TW201116470A - Substrate container storage system - Google Patents

Description

201116470 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於基板容器儲存系統。 【先前技術】 ，半導體製造薇(製造薇，「fab」）儲存半導體晶圓容器的方 曰!^種i大型中央化儲存區能儲存晶圓容器直到其需要處理二 自動化㈣處㈣統(纖s，Automat = 知㈣聞名的搬運域接收該容器。—般而言， ^廄内的任何電腦控_統，其在工作站之駄及 Ϊ场所之_動工件。在製造廠巾，AMHS會在處理設備、^ =與儲存區之間移動晶圓容器與空容器。當晶圓需要處理日t，'1 ir中=機力高機11人’「stad—」_存架的該容 二忐田运ΐ5亥儲存區的輸出埠、*amhs取走、並送至預湘 門处ί站。堆雨機器人在固定儲存架的牆壁之間通常需要龐大允 i這以許高機器人與其容器酬載之運動而ί 手動傳送與從儲存；*取得容1上的埠，使真人作業員可在該處 理容器’較小型儲存區可位在製造薇的處 下個詹理斋可儲存於較靠近其下個處理站，而當 线要雜科，此可減少鮮11的傳送時間盥行進 =問區可減少在大型儲存區的 大佈與使用仍有其限制。較小型儲存區仍且有 二同包 半導體處理、測量或搬運f:二廠係建構而具有 夕川㈣存£係置於鄰近機具的每個通道中，因為小型 201116470 因此，需要下列容器儲存系統：主 樓地板面積，同時提供靠近處理機具的高^容H用最小的 【發明内容】 本發明的一實施態樣為在水平 m 單的=明容_存在可在—迴_|的^^精實與簡 系統態樣係提供不使用樓地岭間的—種儲存 將在該機具的主要功能統仍

Siiff ’即使該機具的某些零鱗在該1 巧系統仍將位在該機具「上方」。並且，约該 J南過該機具(例如該機具的運作部 1二 ：‘ ί)，要^於該機具正上方(如對《以 可相對參===機「具== 高度 如無塵室、製造賴實驗室科參考地面」為—室的地板， 盘機怎ί施態樣係提供不妨礙進出安置於地板的設施 的側邊。允_ 了保養與#作而可不纽地進出該機具 古澈ΐ另—實施態樣係提供—麵存系統，其因為刪除堆 i密ί。吊的龐大間隙空間而具有大於習知的儲存區之容器儲 ，發日⑽另—實施紐健供可與製造觸趟s介接之— 粳儲存系統。 201116470 存系統 器之一種 儲 統Γ月的另n祕係提供可快逮取得儲存容 其可料之，存系統， 本發明的另—的靈活介面。 當該活動埠為收πη± 4樣係&供具有活動琿之一種儲存季 蟫。為收回時，其透賴τ提供淨空的進出至ΐΐ; 的活動埠。 θ 賴巾循¥儲存架，並具有-個以丄 機另；實施態樣係提供-種儲存系統，1可安詈i 所用的容器之區域性儲存。 與起重機:=谢^^5，—_存_，其使用活動埠 機具之間搬救ί# 糟由鑛s的協助在該儲存系統與該 其使用活動;^阜 與一起重機或其他 另—實施紐係提供—_存系統， 器：—_===從與：具·運容 系統t牛，；=2示一種儲存系統。該儲存系統包括-儲存 ，道^ „馬達 '該系統乡且件更包括數個儲存該數個儲存架 存 ^位置。該馬魏聯結至該傳動錄輪⑽動該皮 該儲存侧讀置待處理基板賴具高度之高度。 個以上該機具處理之前或之後區域性儲存— 的一底存系統組件包括—框架與聯結至該框架 一批沒命=二匕括一傳動皮帶輪、一惰輪皮帶輪、一皮帶、 一…·、、、…如·丨卞又巴秸默個健畀架， 以支撐—容器的架特徵之架板，且該數個_ H,個係聯、、、。至該皮帶以能移動’並聯結至該軌道以能引 該存架的每—個沿著該軌道—起移動至該一個以 i 5具有至少若干部分為雜且若干部分為非線 且該。