TW201101931A - Lamp lighting device and filament lamp - Google Patents
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201101931 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於被用在半導體晶圓之加熱等的燈亮燈裝 置及燈絲燈。 【先前技術】 半導體製造工程中的光照射式加熱裝置係在成膜、擴 0 散、退火等大範圍內被利用’任何處理均可將板狀的被處 理物等半導體晶圓作急速加熱,在數秒鐘〜數十秒鐘升溫 至 1 000 °c以上。近年來被要求更加高速升溫,投入在燈 的電力呈大電力化。此被稱爲尖峰退火,以超過2 00 °c / 秒的高速使其升溫,若到達目的溫度即立即進行冷卻。藉 由該尖峰退火可形成非常薄的擴散層(淺接合(shallow junction)),可使半導體元件的性能提升。 以光照射式加熱裝置而言,係利用平行排列複數燈絲 〇 燈者。燈絲燈係具有可一面非接觸過熱,一面瞬時加熱至 高溫的高速反應性,因此適於供半導體製造工程中之急速 加熱之用的光源。但是,被組裝在光照射式加熱裝置的燈 絲燈的一部分發生斷線而呈不亮燈時,半導體晶圓的溫度 分布會變得不均一,會在半導體晶圓發生被稱爲滑移( slip )的現象,亦即發生結晶轉移的缺陷而成爲不良品之 虞。 因此,被組裝於光照射式加熱裝置的燈絲燈的斷線必 須在早期精度佳地進行檢測。但是,由於光照射式加熱裝 -5- 201101931 置的放射光非常強,因此即使使用照度計來進行測定’亦 不可能僅以燈絲燈斷線1支來進行檢測。此外’照射區域 係變爲非常高溫,因此亦無法配置照度監視器。因此,必 須感測各個燈絲燈的斷線。 爲了感測燈絲燈的斷線,有各種方法,在日本特公平 6-6 5 1 72號公報中,係記載一種使用變流器將加熱器線與 換流器相連的電路作電流感測的手法。變流器亦被稱爲計 量儀器用變流器,可測定交流電流値。若燈絲燈斷線,即 不會流通電流,因此藉由使變流器的電流檢測値等於零, 即可感測燈絲燈的斷線。 此外,在曰本特開平2- 1 865 8 1號公報中,爲了檢測 加熱器的斷線,在將加熱器與電源相連的電路串聯連接有 電流檢測器。將由電流檢測器取得的數値與基準値相比較 ,判斷出當檢測値在基準値以下時,加熱器即破斷。 〔專利文獻1〕日本特公平6-65172號公報 〔專利文獻2〕曰本特開平2-186581號公報 【發明內容】 (發明所欲解決之課題) 但是’爲了使用變流器來作斷線感測,必須對燈絲燈 一支設置1個變流器,因此在並列配置複數支燈絲燈的光 照射式加熱裝置中’會有裝置全體大型化的不良情形。此 外,由於將變流器安裝在燈絲燈一支一支,因此亦會有製 作成本上升的不良情形。 -6- 201101931 此外,即使將電流檢測器串聯連接於將電源與燈絲燈 相連的供電線,爲了進行電流檢測而在供電線安裝電阻, 而成爲電力損失。藉由電流檢測器而發生電壓,藉由電流 檢測器的電阻而使能量消耗,而會發生多餘的電力消耗之 故。 本發明係爲解決上述問題而硏創者,目的在提供一種 在不會使裝置全體大型化的情形下,亦不會消耗多餘的電 〇 力而可感測燈絲燈之斷線的燈亮燈裝置及燈絲燈。 (解決課題之手段) 本案第1發明係一種燈絲燈亮燈裝置,係由燈絲燈與 電源所構成,該燈絲燈具備有:在內部配設有燈絲的發光 管、與該燈絲兩端相連結的內部引線、連接該內部引線且 設在發光管之密封部的供電用金屬箔、及與該供電用金屬 箔相連接的外部引線;該電源與前述外部引線相連接,其 〇 特徵爲: 將與前述內部引線或前述供電用金屬箔相連接的檢測 用金屬箔設在發光管的密封部,在該檢測用金屬箱連接外 部檢測引線,透過電壓檢測器將該外部檢測引線與前述外 部引線之間相連接。 此外,本案第2發明係一種燈絲燈’係具備有:在內 部配設有燈絲的發光管、與該燈絲兩端相連結的內部引線 、連接該內部引線且設在發光管之密封部的供電用金屬涪 、及與該供電用金屬箔相連接的外部引線的燈絲燈’其特 201101931 徵爲:將與前述內部引線或前述供電用金屬箔相連接的檢 測用金屬箔設在發光管的密封部,在該檢測用金屬箔設有 外部檢測引線。 