TW200951059A - Electromechanical device with spacing layer - Google Patents

Description

200951059 六、發明說明： 【先前技術】 機電系統（MEMS)包括機械元件、致動器及電子器件。 可使用沈積、蝕刻及/或蝕刻掉基板及/或所沈積材料層之 部分或添加層以形成電氣裝置及機電裝置之其他機械加工 製程來製造機械元件。一種類型之MEMS裝置被稱為干涉 調變器。如本文中所使用，術語干涉調變器或干涉光調變 器指使用光學干涉之原理來選擇性地吸收及/或反射光之 裝置。在特定實施例中’干涉調變器可包含一對導電板， 其中之一者或兩者可整體或部分透明及/或反射性的且能 夠在施加適當電信號後相對運動。在特定實施例中，—個 板可包含沈積於基板上之固定層且另一板可包含藉由氣隙 而與固定層分離之金屬膜。如本文中更詳細地描述，相對 於一個板之另一板之位置可改變入射於干涉調變器上的光 之光學干涉。此裝置具有廣闊範圍之應用，且在此項技術 中利用及/或修改此等類型之裝置的特性以使得其特徵可 用來改良現有產品且製造尚未開發之新產品將係有利的。 【發明内容】 在特定實施例中，一種裝置包含一電極、一固定反射 益、一包含導電材料之可移動式反射器，其中一干涉調變 空腔界定於該可移動式反射器與該固定反射器之間，該可 移動式反射器係可移動於至少一第一位置、一第二位置與 —第三位置之間。該裝置亦包含-定位於該固定反射器與 該電極之間的間隔層，該間隔層提供遽光空腔。 139326.doc 200951059 。在特疋實施例中，一種裝置包含一電極、一固定反射 器、一包含導電材料之可移動式反射器，其中一干涉調變 空腔界定於該可移動式反射器與該固定反射器之間該可 移動式反射器係可移動於至少一第一位置、一第二位置與 第二位置之間。該裝置亦包含一定位於該固定反射器與 該電極之間的間隔層，自裝置之橫截面圖言之，該間隔層 具有大於或等於160奈米之厚度。

在特定實施例中，該裝置包含電極、用於反射光之第一 固定構件、用於反射光之第二可移動式構件。該第二反射 構件包含導電材料，其中一干涉調變空腔界定於該第一反 射構件與該第二反射構件之間。該第二反射構件係可移動 於至少一第一位置、一第二位置與一第三位置之間。該裝 置亦包合用於分離該第一反射構件與該 離構件提供滤光空腔。 ^

在特定實施例中，一種製造用於調變光之裝置之方法自 ^形成-電極、形成-間隔層、形成—固定反射器及形成 -包含導電材料之可移動式反射器。—干涉調變空腔界定 於該可移動式反射器與該固枝射器之間。該可移動式反 射器係可移動於至少一第一位置、一第二位置與一第三位 置之間。該間隔層提供濾光空腔。 【實施方式】 以下詳細描述針對本發明之特定具體實施例。然而， 以許多不同方式來體現本發明。在此插述中，對圖式進 參考’其中遍及諸圖’相似部分以相似數字表示。如將 139326.doc -4- 200951059

=下描述而顯而易見，該等實施例可實施於經組態以顯示 影像（無論是運動影像（例如，視訊）還是靜態影像（例如T 像）且無論是文字影像還是圖形影像）之任何裝置 中。更特定言之，預期該等實施例可實施於諸如（但不限 \ ---r— '' 各者之各種電子裝置中或與該等電子裝置相關

聯.仃動電話、無線裝置、個人資料助理（PDA)、掌上型 或攜帶型電腦、GPS接收器/導航器、相機、MP3播放器、 攝錄影機、遊戲機、腕錶、時鐘、計算器、電視監視器、 平板顯示器、電腦監視器、汽車顯示器（例如，里程錶顯 示器等）、座艙控制器及/或顯示器、相機視窗顯示器（例 如，車輛中之後視相機之顯示器）、電子照片、電子廣告 牌或標誌、投影儀、建築結構、包裝及美學結構（例如， 在件珠寶上之影像之顯示）。與本文中所描述之結構類 似的結構之MEMS裝置亦可用於諸如電子開關裝置之非顯 示器應用中。 一項實施例包含採用具有高對比率（CR)及大色域之三態 干a „周變裝置之顯示器。在此三態干涉調變裝置中，間隔 層提供免受可移動式反射器與電極之間的短路的較佳保 護。在一項實施例中，間隔層界定第二干涉調變空腔，發 現該第二干涉㈣空腔會在一光頻㈣圍内提供飽和光。 結果’顯示器之色域得以增強。 在圖1中說明包含干涉MEMS顯示元件之一項干涉調變 器顯示器實施例。在此等裝置中，像素處於明亮或黑暗狀 態。在明焭（「接通」或「打開」）狀態中，顯示元件將入 139326.doc 200951059 射可見光之大部分反射至使用者。當在黑暗（「關斷」或 「關閉」）狀態中時，顯示元件將極少入射可見光反射至 使用者。視實施例而定，可顛倒「接通」及「關斷」狀態 之光反射性質。MEMS像素可被組態成主要以選定之顏色 反射’進而允許除了黑色及白色之外的彩色顯示。 圖1係描繪視覺顯示器之一系列像素中的兩個相鄰像素 之等角視圖，其中每一像素包含一 MEMS干涉調變器。在 一些實施例中，干涉調變器顯示器包含此等干涉調變器之 列/行陣列。每一干涉調變器包括定位於相互間相距可變 且可控制距離處之一對反射層以形成具有至少一個可變尺 寸之諧振光學間隙。在一項實施例中，反射層中之一者可 在兩個位置之間移動。在本文中被稱為經鬆弛位置之第一 位置中’可移動式反射層定位於與固定部分反射層相距相 對大距離處。在本文中被稱為經致動位置之第二位置處， 可移動式反射層定位得較緊密鄰近於部分反射層處。自兩 個層反射之人射光視可移動式反射層之位置而相長或相消 地干涉’進而產生每_像素之整體反射或非反射狀態。 圖1中之像素陣列之所描緣部分包括兩個鄰近干涉調變 器12a及12b(被統稱為干涉調變器12卜在左側干涉調變器 12a中說月可移動式反射層⑷在與包括部分反射層之光 學堆疊16a相距預定距雜帝 離處之鬆弛位置中。在右側干涉調 變器12b中，說明可稃叙 〒夕勒式反射層14b在鄰近於光學堆疊 16b之經致動位置中。 如本文中所提及之朵與 友*予堆疊16a及1 6b(被統稱為光學堆 139326.doc 200951059 疊16)通常包含若干融合層，其可包括諸如氧化麵錫（ιτ〇) 之電極層、諸如鉻之部分反射層及透明介電質。光學堆疊 16因此係導電的、部分透明的且部分反射的，且可例如藉 由將上述層中之一或多者沈積至透明基板上而製造。部 、 分反射層可由諸如各種金屬、半導體及介電質之部分反射 . 料種材料形成。部分反㈣可由—或多個材料層形成， 且該等層中之每一者可由單個#料或材料之組合形成。 φ 在一些實施例中，光學堆疊16之諸層被圖案化為平行條 帶，且可形成如下文進一步描述之顯示裝置中之列電極。 可移動式反射層14a、14b可作為一或多個經沈積金屬層之 一系列平行條帶（與列電極16a、16b正交）而形成，該一或 夕個，，’二沈積金屬層沈積於柱丨8及介入犧牲材料（沈積於柱 18之間）上。當蝕刻掉犧牲材料時，可移動式反射層14a、 14b藉由纽界定間隙19而與光學堆疊16压、⑽分離。諸如 的之尚度導電且反射性之材料可用於反射層14，且此等 ❹ 條帶可形成顯示裝置中之行電極。 在未鈿加電壓之情形下，間隙19保持於可移動式反射層 . l4a與光學堆疊16a之間，其中可移動式反射層14a處於經 機械鬆弛狀態’如由圖！*之像素12a所說明。然而，當將 電位差鉍加至選定之列及行時，在對應像素處之列電極與 行電極的相父處形成之電容器變得帶電，且靜電力將電極 拉在起。右電壓足夠高，則可移動式反射層丨4變形且被 壓罪在光學堆疊16上。光學堆疊16内之介電層（此圖令未 ”兒明）可防止短路且控制層14與16之間的分離距離，如由 139326.doc 200951059 圖1中之右側像素12b所說明。不管所施加電位差之極性如 何，行為皆為相同的。以此方式，可控制反射像素狀態對 非反射像素狀態之列/行致動在許多方面類似於用於習知 LCD及其他顯示技術中之致動。 圖2至圖5B說明用於在顯示器應用中使用干涉調變器之 陣列之一個例示性過程及系統。 圖2係說明可併有本發明之態樣之電子裝置的一項實施 例的系統方塊圖。在例示性實施例中，電子裝置包括處理 器21 ’該處理器2丨可為任何通用單晶片或多晶片微處理 器，諸如，ARM、Pentium®、Pentium II®、Pentium III®、

