TW201026629A - Composite oxide sinter, method for producing composite oxide sinter, sputtering target and method for producing thin film - Google Patents

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201026629 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 體之製造 本發明係關於複合氧化物煻纟士髀、 方法、濺鑛革巴材、及薄膜之製造方°法。σ乳匕物燒結 【先前技術】 液晶高導電性，且利則 電膜，廣泛利用於汽車用4建電極。又，透明! 或冷滚陳列櫃等的防霧用透明發熱體。…、線反射膜、抗靜電膜 種以上作為攙雜物之氧化鋅臈等。有周期表之弟111族元素至少] 含有錫作為攙雜物之氧化錮膜， ，。但是，πυ膜之原料錮為稀容易得到低電 ，低成本化有其極限。又因此’使用 理=副產物__丨，_，處於f能以 產里大幅增加或安定供給的狀況。 ^雞以將ITO膜之生 含有鋅作為攙雜物之氧化銦 :但ilT〇膜有同樣的原料低電阻之優 3化辞臈’由於主原料辞價袼里3期，111族元素之 因此，可說是相對於IT0膜盾，置、生產量均極多， f，如該種氧化鋅膜，為廉價且f供給_慮較小。 姓均:異,因此受到注目 201026629 利文獻4)等。 、（，照專利文獻3)、硼(例如參照專 以在已知的氧化鋅系濺鐘乾 + 膜形成裝置時，會由於_中產明導電膜等薄 置之運辨下降紐生之微，it錢鍍裝 ❹ Φ 文獻1中，有人提議藉的方法，例如，於專利 度化等達成抑制效果。又，例=文j ’以燒結體之高密 結體高密度化1將作為周期表gnu 載：藉由使燒 化紹所造紅軸分之凝集柯_絲％素之氧化物添加的氧 常放電現象發生。X，袁二』H最大5μηΐ以下，更能抑制異 之氧化_成之ζηΑ10 ^獻=，藉由使由氧化鋅與添加物 制濺鍍中tt之平均粒徑定為0.5帅以下，可抑 產量/之心放魏象發生，並提升耐紐提高之薄膜之製造 [先前技術文獻] 曰本專利第2805813號公報 曰本特開平6-2130號公報 曰本特開平6-25838號公報 曰本特開2004-175616號公報 曰本專利第3864425號公報 曰本特開2006-200016號公報 專利文獻 專利文獻1 專利文獻2 專利文獻3 專利文獻4 專利文獻5 專利文獻6 【發明内容】 (發明欲解決之問題） 成之粒子(第2成分粒子)之平均辞與添 歲鍍中之異纽電縣域y麵^ 201026629 現象’則微粒會飛散，產量下降，每腔夕&涂 因此，太路胆i ⑨専膜生產性有下降的傾向。 供可作為如此種物使用燒結ί及 (解決問題之方式） 特定本案發明人努力探討，結果發現藉由使用 'ίίΐίί==體構成之濺觸進行成膜，可顯著 殿鏟中之異巾放電縣之發生，乃完成本㈣。 制 純t，ΐί明提供—種複合氧化物燒結體，包含··金屬氧化 AM A(a，八六方晶系纖鋅礦(^2礦)型構造且含有氧化鋅.