卩分係安排在該底板之上的一迴圈中。 201116470 _存系統框2儲以f 埠組件，其連接至 該執道的該等位置之其巾動車、:赠具有—埠板，其位在沿 動組件’其定義在該i架外側組件更包括-水·^運 =置r:運動組件係聯方巧= 二ΐί在=:;;該;;”在該架—= 其中一個之上。 5回立置使該埠板安置在該架板的 纽存系統包括-储存 高度。該儲存系統係配置為5域二高度之 性，且這些部分係安排分為線性且若干部分為非線 且;垂; 至該垂直運動組件。〃下方位置，該水平運動組件係聯結 【實施方式】 赠=實 201116470 ^月不限於FOUP以及/或是半導體製造。為了描述本發明，其他 只例包括晶®容n(具壁©或不具壁面）、基板容器(且壁面或不且 ，面)、^(cassettes)、平板顯示器卡g、標準機械化介面^ Standard Mechanical Interface)^ . ^^^(reticle pods) > j支縣板之任何結構，而不論該結構支撐單—基板或多個基 板，^是不論該結構係在賴容財或是該結構朝外部^ Τπίίϊί —實施例係呈現在® 1巾。儲射統⑽具有6個 。每個儲存架透過附接在傳動鏈條111的 槽嚷合，然而'，方向存架組件下側的插 ΐ而不咬死。該儲存架的水平運動由執道112引 道銜接架組件下的袖承輪 二 ，槽中的插銷而拉動儲存架 二多:早 圓，限制路徑==== -迴圈之在—實施例中，想定義 為非=。因此，_己置實圈4^干；^為線性與若干部分 口或法。舉例來說，可栓牢具有洞 形式的銜接器具皆可^受儲存木仍可由傳動鏈條拉動’任何其他 傳動零組件動j條作為傳動裝置，然而其他 置非限制性地包括.技=以替換。這些可供替換的傳動裴 鋼鐵皮帶與皮帶輪。這、塑膠鏈條與鏈輪、或是 塑膠的、橡膠的、平‘皮輪可為塑膠圓盤，且這些皮帶可為 等。在其他實施例中'，月皮4石紋的、連續的、分段的等 是在其分隔區間中以減“輪可配置為在底板129之下或 201116470 引導ϋ的ΐί/、統在迴圈中移動儲存架。迴81為儲存架的連續 110a從^ 1 皆會再回來。舉例來說’若是儲存架 存架1施會通過動鏈輪以逆時針方向旋轉，儲 ^移ί，示。在此狀況中，所有的架子將會以相同方向 ϋί有架子子必妓同時間移動。—個架子無法移動， 而，迴圈;呈D迴圈中移動。s 1所示的迴圈近似概圓，然 有任何形狀且迴圈能朝兩方向移動。 之正日_(未呈現)轉 心。聯結馬雜鏈頭纖聯結至鏈輪中 太誉#ΜΛΑ庄二蟪輪的其他方法為此技藝中已知且可用以替換。 裝置i光學為ί進馬達，其移動至麵位置而不需位置測量 ^有旋轉編碼器可^用其他形式的馬達，如 rr增量而移動===== 如的回繼。無刷DC祠服馬達使用夕 ^九予旋轉編如_縣置來㈣運概跡，並顧期位置停 底nsm11 ΐ繞，傳動鏈輪114與惰輪鏈輪115兩者上。 惰輪鏈_ 115、在置Ιίί組件的支縣構。傳動鏈輪114與 鏈輪n5在八中心具有軸承組件，其使鏈終鱼底炻遠垃而拉 可自由旋轉。馬達113細達安置細^接^^連接㈣ 件的現ί—f續實心板，但其代表可支撐系統零組 ===舉列結構構成：數個薄 :結構。底板可具有實質的‘以允許; 馬達線路，产回應微處理器控制器的控制信號提供傳動電力以轉 201116470 =達。微處理器控制器執行程式指令之 動執跡與位置，並與外部系統介接，如製造廠^=馬f的運 PLCProgra^ (p〒Personal Computer)、或具有微處理器盘 客製化的嵌入式控制PC板。 U。馬達傳動電路之 式序列疋控制全部儲存系統的最簡單方式。 