KR101408608B1 - 램프 점등 장치 및 필라멘트 램프 - Google Patents

램프 점등 장치 및 필라멘트 램프 Download PDF

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Abstract

(과제)장치 전체를 대형화시키지 않는 채로, 불필요한 전력도 소비시키지 않고 필라멘트 램프의 단선을 검지할 수 있는 램프 점등 장치 및 필라멘트 램프를 제공하는 것.
(해결 수단)내부에 필라멘트(3)가 설치된 발광관(2)과, 필라멘트(3)의 양단에 연결된 내부 리드(4a, 4b)와, 내부 리드(4a, 4b)가 접속되어, 발광관(2)의 시일링부(21a, 21b)에 설치된 급전용 금속박(5a, 5b)과, 급전용 금속박(5a, 5b)에 접속된 외부 리드(6a, 6b)를 구비하는 필라멘트 램프(10)와, 외부 리드(6a, 6b)에 접속된 전원(100)으로 이루어지는 필라멘트 램프 점등 장치에 있어서, 내부 리드(4a) 또는 급전용 금속박(5a)에 접속된 검출용 금속박(8)을 발광관(2)의 시일링부(21a)에 설치하고, 검출용 금속박(8)에 외부 검출 리드(9)를 접속하고, 외부 검출 리드(9)와 외부 리드(6a)의 사이를 전압 검출기(101)를 통해 접속한 것을 특징으로 한다.

Description

램프 점등 장치 및 필라멘트 램프 {LAMP LIGHTING APPARATUS AND FILAMENT LAMP}
본 발명은, 반도체 웨이퍼의 가열 등에 이용되는 램프 점등 장치 및 필라멘트 램프에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서의 광조사식 가열 장치는, 성막, 확산, 어닐 등, 광범위하게 이용되고 있고, 어떤 처리도 판형상의 피처리물 등의 반도체 웨이퍼를 급속히 가열할 수 있고, 1000℃ 이상으로까지 수초간~수십초간으로 승온시키는 것이다. 근래는 더 고속으로 승온시키는 것이 요구되어 오고 있고, 램프에 투입되는 전력이 대전력화되어 오고 있다. 이것은 스파이크 어닐로 불리고 있고, 200℃/초를 넘는 고속으로 승온시키고, 목적 온도에 이르면 즉시 냉각하는 것이 행해진다. 이 스파이크 어닐에 의해 상당히 얇은 확산층(셸로우 정션(shallow junction))을 형성시킬 수 있고, 반도체 소자의 성능을 향상시킬 수 있다.
광조사식 가열 장치로서는, 필라멘트 램프를 평행하게 복수 늘어 놓은 것이 이용되고 있다. 필라멘트 램프는, 비접촉 과열이면서 순간적으로 고온까지 가열할 수 있는 고속 반응성을 가지고 있기 때문에, 반도체 제조 공정에서의 급속 가열을 위한 광원에 적절하다. 그러나, 광조사식 가열 장치에 짜넣어지는 필라멘트 램프의 일부가 단선되어 부점등이 되면, 반도체 웨이퍼의 온도 분포가 불균일해지고, 반도체 웨이퍼에 슬립으로 불리는 현상, 즉, 결정 전이의 결함이 발생하고, 불량품이 될 우려가 있다.
그 때문에, 광조사식 가열 장치에 짜넣어지는 필라멘트 램프의 단선은, 조기에 정밀도 좋게 검출할 필요가 있다. 그러나, 광조사식 가열 장치의 방사광은 매우 강하기 때문에, 조도계를 이용하여 측정해도 필라멘트 램프가 1개 단선한 것만으로는 검출이 불가능하다. 또, 조사 에어리어는 매우 고온이 되기 때문에, 조도 모니터를 배치하는 것도 불가능하다. 그 때문에, 개개의 필라멘트 램프의 단선을 검지할 필요가 있다.
