TW201119962A - Scribing assembly and scribing method - Google Patents

Scribing assembly and scribing method Download PDF

Info

Publication number
TW201119962A
TW201119962A TW098145284A TW98145284A TW201119962A TW 201119962 A TW201119962 A TW 201119962A TW 098145284 A TW098145284 A TW 098145284A TW 98145284 A TW98145284 A TW 98145284A TW 201119962 A TW201119962 A TW 201119962A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
glass panel
glass
feeding
feeder
scribe
Prior art date
Application number
TW098145284A
Other languages
English (en)
Inventor
Kyong-Ho Hong
Original Assignee
Top Eng Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Top Eng Co Ltd filed Critical Top Eng Co Ltd
Publication of TW201119962A publication Critical patent/TW201119962A/zh

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)

Description

201119962 六、發明說明: 【相關申請案之交互參照】 本申請案主張2009年12月15曰申請之韓國專利申請 案2〇〇9·0124413狀優先權,其祕整體結合於此作為參 考。 / 【發明所屬之技術領域】 本發明關於_組件及_方法,尤其是_顯著加強割 刻效能之劃刻組件及劃刻方法。 _ 【先前技術】 一般而言,用於平面板顯示器之液晶顯示器(LCD)、有 機電激發光面板、無機電激發光面板、透明投影機基板反 射式投影機基板等,係藉由切割脆性母玻璃面板(亦稱「母 板」,並於下稱為「玻璃面板」)成固定尺寸而得。 具體而言,液晶顯示器包含具有驅動電路單元之液晶顯 示面板、安I於液晶顯示面板之下以發射光到液晶顯示面板 •之背光單70、以及用於支射光單元及液晶顯示面板之模 框及殼體。 ' 為了加強液晶顯示面板的產率,在形成薄膜電晶體陣列 基板於大型母板及形成彩色濾'光片基板於另一母板後,這兩 個母板接合成一個基板,然後切割成複數單位液晶顯示面 板,而製造液晶顯示面板。 201119962 通常利用具有硬度比玻璃還大的切割器,形成劃刻線於 玻璃面板表面,並且沿劃刻線傳播裂痕,而得到單位液晶顯 示面板。 執行劃刻程序之劃刻組件的範例為帶件傳送型劃刻組 件(於後稱為「現有的劃刻組件」),將參考圖1至圖3說明。