控制電路可使用不同方式與外 滅介面’其可遵照國際半導體設備；材=(s: emicon uctor Equipment and Materials International)# ^ £88 ^ ^ 用乙太網路與製造廠控制網路連通。或者，其可使$ 23^型串列通訊與製造廠或機具控 ^ 2平行，線與外部系統連通。製造 二Ϊ發师廠的控雌構與需轉料同形 裝上回位置的活動璋m與ιΐ8。活動埠為可用以 ^水平編^存=上或從儲存架上卸下F0UP之機構。活動埠 或延伸位置。活鱗亦可垂直移動埠板至上方 、下方位置，埠板119允許儲存架⑽運動， ^靜置於木板12G之下並在軸承板121之上。圖7呈 二Σίί下時谭板與儲存架之間的垂直間隙。垂直間隙 棚Γ i ’/、疋義—c-形空間12Ga。圖1呈現當儲存架在苴一 板與儲存架之_間隙。此間隙允許埠板 儲位置垂直私動，以從儲存架取走F0UP或放置F0UP至

圖1呈現兩個活動埠’然而呵根據儲存系統的尺寸與AMHS | ,¾ . ' 201116470 的配置使用任數量的活動埠。活動埠亦可置於儲存系統的任一 側。圖19a與1%呈現活動埠與懸吊式搬運(OHT，overhead transfer) 之不同配置的平面圖。圖19a呈現具有活動埠in與118之儲存 糸統100。在儲存系統1〇〇端邊的活動埠118與支撐ΟΗτ載具i3ib 的OHT轨道132b對齊’而在儲存系統1〇〇側邊的活動埠117與 支撐0HT載具I3la的OHT軌道132a對齊。圖1%呈現具有^ 動埠117、118 ' 153與154的儲存系統1〇〇。在圖1%中，活動埠 1Π與118與OHT軌道132a及OHT載具131a對齊，而在儲存系 統相對側的活動埠153與154與〇HT轨道132b與〇HT載具13比 對齊。 八 ，圖1與7呈現用以標示與維持！^!^位置之插銷(如特徵 f 122與FOUP底部上的屬合特徵(如插槽)銜接，“當F〇up ^置在魏上時準確定位與支象F〇up。_銷123 * F〇 2亡相，嚷合特徵(如插槽)銜接，以當F〇up靜置 $ 準確疋位與支撐驗。插槽使插銷122與123兩者 J : == 如所示，在三個位置的每，之插銷 活動埠的FOUP可藉由提高埠板至上方位置置= 移轉至埠插銷。 ，、支撐由条插銷 徵仍計為在其底板具有特徵崎餘銷，1他特 ，仍了用在&板或埠板上準確持握容[ -他特 ^上的凸起特徵可限繼器底部的外緣 突 2或架 且，容器不-定必為FOUP，而容器可^或銜接容器。並 利馳钟尺核職祕板。轉』Ϊ二3 徵:插r:(在如 鎖，其此後就稱為板插銷。陶為埠_，若是板特徵為插 圖8、9、1G與11呈現隨活動輪件聰移動之四個位置 的 201116470 f板119。為清楚起見，活動埠組件腕係呈現為與底板分離。 f圖8中，痒板119為收回(收回位置)且在下方位置上。在圖9中， ，於存架上取走FC)Up，埠板119已藉由垂直運動組件 节上方位置。垂直運動可由許多方式完成。舉例來說， ，直運動可為垂直氣壓紅124的驅動，並由垂直線性軸承12 ^當安裝在儲射、統巾時’活鱗基座126係與雜129相接。 Ϊ如所示’埠板119具有開口㈣，其足以相合儲存架。在一實 =中絲在—側的㈣上，在該處此璋板插銷仍可位 口的&邊與開D的相對側邊。在圖财，在上方位置的淳板 水平已軍運^組件勝1水平移動至延伸位置。舉例來說， ϊ 水平氣壓缸127的驅動並由水平線性軸承⑶引 。^圖ίο中’水平氣壓㈣本體在活動土隼基座126之下且看不 的致動桿。在圖11中，琿板119已移至其下方 儲存架板準備移至收回位置而不需擔心碰撞到移動中的 -:在，施例中’活動埠的垂直與水平線性運動係使用氣壓缸 :雷叙ΐ:捕ί可用本技藝中已知的其他傳動裝置作為替代，如 ΐί ΐίΐ=的滾珠螺桿或導螺桿。