Pentium IV®、Pentium® Pro、8051、MIPS®、Power PC®、 ALPHA® ;或任何專用微處理器，諸如，數位信號處理 器、微控制器或可程式化閘陣列。如此項技術中所習知， 處理器21可經組態以執行—或多個軟體模組。除了執行作 業系統外，處理器可經組態以執行一或多個軟體應用程 式’包括’網路瀏覽程式、電話應用程式、電子郵件程式 或任何其他軟體應用程式。 在項貫知例中，處理器2 i亦經組態以與陣列驅動器Μ 通仏ϋ實施例中，陣列驅動器22包括向顯示陣列或 面板30提供信號之列驅動器電路24及行驅動器電路％。圖 1中所說明之陣列的橫截面由圖2中之線Η展示。對於 MEMS干涉調變器而言，列/行致動協定可利用圖3中所說 明之此等裝置之滯後性質。舉例而言，可能需要⑺伏特之 電位差來使可移動式層自經鬆弛狀態變形至經致動狀態。 139326.doc 200951059 然而，當雷蔽、& η 特，可移動々〜值減小時’隨著電壓回降至低於ι〇伏 行了移n層維持其狀態 可移動式層在圖3之例不性實施例中， 此，在圖3中^ 下降至低於2伏特方完全鬆他。因 v)，在哕*忒明之實例中存在所施加電壓窗(約3 V至7 此窗在本文中疋於經鬆弛狀態或經致動狀態。 圖3之、、帶t 為「滯後窗」或「穩定窗」。對於具有 ❹ 以使广在/之顯7^列而言’列/行致動協定可經設計 于歹丨選通期間，待致動之所選 約10伏特之雷厭至 a γ义像素暴露於 1差’騎㈣之像㈣露於接近零伏特之 :在選通之後，像素暴露於約5伏特之穩定狀態電 以使得其保持於列選通將其置於之任何狀態。在被寫 *後在此實例巾，每一像素經歷在m犬特之「穩定 窗」内之電位差。此特徵使得圖1中所說明之像素設計在 相同所施加電壓條件下穩定於經致動或經鬆他之預先存在 的狀態。因為不管在經致動狀態還是經鬆弛狀態中，千涉 調變器之每-像素均基本上為由固定反射層及移動反射層 形成之電容器，所以可在滞後窗内之一電壓下保持此穩定 狀‘占而戍乎無功率消耗。若所施加電位係固定的，則基 本上無電流流動至像素中。 在典型應用巾，可藉由根據第一列中之經致動像素之所 要集&確疋行電極之集合而建立顯示圖框。接著將列脈衝 施加至列1電極，進而致動對應於所確定行線之像素。接 著改變行電極之所確定集合以對應於第二列中之經致動像 素之所要集合。接著將脈衝施加至列2電極，進而根據所 139326.doc 200951059 確定行電極而致動列2中之適當像素。列1像素未受列2脈 衝影響’且保持於其在列1脈衝期間設定至之狀態。對於 =個系列之列’可以依序方式重複此過程以產生圖框。通 常:藉由以每秒某所要數目個圖框連續重複此過程而以新 顯7F貝料再新及/或更新圖框。用於驅動像素陣列之列電 極及行電極以產生顯示圖框的廣泛各種協定亦為熟知的且 可結合本發明而使用。 圖4、圖5A及5B說明用於在圖2之3乂3陣列上建立顯示圖 框的一個可能之致動協定。圖4說明可用於顯現圖3之滯後 曲線之像素的一組可能行電壓位準及列電壓位準。在圖4 實施例中，致動像素包含將適當行設定為，且將適 當列设定為+AV，其可分別對應於_5伏特及+5伏特。藉由 將適备行设定為+vbias且將適當列設定為相同+Δν而實現 進而跨越像素產生零伏特電位差來實現使像素鬆弛。在列 電壓被保持於零伏特之彼等列中，像素穩定於其最初所處 之任何狀態，不管該行是處於+%心還是處於_Vbias。如圖4 中亦說明，將瞭解可使用與上文描述之電壓之極性相反的 電壓，例如，致動像素可包含將適當行設定為，且 將適富列δ又疋為-Δν。在此實施例中，藉由將適當行設定 為-vbiasa將適當列設定為相同_Δν進而跨越像素產生零伏 特電位差而實現釋放像素。 圖5Β係展示將導致圖5Α中所說明之顯示配置之施加至 圖2之3x3陣列的一系列列信號及行信號之時序圖，其中經 致動像素為非反射性的。在寫入圖5Α中所說明之圖框之 139326.doc •10· 200951059 !特像=於Γ狀態，且在此實例中，所有列處於。 輯有仃處於+5伏特。藉由此等所施加電壓’所有 像素穩定於其現有經致動或經㈣狀態。 框中，像素叫⑽、⑽、（3,2)及（3,3) •致動的。為實現此情形，在m之「線時間」期間， •將行1及行2設定為-5伏特，且將行3設定為+5伏特。因為 =象:：持於3伏特-7伏特穩定窗中，所以此情形不改 φ 怎接耆藉由自〇上升至5伏特且降回至零 之脈衝而對列1進行選 仃選通此情形致動（1，1)及（I，2)像素且 使（1，3)像素鬆他。陣列中之其他像素未受影響。為 設定列2,將行2設定為-5伏特，且將行】及行3設定為+5伏 特。施加至列2之相同選通將接著致動像素⑽且使像素 ⑽及⑽鬆他。再次，陣列之其他像素未受影響。藉由 將盯2及盯3設定為_5伏特且將行i設定為+5伏特而類似地 设定列3。列3選通設定列3像素，如圖从中所展示。在寫 參入圖框之後’列電位為零，且行電位可保持於+5或⑽ 特，且顯示器接著穩定於圖5A之配置。將瞭解，相同程序 .可用於數十或數百列及行之陣列》亦將瞭解，用以執行列 及行致動之電壓之時序、順序及位準可在上文概述之一般 •原理内廣泛地變化，且上述實例僅為例示性的，且可與本 文中所描述之系統及方法一起使用任何致動電麗方法。 圖6A及圖6B係說明顯示裝置4〇之實施例之系統方塊 圖。舉例而言，顯示裝置40可為蜂巢式或行動電話。缺 而，顯示裝置40之相同組件或其略微變化亦說明各種類型 139326.doc 200951059 的顯示裝置，諸如，電視及攜帶型媒體播放器。 顯示裝置40包括外殼41、顯示器3〇、天線43、揚聲器 45、輸入裝置48及麥克風46。外殼41大體由如熟習此項技 術者所熟知之各種製程中之任—者形成，該等製程包括射 出成型及真空成形。另外，外殼41可由各種材料中之任一 者形成，該等材料包括（但不限於）塑膠、金屬、玻璃、橡 膠、及陶兗、或其組合。在-項實施例中，外殼41包括可 與不同顏色或含有不同標識、圖片或符號的其他可移除部 分互換之可移除部分（未圖示）。 例示性顯示裝置40之顯示器3〇可為包括雙穩態顯示器的 各種顯示器中之任一者，如本文中所描述。在其他實施例 中’顯示器30包括諸如如上文所描述之電襞、el、 OLED、STN LCD或TFT LCO之平板顯示器或者諸如如熟 習此項技術者所熟知之CRT或其他管裝置之非平板顯示 器。然而，出於描述本發明實施例之目的，顯示器3〇包括 干涉調變器顯示器’如本文中所描述。 例不性顯不裝置4〇之一項實施例之組件示意性地說明於 圖6B中。所說明之例示性顯示裝置4〇包括外殼科且可包括 至少部分地封圍於其中之額外組件。舉例而言，在一項實 施例中’例不性顯示裝置40包括網路介面27，該網路介面 27包括耦接至收發器47之天線43 /收發器47連接至處理器 21 ’該處理器21連接至調節硬體μ。調節硬體52可經組態 以調節一信號（例如，對一信號濾波）。調節硬體52連接至 揚聲器45及麥克風46〇處理器21亦連接至輸入裝置48及驅 I39326.doc 200951059 動器控制器29。驅動器控制器29耦接至圖框緩衝器28且耦 接至陣列驅動器22，該陣列驅動器22又耦接至顯示陣列 3〇電源供應器50按特定例示性顯示裝置40設計之要求而 將電力提供至所有組件。 -網路介面2 7包括天線4 3及收發器4 7以使得例示性顯示裝 -置40可經由網路而與一或多個裝置通信。在一項實施例 中，網路介面27亦可具有一些處理能力以減輕對處理器2ι φ 之要求。天線43為熟習此項技術者已知之用於傳輸及接收 么號之任何天線。在一項實施例中，天線根據包括〗eee 802.ll(a)、（b)或（g)之IEEE 8〇211標準而傳輸且接收心信