方 ’種之金屬元素Μ’·金屬氧化物粒子(a)之平均粒徑為10 金職化齡洲之最錄縣一町，销^ ^ ^於辞及金屬讀M之合計之含量以原子比計為議6〜〇 〇7，^ 屬氧錄粒子(聰體，金屬氧化物粒子(b)彼此之粒子‘ 1〇$以0^μΠ1以上之金屬氧化物粒子的比例，以個數基準計為 本發明之複合氧化物燒結體中，上述金屬元素肘以鋁為宜。 又，本發明提供一種複合氧化物燒結體之製造方法，包含： 1步驟’將氧化鋅粉末及含有選自於由鋁及錁構成之群中至少1 ，之金屬元素Μ之氧化物粉末，使用平均粒徑為1〇mm必以下之 磨 1珠進行濕式混合，並得到相對於鋅及金屬元素％之合計，金 兀素Μ之含量以原子比計為0.006〜〇 07之漿體；第2步驟、，將 漿體或其漿體乾燥得到之混合粉末成形並煅燒，並得到複合氧化 物，結體’·複合氧化物燒結體，包含：金屬氧化物粒子(a)，具六 方晶系纖辞礦(wurtz礦)型構造且含有氧化辞；及金屬氧化物^ (b)^具尖晶石構造且含有金屬元素Μ ;金屬氧化物粒子⑻之平均 粒徑為1〇μιη以下，金屬氧化物粒子⑻之最大粒徑為5陶以下， 相對於鋅及金屬元素Μ之合計，金屬元素μ之含量以原子比計為 201026629 〇·〇〇6〜_ ’相對於金屬氧化物粒子(b)整體 彼此之粒子間距離為〇.5μιη以上之金屬氧化物化物粒子⑻ 個數基準計為1〇%以上。 蜀魏物粒子〇>)之比例，以 又，本發明提供由上述複合氧化物燒結 (發明又之效ΪΓ提供使用上述獅材之薄膜之 依照本發明，提供可顯著抑制滅鑛中之 ί的複合氧化物燒結體、該複合氧 製以方法、由上述複合氧化物燒結體構激勿u之 ❹ ❹ 述複合氧錄燒結體之_之製造方法^之上 ，觸成之顧械膜，可顯著減峨 I生’可抑偏於鱗錄的微粒造缝量下降或錢象 【實施方式】 (實施發明之形態） 以下對於本發明之較佳實施形態詳細説明。 (複合氧化物燒結體） ⑻合氧錄驗體，包含：麵氧化物粒子 ⑻具/、方曰曰系纖鋅礦(刪2礦)型構造且含 =屬=石構造且含有選自於-及嫁構成= 雜材時’可抑制異常放電現象之發生。在二 且具有歸類於六方晶系纖鋅礦(刪z礦)型構造之構造的粒 於X射線繞，錢中顯示歸類於氧化鋅之六方晶 礦)型構造的繞射圖案的粒子。如此種構造，也可利用 描電子顯微鏡，量分散型X射線分析裝置）、epma(x射線微分 析儀）、SPM(掃描型探針顯微鏡)等分析確認。 金屬氧化物粒子(a)之平均粒徑’以1〇哗以下為佳，㈣以 201026629 ι〇μιη ^ 通常約為__。 4祕錄子(a)之平均減之下限値 氧化物粒子⑻之平均粒徑，可利用以下方法測定。首弁， i 騎大傾，额細in面研 ί用ϋ進行化學性_，使粒界明確化。其次， 昭片，同時二確拍攝複合氧化物燒結體之研磨面之觀察 物粒子(狀平如，林錄平均値作為金屬氧化 或鎵i屬氧系包含含金屬元素μ(惟，μ代表銘及/ 二ί勿且，、最大粒控為5μιη以下之尖晶石構造的粒子。夢 呈,’|、朗時’可抑㈣魏電财讀生。在此: 晶繞t試驗中，顯示歸類於尖 SE_DS: ⑽_，也可利用 鎵)為含有金屬元素m(惟，m代表減/或 ⑹:主成八’ t易件到較安定的放電特性。金屬氧化物粒子 有如此或録)表示者。藉由含 表不者」，係絲含有金魏化物粒场 ^ 射線繞射試驗(獅)評價m 物燒結體以χ

