TW201026583A - Transmission apparatus - Google Patents

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TW201026583A TW98100788A TW98100788A TW201026583A TW 201026583 A TW201026583 A TW 201026583A TW 98100788 A TW98100788 A TW 98100788A TW 98100788 A TW98100788 A TW 98100788A TW 201026583 A TW201026583 A TW 201026583A
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Tai-Peng Chien
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Chi Mei Optoelectronics Corp
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201026583 . 六、發明說明: • 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種傳輸設備。 【先前技術】 顯示裝置為現今生活中不可或缺的電子產品之一,其 係由早期的陰極射線管(cathode ray tube, CRT )顯示裝置 發展至現今的液晶顯示(liquid crystal display, LCD )裝置 _ 以及有機發光二極體(organic light-emitting diode, OLED ) 顯示裝置等,並廣泛應用於通訊、資訊及消費性電子等產 品上。 . 以液晶顯示裝置而言,其係具有一液晶顯示面板及一 背光模組,液晶顯示面板的製程係必須經過許多的流程步 驟。而於不同流程步驟間,常常需要藉由一機械手臂以協 助製程的進行。 φ 請參照圖1所示,一種習知應用於老化階段的傳輸設 備1,就其結構而言,此傳輸設備1包含一第一傳輸平台 9、一第二傳輸平台10、兩升降台13及一加溫爐0V,於 加溫爐0V中具有兩不同水平高度之第三傳輸平台11、第 四傳輸平台12、複數卡匣及二機械手臂RBI、RB2。 其中該等卡匣B〗設置於第三傳輸平台11及第四傳輸平台 12上,且該等卡匣&隨著第三傳輸平台11及第四傳輸平 ' 台12而移動,並藉由升降台13移動於不同水平高度之第 三傳輸平台11及第四傳輸平台12。如圖所示,於此所揭 3 201026583 . 露的第三傳輸平台π係高於第四傳輸平台12。 * 而再就製程流程來說,為使液晶顯示面^的各個表 面均受到良好料勻的烘烤效果,液晶顯示面板?在崎 烘烤時較佳的置放相位係為直立於卡£Bi的態樣,不過由 於在進入加/皿爐OV之刖’液晶顯示面板p係於第一傳輪 平台9上以水平置放的方式傳輪,因此液晶顯示面板?進 ^加溫爐〇V之前,必須先將第—傳輸平台9上的液晶顯 不面板P先進仃轉向(旋轉成直立於卡g匕甲的態樣)。 而在習知技術中,用來轉動液晶顯示面板p的作動係 通常藉由機械手臂腹以實現。換言之,機械手臂廟 會先夾取水平置放於第—傳輸平台9上的液晶顯示面板 P’亚將其旋轉—角度而使液晶顯示面板p呈現直立的態 樣並置放入相對應的卡E B1内,以便對加溫爐0 料作業。 、,完成上述的步驟後,液晶顯示面板p即可隨著第三傳 輸平口 11移動以進入加溫爐〇v進行烘烤,當烘烤完畢 ,,再利用另—機械手臂腿以將直立於切Βί内的液 日日顯示面板Ρ取出,並將液晶顯示面板ρ旋轉一角度而使 液晶顯示面板Ρ得再以水平置放的態樣置放第二傳輸平台 10’以進们4續傳輸作業。而淨㈣卡g Βι^藉由升降 台13曰回流至第四傳輸平纟12,並重複上述動作。 