如圖所示’現有的劃刻組件包含轉移單元1〇及劃刻單 元 20。 S 轉移單元10預先裝載及配置玻璃面板(母板}1,以及轉 移配置的玻璃面板1到劃刻區域,並使用滾軸傳送器。 劃刻單S2G包含驗導引_頭21移動之細頭支樓 件22、定位及饋送玻璃面板丨之饋送帶、以及在饋送方向 下游挾持玻璃面板1後端的挾持單元24。 24 如圖2所示,當饋送賴面板i時,朗挟持單元 避免玻璃面板1搖晃’且為精確形成咖線的重要元件。 劃刻頭21通常具有上頭及下頭,而分 面板1之t紐(耗縣絲 及下基板(形色濾光片基板與薄膜陣列基板其中另一個)。 於劃刻操作_,在_頭切件22停 23及玻璃挾持單元24於饋送方向(γ轴方送^ 1,而形成_線於玻璃面板】_部及底部。n 送帶23停辦’姻頭沿_頭支撐件22的縱向移動, 201119962 形成劃刻線於垂直饋送方向之方向(χ軸方向)。 然後,轉移玻璃面板1到之後的破裂區,而藉由破裂單 元50破裂。 然而,根據現有的劃刻組件,由於玻璃面板1是由玻璃 挾持單元24所挾持,但因為饋送帶23的特性不能在整個玻 璃面板1區域均勻地支撐玻璃面板1,而在饋送操作期間可 能發生晃動,進而在劃刻操作期間並未施加均勻負載到玻璃 面板表面,而降低製造玻璃面板的品質。 再者,如圖3所示,當插入驅動滾軸27之凹槽的突面 (boss)23a形成在饋送帶23内表面時,可能因為施加到饋送 帶23的橫向負載而從凹槽攀升,造成玻璃面板丨的晃動, 而降低玻璃面板1的劃刻品質。 此外,根據現有的劃刻組件,於劃刻操作期間,當饋送 帶23與讓饋送帶23 ϋ繞的驅動滾轴之間&成相董十橫向位移 時’橫向負載施加到饋送破璃面板i,而使玻璃面板i偏離 適當配置位置,進而阻礙平順的破裂程序。 再者,S玻璃挾持單元24的饋送速度與饋送帶23 ==使是微量不同),因為摩擦而使玻璃面板' 【發明内容】 本發明致力於職均先·術發钱_,本發明之 -目的在於提供齡m件以及_方法,其在_操作期間 201119962 避免晃動與部分彎曲,而降低缺陷產品率。 本發明之另一目的在於提供劃刻組件以及劃刻方法,其 在玻璃面板劃刻後轉移操作的期間,適當地維持玻璃面板的 配置,而平順地執行破裂程序。 本發明之又另一目的在於提供劃刻組件以及劃刻方 法’其在劃刻操作期間避免損壞玻璃面板表面。 為了達到上述目的,根據本發明之一觀點,提供一種劃 刻組件,包含:劃刻頭、劃刻頭支撐件,用於導引劃刻頭在 相對於玻璃面板之饋送方向之橫向的移動、玻璃挾持單元, 可沿饋送方向祕,且用於婦朗雜、複數喷氣孔,形 成於第-饋送ϋ及第二饋送器’第―舰器相對於劃刻頭支 撐件設置於錢送方向相反之—側,且第二饋送器設置於饋 送方向侧、以及饋送滾軸或導引帶,分別安裝於第一馈送器 或第二饋送器的兩伽。 元之位置 可安裝位移雜器,以橫向移動饋送滾㈣導引帶t ίϊΐ璃面板之轉移11可設置於具有錢孔之第- 送器之前階段 饋 轉移器可包含正時帶。 201119962 複數列的喷氣孔可彼此相隔一間隔橫向地設置於第一 饋送器及第二饋送器。 間隔之縱長方向可與玻璃挾持裝置之饋送方向相同。 為了達到上述目的’根據本發明之一觀點,提供一種劃 刻方法,包含以下步驟:藉由喷氣到玻璃面板之底表面使玻 璃面板漂浮,以及藉由使玻璃面板的兩側與馈送滾轴或導引 帶接觸,而相對於玻璃面板之饋送方向,轉移玻璃面板,直 到玻璃面板之後端到達玻璃夾具的位置;藉由玻璃夾具挾持 玻璃面板;包含玻璃夾具之玻璃挾持單元饋送玻璃面板,且 玻璃面板兩侧不受限制時,藉由劃刻頭執行饋送方向劃刻程 序;於饋送方向階段式位移玻璃面板,以及移動劃刻頭以執 行劃刻操作;以及使玻璃面板與旋轉饋送滾軸或導引帶接 觸,以及在劃刻玻璃面板之後轉移玻璃面板。 