Powder Diffraction S«) ZnM^ T^l ϊ 2之案或與^類似之峰部圖案(移位的峰部圖案）。、 廉價至生元辛其:崎作性良好且原料 成分以ΖηΑ12〇4^示 素為騎，金屬氧化物粒子⑼的主 金屬氧化物粒子⑻之最大粒徑，以恤以下為佳，_以下 201026629 ίΐ放子粒彳_ _以下，败能抑制 通生。金屬氧化練子⑻之最大粒徑之下限値， 與金===== 粒子⑻，將得到之觀察昭片進行胃^樣书2於金屬氧化物 ==出的至少;。個粒象:二 大値作為金屬氧化物粒子(b)之最大粒徑。 最 Φ ❹ 同魏⑽奸⑼之傾_呵歧魏條奸⑻ 齙夕複合氧化物燒結體所含之金屬氧化物粒子⑼整體，相 °·5^ 以個數基準(個數頻度)計，為_上

Hi 此之粒子間距離成為分散大的狀態，當 宜么月中，金屬氧化物粒子(b)彼此之粒子間距離，係於 2〇Mm，m 以 EP祖〜:组二， 子之粒子間距離，求出粒子間距離為〇5_以上之粒子的含有比 201026629 例。 組成舆圖及2次電子像之拍攝倍率，以2000倍以上為宜。藉 由以此倍率觀察，可減小金屬氧化物粒子(b)彼此的粒子間距離^ 測疋誤差。又測定視野若為上述單位面積2〇pmx25pjn可減小測 疋誤差，可認為能輕易求得複合氧化物燒結體中之金屬氧化物粒 子⑼彼此之粒子間距離的代表値。又，測定處，即使僅簡單測定 1處亦無問題。惟，通常宜選互不相同的6處測定處，並對於各測 定處進行測定。此情形’ 6處測定値之平均値可定為粒子間距離為 〇.5μηι以上之金屬氧化物粒子(b)的含有比例。 ’ 〇 上述複合氧化物燒結體中，相對於鋅及金屬元素厘之合計的 金屬元素Μ含量，以原子比計宜為〇 〇〇6〜〇 〇7，〇 〇〇6〜〇 〇6較 佳金屬元素Μ之含里藉由在上述範圍内，當使用由複合氧化物 燒結體構成之濺鍍靶材成膜時，可減低得到之薄膜之電阻率。構 成上述複合氧化物燒結體之鋅與金屬元素Μ之上述含量，以原子 比計，以Μ/(Ζη+Μ)=(Χ〇〇6〜_表示。又，金屬元素％為鋁及 鎵時，金屬元素Μ之含量，以鋁及鎵含量之合計表示。 ❹ 複合乳化物燒結體中，鋅及金屬元素Μ之含有比例，通常定 為與係原料粉末之氧化鋅粉末及含有金屬元素Μ之氧化物粉末 :士鋅及金屬元素Μ之含有比例大致相等。又，複合氧化物燒結 體中，金屬元素Μ之含量可利用ICP發光分析法測定。 金屬氧化物粒子(b)，可為1次粒子也可為2次粒子，只 足本發明之規定即可。 上述複合氧化物燒結體，也可含有鋅及金屬元素Μ以外之金 ，兀素，例如 Ti、Zr、In、Si、Ge、Sn、V、Cr、W 等。例如 ιη， 德m於主要為複合氧化物燒結體之具六方晶系纖鋅礦(丽^ 礦)型構造之金屬氧化物粒子⑻内。 士结體中，鋅及金屬元素]^以外之金屬元素含量，當辞及金 屬兀素之總原子數定為丨時，以〇 〇5以下較佳，〇 〇2以下更佳。 i子$等屬元素M以外之金屬元素，也可含有金屬氧化物 祖子⑻、金屬氧化物粒子⑻其中任一者。 10 201026629 化物化，結體，可含有金屬氧化物粒子⑷及金屬氧 子’但實質上以由金屬氧化物粒子⑻及金屬 乳化物拉子(b)構成之複合氧錄燒結體為宜。 之總重量，以複合氧化物燒結體之總重量基 ίίϋϋ 上更佳，98%以上又更佳。如此種複合 軋化物燒結體，可更為顯著得到上述本發明效 (複合氧化物燒結體之製造方法） ❹ 眚實施形態之複合氧化物燒結體之製造方法。本 ρ軸之複合氧化物燒結體之製造方法，包含：第i步驟 乳化辞^末及含有選自於由翻及鎵構成之群中至少丨種之金 物粉末(金屬氧化物粉末），使用平均粒徑LGmm0以 I 賦混合，得顺體；及第2辣，將漿體或經乾 1水體成形並锻燒’得到複合氧化物燒結體。第i步驟中，係 ^=鋅粉末及含有金屬元素M之氧化 得相對於航金槪素μ之合tf，糾 ^吏 M))計，成為0.006〜_。依照本實施“之複合氧: 1=魏綠，可有效率崎造本辦賴讀合氧化物 财，原料粉末使魏倾粉末及含有金屬元素Μ之 ί f 不特別限定，財慮操作性，_

i_ 2m /g較佳，藉此得到複合氧化物燒結體變得容易。BET 値讀形，錢絲碎處雜BET値成為川 :/f之叙末後使用。又，也可使用BET値大於20m2/g之粉 ^疋，由於粉末會變得膨鬆’為了改善操作性，宜進行壓密 處理荨。 第^步驟巾，係混合成：氧化鋅粉末與含有金屬元素m 化物粉末以原子比表示時，為_2n+M》=〇 〇〇6〜〇 〇7 末及^有金屬元素Μ之氧化物粉末，使用平均粒徑為1〇麵^ 下的磨珠進行濕式混合。_混合，以濕式珠磨機進行為宜 珠’宜使用氧化锆、氧化紹、耐給樹脂等磨珠。磨珠之平均粒徑， 11 201026629 以0.8mm0以下為佳，0.6mm0以下更佳。磨珠之平均粒徑之下 限値宜為約0.03mm0。磨珠之平均粒徑，可進行顯微鏡觀察，測 定隨機抽出之至少500個磨珠之直徑並求取平均粒徑。.' “

氧化辞粉末及含有金屬元素Μ之氧化物粉末混合時，也可於 漿體中使添加劑共存。添加劑，宜使用一般稱為黏結劑、分散劑: 可塑劑、消泡劑等之有機系添加劑。該等之中，又以聚竣酸系、 丙烯酸系、醇系、水溶性蠟類、乳劑系添加劑等添加劑為佳Υ具 體而言，宜為聚羧酸銨鹽、聚丙烯酸、丙烯酸甲基丙烯酸共聚物、、 聚乙烯醇、聚乙二醇、硬脂酸乳劑等。該等添加劑，可單用; 種或組合2種以上使用。添加劑之添加量，相對於原 ， 固體成分換算，宜為0.3重量％以下。 ’ 氧化辞粉末與含有金屬元素Μ之氧化物粉末的混合，^ 體中均勻分散各原料粉末。為此，漿體黏度以2〇〇〇mPa · s以j 後i混合粉末之BET値，她於混合冑之氧化^ 有五屬兀素Μ之氧化物粉末之BET値之加權平均， m g以上。漿體黏度若超過2〇〇〇mpa 古 合粉末之BET狀增加量若小於2m2 i ^ f