其他替代傳練置可為由 /、有正回輪的電動馬達傳動的齒條齒輪。 麻與118的作業可與馬達113的作業協調。在此實 制，缺彳ί係由用以控制馬達m的作業之相同控制電路控 動線^二許f不同ϋ控制電路配置。一替代實例可為令活 ，盘處理器控制器控制’且其透過平行或串列信 派馬達控制電路連通以偽調運作。 絲。現具有輯在每個儲存架上的則·1™30之儲存系 不合ί鐘辦曰士隔為當架子與1"咖沿著儲存系統100移動時，其 由在這些圖中’然、而’可藉 用為仵更多的職架(與F〇u?)。最纽的空間利 , 的長度然而’相接架子的傳動鏈條之長 12 201116470 * 度亦可藉由在沿著鏈輪114與115的紐之各端點增加彎曲執道 -部分112b的半徑而增加。任一方法或兩者之組合皆增加傳動鏈條 的長度’允許更多的架子以其最小間隔相接。 圖6呈現具有FOUP 130的OHT載具131在儲存系統的， ll〇a上對齊’該載具係位在製造廠内機具的某一高度上 ^ ^道132支持OHT載具，其可在儲存區、儲存系 ^

FOlT.VT 133 Z ，並在機具的某—純上行進於製造軸 =F0UP在儲存區、儲存祕或機具中降下或升起。其 =110b-110f具有存放於其上的F〇up，而施為空的。㈣ 载^沿0HT軌道132移動並停在與停止架11〇靖 在此位置其可降下]F0UP於架子u〇a上。在F〇w 之後，.其可收回其起重機並移他目的地 =系統取走其他FOTP。為了取走其他F咖 g = 下握爪，抓* F0UP的頂部握把、升起F〇up ，的地。取走新F0UP的定位非常快速，因為；只：二： 達作業。儲存系統控制電路可傳動、，早馬 至0HT之下的對齊^任一方向’以移動赚 行進距離之方向 最小化延遲，其可選擇造成最小 圖12與13呈現安置在機具135之上的本發明，— 由該機具處理的F0UP之區域性儲存。按μ ^ i供預疋 組件卿b係呈 存，存系、统100的儲存系統 或非結構零组件，'口要框牟木應!^匡木100c可具有結構零組件 " ，、要框架1〇此可與該機具組件200(嗜看圄 。組件200可以僅包括該 看= 令組件、面板、電子儀器 =1括附加 道、纖制、電路、設施連：慮器、軌 訊連接頭等等。因此，放木^疋m、電子連接頭、通 放置或連接儲存系驗件1_至具之上可包括 亦如圖13所示，在 勺或f接機具的零組件。 " 、f斤0HT 131在活動埠板119與機具裝 13 201116470 上㈣° #機具架與活鱗板119在配置為

的卸下或取走處，且活料板⑽亦4 : 具木可為0HT

OHT載具131沿著0HT軌道132移動直 活動埠m、或機具裳載埠ma、mb、mc ^二去?皐117、 截具131係在褒上F0UP至空的 。OHT 收回並降下FOUP至空的儲存苹位f ’該埠可接著 運亦有可能。舉例來說，當所有活鱗純 運其F03絲鱗mmme之任·!者上载具可搬 其他實例可為OHT載具在未攜|F〇up時抵 =。活動埠117可從儲存架取走FOUP並移動至延伸位勺 接著可由〇HT縣抓取並升起至 ：。：： 埠117收回之後，0HT載具可接著 2、在活動 mb、或mc之任一者接者降下贿至裝載埠⑽、 當原本從FOUP取出的晶圓正在處理時， f存空的F⑽。在機具裝载埠數量有限時，此允許同時户、理用3 批晶圓。在此狀況中，當活動埠收時二^大 ^蟑m雜走空的_、聽㈣的一且個= 如活動璋117)、接著降下空❹⑽至載: 動埠可收回並降下空的F0Up至與活動埠對齊的空架上旱。…、後活 鈇而在Ϊ/12與13中’具有活動琿的儲存系統係安農在機且之上， S跋-1 統不'賴要位於機具之上。