此外,本案第3發明係在本案第2燈絲燈中,前述檢 測用金屬箔係寬幅小於前述供電用金屬箔爲其特徵。 此外,本案第4發明係在本案第2燈絲燈中,其特徵 爲:在前述發光管的內部具有被獨立供電的複數燈絲,在 至少1個燈絲,係將與前述內部引線或前述供電用金屬箔 相連接的檢測用金屬箔設在發光管的密封部,在該檢測用 金屬箔設有外部檢測引線。 (發明之效果) 藉由本案第1發明之燈絲燈亮燈裝置及本案第2發明 之燈絲燈,利用透過檢測用金屬箔而將檢測用引線導出至 外部,與供電用金屬箔並聯連接電壓檢測器的簡單構成, 即可進行燈絲燈的斷線檢測。此外,在藉由變流器所爲之 檢測中,除了變流器之外,亦必須設置電流計,但是在本 發明之燈絲燈亮燈裝置中,僅以電壓檢測器即可進行檢測 ,因此可減少零件個數而可將裝置小型化。此外,電壓檢 測器比變流器更爲廉價,因此亦可抑制製作成本。 此外,由於燈絲燈的斷線感測而不會多餘地串聯施加 電流檢測用的電阻,因此亦不會發生電力消耗。 藉由本案第3發明之燈絲燈,流至供電用金屬箔的電 流較大,流至檢測用內部引線所連接的檢測用金屬箔的電 -8- 201101931 流則極爲些微。供電用金屬箔係爲了加大電氣容量而必須 加大寬幅’但是檢測用金屬箔係可減小寬幅。藉由減小檢 測用金屬箔的寬幅,即使不太加大密封部的形狀,亦可追 加配置檢測用金屬箔。 藉由本案第4發明之燈絲燈,在配置有複數燈絲的燈 絲燈中,由於爲了對各自電路的斷線進行感測而必須設置 檢測器’因此藉由使檢測器小型,可使裝置全體大幅減小 〇 。此外’藉由僅在最易於斷線的燈絲安裝電壓檢測器,可 使裝置有效小型化。 【實施方式】 以下針對本發明之第1實施形態加以說明。第1圖係 顯示第1實施形態之燈亮燈裝置的說明用剖面圖。 燈亮燈裝置係構成爲具備有:燈絲燈1 0、用以供電至 燈絲燈1 0的電源1 00、及與燈絲燈1 0的外部引線6a並聯 Ο 連接的電壓檢測器ιοί。 在燈絲燈1 0係在由兩端所導出的外部引線6a、6b連 接有額定100W〜1000 0W的交流電源。電源100係將由一 方密封部21a所導出的外部引線6a與由另一方密封部21b 所導出的外部引線6b相連接而對燈絲3供給交流電流。 燈絲燈1 0係構成爲以線圈狀燈絲3朝管軸方向延伸 的方式配置在由石英玻璃所構成之直管狀發光管2的內部 。由燈絲3的兩端,分別由鎢(W )或鉬(Mo )所構成的 內部引線4a、4b以沿著管軸延伸的方式相連結。發光管2 -9- 201101931 的兩端係受到擠壓密封(Pinch seal)而形成有密封部21a 、2 1b,透過由鉬(Mo )所構成的供電用金屬箔5a、5b而 將發光管2的內部作氣密式密封。在供電用金屬箔5a、5b 的一端連接有內部引線4a、4b,在供電用金屬箔5a、5b 的另一端連接有由銅(Cu)或鎳(Ni)所構成的外部引線 6a、6b,以可由燈絲燈1 〇的外部對氣密空間的內部燈絲3 供電的方式所構成。 配置在發光管2內部的內部引線4a、4b係由一方密 封部21a的附近分歧而形成有檢測用內部引線7。在一方 密封部21a埋設有供電用金屬箔5a與檢測用金屬箔8,連 接於燈絲3的內部引線4a與供電用金屬箔8相連接’由 內部引線4a分歧的檢測用內部引線7連接於檢測用金屬 箔8。由檢測用金屬箔8係延伸有外部檢測引線9,在外 部檢測引線9係串聯連接有電壓檢測器1 0 1。由電壓檢測 器1 0 1所導出的外部檢測引線9係連接於外部引線6 a。 如上所示藉由使用檢測用內部引線7,使連接於供電 用金屬箔5a的內部引線4a及外部引線6a、與連接於檢測 用金屬箔8與電壓檢測器1 〇 1的檢測用內部引線7與外部 檢測引線9作並聯連接。因此,可利用電壓檢測器1 0 1來 檢測在供電用金屬箔5 a所發生的電壓降下份。此外,電 壓檢測器1 〇 1 —般而言係以使內部電阻儘可能變大的方式 予以設計,因此串聯連接有檢測用金屬箔8與電壓檢測器 1 0 1之經分歧的電路的電阻値變得非常大,難以流通電流 ,因此在電壓檢測器1 〇 1所發生的電壓降下份幾乎可忽視 -10- 201101931 基於如上所示之理由,流至燈絲3的電流並不會在檢 測用內部引線7分歧而幾乎照原樣流至內部引線6 a。