圖2技術内容，請參 供參考鱼笱明田廿dfc m + 圖Λ、、'而所附圖式僅提 …兒明用，並非用來對本發明加以限制者。 【實施方式】 7/18 201220421 ，發明提出—種具有多層式執道 其控制方法，多；戎舳1#摄 再又口車糸統及 搬運系_ / 構之台車系統可大幅增加物料 的傳送），並可增加物碰品心=取&路錢行物料 請先參考第一A圖，本發明 台車系統包括-底声執道j t 結構之 〇上M 至少—設於該底層執道1 展m曰心2 〇及多個沿著該底層軌道1 0與該上 -0行進以運輸物料3 〇的搬運台車丄丄 而在本具體貫施例中，本發明彳i ^ „ 底#勅、f ί η 令知乃僅以早一的上層執道2 0與 合進行說明1個以上之上層執道2 0 於本具體實施例之内容。另外，本發明並不 (&日軌道1〇、上層軌道2 〇的執道設計，換言之， =層，道1 〇與上層軌道2 〇可為完全相同的執道設 计’或為部分相同、部分不同的執道設計。 、由於搬運台車1 1、2 1在結構上的特徵大致相同， 、以下先針對沿著該底層執道1〇行進之搬運台車11 5說明，本實施例之搬運台車Η.可為藉由舖設於例如 薇房頂棚的軌道等的震置上行走的車輛、懸掛式搬運系統 (Overhead Hoist Transport ΌΗΤ )，t； # ^ ^ ^ ( Overhead

Shuttle，0HS)等之搬運車，使卿p (即一種前開口式 通用容器，亦稱Front〇peningUnifiedp〇d)等的被搬運物 被其所搬運，而本發明所述之物料3 0可代表任何原料、 物料、產品或F0UP等等相類似的物件。 卿立搬運台車11包括一具有開口的本體部111，該本 體部1 1 1中設有一容置空間i丄0，所述之物料3 〇即 8/18 201220421 由開口輸入、輸出該搬運台車11，以儲存於容置空間1 上0 t:再者，搬運台車1 1具有設於該本體部1 1 1的 行走早兀1 1 2、設於該本體部ii中之搬動單元丄丄 3、設於該本體部1 1 1上端的第-卡合部1 1 4及設於 該本體部1 11下端的第二卡合部工工5，其中，行走單 元1 1 2可為對應底層執道工〇的滾輪；搬動單元1 1 3 可為抓取手臂，其用於搬移物料3 ◦，且搬動單元丄工3 係可活動地裝設於該本體部i i 1 ;第—卡合部丨丄0 第二卡合部1 1 5係相互對應，故可達到固定卡合的效 2後文將詳述第一卡合部114與第二卡合部115的 将徵。 而搬運台車2 1之構件，包括容置空間 部2U、行走單元212、第—卡合部214、第^ 合部U 5等結構特徵可參考前文，在此不予賢述。 右/::1第一 A圖至第一 F圖;其中本發明所提出的具 ^ .曰式執道結構之台車系統的控制方法至少包括以下 ~It提供-種具有多層式執道結構之台車系統；如 發明之具有多層絲道結構之台車系統包括 n軌逼10、至少-設於該底層轨道上之上層執道2 、軍底層軌1 Q與該上層軌道2 Q行進以 m〇的搬運台車n、2l，在本具體步驟中， :、=，道1 〇與一設於該底層執道1 0上之上層 =2 〇進:說明’且所述之物料3〇係存放於沿㈣ 逼20仃進之搬運台車21中’而沿著該底層執道10 9/18 201220421 行進之搬運台車11 办 說明本發明之控制^ I ^車’本發明以此具體狀況 徑制方法，但不限制本發明。 ^者，利用一控制單元（圖未示）輸入一傕，、，扣人 接下末’如第一 A圖所，一 — 行進的搬運台車/、 一 者該底層執道10 搬運台車2 Γ:掳丄 著該上層軌 施例中，搬Π; :令進行連結步驟;在本具體實 收到上述傳與載有物料3 0之搬運台車2 !在 此-連結步驟，曰;動尋找最有效率的地點進行 為-較佳的輕位置間的距離，以距離的中點 不阻礙其他台°車的置運的位置，以選擇 驟上之上牛央控制系統所指定的位置進行連結步 式決^佳的^^可_不同的情況自動或手動的方 ◦之位於該底層執道1 於贫上声勒，首9 ^ 部1 1 4係卡合於位 曰執l2 ◦之該搬運台車2丄的該第二卡合部2 2;換言之，搬運台車u與搬運台車21 即以第-卡合部114與第二卡合部215的相互 =’使搬運台車i i與搬運台車21達到相互連結固定 :先'樣。