號。在另一實施例令，天線根據藍芽標準而傳輸且接從RF 七就。在蜂巢式電話之狀況下，天線經設計以接收用以在 無線蜂巢式網路内通信之CDMA、GSM、AMPS或其他已 知信號。收發器47預處理自天線43接收之信號以使得其可 由處理器21接收且進一步操縱。收發器47亦處理自處理器 © 21接收之信號以使得其可自例示性顯示裝置40經由天線43 而進行傳輸。 — 、在替代實施例中，可用接收器替換收發器47。在又一替 代實施例中，可用可儲存或產生待發送至處理器21之影像 ·=之影像源替換網路介面27。舉例而言，影像源可為含 ㈣像資料之數位視訊光碟（DVD)或硬碟機，或產生影像 資料之軟體模組。 哭處理器21通常控制例示性顯示褒置4〇之整個操作。處理 ~ 21自網路介面27或影像源接收諸如壓縮影像資料之資 139326.doc •13- 200951059 料，且將資料處理為原始影像資料或處理 始影像f料之格式。—接著將經處理之資料發^ 驅動裔控制器29或圖框緩衝器28以供儲存。 指識別影像内之每-位置處之影像特性的資訊。舉^ 言，此等影像純可包括顏色、鮮度及灰度階。 -在項實鉍例中’處理器21包括微控制器、中央處理單 =(CPU)或邏輯單元以控制例示性顯示裝置扣之操作。調 節硬體52通常包括用於將信號傳輸至揚聲器45且用於自麥 克風46接收信號之放大器及驗器。調節硬體52可為例示 性顯示裝置40内之離散組件或可併入於處理器21或其他組 件内。 驅動器控制器29直接自處理器21或自圖框緩衝器以取得 由處理器21產生之原始影像資料且適當地重新格式化原始 影，資料以用於向陣列驅動器22高速傳輸。具體言之，驅 動态控制器29將原始影像資料重新格式化為具有光柵狀格 式之資料流，以使得其具有適於跨越顯示陣列3〇而掃描之 時間次序。接著驅動器控制器29將經格式化之資訊發送至 陣列驅動器22。雖然諸如LCD控制器之驅動器控制器29常 作為獨立積體電路（IC)與系統處理器21相關聯，但此等控 制器可以§午多方式實施。其可作為硬體嵌入於處理器以 中，作為軟體嵌入於處理器21中，或以硬體與陣列驅動器 22完全整合。 通常’陣列驅動器22自驅動器控制器29接收經格式化之 資汛且將視訊資料重新格式化為一組平行波形，該組波形 139326.doc -14· 200951059 至來自顯示器之 每秒許多次地施加 有時數千條引線。 像素矩陣之數百且 干财’驅動器控制器29、陣列驅動器22及顯 :了適合於本文中所描述之類型之顯示器中之任一 言’在一項實施例中，驅動器控制器-係習知 控二控，雙穩態顯示器控制器(例如，干涉調變器