因此 ,流至內部引線6 a所連接的供電用金屬箔5 a的電流較大 ,流至檢測用內部引線7所連接的檢測用金屬箔8的電流 則極爲些許。供電用金屬箔5 a由於爲了加大電容,而必 須加大寬幅,因此必須形成爲3 m m〜1 0 m m程度的寬幅。 〇 另一方面,檢測用金屬箔8若可氣密式密封密封部2 1 a即 可,因此可比供電用金屬箔5a更加減小寬幅,即使爲 1mm〜2mm程度的寬幅亦爲充分。 與燈絲3相比,供電用金屬箔5 a、5b的電阻値爲 5ιηΩ〜ΙΟιηΩ,爲非常小,因此通常並不會意識到供電用金 屬箔5a、5b中的電壓降下,但是並非完全沒有。若在燈 絲3流通電流3 A〜20A程度,在內部引線6a、6b流通大 部分的電流,在供電用金屬箔5a、5b中作電壓降下15mV G 〜200mV程度。 檢測用金屬箔8與電壓檢測器1 0 1相連接的電路亦發 生與供電用金屬箔5a所發生的電壓降下份同等的電壓差 。此外,檢測用金屬箔8與電壓檢測器1 〇 1相連接而流至 電路的電流値非常小,因此在檢測用金屬箔8的電壓降下 份變得非常小。因此’可利用電壓檢測器1 0 1來感測在供 電用金屬箔5a所發生的電壓降下份。 電壓檢測器1〇1係與供電用金屬箔5a並聯連接’藉 此感測供電用金屬箔5a之電壓降下之有無’可檢測是否 -11 - 201101931 在供電用金屬箔5a流通電流。若在供電用金屬箔5a未流 通電流,供電用金屬箔5a的電壓降下亦會消失,電壓檢 測器1 〇 1的測定値亦幾乎爲零。若檢測出在供電用金屬箔 5 a未流通電流,即可判斷出燈絲燈1 0係呈斷線,應予以 替換。 在第1實施形態之燈亮燈裝置中,利用透過檢測用金 屬箔8將檢測用引線9導出至外部,且與供電用金屬箔5 a 並聯連接電壓檢測器1 〇 1的簡單構成,即可進行燈絲燈1 〇 的斷線檢測。此外,在電壓檢測器1 〇1所測定的電壓係供 電用金屬箔5a中的電壓降下份,因此以15mV〜200m V程 度爲非常小。此外,在藉由變流器所爲的檢測中,除了變 流器以外,亦需要電流計,但是在本發明之燈絲燈亮燈裝 置中可僅以電壓檢測器1 〇 1來進行檢測,因此可減少零件 數量,可將裝置小型化。此外,由於電壓檢測器1 01比變 流器更爲廉價,因此亦可抑制製作成本。 此外,電壓檢測器1 〇 1由於燈絲燈1 〇的斷線感測而 不會多餘地串聯施加電流檢測用的電阻,因此亦不會發生 多餘的電力消耗。 接著說明第1實施形態之變形例。第2圖係顯示關於 第1實施形態,與供電用金屬箔5a並聯連接的檢測用金 屬箔8的其他連接例的放大圖。 如第2圖(a)所示,將與供電用金屬箔5a相連接的 內部引線4a的前端彎曲形成爲L字形,使供電用金屬箔 5 a與檢測用金屬箔8之二者相連接。如上所示僅以內部引 -12- 201101931 線4a使供電用金屬箔5a與檢測用金屬箔8通電,亦可將 與由檢測用金屬涪8所導出的外部檢測引線9相連接的電 壓檢測器與供電用金屬箔5a並聯連接。 此外,如第2圖(b)所示,備妥內部引線4a與外部 引線6a相連接的供電用金屬箔5a、及連接有外部檢測引 線9的檢測用金屬箔8,藉由連接引線80使供電用金屬箔 5a與檢測用金屬箔8導通。即使如上所示相連接,亦可將 0 與由檢測用金屬箔8所導出的外部檢測引線9相連接的電 壓檢測器與供電用金屬箔5 a並聯連接。 接著說明第2實施形態。第3圖係顯示第2實施形態 之燈亮燈裝置的說明用剖面圖。 第1實施形態之燈絲燈1 0係在發光管2的兩端形成 有密封部2 1 a、2 1 b之所謂的雙端燈絲燈,而第2實施形 態之燈絲燈1 1則係在發光管2的一端形成有密封部22之 所謂的單端燈絲燈。在燈絲3的兩端所連接的內部引線4a Q 、4b係朝向密封部22以同一方向平行延伸,與被埋設在 密封部22的供電用金屬箔5a、5b相連接。在外部引線6a 、6b連接有額定10W〜5000W的電源1 〇〇,對燈絲3供給 直流電流。 一方內部引線4a係由密封部22的附近分歧而形成有 檢測用內部引線7。在密封部22,除了一對供電用金屬箔 5a、5b以外,埋設有檢測用金屬箔8,在檢測用金屬箔8 連接有檢測用內部引線7。