、,疋以,利用機械手臂腿、RB2旋轉液晶顯示面板ρ 亚放置於卡UBi ’並以卡gBi來維持液晶顯示面板ρ於 力/皿爐OV中直立的樣態為一非連續之傳輪製程,其間, 201026583 =成傳輸線之閒置,造成生產、料具效率且与延長之問 ’由於為提高供烤效果,液晶顯示面板p必須 ==:轉=而為直立置放的態樣,而為 機械手臂得以習知技術中,端賴 傳輸平台9棘^ 面板P之旋轉(由水平於第一 德辁 ”、、立於第二傳輸平台1卜再由直立於第二 = 账傳輸平台1〇),機械手臂的_ 其造價成本'維::例如需要六軸向的手臂設計)’當然’ U、用亦均相當地昂貴。此外,由於機械 =㈣不斷地執行旋轉、傳送液晶顯示面板p的作動, =發生機_題時,不但會造成液晶顯示面板p的 ί可能造成嚴重的工安問題。因此,如何設計一種 ❹ 且於傳輸同時可改變面板角度的傳輸設備,實 為當别重要課題之一。 【發明内容】 目的為提供一種可連續作 載具或承載物之角度的傳 有鑑於上述課題,本發明之 業,有效率且於傳輸同時可改變 輸設備。 為達上述目的,本發明描徂 Θ杈供一種傳輸設備,其係包含 第一傳送平台、一第-值/、 Β — 弟一傳送千台、一旋轉機構及一載 具。弟一傳送平台具有一第一傳 木得达平面,第二傳送平台具 5 201026583 有一第二傳送平面。旋轉機構設置於第一傳送平台及第二 傳送平台之間,而載具係位於旋轉機構上。其中,旋轉機 構使載具翻轉至少180°。 為達上述目的,本發明提供一種傳輸設備,其係用以 傳輸一承載物。傳輸設備包含一第一傳送平台、一第二傳 送平台以及一旋轉機構。第一傳送平台具有一第一傳送平 面,第二傳送平台具有一第二傳送平面。旋轉機構設置於 第一傳送平台及第二傳送平台之間。其中,旋轉機構旋轉 使承載物之主要表面與第一傳送平面或第二傳送平面維 持大致正交一段時間。 為達上述目的,本發明提供一種傳輸設備,其係用以 傳輸一面板。傳輸設備包含一第一傳送平台、一第二傳送 平台以及一旋轉機構。第一傳送平台具有一第一傳送平 面,第二傳送平台具有一第二傳送平面。旋轉機構設置於 第一傳送平台及第二傳送平台之間,並連續傳送面板由第 一傳送平台至第二傳送平台。 承上所述,依本發明之一種傳輸設備,其係藉由第一 傳送平台而使承載物進行二維的傳輸,並在傳輸過程中使 承載物置入載具。載具隨時間改變而於三維座標中產生不 同角度及不同高度座標,藉此將承載物相對於第一傳送平 台旋轉至少180°,俾使載具將承載物卸載至第二傳送平 台,並利用機構錯位設計而在傳輸過程中將承載物導入第 二傳送平台。因此,本發明之傳輸設備不需要機械手臂協 助承載物進行翻轉,亦同時使傳輸作業流程連續一貫,節 6 201026583 省因投料作業所造成之工時浪費。因此,與f知技術相 比,傳輸設備能夠執行連續性的傳輸及加工作業,且於結 構上較為簡單’除了方便維修人員維修外,亦可減少工^ 問題的產生。 【實施方式】 以下將參照相關圖式,說明依本發明較佳實 種傳輸設備。 -備所示,其顯示本發明較佳實施例之傳輸 配置於一生產線的示意圖。如圖2A所示,於本實 =例中’此生產線係例如為—製造液晶顯示面板的生產 ^且傳輸設備2用以傳送例如為面板的—承載物3以進 。在本實_中,承載物3例如為液晶顯示面板, ”具有―薄膜電晶體基板31及一彩色遽光片基板Μ。欽 本貫施财,並非限定承餘3為液_示面板, 熟知此-技藝者當知,承· 3亦 等,於此並無限制。 液曰曰顯不裝置 所-二為顯示圖2A之傳輸設備2的側視圖。如圖2B 戶 傳輸設備2包含-第—傳送平台21、—第二傳送平 二構23以及一載具24。其”-傳送平台 /於本實施例令’第—傳送平台2i及第二 -第-:、、/'以輸送滾輪為例,第—傳送平台21係具有 送平面25,並沿第—傳送平面25作動,而第二 7 201026583 傳送平台22係具有一第二傳送平面26,並沿第二傳送平 面26作動。另外,第一傳送平台21及第二傳送平台22 分別具有一入料區域及一出料區域,而第一傳送平台21 或第二傳送平台22之出料區域係可具有一點燈機台(圖 未示),以在例如為面板的承載物3被傳輸至出料區域時, 能夠檢測承載物3是否異常。 旋轉機構23設置於第一傳送平台21及第二傳送平台 22之間,並具有三維軌道,其係沿著一想像之第三平面 27作動。