當玻璃面板與旋轉饋送滾軸或導引帶接觸時,玻璃面板 之饋送速度可保持等於饋送滾轴或導引帶之線性速度。 【實施方式】 於後,參考圖4及圖5說明本發明例示實施例。 如圖所示’根據本發明實施例之劃刻組件SA包含劃刻 頭200 ’用於接觸及劃刻玻璃面板丨〇〇、劃刻頭支撐件, 用於導引劃刻頭200在相對於玻璃面板100之饋送方向(γ 軸方向)之橫向(X軸方向)的移動、玻璃挾持單元4〇〇,用於 挾持玻璃面板100相對於饋送方向之後端’且可沿饋送方向 移動、第一饋送器F1 ’相對於劃刻頭支撐件3〇〇設置於與 201119962 饋送方向相反之一侧、複數喷氣孔500形成於第二饋送器 F2 ’其設置於饋送方向之一側、以及饋送滾軸或導引帶6〇〇, 分別安裝於第一饋送器F1及第二饋送器F2的相對侧。 具體而言,劃刻頭200可為一般劃刻模組,包含切割器 與升降機制以及劃刻頭。此外,上頭及下頭安裝在玻璃面板 之上與之下,以同時劃刻附接的玻璃面板之上基板及下基 板》 劃刻頭支撐件300用於導引劃刻頭2〇〇的橫向(Y軸)移 動’並可包含線性馬達導引件(未顯示)以及線性馬達β 玻璃挾持單元400是用於挾持玻璃面板:〇〇相對於饋送 方向之後端的元件,並於饋送玻璃面板1〇〇時避免玻璃面板 1〇〇左右搖晃。 。。一如圖4及圖5所示,玻璃挾持單元4〇〇可包含玻璃挾持 單兀主體410橫向設置於玻璃面板1〇〇上方、複數玻璃夾具 420女裝於破璃挾持單元主體41〇,以挾持玻璃面板1⑻相 對於饋送方向之後端、以及玻璃挾持單元移動器430,用於 移動玻璃挾持單元主體410於玻璃面板1〇〇的饋送方向。 玻,挾持單元主體41。橫向(X軸方向)朝朗夾具可拆 卸地裝设處之點延伸,並連接玻璃挾持單元移動器。因 此’玻璃挾持單元主體410及耦接玻璃挾持單元主體41〇之 玻璃失具420 ’可藉由玻璃挾持單元移動器的操作 送方向(Y軸方向)移動。 201119962 玻璃夾具420沿玻璃挾持單元主體410之橫向彼此相隔 設置。 複數噴氣孔500形成於第一饋送器F1及第二饋送器F2 底部。喷氣孔500均勻地形成於沿玻璃面板1〇〇饋送的虛擬 表面下方的底表面上。 第一饋送器F1或第二饋送器F2有喷射孔500形成的區 域R,可均勻地分布於饋送玻璃面板1〇〇的整個區域,但是 複數列的喷射孔500可彼此相隔了間隔C沿橫向設置。 具體而言,間隔C的縱長方向較佳與玻璃夾具420之饋 送方向相同,以避免喷氣饋送時玻璃夾具420所覆蓋的區域 對玻璃面板100造成不均勻的漂浮力。 喷出高壓空氣之喷嘴(未顯示)、連接喷嘴之軟管或纜 線、以及氣槽可設置於喷氣孔500之下。 饋送滾轴或導引帶600安裝在第一饋送器π及第二饋 送器F2的兩侧。 在劃刻操作前導入玻璃面板100時,或在劃刻操作後轉 移玻璃面板100時’饋送滾轴或導引帶600較佳導引玻璃面 板100的相對側,以維持玻璃面板100的配置狀態。 亦即’根據本發明實施例’於劃刻操作期間玻璃面板 100實際由玻璃夾具420挾持’避免饋送滾軸或導引帶6〇〇 與玻璃面板100接觸,以最小化阻力之狀況下,在劃刻操作 201119962 前導入玻璃面板1GG時,或在劃刻操作後轉移玻璃面板 時’旋轉饋送滾轴或導引帶_以導引破璃面板1〇〇的相 端,並適當地維持配置狀態。 為達此作用’位移驅動器_較佳安裝於饋送滾 引帶600 ’而將饋送滾軸或導引帶㈣橫向位移預定距離。 於此案例中’位移驅動器_可包含氣壓或液壓缸或齒輪單 元0 同時玻璃面板100的轉移器700設置在具有喷氣孔之第 一饋送器F1之刖階段。