若是儲存系統係位於 > 著 動埠對齊Ρ 唯縣疋0ητ載具起重機要與延伸時的活 葡ιϋ4與15呈現本發明的實施例’其中起重機可在沒有ΟΗΤ ^呈=1 下有與機具之間搬運驗。搬運起重機说 刚。搬錢框架142的搬運起重機握爪 裝载埠.木之上對齊。在此實施例中，搬運起重機延伸至與活動^ '- 辟- . 14 201116470 ·' --¾ 埠板119、與裝载埠架134a] 重機136、/舌動 舉例來說，搬運起重機13/ ^ =呈現在圖15中。 橫向移動。橫向行傳動裝置⑺ 134a、134b、與134c之上對齊的位 媳、二及裝載埠 的線性傳雜置可為本技藝巾已 ^傳動裝置137 傳動裝置可為齒條酱輪與具有正於雷、來說，線性 與懸臂支撐必須ί堅置的動件。此線性軸承 搬運起重機m在合時可保持 彈性祖組件可允許電力與通訊線路射置的 搬運起重機的控制電路之間連接娜在储存糸統及其控制電路與 搬運起重機可依機且要^至裝載埠及從其搬運之。 需要等贿載具機抵，而不 由機具處理的F0UP之存旦，$ 儲存糸、、先以維持欲 在裝載埠等到=可 的F〇W之裝載琿需要開始處理新的F0UP iU=處理 載珲。 a從倚存木移至活動埠’以搬運至最新空出之裝 、笛如Ξ ?與17 &供搬運起重機136的設計細節。―妒而·^恤 =重^ΟΗΤ上的起重機機構具有許多相同的搬 度與較㈣度之間移動foot握爪機構之收回皮帶mf :⑷包含旋轉皮帶掘皮帶輪丨47之電動馬達，躲回搬運 15 !v 201116470 f起重機框架142。收回的皮帶在提供持續盤繞轉矩的皮 ▼ ％皮▼輪148上滾動。搬運起重機皮帶141連接至搬運起重 =握爪140 ’因而使收回搬運起重機皮帶至搬運起重機框架造成搬 4起重機握爪之垂直運動。搬運起重機握爪140覆蓋FOUP頂部 ，133之周圍’並接著啟動握爪閂146，定位握爪栓在FOUP 巧。卩握把的底部邊緣之下。靠著握爪栓的支撐，FOUP接著可從其 ，置的支#表面上升起。在搬運^重機框架與搬運S重機握爪之 ，，電力與通訊係由嵌在搬運起重機皮帶的線路提供。或者，握 上:t電池供電，而電池的再充電係透過握爪升高至搬運起重機 ^時的魏接_完成。在電祕賴爪驗对，通訊係為 通訊’其透過射頻傳輸、或是透過光束傳輸(可見光或是红外 平值起重機線性傳動組件137之額外細節。板170為水 千傳動馬達169與起重機線性軌道165提供支標。 ===，171喊爾續^滾 2傳牙累帽安置座持握之滾輪168。隨 ^ „雜_，滾珠職與滾珠螺帽安置座在執道165 承166上滑動的同時橫向推動懸臂 目、轴 提供電力與控號至起重機之齡並未^輯^楚起見， 型馬3Ζΐΐί機線性傳動組件上。舉例來說，旋轉 士磁鐵與附接至滑動懸臂支撐塊的纏繞組件。或者板 ^ 帽’或者線性可平：j 軸與管狀軸承替換。 田對干仃的導 圖2與3呈現引導與支撐儲存架的 司如 THKCo.，LTD 與 Bish〇P-WisecarverrWi ，、，，田即數間公 支撐沿平錢彎㈣餘合的軸 可用以

Co.，LTD提供稱為「平㈣㈣導^: ΤΗΚ Wisecarver Corporation 提供具有弯曲盘 二=Bl〜- 統」。 . 垚 16 201116470 知，而圖2與3的圖式僅為一實例。輪 每個軸承板可_触滾姉承145連 2撐儲存架。 裝二個滾軸’其各可在袖承上旋轉 ，動且母個滚板女 抓取軌道之橫向力•當ϋ承輪架㈣j可提供從各侧 _以允許不受阻的運動。軌道可置滾 係供以完成-迴圈。 U冓配置，、要軌道 圖18王現一儲存系統’其具有垂直雄最+ *成处+、 層儲存149具有活動* I17a與118a。下層^ 15〇且右。