TW201103647A - Coating apparatus for substrates - Google Patents

Description

201103647 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於-種基板用塗佈裝置，使㈣相對玻璃基板 荨板狀基板維持一定間隔’並相對地在水平面内之一方向進 行掃描，從喷嘴排出抗蝕劑液等塗佈液，用來在基板塗佈面 塗佈塗佈液。 【先前技術】 虽在玻璃基板等板狀基板之表面塗佈塗佈液之情況時，所 使用之基板用塗佈裝置是在縫隙狀噴嘴與基板表面之間設 有間隙之狀態下，沿著與噴嘴之長度方向正交之既定掃描方 向’使喷嘴對基板表面進行相對掃描。 要在基板表面均一地塗佈所希望厚度之塗佈液時，需要在 噴嘴前端和基板表面之間，適當調整塗佈液之塗佈形狀。 作為習知基板用塗佈裝置，是經由測定將塗佈液供給到喷 嘴之泵壓力，或施加在基板之機械振動，根據其測定結果來 推定塗佈液之塗佈形狀，以可成為適當之塗佈形狀之方式， 控制泵排出壓力，或噴嘴前端和基板表面之間之間隔（例 如，參照專利文獻1)。 使用基板用塗佈裝置將塗佈液塗佈在基板表面之作業，包 含將塗佈液塗佈在基板表面«部分之情況。當將塗佈液塗佈 在著噴嘴之掃描方向將基板表面分割成為複數塗饰區域 之情況時，從對基板表面相對移動之噴嘴，間歇式地排出重 099118397 . 201103647 佈液。 當將塗佈液塗佈在沿著喷嘴之掃描方向正交之方向（噴嘴 之長度方向），將基板表面分割成為複數塗佈區域之情況 時，在沿著喷嘴長度方向之複數位置，必須改變來自喷嘴之 塗佈液之排出量。因此，習知基板用塗佈裝置中，將沿著喷 嘴之長度方向配置之複數供給路徑設定成可分別開閉，只閉 鎖被配置在不與塗佈區域呈對向之位置之供給路徑。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]曰本專利特開2007-181811號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 但是，在基板用塗佈裝置中，至喷嘴之複數供給路徑配置 成互相設有既定之間隔。因此，當將塗佈液塗佈在沿著喷嘴 之長度方向將基板表面分割成為複數塗佈區域之情況時，塗 佈區域之邊界位置和供給路徑之配置間隔通常不限為- 致’要在基板上既定塗佈區域，不易進行不會有過量或不足 塗佈液之正確塗佈。 本發明之目的是提供一種基板用塗佈裝置，在喷嘴和基板 表面之間配置片狀遮蔽膜，可以不會有塗佈液過量或不足地 塗佈於沿著喷嘴之長度方向將基板表面分割成為複數塗佈 區域。 099118397 201103647 (解決問題之手段） 本發明之基板用塗饰裂置具備有喷嘴和遮 基板表面之崎有既定_位置，沿著既 ^嘴在與 之表面進行相對移動，用來❹欲塗佈在㈣Z向對基板 Φ成有。卩77開D之遮蔽軸嗔嘴接觸。噴 地閉鎖，塗佈液只從噴嘴與開口部呈對向之^2部分 表面β開口部形成在遮蔽膜與基板表面之塗佈區=板 範圍。因此，塗佈液只塗佈在基板表面之塗佈^呈對向之 有塗佈過量或不足之塗佈液。 °° S而不會 在此種構造中，最好具備有廢力控制手段，用來在婦[方 向上游側控制遮蔽膜和基板表面之間之氣壓。利: 基板表面之間之氣壓調整，控制從喷嘴排出之塗佈液 =可以相對基板表面之塗佈區域適當調整塗佈液之塗佈 另外，經由具财在輕膜沿著掃財向形成與掃描方向 正交之方向寬度不同之複數種類開0部，以使遮蔽m婦 描方向移動之機構，故可謂㈣液正確地塗佈在 二 向正交之方向且寬度不同之複數塗佈區域。 (發明效果） 依照本發明時，可以將塗佈液無過量或不足地塗佈在基板 099118397 6 201103647 表面中沿著喷嘴之掃描方向正交之方向分割而成的複數塗 佈區域。 【實施方式】 以下，參照圖式說明本發明之第1和第2實施形態之基板 用塗佈裝置。 如圖1所示，本發明第1實施形態之基板用塗佈裝置10 具備有縫隙喷嘴1、工作台2、遮蔽膜3和調壓室4。 缝隙喷嘴1是本發明之喷嘴，用來從設在底面與箭頭X 方向平行之縫隙排出塗佈液。工作台2在其上面載置板狀基 板100。缝隙喷嘴1沿著與箭頭X方向正交之本發明之掃描 方向’對基板100相對移動。在基板用塗佈褒置1〇，其一 實例是工作台2藉由未圖示之驅動機構在箭頭Y1方向移 動。 在缝隙嘴％ 1係自未圖示之栗供給塗佈液。來自缝障喷嘴 1之塗佈液排出量’由來自泵之塗佈液供給量控制。該粟是 可以嚴格控制塗佈液排出量之柱塞型或注射器型定量豕。 遮蔽膜3其一實例是以片狀樹脂作為原料，切開一部分而 形成開口部31、32。遮蔽膜3係配置成從下方與縫隙喷嘴1 底面抵接。在遮蔽族3，以絲網用網目作為原料，亦可使用 藉由網版印刷之製版技術，遮蔽開口部31、32以外之部分。 如圖2所示，在箭頭X方向，只在縫隙噴嘴丨底面之縫 隙11與遮蔽膜3之開口部31、32呈對向之範圍，是相對基 099118397 7 201103647 板100表面開放，不與開口部31、32呈對向之範圍則藉由 遮蔽膜3而閉鎖。另外，在圖2中只顯示開口部31 ’ 略開口部32之記載。 塗佈液只從縫隙11與遮蔽膜3之開口部3卜32呈對尚之 範圍，排出到基板100表面。在基板100 表面預先設疋有4人 塗佈塗佈液之塗佈區域101、102。開口部31、32形成在與 塗佈區域101、102呈對向之部分。

