KR101108075B1 - 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈 - Google Patents

더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수 적재된 웨이퍼 카세트로 부터 한 개씩 혹은 낱개씩 혹은 다수개의 웨이퍼를 덤핑할 수 있는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈로서, 회동축(43)의 회동에 따라 볼너트(442)에 의히여 승하강이 이루어지는 승강플레이트(44); 상기 승강플레이트(44)의 하방에 소정간격을 두고 위치함과 아울러 상기 승강플레이트(44)의 승,하강에 따라 오르고 내리며, 상기 승강플레이트(44)로 부터 소정간격으로 두고 다수 적층됨과 아울러 단턱부(456)를 이루면서 천공된 걸림공(451)을 소정위치에 형성한 플레이트들(45); 상기 승강플레이트(44)와,다수 플레이트(45)들이 미끄럼 안내되도록 설치되는 가이드바들(46); 상기 승강플레이트(44)의 승,하강에 의하여 그 하방의 플레이트들(45)이 차례로 승하강되도록 상기 승강플레이트(44)와 그 직하방의 제1번 플레이트(45)사이에 코일스프링(472)을 개재시켜 탄설된 고정부재들(47); 및 상기 플레이트(45)중 2개씩의 플레이트(45)들 끼리 위의 플레이트(45)를 관통하여 아래의 플레이트(45)에 고정하는 식으로 전체 플레이트들(45)을 차례로 연결하는 연결부재(49)를 포함하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이다.
웨이퍼 분배장치,덤핑모듈.

Description

더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈{Wafer dumping module for having double stage apparatus}
본 발명은 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈에 관한 것으로, 특히 정해진 매수의 다수 웨이퍼가 적재된 카세트로 부터 웨이퍼를 동시에 혹은 낱개씩 덤핑할 수 있는 덤핑모듈에 관한 것이다.
종래 알려진 더블 스테이지 웨이퍼 분배장치로는 등록특허 10-0827676호의 것이 있었다.
이것은 첨부 도면중 도 1a,1b에서 도시하는 바와 같이 외부로부터 웨이퍼를 이송하는 EFEM(Equipment Front End Module),진공과 대기압으로 압력을 변화시키며, 상기 EFEM으로부터 웨이퍼를 이송하는 로드락 모듈, 및 상기 로드락 모듈로부터 웨이퍼를 이송받아 소정의 공정을 진행하는 프로세스 모듈을 구비하고, 상기 EFEM과 상기 로드락 모듈 간의 웨이퍼 이송은 대기압에서 진행되고, 상기 로드락 모듈과 프로세스 모듈 간의 웨이퍼 이송은 진공에서 진행되데, 상기 로드락 모듈은 수평면에서 직선운동 및 회전운동을 통하여 상기 EFEM과 상기 프로세스 모듈 간에 웨이퍼를 이송하는 로봇부, 상기 로봇부가 상기 EFEM으로부터 상기 프로세스 모듈 로 웨이퍼를 이송할 때 상기 로봇부로부터 웨이퍼가 안착되면서 업(up)하여 웨이퍼를 상기 로봇부로부터 이격시키는 로우어슬롯(lower slot), 상기 로봇부가 상기 프로세스 모듈로부터 상기 EFEM으로 웨이퍼를 이송할 때 상기 로봇부로부터 웨이퍼가 안착되면서 업(up)하여 웨이퍼를 상기 로봇부로부터 이격시키는 어퍼 슬롯(upper slot)을 구비하고, 상기 로봇부, 로우어 슬롯, 어퍼 슬롯 각각은 다른 높이에 위치하고 있으며, 외부의 제어부에 의해 각각의 동작이 제어되는 웨이퍼 이송장치를 청구하며,
상기 로봇부는,
