TW201103075A - Excimer lamp - Google Patents

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TW201103075A TW099114042A TW99114042A TW201103075A TW 201103075 A TW201103075 A TW 201103075A TW 099114042 A TW099114042 A TW 099114042A TW 99114042 A TW99114042 A TW 99114042A TW 201103075 A TW201103075 A TW 201103075A
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Shinichi Endo
Noritaka Takezoe
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Ushio Electric Inc
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Description

201103075 六、發明說明: 【發所屬之技術領域】 本發明係關於準分子燈,尤其係關於具備有基底的準 分子燈。 【先前技術】 在專利文獻1中揭示一種介電質阻障放電燈,如第3 • 圖所示’在放電管101的外面設有電極1〇2,與該電極 連接引線103,以包圍電極1〇2與引線103的連接部 位的方式具備有金屬蓋1〇4。 此外,在引用文獻2中揭示一種準分子燈,藉由焊材 將電極與引線焊接而予以連接。 〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕 〔專利文獻1〕日本特開2005-347025公報 Φ 〔專利文獻2〕日本特開2004-342369公報 【發明內容】 (發明所欲解決之課題) 通常,在準分子燈中,藉由電極與引線的焊材所爲之 連接由於接著力較弱,因此必須利用金屬蓋(所謂的基底 )來包圍焊材,以使外部應力不會施加於焊材。但是,若 以基底來包圍焊材,基底會位於電極上方的位置。 例如,在引用文獻1所記載之介電質阻障放電燈中, -5- 201103075 在圖示上,金屬蓋1 04與電極1 02係相隔離。但是,在更 換燈等時,若外部應力施加於金屬蓋104時,金屬蓋104 會接觸電極102而會有損傷的情形。因該損傷,(1)會有電 極102的線寬變細的情形,(2)會有該損傷形成由放電管 101的外面朝向外方突出的突起的情形。 準分子燈係被施加例如6kV之多的高電壓。因此,若 在電極1 02有損傷的狀態下施加高電壓,(1 )在線寬較細的 部分,係電阻變大,發熱變大。此外,(2)若因損傷所造成 的突起位於高電壓側電極時,則由該突起發生電暈放電, 因該放電而使電極102被加熱。結果,電極102有損傷的 部分被加熱,構成電極102的金屬會蒸發,若電極102蒸 發,則會發生斷線,變得無法供電至電極1 02。 鑑於上述問題點,本發明之目的在提供一種防止電極 因基底而損傷的準分子燈。 (解決課題之手段) 爲了解決前述課題,請求項1記載之發明係一種準分 子燈,係具備有:封入有發光元素且剖面矩形狀且呈中空 長邊狀的放電管;在該放電管的外面朝其長邊方向延伸而 設的電極;將該電極與引線相連接的焊材;及覆蓋該電極 之長邊方向的端部與該焊材的基底的準分子燈,其特徵爲 :前述基底的邊緣係抵接前述放電管外面之設有前述電極 的面,而且在與該電極之間具有間隙。 請求項2記載之發明係一種準分子燈,係具備有:封 -6- 201103075 入有發光元素且剖面矩形狀且呈中 該放電管的外面朝其長邊方向延伸 與引線相連接的焊材;及覆蓋該電 該焊材的基底的準分子燈,其特徵 抵接前述放電管外面之設有前述電 有該電極的部分設置凹部而在與該 (發明之效果) 藉由請求項1記載之發明,即 相對移動,前述基底的邊緣係抵接 有前述電極的面,而且在與該電極 極與基底不會接觸,電極並不會有 此外,即使對基底施加外部應力, 的放電管相抵接的方式設有基底的 基底的端部與電極間的間隙,並不 的情形。 藉由請求項2記載之發明,即 移動,亦在放電管’設有凹部,因此 間形成有間隙,因此電極並不會有 此外,即使對基底施加外部應力, 部以外的部位與基底的端部的邊緣 基底的端部之間係確保間隙,並不 的情形。 空長邊狀的放電管;在 而設的電極;將該電極 極之長邊方向的端部與 爲:前述基底的邊緣係 極的面,而且藉由在設 電極之間具有間隙。 使在基底與電極之間有 於前述放電管外面之設 之間具有間隙,因此電 因基底而損傷的情形。 