CN102922141A - 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法 - Google Patents

一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102922141A
CN102922141A CN2011102294275A CN201110229427A CN102922141A CN 102922141 A CN102922141 A CN 102922141A CN 2011102294275 A CN2011102294275 A CN 2011102294275A CN 201110229427 A CN201110229427 A CN 201110229427A CN 102922141 A CN102922141 A CN 102922141A
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass
tco
laser
probe
machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011102294275A
Other languages
English (en)
Inventor
戴嘉男
刘幼海
刘吉人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jifu New Energy Technology Shanghai Co Ltd
Original Assignee
Jifu New Energy Technology Shanghai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jifu New Energy Technology Shanghai Co Ltd filed Critical Jifu New Energy Technology Shanghai Co Ltd
Priority to CN2011102294275A priority Critical patent/CN102922141A/zh
Publication of CN102922141A publication Critical patent/CN102922141A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明主要目的一种以绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率的技术方法。其主要包含入口端、翻转机构端、雷射及绝缘测试机台本体、翻转机构端、及出口端,且都设置传送轮轴,其传送轮轴主要是让玻璃从入口端平稳进入翻转机进行翻转、随后平稳进入机台本体进行划线及绝缘测试、完成后传送至翻转机及出口端,即完成此制程。此雷射机台使采用glass side进行划线,故在机台前后端都设置翻转机构,并在不伤害TCO膜面下进行翻转及传片,当TCO玻璃在IR laser划线完毕后,其绝缘探针即会在机台内部缓慢顶升,直到touch玻璃为止,当探针与玻璃接触后,即开始进行绝缘量测,此量测结果也会显示在机台接口端,可让用户了解玻璃是否划线干净,当玻璃绝缘测试正常后,其探针即会缓慢下降,而玻璃即可经由翻转机及出口端到下一站制程,此发明可增加TCO膜层良率。