上 與腸。該圖呈現- F⑽> 130係準下m1 活動蟑㈣ _可為延伸的，舉例來說，其具有準7;要 =動 FOUP。此形式的多層儲存祕可多過兩層，並 ^ 動 8呈二見直接安置在裝於天花板的·之下3 Μ ί '@ ^ =存系統可在任何高度。儲存系統100可由地 儲存系統亦可_具或其鋪造献雜支撐° 立呈與施為具有活動璋的储存“之^側視圖， 其呈現該錢如何料關AMHS基柄式_?⑽ ί路徑。®施呈驗麵魏__ 151。此型的AMHS具有建構於其中的搬運裝置，其可裝載f㈣ 至延伸的活動埠117，該琿接著可收回並搬運至儲 110。圖2〇b呈現降下F0UP至活動埠117上的麵s如 OHT) ’該活動璋接著收回並搬運F〇up至儲藏架ιι〇。圖2〇c呈 =具整合搬職置的AMHS 156，其位於儲存祕的側邊。此 型的AMHS需要外雜運裝置152，其可從_s 156取走f〇w =多動FOUP至活動琿117，在該處F〇up可接著被移至儲藏架 i丄U 0 圖21a、21b、與21c為不具有活動埠的儲存系統之簡化侧視 ; · ·ίί 17 201116470 圖，其主現該系統如何以不同的AMHS基本形式搬運FOUP。箭 號呈現FOUP搬運時的路徑。圖21a呈現位在儲存系統側邊的 151。此型的amhs具有建構於其中可直接裝上卩〇111)至 ，存架110上的搬運裝置。圖21b呈現直接降下F〇up至儲藏架 的AMHS 155(如ΟΗΤ^圖21c呈現不具有整合搬運裝置的 ^iS 156，其位於儲存系統的側邊。此型的需要外部搬 儲存HI’其可從麵S 156取走騰並直接移動麵至 私明f22b為簡化的平面圖，其呈現習知的儲存區以及本 斤用，應樓地板空間。這些圖的每-個係里現 右二屏沾抓•置，且各知的儲存區157或是儲存系統100皆可且 有夕層的所示FOUP佈置。在圖22a中，習 ^ H) «OUP 13〇，F〇^〇 ^ ^ 161所隔開，該空間係為了取得^存的 機^人158所需。軸顧人⑸具有垂直柱 ，、垂直私動堆尚機器手臂160以與每儲存声對赢。谁古嬙# 人端點空間162係為了垂直柱;二堆遍 設計的儲存系統⑽存十個F〇UP 130，本發明 要堆高機器人，因而=2樓地板面積。儲存系統廳不需 造成較密集的佈置。回&的間隙空間161與162皆被刪除， 在圖_之效率改善動作。 必須先水平移，機器人]58 馬達延伸機器手臂至F〇Up 、知接著堆间機盗手臂160的 器手臂，接著機器手臂馬達收回下德達升起具有row的機 器人可水平移動至預期目的埠口=手^與F_，接下來堆高機 100僅需操作單—馬達H22b巾’本發明的儲存系統 " 、/移動所有的FOOT，直到在位置164 18 201116470 =;;==。:;\;個位置’此僅僅使用-部分的 明，述儲存與取得半導體晶圓容器之構與方法僅用以說 之特定優限ϊί。熟知此技藝者當明白所述機構與方法 本發明_财請糊代實蝴皆可在 【圖式簡單說明】 圖1係包括活動埠的本發明之平面圖。 圖2係幫曲引導執道與轴承輪架之平面圖。 圖3係軌道與軸承輪架之側視圖。 圖4係不含活動埠的本發明之平面圖。 圖5係不含活動埠的本發明之另一視圖。 ㈣式搬運(〇H™如_)型的 圖7係具魏_活_的儲存架之側視圖。 圖8 9 H)、與11呈現活動埠機構的不同位置。 圖12係包括活動埠的本發明之視圖。 圖13係包括活動埠的本發明之側視圖。 Ξ 運起重機與活動埠的本發明之視圖。 二運起重機與活動埠的本發明之側視圖。 圖16係本發明的搬運起重機之視圖。 圖17係本發明的搬運起重機之另一視圖。 圖Μ係具有多個儲存層的本㈣之另一視圖。 同配=9a.