亦由於以可與電極以外 端部的邊緣,因此確保 會有電極因基底而損傷 使電極相對基底作相對 在基底的端部與電極之 因基底而損傷的情形。 放電管係在放電管之凹 抵接,凹部內的電極與 會有電極因基底而損傷 201103075 【實施方式】 參照第1圖,說明本發明之第1實施形態。 第1圖(a)係顯示本實施形態之準分子燈之構成的剖面 圖’第1圖(b)係第1圖(a)的A-A剖面圖,第1圖(c)係第 1圖(a)的B-B剖面圖^ 如該等圖所示,準分子燈1係具備有:具有長邊方向 的放電管2;在放電管2外面的一對電極3、4;與電極3 、4作電性連接的引線5、6 ;將電極3、4與引線5、6作 電性連接的焊材7、8;及包圍焊材7、8的基底9(上部 基底9 1、下部基底9 2 )。 更詳而言之,準分子燈1係具備有兩端被氣密式密封 而在內部形成有放電空間且剖面矩形狀且呈中空長邊狀的 放電管2,在放電管2的內部係被封入氙氣來作爲放電用 氣體。在此,氙氣係常溫下的壓力成爲例如1 OkPa〜60kPa 之範圍內的封入量。放電管2係由良好透過真空紫外光的 氧化矽玻璃、例如合成石英玻璃所構成,在燈亮燈時係具 有作爲介電質的功能。放電管2係以由長邊狀的板玻璃所 構成的長邊面21彼此相對向的方式作配置,藉由長邊面 21及與長邊面21相連的短邊面22而形成有剖面矩形狀的 管。長邊方向的兩方端面23係被封閉,放電空間的內部 係成爲氣密空間。放電管2係例如長邊方向的長度爲800 〜1600mm,具有320〜640cm3的放電空間。 在放電管2之長邊面21、21的外表面,一對格子狀 的電極3、4以朝長邊方向延伸的方式相對向形成。亦即 -8 -
201103075 ,在長邊面21的一方外表面配置有施加高電屢 極3’在長邊面21的另一方外表面配置有作爲老 發揮功能的另一方電極4。藉此,形成爲在一對 間介在有作爲介電質而發揮功能的放電管2與友 狀態。如上所示之電極3、4係例如將在金屬杉 維素系的黏結劑,添加溶劑而形成爲糊膏狀的霄 格子狀描繪塗佈在放電管2、或藉由網版印刷而 在電極3、4透過焊材7、8連接有引線5、 7、8的材料而言,係使用焊料或銀焊膏等。此夕 7、8的外方設有以包圍焊材7、8的方式藉由白 帽等所構成的固定手段10固定有上部基底91# 92的基底9。以基底9的材料而言,係使用具調 之例如塊滑石(s t e a t i t e )之類的陶瓷。 如第1圖(a)、(b)、(c)所示,基底9係其發 942抵接於放電管2之長邊面21、21的外面(言 、4的面),覆蓋電極的長邊方向的端部與焊祠 在基底9中,在與電極3、4相對向的端部93、 :在電極3、4的外方形成間隙97、98的開口部 ;.及在電極3、4以外的放電管2上具備有例如g 圖(b)之紙面左右方向的腳狀可抵接的邊緣932、 接部 93 2 1 、 9 3 2 1 、 942 1 、 942 1 亦即,如第 1 ’端部93、94係藉由:腳狀可抵接的邊緣932 被夾在該邊緣932、942的開口部931、941而精 2字形。 i的一方電 [地電極而 電極3、4 〔電空間的 '末混合纖 :極材料以 形成。 6。以焊材 -,在焊材 I螺絲與螺 〖下部基底 i氣絕緣性 E 緣 93 2、 J有電極3 •。此外, 94係具有 931 、 941 0置在第1 942的抵 圖(b)所示 、942、及 〖成爲大致 -9- 201103075 此外,如第1圖(a)所示,焊材7、8被基底9所包圍 ,藉此可抑制對於焊材7、8的應力,可防止焊材7、8剝 落。藉此,可良好進行電極3、4與引線5、6的電氣傳導 〇 此外,所被供電的準分子燈1係在一對電極3、4間 的放電空間開始準分子放電,由該準分子放電可得所預期 的光(真空紫外線)。燈亮燈時,準分子燈1係藉由放電 而被加熱,各構件會發生膨脹。此時,放電管2與基底9 的材質不同,其熱膨脹係數不同,因此配設在放電管2的 電極3、4會對基底9作相對移動。此時,即使在基底9 與電極3、4之間有相對移動,如第1圖(a)、(b)、(c)所示 ,基底9的邊緣93 2、942與放電管9的外面亦相抵接, 而且在基底9的端部93的邊緣932設有開口部931,在基 底9的端部94的邊緣942設有開口部941,因此在基底9 的開口部9 3 1、9 4 1與電極3、4之間形成有間隙9 7、9 8, 由於電極3、4與基底9不相接觸,因此可防止電極3、4 因基底9而損傷。 此外,在基底9會有施加外部應力的情形。此時,設 在基底9之端部93的抵接部9321、9321的邊緣932、932 、及設在基底9之端部94的抵接部942 1、942 1的邊緣 942、942會抵接於電極3、4外之放電管2的外面,因此 確保電極3、4外方中的開口部931、941所造成的間隙97 、9 8。