用來控 調壓室4為本發明之壓力控制手段，配置在接近_ 1與基板100相對移動方向之箭頭Y1方向上游側， 制縫隙喷嘴1和遮蔽膜3，與基板100表面之間之氣斤 視來自縫隙噴嘴1之塗佈液排出狀態，使調壓室4 閥和誠壓閥動作，用來控制箭頭Y1方向上游側之_ 1和基板100表面之間之氣壓。利用此種方式，如圖3 之力σ墨 隙嘴嘴 所示， 調整從縫隙喷嘴1排出之塗佈液12之塗佈形狀， 以相對 基板100表面適當調整塗佈液之塗佈狀態。另夕κ r，在圖2 中只顯示開口部31，而省略開口部32之記載。另 需要調整塗佈液12之塗佈形狀之情況時，調壓宮 略。 $ 如圖4(A)所示，在遮蔽膜3形成有開口部31、 2 °當使 用該遮蔽膜3對基板100進行塗佈液之塗佈作業 >、，如圖 4(B)所示，使塗佈液塗佈在基板100表面之塗佈區域 102。另外，在工作台2之移動中，經由暫時停止也 火自縫隙 099118397 〇 201103647 喷嘴1之塗佈液之排出，如圖4(c)所示，使塗佈液塗佈在 基板110表面之塗佈區域111〜114。 在俯視之箭頭X方向，遮蔽膜3之開口部31、32之形成 位置，與預先設定在基板100或110表面之塗佈區域1〇1、 102或塗佈區域ill〜Π4 —致。利用此種方式，可以在塗佈 區域101、102或塗佈區域ill〜114塗佈塗佈液而不會有塗 佈液過量或不足，可以正確地形成塗佈區域1〇1、1〇2或塗 佈區域111〜114之邊界。 如圖5所示’本發明之第2實施形態基板用塗佈裝置 300,除了圖1所示之基板用塗佈裝置1〇外，更具備有滚筒 311、312。滾筒311、312可自由旋轉地支持在未圖示之框 架，在各個圓周面固定有遮蔽膜300之端部300A側和端部 300B側。在滾筒311、312分別自馬達321、322供給箭頭 K、L方向之旋轉力。 馬達321、322分別擇一地被驅動。當驅動馬達321時， 箭頭κ方向之旋轉力供給到滾筒311，而在滾筒311圓周面 捲取遮蔽膜300之端部30〇a側，使遮蔽膜300在箭頭μ方 向移動。當驅動馬達322時，箭頭L方向之旋轉力供給到 滚筒312 ’而在滾筒312之圓周面捲取遮蔽膜300之端部 300Β側，使遮蔽膜300在箭頭Ν方向移動。 如圖6(A)所示’在遮蔽膜3〇〇形成有開口部3〇1〜3〇3。開 口部301、302並排形成在箭頭χ方向。開口部3〇3係相對 r \· 099118397 9 201103647 開口部301、302並排形成在箭頭γ方向，在箭頭X方向其 寬度相當於開口部301、302之全體區域。 使基板120和工作台2 —起在箭頭γι方向移動，在自缝 隙噴嘴1塗佈塗佈液之塗佈作業時之開始前，預先驅動馬達 321 ’使開口部303與缝隙噴嘴1之底面呈對向。在此種狀 態下’使工作台2在箭頭γι方向移動，縫隙喷嘴1開始在 基板表面之塗佈區域，塗佈來自缝隙喷嘴1之塗佈液。利用 此種方式’使塗佈液塗佈在基板12〇表面之箭頭Υ1方向下 游側之塗佈區域123。 