由檢測用金屬箔8延伸外部檢 測引線9,在外部檢測引線9串聯連接有電壓檢測器1 〇 1 -13- 201101931 。由電壓檢測器1 〇 1所導出的外部檢測引線9連接於外部 引線6a。 電壓檢測器1〇1與供電用金屬箔5a並聯連接’因此 可利用電壓檢測器1 〇 1來檢測與供電用金屬箔5 a所造成 之電壓降下份同等的電壓差。若未在供電用金屬箔5a流 通電流,供電用金屬箔5a的電壓降下亦會消失,電壓檢 測器1 01的測定値亦幾乎爲零。因此,若藉由電壓檢測器 1 〇 1的測定値而檢測出沒有供電用金屬箔5a的電壓降下’ 即可判斷爲在供電用金屬箔5 a未流通電流,燈絲燈1 1係 呈斷線而應予以替換。 接著說明第3實施形態。第4圖係顯示第3實施形態 之燈亮燈裝置的說明用剖面圖。 第1實施形態之燈絲燈1 〇係在發光管2的內部僅配 置1個燈絲3,而第3實施形態之燈絲燈12係在發光管2 的內部配置3個可獨立供電的燈絲3 1、3 2、3 3。配置在密 封部2 1 a、2 1 b附近的燈絲3 1、3 3,連接在兩端的內部引 線分別朝同一密封部方向延伸。另一方面,與位於中央部 的燈絲32相連接的內部引線係分別朝兩端的密封部2 1 a、 21b方向延伸,以在該密封部21a、21b與供電用金屬箔 52a、5 2b相連接的方式予以保持。 在與各自的燈絲31、32、33相連接的一方內部引線 41a、42b、43b,由密封部21a、21b的附近分歧形成有檢 測用內部引線71、72、73。在密封部21a、21b,除了供 電用金屬箔 5 1 a、5 1 b、5 2 a、5 2 b、5 3 a ' 5 3 b以外,埋設 -14 - 201101931 有檢測用金屬箔81、82、83,因此在一方密封部21a 有3枚供電用金屬箔52a、53a、53b與1枚檢測用金 83,在另一方密封部21b埋設有3枚供電用金屬箔5 51b、52b與2枚檢測用金屬箔81、82。在一方密封部 ’係在檢測用金屬箔8 3連接有1條檢測用內部引線 在另一方密封部21b,係在檢測用金屬箔81、82連接 條檢測用內部引線71、72。 Q 分別由檢測用金屬箔8 1、8 2、8 3延伸外部檢測 91、92、93,在各個外部檢測引線91、92、93串聯 有電壓檢測器111、121、131。由一方密封部21a延 外部檢測引線9 3係對位於一方密封部2 1 a附近的燈| 的斷線進行檢測。由另一方密封部2 1 b延伸的2條外 測引線9 1、92係分別對位於另一方密封部2 1 b附近 絲3 1的斷線、與位於中央部的燈絲32的斷線進行檢浴 電壓檢測器1 1 1、1 2 1、1 3 1與和各自的燈絲3 1、 Q 33導通的供電用金屬箔51a、52b、53b並聯連接,因 藉由電壓檢測器1 1 1、1 2 1、1 3 1的測定値,來檢測配 發光管2內部的燈絲3 1、3 2、3 3的哪一個發生斷線 配置有對發光管2內部獨立供電的複數燈絲3 1、3 2 的燈絲燈1 2中,爲了對各自電路的斷線進行感測而 設有檢測器,因此可藉由使檢測器小型化而使裝置全 幅減小。 其中,基於經驗等可知爲被配置在發光管2內部 絲3 1 ' 3 2、3 3之中容易施加負荷而易於切斷的燈絲 埋設 屬箔 la、 ;2 1 a 73, 有2 引線 連接 伸的 糸33 部檢 的燈 和。 32、 此可 置在 。在 、33 必須 體大 的燈 時, -15- 201101931 連僅在最容易斷線的燈絲安裝電壓檢測器,亦在裝置小M 化的觀點中極爲有用。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示第1實施形態之燈絲燈的說明圖。 第2圖係顯示第1實施形態之燈絲燈之變形例的說明 圖。 第3圖係顯示第2實施形態之燈絲燈的說明圖。 第4圖係顯示第3實施形態之燈絲燈的說明圖。 【主要元件符號說明】 2 :發光管 3 :燈絲 4a、4b :內部引線: 5a、5b:供電用金屬箔 6a、6b :外部引線 7 :檢測用內部引線 8 :檢測用金屬箔 9 :外部檢測引線 1 〇、1 1、1 2 :燈絲燈 21a、 21b、 22:密封部 3 1、3 2、3 3 :燈絲 41a 、 42b 、 43b :內部引線 51a、51b、52a、52b ' 53a、53b :供電用金屬箔 -16- 201101931 71 、 72 、 8 0 :連 g 81、 82 、 91 、 92 、 100:電 1 0 1 :電 111、 12 〇 73 :檢測用內部引線 !引線 83 :檢測用金屬箔 93 :外部檢測引線 源 壓檢測器 1、1 3 1 :電壓檢測器