與携係本發明之平面圖，其呈現活動痒與〇ητ的不 地二 =;:係習知的館存區與本發明的_統所用的樓 19 201116470 【主要元件符號說明】 100 儲存系統 l〇〇b 儲存系統组件 100c 框架 110a-110f 儲存架 111 傳動鏈條 112 軌道 112a 平直部分 112b 彎曲部分 113 馬達 114 傳動鏈輪 115 惰輪鏈輪 116 馬達安裝座 活動埠 117、117a、117b、118、118a、118b 119 埠板 119a 璋板組件 119a-l 水平運動組件 119a-2 垂直運動組件 119b 開口 120 架板 120a C-形空間 121 軸承板 122 架插銷 123 埠插銷 124 垂直氣壓缸 125 垂直線性軸承 126 活動琿基座 127 水平氣壓缸 128 水平線性軸承 20 201116470 129 底板. 130 刖開式統一晶圓盒（FOXjp，Front Opening Unified Pod) 131 > 131a、131b 〇HT 載具 132、 132a、132b OHT 轨道 133 頂部握把 134a 、134b、134c 裝載蟑 134a-l 裝載埠架 135 機具 136 搬運起重機 137 線性傳動組件 138 懸臂支撐 140 起重機握爪 141 起重機皮帶 142 起重機框架 144 滚板 145 滾板車由承 146 握爪閂 147 皮帶傳動皮帶輪 148 皮帶盤繞皮帶輪 149 上層儲存 150 下層儲存 151 ' 155、156自動化物料處理祕（AMHS. Automated Material Handling System) 152 外部搬運裝置 153、 154 活動埠 157 習知的儲存區 158 堆高機器人 159 垂直柱 160 機器手臂 201116470 161 163 170 171 200 162 間隙空間 164 位置 板 滾珠螺帽安置座 機具組件 22

Claims (1)

1. 201116470 七、申請專利範圍： 、， 1· 一種儲存系統，包含： 产之古η,組其位在高過用以處置待處理基板的機具高 ^性存系統係配置以在藉由該機具處理之前或之後區 卿上的基板容器’該雜統組件包括， .产輪板’其聯結該框架，該底板包括一傳動皮帶輪、-Μ輪皮f輪、一皮帶 '一軌道與一馬達； 容器儲存架’練赠存架的每—個具有含帛以支撲一 帶以ΐϊί架板’且練_縣的每—個侧結至該皮 V以=移動，並聯結至該軌道以能引導至—個以上的位置. ί 沿著錄道—祕魅該—個以上的位 該部麵，且 2.如申請專利範圍第1項之儲存系、統，更包含： 活動該儲㈣驗件賴框架，該 者上，該活動i；；g=位在沿該執道的該等位置之其中一 在該位ί定=該框架外側的—延伸位置與 ::琿板，徵 該水平運動組件係聯結至該垂直運動組件；〃方置， 板的位置時，該收回位置使該埠板安置在該架 ίη在該上方位置時，該㈣位置使該埠板安 板的其中一個之上 置在該架 23 201116470 3. 在該 器提升至 隼板能二 個以上的位置 i 一ί 第2項之儲存系、统，其中該儲存架的每-個包 :該=:====，收回與下方二 高度上。 卜純置鱗辦特徵在魏·t之下的— 二口如==;;=統’ ί中該埠板在-側具有 係彼此相鄰以能與=二尺=置中：插銷舆該架插 梅，辦綱具有鏈環 銷 的 .鏈條或一模鑄皮帶其中 圓盤其中之一 λ ，且該傳動與惰輪皮帶輪係鏈輪或 為鏈之儲存纽，射該倾錢輪皮帶卜 :二之;中件的該 的基板處理機具介接之至少—裝載埠。μ機/、為與一個以上 24 4 201116470 ίο.