於本實施例中,此三維軌道例如為一封閉三維軌 道。另外,旋轉機構23具有一入料區域A1、一加工區域 A2及一出料區域A3,入料區域A1位於旋轉機構23靠近 第一傳送平台21的一侧,出料區域A3位於旋轉機構23 靠近第二傳送平台22的一側,而加工區域A2介於入料區 域A1及出料區域A3之間,其中加工區域A2的高度高於 入料區域A1及出料區域A 3。 於本實施例中,旋轉機構23更具有一閒置區域A4, 閒置區域A4與加工區域A2相對而設,且閒置區域A4的 高度低於入料區域A1及出料區域A3,也就是說,閒置區 域A4與加工區域A2之間具有一高度差。 請同時參考圖2B及圖2C,載具24係設置於旋轉機 構23上,以承載承載物3,其中載具24例如但不限於固 定在封閉三維軌道。於本實施例中,傳輸設備2係以具有 複數個載具24為例。 該等載具24係可為一槽體、或一夾持件、或一真空 8 201026583 吸盤,於此該等載具24係以夾持 結構,且夾持件之梳狀結構之梳齒間距係可;:具有梳: 需求調整。另外,第一傳送平台21 Ί依據使用者的 分別具有與梳狀結構相對應之—開-專运平台22係 24通過第-傳送平台21及第:傳送^ 2卜俾使載具 各載具24具有二夹持部241、242、—_ 本實施例之 槽體247。 竣衡7Μ牛243及一 ❹ 當載具24沿著旋轉機構 移動至入料區域Α1、加τ 移動4 ’各载具24依序 '^區 i成 Α2、φ 區域A4。另外,載具24 估_ 、出料區域A3及閒置 表面與第一傳送平面25或第承載物(面板)3之主要 至少-段時間。其中承栽物主送平面26維持大致正交 示面板的顯示©或與顯示面相對廡^ ^例如係為液晶顯 接下來將作二說明 出料階段- 1〇5。1明k佳實施例的傳輸方法係包 時參考圖2A、=LH及如圖3所示之傳輸方法, 其中傳輸設備2的k程可分為人料階段、加工階段及 出料階段。 請參照圖3 含步驟S01〜少 步驟S01 ’ =第—傳送平台21傳輸 實施例中’第=具有一第-傳送平面25,足 係為二維平面’以對承栽物3進行二維傳輸。 、 步驟s〇2,^==持承裁心。於本實施例中, 當承載物3經由第^+台21傳送人料區M時,· 9 201026583 載具24夾持承載物3。 步驟S03,係由旋轉機構23之封閉三維執道帶動載具 24,而使載具24及夾持於其中的承載物3沿著封閉三維 軌道旋轉。於本實施例中,係可藉由旋轉機構23的封閉 三維軌道帶動載具24,使載具24及夾持於其中的承載物 3依序經過入料區域A1、加工區域A2及出料區域A3,且 載具24及夾持於其中的承載物3與第一傳送平台21之間 係隨時間改變而具有不同角度,而使載具24及承載物3 沿著封閉三維執道與傳輸平台正交之平面27進行旋轉。 此時,承載物3以及載具24係可沿著封閉三維軌道進行 360°之旋轉。 步驟S04,係由載具24卸除承載物3至第二傳送平台 22。於本實施例中,當載具24由旋轉機構23的封閉三維 執道帶動至出料區域A3,則載具24並利用機構錯位設計 將承載物3導入第二傳送平台22,卸除承載物3於第二傳 送平台22。步驟S05,係由第二傳送平台22傳輸承載物3。 於本實施例中,第二傳送平台22具有第二傳送平面26, 其係為二維平面,以對承載物3進行二維傳輸。另外,第 一傳送平台21之第一傳送平面25及第二傳送平台22之 第二傳送平面26係可為同一平面或互相平行之兩平面。 封閉三維執道的想像旋轉平面27係分別與第一傳送平面 25及第二傳送平面26具有一角度,而使承載物3於旋轉 機構23進行三維空間之旋轉。 值得一提的是,當承載物3傳輸於第一傳送平台21 201026583 時承載物3之薄膜電晶體基板31係位於彩色濾、光片基 板32與第一傳送平台21之間時(意々,薄膜電晶體基板 2係朝下擺置),此時,第—傳送平台21更可具有一翻轉 设備(圖中未示),藉由翻轉設備以翻轉承載物3,進而使 f載物3之彩色渡光片基板32位於薄膜電晶體基板31與 第一傳送平台21之間。 如圖2B所示,當第一傳送平台21承載承載物3並移 • 旋轉機構23之入料區域A1時,該等夾持部24卜242 承接承載物3,俾使載具24可以承載承載物3,而緩衝元 件243設置於槽體247、該等爽持部24卜242及承載物3 之間。