Description

一种以绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率的技术方法
所属技术领域
本方法系将太阳能产品中的TCO导电玻璃,在经由第一道Laser划线后,即能够在最短的时间内,量测其Laser划线稳定,且可测试每组cell的都已划线绝缘,以便进行后续镀膜及后段制程,此方式可提高产品良率,且可节省机台成本。 
背景技术
目前,业界针对太阳能产品制程中所需的TCO导电玻璃,在第一道使用IR laser划线之后,都会对划线后的每一个cell进行电阻值量测,一般都是电阻值需在20MΩ以上即为ok之产品,但业界除了购买laser划线机台外,都得另购买绝缘测试机再进行量测,或者是以人工方式对cell进行量测,其中使用人工方式量测除了会有破坏TCO膜面的可能之外,也会相当消耗人力,导致玻璃量测得使用抽检方式,影响良率;而使用绝缘测试机进行量测,每片玻璃都能进行量测,且可精准量测其电阻值,缺点系业界绝缘测试机价格偏高,导致产线成本提高,此发明乃将绝缘测试的探针架设在Laser划线机内,此可以在IR laser划线后立即可进行量测,并能够立即确认IR laser划线是否稳定,且要进行绝缘测试仅需购买探针,不需另购绝缘测试机,可提高良率及节省成本开销。 
发明内容
本发明主要目的是提供一种以绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率的技术方法。其系统主要包含入口端、翻转机构端、雷射及绝缘测试机台本体、翻转机构端、及出口端,且都设置传送轮轴,其传送轮轴主要是让玻璃从入口端平稳进入翻转机进行翻转、随后平稳进入机台本体进行划线及绝缘测试、完成后传送至翻转机及出口端,即完成此制程。此雷射机台使采用glass side进行划线,故在机台前后端都设置翻转机构,并在不伤害TCO膜面下进行翻转及传片,当TCO玻璃在IR laser划线完毕后,其绝缘探针即会在机台内部缓慢顶升,直到touch玻璃为止,当探针与玻璃接触后,即开始进行绝缘量测,此量测结果也会显示在机台接口端,可让用户了解玻璃是否划线干净,当玻璃绝缘测试正常后,其探针即会缓慢下降,而玻璃即可经由翻转机及出口端到下一站制程,此发明可增加TCO膜层良率。 
具体实施方式
兹将本发明配合附图,详细说明如下所示:请参阅图1,为本发明绝缘量测以改善TCO膜厚划线后良率方法的雷射划线及绝缘测试流程图,由图中可知,将玻璃从入口端由滚轮传动后进行定位,接着传送至翻转机中进行180度翻转,再进入到雷射划线机进行玻璃定位,接着出光开始划线,划线的过程中集尘器也收集粉尘,完成划线后玻璃往前传送,至下一个定位sensor,此时探针从下方经由弹簧轴承开始慢慢往上并接触到玻璃,当接触到玻璃后开始进行电阻值量测,且会将电阻值显示于屏幕界面上,完成后玻璃由滚轮传动至翻转机再进行一次翻转,随后传至出口端,完成绝缘量测以改善TCO膜厚划线后良率方法。 
请参阅图2,此为绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法之入口端示意图,由图中得知,入口端需有支撑架2进行支撑,以避免玻璃传片或者人为移动造成入口端错位,接着玻璃3由滚轮1开始进行传送,等到玻璃1接触到定位sensor 4之后,即完成定位动作,此时机台软件会自行侦测在翻转机内是否有玻璃,如果有,则入口端玻璃静置:反之,翻转机内无玻璃则入口端开始传片至翻转机内。 
请参阅图3,此为绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法之翻转机示意图,由图中 可知,玻璃3由滚轮1传送至翻转机后,其玻璃会与卡榫4接住并由卡榫固定住玻璃,当玻璃被固定住后,其翻转轴承5会开始进行180度翻转,此时因为玻璃已被固定住,故不会有脱落或滑落导致破片,当翻转完毕后,其玻璃可开始进行传片至雷射及绝缘机台本体,但在传片之前,机台软件同样会侦测雷射及绝缘机台本体内有无玻璃,判断后再进行传片。 
请参阅图4,此为绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法之雷射及绝缘测试机台本体示意图,由图中得知玻璃3由滚轮1传至本体后,先由sensor 4进行定位,此时雷射输出器6开始进行雷射出光划线,而此发明是让玻璃保持固定,而是由雷射进行前后传动,故在雷射输出器上方有一传动轴7可让输出器进行前后传动,可让雷射输出器正常运作并将玻璃划线,而在划线的同时,其机台本体下方的集尘器8也会开始作动,此集尘器可将划线后的粉尘进行收集,以确保机台本体内部不会因为划线所产生的粉尘污染到玻璃或机台本体。而当玻璃划线完毕之后,其滚轮会将玻璃传至下一个sensor并进行定位,此sensor主要的功能则是准备进行电阻值绝缘测试,其定位sensor下方有一组固定架9,而在固定架上方则有一整排的弹簧轴承10,而在弹簧轴承上方则是探针12的固定座11,此固定座及探针会依弹簧轴承进行上下移动控制,而探针的数量则与划线的cell数相当,当玻璃完成定位后,其探针开始由弹簧轴承慢慢往上移动,并接触到玻璃,此时每一个探针刚好对应每一条cell,且开始由软件开始进行电阻值量测,其电阻值需超过20MΩ,即代表此cell绝缘正常,若低于20MΩ,则机台软件则会进行告知,以便进行后续处理方式,当绝缘测试完成后,其探针会依着弹簧轴承往下移动,随后机台软件侦测其翻转机内有无玻璃,确认则可将完成制程绝缘量测的玻璃传至翻转机内。 
请参阅图5,此为绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法之翻转机示意图,由图中可知,当玻璃3从机台本体经由滚轮1传送至翻转机后,其玻璃会与卡榫4接住并由卡榫固定住玻璃,当玻璃被固定住后,其翻转轴承5会开始进行180度翻转,此时因为玻璃已被固定住,故不会有脱落或滑落导致破片,其中此翻转机与前一个翻转机的定义稍微不同,其是在玻璃为膜面朝下的方式翻转成膜面朝上,当翻转完毕后,其机台会自行侦测出口端有无玻璃,确认后则可将玻璃从翻转机传至出口端。 
请参阅图6,此为绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法的出口端示意图,由图中得知,出口端一样需有支撑架2固定,且玻璃3从滚轮1传送至出口端后,进行sensor 4定位,当定位完成之后,即表示此雷射及绝缘测试完成,且可提升整体产品良率与节省成本。 
以上说明,对本发明而言只是说明性的,非限制性的,本领域普通技术人员理解,在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下,可作出许多修正、变化或等效,但都将落入本发明的保护范围之内。 
附图说明
下面是结合附图和实施例对本发明进一步说明。 
图1是本发明之动作流程示意图 
图2是本发明之入口端示意图 
图3是本发明之翻转机示意图 
图4是本发明之雷射划线及绝缘测试机本体示意图 
图5是本发明之翻转机示意图 
图6是本发明之出口端示意图 
主要组件符号说明 
1...滚轮 
2...支撑架 
3...玻璃 
4...定位sensor 
5...翻转轴承 
6...雷射输出器 
7...传动轴 
8...集尘器 
9...固定架 
10...弹簧轴承 
11...固定座 
12...探针 。