混合权BET胁乾縣體翻ί ， 桌體，且疋為固體成分濃度50重量％以上 為5G重量％以上’係為了提高生產性定^dH17 則槳體中之氧化鋅之 小於7或pH超過n， pH計測定。 心匕之傾向。又，漿體之pH可利用 使 最終再 12 .201026629 之混合粉末:第2步驟赫將__體^燥得到 用能成形為目^狀之ί3物ΐ形體。成形方法，可適當選 縮成形法、成形方法不特別限定，例如壓 隹壳鑄成形法等乾式'濕式之成形方法。！ 情形二必ίίίίίΐ开tfr可直接使㈣體，但乾式成形之 流動層乾例如過滤乾燥、 生產性古^ &二等，、中，利用喷務乾燥機之喷霧乾燥， 乾式成粉末之流動性良好’因此重用為二 ❿ 密度成能裂痕而可操作’即不特別限定。成形 可使用冷間如此高成形密度之成形體，也 溫度之i?體锻燒，得到複合氧化物燒結體。烺燒 氧化物特有之為凑且曰。溫度，從可抑制氧化鋅系複合 i5〇(TC之核燒結禮度能較高之觀點，宜為noo〜 υυ("之範圍，1100〜140(TC之範圍更佳。 杜密inf n.7gw以上為佳，5離m3以上更佳。藉由將燒 操作性優異，可減少濺鑛時之破損等。 =響i係考慮確保複合氧化物燒結體中之均質性及2生產性 靜?^=溫速度’不_限定，於赋以上之溫度區進行 中二;1& GC/小時以T °此係為了抑制複合氧化物燒結體 节之金屬祕:錄子⑻之粒子成長且提高均質性。 ㈣不特別限定，例如可適當選擇大氣中、氧中、純性 2又:锻燒時之壓力也不特別限定，常壓以外，也 結^ ^、減髮狀態進行锻燒。又’也可使用HIP法或熱>1縮燒 (濺鍍乾材） · 本實施形n之峨練，自找複合祕碰結體構成，例 13 201026629 如可將上述複合氧化物燒結體加工為既定形狀而製造。如此種濺 鐘靶材，可抑制濺鍍中之異常放電現象發生，以良 金屬氧化物之薄膜。 晴生屋性h (薄膜之製造方法） 本實施形態之薄膜之製造方法，特徵在於使用上述複合 物燒結體作為錢鍍靶材。使用習知之濺鍍靶材時，常發生異常放 電現象，難以良好生產性得到薄膜。但是，依照本實施形^之製 造方法，可充分抑制異常放電現象之發生，能以良好生產^ 薄膜。 薄膜，宜以使用濺鍛靶材之濺鍍法成膜。濺鍍法，可適當選 擇DC麟法、RF藏鍍法、Dc磁控管濺鍍法、拙 &、 離子束、濺鍍法等。 ^ 得到之薄膜係由金屬氧化物構成之薄膜，如此種薄膜，且古 以上，已對於本發明之較佳實施形態加以説明，但 限於上述實施形態。 & 實施例 ❹ 以下，以實補更频綱本發明，但本㈣不限於實施 (實施例1) 將作為原料粉末之BET4m2/g、純度998重量％之氧化 粉末’及BET値14m2/g、純度99.99重量％之氧化銘(Al2〇3)l 以成為表1所示組成之方式，以使用平均粒徑〇5mm必之 製磨珠巧i式珠磨機混合，製備漿體。混合溶媒使用純水。又： 表1記載之「M量」，代金屬元素撾表相對於鋅及金屬元素μ人 Μ2—)計算蝴。齡前之氧化i 叔末及金屬兀素Μ之氧化物粉末之BET値之加權平均， 4.2m/g。又，製備漿體時，添加作為分散劑之聚羧酸紗，2 對於原料粉末整體，以固體成分換算計為G2重量％。得& 黏度為17mPa · s、pH為9.5。 水體 14 201026629 〇其次，將得到之漿體以喷霧乾燥機進行喷霧乾燥，得到經乾 燥之混合粉末。乾燥過的混合粉末的BET値為6 9m2/g。接著，將 經乾燥之混合粉末以3.0ton/cm2進行CIP成形，得直徑150mm、 厚度12mm之圓盤形狀成形體。將得到之成形體於氮氣氛圍中， 以溫度140(TC進行5小時锻燒，得複合氧化物燒結體。得到之燒 結體之特性(燒結密度、相對密度)如表1。 將得到之複合氧化物燒結體，使用XRJ)、SEM/EDS、EPMA 分析。利用各分析，觀察含有氧化鋅且具六方晶系纖鋅礦(wurtz 礦)型構造之粒子(a)，及具尖晶石構造之粒子(b)，舆圖化並求取粒 φ 子(a)之平均粒徑及粒子(b)之最大粒徑及粒子間距離。又，粒子(a) 之平均粒徑及粒子(b)之最大粒徑及粒子間距離，以前述方法求 得。粒，間距離之評價，於粒子間距離為〇 5μιη以上之粒子以個 數基準計為粒子(b)整體之10%以上時，評為ΓΑ」，小於1〇%時評 價為「β」。該等結果如表i所示。 、 。 將得到之複合氧化物燒結體加工為尺寸4吋0作為靶材，並 進行濺鑛。濺鍍使用DC磁控管濺鍍裝置，於基板溫度2〇(rc、到 達真空度5xl〇-5pa、濺鍍氣體炝、滅鍍氣體壓〇 5Pa、DC功率·3〇〇w 之條件進行。放電特性，於單位時間發生之異常放電次數小於ι〇 =小時之情形，評為「A」，1〇以上且小於1〇〇次/小時時評為％」， ϋ 100 :人以上/小時評為「C」。評價結果如表1所示。 (實施例2) 將作為原料粉末之BET値12.7m2/g、純度99.8重量％之氣化 Ϊίίί BET値Μ"%、純度99."重量％之氧倾粉末，以成 ^如表1所示組成之方式，以使用平均粒徑0 之氧化鋁製 磨$之濕式珠磨機混合並製備Μ。混合前之氧化鋅粉末及金屬 Μ之氧化物粉末之ΒΕΤ値之加權平均，為i2 8m2/g。漿體製 ^t作為分散劑之聚誠碰，其姆於祕粉末整體為 口體成刀換鼻為〇.2重量％。得到之漿體黏度為23mpa · s， 其次，將得到之漿體以喷霧乾燥機進行喷霧乾燥，得經乾燥 15 201026629 之混合粉末。乾燥過之混合粉末之BET値為I5.3m2/g。接著，將 乾燥過之混合粉末以3.0ton/cm2進行CIP成形，得直徑15〇mm、 厚度12mm之圓盤形狀成形體。得到之成形體於氮氣氛圍中，於 溫度1400°C進行3小時煅燒，得複合氧化物燒結體。得到之燒結 體之燒結密度、相對密度，如表1所示。 'σ 又，對於得到之燒結體，與實施例1同樣，求取粒子⑻之平 均粒徑、及粒子(b)之最大粒徑及粒子間距離。又，將得到之燒結 體加工為尺寸4付0作為把材’與實施例1同樣進行賤鑛，進行 放電特性之評價。該等結果如表1。 'x (實施例3) 將作為原料粉末之BET値4m2/g、純度99.8重量％之氧化 ◎ 辞粉末，與BET値14m2/g、純度99.99重量。/。之氧化鋁粉末，以 成為表1所示組成之方式，以使用平均粒徑之氧化鋁製 磨珠之濕式珠磨機混合，製備漿體。混合前之氧化鋅粉末及金屬t 元素Μ之氧化物粉末之BET値之加權平均，為4.2m2/g。得到之 漿體之黏度，為lOmPa · s，pH為8.9。 其次，將得到之漿體以喷霧乾燥機進行喷霧乾燥，得經乾燥 之h合私末。經乾媒之混合粉末之BET値為6.8m2/g。接著，將"^經 乾燥之混合粉末以3.0ton/cm3進行CIP成形，得直徑15〇mm、厚 度12mm之圓盤形狀成形體。得到之成形體於氮氣^ 〇 度Π00Χ：進行5小躲燒，得複合氧化物w 之燒結遂度、相對密度，如表1所示。 又’對於得到之燒結體，與實施例1同樣進行，求取粒子⑻ 之平均粒徑及粒子(b)之最大粒徑及粒子間距離。又，將得到之燒 結體加工為尺寸4吋0作為靶材，與實施例1同樣進行濺鍍，進 行放電特性之評價。該等結果如表1所示。 又 (實施例4) 稱里作為原料粉末之BET値4m2/g、純度99.8重量％之氧化 鋅粉末，與BET値14m2/g、純度99.99重量％之氧化鋁粉末，使 成為表1所示組成。將秤量過的粉末分為2等分，各以使用平均 16 201026629 粒徑〇.3mm0之氧化錯製磨珠的濕式珠磨機混合。又， 併成1批次，同樣以濕式珠磨機混合，製備為_。、、日，者， 化鋅粉末及金屬元素Μ之氧化物粉末之bet値之知二=二氧 4.2m2/g。得到之漿體之黏度為8〇〇mPa . s，阳為9 4。平句為 α其次’將得到之漿體以喷霧乾燥機進行噴霧乾燥 燥之混合粉末。乾燥過之混合粉末之ΒΕΤ値為7.9m2桩、、、乾 乾燥過的混合粉末以3.-2進行CIP成形，得直者’將 狀成f 將得到之成形體於大I氛圍 於脈度1500 C進仃12小時烺燒，得複合氧化物燒結 結體之燒結密度、相對密度，如表丨所示。 付到之繞 又’對於得到之燒結體，與實施例i同樣，求取粒 均粒徑、絲子(b)之最大粒減粒子間麟。又， 體加工為尺寸4 口于彡作為革巴材，與實施例1同樣進行濺梦，進了-放電特性請價。該等結果如表丨所示。 別T賴進仃 (實施例5) 稱量作為原料粉末之BET値4m2/g、純度99·8重 f ，及BET值14mV純度99.99重量％之氧化絲末氧 成為表1所示組成。將秤量好的粉末分成4等分，各以使用平 參 粒徑〇.3mm0之氧化銘製磨珠之濕式珠磨機混合。又，將該等人 併為1批次’同樣以濕式珠磨機混合，製備裝體。於裝體製^時口， 聚羧酸銨鹽，其添加量為相對於原料粉末整體 換异汁為αΐ重量％。混合前之氧化鋅粉末及金屬元素 ΐίΐί ^末之ΜΤ狀加料均，為4.2m2/g。得到之聚體 之黏度為 1225mPa . s，pH 為 9.8。 其次，將得到之漿體以喷霧乾燥機進行噴霧乾燥，得到經乾 爍之混^粉末。乾燥過之混合粉末之BET値為12.8m2/g。接著， =乾燥找合粉末以3.GtGn/em2妨αρ絲，得錄15〇腿、 二Cl21™之圓盤形狀成雜。將得到之成形體於氮氣氛圍中， i，I4G0lc進行5小_燒’得複合氧化物燒結體。得到之燒 、、Ό體之燒結密度、相對密度以表1表示。 17 201026629 又，對於得到之燒結體’與實施 f\及粒子⑼之最大粒徑及粒子間_ n粒^)之平均 加工為尺寸4吋必作為乾材，盥將仵到之燒結體 電特性之評價。該等結果如表〗所示。j同樣進行濺鍍，進行放 (實施例6)