緩衝元件243的功能在於保護承載物3以避免該等 夾持部241、242直接接觸承載物3的表面,進而造成承 载物3的損壞。其中緩衝元件243的材質係可包含四氟乙 烯(C2F4)、或含矽膠體、或發泡性聚苯烯(Eps)、或有 _脂、或發泡性聚丙烯(咖),於此係以四氣乙稀為例。 • 另外’載具24於入料區域A1係與第一傳送平台21之間 具有-第-角度Θ]、於此第-角度θι係以〇度為例,以方 便该等爽持部241、242夾持承载物3。 圖2C顯示傳輸設備於入料階段的局部示意圖。在此 需特別說明的是,載具24於入料區域入丨係與第一傳送平 台21互相交錯。本實施例中,第—傳送平台21呈有複數 狹'縫L。當部分該等夹持部24卜242穿過該等狹縫l,此 日夺,旋轉機構23停止移動,接著承載物3移動至各央持 部241、242之内側’俾使該等夾持部241、242可以爽持 201026583 承載物3,最後旋轉機構23再次開始移動,將承載物3傳 輸至加工區域A2以進行加工。 另外值得一提的是,當傳輸設備2需傳輸更大尺寸的 承載物3時,載具24更可具有另外二夾持部244、245, 藉由該等夾持部241、242、244、245可夾持承載物3,而 不需要更換傳輸設備2。在此所述僅為舉例性,當然為了 因應各種尺寸的承載物,載具24亦可設計為可調整的, 因此可相對於各種尺寸的承載物而調整各夾持部之間的 寬度,亦是可行方式之一。 請再參考圖2B所示,於加工階段中,當載具24沿著 旋轉機構23移動至加工區域A2時,載具24於加工區域 A2係與第一傳送平台21之間具有一第二角度θ2。於本實 施例中,傳輸設備2與一加工設備(圖中未顯示)配合應 用,其中加工設備係可為一烘烤設備、或一洗淨設備,於 此係以烘烤設備為例。本實施例之烘烤設備係包含一加熱 裝置,其係可為一老化機台。其中載具24係容置於加熱 裝置中,而面板係垂直置放於加熱裝置内。以上加工設備 的說明僅為舉例,並非加以限制本發明,另外依據不同的 加工設備,第二角度θ2可隨之調整至一較佳的工作角度。 於本實施例中,當載具24沿著旋轉機構23移動至加 工區域Α2時,載具24於加工區域Α2係與第一傳送平台 21之間具有第二角度θ2,以方便加工設備對承載物3 (液 晶顯示面板)進行烘烤。於此,第二角度θ2係以90度為 例,亦即,承載物3垂直於加熱裝置内。也就是說,第一 12 201026583 角度θι與第二角度h約相差90度。另外,第 維持9 0度至少一段時間,例如至少―小時。 角度θ2係 如圖2Β所不,於出料階段中,當加工設備對承載物3 :工完畢之後,載具24沿著旋轉機構23移動至出料區域 a此時’為方便载具24將承載物3置放於第二傳送平 台22,载具24於出料區域A3係與第二傳送平台u之間 ,有-第三角度θ3 ’於此第三角度h係以〇度為例,也就 疋說帛一角度與第三角度A約相差%度。此時,承 載物3之薄膜電晶體基板31係位於彩色濾光片基板32與 第一傳送平台21之間。 承上所述,旋轉機構23係連續傳送承載物(面板)3 =第-傳送平台21至第二傳送平台22,而不需要在傳輸 的過程中藉助機械手臂的作動。 在此需特別說明的是,載具24於出料區域Α3係與第 二傳送平台22之輸送滚輪互相交錯。本實施例中,第二 傳送平台22在輸送滾輪間具有複數狹,縫,當夾持部如、 242穿過該等狹縫,且承載物3移動至與第二傳送平台u 同一平面時,承載物3則會藉由第二傳送平台22之^送 滾輪帶動而離開載具24。 載具24於閒置區域Α4係與第一傳送平台2丨之間具 有一第四角度I。於本實施例中,載具24沿著旋轉機構 23移動至閒置區域A4,以準備回流至入料區域入丨。另外, 於此第四角度I係以90度為例。另外’載具24依序移動 至入料區域A1、加工區域A2、出料區域A3及閒置區域 201026583 A4,並沿著與第一傳送平面25或第二傳送平面26正交之 平面進行360°之旋轉。 