Claims (5)

1.一种以绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率的技术方法。其系统主要包含入口端、翻转机构端、雷射及绝缘测试机台本体、翻转机构端、及出口端,且都设置传送轮轴,其传送轮轴主要是让玻璃从入口端平稳进入翻转机进行翻转、随后平稳进入机台本体进行划线及绝缘测试、完成后传送至翻转机及出口端,即完成此制程。此雷射机台使采用glass side进行划线,故在机台前后端都设置翻转机构,并在不伤害TCO膜面下进行翻转及传片,当TCO玻璃在IR laser划线完毕后,其绝缘探针即会在机台内部缓慢顶升,直到touch玻璃为止,当探针与玻璃接触后,即开始进行绝缘量测,此量测结果也会显示在机台接口端,可让用户了解玻璃是否划线干净,当玻璃绝缘测试正常后,其探针即会缓慢下降,而玻璃即可经由翻转机及出口端到下一站制程,此发明可增加TCO膜层良率。
2.根据权利要求1所述的一种以绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法,其中入口端与出口端让玻璃藉由滚轮传送设有sensor定位,可让每次玻璃出入片都是在固定的位置,且以固定的间距传送玻璃。
3.根据权利要求1所述的一以种绝缘量测改善TCO膜厚划线后良率技术方法,在出入口端前后都设有翻转机,此翻转机内有固定卡榫可让玻璃可以在不伤害TCO膜面下进行翻转,且也不会造成玻璃有滑落或脱落导致破片的可能性,此外也可以让雷射划线机进行glass side划线。
4.根据权利要求1所述,其雷射机台本体是玻璃固定不动,而是让雷射输出器藉由传动轴进行传动划线,此可以避免玻璃本身传片震动导致切割精准度不足,且在机台下方设置集尘器,可在玻璃开始划线时吸收其划线造成的粉尘,可让机台本体干净不易造成污染问题。
5.根据权利要求1所述,玻璃完成雷射划线后,会再传片至定位sensor定位,此可让玻璃可精准进行电阻值绝缘测试,且其探针可经由弹簧轴承平稳的进行上下移动,此可随意控制探针下针的位置点以及其精准度,且因为弹簧轴承的施力可作控制,让探针接触到玻璃时不会因施力过重或太小导致量测不准确之问题,且此发明可以提高量测的良率之外,最重要可以节省再购买绝缘测试机的成本,也可避免人工进行量测造成量测误差的问题,此乃此发明最主要的目的。 
CN2011102294275A 2011-08-11 2011-08-11 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法 Pending CN102922141A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011102294275A CN102922141A (zh) 2011-08-11 2011-08-11 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011102294275A CN102922141A (zh) 2011-08-11 2011-08-11 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102922141A true CN102922141A (zh) 2013-02-13