모터에 의해 회전하는 제1 회전축; 상기 제1 회전축과 연동하여 회전하는 제2 회전축; 상기 제1 회전축과 결합되어, 상기 제1 회전축의 회전에 의해 상기 EFEM과 상기 프로세스 모듈 사이를 이동하는 제1 아암; 상기 제2 회전축과 결합되어, 상기 제1 회전축의 회전에 의해 상기 EFEM과 상기 프로세스 모듈 사이를 이동하는 제2 아암; 상기 제1 아암 및 상기 제2 아암과 결합되되, 결합되는 부분에 베어링이 삽입되어 회전이 가능한 제3 아암; 및 상기 제3 아암에 결합되어 웨이퍼가 로딩 및 언로딩되는 엔드이펙터부를 구비하고, 상기 제1 회전축의 회전에 의한 상기 제1 아암의 이동 속도와 상기 제2 아암의 이동 속도의 차이에 의해 상기 제3 아암이 회전하는 것이고,
상기 엔드이펙터부는,
웨이퍼가 상기 EFEM으로부터 프로세스 모듈로 이송될 때 웨이퍼가 안착 및 탈착되는 제1 엔드이펙터; 및 상기 제1 엔드이펙터와 일체형 구조로서, 상기 제1 엔드이펙터 상부에 위치하며, 웨이퍼가 상기 프로세스 모듈로부터 상기 EFEM으로 이송될 때 웨이퍼가 안착 및 탈착되는 제2 엔드이펙터; 및 상기 제3 아암과 결합되며, 또한 한쪽 끝단에서 일체형의 상기 제1 엔드이펙터 및 제2 엔드이펙터와 결합되는 엔드이펙터 몸체를 구비하여서 되는 것이므로 로봇아암을 통한 웨이퍼의 탑재와 이송이 이루어지도록 하므로서 다수 혹은 낱개의 웨이퍼를 이송할 수 있는 다양한 이송방식으로는 부적당하다.
본 발명은 다수 적재된 웨이퍼 카세트로 부터 한 개씩 혹은 다수개씩 웨이퍼를 동시에 덤핑하고자 하는 데에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈은,
상부,측면 및 하부를 형성하는 케이싱의 상,하부사이에 회동가능하게 고정되며,스크류바로 이루어진 회동축과, 상기 회동축과 나사맞춤 연결되는 볼너트를 형성하고, 회동축을 중심으로 수개의 관공과 적어도 3개의 베어링을 형성하며, 상기 회동축의 회동에 따라 볼너트에 의히여 승하강이 이루어지는 승강플레이트와, 상기 회동축이 중심을 통과하고, 상기 승강플레이트의 하방에 소정간격을 두고 위치함과 아울러 상기 승강플레이트의 승,하강에 따라 오르고 내리며, 상기 승강플레이트로 부터 소정간격으로 두고 다수 적층됨과 아울러 단턱부를 이루면서 천공된 걸림공을 소정위치에 형성하고, 중심관공,수개의 관공,베어링을 형성한 플레이트들과, 상기 승강플레이트와,다수 플레이트들이 미끄럼 안내되도록 베어링들을 설치하되 각각의 플레이트마다 적어도 3곳에만 설치되고 나머지는 빈 구멍의 관공을 이루도록 수직 설치된 가이드바와, 상기 승강플레이트의 승,하강에 의하여 플레이트들이 차례로 승하강되도록 상기 승강플레이트와 그 직하방의 제1번 플레이트사이에 코일스프링을 탄설하되 이 코일스프링을 끼워넣고 승강플레이트에서 수직 설치되어 그 하단이 제1번 플레이트에 고정되어 승강플레이트의 승하강에 따라 탄력적인 가압과 반발이 이루어지도록 설치된 고정부재와, 상기 다수 플레이트들의 일측면에서 연장된 연결부에 수평 연결되어 웨이퍼를 덤핑하는 엔드 이펙터들과, 상기 플레이트중 2개씩의 플레이트들을 선택하여 위의 플레이트를 관통하여 아래의 플레이트에서 고정되어 위의 플레이트가 상승시에는 단턱부에서 헤드부를 걸고 상승하고, 하강시에는 아래의 플레이트와 밀착되도록 아래의 플레이트에 하단부를 고정시키는 연결방식으로 다수의 플레이트들을 차례로 2개씩 상,하에서 승강 연결시켜 다수의 플레이트전부가 승강플레이트의 승,하강으로 플레이트 전부가 동반하여 차례로 승,하강되도록 하는 연결부재를 포함하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈로서 달성된다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 덤핑모듈은 상부,측면 및 하부를 케이싱으로 커버하고, 상기 케이싱의 상,하부사이에 회동가능하게 회동축을 설치함이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 덤핑모듈의 엔드 이펙터들은,
선단 양측이 연장되고, 중간부가 가늘어진 T형을 이루되 후단은 체결부를 구비하며,선단부는 단턱을 형성하되 내측 상면으로 와류방지부재를 구비한 특징을 갖는다.