如申請專利範圍第2項之錯存 載埠架疒裝解，該裝鱗從該機具包括具有 ί=巧置的料板係以對齊或 域 區域中 位在該裝載埠架之上 非對齊方位其中 之一而 u.如申請專利範_項之儲存 一搬運起重機，其係定義 、匕3 . 該搬運起重機係定義以該蜂板==，_架之上， 的方向從該儲存系統組件延伸出 夺的方向與該裝载埠架 ①於延伸位置時的該埠板上取走：機，置為， t該褒载埠架上取走或放置容器；是。，或疋 111;延伸位置時的該埠板與錄鱗架上取走或放置容器。 存^，更包含—雜傳動褒置， 搬運起重機。、/、5亥裝載埠架之上水平移動該 ^之^祕，其中統組件係位 運載，、(ΟΗΤ，overhead transfer vehicle)之下。 翻第j3項^_統，其巾細爾徑可直接 ’存&的射-個帽送或㈣容。 在圍第2項之儲存系統’其中該儲存系統組件係位 仕懸吊式搬運載具(OHT)之下。 25 201116470 請專利範圍第13項之儲存系統，其中該〇 多置一-埠組 ===統’其中該活動埠組件的每- 19.如申請專利範圍第！8項之儲存系統，其中 ^3^與定義在該框架的相同或不關的—組^的^動 存系統，其中兩組以上的儲存系統 、、且在該機具之上，母組儲存系統組件定義一層。 22. —種儲·存系統，包含： 觀ίίΐΠ儲待f理基板的 板容器，該儲存系統組件 1括錄配置為£域_存—個以上的基 容哭存ί ’該數個儲存架的每—個具有知以支標一 帶:乂铲；平3木板，且該數個儲存架的每-個係聯結至-皮 ’且每—個係聯結至一執道以能引導至-個Ϊ 二S架==動軌該道= 之 , 丄 Φ· 26 201116470 =這為線性且若干部分為非線 湖環的 其中之一。 〜專動皮▼輪係一鍵輪或圓盤 24. -種儲存系統，包含： 機且高組在高過用以裝上與卸下待處_板的 容哭雜絲的每—鑛有細以支撐一 ===每：=架:每一個係聯結至-皮 上的位置； 母個係聯結至一軌道以能引導至-個以 使該3聯ί至用以移動該鏈條之—傳動皮帶輪，致 一個沿著該軌道-起移動至該-個以上的 且這些生且若干部分為非線性’ (，-活動埠組件’其具有位在沿著該執 -者上之-埠板，該活動雜件包括， ①-水平運驗件，其定義—延伸位置與一收回位 置，以及 ®)垂直運動組件，其聯結至具有埠特徵的該埠 扳，且該垂直運動組件定義一上方位置與一下方位置，該 水平運動組件係聯結至該垂直運動組件。 °" ’且該傳動皮帶輪係一鏈輪或圓盤 專利11圍第24項之儲存系統’其中該皮帶係具有鏈環的 i條或-_皮帶其巾之— _ _ 其中之一。 27 201116470 26. 置時 料Ϊ專利範圍第24項之儲存系統，其中當在該下方位 u σ立置使該埠板安置在該架板的其中一告 方位置時，概赌置使鱗龄置《練的^：^^。上 該埠板的埠特徵上。子研如板的木特虹的—容器提升至 統，其_她每-個包 兮瑝起，兮队 工3提U琢所給在該收回與下方位晉Η卑沾 T1 30.如 .如申請專利範圍第24項之儲存系統，ι 開口’該開口係大過該架板的尺寸，且並、二在-側具有— 係彼此相鄰以能與一容器基底/插樹立、置^接皐特徵與該架特徵 31.如申請專利範圍第24 結至並在_具轉的—框存祕組件係聯 處理機具介接之至少上’該機具為與-個以上的“ 域 區域中 藏 Ξϋϋϋί 28 201116470 之一而 位在該裝載埠架之上 統，更包含 33.如申請專利範圍第32項之儲存系 ⑼於該裝載埠架上取走或放置tt放，或疋 ⑽於延伸錄日杨轉板與銶辦紅取走絲置容器。 置 34·如申請專利範圍第33項之儲存系統 =2=錄_鱗板之讀職載轉之上H裝動該 ，”贿麵敝件係位 ::申在其中該〜 鱗純，其卜似增吊式搬 上的^動埠組㈣糊或不關之一組以 29