將作為原料粉末之BET僅W 粉末，與BET値1 W/g、純度99_99重量^童8 f =之氧化鋅 用平均粒徑之氧化姆末，以使 f，使成為表1所示組成。於漿體製備it並製備裝 〇 合欧氧化鋅粉末及金屬元素Μ之氧化物2J 2重置 加榷=為4.W/g。得狀·之減為17^之=直之 其二人，將得到之漿體以喷霧乾燥機進行 pH為9.1。 ，合粉末。絲敎混合粉权BET =經乾燥 乾燥之混合粉末以3 GtGn/em2進行αρ成形 者’將經 ϊ _嫌成形體。得到之成频於1‘圍Γ於ί :燒結以==氧化物燒結體。得到之燒‘ 〇 ㈣又If於得狀燒結體’與實_1同樣求雜子⑻之袖 加:為ΐί，)之最大粒徑及粒子間距離。又，將得到2燒:體 ，性4價，4=’Γ所實Γ1同樣進行顧’進行放 (實施例7) 將?為原料粉末之BET値4m2/g、純度"A重量 値14心、純度重量％之氧化崎末，以2 體i成ϋ Γ10之祕域磨珠之濕式珠磨機混合而製備聚 酸錄ΪΙίΛ #組成°㈣製備時’添加作為分散劑之聚叛 3^二使相對於原料粉末整體，以固體成分換算計為〇·1重量％。 末及金屬元素狀氧化物粉末之ΒΕΤ値之加權 刁马4.2m /g。得到之漿體之黏度為i800mPa · s，ρΗ為9 3。 18 201026629 • tilf1得到讀體以喷霧乾燥機進行儒乾燥，得到經乾 乾燥過之混合粉末之bet値為心2々。接著，將 ^乾無的，合粉末以3.Gton/em2進行αρ成形，得i5Gmm、厚度 義形狀成形體。_之成雜於氮氣氛圍中 ，以溫度 植&― #仃4小時煅燒，得複合氧化物燒結體。得到之燒結體之 燒結畨度、相對密度，如表1所示。 粒和又及燒結體’與實施例1 _求取粒子⑻之平均 1二i plTb之最大粒控及粒子間距離。又，將得到之燒結體 ，吋0作為把材，與實施例1同樣進行雜，進行放 _ 電躲之補。該·果如表1所示。 11 (實施例8) 粉束將粉末2之ΒΕΤ値4m2/g、純度".8重量％之氧化鋅 二使用平均教;η8Γ/g、純度"·"重量％之氧化嫁(Ga2〇3)粉末， 備3 0 磨珠之濕式珠磨機混合’製 成為表所示組成。漿體製備時，添加作為分散劑i %。-入對於原料粉末整體以固體成分換算為⑽重量 粉末及金屬元素M之氧化物粉末之贿C 加權3為4·1ΐΠ、。得到之漿體黏度為250mPa · s，pH為9\ -人’將得到之漿體以喷霧乾 ^ ^cip/t5 # i5〇mm ^ 體之燒結密度、相對密度如表1所示。70 侍到之燒結 又，對於得到之燒結體，與實施例i同樣求 粒徑、及粒子⑻之最大粒徑及粒子間距離i平均 加工為尺寸4时彡作為練，與實_ i同樣=i之k結體 電特性之評價。該等結果如表1所示。 丁濺鍍，進行放 (實施例9) 將作為原料粉末之贈値4m2/g、純度99.8重量％之氧化辞 19 201026629 =末，BET値14m2/g、純度99 99重量％之氧化紹粉末，與βετ L度"·" *量％之氧化嫁粉末，以使用平均粒徑 為矣併之f化銘製磨珠之濕式珠磨機混合’製備装體’使得成 ^相併於成。聚體製備時’添加作為分散劑之聚羧酸銨鹽， 原料粉末整體以固體成分換算計，為G.2重量。/。。混合前 ，匕粉末β及金屬元素M之氧化物BET狀加權平均， .m^g。传到之漿體之黏度為· s，pH為9 3。 燥之、ίί扒Γ寻f之漿體以喷霧乾燥機進行噴霧乾燥，得到經乾 乾焊:iU燥過的混合粉末之BET値為6.9m2/g。接著，將 盤形狀成形體。得到之成形體，於缝氛圍中， 姓饤5小時锻燒’得複合氧化物燒結體。得到之燒 …體之燒結密度、相對密度，如表1所示。 -又於得至,]之燒結體，與實施例1同樣求取粒子⑻之平均 加ΐ為ΐίΐ(ί)之最大粒徑及粒子間麟。又，將制之燒結體 i當^乍絲材，與實施例1同樣進行濺鍍，並進行 放電特性孓評價。該等結果如表1所示。 仃 (比較例1) ❹ 粉末將BET値4m2/g、純度99·8重量％之氧化鋅 用平均^ 1 η ^ 4m /g、純度重量％之氧化銘粉末，以使 體，二二之氧化錯製磨珠之濕式珠磨機混合，製備漿