—實施例中，陣列驅動器22係習知驅動器 或雙穂L顯示器驅動器(例如，干涉調變器顯示器卜在一 項實施例中’驅動器控制器29與陣列驅動器22整合。此實 施例在諸如蜂巢式電話、錶及其他小面積顯示器之高度整 合之系統中係普遍的。在又一實施例中，顯示陣列30係典 型顯示陣列或雙穩態顯示陣列（例如，包括干涉調變器之 陣列之顯示器）。 ❹ 輸入裝置48允許使用者控制例示性顯示裝置40之操作。 在項只施例中，輸入裝置48包括諸如qWERTY鍵盤或電 舌J鍵盤之小鍵盤、按紐、肖關、觸敏螢幕或壓敏或熱敏 膜。在-項實施例中，麥克風46係用於例示性顯示裝置 之輸入裝置。當麥克風46用以將資料輸人至裝置時可由 使用者提供用於控制例示性顯示裝置4Q之操作之語音命 令0 電源供應器5G可包括如此項技術中熟知之各種能量緒存 裝置。舉例而言，在—項實施例中，電源供應器50係諸如 錄編電池或鐘離子電池之可再充電電池。在另一實施例 中’電源供應器50係可再生能源、電容器或包括塑膠太陽 139326.doc •15· 200951059 能電池及太陽能電池漆之太陽能電池。在另一實施例中， 電源供應器50經組態以自壁式插座接收電力。 在一些實施例中，如上文所描述，控制可程式化性常駐 於可位於電子顯示器系統中若干位置處之驅動器控制器 中。在一些實施例中，控制可程式化性常駐於陣列驅動器 22中《熟習此項技術者將認識到，上文所描述之最佳化可 以任何數目之硬體及/或軟體組件且以各種組態實施。 根據上文闡述之原理操作的干涉調變器之結構的細節可 廣泛地變化。舉例而言，圖7冬圖7£說明可移動式反射層 ❹ 14及其支撐結構之五個不同實施例。圖7A係圖丨之實施例 之橫截面，其中金屬材料14之條帶沈積於正交地延伸之支 撐件18上。在圖7B中，可移動式反射層14僅在繫栓以上之 角部處附接至支撐件。在圖7〇：中，可移動式反射層14自可 包含可撓金屬之可變形層34懸掛。可變形層34在可變形層 34之周邊周圍直接或間接地連接至基板2〇。此等連接在本 文中稱為支撲柱。圖7〇中所說明之實施例具有支樓柱插塞 42可變形層34擱置在該支撐柱插塞42上。可移動式反射 〇 層14如在圖7A-圖7C中保持懸掛於間隙上方’但可變形層 34不藉由填充可變形層34與光學堆疊16之間的孔洞而形成 支樓柱。實情為’支撑柱由平坦化材料形成，該平坦化# · 料用以形成支撐柱插塞42。圖7E中所說明之實施例係基於 中所展示之實施例，但亦可經調適以與圖7A-圖7C中 所說月之實知例中的任一者以及未圖示之額外實施例一起 作在圖7E中所展示之實施例中，金屬或其他導電材料 139326.doc -16· 200951059 之附加層已用以形成匯流排結構44。此情形允許信號沿干 涉調變器之背面導引，進而消除可原本必須形成於基板20 上之許多電極。 在諸如圖7 t所展示之實施例之實施例中，干涉調變器 充當直視裝置，其中自透明基板20之正面檢視影像，該面 • 與上面配置有調變器之面相對。在此等實施例中，反射層 14光學地遮蔽與基板2〇相對之反射層之面上的干涉調變器 ❹ 之部分（包括可變形層34)。此情形允許所遮蔽區域經組態 並且在其上進行操作而未不利地影響影像品質。此遮蔽允 許實現圖7E中之匯流排結構44，其提供將調變器之光學性 質與調變器之機電性質（諸如，定址與由該定址導致之移 動）分離的能力。此可分離調變器架構允許用於調變器之 機電態樣及光學態樣的結構設計及材料相互無關地加以選 擇且起作用。此外，圖7(：_圖冗中所展示之實施例具有來 源於將反射層14之光學性質與其機械性質解耦之額外益 ❿ 處，該等益處由可變形層34實現。此情形允許用於反射層 14之結構設計及材料關於光學性質而最佳化，且用於可變 形層34之結構設計及材料關於所要機械性質而最佳化。 不管是自發光類型還是非自發光類型，所有彩色顯示器 -之普遍問題係自原色之有限集合合成全色影像。顏色合成 之若干方法已傳統地用於電子顯示器。此等方法中最2功 者符合加色混合之原理且句枯也與舌晶 且包括光學重4、色合 時間顏色合成。 三個原色影像之直接光學重疊係投影顯示器系統中的有 139326.doc •17- 200951059 效且常用之方法，但不容易用於多數直視彩色顯示器技 術。迄今為止，在如陰極射線管（CRT)及液晶顯示器（LCD) 之裝置中，空間顏色合成為最成功的顏色合成方法且保持 為現代彩色顯示器技術的基礎。空間顏色合成混合緊密接 近之三個或三個以上原色（通常為紅色（R)、綠色（G)及藍色 (B))之子像素以產生全光譜。 例示性彩色顯示器包括紅色、綠色及藍色顯示元件。在 此顯示器中藉由改變由紅色、綠色及藍色元件產生之光之 相對強度而產生其他顏色。諸如紅色、綠色及藍色之原色 之此等混合由人眼感知為其他顏色。可將此顏色系統中之 紅色、綠色及藍色之相對值稱為關於人眼之紅色、綠色及 藍色感光部分之刺激之三色激勵值。可將可由特定顯示器 產生之顏色的範圍稱為顯示器之色域。一般而言，增加原 色之飽和度增大色域，或可由顯示器產生之顏色之範圍。 雖然在本文中揭示基於紅色、綠色及藍色之例示性顏色系 統，但在其他實施例中，顯示器可包括具有根據除了紅 色、綠色及藍色之外的原色集合界定其他顏色系統之顏色 集合的調變器12(參見圖8)。 在顯不器之一項實施例中，每一像素包括一或多個彩色 調變器12(例如，經組態以反射紅色、綠色及藍色光的調 變器）及經組態以反射白色光之一或多個「白色」調變器 12。在此實施例中，來自處於反射狀態中之紅色、綠色及/ 或藍色調變器12之光組合以輸出彩色光。來自白色調變器 12之光可用以輸出白色光。結合彩色而使用白色可增加像 139326.doc 200951059 素之亮度或強度。 圖8係例不性多態干涉調變器12之側視橫載面圖。多態 干涉调變器12藉由將可移動式反射層（或反射器）14定位至 複數個選定之位置81_85中之一者而反射具有特定光譜特 .性之光。如上文所論述，列電極與行電極之間的電位差使 .彳移動式反射層14撓曲。例示性調變器包括充當行電極之 氧化銦矽（ITO)之導電層102。在例示性調變器中，反射層 14包含形成列導體之導電材料。 在-項實施例中’諸如二氧化石夕（si〇2)之材料的介電層 104疋位於形成光學堆疊（或固定反射器）“的反射表面之鉬 絡（MoCr)層上方。如上文關於圖丨所論述介電層ι〇4防止 短路且在可移動式反射器14撓曲時控制可移動式反射器Μ 與固定反射器16之間的分離距離。在可移動式反射器_ 固定反射器16之間形成的光學空腔因此包括介電層刚。 已出於便於說明調變器12之目的而選擇圖8中之物品的相 φ 對大！因此，此等距離並非按比例繪製且不欲代表調變 器12之任何特定實施例。 如上文所論述，調變器12包括形成於可移動式反射器14 ’肖固定反射器16之間的干涉調變空腔。光學空腔之特性距 .㈣有效光徑長度光學空腔之譜振波長λ且因此判定 干涉調變器之諧振波長λβ干涉調變器12之諸振波長人通 常對應於由調變器12反射之光之所感知顏色。算術上，距 離卜1/2似，其中Ν為整數。給定諧振波長入因此由具有 /ζλ(Ν 1)、λ(Ν-2)、3/2λ(Ν=3)等之距離[之干涉調變器12 139326.doc -19- 200951059 反射。整數N可被稱為經反射之光之干涉階數。如本文中 所使用，調變器12之階數亦指在可移動式反射器14在至少 一位置中時由調變器12反射之光之階數N。舉例而言，第 一階紅色干涉調變器12可具有對應於約650奈米之波長入的 約325奈米之距離L。因此，第二階紅色干涉調變器I?可耳 有約650奈米之距離l。 在下表中展示用於干涉調變器顯示器中之一些常見顏色 的波長範圍之實例的清單。 顏色 波長（奈米） 紫色 380-420 靛藍 420-440 藍色 440-500 青色 500-520 綠色 520-565 黃色 565-590 镫色 590-625 "" 紅色 625-740 當空腔19包含具有約1之折射率之流體（例如，空氣） 時，有效光徑長度L大體上等於可移動式反射器14與固定 反射器16之間的距離。當空腔19包含具有大於丨之折射率 之流體時，有效光徑長度L可能不同於可移動式反射器Μ 與固定反射器16之間的距離。 在包括具有大於1之折射率之介電層1〇4之實施例中藉 由選擇可移動式反射器14與固定反射器16之間的距離且藉 139326.doc •20- 200951059 由選擇介電層104之厚度及折射率或可移動式反射器14與 固定反射器16之間的任何其他層之厚度及折射率而形成具 有所要光徑長度之干涉調變空腔。 在一項實施例中’可移動式反射器14可撓曲至位置範圍 内之一或多個位置以輸出對應顏色範圍之光。舉例而言， 列電極與行電極之間的電壓電位差可經調整以將可移動式 反射器14撓曲至相對於固定反射器16之複數個選定之位置 中之一者。 ❹ 在圖8中由自固定反射器16延伸至指示位置81-85的箭點 之線表示可移動式反射器14之一群組之特定位置8丨_85中 的每一者。