Family

ID=47637143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011102294275A Pending CN102922141A (zh) 2011-08-11 2011-08-11 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102922141A (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125460A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Nitto Denko Corp シート抵抗値測定機器および測定方法
WO2008118428A1 (en) * 2007-03-23 2008-10-02 Newport Corporation Laser scribing system and method of use
WO2010059827A2 (en) * 2008-11-19 2010-05-27 Applied Materials, Inc. Laser scribing platform with moving gantry
JP2010249538A (ja) * 2009-04-10 2010-11-04 Nps Inc 4探針プローブ及びそれを用いた抵抗率測定装置
CN101933154A (zh) * 2008-03-31 2010-12-29 株式会社爱发科 太阳能电池的制造方法、太阳能电池的制造装置以及太阳能电池
CN102043092A (zh) * 2009-10-26 2011-05-04 向熙科技股份有限公司 薄膜电阻值量测列印系统
CN102092932A (zh) * 2009-12-15 2011-06-15 塔工程有限公司 划线组件和划线方法
JP2011142297A (ja) * 2009-12-08 2011-07-21 Hitachi Via Mechanics Ltd 薄膜太陽電池製造方法及びレーザスクライブ装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125460A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Nitto Denko Corp シート抵抗値測定機器および測定方法
WO2008118428A1 (en) * 2007-03-23 2008-10-02 Newport Corporation Laser scribing system and method of use
CN101933154A (zh) * 2008-03-31 2010-12-29 株式会社爱发科 太阳能电池的制造方法、太阳能电池的制造装置以及太阳能电池
WO2010059827A2 (en) * 2008-11-19 2010-05-27 Applied Materials, Inc. Laser scribing platform with moving gantry
JP2010249538A (ja) * 2009-04-10 2010-11-04 Nps Inc 4探針プローブ及びそれを用いた抵抗率測定装置
CN102043092A (zh) * 2009-10-26 2011-05-04 向熙科技股份有限公司 薄膜电阻值量测列印系统
JP2011142297A (ja) * 2009-12-08 2011-07-21 Hitachi Via Mechanics Ltd 薄膜太陽電池製造方法及びレーザスクライブ装置
CN102092932A (zh) * 2009-12-15 2011-06-15 塔工程有限公司 划线组件和划线方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101988881B (zh) 漆膜硬度检测装置
CN102636093A (zh) 用于流水线的轮毂特征检测装置
CN203140492U (zh) 一种电梯导轨自动调直装置
CN203824850U (zh) 一种手机触摸屏强度测试装置
CN103697830A (zh) 触摸屏保护玻璃翘曲度及表面应力测量一体化系统
CN107462175A (zh) 一种有机玻璃厚度测试装置及其检测方法
CN204008501U (zh) 一种玻璃镜片自动检测机
CN202770910U (zh) 面电阻测试装置
CN205300530U (zh) 玻璃屏幕平面度检测装置
CN204320811U (zh) 型材成品长度在线测量装置
CN103822674B (zh) 吸油烟机空气性能试验装置及其自动换孔板装置和方法
CN204462588U (zh) 一种点灯治具
CN107677402A (zh) 一种玻璃板应力在线检测方法
CN102922141A (zh) 一种以绝缘量测改善tco膜厚划线后良率的技术方法
CN205246015U (zh) 一种陶瓷砖平面度在线检测装置
CN203672329U (zh) 触摸屏保护玻璃翘曲度及表面应力测量一体化系统
CN206959793U (zh) 一种有机玻璃测厚装置
CN201955067U (zh) 一种基板玻璃厚度在线测量仪
CN203672328U (zh) 触摸屏保护玻璃翘曲度快速测量装置
CN103852339B (zh) 自动换孔板装置及方法和有该装置的外排式吸油烟机空气性能试验装置
CN203561704U (zh) 一种大片触摸屏检查装置
CN102012323A (zh) 覆铜板用粘结片在线自动取样器及其取样方法
CN201724837U (zh) 覆铜板用粘结片在线自动取样器
CN206695740U (zh) 一种食品快速检测装置
CN103022227A (zh) 使用特殊表面处理方法去除雷射划线后产生的粉末

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130213