粉糕金屬元素M 為3漏a · s，pHT=加權千均，為4.2喻得到之衆體黏度 心得狀漿伽儒乾賴進行彌乾燥，得到經乾 妙乾燥之混合t末之βετ値為5.im2/g。接著，將 厚=之一 _末以3OtolW進行CIP成形，得直徑15〇麵、 於、ΐ产:2盤形狀之成形體。得到之成形體於氮氣氛圍中， 心^吟；?订/小時锻燒，得複合氧化物燒結體。得到之燒 、、、。體之燒“度、相對密度’如表2所示。又，表2 20 201026629 目，代表與表1同樣含意。 粒徑同之平均 加工為尺寸4对0作為革巴材，與實施例！同、到之燒結體 電特性之評價。該等結果如表2所示。，進仃賤鑛’進行放 (比較例2) Ο ❹ 於太將料粉末1 BET値4 '純度".8重量。/。之童祕 M t 級99.99 重量％之^^= 體，^ a矣T1必-之氧化銘製磨珠之濕式珠磨機混合，製借喷 酸銨鹽，使姆於補粉核體，_ ==劑之聚羧 末及金屬元素μ之= 物:^ 千均為4.2m /g。得到之_之黏度為14mpa · h ^加權 谭之：i於f得=裝體以喷霧乾燥機進行喷霧乾燥，i到緩乾 雇之^泰末。經乾燥之混合粉末之BET値為卜乾 g 之混合粉末以3.0t〇n/cm2進行CIp成形 二將 圓成形體。得到之成形體於氮氣氛圍中於 體之燒結贿:職%==氧錄驗體，之燒結 切料秘，财關1囉進行^ 毛特性之顿。鱗結果如表2卿。 订 (比較例3) 粉末將贿値心、純度".8重量％之氧化鋅 用g、純度重量％之氧他粉末，以使 所示細出' 之氧化銘製球之乾式球磨機混合，使成為表2 两之氧化辞粉末及金屬元素M之氧化物粉末之 5 2m2f加權平均，為4.2m2/g。得到之混合粉末之BET値為 21 201026629 ^該混合粉末以3 0t〇n/cm2進行σρ成形，得直徑⑼麵、 之圓盤形狀成形體。得到之成形體於氮氣氛圍中，於 ί行5小時锻燒，得複合氧化物燒結體。得到之燒結 體之燒結德、度、相對密度，如表2所示。 又’對於得到之燒結體，與實施例丨同樣求取粒子⑻之平均 粒徑、及粒子(b)之最大粒徑及粒子間距離。又 尺："4 3切作躲材，與實施例1同樣進行“， 電斗寸性之評價。該等結果如表2所示。 (比較例4) © 於束將粉末1贈値—、純度".8重4%之氧化鋅 m/g、純度"·"重量％之氧化絲末，以使 士么jlH 之氧化鋁製球之濕式球磨機混合，製備漿體， i 。麵製糾，添加作為分侧之驗酸錄 二使^對於原料粉末整體以固體成分換算計，為G5重量％。混 二别ί 4 =粉末Θ及金屬元素乂之氧化物粉末之BETM2加權平 二i-A 得到之漿體之黏度，為450mPa · s，PH為9.0。 焊之到體以喷霧乾燥機進行喷霧乾燥，得到經乾 口也末。經乾燥之混合粉末之ΒΕΤ値為6 5m2/g。接著 ❹ =之㈣粉末以,0t〇n/cm2進行αρ成形得直徑15〇聰、 溫ί Ϊ形^成形體。得到之成形體於氮氣氛圍中，於 得到之燒結 粒夕粒 (比較例5) 將作為原料粉末之ΒΕΤ値4m2/g、純度99 粉末，與BET値8m2/g、純度99 99重量％之氧化=之$^匕鋅 平均粒控5mm ^之氧德製磨珠之濕式珠磨機混合了製備浆體用 22 .201026629 使成為表2所示組成。混合前之氧化鋅粉末及金屬 物粉末之酣値之加鮮均，為4 lm2/g。制线體之产1 4100mPa · s，pH 為 9.1。 又為 ，其次，將得狀Μ以姆魏齡行儒乾燥 燥之混合粉末。經乾燥之混合粉末之ΒΕΤ値為5 〇m2 、、'， 經乾燥之混合粉末以3.0ton/cm2進行op成形，得直捏15〇醜、 厚度12mm之圓盤形狀成形體。得到之成形體於氮氣氛圍中，於 溫度140(TC進行5小時煨燒，得複合氧化物燒結體。 掉“ 體之燒結密度、相對密度如表2所示。 心… 又’對於得到之燒結體’與實施例丨同樣求取粒子(a)之 粒徑，及粒子(b)之最大粒徑及粒子間距離。又，將得到之^^結俨 加工為尺寸4吋0作為乾材，與實施例i同樣進行減錢，=二 電特牲之評價。該等結果如表2所示。 & [表1]