필라멘트 램프의 단선을 검지하기 위해서는 여러 가지의 방법이 있지만, 일본국 특허공고평6-65172호 공보에서는, 커런트 트랜스를 이용하여 히터선과 인버터를 연결하는 회로를 전류 검지하는 방법이 기재되어 있다. 커런트 트랜스는, 계기용 변류기로도 불리며, 교류 전류값을 측정할 수 있다. 필라멘트 램프가 단선되면 전류가 흐르지 않게 되기 때문에, 커런트 트랜스의 전류 검출값이 영과 같아짐으로써, 필라멘트 램프의 단선을 검지할 수 있다.
또, 일본국 특허공개평2-186581호 공보에서는, 히터의 단선을 검출하기 위해서, 히터와 전원을 연결하는 회로에 전류 검출기를 직렬로 연결하고 있다. 전류 검출기로부터 얻어진 수치와 기준값을 비교하여, 검출값이 기준값 이하인 경우에 히터가 파단(破斷)되어 있는 것이라고 판단하고 있다.
[특허 문헌 1]일본국 특허공고평6-65172호 공보 [특허 문헌 2]일본국 특허공개평2-186581호 공보
그러나, 커런트 트랜스를 이용하여 단선을 검지하기 위해서는, 필라멘트 램프 1개에 대해서 하나의 커런트 트랜스를 필요로 하기 때문에, 필라멘트 램프를 다수개 병렬로 배치하는 광조사식 가열 장치에서는, 장치 전체가 대형화한다는 결함이 있다. 또, 필라멘트 램프 1개 1개에 커런트 트랜스를 부착하기 때문에, 제작비가 상승한다는 문제도 있다.
또, 전원과 필라멘트 램프를 연결하는 급전 라인에 직렬로 전류 검출기를 접속해도, 전류 검출을 위해서 급전 라인에 저항을 부착하게 되고, 전력 로스가 된다. 전류 검출기에 의해 전압이 발생하고, 전류 검출기의 저항에 의해 에너지가 소비되고, 여분의 전력 소비가 발생하기 때문이다.
본 발명은, 상기의 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 장치 전체를 대형화시키지 않은 채로, 불필요한 전력도 소비시키지 않고 필라멘트 램프의 단선을 검지할 수 있는 램프 점등 장치 및 필라멘트 램프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본원 제1 발명은, 내부에 필라멘트가 설치된 발광관과, 그 필라멘트의 양단에 연결된 내부 리드와, 그 내부 리드가 접속되어, 발광관의 시일링부에 설치된 급전용 금속박과, 그 급전용 금속박에 접속된 외부 리드를 구비하는 필라멘트 램프와,
상기 외부 리드에 접속된 전원으로 이루어지는 필라멘트 램프 점등 장치에 있어서, 상기 내부 리드 또는 상기 급전용 금속박에 접속된 검출용 금속박을 발광관의 시일링부에 설치하고, 그 검출용 금속박에 외부 검출 리드를 접속하고, 그 외부 검출 리드와 상기 외부 리드의 사이를 전압 검출기를 통해 접속한 것을 특징으로 한다.
또, 본원 제2 발명은, 내부에 필라멘트가 설치된 발광관과, 그 필라멘트의 양단에 연결된 내부 리드와, 그 내부 리드가 접속되어, 발광관의 시일링부에 설치된 급전용 금속박과, 그 급전용 금속박에 접속된 외부 리드를 구비하는 필라멘트 램프에 있어서, 상기 내부 리드 또는 상기 급전용 금속박에 접속된 검출용 금속박을 발광관의 시일링부에 설치하고, 그 급전용 금속박에 외부 검출 리드를 설치한 것을 특징으로 한다.
또, 본원 제3 발명은, 본원 제2 필라멘트 램프에 있어서, 상기 검출용 금속박은, 상기 급전용 금속박보다 폭이 작은 것을 특징으로 한다.