轉移器7〇〇可包含正時帶或滾軸型 傳送器、或帶件傳送H。*於正時帶顿動並得到精確的旋 轉比,可精確地配合饋送滾軸或導引帶6〇〇的速度。 於後,將說明根據本發明實施例之劃刻組件的操作。 首先,從具有正時帶之轉移器700精準地饋送玻璃面板 100。 此時’當玻璃面板100大約進入第一饋送器F1之喷氣 孔500形成的區域R時’喷氣到玻璃面板100的底表面而使 玻璃面板1〇〇漂浮’進而接觸在玻璃面板1〇〇之相對側旋轉 的饋送滾轴或導引帶’並精確地轉移,直到玻璃面板1〇〇之 饋送方向後端達到玻璃夾具420。 於此案例中,正時帶的線性速度維持和饋送滾軸或導引 帶相同。 201119962 接著’降低玻璃夾具420而挾持玻璃面板loo相對於饋 送方向的後端。由於複數玻璃夾具420沿垂直饋送方向之橫 向安裝於玻璃挾持單元主體410,所以可分散施加到玻璃面 板100的挾持力。具體而言,當玻璃夾具420以相等間隔安 裝時,可均等地維持挾持力。 然後’在玻璃面板1〇〇的兩側未受限制的狀態,玻璃挾 持單元400饋送玻璃面板1〇〇時,藉由劃刻頭2〇〇執行饋送 方向(Y軸方向)劃刻操作。 由於沿饋送方向劃刻玻璃面板100時玻璃挾持單元4〇〇 挾持玻璃面板100,所以饋送滾軸或導引帶6〇〇不需要支撐 玻璃面板100的側表面。若饋送滚轴或導引帶6〇〇支撐玻璃 面板100的侧表面,則因為摩擦阻力可能不能達成精確的 刻操作。 - 於此方式中,當饋送滾軸或導引帶6⑻與玻璃面板⑺〇 的兩侧相隔時’可使用位移驅動器8〇〇,例如氣壓或液壓缸。 之後’沿饋送方向(γ軸方向)階段式位移賴面板1〇〇, 且劃刻頭2GG沿劃刻頭支樓件3⑻橫向移動而執行劃刻操 取後’在已完成劃刻程序之玻璃面板100的兩側再次虚 帶_接觸後,玻璃面板100轉移到執行破 。項唯“二為達此作用,饋送滾軸或導引帶的線性速 度必須維持4於破魏帶件的線性速度。 201119962 根據本發明’由於玻璃面板是在喷氣到玻璃面板底表面 後進行轉移及劃刻,所以當玻璃面板進行轉移和劃刻時,避 免了玻璃面板晃動及部分彎曲,藉此顯著地降低劃刻操作時 的缺陷產品率。 再者’由於在劃刻程序後轉移玻璃面板時,利用饋送滾 轴或導引帶可精確地配置玻璃面板的兩侧,而可平順地執行 後續的破裂程序。 再者,由於玻璃面板底表面在空氣中維持漂浮,當轉移 及劃刻玻璃面板時避免損壞玻璃面板的表面。 熟此技藝者當知在不悖離本發明精神與範疇下本發明 上述例示實施例可有各種修改。因此,本發明意欲涵蓋所有 申請專利範圍及其均等提供的所有此類修改。 【圖式簡單說明】 本發明上述及其他的目的、雜、以及優點,結合伴隨 圖式與詳細說明將使熟此技藝者更易了解,其中: 圖1為顯示根據本發明現有的劃刻組件之透視圖; 圖2為顯示圖丨之玻璃挾持單元之透視圖; 圖3為顯示圖丨之饋送帶及驅動滾軸之截面圖; 及圖4為顯示根據本發明實施狀劃刻組件之透視圖;以 圖5為顯示圖4之上視圖。 12 201119962 【主要元件符號說明】 1玻璃面板 10轉移單元 20劃刻單元 21劃刻頭 22劃刻頭支撐件 23饋送帶 24玻璃挾持單元 27驅動滚軸 50破裂單元 100玻璃面板 200劃刻頭 300劃刻頭支撐件 400玻璃挾持單元 410玻璃挾持單元主體 420玻璃夾具 430玻璃挾持單元移動器 500喷氣孔 600饋送滾軸或導引帶 700轉移器 800位移驅動器 C間隔 F1第一饋送器 F2第二饋送器 R區域 SA劃刻組件 l 13