在本具體實施例中，第二卡合部2丄5係為枢接 於該本體部211下端的擋臂，其上可具有凸塊，該第- 10/18 201220421 :合部1 1 4係為設於該本體部i i i上端 接L(如定位孔)’故撞臂會由水平位置樞轉：垂 車心;^:成固定連接之態樣，即_ =〇行進的搬運台車2 i的播臂樞轉 二心： :的該連接部，二ΐ 搬運ιΓ fr道1G與該上層執道2〇行進的該 • 0的傳送。1相互連接固定，以穩定地進行物料3 運台= 連結步驟中’相互固定連結的搬 _，同步置：可於連結 二上層軌道20相同時，連結;:之:運 搬運台車3 rfr制單元則控制連結完成之 驗行移動 可於相同的軌道設計之範圍中同時進 搬運步驟係將所述之兩個進行連結的該 里中另l的其中之一所承载之物料3〇傳送至 :層執道載之物料3〇在該底層執道ι〇與該 上層執道2 ⑼财，係將承載於 道1 〇之搬運台車！ iH 3 0傳送至底層執 台車2 1之搬動m _ 八脰而έ，在起始狀態下，搬運 此步驟中，係將抓=1 3係抓取所述之物料3 0，铁在 ’、销料3Q之該搬動單元213移動 11/J8 201220421 至未承載該物料3 ◦之該搬運台車！丄中，換言之，如圖 所示，搬動單W i 3連同物料3 ◦向下滑動至搬運台車 1 1之容置空間1 1 〇 ’即可將物料3◦由上層軌道2 〇 運送至底層執道！ 〇 H物料3 Q亦可由底層執道丄 〇運达至上層執道2 〇，或是在多層的上層軌道2 〇盥底 層軌道1 Q之間運送。據此，藉由上述控制方法即可將物 枓3 0在不同高度之執道上傳送’且可彈性地改變垂直傳 达的位置，故可大幅提高搬運系統的效率。 I圖，母一個搬運台車 蹐翏考第 租乂1 1、2 1 1的下緣可設有支撐件1 1 6、2 1 6 ’在第-d圖所示之將所承載之物料3 〇傳送至另一個 台車的步驟之前，更包括將該支撐件1 1 6、2 1 6由一 支撐位置改變至-開啟位置的步驟；具體而言，在—般狀 支撐件1 1 6、2 1 6係為-延伸態樣（即支撐位 步驟： = 〇 ’而在進行傳送物料3 〇的 6、2 1 6調整為_態樣α卩 =立f)’使物料3〇可在垂直方向上由上層執道20 ；；=執道1 ◦之間運送。故在本具體實施例中，支撐= M Q貝丨由大出之支樓位置移動至收納之開啟位置，使物 之搬】:ΓΓΓ運台車21的底面運送至底層執道1〇 可利，位置之切：=_30同樣 3 〇 D圖所示之將所承載之物料 物料3 0之:運/車車二步:广更包括將原本未承載 連σ車1 1的該搬動單元i i 3移動至原 12/18 201220421 =物料3 0之該搬運台車2 i中的 戶、施例中’由於原本承载該物料3〇 搬動單元⑴連同物料3〇下移至搬運台：口 S : 原本設於搬運台車i， 口半1 1中’故 部111、2二二 11 3則可沿著本體 丄丄1 2 1 1向上移動至搬運台車2 1 φ , 滑軌等機構的設計，使搬動單元工工3 1 = 換，藉此，搬運台車ii、？ β相互交 〇的能力。 75可保持具有搬移物料3 執道第二圖所示，由於底層執道1 Q與上層 ==Γ統的設t僅能在單-執道旁設置物料‘ ,,、 x明更大幅提向物料儲存櫃4 0的數量，以節 省廠房空間，並增加物料3 〇 控制方法中，更包括-利㈣控^；^本/f月之 物f;儲二進的搬運台車2 1針對其所對應之該4b 子植40進行物料3〇的卸載/裝載，換言之搬運 # Ο n 均可針㈣Μ是物醜存植4 〇進行物 # 3 0的卸戴/裝載。 …丁初 社構請參考第二圖，其為本發明之多層式軌道 = Ϊ=2〇Ϊ搬運台車21的配合模式： ,a 車21係跨设於上層執道2 0之兩軌道上，而 4有：Ϊ2 0在轉角處設有轉盤2 2(底層軌道1〇亦可 dU12)，故可使搬運台車21達到轉向的效果， 13/18 5 201220421 故在搬運台車1 1、2 1相連結的狀態下，同樣可藉由轉 盤1 2、2 2達到將搬運台車1 1、2 1變換方向的功 效’但轉盤1 2的應用僅為一種實施態樣，其他例如執道 的切換設計，亦可應用於本發明。 