請在配合圖2A所示,此時承載物3之薄膜電晶體基 板31係位於彩色濾光片基板32與檢測平台4之間,意即 彩色濾光片基板32係朝上擺置。 於本實施例中,檢測人員主要在於檢查承載物3是否 有縱向波紋(mura)現象產生。若承載物3係為一品質較 差的液晶顯示面板時,當承載物3經過烘烤後,其中的液 晶分子(圖未顯示)會產生重力不均(gravity mura )的現 象,也就是說液晶分子會往下沉澱,檢測平台4包含一點 燈機台,而點燈機台具有一背光光源,背光光源會發出一 光線,光線依序穿透承載物3之薄膜電晶體基板31及彩 色濾光片基板32。此時,檢測人員則可檢測承載物3是否 有縱向波紋(mura )現象產生。經由檢測人員篩選複數承 載物3後,例如將品質較好的承載物3放置於卡匣内,以 進行下一步的流程處理。 如圖4所示,其為本發明另一較佳實施例的傳輸設 備。與傳輸設備2不同的是,傳輸設備2a的載具24於閒 置區域A4係與第一傳送平台21之間具有第四角度θ4,於 此第四角度θ4係小於第一角度01、第二角度θ2或第三角度 θ3為例,也就是說,載具24可往第一傳送平台21傾斜第 四角度θ4。如此一來,可節省傳輸設備2的體積,進而提 高產線的空間利用率。 綜上所述,依本發明之一種傳輸設備,當承載物藉由 14 201026583 第一傳送平台傳輸至入料區域時,由於載具於入料區域與 第一傳送平台具有第一角度,俾使載具可以承接承載物, 以及當載具移動至出料區域時,由於載具於出料區域與第 二傳送平台具有第三角度,俾使載具可以將承載物藉由第 二傳送平台的傳輸動作而傳輸至第二傳送平台。因此,於 傳輸設備的入料區域及出料區域並不需要機械手臂協助 搬運承載物,進而可節省機台成本。另外,旋轉機構係沿 著封閉三維軌道移動,並不需要升降元件,因此,與習知 ® 相比,傳輸設備能夠執行連續性的傳輸及加工作業,且於 結構上較為簡單,除了方便維修人員維修外,亦可減少工 安問題的產生。更值得一提的是,此傳輸設備連續傳輸的 模式可避免造成傳輸線之閒置,進而避免造成生產線不具 效率且工時延長之問題,提高生產效率。 以上所述僅為舉例性,而非為限制性者。任何未脫離 本發明之精神與範疇,而對其進行之等效修改或變更,均 ❹ 應包含於後附之申請專利範圍中。 【圖式簡單說明】 圖1為一種習知傳輸裝備的示意圖; 圖2A為本發明較佳實施例之一種傳輸設備用於一產 線的不意圖, 圖2B為圖2A之傳輸設備的側視圖; 圖2C為圖2B之傳輸設備於入料階段的局部示意圖; 圖3為本發明較佳實施例之一種傳輸方法的步驟流程 15 201026583 圖;以及 圖4為本發明較佳實施例之另一種傳輸設備。 【主要元件符號說明】 1、2、2a :傳輸設備 9、10、11、12 :傳輸平台 13 :升降台 21 :第一傳送平台 211、221 :開槽 22 第二傳送平台 23 旋轉機構 24 載具 241、242、244、245 :夾持部 243 :緩衝元件 247 :槽體 25、26、27 ··平面 3 :承載物 31 :薄膜電晶體基板 32 :彩色濾光片基板 4 :檢測平台 A1 .入料區域 A2 :加工區域 A3 :出料區域 A4 :閒置區域 16 201026583 ❹ Θ Β!:卡匣 L :狹縫 OV :加溫爐 Ρ .液晶顯不面板 RBI、RB2 :機械手臂 :第一角度 θ2 :第二角度 θ3 :第三角度 第四角度

Claims (1)

  1. 201026583 七 申請專利範圍: 2 4 6 •一種傳輸設備,該傳輸設備包含: 一第一傳送平台,具有一第一傳送平面; 一第二傳送平台,具有一第二傳送平面; -旋轉機構,設置於該第一傳送平台及該 送 台之間;以及 、十 一載具,位於該旋轉機構上, 其中,該旋轉機構使該載具翻轉至少。 如申請專利第丨項所述之傳輸。 係承載-承載物。 -^亥栽具 如申請專截圍第9韻狀傳輪設備,其中 ==之主要表面與該第-傳送平面或該第二傳 迗千面維持大致正交至少一段時間。 寻 如申請專利範圍第2項所 物為-顯示面板或-顯示裳置傳輪§又備,其中該承載 如申請專利範圍第i項所述之傳輪設備 沿著該旋轉機構以進行三維空間之旋轉。