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Claims (1)
- 201101931 七、申請專利範圍: 1 - 一種燈絲燈亮燈裝置,係由燈絲燈與電源所構成 ’該燈絲燈具備有:在內部配設有燈絲的發光管、與該燈 絲兩端相連結的內部引線、連接該內部引線且設在發光管 之密封部的供電用金屬箔、及與該供電用金屬箔相連接的 外部引線;該電源與前述外部引線相連接,其特徵爲: 將與前述內部引線或前述供電用金屬箔相連接的檢測 用金屬箔設在發光管的密封部,在該檢測用金屬箔連接外 部檢測引線’透過電壓檢測器將該外部檢測引線與前述外 部引線之間相連接。 2· —種燈絲燈’係具備有:在內部配設有燈絲的發 光管、與該燈絲兩端相連結的內部引線、連接該內部引線 且設在發光管之密封部的供電用金屬箔、及與該供電用金 屬箔相連接的外部引線的燈絲燈,其特徵爲: 將與前述內部引線或前述供電用金屬箔相連接的檢測 用金屬箔設在發光管的密封部,在該檢測用金屬箔設有外 部檢測引線。 3 .如申請專利範圍第2項之燈絲燈,其中,前述檢 測用金屬箔係寬幅小於前述供電用金屬箔。 4.如申請專利範圍第2項之燈絲燈,其中,在前述 發光管的內部具有被獨立供電的複數燈絲,在至少1個燈 絲,係將與前述內部引線或前述供電用金屬箔相連接的檢 測用金屬箔設在發光管的密封部,在該檢測用金屬箔設有 外部檢測引線。 -18-
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Families Citing this family (4)
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US8723421B2 (en) * | 2012-10-17 | 2014-05-13 | Elwha Llc | Multiple-filament incandescent lighting system managed in response to a sensor detected aspect of a filament |
US9049758B2 (en) | 2012-10-17 | 2015-06-02 | Elwha Llc | Multiple-filament tungsten-halogen lighting system having managed tungsten redeposition |
KR20210095059A (ko) * | 2020-01-21 | 2021-07-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 불균일한 열 출력의 필라멘트 램프를 갖는 반도체 처리 챔버 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3727091A (en) * | 1971-05-11 | 1973-04-10 | Westinghouse Electric Corp | Halogen-cycle incandescent lamp having a platinized interior fuse |
US4132922A (en) * | 1977-10-13 | 1979-01-02 | Westinghouse Electric Corp. | Gas-filled incandescent lamp with integral fuse assembly |
JPS62226557A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-05 | ウシオ電機株式会社 | 発熱長切換用短絡路を有するヒ−タ−ランプの製造方法 |