Claims (1)

  1. 201119962 七、申請專利範圍·· 1. 一種劃刻組件,包含: 一劃刻頭; 一劃刻頭支撐件,用於導引該劃刻頭在相對於一玻璃面板 之饋送方向之一橫向的移動; 一玻璃挾持單元,可沿該饋送方向移動,且用於挾持該玻 璃面板; 複數喷氣孔’形成於一第一饋送器及一第二饋送器,該第 一館送器相對於該劃刻頭支撐件設置於與該饋送方向相反之一 側’且該第二饋送器設置於該饋送方向側;以及 饋送滾轴或導引帶,分別安裝於該第一饋送器或該第二饋 送器的兩側。 2. 如申請專利範圍第1項所述之劃刻組件,其中設置於該第一 饋送器之該饋送滾軸或導引帶與該玻璃面板之側面接觸,直到 該玻璃面板之一饋送方向後端達到該玻璃挾持單元之位置。 3. 如申請專利範圍第2項所述之劃刻組件,其中安裝一位移驅 動器’以橫向移動該饋送滾軸或導引帶。 4.如申凊專利範圍第1至3項任一項所述之劃刻組件,其中針 對該玻璃面板之一轉移器設置於具有該喷氣孔之該第一^哭 之一前階段。 5.如申凊專利範圍第4項所述之劃刻組件,其中該轉移器包八 一正時帶。 。 3 14 201119962 6.如申請專利範圍第1至3 數列的喷氣孔彼此相隔一間隔^一項所述之劃刻組件,其中複 第二饋送器。 叫W地設置_第—饋送器或該 7方 8. 一種劃刻方法,包含以下步驟: 藉由喷氣到玻璃面板之底表面使該玻璃面板漂浮,以 由使該玻璃面板的兩側與饋送滾軸或導?丨帶接觸而相對於^ 玻璃面板之饋送方向,轉雜玻璃面板,直龍玻璃面板之後 端到達玻璃夾具的位置; 藉由該玻璃夾具挾持該玻璃面板; 包含該玻璃夾具之一玻璃挾持單元饋送該玻璃面板,且該 玻璃面板兩側不受限制時,藉由劃刻頭執行一饋送方向劃刻程 序; 於該饋送方向階段式位移該玻璃面板,以及移動該劃刻頭 以執行一劃刻操作;以及 使該玻璃面板與該旋轉饋送滚軸或導引帶接觸,以及在劃 刻該玻璃面板之後轉移該破璃面板。 9. 如申請專利範圍第8項所述之劃刻方法,其中當該 玻璃面板與該旋轉馈送滾軸或導引帶接觸時,該玻璃面 板之饋送速度保持等於該饋送滾軸或導引帶之線性速 度。 .si 15
TW098145284A 2009-12-15 2009-12-28 Scribing assembly and scribing method TW201119962A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090124413A KR101696718B1 (ko) 2009-12-15 2009-12-15 스크라이빙 조립체 및 스크라이빙 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201119962A true TW201119962A (en) 2011-06-16

Family

ID=44126223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW098145284A TW201119962A (en) 2009-12-15 2009-12-28 Scribing assembly and scribing method