본 발명은 다수 적재된 웨이퍼 카세트로 부터 한 개씩 혹은 낱개씩 혹은 다수개의 웨이퍼를 덤핑할 수 있게 되어 종래 로보트 암에 의한 한 개 덤핑구조를 개선한 효과를 갖는다.
첨부 도면중 도 2는 본 발명 덤핑모듈이 적용된 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 외관을 보인 사시도이다.
상기 도면의 본 발명 덤핑모듈이 적용된 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치는 상부,측면 및 하부를 형성하는 외부 케이싱(41)으로 둘러싸이고, 그 내부에 더블 스테이지(20)와, 매핑부(30)와, 덤핑모듈(40)을 갖는다.
첨부 도면중 도 3a는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 외부 케이싱을 형성한 사시도이고, 도 3b,3c는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 외부 케이싱의 일부를 개방한 사시도들이고, 도 3d는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 요부 발췌 사시도이고, 도 3e는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 요부 확대 단면도이고, 도 4a,4b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 요부 발췌 사시도들이고, 도 5a,5b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨 이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 평면도와, 단면도이다.
상기 도면들에 따르는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈(40)은 다음과 같이 이루어져 있다.
즉, 상부,하부 및 측면부를 커버하는 케이싱(41)과, 상기 케이싱(41)의 상,하부사이에 베어링(432)을 설치하여 회동가능하게 고정되며, 측면부에는 구동모터(도사생략),벨트(도시생략),풀리들(도시생략)로서 회전력이 전달되는 회동축(43)과, 후술하는 승강플레이트(44)와 다수 플레이트들(45)의 승,하강시 이를 안내하도록 플레이트들(44)(45)의 중간 소정위치에 다수 수직 설치된 가이드바(46)와, 상기 승강플레이트(44)로 부터 맨위의 플레이트(45) 사이에 코일스프링(472)을 개재시켜 소정 간격의 승강 탄력을 발생하도록 고정되는 고정부재(47)와, 상기 플레이트들(44)(45)의 측면에서 수평 연결되어 웨이퍼를 덤핑하는 다수의 엔드 이펙터들(48)과, 상기 플레이트들(45)사이에서 2개씩의 플레이트(45)들 사이사이에 걸쳐 연결되어 상기 승강플레이트(44)와 제1 플레이트(45)사이에서 소정 간격의 승강탄력이 발생하면 순차적으로 간격을 좁히거나 넓히도록 작동하는 연결부재(49)를 형성하여서 된다.
특히, 상기 승강플레이트(44)는 상기 회동축(43)과 나사맞춤되도록 볼너트(442)로 연결되어 초기 회동축(43)으로 부터 회전력을 받아 승,하강이 이루어지는 구조이다.
상기 다수의 플레이트(45)들은 상기 회동축(43)이 중심을 관통하고, 상기 승강플레이트(44)의 승,하강력에 따라 승,하강되도록 상기 승강플레이트(44)로 부터 차례로 소정간격위치 함과 아울러 단턱부(451)를 형성하여 천공된 걸림공(452)을 형성한 제1,제2,제3....제n개의 다수 플레이트들(45)들을 적층 형성하여서 된다.
상기 가이드바(46)들은 승강플레이트(44)와, 다수 플레이트들(45)을 승,하강하도록 안내하여 설치하되, 승강플레이트(44)와 플레이트(45)들에 형성된 수개의 관공(443)(453)들을 통과하도록 하며, 이중 3곳에만 베어링(444),(454)으로 통과되도록 하여서 된다.
상기 고정부재(47)들은 승강플레이트(44)의 승,하강에 의하여 제1,제2,제3...제n플레이트(45)가 차례로 승하강되도록 상기 승강플레이트(44)로 부터 제1플레이트(45) 사이에 코일스프링(472)을 개재시켜 고정된다.
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상기 순차적 연결부재(49)들은 상기 제1,제2,제3...제n 플레이트(45)들중 위에 위치하는 플레이트(45)의 상승시 단턱부(451)에 걸리도록 헤드부(492)를 형성하고, 그 하단은 제1,제2,제3....제n플레이트들(45)중 아래에 위치하는 플레이트들(45)에 고정되어 2개씩의 플레이트(45)들이 사이사이에 걸쳐 연결되므로서 제1플레이트(45)가 제2플레이트(45)를 소정 간격을 상승시키거나 하강시키는 순차적인 승하강 연결기능을 갖는다.