또, 본원 제4 발명은, 본원 제2 필라멘트 램프에 있어서, 상기 발광관의 내부에 독립적으로 급전되는 복수의 필라멘트를 가지며, 적어도 1개의 필라멘트에는, 상기 검출용 금속박 또는 상기 급전용 금속박에 접속된 검출용 금속박을 발광관의 시일링부에 설치하고, 그 검출용 금속박에 외부 검출 리드를 설치한 것을 특징으로 한다.
본원 제1 발명에 관련되는 필라멘트 램프 점등 장치 및 본원 제2 발명에 관련되는 필라멘트 램프에 의하면, 검출용 금속박을 통해 외부에 검출용 리드를 도출하고, 급전용 금속박과 병렬로 전압 검출기를 접속하는 간단한 구성으로, 필라멘트 램프의 단선 검출이 가능하다. 또, 커런트 트랜스에 의한 검출에서는 커런트 트랜스 외에 전류계도 필요로 하지만, 본 발명의 필라멘트 램프 점등 장치에서는 전압 검출기만으로 검출할 수 있으므로, 부품 점수를 적게 할 수 있고, 장치를 소형화할 수 있다. 또한, 전압 검출기는 커런트 트랜스에 비해 염가이기 때문에, 제작비를 억제할 수도 있다.
또한, 필라멘트 램프의 단선 검지를 위해서 직렬로 전류 검출용의 저항을 여분으로 붙이지 않기 때문에, 전력 소비도 발생하지 않는다.
본원 제3 발명에 관련되는 필라멘트 램프에 의하면, 급전용 금속박에 흐르는 전류는 크고, 검출용 내부 리드가 접속하는 검출용 금속박에 흐르는 전류는 매우 작아진다. 급전용 금속박은, 전기 용량을 크게 하기 위해서 폭을 크게 할 필요가 있지만, 검출용 금속박은 폭을 작게 할 수 있다. 검출용 금속박의 폭을 작게 함으로써, 시일링부의 형상을 그다지 크게 하지 않아도 검출용 금속박을 추가하여 배치할 수 있다.
본원 제4 발명에 관련되는 필라멘트 램프에 의하면, 복수의 필라멘트가 배치된 필라멘트 램프에서는, 각각의 회로의 단선을 검지하기 위해서 검출기가 필요로 되기 때문에, 검출기를 소형화시킴으로써, 장치 전체를 큰 폭으로 작게 할 수 있다. 또, 가장 단선되기 쉬운 필라멘트에만 전압 검출기를 부착함으로써, 장치를 효과적으로 소형화할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태의 필라멘트 램프를 나타내는 설명도.
도 2는 제1 실시 형태의 필라멘트 램프의 변형예를 나타내는 설명도.
도 3은 제2 실시 형태의 필라멘트 램프를 나타내는 설명도.
도 4는 제3 실시 형태의 필라멘트 램프를 나타내는 설명도.
이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1은, 제1 실시 형태의 램프 점등 장치를 나타내는 설명용 단면도이다.
램프 점등 장치는, 필라멘트 램프(10)와, 필라멘트 램프(10)에 급전하기 위한 전원(100)과, 필라멘트 램프(1)의 외부 리드(6a)와 병렬로 접속되는 전압 검출기(101)를 구비하여 구성된다.
필라멘트 램프(10)에는, 양단으로부터 도출되는 외부 리드(6a, 6b)에 정격 100W~10000W의 교류 전원이 접속되어 있다. 전원(100)은, 한쪽의 시일링부(21a)로부터 도출되는 외부 리드(6a)와 다른쪽의 시일링부(21b)로부터 도출되는 외부 리드(6b)를 접속하고, 필라멘트(3)에 교류 전류를 공급하고 있다.