JPH0430766Y2 (zh) * | 1987-02-19 | 1992-07-24 | ||
JPH02186581A (ja) | 1989-01-13 | 1990-07-20 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 故障検出装置 |
JP2817814B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1998-10-30 | 松下電子工業株式会社 | 電球の不良検出装置 |
DE4215592A1 (de) | 1992-05-12 | 1993-11-18 | Bayer Ag | Verfahren zur Herstellung von N-acylierten p-Aminophenolen |
US6127772A (en) * | 1998-10-19 | 2000-10-03 | Carlson; Robbe | Multiple element lamp |
JP2000173786A (ja) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Mabuchi System Engineering:Kk | 熱放射型灯具を用いた照明システム |
JP2003115395A (ja) * | 2001-10-02 | 2003-04-18 | Kyoto Denkiki Kk | 放電灯点灯装置 |
DE10211249B4 (de) * | 2002-03-13 | 2004-06-17 | Heraeus Noblelight Gmbh | Verwendung eines Glanzedelmetallpräparats |
CN1871687A (zh) * | 2003-06-30 | 2006-11-29 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 电灯 |
US7154234B2 (en) * | 2004-01-28 | 2006-12-26 | Varon Lighting, Inc. | Low voltage regulator for in-line powered low voltage power supply |
DE102006003083B4 (de) * | 2006-01-20 | 2012-04-05 | Simon-Boris Estermann | Leuchtmittel mit integriertem Messmodul und Messaufsatzmodul für Leuchtmittel |
JP2007200759A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Ushio Inc | フィラメントランプ |
JP4893159B2 (ja) * | 2006-08-24 | 2012-03-07 | ウシオ電機株式会社 | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
-
2009
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8760084B2 (en) | 2011-01-04 | 2014-06-24 | Beyond Innovation Technology Co., Ltd. | Driving apparatus for fluorescent tube and method thereof and illumination apparatus using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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