즉,상,하부, 및 네면의 측면으로 둘러싸인 외부 케이싱(41)과, 이 외부 케이싱(41)의 상,하부 사이에 회동가능하게 고정되며, 스크류바로 이루어진 회동축(43)과, 상기 회동축(43)과 나사맞춤 연결되는 볼너트(442)를 형성하고, 회동축(43)을 중심으로 수개의 관공(443)과 적어도 3개의 베어링(444)을 형성하며, 상기 회동축(43)의 회동에 따라 볼너트(442)에 의히여 승하강이 이루어지는 승강플레이트(44)와, 상기 회동축(43)이 중심을 통과하고, 상기 승강플레이트(44)의 하방에 소정간격을 두고 위치함과 아울러 상기 승강플레이트(44)의 승,하강에 따라 오르고 내리며, 상기 승강플레이트(44)로 부터 소정간격으로 두고 다수 적층됨과 아울러 단턱부(456)를 이루면서 천공된 걸림공(451)을 소정위치에 형성하고, 중심관공(455),수 개의 관공(453) 및 베어링(454)를 형성한 플레이트들(45)과, 상기 승강플레이트(44)와,다수 플레이트(45)들이 미끄럼 안내되도록 베어링(444)(454)들을 설치하되 각각의 플레이트(44)(45)마다 적어도 3곳에만 설치되고 나머지는 빈 구멍의 관공(443)(453)을 이루도록 수직 설치된 수 개의 가이드바(46)들과, 상기 승강플레이트(44)의 승,하강에 의하여 플레이트(45)들이 차례로 승하강되도록 상기 승강플레이트(44)와 그 직하방의 제1번 플레이트(45)사이에 코일스프링(472)을 탄설하되 이 코일스프링(472)를 끼워넣고 승강플레이트(44)에서 수직 설치되어 그 하단이 제1번 플레이트(45)에 고정되어 승강플레이트(44)의 승하강에 따라 탄력적인 가압과 반발이 이루어지도록 설치된 고정부재(47)들과, 상기 다수 플레이트(45)들의 일측면에서 연장된 연결부(452)에 수평 연결되어 웨이퍼를 덤핑하는 엔드 이펙터(48)들 및 상기 플레이트(45)중 2개씩의 플레이트(45)들을 선택하여 위의 플레이트(45)를 관통하여 아래의 플레이트(45)에서 고정되어 위의 플레이트(45)가 상승시에는 단턱부(422)에서 헤드부(492)를 걸고 상승하고, 하강사에는 아래의 플레이트(45)와 밀착되도록 아래의 플레이트(45)에 하단부를 고정시키는 연결방식으로 다수의 플레이트(45)들을 차례로 2개씩 상,하에서 승강 연결시켜 다수의 플레이트(45) 전부가 승강플레이트(44)의 승,하강으로 플레이트(45)전부가 동반하여 차례로 승,하강되도록 하는 다수의 연결부재(49)들로 이루어진다.
이러한 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 승강플 레이트(44)의 하강으로 탄력을 받아 위로 부터 소정간격을 유지하던 제1번 플레이트(45)가 하강함에 따라 다음에 위치하는 제2번 플레이트(45)가 간격없이 하강되고, 이런 방식으로 다수의 플레이트(45)중 최상층에 위치하는 제n번째 플레이트(45)의 승강시 단턱부(422)에 헤드부(492)가 걸리거나 그대로 하강되도록 관통시켜 이어지는 제n+1번째 플레이트(45)에 그 하단부를 고정시키고, 다시 n+1번째 플레이트(45)의 다른 걸림공(42)에서 단턱부(422)에 헤드부(492)가 걸리거나 그대로 하강되도록 관통시킴과 아울러 이어지는 제n+2번째 플레이트(45)에 그 하단부를 고정시키고,다시 n+2번째의 플레이트(45)의 다른 걸림공(42)에서 n+3번째 플레이트(45)를 고정시켜 동반 승강되게 하고, n+3번째 플레이트(45)의 걸림공(42)에서 단턱부(492)가 걸려져 승강되게 함과 아울러 n+4번째 플레이트(45)가 동반 승강되게 하며, 이어서 n+4번째 플레이트(45)와 n+5번째 플레이트(45)를 같은 연결방식으로 연결하되 다수의 플레이트(45)들을 차례로 2개씩 상,하로 승강 연결시켜 다수의 플레이트(45) 전부가 승강플레이트(44)의 하강 탄력으로 n,n+1,n+2,n+3,n+4....의 순으로 차례 차례 동반 하강됨과 아울러 승강플레이트(45)의 상승으로 탄력이 해제되면 플레이트(45)전부가 차례로 상승되도록 하여서 된다.