因此，在考量介電層104之厚度及折射率的情 況下選擇距離8 1-85。當可移動式反射器14撓曲至位置81_ 85(各自對應於與固定反射器16相距之不同距離卩中之每 一者時，調變器以對應於正由調變器12反射之入射光之不 同顏色的不同光譜回應將光反射至基板2〇側處的檢視位 〇 置。 此外，在位置81處，可移動式反射器14足夠接近於固定 反射器16，因此干涉之效應係可忽略的且調變器12充當大 » 體上相等地反射入射可見光之大體上所有顏色（例如，作 為白色光）之鏡面。因為小距離L對於可見光頻帶中之光學 諧振而言過小，所以導致寬頻鏡面效應。反射層14因此僅 充當關於可見光之反射表面。 在位置82處，距離L使得空腔干涉地操作但大體上不反 射可見波長之光’此情形係因為諧振波長在可見光範圍之 139326.doc -21· 200951059 外。 隨著距離L進一步增大’調變器12之峰值光譜回應進入 可見光波長中。因此，當可移動式反射器14在位置83處 時，調變器12反射藍色光。當可移動式反射器14在位置84 處時’調變器12反射綠色光。當可移動式反射器14在非撓 曲位置85處時，調變器12反射紅色光。 如上文所述，具有用於在調變器140中輸出白色光之獨 立狀態將控制色飽和度之調變器之性質的選擇與影響白色 輸出之亮度之性質解耦。調變器12之距離及其他特性可因 此經選擇以提供高度飽和之顏色而不影響在第一狀態中產 生之白色光。舉例而言，在例示性彩色顯示器中，可藉由 對應於較高干涉階數之光徑長度L而形成紅色、綠色及藍 色調變器12中之一或多者。 如上文所論述，介電層1〇4防止短路且在可移動式反射 14撓曲時控制可移動式反射器14與固定反射器16之間的 分離距離’但介電層1〇4之厚度應足夠小以使得在調變器 12反射白色光時，可移動式反射器14(例如）在位置81處足 夠接近於固定反射器16。然而’單獨使用薄介電層1〇4不 提供免受可移動式反射器14與導電層1〇2之間的短路之充 分保護。 可使用此項技術中已知之微影技術及諸如上文關於調變 器12而描述之技術來形成調變器12。舉例而言，可藉由將 一或多層諸如ITO的透明導體沈積至基板2〇上而形成導電 層102。基板2〇可包含諸如玻璃或塑穋之任何透明材料。 139326.doc 200951059 基板20可能已經受先前預備步驟（例如，清潔）以促進隨後 形成之層之有效形成。導電層102被圖案化為平行條帶且 了形成電極之行。可藉由將一或多層M〇Cr沈積至大體上 透明的基板20及/或基板2〇上而形成固定反射器16。可移 ' 動式反射器14可作為一或多個經沈積金屬層之一系列平行 . 條帶（與行€極1()2正交）而形成，該-❹個經沈積金屬層 沈積於柱18及介入犧牲材料（沈積於柱18之間）上。可提供 φ 穿過上文描述之層中的一或多者之通道以使得諸如二氟化 氙之蝕刻劑氣體可到達犧牲層。當蝕刻掉犧牲材料時，可 變形金屬層藉由氣隙而與固定層分離。諸如鋁之高度導電 及反射之材料可用於可變形層，且此等條帶可形成顯示裝 置中之列電極。 此圖9係具有間隔層1〇3之例示性多態干涉調變器12之側視 橫截面圖。在多態干涉調變器12中，諸如二氧化矽（si〇2) 之材料之間隔層103定位於固定反射器16與導電層1〇2之 參 間。間隔層103增大可移動式反射器14與導電層102之間的 ㈣且因此減小可移動式反射器14與導電層1〇2之間的電 、纟且提供免受可移動式反射㈣與導電層102之間的短路 之充分保護。 與此同時，間隔層103在固定反射器16與導電層1〇2之間 界定第二干涉調變空腔。間隔層阳之厚度及組成（折射率） 可經調整以改變第二干涉調變空腔的有效光握長度而產生 ::要顏色之滤光器。舉例而言’間隔層1〇3可經調整以使 得第二干涉調變空腔按需要充當紅色、綠色或藍色帶通滤 139326.doc -23· 200951059 光器’且因此多態干涉調變器12反射飽和紅色、綠色或藍 色光。 導電層102及固定反射器16之反射率係低的，但由第一 干涉調變空腔及第二干涉調變空腔顯現之耦合空腔效應足 以增大所反射之光之色飽和度。 飽和度指光輸出之波長之範圍之狹窄度。高度飽和之色 調具有鮮明、強烈之顏色，而較不飽和之色調顯得較柔和 且陰暗。舉例而言，產生極窄範圍之波長之雷射產生高度 飽和之光。相反，典型白熾燈泡產生可具有不飽和紅色或 ❹ 藍色之白色光。 在顯示器之一項實施例中，每一像素包括具有如圖9中 所展示之結構或類似結構之一或多個三態調變器12。此等 二態調變器包括至少一藍色調變器、一綠色調變器及一紅 色調變器。圖10係包括具有各別間隔層之三個三態干涉調 變器之像素的示意性側視橫截面圖。在圖10中，相同部分 關於先前諸圖而類似地加以編號。 藍色調變器具有三種狀態。在第一狀態中，可移動式& ◎ 射器14處於第-位置（例如，位置81)處，且藍色調變器大 體上反射白色光。在第二狀態中’可移動式反射器Μ處力 第二位置（例如，位置82)處，且藍色調變器大體上不反射 光。在第三狀態中，可移動式反射器14處於第三位置（例 如’位置83)處，且藍色調變器大體上反射藍色光。 綠色調變益具有二種狀態。在第一狀態中，可移動式反 射器14處於第-位置（例如，位置81)處，且綠色調變器大 139326.doc -24- 200951059 體上反射白色光。在第二狀態中，可移動式反射器"處於 第二位置（例如，位置82)處，且綠色調變器大體上不反射 光。在第三狀態中’可移動式反射器14處於第三位置（例 如，位置84)處，且綠色調變器大體上反射綠色光。 - 紅色調變器具有三種狀態。在第-狀態中，可移動式反 ‘ 射器M處於第-位置(例如，位置8”處，且紅色調變器大 體上反射白色光。在第二狀態中，可移動式反射器Μ處於 ❿帛二位置(例如，位置82)處，且紅色調變器大體上不反射 光。在第三狀態中，可移動式反射器14處於第三位置（例 如，位置85)處，且紅色調變器大體上反射紅色光。 在此實施例中，來自處於第三狀態中之紅色、綠色及/ 或藍色調變器12之光組合以輸出彩色光。來自處於第一及 第-狀態中之紅色、綠色及/或藍色調變器12之光可用以 輸出白色或黑色光。結合彩色使用白色可提高像素之亮度 或強度。 © 4增大來自紅色、綠色及藍色調變器之光之飽和度，針 對紅色、綠色及藍色調變器分別選擇間隔層103的厚度及 折射率以使得紅色、綠色及藍色調變器中之第二干涉調變 空腔具有對應之所要光徑長度。 如上文所描述，間隔層103可為任何材料及任何厚度。 舉例而言，若間隔層103之材料為Si02,則紅色調變器之 間隔層H)3之厚度為至少140奈米。在一項實施例中，當紅 色調變器之間隔層103之厚度為17〇奈米時，來自紅色調變 器之紅色光係高度飽和的。 139326.doc -25- 200951059 在一項實施例中，若間隔層103之材料為Si〇2,則藍色 調變器之間隔層1〇3之厚度為至少210奈米。當藍色調變器 之間隔層103之厚度為230奈米時，來自藍色調變器之藍色 光係高度飽和的。 在一項實施例中，若間隔層1〇3之材料為Si〇2，則綠色 調變器之間隔層103之厚度為至少19〇奈米。當綠色調變器 之間隔層103之厚度為220奈米時，來自綠色調變器之綠色 光係高度飽和的。 與製造無間隔層103之干涉調變器裝置相比，製造在導 電層102與固定反射器16之間併有間隔層1〇3的干涉調變器 裝置僅要求少數額外處理步驟。在圖9中所說明之實例 中，間隔層103之併入僅要求沈積間隔層1〇3之額外步驟。 若間隔層103包含與介電層104相同之材料及/或若導電層 102由與固定反射器16相同之材料製成’則可進一步減少 或最少化額外處理要求。 圖11展示兩個紅色三態調變器之模型化反射光譜之實 例。線111描繪具有100奈米厚Si〇2間隔層103之紅色三態 調變器12的模型化光譜反射率。與線1U相比，線112描繪 具有170奈米厚Si〇2間隔層1〇3之另一紅色三態調變器12的 模型化光譜反射率。如圖丨丨中所說明，在紅色頻率（亦 即，在625奈米至740奈米之間）上，具有17〇奈米厚Si〇2間 隔層103之紅色三態調變器12比具有1〇〇奈米厚以〇2間隔層 103之紅色三態調變器12提供更高之飽和度。 圖12展不具有不同間隔層之紅色、綠色及藍色三態調變 139326.doc -26- 200951059 器的組合模型化反射光譜之實例。線121描繪具有230奈米 厚Si〇2間隔層103的藍色三態調變器12之模型化光譜反射 率。線122描繪具有220奈米厚Si〇2間隔層103的綠色三態 調變器12之模型化光譜反射率。線123描繪具有170奈米厚 Si〇2間隔層1 〇3的紅色三態調變器丨2之模型化光譜反射 ，率。線124描繪在紅色、綠色及藍色三態調變器12處於白 色狀邊、中時之模型化光譜反射率。線12 5描繪紅色、綠色 及藍色三態調變器12處於黑色狀態中時之模型化光譜反射 ❹率。