利範圍第3項所述之傳輸設備 機構包括一封閉三維軌道。第:、項所述之傳輪設備 其中該載具 其中該旋轉 其中該第 傳送平台及該第二傳送平台為 送滾輪、或一氣浮平台。 如申請專利範圍第i項所 傳逆平項所述之傳輸設備,其中該第 傳运千面及该第二傳送平面為同—平面。 帶式平台、或一輸 201026583 、:申請專利範圍第1項所述之傳輸設備,其中該第 傳二平面及該第二傳送平面為互相平行之二平中广 申請專利範圍第1項所述之傳輪設備,其中該载且 :::::與該第一傳送平面或該第二傳送平= 乂之千面進行360。之旋轉。 11、=請專利範圍第〗項所述之傳輪設備,其中該載且 4置於一加熱裝置中。 一 =範圍第1項所述之傳輸設備,其中該第-過。第"傳送平台具有-_使該載具通 η 範圍第1所述之傳輪設備,其十該載具具 14、=申請專利範圍第13項所述之傳輸設備,其中該載 一之梳狀結構之梳齒間距可以調整。 範圍第!項所述之傳輸設備,其中該第一 或該第二傳送平台具有-入料區域及-出 15項所^傳輸設備’其中該第 燈機i第二傳送平台之該出料區域具有一點 17、2=Tr項所述之傳輪設備,其中該載具 18 θ 或夾持件、或一真空吸盤。 範:第1項所述之傳輪設備,其中該載具 有緩衝讀,該緩衝元件設置於該載具及該承載 19 201026583 物之間。 19如申凊專利範圍第18項所述之傳輸設備,其中該緩 =件的材質包含四氟乙烯、或含㈣體、或發泡性 聚苯烯、或有機樹脂、或發泡性聚丙烯。 2〇、=種傳輸設備’用以傳輪—㈣物,該傳輪設備包含: 一第一傳送平台,具有一第一傳送平面; —第二傳送平台,具有一第二傳送平面;以及
    一旋轉機構1置於該第—傳送平台及該第 台之間, 〜八付偶偁便该水载物之主要表面盥該 傳送平面維持大致正交-段時間。 轉二=承:^ 22、1:=圍第21項所述之傳輪設備,其中該載 /、/〇者轉機構以進行三維空間之旋轉。 23 =巾料鄉圍f 22賴狀傳輪 轉機構包括-封閉三維軌道。 其中錢 24、:二請=圍V1項所述之傳輪設備,其中該載 Ϊ:、隹; 送平面或該第二傳送平面正交之 25 千面進行360。之旋轉。 父之 = = =:所述之傳輪設備,其中該載 26:==:所述,輪設備,該承 20 201026583 ❿ 如申請專利範圍第21項所述之傳輪設備 八為槽體、或一失持件、或一真空吸盤 如申請專利範圍第21項所述之傳輪設備 具具有梳狀結構。 如申請專利範圍第21項所述之傳輪設備 具之梳狀結構之梳齒間距可以調整。 ^申請專利範圍第21項所述之傳輪設備,盆中 載=緩衝元件,該緩衝元件設置於該載具㈣承 如申請專利範圍第30項所述之傳輪設備 胃包含—乙稀、或含石夕膠體 K苯烯、或有機樹脂、或發泡性聚丙烯。 、::::利範圍第20項所述之傳輪設備 載物為一顯不面板或一顯示裝置。 幻、如申請專利範圍第21項所 -傳送平台及該第二傳送平^專右輪5又備,其令該第 通過。 ^十°具有一開槽使該載具 34、如申請專利範圍第2〇項 -傳送平台及該第二傳送平台為傳,該第 輪送滾輪、或一氣浮平台。 帶式平口、或一 35、如申請專利範圍帛2〇項 -傳送平面及該第二傳送平;輪;:’其中該第 如申請專利範圍第項所述 :。 一傳送平面及該第二傳送平 、中該第 千面為互相平行之二平面。 27 28 29 30 31 其中該載 其中該載 其中該載 其中該載 其中該緩 或發泡性 其中該承 其t該第 21 201026583 37、 如申請專利範圍第 一傳送平台或該第 出料區域。 2〇項所述之傳輸設備,其中該第 —傳送平台具有一入料區域及一 38 > 如申請專利範圍第 一傳送平台或該第 點燈機台。 37項所述之傳輸設備,其中該第 —傳送平台之該出料區域具有一 39