특히, 연결부재(49)는 상기 다수플레이트(45)중 최상층에 위치하는 제n번째 플레이트(45)의 승강시 단턱부(422)에 헤드부(492)가 걸리거나 그대로 하강되도록 관통시켜 이어지는 제n+1번째 플레이트(45)에 그 하단부를 고정시키고, 다시 n+1번째 플레이트(45)의 다른 걸림공(42)에서 단턱부(422)에 헤드부(492)가 걸리거나 그대로 하강되도록 관통시킴과 아울러 이어지는 제n+2번째 플레이트(45)에 그 하단부 를 고정시키고,다시 n+2번째의 플레이트(45)의 다른 걸림공(42)에서 n+3번째 플레이트(45)를 고정시켜 등반 승강되게 하고, n+3번째 플레이트(45)의 걸림공(42)에서 단턱부(492)가 걸려져 승강되게 함과 아울러 n+4번째 플레이트(45)가 동반 승강되게 하며, 이어서 n+4번째 플레이트(45)와 n+5번째 플레이트(45)를 같은 연결방식으로 승강되도록 전체 다수의 플레이트(45)들을 차례로 2개씩 상,하로 승강 연결시켜 다수의 플레이트(45) 전부가 승강플레이트(44)의 하강 탄력으로 n,n+1,n+2,n+3,n+4....의 순으로 플레이트(45)전부가 차례로 동반 하강됨과 아울러 승강플레이트(45)의 상승으로 탄력이 해제되면 플레이트(45)전부가 차례로 상승되도록 한다.
첨부 도면중 도 6은 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 평면 발췌도이고, 도 7a는 도 6의 A-A선 단면도이고, 도 7b는 도 6의 B-B선 단면도이고, 도 7c는 도 6의 C-C선 단면도이고, 도 8a,8b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 전부 하강한 상태를 나타내는 사시도 및 측면도이고, 도 9a,9b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 하나의 웨이퍼를 덤핑하는 예를 나타내는 도면들이고, 도 10a, 10b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 두 개의 웨이퍼를 덤핑하는 예를 나타내는 도면들이고, 도 11a, 11b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 세 개의 웨이퍼를 덤핑하는 예를 나타내는 도면들이다.
상기 도면들에 따르는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 작용은 아래와 같다.
본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈(40)은 소정의 제어회로를 통하여 덤핑모듈(40)의 구동모터를 구동함으로 시작된다.
아울러 PP캐리어에서 FOSB로 웨이퍼를 분배하기 위하여 가변하는 경우, 혹은 PP캐리어를 타측 스테이지의 포트로 옮겨 담는 경우등 다양한 사이즈의 웨이퍼 이송포트(캐리어라고도 함)내의 웨이퍼를 1매 ,2매,3매...12매,24매 등의 필요한 맷수로 다른 스테이지의 포트로 옮겨 담게 되는 것으로 그동안 이송암(arm)이 주로 그 기능을 담당하여 왔으나, 이송궤적을 보장하는 공간의 확보상의 문제와 다수 웨이퍼의 동시 이송의 문제를 만족시키지 못하던 점을 개선하는 것이다.
즉, 회동축(43)이 제1방향 회전하면 승강플레이트(44)의 볼너트(442)로 맞물린 상태로 승강플레이트(44)는 하강된다. 승강플레이트(44)의 하강으로 스프링(472)이 직하방의 제1플레이트(45)를 탄압하여 그 간격(a)을 좁혀 하강되며, 이러한 제1플레이트(44)의 하강은 직하방의 제2,제3...제n플레이(45)를 차례로 눌러 미세한 시간차를 두고 하강이 거의 동시에 이루어진다. 이것은 전체 플레이트(45)의 전체 하강상태를 얻게 되지만 상기 승강플레이트(44)의 하강력에 따라서는 제1플레이트만 혹은 제1,제2플레이트만, 혹은 n개의 플레이트(45)를 순차적으로 혹은 동시에 하강시킬 수 있다. 이것은 스크류바인 회동축(43)의 회전시간에 따라 승강플레이트(44)의 하강거리가 결정되므로 회동축(43)의 회전시간을 조정함에 따라 선택적으로 1개,2개,3개...n개의 플레이트(45) 하강이 가능하게 되는 것이다.