圖13展示圊12中所感知之紅色、綠色、藍色及白色在 CIE 1976圖中之位置。藍色（其為圖12中之線121之所感知 顏色）被描繪為圖13中之點131。綠色（其為圖12中之線ι22 之所感知顏色）被描繪為圖13中之點132。紅色（其為圖12中 之線I23之所感知顏色）被描繪為圖13中之點133。白色（其 為圖12中之線124之所感知顏色）被描繪為圖13中之點 ❹ 134。如圖13中所展示，點131、132及133極接近於sRGB 原座t，且點134極接近於Du。此處，sRGB係由HpTM及 Microsoft共同建立以用於在監視器、印表機及網際網路 上使用之標準RGB顏色空間。Du係由國際照明委員會 (CIE)公布之在6,5〇〇〇κ的溫度下之日光的標準白色點。 D65大致對應於西歐/北歐之正午的太陽。 圖14展不二位凡設計之顯示器的組合反射光譜之實例。 在此實把例中，顯不器具有複數個紅色、綠色及藍色三態 調變器。每一像素包含紅色子像素、綠色子像素及藍色子 139326.doc -27- 200951059 :素。由三個位元代表紅色、綠色及藍色子像素中之每一 者。對於每一子像素 ” -M 個二態干涉調變器與第一位 "二。兩個三態干涉調變器與第二位元相關聯。四個 - ：7調變器與第三位元相關聯。因此 調變器與每一子像辛柏 ^ ^ ^ ”關聯，且二十一個三態干涉調變器 本’：像素相關聯。此實施例僅為一實例。熟習此項技術 者可瞭解眾多變體係可能的。 Λ &緣用於藍色子像素之藍色三態調變器之光譜反 射率°線142描繪用於綠色子像素之綠色三態調變器之光 譜反射率。線⑷摇㈣於紅色子像素之紅色三態調變器 之光譜反射率。線144描繪當紅色、#色及藍色三態調變 器處於白色狀態中時之光譜反射率。線145描繪當紅色、 綠色及藍色三態調變器處於黑色狀態中時之光譜反射率。 ’位元設計顯示器之實驗展示如下表中所展示之效應。 如上文所展示，三位元設計顯示器演示3 8% EBU(歐洲 廣播聯盟）之模型化色域。對比率（CR)被模型化為18:1。亮 度（Y)被模型化為33%。 圖15展示圖14中所感知之紅色、綠色及藍色在（：1£ 1976 圖中之位置。藍色（其為圖14中之線14 1之所感知顏色）被描 繪為圖15中之點1 5 1。綠色（其為圖丨4中之線142之所感知 139326.doc • 28 · 200951059 顏色）被描繪為圖15中之點152。紅色（其為圖14中之線143 之所感知顏色）被描繪為圖1 5中之點153。白色（其為圖14中 之線144之所感知顏色）被描緣為圖丨5中之點丨54。如圖j 5 中所展示，點151、152及153極接近於SRGB原座標，且點 . 154極接近於D65。 如上文所描述，在三態干涉調變器中，間隔層可提供於 固定反射器與電極之間。間隔層可提供免受可移動式裝置 ❹ 與電極之間的短路之充分保護。間隔層亦可界定第二干涉 調變空腔以便在一光頻率範圍内提供飽和光。因此，採用 此等三態干涉調變器之顯示器可能具有更長之使用壽命、 更高之對比率及更大之色域。 雖然已在特定實施例及實例之上下文中揭示本發明但 熟習此項技術者將理解，本發明擴展超出具體揭示之實施 例直至本發明的其他替代實施例及/或用途及其明顯修改 及等效物。另外，雖然已詳細展示且描述本發明之若干變 ❹ ㉟’但對於熟習此項技術者而言，在本發明之範疇内之其 他修改將基於本揭示案而顯而易見。亦預期，可進行實施 狀^體特徵及態樣之各種組合或子組合且其仍落入本發 月之範内冑理解，所揭示實施例之各種特徵及態樣可 相互組合或替換以便形成所揭示之本發明之變化模式。因 此，意欲本文中所揭示之本發明的範脅不應受上文描述之 特定揭示的實施例限制，而應僅由隨後之[申請專利範圍] 確定。 【圖式簡單說明】 139326.doc •29- 200951059 圖1係插繪第一干 位置中且第y ^之可㈣歧射層在經鬆他 …涉調—變： 圖。 項實施例的一部分的等角視 圖2係說明併有如干涉調變器顯 實施例的系統方塊圖。變…器之電子裝置之-: 圖3係圖1之干涉調 一 铲面變$之—項例示性實施例的可移動5 鏡面{置對所施加電壓的曲線圖。