當縫隙喷嘴1到達塗佈區域123之箭頭γι方向上游側端 時’暫時停止塗佈液之排出，驅動馬達322使遮蔽膜300 在箭頭Ν方向移動，使開口部3〇1、3〇2與縫隙喷嘴丨之底 面呈對向。然後，在縫隙噴嘴1到達塗佈區域121、122下 游側端時，再度開始來自縫隙喷嘴1之塗佈液之排出。當缝 隙喷鹭1到達塗佈區域121、122上游側端時，停止塗佈液 之排出。 利用此種處理，如圖6(Β)所示，可以在基板i2G表面之 塗佈區域121〜123塗佈塗佈液。 另外，滾筒3U、312亦可以從單—馬達經由皮帶或齒輪 等供給旋轉力。另外，遮蔽膜·之切亦可以遮蔽膜遍 二前頭Μ方向和箭頭N方向移動作為條件，使用滾筒 311、312以外之構件。 099118397 201103647 上述實施形態之說明其全部只作舉例之用，不是用來限制 本發明。本發明之範圍不以上述之實施形態表示，而是以申 °月專利範圍表示。另外，本發明之範圍包含與申請專利範圍 均等意義者和範圍内之所有變更。 【圖式簡單說明】 圖1是立體圖’用來表示本發明第1實施形態之基板用塗 佈裝置之概略構造。 圖2是側面剖視圖’用來表示該基板用塗佈裝置對基板表 面之塗佈狀態。 圖3是側面剖視圖，用來表示該基板用塗佈裝置對基板表 面之塗佈狀態。 圖4(A)至圖4(C)是俯視圖，用來表示該基板用塗佈裝置 之遮蔽膜和塗佈區域之關係。 圖5是立體圖，用來表示本發明第2實施形態之基板用塗 佈裝置之概略構造。 圖6(A)和圖6(B)是俯視圖 之遮蔽膜和塗佈區域之關係。 【主要元件符號說明】 用來表示該基板用塗佈裝置 2 3、300 4 缝隙喷嘴 工作台 遮蔽膜 調壓室 099118397 11 201103647 10 、 200 基板用塗佈裝置 11 縫隙 12 塗佈液 3 卜 32、301 〜303 開口部 100 、 120 基板 101 、 102 、 111〜114 、 121〜123 塗佈區域 300 遮蔽膜 300A、300B 端部 311 、 312 滾筒 321 > 322 馬達 X、Y、Y1、K、L、M、N 方向 099118397 12

Claims (1)

1. 201103647 七、申請專利範圍： 1. 一種基板用塗佈裝置，具備有： 喷嘴，係用來排出欲塗佈在板狀基板表面之塗佈液之喷 嘴，在與基板表面之間設有既定間隙之位置，沿著既定掃描 方向對基板之表面進行相對移動；和 遮蔽膜，被配置成與上述喷嘴接觸，形成有開口部且與上 述基板表面欲塗佈塗佈液之塗佈區域呈對向。 2. 如申請專利範圍第1項之基板用塗佈裝置，其中， 更具備有壓力控制手段，用來控制在上述掃描方向上游側 之遮蔽膜和基板表面之間之氣壓。 3. 如申請專利範圍第1或2項之基板用塗佈裝置，其中， 具備有在上述遮蔽膜沿著上述掃描方向形成與上述掃描 方向正交之方向寬度不同之複數種類開口部，以使遮蔽膜沿 者上述掃描方向移動之機構。 099118397 13