즉, 4군데에 고정된 연결부재(49)를 하강시킴과 동시에 제1,제3플레이트(45)사이에 위치하고 상기 연결부재(49)가 관통되어 자유로운 승하강이 가능한 제2플레 이트(45)를 눌러 같이 하강된다. 이때 하강의 속도는 가이드바(46)과의 미끄럼 정도에 따라 빠르거나 느리게 된다. 이러한 제1,제2플레이트(45)의 하강과 아울러 제3플레이트(45) 역시 제4플레이트와의 사이에 연결부재(49)로서 연결되어 있으므로 차례로 제n번째플레이트까지 작동이 이루어진다.
하강된 플레이트(45)들의 상승은 회동축(43)의 제2방향(반대방향)회전으로 하강된 승강플레이트(44)에 의하여 탄성적으로 눌려진 제1플레이트(45)가 먼저 원복되면서,제2...제n플레이트(45)들이 차례로 상승하게 된다.
즉, 회동축(43)이 제2방향 회전하면 이에 맞물린 볼너트(442)일체의 승강플레이트(44)가 상승하게 되며, 승강플레이트(44)의 상승으로 스프링(472)에 의하여 탄압되어 있던 하방의 제1플레이트(45)가 스프링(472)탄력으로 원위치로 소정 간격 상승하게 되고, 이 제1플레이트(45)에는 이 플레이트(45)의 상승시 단턱부(451)에 연결부재(49)의 헤드부(492)가 걸려 그 하단의 다른 제2플레이트(45)를 끌고 동반 상승하게 되고, 이어서 제2플레이트(45)는 다시 직하방의 플레이트(45)를 끌고 상승하고, 그 다음 플레이트들도 같은 방식으로 --플레이트들(45)끼리 2개씩의 플레이트(45)들이 사이사이에 걸쳐 연결되므로서 제1플레이트(45)가 제2플레이트(45)를, 제2플레이트(45)가 제3플레이트를, 제3플레이트가 제4플레이트를--각각 소정 간격 상승시켜 거의 동시에 다수 플레이트들(45)의 상승이 이루어지게 된다.
이것은 다수 플레이트들(45)의 연결부(453)에 연결된 엔드이펙터들(48)이 포트내 웨이퍼들을 싣거나 탑재된 웨이퍼를 내려놓는 작용인 것이다.
첨부 도면중 도 12는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑 모듈에 연결된 이펙터를 발췌한 평면 개략도이다.
덤핑 모듈(40)의 이펙터(48)들은 선단부(481) 양측이 연장되고, 중간부가 가늘어진 T형을 이루되 후단은 체결부(482)를 구비하며,선단부(481)는 단턱(483)을 형성하되 내측 상면으로 와류방지부재(484)를 구비하여서 된다.
도 2는 본 발명 덤핑모듈이 적용된 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 외관을 보인 사시도이고,
도 3a는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 외부 케이싱을 형성한 사시도이고,
도 3b,3c는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 외부 케이싱의 일부를 개방한 사시도들이고,
도 3d는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 요부 발췌 사시도이고,
도 3e는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 요부 확대 단면도이고,
도 4a,4b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 요부 발췌 사시도들이고,
도 5a,5b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 평면도와, 단면도이고,
도 6은 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈의 평면 발췌도이고,
도 7a는 도 6의 A-A선 단면도이고, 도 7b는 도 6의 B-B선 단면도이고, 도 7c는 도 6의 C-C선 단면도이고,
도 8a,8b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 전 부 하강한 상태를 나타내는 사시도 및 측면도이고,
도 9a,9b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 하나의 웨이퍼를 덤핑하는 예를 나타내는 도면들이고,
도 10a, 10b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 두 개의 웨이퍼를 덤핑하는 예를 나타내는 도면들이고,
도 11a, 11b는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈이 세 개의 웨이퍼를 덤핑하는 예를 나타내는 도면들이고,
도 12는 본 발명 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈에 연결된 이펙터를 발췌한 평면 개략도이다.