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101696718B1 (zh)
CN (1) CN102092932B (zh)
TW (1) TW201119962A (zh)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5349550B2 (ja) * 2011-07-20 2013-11-20 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置
CN102922141A (zh) * 2011-08-11 2013-02-13 吉富新能源科技(上海)有限公司 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法
KR101449487B1 (ko) * 2012-06-01 2014-10-14 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
CN103232157B (zh) * 2013-05-10 2015-07-29 深圳市华星光电技术有限公司 一种基板加工装置
KR101651253B1 (ko) * 2014-05-29 2016-08-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치용 이송 밸트 및 이를 갖는 스크라이브 장치
KR102310157B1 (ko) * 2015-03-16 2021-10-12 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20160123454A (ko) * 2015-04-15 2016-10-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이브 장치
KR102605918B1 (ko) * 2016-07-22 2023-11-27 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
CN108214951A (zh) * 2016-12-14 2018-06-29 塔工程有限公司 基板切割设备
KR101991269B1 (ko) * 2017-09-29 2019-06-20 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
CN108689593B (zh) * 2018-04-25 2021-12-14 深圳市光子智能装备有限公司 一种光子皮秒激光切割机
CN110092575B (zh) * 2019-06-14 2021-11-23 湖南诺际电子科技有限公司 一种自动整理手机显示屏玻璃切割设备
CN110078364B (zh) * 2019-06-14 2021-11-26 华发(台州)光电科技有限公司 一种分解电子产品显示屏玻璃切割设备
CN110156313B (zh) * 2019-06-14 2021-11-19 江西华尔升科技有限公司 一种逐级分解显示屏玻璃切割设备
KR102353206B1 (ko) * 2019-12-20 2022-01-21 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070214925A1 (en) * 2003-09-24 2007-09-20 Mitsubishi Diamond Industrial Co., Ltd Substrate dicing system, substrate manufacturing apparatus, and substrate dicing method
KR101024644B1 (ko) * 2004-01-30 2011-03-25 엘지디스플레이 주식회사 유체를 이용한 유리 기판 반송 장치
KR100786126B1 (ko) * 2007-08-14 2007-12-18 주식회사 아바코 비접촉 방식에 의한 피절단물의 평탄도를 유지하는스크라이브 헤드 장치 및 그 스크라이브 방법
KR100962337B1 (ko) * 2008-04-30 2010-06-10 주식회사 에스에프에이 기판 절단시스템
KR100916539B1 (ko) * 2008-12-30 2009-09-11 주식회사 하이컴텍 유리 절단 장치 및 그 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR101696718B1 (ko) 2017-01-16
CN102092932B (zh) 2017-08-25
CN102092932A (zh) 2011-06-15
KR20110067713A (ko) 2011-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201119962A (en) Scribing assembly and scribing method
CN101068666B (zh) 脆性材料基板的划线方法和划线装置以及脆性材料基板的切断系统
KR100889308B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 방법 및 이를 이용한 기판 절단 장치
TWI400203B (zh) 切割裝置、及使用該切割裝置之基板切斷裝置與方法
TWI373813B (zh)
TWI658014B (zh) 刻劃裝置
CN105985012B (zh) 划线设备
JP4149750B2 (ja) ガラス板の加工装置
CN103999142A (zh) 光学显示面板的连续制造方法及光学显示面板的连续制造系统
KR20150066030A (ko) 기능성 필름 커팅장치
TW201529495A (zh) 脆性材料基板之刻劃裝置
KR20150066031A (ko) 기능성 필름 커팅장치
JP2019038673A (ja) フィルム貼付装置
WO2018016038A1 (ja) 切断装置及び切断方法
US20160346948A1 (en) Clamping system and substrate-cutting apparatus employing the same
KR20110128166A (ko) 기판 커팅 장치 및 기판 커팅 방법
KR20120034295A (ko) 글래스 패널의 스크라이빙 방법
KR20200088928A (ko) 더미 제거 유닛 및 더미 제거 방법
CN213012577U (zh) 基板切割装置
KR102067988B1 (ko) 스크라이빙 방법
KR20200087365A (ko) 더미 제거 유닛
KR102304576B1 (ko) 단재 제거 유닛 및 이를 포함하는 스크라이브 장치
KR102671725B1 (ko) 단재 제거 장치
KR102304578B1 (ko) 스크라이빙 장치
KR20230037720A (ko) 막 제거 기구