圖4係可用以驅動千井姻傲日_ /y調變益顯示器之一組列電壓及;f-電壓之說明。 』电麼及4 圖5A說明圖2之3χ3干涉調 個例示性圖框。 變器顯示器中之顯示資料的一 圖5B說明可用以寫入圖5A之圖框之列信號及行信號的 一個例示性時序圖。 圖6A及圖6B係說明包含複數個干涉調變器之視覺顯示 裝置之實施例之的系統方塊圖。

圖7A係圖1之裝置之橫截面。 圖7B係干涉調變器之替代實施例之橫截面。 圖7C係干涉調變器之另一替代實施例之橫截面。 圖7D係干涉調變器之又—替代實施例之橫截面。 圖7E係干涉調變器之額外替代實施例之橫截面。 圖8係多態干涉調變器之示意性側視橫截面圖。 圖9係具有間隔層之多態干涉調變器之示意性側視橫截 面圖。 I39326.doc -30- 200951059 圖ι〇係包括具有不同間隔層之紅色、綠色及藍色三態干 涉調變器之像素的示意性側視橫截面圖。 圖11展示紅色三態調變器之反射光譜之實例。 圖12展不具有不同間隔層之紅色、綠色及藍色三態調變 器之組合模型化反射光譜的實例。 圖13展示圖12中所感知之紅色、綠色及藍色在⑽1976 圖中之位置。

圖14展示三位元設計之顯示器之組合反射光譜的實例。 圖15展示圖14中所感知之紅色、綠色及藍色在⑽1976 圖中之位置。 【主要元件符號說明】 12 干涉調變器 12a 干涉調變器 12b 干涉調變器 14 可移動式反射層/可移動式反射 14a 可移動式反射層 14b 可移動式反射層 16 固定反射器/光學堆疊 16a 光學堆疊/列電極 16b 光學堆疊/列電極 18 柱 19 空腔 20 基板 21 處理器 139326.doc -31- 200951059 22 陣列驅動器 24 列驅動器電路 26 行驅動器電路 27 網路介面 28 圖框缓衝器 29 驅動器控制器 30 顯示陣列 32 繫栓 34 可變形層 40 顯示裝置 41 外殼 42 支撐柱插塞 43 天線 44 匯流排結構 45 揚聲器 46 麥克風 47 收發器 48 輸入裝置 50 電源供應益 52 調節硬體 81 位置 82 位置 83 位置 84 位置 139326.doc -32 200951059

85 位置 102 導電層 103 間隔層 104 介電層 111 線 112 線 121 線 122 線 123 線 124 線 125 線 131 點 132 點 133 點 134 點 141 線 142 線 143 線 144 線 145 線 151 點 152 點 153 點 154 點 139326.doc -33

Claims (1)

1. 200951059 七、申請專利範圍： 1. 一種裝置，其包含： 一電極； 一固定反射器； 一包含一導電材料之可移動式反射器，其中一干涉空 腔界定於該可移動式反射器與該固定反射器之間，該可 移動式反射器係可移動於至少一第一位置、一第二位置 與一第三位置之間；及 一間隔層’該間隔層定位於與該可移動式反射器相對 之"玄固疋反射器之一面上，其中該間隔層包含一濾光空 腔，該濾光空腔經組態以改良由該干涉空腔反射之光的 色飽和度。 2.如仴求項!之裝置，其中該間隔層係在該固定反射器與 一基板之間。