필라멘트 램프(10)는, 석영 유리로 이루어지는 직관형상의 발광관(2)의 내부에 코일형상의 필라멘트(3)가, 관축 방향으로 신장하도록 배치되어 구성되어 있다. 필라멘트(3)의 양단으로부터, 각각 텅스텐(W) 또는 몰리브덴(Mo)으로 이루어지는 내부 리드(4a, 4b)가 관축을 따라 신장하도록 연결되어 있다. 발광관(2)의 양단은 핀치 시일되어 시일링부(21a, 21b)가 형성되고, 몰리브덴(Mo) 으로 이루어지는 급전용 금속박(5a, 5b)을 통해 발광관(2)의 내부를 기밀하게 시일링하고 있다. 급전용 금속박(5a, 5b)의 일단에는 내부 리드(4a, 4b)가 접속되고, 급전용 금속박(5a, 5b)의 타단에는 동(Cu) 또는 니켈(Ni)로 이루어지는 외부 리드(6a, 6b)가 접속되고, 필라멘트 램프(10)의 외부로부터 기밀 공간의 내부의 필라멘트(3)에 급전할 수 있도록 구성되어 있다.
발광관(2)의 내부에 배치되는 내부 리드(4a, 4b)는, 한쪽의 시일링부(21a)의 근방으로부터 분기하여, 검출용 내부 리드(7)가 형성되어 있다. 한쪽의 시일링부(21a)에는, 급전용 금속박(5a)과 검출용 금속박(8)이 매설되어 있고, 필라멘트(3)에 접속하는 내부 리드(4a)가 급전용 금속박(8)에 접속되고, 내부 리드(4a)로부터 분기하는 검출용 내부 리드(7)가 검출용 금속박(8)에 접속되어 있다. 검출용 금속박(8)으로부터는 외부 검출 리드(9)가 신장되어 있고, 외부 검출 리드(9)에는 전압 검출기(101)가 직렬로 접속되어 있다. 전압 검출기(101)로부터 도출된 외부 검출 리드(9)는 외부 리드(6a)에 접속된다.
이와 같이 검출용 내부 리드(7)를 이용함으로써, 급전용 금속박(5a)에 접속하는 내부 리드(4a) 및 외부 리드(6a)와, 검출용 금속박(8)과 전압 검출기(101)에 접속하는 검출용 내부 리드(7)와 외부 검출 리드(9)가, 병렬로 접속되게 된다. 그 때문에, 급전용 금속박(5a)에서 발생하는 전압 강하분을 전압 검출기(101)에서 검출할 수 있다. 또, 전압 검출기(101)는, 일반적으로 내부 저항이 가능한 한 커지도록 설계되어 있으므로, 검출용 금속박(8)과 전압 검출기(101)가 직렬로 접속되어 있는 분기된 회로의 저항값은 매우 커져, 전류가 흐르기 어렵기 때문에, 전압 검출기에서 발생하는 전압 강하분은, 거의 무시할 수 있다.
이러한 이유로부터, 필라멘트(3)에 흐른 전류는, 검출용 내부 리드(7)에 분기하지 않고, 거의 내부 리드(6a)에 그대로 흐르게 된다. 따라서, 내부 리드(6a)가 접속하는 급전용 금속박(5a)에 흐르는 전류는 크고, 검출용 내부 리드(7)가 접속하는 검출용 금속박(8)에 흐르는 전류는 매우 작아진다. 급전용 금속박(5a)은, 전기 용량을 크게 하기 위해서는, 폭을 크게 할 필요가 있기 때문에, 3㎜~10㎜ 정도의 폭을 필요로 한다. 한편, 검출용 금속박(8)은, 시일링부(21a)를 기밀하게 시일링할 수 있으면 되기 때문에, 급전용 금속박(5a)보다 폭을 작게 할 수 있고, 1㎜~2㎜ 정도의 폭으로도 충분하다.
필라멘트(3)에 비해 급전용 금속박(5a, 5b)의 저항값은 5mΩ~10mΩ이며, 상당히 작기 때문에, 통상은 급전용 금속박(5a, 5b)에 있어서의 전압 강하는 의식되지 않지만, 완전히 없는 것은 아니다. 필라멘트(3)에 전류가 3A~20A 정도 흐르면, 내부 리드(6a, 6b)에 거의 전류가 흘러, 급전용 금속박(5a, 5b)에 있어서 15mV~200mV 정도 전압 강하한다.