綜上所述，本發明利用位於上下層執道（即底層執道 1 0與上層執道2 0)之搬運台車i 1、2工可相互連处 固定的設計，使不同軌道上的物料3 ◦可以直接垂直地^ 系統中傳送’而不需使用傳統轉運站，故可大 3 0的傳送效率。 本發明更具有下列諸項優點： 1、 本發明可規劃出多層的軌道（即—個底層軌道與多個 上層軌道），且每-詹軌道旁側均可裝設有物料儲存 櫃，故可提升物料之儲存空間；且可省去傳統轉運站 的情況下，更達到節省廠房空間的效果。 2、 另外，本發明可解決傳統跨區運送物料，造成空台車 所導致之搬送命令的負荷量受限的問題（因為本發明 不會出現空台車的情況）。 太路以上所述^為本發明之較佳可行實施例，非因此舰 所a明，專利乾圍，故舉凡運用本發明說明f及圖示内容 斤為之等效技術變化,均包含於本發明之範圍内。 【圖式簡單說明】 至第—F圖係顯示本發明之控财法將物料由上 曰執道傳送之底層軌道的流程示意圖。 第二圖係為本發明之具有多層式執道結構之台車系統的 14/18 201220421 俯視圖（僅繒製出上層軌道）。 【主要元件符號說明】 10 底層軌道 2 0 上層軌道 1 1、2 1 搬運台車 110、210 容置空間 1 1 1、2 1 1 本體部 • 1 1 2、2 1 2 行走單元 1 1 3、2 1 3 搬動單元 1 1 4、2 1 4 第一卡合部 1 1 5、2 1 5 第二卡合部 1 1 6、2 1 6 支撐件 1 2、2 2 3 0 4 0 轉盤 物料V 物料儲存櫃

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Claims (1)

1. 201220421 七、申請專利範圍： 1、-種具有多層式執道結構之台車系統，其係 體生產製程，該台車系統包含： ’、；丰導 一底層軌道； 至少一設於該底層軌道上之上層執道；以及 多個沿著該底層軌道與該上層執道行進 的搬運台車，該些搬運台車分別具有：徇物枓 -具有開π的本體部’該本體部巾設有 間； 分罝二 設於該本體部的行走單元； 設於該本體部中以搬移物料輸入、輸出之搬動單 元； 一 5又於§亥本體部上端的第—合部；及 -設於該本體部下端的第二卡合部；其中位於該底 層執道之該搬運台車的該第一卡合部係卡合於 位於該上層軌道之該搬運台車的該第二卡人 部’以將所承載之物料在該底層執道與 ^ 道之間運送。 曰 2、 如申請專利範圍第工項所述之具有多層式軌道結構之 台車系統’其中該底層執道與該上層執道之旁側分別 設有多個物料儲存櫃。 3、 =申請專利範圍第工項所述之具有多層式軌道結構之 ^車系統’其中該第二卡合部係為枢接於該本體部下 端的擔臂。 4、 如申請專利範圍第3項所述之具有多層式執道結構之 16/18 201220421 ==擔;I::部係為設於該本體部上端 構之台車系統的控制方法，其 執道結構第1項所述之具有多層式 控制單元輪入一傳送指令； 道:進的所述之搬運台車與-個 送扑八k仃進的所述之搬運台車依據該傳 搬二車步卡驟人:其中位於該底層轨道之該 道之該搬運台車該上層轨 將:：之兩個進行連結的該搬運台車的其中之-所 ，層之 令另-的步驟之前更包括將：:；之物料傳送至其 改變至1啟位置將該切件由一支禮位置 ::==:項==式_構之 c的其中之—所承== 的步驟中，係將抓取該物料之該搬動單元移動 7 201220421 8 至未承載該物料之該搬運台車中。 、如申請專·_7項所述 抓二= ,, 未承载該物料之該搬運台車中的步驟 動原本未承载該物料之該搬運台車的 的步驟。7^ i原本承__之職運台車中 9範圍第5項所述之具有多層式執道結構之 方法，其中該第二卡合部係'為樞接於 ^上的擔臂’該第一卡合部係為設於該本體 1菩/對應_#的連接部，在進行連結步驟令， ’:者禮上層執道行進的所述之搬運台車的該 二而連接至沿著該底層軌道行進的 :a =連接部’以將所述之兩個沿著該底層二 層軌道行進的該搬運台車相互連結固定。 =旁側分別設有多個物料儲存櫃’該控制方法更包 ，用忒控制單兀輸入一卸載/裝載 進的所述之搬運台車與沿著該= 2、 的所述之搬運台車針對其所對應之該些物 存櫃進行物料的卸載/裝載之步驟。 18/18