Claims (9)

  1. 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈에 있어서,
    상,하부에 걸쳐 수직 설치되어 회동가능하게 고정되는 회동축(43)과 나사맞춤 연결되는 볼너트(442)를 형성하고, 상기 회동축(43)의 회동에 따라 볼너트(442)에 의히여 승하강이 이루어지는 승강플레이트(44);
    상기 승강플레이트(44)의 하방에 소정간격을 두고 위치함과 아울러 상기 승강플레이트(44)의 승,하강에 따라 오르고 내리며, 상기 승강플레이트(44)로 부터 소정간격으로 두고 다수 적층됨과 아울러 단턱부(456)를 이루면서 천공된 걸림공(451)을 소정위치에 형성한 플레이트들(45);
    상기 승강플레이트(44)와,다수 플레이트(45)들이 미끄럼 안내되도록 설치되는 가이드바들(46);
    상기 승강플레이트(44)의 승,하강에 의하여 그 하방의 플레이트들(45)이 차례로 승하강되도록 상기 승강플레이트(44)와 그 직하방의 제1번 플레이트(45)사이에 코일스프링(472)을 개재시켜 탄설된 고정부재들(47); 및
    상기 플레이트(45)중 2개씩의 플레이트(45)들 끼리 위의 플레이트(45)를 관통하여 아래의 플레이트(45)에 고정하는 식으로 전체 플레이트들(45)을 차례로 연결하는 연결부재(49)를 포함하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 승강플레이트(44)는 회동축(43)을 중심으로 수 개의 관공(443)과 적어도 3개의 베어링(444)을 형성하되, 상기 회동축(43)이 중심을 통과하여서 되는 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트(45)들은 각각 단턱부(456)를 이루면서 천공된 걸림공(451)을 소정위치에 형성하고, 중심부에는 회동축이 관통하는 중심관공(455)을 형성하고, 가이드바(46)들이 관통하거나 베어링(454)으로 연결되는 수 개의 관공(453)을 형성하는 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트(45)들은 연결부(452)에 각각 엔드 이펙터(48)을 형성하는 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  5. 제1항에 있어서,
    고정부재(47)는 코일스프링(472)를 끼워넣고 승강플레이트(44)와 그 하방의 제1번 플레이트(45)사이에 수직 설치되어 승강플레이트(44)의 승하강에 따라 탄력적인 가압과 반발이 이루어지도록 설치되는 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  6. 제1항에 있어서,
    가이드바(46)는 승강플레이트(44)와 플레이트(45)들에 형성된 수개의 관공(443)(453)들을 통과하되 3곳에만 베어링(444),(454)으로 통과하는 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트(45)들은 각각 단턱부(456)을 형성한 걸림공(451)을 적어도 세곳에 형성하고, 이 걸림공(451)에는 헤드부(492)를 형성한 고정부재(49)로 연결하되 순차적으로 적층 설치되는 제1,제2,제3...제n 플레이트(45)들중 위의 플레이트(45)는 관통하고, 아래의 플레이트(45)에서 고정시켜 플레이트(45)의 상승시에는 연결부재(49)가 걸림공(451)의 단턱부(456)에서 헤드부(492)를 걸고 상승하고, 하강시에는 아래의 플레이트(45)와 밀착되는 연결방식으로 다수의 플레이트(45)들을 2개씩 사이사이에 걸쳐 연결부재(49)로 연결시켜 다수의 플레이트(45) 전부가 승강플레이트(44)의 승,하강으로 동반하여 승,하강되는 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  8. 제 1항에 있어서,
    상부,측면 및 하부를 케이싱(41)으로 커버하고, 상기 케이싱의 상,하부사이에 회동가능하게 회동축(43)을 설치하여서 되는 웨이퍼 분배용 더블 스테이지를 갖 는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 덤핑모듈(40)의 엔드 이펙터들(48)은,
    선단부(481) 양측이 연장되고, 중간부가 가늘어진 T형을 이루되 후단은 체결부(482)를 구비하며,선단부(481)는 단턱(483)을 형성하되 내측 상면으로 와류방지부재(484)를 구비한 것을 특징으로 하는 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치의 덤핑모듈.
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