검출용 금속박(8)과 전압 검출기(101)가 접속되어 있는 회로도, 급전용 금속박(5a)에 의한 전압 강하분과 동등한 전압차가 발생한다. 또, 검출용 금속박(8)과 전압 검출기(101)가 접속되어 회로에 흐르는 전류값은 상당히 작기 때문에, 검출용 금속박(8)에서의 전압강하분은 상당히 작아진다. 그 때문에, 급전용 금속박(5a)에서 발생하는 전압강하분을, 전압 검출기(101)에서 검지할 수 있다.
전압 검출기(101)는, 급전용 금속박(5a)과 병렬로 접속함으로써, 급전용 금속박(5a)의 전압강하의 유무를 검지하여, 급전용 금속박(5a)에 전류가 흐르고 있는지의 여부를 검출할 수 있다. 급전용 금속박(5a)에 전류가 흐르고 있지 않으면, 급전용 금속박(5a)의 전압강하도 없어지고, 전압 검출기(101)의 측정값도 거의 영이 된다. 급전용 금속박(5a)에 전류가 흐르고 있지 않다고 검출되면, 필라멘트 램프(10)는 단선되어 있고, 교환해야 하는 것으로 판단할 수 있다.
제1 실시 형태의 램프 점등 장치에서는, 검출용 금속박(8)을 통해 외부에 검출용 리드(9)를 도출하고, 급전용 금속박(5a)과 병렬로 전압 검출기(101)를 접속하는 간단한 구성으로, 필라멘트 램프(10)의 단선 검출을 할 수 있다. 또, 전압 검출기(101)에서 측정하는 전압은, 급전용 금속박(5a)에 있어서의 전압강하분이므로, 15㎷~200㎷ 정도로 매우 작다. 또, 커런트 트랜스에 의한 검출에서는 커런트 트랜스 외에 전류계도 필요로 하지만, 본 발명의 필라멘트 램프 점등 장치에서는 전압 검출기(101)만으로 검출할 수 있으므로, 부품 점수를 적게 할 수 있고, 장치를 소형화할 수 있다. 또한, 전압 검출기(101)는 커런트 트랜스에 비해 염가이기 때문에 제작비를 억제할 수도 있다.
또, 전압 검출기(101)는, 필라멘트 램프(10)의 단선 검지를 위해서 직렬로 전류 검출용의 저항을 여분으로 붙이지 않기 때문에, 여분의 전력 소비도 발생하지 않는다.
계속해서, 제1 실시 형태의 변형예를 설명한다. 도 2는, 제1 실시 형태에 관해서, 급전용 금속박(5a)과 병렬로 접속되는 검출용 금속박(8)의 다른 접속예를 나타낸 확대도이다.
도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 급전용 금속박(5a)에 접속하는 내부 리드(4a)의 선단을, L자형상으로 구부려 형성하고, 급전용 금속박(5a)과 검출용 금속박(8)의 양쪽 모두에 접속시키고 있다. 이와 같이 내부 리드(4a)만으로 급전용 금속박(5a)과 검출용 금속박(8)을 통전시키고, 검출용 금속박(8)으로부터 도출된 외부 검출 리드(9)에 접속되는 전압 검출기를, 급전용 금속박(5)과 병렬로 접속할 수도 있다.
또, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 내부 리드(4a)와 외부 리드(6a)가 접속된 급전용 금속박(5a)과, 외부 검출 리드(9)가 접속된 검출용 금속박(8)을 준비하고, 급전용 금속박(5a)과 검출용 금속박(8)을 접속 리드(80)에 의해 도통시키고 있다. 이와 같이 접속해도, 검출용 금속박(8)으로부터 도출된 외부 검출 리드(9)에 접속되는 전압 검출기를, 급전용 금속박(5a)과 병렬로 접속할 수 있다.
계속해서, 제2 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 3은, 제2 실시 형태의 램프 점등 장치를 나타내는 설명용 단면도이다.