   3. 如清求項1之裝置 米0 其中該間隔層之厚度為至少160奈 4.如明求们之裝置，其巾當該可移動式反射器處於該第二位置處時該裝置反射紅色光，且其t該間隔層包含 Sl〇2且該間隔層之一厚度為至少14〇奈米。 5. 6. 如”月求項1之裝置，其中當該可移動式反射器處於該第 二：置處時該裝置反射藍色光，且其中該間隔層包含 1 2且該間隔層之一厚度為至少21〇奈米。 如請求項1之裝置， 三位置處時該裝置 其中當該可移動式反射器處於該第 反射綠色％，且其中該間隔層包含 139326.doc 200951059 Si〇2且該間隔層之一厚度為至少19〇奈米。 如凊求項1之裝置，兑中軎 一 、Τβ〇亥了移動式反射器處於該第 位置處時該裝置反射白色. 耵曰巴尤且田s亥可移動式反射器處 ;〇第二位置處時該装置不反射光。 8. 如'm其中該遽光空腔包含界定於與該可 移動式反射器相對之該固定反射器之該面上的另 空腔。

   如”月求項8之裝置’其中該另一干涉空腔界定於該固定 反射器與一基板之間。 10. 如請求項丨之裝置，其進一步包含： 一顯示器； 、一經組態以與該顯示器通信之處理器，該處理器經組 態以處理影像資料；及 一經組態以與該處理器通信之記憶體裝置。 11. 如吻求項9之裝置，其進一步包含一經組態以將至少— 仏號發送至該顯示器之驅動器電路。

   12·如吻求項11之裝置，其進一步包含一經組態以將該影像 貝料之至少一部分發送至該驅動器電路之控制器。 13·如π求項9之裝置，其進一步包含一經組態以將該影像 資料發送至該處理器之影像源模組。 14.如請求項13之裝置，其中該影像源模組包含一接收器、 一收發器及一傳輸器中之至少一者。 15 ·如叫求項9之裝置，其進一步包含一經組態以接收輸入 資料且將該輸入資料傳達至該處理器之輸入裝置。 139326.doc -2- 200951059 16· —種裝置，其包含： 一電極； 一固定反射器； -包含-導電材料之可移動式反射器，其中一干涉空 腔界疋於該可移動式反射器與該固定反射器之間，該可 移動式反射器係可移動於至少—第—位置、—第二位置 與一第三位置之間；及 〇 —間隔層’㈣隔層定位於與該可移動式反射器相對 之3亥固定反射器之—面上，自該裝置之-橫截面圖言 該間隔層具有大於或等於16Q奈米之厚度其中該 間隔層包含一涛朵办盼^. ^ ‘工腔5亥濾光空腔經組態以改良由該 干涉空腔反射之光的色飽和度。 17. 如請求項16之裝置，其中兮 共中該間隔層係在該固定反射器與 一基板之間。 18. 如明求項16之裝置’其中該濾光空腔包含另一干涉空 # 腔’該另一干涉空腔界定於與該可移動式反射器相對之 該固定反射器之該面上。 19，如請求項18之裝詈，盆击—v 哀置 /、中§亥另—干涉空腔界定於該固定 反射器與一基板之間。 • 20. —種裝置，其包含： 一電極； 用於反射光之第一構件，該第_反射構件係固定的； 用於反射光之第二構件，該第二反射構件係可移勤的 且包含導電材料，其中一干涉空腔界定於該第一反射 139326.doc 200951059 構件與該第：反射構件之間，㈣二反射構件係可移動 於至少-第-位置、一第二位置與一第三位置之間；及 疋位於與3玄第一反射構件相對之該第一反射構件之一 面上的用於分離該第一反射構件之構件，其中該用於分 離該第一反射構件之構件包含一濾光空腔，該濾光空腔 經組態以改良由該干涉空腔反射的光之色飽和度。 21. 22. 23. 24. 25. 26. 27. 如請求項20之裝置，其中該用於分離該第一反射構件之 構件係在該第一反射構件與一基板之間。 如請求項19之裝置，其中該分離構件之厚度為至少160 〇 奈米。 如請求項19之裝置，其中當該第二反射構件處於該第三 位置處時該裝置反射紅色光，且其中該分離構件包含 Sl〇2且該分離構件之一厚度為至少140奈米。 如β求項19之裝置，其中當該第二反射構件處於該第三 位置處時該裝置反射藍色光，且其中該分離構件包含 Sl〇2且該分離構件之一厚度為至少210奈米。 如吻求項19之裝置，其中當該第二反射構件處於該第三 〇 位置處時該裝置反射綠色光，且其中該分離構件包含 Sl〇2且6亥分離構件之一厚度為至少190奈米。 、 如喷求項19之装置’其中當該第二反射構件處於該第一 . 位置處時該裝置反射白色光，且當該第二反射構件處於 該第二位置處時該裝置不反射光。 、、頁19之裝置，其中該渡光空腔包含另一干涉空 ，言歹S ^ —干涉空腔界定於與該第二反射構件相對之該 139326.doc -4- 200951059 第一反射構件之該面上。 28. 如請求項27之裝置，其中該另一干涉空腔界定於該第_ 反射構件與一基板之間。 29. —種製造一用於調變光之裝置之方法，該方法包含： 提供一基板； 形成一電極； 形成一間隔層； 形成一固定反射器；及 形成一包含一導電材料之可移動式反射器； 其中一干涉空腔界定於該可移動式反射器與該固定反 射器之間，該可移動式反射器係可移動於至少一第一位 置、一第二位置與一第三位置之間；且 其中該間隔層包含一濾光空腔’該濾光空腔經組態以 改良由該干涉空腔反射之光的色飽和度。 30. 如請求項29之方法，其中該間隔層定位於與該可移動式 反射器相對之該固定反射器之一面上。 31. 如請求項30之方法，其中該間隔層係在該固定反射器與 該基板之間。 32. 如請求項29之方法，其中該間隔層之厚度為至少1的奈 米0 33.如請求項29之方法，其中當該可移動式反射器處於該第

   Si〇2且該

   且其中該間隔層包含 間隔層之一厚度為至少140奈米。 34.如請求項29之方法，其中當該可移動式反射器處於該第 139326.doc 200951059 二位置處時該裝置反射藍色光’且其中該間隔層包含 Si〇2且該間隔層之一厚度為至少21〇奈米。 35. 如請求項29之方法’其中當該可移動式反㈣處於該第 二位置處時該裝置反射綠色光，且其中該間隔層包含 Si〇2且該間隔層之一厚度為至少19〇奈米。 36. 如請求項29之方法，其中#該可移動式反射器處於該第 -位置處時該裝置反射白色光且當該可移動式反射器處 於該第二位置處時該裝置不反射光。 37. 如請求項29之方法，其中職光空腔包含另—干涉空 腔’該另-干涉空腔界定於與該可移動式反射器相對之 該固定反射器之該面上。 38. 如請求項37之方法，复中马工、μ ，、甲該另一干涉空腔界定於該固定 反射器與該基板之間。 139326.doc