[表2] Ο

23 4 201026629 從以上實施例1〜9及比較例1〜5可知，藉由使用由本發明 之複合氧化物燒結體構成之濺鍍靶材成膜，可顯著抑制濺鍍中 異常放電現象發生。 ’ [產業利用性] 依照本發明，提供：可顯著抑制濺錢中 材使用的複合氧化物燒結體、該複“化物J結= 後合氧化物燒結體之薄膜之製造方法。又 ?及使，上， 化辞系燒結體、及由魏雜構叙賤觀材、。，、、本發明’提供氧

【圖式簡單說明】 M. 【主要元件符號說明】 Μ #、、、

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Claims (1)

1. 201026629 七、申請專利範圍： 1. 一種複合氧化物燒結體， 包含： 且含錄子⑻’具六方晶彡纖鋅礦⑽112礦)型構造， 麗ΐ屬氧化物粒子(b)，具尖晶石構造，且含有選自於由銘及 鎵構成之群中至少i種之金屬元素M; 該金屬氧化物粒子(a)之平均粒徑為1〇μιη以下， 該金屬氧化物粒子(b)之最大粒徑為5μιη以下，

   2. 3. 0 相對於辞及該金屬元素厘之合計，該金屬元素Μ之含量 以原子比計為0.006〜〇.〇7， 少相對於該金屬氧化物粒子(b)整體，該金屬氧化物粒子(b) 彼此之粒子間距離為0_5μιη以上的該金屬氧化物粒子(b)之比 例’以個數基準計為10%以上。 如申請專利範圍第1項之複合氧化物燒結體，其中，該金屬元 素Μ為鋁。 一種複合氧化物燒結體之製造方法，包含： 第1步驟，將氧化辞粉末及含有選自於由鋁及鎵構成之群 中至少1種之金屬元素Μ之氧化物粉末，使用平均粒徑為 l.〇mm0以下之磨珠進行濕式混合，得到相對於鋅及該金屬元 素Μ之合計，該金屬元素M之含量以原子比計為〇 〇〇6〜〇 〇7 之漿體；及 第2步驟，將該漿體或以該漿體乾燥得到之混合粉末成形 並锻燒，得到複合氧化物燒結體； 該複合氧化物燒結體， 包含： 金屬氧化物粒子(a)’具六方晶系纖鋅礦(wurtz礦)型構造且 含有氧化鋅；及 金屬氣化物粒子(b) ’具尖晶石構造且含有該金屬元素; 前記金屬氧化物粒子(a)之平均粒徑為ΙΟμιη以下，該金屬 25 201026629 氧化物粒子(b)之最大粒徑為 5μπι以下， θ、相對於該鋅及該金屬元素Μ之合計，該金屬元素Μ之含 置以原子比計為0.006〜0.07，且 y相對於該金屬氧化物粒子(b)整體，該金屬氧化物粒子(b) 彼此之粒子間距離為〇.5μπι以上之該金屬氧化物粒子 例，以個數基準計，為10%以上。 4. 一種濺鍍輕材，由申請專利範圍第1或2項之满入# 體所構成。 、⑨魂化物燒結 5. —種薄膜之製造方法，使用申請專利範圍第八、圖式： 4項之濺鍍靶材。

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