제1 실시 형태의 필라멘트 램프(10)는, 발광관(2)의 양단에 시일링부(21a, 21b)가 형성된, 이른바 더블 엔드 필라멘트 램프이지만, 제2 실시 형태의 필라멘트 램프(11)는, 발광관(2)의 일단에 시일링부(22)가 형성된, 이른바 싱글 엔드 필라멘트 램프이다. 필라멘트(3)의 양단에 접속된 내부 리드(4a, 4b)는, 시일링부(22)를 향해 동일 방향으로 평행하게 신장하고, 시일링부(22)에 매설된 급전용 금속박(5a, 5b)에 접속되어 있다. 외부 리드(6a, 6b)에는, 정격 10W~5000W의 전원(100)이 접속되고, 필라멘트(3)에 직류 전류를 공급하고 있다.
한쪽의 내부 리드(4a)는, 시일링부(22)의 근방으로부터 분기하여, 검출용 내부 리드(7)가 형성되어 있다. 시일링부(22)에는, 한 쌍의 급전용 금속박(5a, 5b)에 더하여, 검출용 금속박(8)이 매설되어 있고, 검출용 내부 리드(7)가 검출용 금속박(8)에 접속되어 있다. 검출용 금속박(8)으로부터는 외부 검출 리드(9)가 신장되어 있고, 외부 검출 리드(9)에는 전압 검출기(101)가 직렬로 접속되어 있다. 전압 검출기(101)로부터 도출된 외부 검출 리드(9)가 외부 리드(6a)에 접속되어 있다.
전압 검출기(101)가 급전용 금속박(5a)과 병렬로 접속되어 있으므로, 전압 검출기(101)에서 급전용 금속박(5a)에 의한 전압강하분과 동등한 전압차를 검출할 수 있다. 급전용 금속박(5a)에 전류가 흐르고 있지 않으면, 급전용 금속박(5a)의 전압강하도 없어지고, 전압 검출기(101)의 측정값도 거의 영이 된다. 그 때문에, 전압 검출기(101)의 측정값에 의해 급전용 금속박(5a)의 전압강하가 없다고 검출되면, 급전용 금속박(5a)에 전류가 흐르고 있지 않고, 필라멘트 램프(11)는 단선되어 있고, 교환해야 할 것으로 판단할 수 있다.
계속해서, 제3 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 4는, 제3 실시 형태의 램프 점등 장치를 나타내는 설명용 단면도이다.
제1 실시 형태의 필라멘트 램프(10)는, 발광관(2)의 내부에 필라멘트(3)가 1개만 배치되어 있었지만, 제3 실시 형태의 필라멘트 램프(12)는, 발광관(2)의 내부에 독립적으로 급전할 수 있는 필라멘트(31, 32, 33)가 3개 배치되어 있다. 시일링부(3a, 3b)의 바로 옆에 배치된 필라멘트(31, 33)는, 양단에 접속된 내부 리드가, 각각 동일한 시일링부 방향으로 연재되어 있다. 한편, 중앙부에 위치하는 필라멘트(32)에 접속된 내부 리드는, 각각 양단의 시일링부(21a, 21b) 방향으로 연재되고, 당해 시일링부(21a, 21b)에서 급전용 금속박(52a, 52b)과 접속하도록 유지되어 있다.
각각의 필라멘트(31, 32, 33)에 접속하는 한쪽의 내부 리드(41a, 42b, 43b)에, 시일링부(21a, 21b)의 근방으로부터 분기하여, 검출용 내부 리드(71, 72, 73)가 형성되어 있다. 시일링부(21a, 21b)에는, 급전용 금속박(51a, 51b, 52a, 52b, 53a, 53b)에 더하여, 검출용 금속박(81, 82, 83)이 매설되어 있기 때문에, 한쪽의 시일링부(21a)에는, 3장의 급전용 금속박(52a, 53a, 53b)과 1장의 검출용 금속박(83)이 매설되고, 다른쪽의 시일링부(21b)에는, 3장의 급전용 금속박(51a, 51b, 52b)과 2장의 검출용 금속박(81, 82)이 매설되어 있다. 한쪽의 시일링부(21a)에는, 1개의 검출용 내부 리드(73)가 검출용 금속박(83)에 접속되고, 다른쪽의 시일링부(21b)에는, 2개의 검출용 내부 리드(71, 72)가 검출용 금속박(81, 82)에 접속되어 있다.