    種傳輪設備,係用來傳輸一面板,包含: —第一傳送平台,具有一第一傳送平面; -第二傳送平台,具有—第二傳送平面;以及 轉機構’設置於該第—傳送平台及該第二傳送平 台之間,並連續傳送該面板由該第一傳送平台至該 第二傳送平台。 〇 μ 40、如申請專利範圍第39項所述之傳輸設備 轉機構具有一載具,以承載該面板。 41如申睛專利範圍第40項所述之傳輪設備 具沿著該旋轉機構以進行三維空間之旋轉 42、如申請專利範圍第41項所述之傳輪設備 轉機構包括一封閉三維軌道。 Λ Q 如申睛專利範圍第4〇項所述之傳輪 具沿-與該第一傳送平面或該第二傳:平戰 *平面社刷。之㈣。 冑料面正交之 44、 如申請專利範圍第40項所述之傳輪設備, 具容置於一加熱裝置中。 八 45、 如中請專利範圍第44項所述之傳輪設備,其中該面 其中該旋 其中該載 其中該旋 其中該載 22 201026583 板垂直於該加熱裝置内。 46、如申請專利範圍第4〇項所述之傳輸設備,其中該載 ▲ i \ ^ · 47 48 49
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    具為一槽體、或一夾持件、或—真空吸盤。 如申請專利範圍第4〇項所述之傳輸設備, 具具有梳狀結構。 玄載 如申請專·圍第47項所述之傳輸設備,其中該載 具之梳狀結構之梳齒間距可以調整。 如申請專利範圍第4〇項所述之傳輪設備,其中該載 ^具有-緩衝元件,該緩衝元件設置於輯具及該承 戰物之間。 如申請專利範圍第49項所述之傳輸設備 衝70件的材質包含四氟乙烯、或含矽膠體 聚苯烯、或有機樹脂、或發泡性聚丙烯。 如申請專利範圍第4G項所述之傳輪設備1 it:送平台及該第二傳送平台具有-開槽使該載:具 其中該緩 或發泡性 其中該第 52 53 54 如申請專利範圍第39項所述之傳 —傳送平台及該第二傳送平台為— 輪送滾輪、或一氣浮平台 如申請專利範圍第39項所述之傳 一傳送平面及該第二傳送平面為同 輪設備,其中該第 捲帶式平台、或一 輪設備,其中該第 一平面。 如申請專利範圍第39項所述之傳輪設備,其中 ―傳送平面及該第二傳送平面為互相平行之二平面。 如申請專利範圍第39項所述之傳輪設備,其中該第 23 55 201026583 一傳送平台或該第 出料區域。 一傳送平台具有一入料區域及一 6 =申請專利範圍第55項所述之傳輪設備,其中該第 傳送平台或該第二傳送平台之該出料區域具有一 點燈機台。 、
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI470729B (zh) * 2011-05-24 2015-01-21 Orbotech Lt Solar Llc 破損基板或晶圓回收系統及以該系統卸除破損晶圓碎片的方法
US9287152B2 (en) 2009-12-10 2016-03-15 Orbotech LT Solar, LLC. Auto-sequencing multi-directional inline processing method
TWI633069B (zh) * 2013-09-09 2018-08-21 三星鑽石工業股份有限公司 Substrate turnover transport device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9287152B2 (en) 2009-12-10 2016-03-15 Orbotech LT Solar, LLC. Auto-sequencing multi-directional inline processing method
TWI470729B (zh) * 2011-05-24 2015-01-21 Orbotech Lt Solar Llc 破損基板或晶圓回收系統及以該系統卸除破損晶圓碎片的方法
US9462921B2 (en) 2011-05-24 2016-10-11 Orbotech LT Solar, LLC. Broken wafer recovery system
TWI633069B (zh) * 2013-09-09 2018-08-21 三星鑽石工業股份有限公司 Substrate turnover transport device

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