因此,即使對基底9施加外部應力,亦可防止電極 3、4因基底9而損傷。 -10- 201103075 其中’如本案課題所示,在施加高電壓之側發生電極 斷線的可能性較高。因此,燈亮燈時,若僅一方電極爲高 壓’至少在其一方電極側、例如電極3側之基底91的端 部93設有開口部931及邊緣932,即可解決課題。 參照第2圖,說明本發明之第2實施形態。 第2圖(a)係顯示本實施形態之準分子燈之構成的剖面 圖’第2圖(b)係第2圖(a)的C-C剖面圖,第2圖(c)係第 2圖(a)的局部俯視圖。 在該等圖中,在本實施形態之準分子燈中,係在與基 底9的端部95 '96相對向的放電管2的一部分,設置透 過端部95、96與間隙26、27配設電極3、4的凹部24、 25。其中,其他構成係與第1圖所示相同元件符號之構成 相對應,故省略說明。 更詳而言之,如第2圖(c)所示,電極3 ( 4 )係以進 入凹部24 ( 25 )之部分的方式使線寬變得較窄。此外,如 第2圖(a)、(b)所示,基底9之與電極3、4相對向的端部 95、96、亦即基底9的前方部分爲平板狀,基底9的前方 平板狀的端部95、96透過間隙26、27而與配置在凹部24 、2 5內的電極3、4相對向配置。 燈亮燈時,即使各構件發生膨脹,如第2圖(b)所示, 亦藉由在放電管2設有凹部24、25,在凹部24、25內配 設有電極3、4,透過間隙26、27將基底9的端部95、96 與該凹部24、25內的電極3、4相對向配置,藉此即使電 極3、4相對基底9作相對移動,亦使基底9的邊緣9 52、 -11 - 201103075 9 62與放電管9的外面相抵接,而且在基底9的端部95、 96與電極3、4之間具有間隙26、27,因此可防止電極3 、4因基底9而損傷。 此外’即使有對基底9施加外部應力的情形,如第2 圖(a)、(b)所示,基底9的端部95、96亦會有放電管2之 凹部24、25以外的邊緣952、962在放電管2外面相抵接 ’而確保電極3、4與基底9的間隙26、27。藉此,即使 在基底9施加外部應力,亦可防止電極3、4因基底9而 損傷。 其中,如本案課題所示,在施加高電壓之側發生電極 斷線的可能性較高。因此,燈亮燈時,若僅有一方電極爲 高壓,僅在至少其一方電極側、例如電極3側之放電管2 的一部分,設置透過基底9的端部95與間隙26配設電極 3的凹部24,而且在基底9的端部95設置邊緣952,即可 解決課題。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示第1實施形態之準分子燈之構成圖。 第2圖係顯示第2實施形態之準分子燈之構成圖。 第3圖係顯示習知技術之準分子燈之構成的局部剖面 [圖。 【主要元件符號說明】 1 :準分子燈 -12- 201103075 2 :放電管 3、4 : 一對電極 5、6 :引線 7、8 :焊材 9 :基底 1 0 :準分子燈 21 :長邊面 φ 22 :短邊面 2 3 :端面 2 4、2 5 :凹部 2 6、2 7 :間隙 9 1 :上部基底 92 :下部基底 93、94 :基底9的端部 95、96 :基底9的端部 φ 9 7、9 8 :間隙 1 〇 1 :放電管 1 02 :電極 103 :引線 1 0 4 ·金屬盖 9 3 1、9 4 1 :開口部 932 、 942 、 952 、 962 :邊緣 93 2 1、942 1 :抵接部 -13-

Claims (1)

  1. 201103075 七、申請專利範圍: 1. 一種準分子燈,係具備有: 封入有發光元素且剖面矩形狀且呈中空長邊狀的放電 管; 在該放電管的外面朝其長邊方向延伸而設的電極; 將該電極與引線相連接的焊材;及 覆蓋該電極之長邊方向的端部與該焊材的基底的準分 子燈,其特徵爲: 前述基底的邊緣係抵接前述放電管外面之設有前述電 極的面,而且在與該電極之間具有間隙。 2. —種準分子燈,係具備有: 封入有發光元素且剖面矩形狀且呈中空長邊狀的放電 管; 在該放電管的外面朝其長邊方向延伸而設的電極: 將該電極與引線相連接的焊材;及 覆蓋該電極之長邊方向的端部與該焊材的基底的準分 子燈,其特徵爲: 前述基底的邊緣係抵接前述放電管外面之設有前述電 極的面,而且藉由在該面之設有該電極的部分設置凹部而 在與該電極之間具有間隙。
TW099114042A 2009-07-14 2010-05-03 Excimer lamp TWI407484B (zh)

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