각각 검출용 금속박(81, 82, 83)으로부터는 외부 검출 리드(91, 92, 93)가 신장되어 있고, 각각의 외부 검출 리드(91, 92, 93)에는 전압 검출기(111, 121, 131)가 직렬로 접속되어 있다. 한쪽의 시일링부(21a)로부터 신장하는 외부 검출 리드(93)는, 한쪽의 시일링부(21a)의 바로 옆에 위치하는 필라멘트(33)의 단선을 검출한다. 다른쪽의 시일링부(21b)로부터 신장하는 2개의 외부 검출 리드(91, 92)는, 각각, 다른쪽의 시일링부(21b)의 바로 옆에 위치하는 필라멘트(31)의 단선과, 중앙부에 위치하는 필라멘트(32)의 단선을 검출한다.
전압 검출기(111, 121, 131)가 각각의 필라멘트(31, 32, 33)에 도통하는 급전용 금속박(51a, 52b, 53b)과 병렬로 접속되어 있으므로, 전압 검출기(111, 121, 131)의 측정값에 의해, 발광관(2)의 내부에 배치된 필라멘트(31, 32, 33) 중 어느 것이 단선되었는지 검출할 수 있다. 발광관(2)의 내부에 독립 급전되는 복수의 필라멘트(31, 32, 33)가 배치된 필라멘트 램프(12)에서는, 각각의 회로의 단선을 검지하기 위해서 검출기가 필요하기 때문에, 검출기를 소형화시킴으로써, 장치 전체를 큰 폭으로 작게 할 수 있다.
또한, 경험 등에 의해, 발광관(2)의 내부에 배치된 필라멘트(31, 32, 33) 중, 부하가 걸리기 쉽고 끊어지기 쉬운 필라멘트를 알고 있는 경우에는, 가장 단선되기 쉬운 필라멘트에만 전압 검출기를 부착하는 것도, 장치의 소형화의 관점에 있어서 유용하다.
10:필라멘트 램프 2:발광관
21a, 21b:시일링부 3:필라멘트
4a, 4b:내부 리드 5a, 5b:급전용 금속박
6a, 6b:외부 리드 7:검출용 내부 리드
8:검출용 금속박 9:외부 검출 리드
100:전원 101:전압 검출기

Claims (4)

  1. 내부에 필라멘트가 설치된 발광관과, 상기 필라멘트의 양단에 연결된 내부 리드와, 상기 내부 리드가 접속되어, 발광관의 시일링부에 설치된 급전용 금속박과, 상기 급전용 금속박에 접속된 외부 리드를 구비하는 필라멘트 램프와,
    상기 외부 리드에 접속된 전원으로 이루어지는 필라멘트 램프 점등 장치에 있어서,
    상기 발광관의 상기 시일링부에 검출용 금속박을 설치하고,
    이 검출용 금속박에 상기 내부 리드 또는 상기 급전용 금속박과, 외부 검출 리드를 접속하고,
    상기 검출용 금속박에 접속된 상기 외부 검출 리드와, 상기 급전용 금속박에 접속된 상기 외부 리드의 사이를 전압 검출기를 통해 접속한 것을 특징으로 하는 필라멘트 램프 점등 장치.
  2. 내부에 필라멘트가 설치된 발광관과, 상기 필라멘트의 양단에 연결된 내부 리드와, 상기 내부 리드가 접속되어, 발광관의 시일링부에 설치된 급전용 금속박과, 상기 급전용 금속박에 접속된 외부 리드를 구비하는 필라멘트 램프에 있어서,
    상기 내부 리드 또는 상기 급전용 금속박에 접속된 검출용 금속박을 발광관의 시일링부에 설치하고, 이 검출용 금속박에 외부 검출 리드를 설치한 것을 특징으로 하는 필라멘트 램프.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 검출용 금속박은, 상기 급전용 금속박보다 폭이 작은 것을 특징으로 하는 필라멘트 램프.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 발광관의 내부에 독립적으로 급전되는 복수의 필라멘트를 가지며, 적어도 1개의 필라멘트에는, 상기 내부 리드 또는 상기 급전용 금속박에 접속된 검출용 금속박을 발광관의 시일링부에 설치하고, 상기 검출용 금속박에 외부 검출 리드를 설치한 것을 특징으로 하는 필라멘트 램프.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI445457B (zh) 2011-01-04 2014-07-11 Beyond Innovation Tech Co Ltd 日光燈管的驅動裝置及其方法與所應用之照明裝置
US8723421B2 (en) * 2012-10-17 2014-05-13 Elwha Llc Multiple-filament incandescent lighting system managed in response to a sensor detected aspect of a filament
US9049758B2 (en) 2012-10-17 2015-06-02 Elwha Llc Multiple-filament tungsten-halogen lighting system having managed tungsten redeposition
US8970110B2 (en) 2012-10-17 2015-03-03 Elwha Llc Managed multiple-filament incandescent lighting system
KR20210095059A (ko) * 2020-01-21 2021-07-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 불균일한 열 출력의 필라멘트 램프를 갖는 반도체 처리 챔버

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4132922A (en) * 1977-10-13 1979-01-02 Westinghouse Electric Corp. Gas-filled incandescent lamp with integral fuse assembly
JP2003115395A (ja) * 2001-10-02 2003-04-18 Kyoto Denkiki Kk 放電灯点灯装置
KR20070078690A (ko) * 2006-01-27 2007-08-01 우시오덴키 가부시키가이샤 필라멘트 램프

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3727091A (en) * 1971-05-11 1973-04-10 Westinghouse Electric Corp Halogen-cycle incandescent lamp having a platinized interior fuse
JPS62226557A (ja) * 1986-03-28 1987-10-05 ウシオ電機株式会社 発熱長切換用短絡路を有するヒ−タ−ランプの製造方法
JPH0430766Y2 (ko) * 1987-02-19 1992-07-24
JPH02186581A (ja) 1989-01-13 1990-07-20 Sumitomo Heavy Ind Ltd 故障検出装置
JP2817814B2 (ja) * 1991-05-29 1998-10-30 松下電子工業株式会社 電球の不良検出装置
DE4215592A1 (de) 1992-05-12 1993-11-18 Bayer Ag Verfahren zur Herstellung von N-acylierten p-Aminophenolen
US6127772A (en) * 1998-10-19 2000-10-03 Carlson; Robbe Multiple element lamp
JP2000173786A (ja) * 1998-12-02 2000-06-23 Mabuchi System Engineering:Kk 熱放射型灯具を用いた照明システム
DE10211249B4 (de) * 2002-03-13 2004-06-17 Heraeus Noblelight Gmbh Verwendung eines Glanzedelmetallpräparats
WO2005001880A2 (en) * 2003-06-30 2005-01-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Electric lamp
US7154234B2 (en) * 2004-01-28 2006-12-26 Varon Lighting, Inc. Low voltage regulator for in-line powered low voltage power supply
DE102006003083B4 (de) * 2006-01-20 2012-04-05 Simon-Boris Estermann Leuchtmittel mit integriertem Messmodul und Messaufsatzmodul für Leuchtmittel
JP4893159B2 (ja) * 2006-08-24 2012-03-07 ウシオ電機株式会社 フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4132922A (en) * 1977-10-13 1979-01-02 Westinghouse Electric Corp. Gas-filled incandescent lamp with integral fuse assembly
JP2003115395A (ja) * 2001-10-02 2003-04-18 Kyoto Denkiki Kk 放電灯点灯装置
KR20070078690A (ko) * 2006-01-27 2007-08-01 우시오덴키 가부시키가이샤 필라멘트 램프

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